JP2808573B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JP2808573B2 JP2808573B2 JP6286611A JP28661194A JP2808573B2 JP 2808573 B2 JP2808573 B2 JP 2808573B2 JP 6286611 A JP6286611 A JP 6286611A JP 28661194 A JP28661194 A JP 28661194A JP 2808573 B2 JP2808573 B2 JP 2808573B2
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- rotor
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波振動を利用した超
音波モータに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】電気−機械エネルギー変換素子に駆動信
号を印加することにより振動体に超音波振動が発生し、
その振動体の振動により振動体に圧接された移動体が移
動し、駆動力を得る超音波モータが知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】超音波モータにおいて
は、大きな駆動力を発生させ、かつ、この駆動力を移動
体から外部の機構に対して、振動の防振を行いながら効
果的に伝える方法が望まれていた。 【０００４】本発明は、上記課題を解決することを目的
とする。 【０００５】上記目的のために、本発明においては、電
気機械変換素子を備え、該電気機械変換素子に印加され
る駆動信号により振動を発生させる振動子と、前記振動
により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材
とを有し、前記振動子と前記相対運動部材とは、各々単
独に同一次数の共振振動を発生させた場合、前記振動子
の共振周波数と前記相対運動部材の共振周波数とが異な
り、かつ、前記振動子と前記相対運動部材とを組み合わ
せて振動させた場合、前記相対運動部材の振幅が前記振
動子の振幅よりも小さくなるように構成された超音波モ
ータを提供する。 【０００６】 【実施例】図１（Ａ）は本発明の実施例である超音波モ
ータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面
図、図２は前記超音波モータをユニット化した時の断面
図、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は前記超音波モータの回
転子の形状を示す構造図、図４は前記超音波モータの駆
動原理を示す説明図、図５は前記超音波モータの入力周
波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。 【０００７】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、
振動子としての固定子Ｓは、電気機械変換素子としての
圧電素子２とその圧電素子２に励振され進行波（表面
波）を生じる弾性体１とからなる。この固定子Ｓ上に、
弾性体１と圧接する相対運動部材としてのリング状回転
子３が設置され、この固定子Ｓとリング状回転子３とか
ら超音波モータが構成されている。このリング状回転子
３は、幅が一定の円環であり、その中心Ｏ’が固定子Ｓ
の中心Ｏに対して偏心するように設けられ、このリング
状回転子３は固定子Ｓの中心Ｏを回転中心として回動さ
れるように配置されている。この時、このリング状回転
子３は、固定された固定子Ｓ上を回動するが、固定子Ｓ
に対して任意の偏心量δでふれまわることになる。この
ように、回転子３の中心と固定子Ｓの中心とを偏心させ
回転子３を回動させると、図１（Ｂ）に示す断面図にお
いて、固定子Ｓの表面１ａ上を固定子Ｓと回転子３との
接触部１ｂが、回転子３の回動に伴って回転中心Ｏに対
して偏心量δの片振幅で単振動することになり、すなわ
ち、固定子Ｓの表面１ａ上で回転子３が接触している摩
擦接触面が、回転子３の回動により表面１ａ上を径方向
に偏心量δの範囲で移動して時々刻々と固定子Ｓとの接
触面が変化していることになる。従って、従来のよう
に、回転子３と固定子Ｓとの接触面が常に変わらずに摩
擦接触されているのとは違い、固定子３の表面１ａ上を
回転子３の接触面が時々刻々と移動するので、固定子Ｓ
の一ヶ所が摩耗により削られることがなく、固定子Ｓの
表面１ａ全体を効率良く使うことができるようになって
いる。この偏心量δは次に述べる条件を満足する範囲で
任意に決定される。 【０００８】この条件とは、回転子３が偏心して回動し
た場合に、常に固定子Ｓの表面上を回転子３のリングが
はみ出ずに回動するように設定することである。ここ
で、固定子Ｓの外径をＤ、内径をｄとし、回転子３の外
径をＤ’、内径をｄ’とし、固定子Ｓのリング幅をａ、
リング状回転子３のリング幅をｂとすると、条件として
は 【０００９】 【数１】 【００１０】であるように偏心量δを設定する。図２は
図１の超音波モータをユニットに構成した構造図であ
る。超音波モータは筒状のケース１０ａ及び１０ｂ内に
