JP2003339176A - 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 - Google Patents
超音波モータ及び超音波モータ付電子機器Info
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Abstract
と、支持部での振動損失の低減。 【解決手段】 圧電素子からなる圧電振動子1と、圧電
振動子を支持する支持部材8と、圧電振動子1と接触し
て移動する移動体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧
力を与える加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振
動子1との接合部12と接合部12から延出する二つの
延出部10A、10Bを備え、延出部10の一方10A
を回転中心として、圧電振動子1が移動体2に接触する
様に可動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端1
0Bと、接合部12の間の位置に対し加圧を与えてい
る。圧電振動子1と移動体2との間には突起状の変位拡
大機構11を設けても良い。延出部10の先端側10B
に加圧を与えることにより、支持部材は、延出部10の
先端の両側から支持されるため、支持剛性を高め、圧電
振動子1と移動体2を安定に接触させ、圧電振動子1の
振動を逃がさず移動体2の運動に変換することが可能で
ある。また、単純な構成で作製することが可能であるた
め、小型化が可能となる。
Description
超音波モータ付電子機器に関し、特に超音波モータの支
持加圧方法に関する。
電効果の性質を有する圧電アクチュエータの特長とし
て、高出力、高応答性、磁気の影響を受けづらいこと等
があげられる。圧電アクチュエータの一例に超音波モー
タがあり、圧電アクチュエータの特長に加え、摩擦力に
よる移動体の高保持力を有すること等があげられる。
と進行波型とに分類される。定在波型では、振動体に設
けられた突起の楕円運動方向により移動方向が決定する
方法等があり、また、進行波型では、振動体に設けられ
た突起の連続的な動きにより、移動体を駆動させてい
る。
は、矩形板、円板などの単純形状で構成でき、小型化が
可能であり、圧電振動子と移動体の構成を工夫すること
で、回転型、リニア型アクチュエータの両方の構成がで
きる。例えば以下に示す矩形形状の圧電振動子を用いた
場合がそれに当たる。
て、図2を用いて述べる。例えば、このような従来の超
音波モータは、圧電素子からなる圧電振動子1と、圧電
振動子1の底面に設けた変位拡大部11と、圧電振動子
1の上面に設けた低弾性率部材102と、圧電振動子1
の周囲に配置した振動節案内部材としての案内ケース1
01と、案内ケース101の上面に設けた加圧部材3
と、案内ケース101の側部を嵌め合わせた案内板10
3とからなり、変位拡大部11の先端は移動体2に圧接
させている。
励起され、圧電振動子1の先端で楕円運動を描く振動子
を用いた場合、移動体2は、圧電振動子1と接触するこ
とにより、摩擦力で駆動する(例えば、特許文献1参
照。)。
−7頁、第1図)
図2に示す超音波モータの場合、支持構造、加圧構造が
大きく、例えば腕時計のような小型で、薄型な機器への
搭載が困難であった。
部での振動損失が大きくなるため、モータの効率が低く
なるばかりでなく、駆動電圧が高くなってしまう恐れが
あった。
支持部での振動損失の少ない加圧支持構造を得ることに
ある。
なされたものであって、超音波モータの圧電振動子を支
持加圧する構造を提案することを目的とする。
らなる圧電振動子と、圧電振動子を支持する支持部材
と、圧電振動子とに接触して移動する移動体と、圧電振
動子と移動体とに圧力を与える加圧部材からなる超音波
モータにおいて、支持部材は、圧電振動子との接合部と
接合部から延出する二つの延出部を備え、延出部の一方
を回転中心とし、圧電振動子が移動体に接触する様に可
動し、加圧部材は、延出部の他方の先端と、接合部との
間の少なくとも一点に対し加圧を与えることを特徴とし
ている。
と、圧電振動子の接合部との間に加圧を与えているた
め、支持部材は、回転支持部からと延出部の先端の両側
から保持され、移動体に加圧接触させている為、圧電振
動子と移動体の接触が安定となり、圧電振動子の変位を
ロータに効率良く伝えることができる。したがって、高
効率であるとともに、出力特性が安定し、回転ムラも小
さい。また、圧電振動子の節部で支持されているため、
圧電振動子の振動が減衰するのを低減させ、モータ高効
