JP2003329617A5

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Publication number: JP2003329617A5
Application number: JP2002186332A
Authority: JP
Filing date: 2002-06-26
Publication date: 2005-10-20
Anticipated expiration: 2022-06-26

Claims

単色平行電磁波または粒子線を物体に照射し、物体からの電磁波または粒子線を、結晶分析体に入射させ、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線によって物体内の像を得る非破壊分析方法であって、
予め、結晶分析体の厚さ、または、単色平行電磁波または粒子線の波長を、結晶分析体の動力学的回折作用によって得られる、前方方向または透過方向回折単色平行電磁波または粒子線、または回折方向回折単色平行電磁波または粒子線、または反射方向回折単色平行電磁波または粒子線のいずれか一方の強度が、いずれか他方の強度に比較して、単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない強度となるようにしておき、
この結晶分析体に物体からの電磁波または粒子線を入射させ、単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない方向に、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線による物体からの暗視野画像を得ることを特徴とする非破壊分析方法。
単色平行電磁波または粒子線を物体に照射し、物体からの電磁波または粒子線を、結晶分析体に入射させ、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線によって物体内の像を得る非破壊分析装置であって、
結晶分析体を透過型結晶分析体としたとき、予め、透過型結晶分析体の厚さ、または、単色平行電磁波または粒子線の波長を、透過型結晶分析体の動力学的回折作用によって得られる前方方向回折単色平行電磁波または粒子線および回折方向回折単色平行電磁波または粒子線のいずれか一方の強度が、いずれか他方の強度に比較して単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない強度となるようにしておき、
この透過型結晶分析体に物体からの電磁波または粒子線を入射させ、単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない方向に、物体からの暗視野画像を得ることと、単色平行電磁波または粒子線の影響のある方向に、物体からの明視野画像を得ることとにより、透過型結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線による物体からの暗視野画像および明視野画像のいずれか一方または両方を得ることを特徴とする非破壊分析装置。
単色平行電磁波または粒子線を物体に照射し、物体からの電磁波または粒子線を、結晶分析体に入射させ、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線によって物体内の像を得る非破壊分析装置であって、
結晶分析体を反射型結晶分析体としたとき、予め、反射型結晶分析体の動力学的回折作用によって反射方向の単色平行電磁波または粒子線をブッラク反射する角度とするととともに、反射型結晶分析体の厚さを透過方向の単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない物体からの電磁波または粒子線の強度が得られるようにしておき、
この反射型結晶分析体に物体からの電磁波または粒子線を入射させ、単色平行電磁波または粒子線を反射させ、単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない透過方向に、反射型結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線による物体からの暗視野画像を得ることを特徴とする非破壊分析装置。
単色平行電磁波または粒子線を物体に照射し、物体からの電磁波または粒子線を結晶分析体に入射させ、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線によって物体内の像を得る非破壊分析装置であって、
結晶分析体の動力学的回折作用によって得られる前方方向回折単色平行電磁波または粒子線および回折方向回折単色平行電磁波または粒子線のいずれか一方の強度が、いずれか他方の強度に比較して単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない強度となるような結晶分析体の厚さ、または単色平行電磁波または粒子線の波長条件、および、結晶分析体において得られる反射方向の単色平行電磁波または粒子線をブッラク反射する角度とするとともに、透過方向の単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない、物体からの電磁波または粒子線の強度が得られるような結晶分析体の厚さ条件の両方を満足したものとすることで、前記結晶分析体を透過型および反射型結晶分析体として使用可能であり、
透過型結晶分析体の場合では、透過型結晶分析体から単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない方向に、物体からの暗視野画像を得ることと、単色平行電磁波または粒子線の影響のある方向に、物体からの明視野画像を得ることとにより、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線による物体からの暗視野画像および明視野画像のいずれか一方または両方が得られ、
反射型結晶分析体の場合では、反射型結晶分析体から単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない透過方向に、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線による物体からの暗視野画像が得られることを特徴とする非破壊分析装置。
単色平行電磁波または粒子線を物体に照射し、物体からの電磁波または粒子線を、結晶分析体に入射させ、結晶分析体から発せられる電磁波または粒子線によって物体内の像を得る非破壊分析装置であって、
結晶分析体を透過型結晶分析体としたとき、予め、物体がないときに、透過型結晶分析体の動力学的回折作用によって得られる前方方向回折単色平行電磁波または粒子線および回折方向回折単色平行電磁波または粒子線のいずれか一方の強度が、いずれか他方の強度に比較して単色平行電磁波または粒子線の影響の少ない強度となるような透過型結晶分析体の厚さが周期的に表れる形状とされており、且つ、当該透過型結晶分析体の出力側にスリットが設けられており、
前記透過型結晶分析体に、物体からの電磁波または粒子線を入射させる際に透過型結晶分析体およびスリットを移動させる、または物体を移動させることにより、得られた複数のスリット状態の画像を合成することにより、物体からの暗視野画像および明視野画像のいずれか一方または両方が得られることを特徴とする非破壊分析装置。
結晶分析体が非対称の結晶分析体であることを特徴とする請求項２、ないし５のいずれかの非破壊分析装置。
電磁波または粒子線源からの電磁波または粒子線を単色平行化する手段を備えたことを特徴とする請求項２、ないし６のいずれかの非破壊分析装置。
電磁波または粒子線を単色平行化する手段が対称または非対称モノクロメータであることを特徴とする請求項７の非破壊分析装置。
単色平行化する手段の原子面と透過型結晶分析体または反射型結晶分析体の原子面とが互いに平行であることを特徴とする請求項２、ないし８の非破壊分析装置。
物体からの電磁波または粒子線を、１枚ないし複数枚からなる非対称モノクロメータを経て透過型結晶分析体または反射型結晶分析体に入射させることを特徴とする請求項２、ないし９のいずれかの非破壊分析装置。
透過型結晶分析体または反射型結晶分析体から得られる暗視野画像および明視野画像のいずれか一方または両方を、１枚ないし複数枚からなる非対称モノクロメータを経て出力することを特徴とする請求項２、ないし１０のいずれかの非破壊分析装置。
暗視野画像および明視野画像のいずれか一方または両方を検出する電磁波または粒子線検出装置と、電磁波または粒子線検出装置による検出データを用いて画像を生成する画像処理装置とを備えたことを特徴とする請求項２、ないし１１のいずれかの非破壊分析装置。
電磁波または粒子線検出装置が２次元検出器またはラインセンサー１次元検出器であることを特徴とする請求項１１の非破壊分析装置。
画像処理装置によって、暗視野断層画像および明視野断層画像のいずれか一方または両方、あるいは暗視野立体画像および明視野立体画像のいずれか一方または両方を生成可能となっていることを特徴とする請求項１２の非破壊分析装置。
請求項２、ないし１４のいずれかの非破壊分析装置において、電磁波または粒子線として、Ｘ線、中性子線等が用いられることを特徴とする非破壊分析装置。