収められており、ケース１０ａの底に付勢手段（例えば
ゴム等の弾性部材）６を、その付勢手段の上に付勢手段
６の付勢力を均等に伝えるための円板５を、その円板５
の上に超音波モータの固定子Ｓの振動を吸振する保護用
緩衝材４ａを固設し、この保護用緩衝材４ａ上に超音波
モータの固定子Ｓを配設している。この固定子Ｓの中心
はケース１０ａ及び１０ｂの中心と一致するように配設
されている。この固定子Ｓの内径側には、ケース１０ａ
の内筒に固設されても超音波モータの振動をケース１０
ａに伝播させないように構成された支持部７を有してい
る。この支持部７は、固定子Ｓの内側から突出し、図２
に示すようにケース１０ａの内筒に嵌合するように筒状
に形成され、ケース１０ａに対して固定子３を位置決め
すると共に固定支持するものであり、固定子Ｓと一体に
形成されあるいは別部材で形成されていても良い。 【００１１】この固定子Ｓ上には中心が偏心量δだけ偏
心している回転子３が配設され、回転子３上にはその振
動を吸収する緩衝材４ｂが、更にその緩衝材４ｂ上にリ
ング部材８が固設されている。リング部材８は、回転子
３の回転をスムースに行わせる為のボールレース９を介
してケース１０ｂに配設されている。このリング部材８
は、ケース１０ａ及び１０ｂの中心が回転中心となるよ
うに、ケース１０ｂの中心と同心に設けされたガイド溝
を有し、そのガイド溝にケース１０ｂの中心を中心にし
て配設されたボールレース９がはまりこみ回転自在に構
成されている。即ち、このリング部材８の形状は、回転
子３に固設される側が偏心しており、ケース１０ｂと当
接する側が固定子Ｓの中心と一致する偏心リングとなっ
ている。 【００１２】従って、このユニット化された超音波モー
タから動力を取り出すには、超音波モータにより回動さ
れるリング部材８の動力を、このユニットを使う機器に
応じて適宜取り出せばよい、例えば、このユニットをカ
メラの撮影レンズ鏡筒に使えば絞り羽根の駆動やレンズ
の駆動等に使える。以上は本発明の一実施例として回転
子３の中心を固定子Ｓの中心に対して偏心させた場合に
ついて述べたが、これ以外にも図３（Ａ）及び図３
（Ｂ）に示すリング状回転子が考えられる。図３（Ａ）
に示すように、リング状回転子３１は、外径と内径との
中心を偏心させたリング状に構成しても良い。また、図
３（Ｂ）に示すように、リング状回転子３２は、楕円形
状に構成しても良い。 【００１３】図４は固定子Ｓと回転子３との動作原理を
示したもので、固定子Ｓは圧電素子２によって屈曲振動
を起こし、表面に進行波を生じている。この時、固定子
Ｓの進行波は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は楕
円運動をしている。この固定子Ｓに回転子３を圧接した
場合、回転子３は固定子Ｓによって表面波を生じ、その
進行方向は矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は同
様に楕円運動を行う。ここで、固定子Ｓ及び回転子３は
その材質及び形状により表面波を発生させる振動の振幅
が変化し、固定子及び回転子の振幅を次の３つの場合に
ついて考える。 【００１４】第一に、固定子Ｓの振幅ＡS が回転子３の
振幅Ａ3 より大きい場合は、即ち図４の状態では固定子
Ｓと回転子３との接触は、固定子Ｓの波の山と回転子３
の波の谷とになる。即ち、図４からも明らかなように、
固定子Ｓの波の山と回転子３の波の谷とを接触点とする
ように固定子Ｓと回転子３との屈曲固有振動を同一次数
にしている。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触
点においてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱ１の運動が反対
方向となり、超音波モータの駆動力は大きくなる。 【００１５】第二に、固定子Ｓの振幅ＡS と回転子３の
振幅Ａ3 とが等しい場合は、固定子Ｓと回転子３とが全
面で接触することになる。この場合は、固定子Ｓの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、固定子Ｓの振幅ＡS が回
転子３の振幅Ａ3 より小さい場合は、固定子Ｓと回転子
３との接触は、固定子Ｓの波の谷と回転子３の波の山と
になる。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱ１の運動が反対方向
となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図４の運
動方向とは逆方向となる。 【００１６】固定子Ｓと回転子３との防振を考えた場
合、回転子３はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、固定子Ｓに比べて防振を行ないずらくなっている。
従って、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第三
の場合との何方を選択するかを考えると、回転子３の振
幅Ａ3 が固定子Ｓの振幅ＡS より小さくなる第一の場合
の方がより良いことになる。そこで、回転子３の振幅Ａ
3 が固定子Ｓの振幅ＡSより小さする方法を以下に示