率化が可能である。また、単純な形状で部材を面内方向
に構成することができるため、小型薄型化が可能であ
る。
鉛、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸
リチウム等を用いる。
例えば突起等の変位拡大部を設けても良い。
らなる圧電振動子と、圧電振動子を支持する支持部材
と、圧電振動子とに接触して移動する移動体と、圧電振
動子と移動体とに圧力を与える加圧部材からなる超音波
モータにおいて、支持部材は、圧電振動子との接合部か
ら延出する延出部と、延出部を回転中心として圧電振動
子が移動体に接触する様に可動し、加圧部材は、圧電振
動子の少なくとも一点に対し加圧を与えることを特徴と
している。
えることにより、圧電振動子と移動体の接触が安定とな
り、圧電振動子の変位をロータに効率良く伝えることが
できる。したがって、高効率であるとともに、出力特性
が安定し、回転ムラも小さい。また、加圧に対する支持
部材の強度を考慮しなくて良いため、支持部材8の剛性
を下げられ、圧電振動子の振動が減衰するのを低減させ
ると同時に、小型な構成とすることが可能である。
を、圧電振動子が接合されていない部分の支持部材の幅
以下にすることを特徴としている。
圧電振動子の振動が支持部材を伝って減衰するのを防ぐ
ことが可能となる。
の圧電振動子が接合されていない部分に、少なくとも一
つの溝の入った切り欠き部を有することを特徴としてい
る。
に圧電振動子の振動が支持部材を伝って伝搬しづらいた
め、圧電振動子の振動が減衰するのを低減させることが
可能となる。
らなる圧電振動子と、圧電振動子を支持する支持部材
と、圧電振動子とに接触して移動する移動体と、移動体
を支持する移動体支持部材と、圧電振動子と移動体とに
圧力を与える加圧部材からなる超音波モータにおいて、
移動体支持部材は、移動体の回転中心軸を備え、回転中
心軸から延出する二つの延出部を備え、延出部の一方を
圧電振動子が移動体に接触する様に可動し、加圧部材
は、延出部の他方の先端と、回転中心軸との間の少なく
とも一点に対し加圧を与えることを特徴としている。
固定支持されているため、移動体との大きな接触圧にも
安定に支持することができる為、高トルクが得られ、ま
た、これを小型な構成で実現することが可能となる。
は、上記の超音波モータを備えたことを特徴としてい
る。
波モータを備えることで、小型で低消費電力、さらには
出力の安定した超音波モータ付電子機器を構成すること
が可能となる。
適用した実施の形態1について、図1、3〜5、7、1
1〜14を用いて説明する。
の構成を示す図である。
素子からなる圧電振動子1と、圧電振動子を支持する支
持部材8と、圧電振動子1と接触して移動する移動体2
と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧部材
3からなる。支持部材8は、圧電振動子1との接合部1
2と接合部12から延出する二つの延出部10A、10
Bを備え、延出部10の一方10Aを回転中心として、
圧電振動子1が移動体2に接触する様に可動し、加圧部
材3は、延出部10の他方の先端10Bと、接合部12
の間の位置に対し加圧を与えている。圧電振動子1と移
動体2との間には突起状の変位拡大機構11を設けても
良い。
ことにより、支持部材は、延出部10の先端の両側から
支持されるため、支持剛性を高め、圧電振動子1と移動
体2を安定に接触させ、圧電振動子1の振動を逃がさず
移動体2の運動に変換することが可能である。また、単
純な構成で作製することが可能であるため、小型化が可
能である。
の別の構成を示す図である。実施の形態1に係る超音波
モータは、圧電素子からなる圧電振動子1と、圧電振動
子を支持する支持部材8と、圧電振動子1と接触して移
動する移動体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を
与える加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振動子
1との接合部12と接合部12から延出する二つの延出
部10A,10Bを備え、延出部10の一方10Aを回
転中心として、圧電振動子1が移動体2に接触する様に
可動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端10B
と、接合部12の間の位置に対し加圧を与えている。圧
電振動子1と移動体2との間には突起状の変位拡大機構
11を設けても良い。延出部10の圧電振動子1との接
合部分の幅を、圧電振動子1が接合されていない部分の
幅以下にしている。
の先端側に加圧を与えることによる効果に加え、接合部