す。 【００１７】図５は、固定子Ｓの共振周波数をｆS 、回
転子３の共振周波数をｆ3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
固定子Ｓと回転子３との振幅は同一振幅であると仮定す
る。固定子Ｓの共振周波数ｆ S で回転子３が振動させら
れる状態では回転子３の振幅Ａ3 が固定子Ｓの振幅Ａ S
より小さくなる。従って、固定子Ｓの振幅を１とした場
合に、回転子３の振幅Ａ3 が所望される大きさ１／Ｘと
なるように、回転子３の共振周波数ｆ3 を決定するよう
に設計すれば良い。 【００１８】 【発明の効果】本発明においては、振動子に発生する運
動と反対向きの運動が相対運動部材に発生するので、超
音波モータの駆動力が大きくなる。また、相対運動部材
の振幅が振動子の振幅よりも小さくなるようにしたの
で、相対運動部材の防振は、小さな振幅に対して行えば
よく、より容易になる。
音波モータに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】電気−機械エネルギー変換素子に駆動信
号を印加することにより振動体に超音波振動が発生し、
その振動体の振動により振動体に圧接された移動体が移
動し、駆動力を得る超音波モータが知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】超音波モータにおいて
は、大きな駆動力を発生させ、かつ、この駆動力を移動
体から外部の機構に対して、振動の防振を行いながら効
果的に伝える方法が望まれていた。 【０００４】本発明は、上記課題を解決することを目的
とする。 【０００５】上記目的のために、本発明においては、電
気機械変換素子を備え、該電気機械変換素子に印加され
る駆動信号により振動を発生させる振動子と、前記振動
により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材
とを有し、前記振動子と前記相対運動部材とは、各々単
独に同一次数の共振振動を発生させた場合、前記振動子
の共振周波数と前記相対運動部材の共振周波数とが異な
り、かつ、前記振動子と前記相対運動部材とを組み合わ
せて振動させた場合、前記相対運動部材の振幅が前記振
動子の振幅よりも小さくなるように構成された超音波モ
ータを提供する。 【０００６】 【実施例】図１（Ａ）は本発明の実施例である超音波モ
ータの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面
図、図２は前記超音波モータをユニット化した時の断面
図、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は前記超音波モータの回
転子の形状を示す構造図、図４は前記超音波モータの駆
動原理を示す説明図、図５は前記超音波モータの入力周
波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。 【０００７】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、
振動子としての固定子Ｓは、電気機械変換素子としての
圧電素子２とその圧電素子２に励振され進行波（表面
波）を生じる弾性体１とからなる。この固定子Ｓ上に、
弾性体１と圧接する相対運動部材としてのリング状回転
子３が設置され、この固定子Ｓとリング状回転子３とか
ら超音波モータが構成されている。このリング状回転子
３は、幅が一定の円環であり、その中心Ｏ’が固定子Ｓ
の中心Ｏに対して偏心するように設けられ、このリング
状回転子３は固定子Ｓの中心Ｏを回転中心として回動さ
れるように配置されている。この時、このリング状回転
子３は、固定された固定子Ｓ上を回動するが、固定子Ｓ
に対して任意の偏心量δでふれまわることになる。この
ように、回転子３の中心と固定子Ｓの中心とを偏心させ
回転子３を回動させると、図１（Ｂ）に示す断面図にお
いて、固定子Ｓの表面１ａ上を固定子Ｓと回転子３との
接触部１ｂが、回転子３の回動に伴って回転中心Ｏに対
して偏心量δの片振幅で単振動することになり、すなわ
ち、固定子Ｓの表面１ａ上で回転子３が接触している摩
擦接触面が、回転子３の回動により表面１ａ上を径方向
に偏心量δの範囲で移動して時々刻々と固定子Ｓとの接
触面が変化していることになる。従って、従来のよう
に、回転子３と固定子Ｓとの接触面が常に変わらずに摩
擦接触されているのとは違い、固定子３の表面１ａ上を
回転子３の接触面が時々刻々と移動するので、固定子Ｓ
の一ヶ所が摩耗により削られることがなく、固定子Ｓの
表面１ａ全体を効率良く使うことができるようになって
いる。この偏心量δは次に述べる条件を満足する範囲で
任意に決定される。 【０００８】この条件とは、回転子３が偏心して回動し
た場合に、常に固定子Ｓの表面上を回転子３のリングが
はみ出ずに回動するように設定することである。ここ
で、固定子Ｓの外径をＤ、内径をｄとし、回転子３の外
径をＤ’、内径をｄ’とし、固定子Ｓのリング幅をａ、
リング状回転子３のリング幅をｂとすると、条件として
は 【０００９】 【数１】 【００１０】であるように偏心量δを設定する。図２は
図１の超音波モータをユニットに構成した構造図であ