分を細くしたため、接合部12による圧電振動子1の振
動減衰の低減並びに圧電振動子1の振動が支持部材8を
通じて逃げることを防止すること可能となる。また、単
純な構成で作製することが可能であるため、小型化が可
能である。
ータの構成を示す図である。実施の形態1に係る超音波
モータは、圧電素子からなる圧電振動子1と、圧電振動
子を支持する支持部材8と、圧電振動子1と接触して移
動する移動体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を
与える加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振動子
1との接合部12と接合部12から延出する二つの延出
部10A、10Bを備え、延出部10の一方10Aを中
心とし、圧電振動子1が移動体2に接触する様に可動
し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端10Bと、
接合部12の間の位置に対し加圧を与えている。圧電振
動子1と移動体2との間には突起状の変位拡大機構11
を設けても良い。
れる面に、圧電振動子1と接合するための接合部12を
設ける。接合部12は、例えば円筒状の突出した形状で
圧電振動子1に接合する。接合部12は、材料としてポ
リアセタール、ABS樹脂等のプラスチックで支持部材
8と一体で作製するか、もしくは支持部材8に接合して
取り付けても良い。支持部材8並びに接合部12を樹脂
とすることで、圧電振動子1の振動が支持部を通じて逃
げるのを防ぐことができる。
延出部10の先端側に加圧を与えることによる効果に加
え、接合部が支持幅以下の小さな円筒部分であり、圧電
振動子1の振動を接合部12が低減させることを防ぐ。
また、単純な構成で作製することが可能であるため、小
型化が可能である。
振動子は矩形板を中心に説明するが、圧電振動子の形状
は矩形にこだわるものではなく、図15に示す様に円板
もしくは円環形状の圧電振動子を用いても構わない。図
15の構成は図4の構成とほぼ同じ為、相違点のみを述
べる。
板形状の圧電振動子からなっており、表裏に図示しない
電極を有し、面内方向に振動するものである。ここで移
動体2の駆動には定在波を用いても良いし、進行波を用
いて駆動しても良い。また、圧電振動子200の移動体
2との接触部に突起を設けても構わない。
を用いることで矩形板の様に長手方向に長くなることが
ないから、搭載する機器の設計の自由度も広がる。
の固定法であるが、圧電振動子200の内径と同程度の
径の軸と、それよりも大きな径の段部を有する接合部1
8の軸に圧電振動子200を通し、接着等によって固定
しても良い。接合部18を圧電振動子200の振動を減
衰させない様にフエルトやゴム等の弾性部材で構成して
も構わない。
等の弾性体と接合されたもので構成する場合には、圧電
振動子200の内径部と、接合部18の軸とで打込み固
定しても構わない。
の支持はいかなる方法でも良く、また場所も圧電振動子
200の中央部に限るものではない。
の別の構成を示す図である。実施の形態1に係る超音波
モータは、圧電素子からなる圧電振動子1と、圧電振動
子を支持する支持部材8と、圧電振動子1と接触して移
動する移動体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を
与える加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振動子
1との接合部12と接合部12から延出する二つの延出
部10A、10Bを備え、延出部10の一方10Aを回
転中心とし、圧電振動子1が移動体2に接触する様に可
動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端10B
と、接合部12の間の位置に対し加圧を与えている。圧
電振動子1と移動体2との間には突起状の変位拡大機構
11を設けても良い。そして、延出部10の圧電振動子
と接合される面に、圧電振動子1と接合するための接合
部12を設ける。図5では土手状の接合部12を設けて
いるが、支持部材8と接合部12を樹脂で一体的に整形
しても良いし、材質をエンジニアリングプラスチック等
とし、支持部材8をステンレス等の金属により作製し、
接合部12と支持部材8とを接着等により接合すること
で一体化しても良い。
延出部10の先端側10Bに加圧を与えることによる振
動の減衰を低減させることの効果に加え、接合部分を細
くしたため、接合部による圧電振動子の振動減衰も低減
すること可能となる。また、加圧に対する支持の強度が
大きく、大きな加圧をかけることも可能である。また、