る。超音波モータは筒状のケース１０ａ及び１０ｂ内に
収められており、ケース１０ａの底に付勢手段（例えば
ゴム等の弾性部材）６を、その付勢手段の上に付勢手段
６の付勢力を均等に伝えるための円板５を、その円板５
の上に超音波モータの固定子Ｓの振動を吸振する保護用
緩衝材４ａを固設し、この保護用緩衝材４ａ上に超音波
モータの固定子Ｓを配設している。この固定子Ｓの中心
はケース１０ａ及び１０ｂの中心と一致するように配設
されている。この固定子Ｓの内径側には、ケース１０ａ
の内筒に固設されても超音波モータの振動をケース１０
ａに伝播させないように構成された支持部７を有してい
る。この支持部７は、固定子Ｓの内側から突出し、図２
に示すようにケース１０ａの内筒に嵌合するように筒状
に形成され、ケース１０ａに対して固定子３を位置決め
すると共に固定支持するものであり、固定子Ｓと一体に
形成されあるいは別部材で形成されていても良い。 【００１１】この固定子Ｓ上には中心が偏心量δだけ偏
心している回転子３が配設され、回転子３上にはその振
動を吸収する緩衝材４ｂが、更にその緩衝材４ｂ上にリ
ング部材８が固設されている。リング部材８は、回転子
３の回転をスムースに行わせる為のボールレース９を介
してケース１０ｂに配設されている。このリング部材８
は、ケース１０ａ及び１０ｂの中心が回転中心となるよ
うに、ケース１０ｂの中心と同心に設けされたガイド溝
を有し、そのガイド溝にケース１０ｂの中心を中心にし
て配設されたボールレース９がはまりこみ回転自在に構
成されている。即ち、このリング部材８の形状は、回転
子３に固設される側が偏心しており、ケース１０ｂと当
接する側が固定子Ｓの中心と一致する偏心リングとなっ
ている。 【００１２】従って、このユニット化された超音波モー
タから動力を取り出すには、超音波モータにより回動さ
れるリング部材８の動力を、このユニットを使う機器に
応じて適宜取り出せばよい、例えば、このユニットをカ
メラの撮影レンズ鏡筒に使えば絞り羽根の駆動やレンズ
の駆動等に使える。以上は本発明の一実施例として回転
子３の中心を固定子Ｓの中心に対して偏心させた場合に
ついて述べたが、これ以外にも図３（Ａ）及び図３
（Ｂ）に示すリング状回転子が考えられる。図３（Ａ）
に示すように、リング状回転子３１は、外径と内径との
中心を偏心させたリング状に構成しても良い。また、図
３（Ｂ）に示すように、リング状回転子３２は、楕円形
状に構成しても良い。 【００１３】図４は固定子Ｓと回転子３との動作原理を
示したもので、固定子Ｓは圧電素子２によって屈曲振動
を起こし、表面に進行波を生じている。この時、固定子
Ｓの進行波は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は楕
円運動をしている。この固定子Ｓに回転子３を圧接した
場合、回転子３は固定子Ｓによって表面波を生じ、その
進行方向は矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は同
様に楕円運動を行う。ここで、固定子Ｓ及び回転子３は
その材質及び形状により表面波を発生させる振動の振幅
が変化し、固定子及び回転子の振幅を次の３つの場合に
ついて考える。 【００１４】第一に、固定子Ｓの振幅ＡS が回転子３の
振幅Ａ3 より大きい場合は、即ち図４の状態では固定子
Ｓと回転子３との接触は、固定子Ｓの波の山と回転子３
の波の谷とになる。即ち、図４からも明らかなように、
固定子Ｓの波の山と回転子３の波の谷とを接触点とする
ように固定子Ｓと回転子３との屈曲固有振動を同一次数
にしている。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触
点においてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱ１の運動が反対
方向となり、超音波モータの駆動力は大きくなる。 【００１５】第二に、固定子Ｓの振幅ＡS と回転子３の
振幅Ａ3 とが等しい場合は、固定子Ｓと回転子３とが全
面で接触することになる。この場合は、固定子Ｓの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、固定子Ｓの振幅ＡS が回
転子３の振幅Ａ3 より小さい場合は、固定子Ｓと回転子
３との接触は、固定子Ｓの波の谷と回転子３の波の山と
になる。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱ１の運動が反対方向
となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図４の運
動方向とは逆方向となる。 【００１６】固定子Ｓと回転子３との防振を考えた場
合、回転子３はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、固定子Ｓに比べて防振を行ないずらくなっている。
従って、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第三
の場合との何方を選択するかを考えると、回転子３の振
幅Ａ3 が固定子Ｓの振幅ＡS より小さくなる第一の場合
の方がより良いことになる。そこで、回転子３の振幅Ａ