単純な構成で作製することが可能であるため、小型化が
可能である。
ータの構成を示す図である。圧電振動子1を複数用いた
場合の例を示している。
素子からなる第一の圧電振動子1aと、同じく圧電素子
からなる第二の圧電振動子1bと、各圧電振動子を支持
する支持部材8と、各圧電振動子と接触して移動する移
動体2と、各圧電振動子と前記移動体2とに圧力を与え
る加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振動子1と
の接合部12と接合部12から延出する二つの延出部1
0A、10Bを備え、延出部10の一方10Aを中心と
し、圧電振動子1が移動体2に接触する様に可動し、加
圧部材3は、延出部10の他方の先端10Bと、接合部
12の間の位置に対し加圧を与えている。圧電振動子1
と移動体2との間には突起状の変位拡大機構11を設け
ても良い。
aと、第二の圧電振動子1bを同じ振動特性をもつ圧電
振動子とした場合、1つの圧電振動子に比べ駆動特性を
倍加することができる。そして、両方の圧電振動子に接
合された支持部材8の延出部10の先端側10Bに対
し、加圧部材3から加圧することにより、両方に均等に
加圧力を供与することが可能である。
タの別の構成を示す図である。
素子からなる圧電振動子1と、圧電振動子を支持する支
持部材8と、圧電振動子1と接触して移動する移動体2
と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧部材
3からなる。支持部材8は、圧電振動子1との接合部1
2と接合部12から延出する二つの延出部10A、10
Bを備え、延出部10の一方10Aを中心として、圧電
振動子1が移動体2に接触する様に可動し、加圧部材3
は、延出部10の他方の先端10Bと、接合部12の間
の位置に対し加圧を与えている。圧電振動子1と移動体
2との間には突起状の変位拡大機構11を設けても良
い。
イドされ、リニア型の超音波モータを構成することが可
能である。
ことにより、支持部材は、延出部10の両側から支持さ
れるため、圧電振動子1の振動を逃がさず保持し、効率
良く移動体での運動にかえることが可能となる。また、
単純な構成で作製することが可能であるため、小型化が
可能である。
タの別の構成を示す図である。
素子からなる圧電振動子1と、圧電振動子を支持する支
持部材8と、圧電振動子1と接触して移動する移動体2
と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧部材
3からなる。支持部材8は、圧電振動子1との接合部1
2と接合部12から延出する二つの延出部10A、10
Bを備え、また、溝状の切り欠き部17を備えている。
延出部10の一方10Aを回転中心とし、圧電振動子1
が移動体2に接触する様に可動し、加圧部材3は、延出
部10の他方の先端10Bと、接合部12の位置との間
に対し加圧を与えている。圧電振動子1と移動体2との
間には突起状の変位拡大機構11を設けても良い。
両側10A、10Bから支持されるため、図1の構成の
効果に加えて、切り欠き部17を備えているため、圧電
振動子1の振動が支持部材8に伝播しづらくなるため、
振動の減衰を低減させる効果がある。また、単純な構成
で作製することが可能であるため、小型化が可能であ
る。
子と支持部材の構成の別の例を示す図である。
振動子1との接合部12を有する延出部10と溝状の切
り欠き部17を備えた支持部材8に、圧電振動子1をは
さみ、接合した構成となっている。支持部材8には移動
体との接触する位置に突起状の変位拡大部11を設けて
も良い。本構成では接合部にも圧電振動子1と一体とな
り振動するため、材料としては減衰率の小さい金属、例
えばアルミやステンレス等を用いる。図14は、実施の
形態1に係る超音波モータの構成を示す図である。
を用いた超音波モータであり、圧電素子からなる圧電振
動子1と、圧電振動子を支持する支持部材8と、圧電振
動子1と接触して移動する移動体2と、圧電振動子1と
移動体2とに圧力を与える加圧部材3からなる。支持部
材8は、圧電振動子1との接合部12と接合部12から
延出する二つの延出部10A、10Bを備え、また、溝
状の切り欠き部17を備えている。延出部10の一方1
0Aを回転中心として、圧電振動子1が移動体2に接触
する様に可動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先
端10Bと、接合部12の間の位置に対し加圧を与えて
いる。圧電振動子1と移動体2との間には突起状の変位
拡大機構11を設けても良い。本構成では機能的に見る
と圧電振動子1と支持部材8との境界がないため、先に
示した支持部材8を圧電振動子1に接合した構成に比
べ、振動のロスが小さいとともに、支持強度が高く、高
出力なモータが得られる。
2と圧電振動子1との間に加わる加圧力よりも小さくて
すみ、加圧ばねの小型化簡素化も可能となる。
実施の形態2について、図6を用いて説明する。
の構成を示す図である。
素子からなる圧電振動子1と、圧電振動子1を支持する
支持部材8と、圧電振動子1とに接触して移動する移動
体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧
部材3からなる。支持部材8は、圧電振動子1との接合
部12から延出する延出部10と、延出部10Aを回転
中心として圧電振動子1が移動体2に接触する様に可動
し、加圧部材3は、圧電振動子1の少なくとも一点に対
し加圧を与えることを特徴としている。圧電振動子1と
移動体2との間には突起状の変位拡大機構11を設けて
も良い。
り、圧電振動子1と移動体2の接触を安定化するととも
に、支持部材8の合成を下げることができるため、振動
の減衰を低減させることが可能である。また、単純な構
成で作製することが可能であるため、小型化が可能であ
る。
移動体2を矩形板にし、案内部材を設けることでリニア
型の超音波モータにも応用できる。
圧電振動子1の接合部12を、実施の形態1でも述べた
ように、細くすることにより、圧電振動子1の振動が接
合部12で減衰されるのを防ぐことが可能となる。
実施の形態3について、図8を用いて説明する。
素子からなる圧電振動子1と、圧電振動子1を支持する
支持部材8と、圧電振動子1とに接触して移動する移動
体2と、移動体2を支持する移動体支持部材5と、圧電
振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧部材3からな
る。
軸4を備え、回転中心軸から延出する二つの延出部10
A、10Bを備え、移動体2が圧電振動子1に接触する
様に可動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端1
0Bと、回転中心軸4との間の少なくとも一点に対し加
圧を与える。
ると同時に支持部材8自体も固定されており強固で安定
な支持ができる為、大きな加圧に対しても耐えられ高出
力のモータが得られる。
加圧を与えることにより、そして、延出部10の先端側
10Aに加える加圧力は移動体2と圧電振動子1の間に
加わる接触圧力よりも小さくして良いため、加圧ばねの
小型化も可能である。また、単純な構成で作製すること
が可能であるため、支持加圧構造を含めた小型化が可能
である。
実施の形態3について、図9、10を用いて説明する。
付電子機器の構成を示す図である。
器は、時計の運針機構をあらわしている。
動子を支持する支持部材8と、圧電振動子1と接触して
移動する移動体2と、圧電振動子1と移動体2とに圧力
を与える加圧部材3からなる。支持部材8は、圧電振動
子1との接合部12と接合部12から延出する二つの延
出部10A、Bを備え、延出部10の一方10Aを回転
中心として、圧電振動子1が移動体2に接触する様に可
動し、加圧部材3は、延出部10の他方の先端10B
と、接合部12の間の位置に対し加圧を与えている。圧
電振動子1と移動体2との間には突起状の変位拡大機構
11を設けても良い。移動体2の回転運動と同期して時
計針13は回転する。圧電振動子としては、例えば図1
5に示したような円板や円環形状の圧電振動子200を
用いても構わない。
加圧を与えることにより、支持部材は、延出部10の両
側から支持されるため、圧電振動子1の振動を逃がさず
保持し、振動の減衰を低減させることが可能で、効率的
で安定した運針機構への応用が可能となる。
タ付電子機器の構成を示す図である。
器は、腕時計の日送り機構を表している。圧電素子から
なる圧電振動子1と、圧電振動子を支持する支持部材8
と、圧電振動子1と接触して移動する移動体2と、圧電
振動子1と移動体2とに圧力を与える加圧部材3からな
る。支持部材8は、圧電振動子1との接合部12と接合
部12から延出する延出部10を備え、延出部10の一
方10Aを回転中心とし、圧電振動子1が移動体2に接
触する様に可動し、加圧部材3は、圧電振動子1の少な
くとも一点に対し加圧を与える。圧電振動子1と移動体
2との間には突起状の変位拡大機構11を設けても良
い。そして、移動体2の動きと同期して、ギア部14は
回転する。ギア部14は、文字板15の内周と噛み合
い、文字板15は回転力を得て、日送り駆動を行う。
圧電振動子1と延出部10の両側から支持され、圧電振
動子1の振動を逃がさず保持し、振動の減衰を低減させ
ることが可能で、効率的で安定した日送り駆動機構への
応用が可能となる。
を備えた超音波モータ付電子機器は、圧電振動子の振動
減衰を低減させる支持加圧構造を用い、また全体を小型
化することが可能となるため、時計の運針機構や日送り
機構をはじめとする小型で低消費電力な超音波モータ付
電子機器が実現できる。
ータは、移動体支持部材を用いた単純な構成で作製する
ことが可能であるため、支持加圧構造を含めた小型化が
可能である。
加圧を与えることにより、支持部材は、延出部の両側か
ら支持され、圧電振動子の振動を逃がさず保持し、振動
減衰を低減させることが可能で、モータの高効率化につ
ながる。
の幅を、圧電振動子が接合されていない部分の幅以下に
するため、接合部による圧電振動子の振動減衰も低減す
ることが可能となる。
ため、圧電振動子は支持部材の影響を受けず、振動子単
体の状態に近づけることが可能となり、圧電振動子の振
動の減衰を低減させる効果がある。
リニア型の超音波モータ両方への応用が可能となる。
いるため、移動体支持延出部の先端側に加圧を与えるこ
とにより、延出部の両側から支持され、駆動中も、圧電
振動子の振動を逃がさず保持し、振動の減衰を低減させ
ることが可能である。
波モータ付電子機器は、圧電振動子の振動減衰を低減さ
せる支持加圧構造を用い、また全体を小型化することが
可能となるため、例えば時計の運針機構や日送り機構の
ように小型で低電圧、低消費電力での駆動が必要な超音
波モータ付電子機器に応用することが可能となる。
る。
る。
る。
る。
る。
る。
る。
構成を示す図である。
の構成を示す図である。
ある。
ある。
構成を示す図である。
ある。
示す図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 圧電素子からなる圧電振動子と、前記圧
電振動子を支持する支持部材と、前記圧電振動子とに接
触して移動する移動体と、前記圧電振動子と前記移動体
とに圧力を与える加圧部材からなる超音波モータにおい
て、 前記支持部材は、前記圧電振動子との接合部と前記接合
部から延出する二つの延出部を備え、前記延出部の一方
を回転中心とし、前記圧電振動子が前記移動体に接触す
る様に可動し、 前記加圧部材は、前記延出部の他方の先端と、前記接合
部との間の少なくとも一点に対し加圧を与えることを特
徴とする超音波モータ。 - 【請求項2】 圧電素子からなる圧電振動子と、前記圧
電振動子を支持する支持部材と、前記圧電振動子とに接
触して移動する移動体と、前記圧電振動子と前記移動体
とに圧力を与える加圧部材からなる超音波モータにおい
て、 前記支持部材は、前記圧電振動子との接合部から延出す
る延出部と、前記延出部を回転中心として前記圧電振動
子が前記移動体に接触する様に可動し、前記加圧部材
は、前記圧電振動子の少なくとも一点に対し加圧を与え
ることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項3】 前記圧電振動子は矩形形状であることを
特徴とする請求項1乃至2記載の超音波モータ。 - 【請求項4】 前記圧電振動子は円板もしくは円環形状
であることを特徴とする請求項1乃至2記載の超音波モ
ータ。 - 【請求項5】 請求項1乃至2記載の超音波モータにお
いて、前記接合部の幅を、前記圧電振動子が接合されて
いない部分の前記支持部材の幅以下にすることを特徴と
する超音波モータ。 - 【請求項6】 請求項1乃至3記載の超音波モータにお
いて、前記延出部の前記圧電振動子が接合されていない
部分に、少なくとも一つの溝の入った切り欠き部を有す
ることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項7】 圧電素子からなる圧電振動子と、前記圧
電振動子を支持する支持部材と、前記圧電振動子とに接
触して移動する移動体と、前記移動体を支持する移動体
支持部材と、前記圧電振動子と前記移動体とに圧力を与
える加圧部材からなる超音波モータにおいて、 前記移動体支持部材は、前記移動体の回転中心軸を備
え、前記回転中心軸から延出する二つの延出部を備え、
前記延出部の一方を前記移動体が前記圧電振動子に接触
する様に可動し、 前記加圧部材は、前記延出部の他方の先端と、前記回転
中心軸との間の少なくとも一点に対し加圧を与えること
を特徴とする超音波モータ。 - 【請求項8】 請求項1乃至7のいずれかに記載の超音
波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付電子
機器。
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