3 が固定子Ｓの振幅ＡSより小さする方法を以下に示
す。 【００１７】図５は、固定子Ｓの共振周波数をｆS 、回
転子３の共振周波数をｆ3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
固定子Ｓと回転子３との振幅は同一振幅であると仮定す
る。固定子Ｓの共振周波数ｆ S で回転子３が振動させら
れる状態では回転子３の振幅Ａ3 が固定子Ｓの振幅Ａ S
より小さくなる。従って、固定子Ｓの振幅を１とした場
合に、回転子３の振幅Ａ3 が所望される大きさ１／Ｘと
なるように、回転子３の共振周波数ｆ3 を決定するよう
に設計すれば良い。 【００１８】 【発明の効果】本発明においては、振動子に発生する運
動と反対向きの運動が相対運動部材に発生するので、超
音波モータの駆動力が大きくなる。また、相対運動部材
の振幅が振動子の振幅よりも小さくなるようにしたの
で、相対運動部材の防振は、小さな振幅に対して行えば
よく、より容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は本発明の実施例である超音波モー
タの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面図。 【図２】超音波モータをユニット化した時の断面図。 【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は前記超音波モータ
の回転子の形状を示す構造図 【図４】超音波モータの駆動原理を示す説明図 【図５】超音波モータの入力周波数と振幅との特性曲線
を示すグラフ 【符号の説明】 １・・・弾性体 ２・・・圧電素子 ３，３１，３２・・・回転子 Ｓ・・・固定子
タの平面図、図１（Ｂ）は前記超音波モータの断面図。 【図２】超音波モータをユニット化した時の断面図。 【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は前記超音波モータ
の回転子の形状を示す構造図 【図４】超音波モータの駆動原理を示す説明図 【図５】超音波モータの入力周波数と振幅との特性曲線
を示すグラフ 【符号の説明】 １・・・弾性体 ２・・・圧電素子 ３，３１，３２・・・回転子 Ｓ・・・固定子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 袴田 和男
東京都品川区西大井１丁目６番３号 株
式会社ニコン大井製作所内
(56)参考文献 特開 昭61−102177（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．電気機械変換素子を備え、該電気機械変換素子に印
加される駆動信号により振動を発生させる振動子と、 前記振動により前記振動子との間で相対運動を行う相対
運動部材とを有し、 前記振動子と前記相対運動部材とは、各々単独に同一次
数の共振振動を発生させた場合、前記振動子の共振周波
数と前記相対運動部材の共振周波数とが異なり、かつ、
前記振動子と前記相対運動部材とを組み合わせて振動さ
せた場合、前記相対運動部材の振幅が前記振動子の振幅
よりも小さくなるように構成されていることを特徴とす
る超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286611A JP2808573B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286611A JP2808573B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169520A Division JPH0744849B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07322656A JPH07322656A (ja) | 1995-12-08 |
| JP2808573B2 true JP2808573B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17706658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6286611A Expired - Lifetime JP2808573B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808573B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61102177A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-20 | Shinsei Kogyo:Kk | 表面波駆動モ−タ− |
-
1994
- 1994-11-21 JP JP6286611A patent/JP2808573B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07322656A (ja) | 1995-12-08 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |