DE112010004336T5

DE112010004336T5 - Haltevorrichtung

Info

Publication number: DE112010004336T5
Application number: DE112010004336T
Authority: DE
Inventors: Shigeaki NAITOH
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2009-11-10
Filing date: 2010-11-05
Publication date: 2012-12-06
Anticipated expiration: 2030-11-06
Also published as: US8294121B2; US20110108740A1; DE112010004336B4; JPWO2011059044A1; WO2011059044A1; JP5368578B2

Abstract

Haltevorrichtungen 100a und 100b gemäß der vorliegenden Erfindung beinhalten Fixieroberflächen 102a und 102b in derselben Form wie Endoberflächen 1c und 1d eines Prüfobjekts 1, welches gemessen werden soll während eine zu messende elektromagnetischen Welle mit einer Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz auf das Prüfobjekt 1 eingestrahlt wird. Die Endoberflächen 1c und 1d werden an den Fixieroberflächen 102a und 102b befestigt. Wenn der Brechungsindex der Haltevorrichtungen 100a und 100b n0 ist und ein Brechungsindex des Prüfobjekts 1 n1 ist, gilt eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1. Die Haltevorrichtungen 100a und 100b bedecken keine Seitenoberfläche 1e des Prüfobjekts 1. Die Haltevorrichtungen 100a und 100b werden um eine gerade Linie A als Rotationsachse herum rotiert, welche orthogonal zu den Fixieroberflächen 102a und 102b ist.

Description

Haltevorrichtung
TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft die Tomographie unter Verwendung einer elektromagnetischen Welle (deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) (wie z. B. eine Terahertzwelle (deren Frequenz ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz ist)).
TECHNISCHER HINTERGRUND
Die Computertomographie (computed tomography, CT), ist als ein Verfahren zum Erlangen tomographischer Informationen über ein Prüfobjekt gemeinhin bekannt. Dieses Verfahren wird Röntgenstrahlen-CT genannt, wenn das Verfahren ausgeführt wird, während ein Generator und ein Detektor für Röntgenstrahlen verwendet werden. Mit der Röntgenstrahlen-CT ist es möglich tomographische Informationen über einen menschlichen Körper in einer nicht-zerstörenden und nicht-berührenden Art zu erlangen.
Jedoch ist es schwierig für die Röntgenstrahlen-CT interne Zustände (wie z. B. Defekte und Abweichungen) von industriellen Produkten zu detektieren, welche aus Halbleitern, Kunststoffen, Keramiken, Hölzern und Papieren (bezeichnet als „Rohmaterialien”) aufgebaut sind. Dies liegt daran, dass die Röntgenstrahlen eine hohe Übertragungseigenschaft bei beliebigen Materialien aufweisen.
Auf der anderen Seite pflanzt sich die Terahertzwelle geeignet durch die Rohmaterialien der industriellen Produkte, wie sie oben beschrieben wurden, hindurch fort. Daher wird die CT ausgeführt, während ein Generator und ein Detektor für die Terahertzwelle verwendet werden (im Folgenden: „Terahertz-CT” bezeichnet), welche interne Zustände der industriellen Produkte detektieren kann. Patent Dokument 1 und nicht-Patent Dokument 1 beschreiben die Terahertz-CT.
(Patent Dokument 1) US-Patent Nr.: 7,119,339
(Nicht-Patent Dokument 1) S. Wang et al., „Pulsed terahertz tomography", J. Phys. D, Vol 37 (2004), R1–R36
Zusammenfassung der Erfindung
Jedoch wird die Terahertzwelle gemäß der Terahertz-CT gebrochen, sodass sich diese nicht geradlinig fortpflanzt, wenn die Teraherzwelle schief auf das Prüfobjekt einfällt oder schief von dem Prüfobjekt emittiert wird. Bei dieser Gelegenheit wird davon ausgegangen, dass der Brechungsindex, der das Prüfobjekt umgebenden Luft 1 ist und der Brechungsindex des Prüfobjekts für die Terahertz-CT größer als 1 ist.
20 zeigt erwartete Strahlengänge der Teraherzwelle, wenn der Brechungsindex eines gewöhnlichen Prüfobjekts 1, 4 ist und der Brechungsindex der das Prüfobjekt umgebenden Luft 1 ist. In Bezug auf 20 wird gesehen, dass die Terahertzwelle von der linken Seite des Prüfobjekts (device under test, DUT) einfällt und vom dem DUT gebrochen wird.
Aufgrund der Tatsache, dass die Terahertzwelle sich nicht geradlinig fortpflanzt, kann die Terahertzwelle einen Detektor nicht erreichen und ein Bild des DUT kann daher nicht mit einer genügenden Empfindlichkeit erlangt werden.
Des Weiteren aufgrund der Tatsache, dass sich die Terahertzwelle nicht geradlinig fortpflanzt, kann sich eine detektierte Terahertzwelle nicht geradlinig durch das DUT vor der Ankunft fortgepflanzt haben. Daher können Artefakte wie z. B. behindernde Schatten und Pseudobilder auf dem Bild auftreten, wenn ein Bild des Prüfobjekts von der detektierten Terahertzwelle erlangt wird.
Daher ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Haltevorrichtung für das DUT bereitzustellen, welche gemeinsam mit einem Behälter zum Lagern des DUT verwendet werden kann, um eine Beeinträchtigung zu beschränken, welche von einer Brechung der elektromagnetischen Welle einschließlich der Terahertzwelle durch das DUT verursacht wird, wenn eine elektromagnetische Welle (deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) einschließlich der Terahertzwelle einem DUT zur Messung zugeführt wird.
Eine Haltevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Fixieroberfläche in derselben Form wie eine Endoberfläche eines Prüfobjekts, welches durch das Ausstrahlen einer zu messenden elektromagnetischen Welle auf das Prüfobjekt gemessen wird, welche eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, wobei: die Endoberfläche an der Fixieroberfläche befestigt ist; eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n0 einen Brechungsindex der Haltevorrichtung bezeichnet und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts bezeichnet; und die Haltevorrichtung keine Seitenoberfläche des Prüfobjekts bedeckt.
Die Endoberfläche wird an der Fixieroberfläche gemäß der so konstruierten Haltevorrichtung befestigt, welche eine Fixieroberfläche in derselben Form wie eine Endoberfläche eines Prüfobjekts umfasst, welches durch das Ausstrahlen einer zu messenden elektromagnetischen Welle auf das Prüfobjekt gemessen wird, welche eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt. Es gilt eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1, wobei n0 einen Brechungsindex der Haltevorrichtung bezeichnet und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts. Die Haltevorrichtung bedeckt keine Seitenoberfläche des Prüfobjekts.
Gemäß der vorliegender Erfindung kann die Haltevorrichtung um eine gerade Linie als eine Achse, welche orthogonal zu der Befestigungsoberfläche ist, rotiert werden.
Eine Laufrichtung der zu messenden elektromagnetischen Welle kann gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung orthogonal zu der Geraden sein.
Die Endoberfläche gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann an der Fixieroberfläche fixiert werden, indem die Fixieroberfläche gegen die Endoberfläche gepresst wird.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung können zwei Haltevorrichtungen vorhanden sein; das Prüfobjekt kann zwei Endoberflächen aufweisen, welche parallel zueinander sind; und die zwei Haltevorrichtungen können gegen die beiden Endoberflächen gepresst werden.
Die Endoberfläche gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann an der Fixieroberfläche fixiert werden, indem die Fixieroberfläche an die Endoberfläche angeklebt wird.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann mindestens ein Teil des Prüfobjekts in einem Behälter untergebracht sein; der Behälter kann aufweisen: einen Spaltteil, welcher innerhalb des mindestens einen Teils des Prüfobjekts angeordnet ist, und einen Einhausungsteil, welcher ein erstes gebogenes Oberflächenteil und ein zweites gebogenes Oberflächenteil beinhaltet, und den Spaltteil zwischen dem ersten gebogen Oberflächenteil und dem zweiten gebogenen Oberflächenteil anordnet, wobei der Spaltteil umschlossen wird; der Brechungsindex n2 des Einhausungsteils kann kleiner sein als der Brechungsindex n1 des Prüfobjekts und sowohl das erste gebogene Oberflächenteil als auch das zweite gebogene Oberflächenteil können konkave Oberflächen sein.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann zumindest ein Teil des Prüfobjekts in einem Behälter untergebracht sein; der Behälter kann aufweisen: einen Spaltteil, welcher im Inneren zumindest einen Teil des Prüfobjekts anordnet, und einen Einhausungsteil, welcher einen ersten gebogenen Oberflächenteil und einen zweiten gebogenen Oberflächenteil aufweist und den Spaltteil zwischen dem ersten gebogenen Oberflächenteil und dem zweiten gebogenen Oberflächenteil anordnet, wobei der Spaltteil umschlossen wird; der Brechungsindex n2 des Einhausungsteils kann kleiner als der Brechungsindex n1 des Prüfobjekts sein; und sowohl der erste gebogene Oberflächenteil als auch der zweite gebogene Oberflächenteil können konkave Oberflächen sein.
Eine Kontur einer ebenen Form des Spaltteils des Behälters gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann einen Bogen beinhalten.
Mindestens ein Teil des Prüfobjekts gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung kann in dem Behälter untergebracht sein; der Behälter kann aufweisen: einen ersten Abdeckteil, welcher einen ersten gebogenen Oberflächenteil, welcher die zu messende elektromagnetische Welle empfängt, und einen ersten konkaven Oberflächenteil, welcher näher an dem Prüfobjekt angeordnet ist, als der erste gebogene Oberflächenteil, und durch welchen sich die zu messende elektromagnetische Welle fortpflanzt, und einen Brechungsindex n2a aufweist, und einen zweiten Abdeckteil, welcher einen zweiten konkaven Oberflächenteil aufweist, welcher die zu messende elektromagnetische Welle empfängt, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und einen zweiten Oberflächenteil aufweist, welcher von dem Prüfobjekt weiter entfernt angeordnet ist als der zweite konkave Oberflächenteil, und durch welchen sich die zu messende elektromagnetische Welle hindurch fortpflanzt und einen Brechungsindex n2b aufweist; und wenn ein Brechungsindex des Prüfobjekts n1 ist, kann der erste gebogene Oberflächenteil eine konvexe Oberfläche sein, wenn n2a größer ist als n1, der erste gebogene Oberflächenteil kann eine konkave Oberfläche sein, wenn n2a kleiner ist als n1, der zweite gebogene Oberflächenteil kann eine konvexe Oberfläche sein, wenn n2b größer ist als n1, und der zweite gebogene Oberflächenteil kann eine konkave Oberfläche sein, wenn n2b kleiner ist als n1.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung können sich n2a und n2b des Behälters voneinander unterscheiden.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung können sich ein Krümmungsradius einer ebenen Form des ersten gebogenen Oberflächenteils des Behälters und ein Krümmungsradius einer ebenen Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils des Behälters voneinander unterscheiden.
Gemäß der Haltevorrichtung der vorliegenden Erfindung können die Konturen der ebenen Formen des ersten konkaven Oberflächenteils und des zweiten konkaven Oberflächenteils des Behälters einen Bogen beinhalten.
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
1(a) bis 1(c) sind Ansichten eines Behälters 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 1(a) eine Draufsicht ist, 1(b) eine linke Seitenansicht und 1(c) eine rechte Seitenansicht;
2 ist eine Draufsicht auf einen Zustand, in welchem zumindest ein Teil des Prüfobjekts (device under test, DUT) 1 in dem Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung untergebracht ist und eine Terahertzwelle auf den Behälter 10 eingestrahlt wird.
3 ist eine vergrößerte Draufsicht des DUT 1 und des Spaltteils 11, wenn mindestens ein Teil des DUT in dem Behälter 10 untergebracht ist;
4 ist eine Draufsicht des Behälters 10, welcher die vergrößerte Umgebung der Strahlengänge P1, P2 und P3 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
5(a) bis 5(c) sind Ansichten des Behälters 10 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 5(a) eine Draufsicht ist, 5(b) eine linke Seitenansicht ist, und 5(c) eine rechte Seitenansicht ist;
6 ist eine Draufsicht auf einen Zustand, in welchem mindestens ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung untergebracht ist und eine Terahertzwelle auf den Behälter 10 eingestrahlt wird;
7 ist eine Draufsicht des Behälters 10, welcher eine vergrößerte Umgebung der Strahlengänge P1, P2 und P3 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
8(a) und 8(b) sind Draufsichten des Behälters 10 gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
9(a) und 9(b) zeigen Abwandlungen der dritten Ausführungsform.
10(a) und 10(b) sind Vorderansichten des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts gemäß der vierten Ausführungsform; 11(a) bis 11(d) sind Ansichten der Haltevorrichtungen 100a und des DUT 1, wobei 11(a) eine Vorderansicht der Haltevorrichtung 100a ist, 11(b) eine Unteransicht (bottom view) der Haltevorrichtung 100a ist, 11(c) eine Draufsicht des DUT 1 ist und 11(d) eine Vorderansicht des DUT 1 ist;
12(a) bis 12(d) sind Ansichten des DUT 1 und der Haltevorrichtung 100b, wobei 12(a) eine Vorderansicht des DUT 1 ist, 12(b) eine Unteransicht (bottom view) des DUT 1 ist, 12(c) eine Draufsicht der Haltevorrichtung 100b ist und 12(d) eine Vorderansicht der Haltevorrichtung 100b ist;
13(a) und 13(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellen-Messgeräts, wenn der Behälter 10 und das DUT 1 in der X-Richtung bewegt werden.
14(a) und 14(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellen-Messgeräts, wenn das DUT 1 um die Gerade A als eine Rotationsachse herum rotiert, welche sich vertikal (in der Z-Richtung) ausdehnt;
15(a) ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in dem Fall, in welchem die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle leicht unterhalb der Endoberfläche 1d des DUT 1 bewegt werden und 15(b) ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in dem Fall, in welchem die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle leicht oberhalb der Endoberfläche 1c des DUT 1 bewegt werden;
16 ist eine ebene Querschnittsansicht des Behälters 10 und der Haltevorrichtung 100a der 15(a) und 15(b);
17 ist eine ebene Querschnittsansicht des Behälters 10 in einem Vergleichsbeispiel unter der Voraussetzung, dass die Haltevorrichtung 100a in 15(b) nicht vorhanden ist;
18 ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in einem Vergleichsbeispiel unter der Voraussetzung, dass die Seitenoberfläche 1e des DUT 1 von den Haltevorrichtungen 100a und 100b in 10(a) und 10(b) bedeckt ist;
19 ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts gemäß einer Abwandlung der vierten Ausführungsform; und
20 zeigt geschätzte Strahlengänge der Terahertzwellen, wenn der Brechungsindex eines konventionellen Prüfobjekts 1, 4 ist und der Brechungsindex der das Prüfobjekt umgebenden Luft 1 ist.
ART UND WEISE DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nun wird eine Beschreibung der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Figuren gegeben.
Erste Ausführungsform
1(a) bis 1(c) sind Ansichten eines Behälters 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 1(a) eine Draufsicht ist, 1(b) eine linke Seitenansicht ist und 1(c) eine rechte Seitenansicht ist. 2 ist eine Draufsicht auf einen Zustand, in welchem mindestens ein Teil des Prüfobjekts (device under test, DUT) 1 in dem Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung untergebracht ist und eine Terahertzwelle auf den Behälter 10 eingestrahlt wird.
In Bezug auf 2 beinhaltet ein Terahertzwellen-Messgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) ein Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und einen Terahertzwellen-Detektor 4. Das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 gibt eine Terahertzwelle in Richtung des DUT 1 ab. Der Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert die Terahertzwelle, welche durch das DUT 1 und den Behälter 10 hindurch übertragen wurde.
Es soll angemerkt werden, dass das Terahertzwellen-Messgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) die Terahertzwelle (deren Frequenz z. B. ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz ist) als eine zu messende elektromagnetische Welle verwendet, welche auszugeben und zu detektieren ist. Jedoch ist die zu messende elektromagnetische Welle, welche von dem Terahertzwellen-Messgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) auszugeben und zu detektieren ist, nicht auf die Terahertzwelle beschränkt und kann eine elektromagnetische Welle sein, deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist.
Das DUT 1 wird gemessen, indem die zu messende elektromagnetische Welle auf das DUT 1 eingestrahlt wird.
Der Behälter 10 beinhaltet mindestens einen Teil des DUT 1, welcher von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen werden soll. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 das DUT 1 teilweise beinhalten kann (siehe 10(a) und 10(b)) oder zur Gänze beinhalten kann (siehe 19).
Der Behälter 10 beinhaltet einen Spaltteil 11 und einen Einhausungsteil 12. Der Spaltteil 11 ist ein umlaufender Spalt mit einem Radius r0, wenn er von oben betrachtet wird (siehe 1). Zumindest ein Teil des DUT 1 ist innerhalb des Spaltteils 11 angeordnet (siehe 2).
Der Einhausungsteil 12 beinhaltet einen ersten gebogenen Oberflächenteil S1 und einen zweiten gebogen Oberflächenteil S2. Der erste gebogene Oberflächenteil S1 ist eine zylindrische Oberfläche mit einem Radius r1 (ein Teil einer Seitenoberfläche eines Zylinders, wobei der Boden ein Kreis mit Radius r1 ist). Der zweite gebogene Oberflächenteil S2 ist eine zylindrische Oberfläche mit einem Radius r2 (ein Teil einer Seitenoberfläche eines Zylinders, wobei der Boden des Zylinders ein Kreis mit dem Radius r2 ist). Es soll angemerkt, werden dass in der Draufsicht (1(a)) der Spaltteil 11 als ein Kreis mit dem Radius r0 repräsentiert ist, der erste gebogene Oberflächenteil S1 als ein Bogen mit dem Radius r1 (> r0) repräsentiert ist und der zweite gebogene Oberflächenteil S2 als ein Bogen mit dem Radius r2 (= r1) repräsentiert ist. Alle Mittelpunkte des Kreises und der Bögen liegen auf einer optischen Achse OA des Behälters 10. Der Mittelpunkt des Bogens, welcher den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 repräsentiert, und der Mittelpunkt des Bogens, welcher den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 repräsentiert, sind in der Draufsicht (1(a)) punktsymmetrisch und das Symmetriezentrum ist der Mittelpunkt des Kreises, welcher den Spaltteil 11 repräsentiert. Des Weiteren sind der Bogen, welcher den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 repräsentiert, und der Bogen, welcher den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 repräsentiert, achsensymmetrisch.
Obwohl hier nun eine Beschreibung gegeben wurde, in der der erste gebogene Oberflächenteil S1 und der zweite gebogene Oberflächenteil S2 Zylinderoberflächen sind, können jedoch auch der erste gebogene Oberflächenteil S1 oder der zweite gebogene Oberflächenteil S2 oder beide gebogenen Oberflächenteile S1 und S2 nicht-zylindrische Oberflächen sein. Dies gilt auch für die anderen Ausführungsformen.
Der Spaltteil 11 ist zwischen dem ersten gebogenen Oberflächenteil S1 und dem zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 angeordnet. Der Einhausungsteil 12 umschließt den Spaltteil 11. Hierbei wird der Brechungsindex des DUT 1 mit n1 bezeichnet und ein Brechungsindex des Einhausungsteils 12 wird mit n2 bezeichnet. Dann gilt eine Beziehung n1 < n2. Des Weiteren sind sowohl der erste gebogene Oberflächenteil S1 als auch der zweite gebogenen Oberflächenteil S2 konvexe Oberflächen. Des Weiteren können n1 und n2 auch von dem Brechungsindex der den Behälter 10 umgebenden Luft (wie z. B. 1) verschieden sein.
Es soll angemerkt werden, dass das Material des Einhausungsteils 12 ein Harz-Material sein kann, wie z. B. Teflon (eingetragene Marke), Polyethylen und dergleichen. Diese Harz-Materialien können für gewöhnlich nicht für die Messung eines Lichtstrahls im Bereich des sichtbaren Lichts oder des Infrarot-Lichts eingesetzt werden. Jedoch weisen diese Harz-Materialien eine geringe Absorption und Zerstreuung des Lichtstrahls der Terahertzwelle auf und können daher für die Messung mit Hilfe der Terahertzwelle eingesetzt werden.
3 ist eine vergrößerte Draufsicht des DUT 1 und des Spaltteils 11, wenn zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 untergebracht ist. Der Abstand zwischen einer Kontur einer ebenen Form (Form, wie sie von oben gesehen wird und ein Querschnitt der Ebene) des DUT 1 und einer Kontur einer ebenen Form des Spaltteils 11 (Form, wie sie von oben gesehen wird, und ein Querschnitt der Ebene) ist g. Dann ist die ebene Form des DUT 1 ein Kreis mit einem Radius r–g. Daher ist das DUT 1 ein Zylinder, welcher eine Bodenfläche eines Kreises mit dem Radius r–g aufweist.
Es ist bevorzugt, dass eine Beziehung g ≤ λ/4 gilt. Es soll angemerkt werden, dass λ die Wellenlänge der Terahertzwelle ist, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgegeben wurde. Wenn die Beziehung g ≤ λ/4 gilt, ist es möglich eine Luftschicht in dem Spalt zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der ebenen Form des Spaltteils 11 hinsichtlich des Reflektierens der Terahertzwelle zu beschränken. Die Reflektion der Terahertzwelle führt zu einem Verlust der Terahertzwelle und die Bereitstellung des g ≤ λ/4 führt zu einer Beschränkung des Verlusts der Terahertzwelle.
Es soll angemerkt werden, dass in Bezug auf 2 die optische Achse OA des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 so konfiguriert ist, dass sie parallel zu der Fortpflanzungsrichtung (Strahlengang P1) der Terahertzwelle ist, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgeben wurde. Der Behälter 10 ist wie oben beschrieben bereitgestellt, um das DUT 1 mit Hilfe des Terahertzwellen-Messgeräts zu messen.
Des Weiteren beinhaltet der Einhausungsteil 12 flache Endteiloberflächen E11 und E12 (auf der Seite des ersten gebogenen Oberflächenteils S1) und flache Endteiloberflächen E21 und E22 (auf der Seite des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2) auf den Endteilen (Oberseite und Unterseite in 1(a)). Die flachen Endteiloberflächen E11 und E12 und die flachen Endteiloberflächen E21 und E22 sind zueinander parallel und zu der optischen Achse OA orthogonal. Daher pflanzt sich die Terahertzwelle einfach durch den Einhausungsteil 12 hindurch fort (wird nicht dazu veranlasst in das DUT 1 einzufallen) und wird von der flachen Endteiloberfläche E21 (oder E22) emittiert, wenn sich die Terahertzwelle auf einem Strahlengang P1 parallel zu der optischen Achse OA fortpflanzt und die Terahertzwelle dazu veranlasst wird auf die flache Endteiloberfläche E11 (oder E12) einzufallen.
Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der ersten Ausführungsform gegeben.
In Bezug auf 2: Das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts gibt die Terahertzwelle aus. Die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgeben wurde (Strahlengang P1), wird auf den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 eingestrahlt. Dann wird die Terahertzwelle gebrochen und pflanzt sich entlang eines Strahlengangs P2 in dem Einhausungsteil 12 fort. Aus diesem Grund ist die Dicke der Luftschicht zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der ebenen Form des Spaltteils 11 dünn und kann daher vernachlässigt werden. Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P2 fortgepflanzt hat, wird auf das DUT 1 eingestrahlt, wird gebrochen und pflanzt sich entlang eines Strahlengangs P3 innerhalb des DUT 1 fort. Es soll angemerkt werden, dass der Strahlengang P3 annähernd parallel ist zu dem Strahlengang P1 und der optischen Achse OA.
4 ist eine Draufsicht des Behälters 10, welcher eine vergrößerte Umgebung der Strahlengänge P1, P2 und P3 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Es soll angemerkt werden, dass der Spalt zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der ebenen Form des Spaltteils 11 vernachlässigt wird und der Spaltteil 11 nicht dargestellt ist.
In Bezug auf 4: Der Einhausungsteil 12 dient als eine konvexe Linse, wenn die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P1 fortgepflanzt hat, dazu veranlasst wird auf den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 einzufallen, und die Terahertzwelle wird in Richtung der optischen Achse OA gebrochen. In 4 pflanzt sich die Terahertzwelle nach unten hin fort (Strahlengang P2). Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P2 fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst in das DUT 1 einzufallen, wird gebrochen und pflanzt sich entlang des Strahlengangs P3 fort.
Aus diesem Grund wird der Einfallswinkel und der Emissionswinkel der Terahertzwelle in das DUT 1 und von dem DUT 1 mit θ_A bzw. θ_B bezeichnet. Gemäß Snells-Gesetz gilt eine Beziehung (sinθA)/(sinθ_B) = n1/n2. Des Weitern gilt eine Beziehung n1/n2 < 1, wenn die Beziehung n1 < n2 gilt. Daher gilt eine Beziehung (sinθ_A)/(sinθ_B) < 1. Als ein Ergebnis gilt die Beziehung θ_A < θ_B. Entsprechend entfernt sich der Strahlengang P3 von der optischen Achse A weiter als die gerade Verlängerung des Strahlengangs P2. Aus diesem Grund kann der Strahlengang P3 annähernd parallel zu der optischen Achse OA sein, indem n2 geeignet festgelegt wird und so weiter.
Wieder in Bezug auf 2: Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P3 innerhalb des DUT 1 hindurch fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst, in den Einhausungsteil 12 einzufallen, wird gebrochen und pflanzt sich entlang des Strahlengangs P4 in dem Einhausungsteil 12 fort. Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P4 fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst in den zweiten gebogenen Oberflächenteil 52 einzufallen, wird gebrochen, pflanzt sich entlang eines Strahlengangs P5 fort und wird dazu veranlasst, in den Terahertzwellen-Detektor 4 einzufallen. In 1(a) sind der Strahlengang P2 und der Strahlengang P4 annährend achsensymmetrisch und der Strahlengang P1 und der Strahlengang P5 annähernd achsensymmetrisch, wenn der Bogen, welcher den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 repräsentiert, und der Bogen, welcher den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 repräsentiert, achsensymmetrisch sind. Daher ist der Strahlengang P5 annährend auf einer Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet.
Der Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert die einfallende Terahertzwelle. Als ein Ergebnis wird das DUT 1 gemessen. Zum Beispiel schließt das DUT 1 Inhalte 1a und 1b ein. Mit Bezug auf 2 pflanzt sich die Terahertzwelle durch den Inhalt 1a hindurch fort und dadurch wird die Position und dergleichen des Inhalts 1a von der Terahertzwelle in einem Ergebnis der Detektion enthüllt. Gemäß der ersten Ausführungsform wird daher die Terahertzwelle durch das DUT 1 gebrochen und der Strahlengang P kann durch den Behälter 10 ungefähr auf der Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet sein, wenn die Terahertzwelle dem DUT 1 für die Messung zugeführt wird. Als ein Ergebnis wird die Terahertzwelle dazu veranlasst in den Terahertzwellen-Detektor 4 in einem Zustand einzufallen, welcher näherungsweise der selbe ist, als wenn der Behälter 10 nicht vorhanden ist und die Brechung durch das DUT 1 nicht auftritt. Daher ist es möglich, eine Beeinträchtigung, welche von der Brechung der Terahertzwelle durch das DUT 1 verursacht wird, zu beschränken.
2. Ausführungsform
Formen (konkave Oberflächen) des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 und des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 des Behälters 10 gemäß einer zweiten Ausführungsform unterscheiden sich von denen (konvexen Oberflächen) des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 und des zweiten Oberflächenteils S2 des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform.
5(a) bis 5(c) sind Ansichten des Behälters 10 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei 5(a) eine Draufsicht ist, 5(b) eine linke Seitenansicht ist und 5(c) eine rechte Seitenansicht ist. 6 ist eine Draufsicht auf einen Zustand, in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung untergebracht ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 eingestrahlt wird. Im folgenden Abschnitt werden dieselben Komponenten mit denselben Nummerierungen bezeichnet wie in der ersten Ausführungsform und werden nicht weiter im Detail beschrieben.
Das Terahertzwellen-Messgerät ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
Der Behälter 10 bringt zumindest einen Teil des DUT 1 unter, welches von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen werden soll. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 das DUT 1 teilweise (siehe 10(a) und 10(b)) oder zur Gänze (siehe 19) unterbringen kann.
Der Behälter 10 umfasst den Spaltteil 11 und den Einhausungsteil 12. Der Spaltteil 11 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
Der Einhausungsteil 12 umfasst den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 und den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2. Der Einhausungsteil 12 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform. Jedoch sind sowohl der erste gebogene Oberflächenteil S1 als auch der zweite gebogene Oberflächenteil S2 gemäß der zweiten Ausführungsform konkave Oberflächen. Es soll angemerkt werden, dass der Brechungsindex des DUT 1 n1 ist, der Brechungsindex des Einhausungsteils 12 n2 ist und eine Beziehung n1 > n2 gilt.
Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der zweiten Ausführungsform gegeben.
Mit Bezug auf 6 gibt das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgerätes die Terahertzwelle aus. Die Terahertzwelle, welche von den Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgegeben wurde (Strahlengang P1), wird auf den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 eingestrahlt. Dann wird die Terahertzwelle gebrochen und pflanzt sich entlang des Strahlengangs P2 in dem Einhausungsteil 12 fort. Hierbei ist die Dicke der Luftschicht zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der ebenen Form des Spaltteils 11 dünn, und wird daher vernachlässigt. Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P2 entlang fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst, in das DUT 1 einzufallen, wird gebrochen und pflanzt sich entlang des Strahlengangs P3 innerhalb des DUT 1 fort. Es soll angemerkt werden, dass der Strahlengang P3 in etwa parallel mit dem Strahlengang P1 und der optischen Achse OA ist.
7 ist eine Draufsicht des Behälters 10, welche eine vergrößerte Umgebung der Strahlengänge P1, P2 und P3 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Es soll angemerkt werden, dass der Spalt zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der ebenen Form des Spaltteils 11 vernachlässigt wird und der Spaltteil 11 nicht dargestellt ist.
Mit Bezug auf 7 dient der Einhausungsteil 12 als eine konkave Linse, wenn die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P1 fortgepflanzt hat, dazu veranlasst wird, in den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 einzufallen, und die Terahertzwelle wird gebrochen, sodass sie sich von der optischen Achse OA entfernt. In 7 pflanzt sich die Terahertzwelle nach oben hin fort (Strahlengang P2). Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P2 fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst in das DUT 1 einzufallen, wird gebrochen und pflanzt sich entlang des Strahlengangs P3 fort. Hierbei wird der Einfallwinkel und der Emissionswinkel der Terahertzwelle in das DUT 1 und von dem DUT 1 mit θ_A bzw. θ_B bezeichnet. Gemäß Snells-Gesetz gilt die Beziehung (sinθ_A)/(sinθ_B) = n1/n2. Des Weiteren gilt eine Beziehung n1/n2 > 1, wenn die Beziehung n1 > n2 gilt. Daher gilt eine Beziehung (sinθ_A)/(sinθ_B) > 1. Als ein Ergebnis gilt eine Beziehung θ_A > θ_B. Dementsprechend nähert sich der Strahlengang P3 der optischen Achse OA näher an als eine gerade Verlängerung des Strahlengangs P2. Daher kann der Strahlengang P3 ungefähr parallel mit der optischen Asche OA sein, indem n2 geeignet gesetzt wird und so weiter.
Wieder in Bezug auf 6 wird die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P3 innerhalb des DUT 1 fortgepflanzt hat, dazu veranlasst in den Einhausungsteil 12 einzufallen, wird gebrochen und pflanzt sich entlang eines Strahlengangs P4 in dem Einhausungsteil 12 fort. Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P4 fortgepflanzt hat, wird dazu veranlasst in den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 einzufallen, wird gebrochen, pflanzt sich entlang des Strahlengangs P5 fort und wird dazu veranlasst, in den Terahertzwellen-Detektor 4 einzufallen. In 6 sind der Strahlengang P2 und der Strahlengang P4 ungefähr achsensymmetrisch und der Strahlengang P1 und der Strahlengang P5 sind ungefähr achsensymmetrisch, wenn der Bogen, welcher den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 repräsentiert und der Bogen, welcher den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 repräsentiert, achsensymmetrisch sind. Daher ist der Strahlengang P5 annährend auf einer Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet.
Der Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert die einfallende Terahertzwelle. Als ein Ergebnis wird das DUT 1 gemessen. Zum Beispiel beinhaltet das DUT 1 die Inhalte 1a und 1b. In Bezug auf 2, pflanzt sich die Terahertzwelle durch den Inhalt 1a hindurch fort und dadurch wird die Position und dergleichen des Inhalts 1a durch die Terahertzwelle enthüllt als ein Ergebnis der Detektion.
Gemäß der zweiten Ausführungsform werden dieselben Effekte erzielt wie in der ersten Ausführungsform.
3. Ausführungsform
Der Behälter 10 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung entspricht annährend einem Gehäuse, in welchen sich die Einhausungsteile 12a und 12b des Behälters 10 gemäß den ersten und zweiten Ausführungsformen voneinander in der Form unterscheiden.
Die 8(a) und 8(b) sind Draufsichten des Behälters 10 gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Es soll angemerkt werden, dass 8(a) eine Draufsicht des Behälters 10 ist, wenn die Beziehungen n2a > n1 und n2b > n1 gelten. 8(b) ist eine Draufsicht des Behälters 10, wenn die Beziehungen n2a < n1 und n2b < n1 gelten.
Das Terahertzwellen-Messgerät ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird. Es soll angemerkt werden, dass die zu messende elektromagnetische Welle, welche von dem Terahertzwellen-Messgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) auszugeben und zu detektieren ist, ist nicht auf die Terahertzwelle beschränkt ist und eine elektromagnetische Welle sein kann, deren Frequenz wie in der ersten Ausführungsform ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist.
Der Behälter 10 nimmt zumindest einen Teil des DUT 1 auf, welcher von dem Terahertzwellen-Messgerät zu messen ist. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 das DUT 1 teilweise (siehe 10(a) und 10(b)) oder zur Gänze (siehe 19) aufnehmen kann.
Der Behälter 10 beinhaltet einen ersten Abdeckteil 13a, und einen zweiten Abdeckteil 13b. Ein Material des ersten Abdeckteils 13a und des zweiten Abdeckteils 13b kann dasselbe Material sein wie das Material des Einhausungsteils 12.
Der Brechungsindex des ersten Abdeckteils 13a ist n2a. Der erste Abdeckteil 13a beinhaltet den ersten gebogenen Oberflächenteil S1 (derselbe wie in der ersten und zweiten Ausführungsform) und einen ersten konkaven Oberflächenteil 11a.
Der erste gebogene Oberflächenteil S1 empfängt die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgegeben wurde. Der erste konkave Oberflächenteil 11a ist näher bei dem DUT 1 verortet als der erste gebogene Oberflächenteil S1 und überträgt die Terahertzwelle.
Der erste gebogene Oberflächenteil S1 nimmt die Terahertzwelle auf, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabengerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgegeben wurde. Der erste konkave Oberflächenteil 11a ist näher an dem DUT 1 verortet als der erste gebogene Oberflächenteil S1 und überträgt die Terahertzwelle.
Aus diesem Grund, in Bezug auf 8(a) ist der erste gebogene Oberflächenteil S1 eine konvexe Oberfläche, wenn n2a > n1 (Brechungsindex des DUT 1) ist. Die spezifische Form des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 ist dieselbe wie in der ersten Ausführungsform.
Wenn n2a kleiner ist als n1, siehe 8(b), ist der erste gebogene Oberflächenteil S1 eine konkave Oberfläche. Die spezifische Form des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 ist dieselbe wie in der zweiten Ausführungsform.
Der Brechungsindex des zweiten Abdeckteils 13b ist n2b. Der zweite Abdeckteil 13b beinhaltet den zweiten gebogenen Oberflächenteil S2 (welcher identisch ist zu der ersten und zweiten Ausführungsform) und einen zweiten konkaven Oberflächenteil 11b. Der zweite konkave Oberflächenteil 11b nimmt die Terahertzwelle auf, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde. Der zweite gebogene Oberflächenteil S1 ist weiter von dem DUT 1 entfernt als der zweite konkave Oberflächenteil 11b und überträgt die Terahertzwelle. Aus diesem Grund, in Bezug auf 8(a), ist der zweite gebogene Oberflächenteil S2 eine konvexe Oberfläche, wenn n2b größer ist als n1. Die spezifische Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 ist dieselbe wie in der ersten Ausführungsform.
Wenn n2b kleiner ist als n1, siehe 8(b), ist der zweite gebogene Oberflächenteil S2 eine konkave Oberfläche. Die spezifische Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 ist dieselbe wie in der zweiten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass sich n2a und n2b voneinander unterscheiden. Des Weiteren unterscheiden sich der Krümmungsradius der ebenen Form des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 und der Krümmungsradius der ebenen Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 voneinander. In 8(a) und 8(b) ist der Krümmungsradius der ebenen Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 größer als der Krümmungsradius der ebenen Form des ersten gebogenen Oberflächenteils S1.
Des Weiteren sind die Konturen der ebenen Formen des ersten konkaven Oberflächenteils 11a und des zweiten konkaven Oberflächenteils 11b Bögen. Ein Abstand zwischen den Konturen der ebenen Formen des ersten konkaven Oberflächenteils 11a und des zweiten konkaven Oberflächenteils 11b und der Kontur der ebenen Form der DUT 1 ist g1. Es soll angemerkt werden, dass eine Beziehung g1 ≤ λ/4 bevorzugt gilt wie in der ersten Ausführungsform (siehe 3).
Es soll angemerkt werden, dass die optische Achse OA (welche dieselbe ist wie in 2 und daher ausgelassen wird) des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 ebenso dazu veranlasst wurde parallel zu der Fortpflanzungsrichtung (Strahlengang P1) der Terahertzwelle zu sein wie in der ersten Ausführungsform (siehe 2), welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgegeben wird.
Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der dritten Ausführungsform gegeben.
Wenn der Behälter 10, welcher in 8(a) gezeigt ist, verwendet wird, pflanzt sich die Terahertzwelle entlang der Strahlengänge ähnlich denen der ersten Ausführungsform fort. Es soll angemerkt werden, dass der Strahlengang P5 ungefähr auf der Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet ist, indem die Krümmungsradien der ebenen Formen des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 und des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2, sowie n2a und n2b geeignet gesetzt werden.
Wenn der Behälter 10, wie in 8(b) gezeigt, verwendet wird, pflanzt sich die Terahertzwelle entlang der Strahlengänge ähnlich denen der zweiten Ausführungsform fort. Es soll angemerkt werden, dass der Strahlengang P5 ungefähr auf der Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet ist, indem die Krümmungsradien der ebenen Formen des ersten gebogenen Oberflächenteils S1 und des zweiten gebogenen Oberflächenteils S2 sowie n2a und n2b geeignet gesetzt werden.
Gemäß der dritten Ausführungsform werden dieselben Effekte wie in der ersten Ausführungsform erzielt.
Wie in der dritten Ausführungsform wurde die Beschreibung für den Fall gegeben, in welchem die Beziehungen n1 < n2a und n1 < n2b gelten (siehe 8(a)) und für den Fall, in welchem die Beziehungen n1 > n2a und n1 > n2b gelten (siehe 8(b)). Jedoch sind auch Fälle denkbar, in denen die Beziehungen n1 < n2a und n1 > n2b gelten sowie ein Fall, in welchem die Beziehungen n1 > n2a und n1 < n2b gelten.
9(a) und 9(b) zeigen Abwandlungen in der dritten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass 9(a) eine Draufsicht des Behälters 10 ist, wenn die Beziehungen n1 < n2a und n1 > n2b gelten. 9(b) ist eine Draufsicht des Behälters 10, wenn die Beziehungen n1 > n2a und n1 < n2b gelten.
In 9(a) ist der erste gebogene Oberflächenteil S1 eine konvexe Oberfläche und der zweite gebogene Oberflächenteil S2 ist eine konkave Oberfläche. Die Strahlengänge P1, P2 und P3 sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform (siehe 2) und die Strahlengänge P4 und P5 sind dieselben wie in der zweiten Ausführungsform (siehe 6). Obwohl der Strahlengang P5 nicht auf einer Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet ist, können die Strahlengänge P5 und P1 ungefähr parallel zueinander sein.
In 9(b) ist der erste gebogene Oberflächenteil S1 eine konkave Oberfläche und der zweite gebogene Oberflächenteil S2 ist eine konvexe Oberfläche. Die Strahlengänge P1, P2 und P3 sind dieselben wie in der zweiten Ausführungsform (siehe 6) und die Strahlengänge P4 und P5 sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform (siehe 2). Obwohl der Strahlengang P5 nicht auf der Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet ist, können die Strahlengänge P5 und P1 ungefähr parallel zueinander sein.
4. Ausführungsform
Gemäß einer vierten Ausführungsform ist das DUT 1 an den Haltevorrichtungen 100a und 100b befestigt und das DUT 1 wird gescannt, während das DUT 1 zusammen mit den Haltevorrichtungen 100a und 100b rotiert wird.
10(a) und 10(b) sind Frontansichten des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts gemäß der vierten Ausführungsform. Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellen-Messgeräts gemäß der vierten Ausführungsform sind ungefähr dieselben wie diejenigen gemäß der ersten bis dritten Ausführungsformen. Jedoch ist das DUT 1 zylindrisch und ein Teil des DUT 1 ist in dem Spaltteil 11 des Behälters 10 untergebracht.
Es soll angemerkt werden, dass 10(a) und 10(b) eine Konfiguration zeigen, in welcher der Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform zusammen mit den Haltevorrichtungen 100a und 100b verwendet wird. Jedoch können die Behälter 10 gemäß der zweiten und dritten Ausführungsformen zusammen mit den Haltevorrichtungen 100a und 100b verwendet werden. Es soll angemerkt werden, dass dasselbe für die 11(a) bis 19 gilt.
Wenn die Brechungsindizes der Haltevorrichtungen 100a und 100b n0 sind und der Brechungsindex des DUT 1 n1 ist, gilt eine Beziehung n0 = n1. Es soll angemerkt werden, dass die Effekte der Haltevorrichtungen 100a und 100b bereitgestellt werden können (siehe 16), solange eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1 gilt.
Das zylindrische DUT 1 beinhaltet die Endoberflächen 1c und 1d (siehe 11(a) bis 12(d)) und eine Seitenoberfläche 1e. Die Seitenoberfläche 1e ist eine gebogene Oberfläche zwischen den Endoberflächen 1c und 1d. Die Seitenoberfläche 1e ist nicht von den Haltevorrichtungen 100a und 100b bedeckt.
11(a) bis 11(d) sind Ansichten der Haltevorrichtung 100a und des DUT 1, in welchen 11(a) eine Vorderansicht der Haltevorrichtung 100a ist, 11(b) eine Unteransicht der Haltevorrichtung 100a ist, 11(c) eine Draufsicht des DUT 1 ist und 11(d) eine Vorderansicht des DUT 1 ist. 12(a) bis 12(d) sind Ansichten des DUT 1 und der Haltevorrichtungen 100b, in welchen 12(a) eine Vorderansicht des DUT 1 ist, 12(b) eine Unteransicht des DUT 1 ist, 12(c) eine Draufsicht der Haltevorrichtung 100b ist und 12(d) eine Vorderansicht der Haltevorrichtung 100b ist.
In Bezug auf 11(a) bis 11(d) ist die Haltevorrichtung 100a zylindrisch und die Bodenoberfläche (Fixieroberfläche) 102a der Haltevorrichtung 100a kreisförmig. Die obere Endoberfläche 100c des DUT 1 ist ebenfalls kreisförmig. Die Bodenoberfläche (Fixieroberfläche) 102a und die Endoberfläche 1c haben dieselbe Form.
In Bezug auf 12(a) bis 12(d) ist die Haltevorrichtung 100b zylindrisch und die Dachoberfläche (Fixieroberfläche) 102b der Haltevorrichtung 100b ist kreisförmig. Die untere Endoberfläche 1d des DUT 1 ist ebenfalls kreisförmig. Die Dachoberfläche (Fixieroberfläche) 102b und die Endoberfläche 1d weisen dieselbe Form auf.
Es soll angemerkt werden, dass die Endoberflächen 1c und 1d zueinander parallel sind.
Aus diesem Grund, in Bezug auf 10(a) bis 12(d), ist die obere Endoberfläche 1c des DUT 1 an der Bodenoberfläche (Fixieroberfläche) 102a der Haltevorrichtung 100a befestigt. Die Bodenendoberfläche 1d des DUT 1 ist an der Dachoberfläche (Fixieroberfläche) 102b der Haltevorrichtung 100b befestigt.
Die zwei Haltevorrichtungen 100a und 100b sind jeweils gegen eine der beiden Endoberflächen 1c und 1d gepresst. Mit anderen Worten wird die Bodenoberfläche 102a der Haltevorrichtung 100a beziehungsweise die Haltevorrichtung 100a gegen die Endoberfläche 1c gepresst und die Dachoberfläche 102b der Haltevorrichtung 100b beziehungsweise die Haltevorrichtung 100b gegen die Endoberfläche 1d gepresst.
Als ein Ergebnis dieses Pressens wird sich das DUT 1 nicht in vertikaler Richtung bewegen in Bezug auf die Haltevorrichtungen 100a und 100b. Des Weiteren wird sich das DUT 1 nicht in Richtungen orthogonal zu der vertikalen Richtung in Bezug auf die Haltevorrichtungen 100a und 100b bewegen auf Grund der Reibungskräfte zwischen den Endoberflächen 1c und 1d und der Bodenoberfläche 102a und der Dachoberfläche 102b. Mit anderen Worten, die Endoberflächen 1c und 1d sind an der Bodenoberfläche 102a und der Dachoberfläche 102b befestigt.
Es soll angemerkt werden, dass die Endoberfläche an der Boden- und/oder Dachoberfläche befestigt sein kann, indem die Endoberfläche 1c oder die Endoberfläche 1d oder beide Endoberflächen 1c, 1d an der Bodenoberfläche 102a oder der Dachoberfläche 102b oder beiden Oberflächen 102a, 102b angeklebt sein können (zum Beispiel unter Verwendung weithin bekannter Klebstoffe).
Der Rotationsaktuator 110a ist mit dem DUT 1 über die Haltevorrichtung 100a verbunden. Der Rotationsaktuator 110a wird um eine gerade Linie A orthogonal zu der Bodenoberfläche 102a als eine Achse herum rotiert.
Der Rotationsaktuator 110b ist mit dem DUT 1 über die Haltevorrichtung 100b verbunden. Der Rotationsaktuator 110b wird um eine gerade Linie A als eine Achse herum rotiert, welche orthogonal zu der Dachoberfläche 102b ist.
Es wird angenommen, dass die Bodenoberfläche 102a und die Dachoberfläche 102b zueinander parallel sind.
Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der vierten Ausführungsform gegeben.
In Bezug auf 10(a) gibt das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 des Terahertzwellen-Messgeräts die Terahertzwelle aus (im Weiteren als „Ausgabeschritt” bezeichnet). Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch den Einhausungsteil 12 und das DUT 1 hindurch fort, während sie sich entlang der Strahlengänge P1 bis P5 wie in der ersten Ausführungsform beschrieben bewegt, und wird von dem Terahertzwellen-Detektor 4 des Terahertzwellen-Messgeräts detektiert (im Weiteren als „Detektionsschritt” bezeichnet). Als ein Ergebnis wird das DUT 1 durch das Terahertzwellen-Messgerät gemessen.
Wie in 10(a) gezeigt, werden der Behälter 10 und das DUT 1 in der horizontalen Richtung (X-Richtung) in Bezug auf die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle bewegt (siehe 13(a) und 13(b)), während die Z-Koordinaten (es soll angemerkt werden, dass die Z-Richtung die vertikale Richtung ist) des Terahertzwellen-Messgeräts und des DUT 1 fest sind, und das DUT 1 um eine gerade Linie A herum rotiert (siehe 10(a) und 10(b)) wird, welche sich in der vertikalen Richtung (Z-Richtung) als eine Rotationsachse (eine gerade Linie A kann kein aktuelles Element sein) (siehe 14(a) und 14(b)) erstreckt. Auf diese Weise kann das DUT 1 mit Hilfe der weithin bekannten Computertomographie (CT) auf einem Querschnitt einer Ebene, welche orthogonal zu der geraden Linie A ist, gemessen werden.
13(a) und 13(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellen-Messgeräts, wenn der Behälter 10 und das DUT 1 in der X-Richtung bewegt werden.
In Bezug auf 13(a) werden der Behälter 10 und das DUT 1 horizontal bewegt (nach unten in 13(a) und 13(b)) in Bezug auf die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle, während des Ausgabeschritts und des Detektionsschritts. Als ein Ergebnis schneiden sich die Strahlengänge P1 und P5, wie in 13(b) gezeigt, mit einem bestimmten Teil des DUT 1 (welcher sich von dem in 13(a) unterscheidet).
Während des Ausgabeschritts und des Detektionsschritts kann ein ähnlicher Effekt bereitgestellt werden, wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle horizontal in Bezug auf den Behälter 10 und das DUT 1 bewegt werden (nach oben in 13(a) und 13(b)). Um die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle zu bewegen, können das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und der Terahertzwellen-Detektor 4 bewegt werden.
14(a) und 14(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellen-Messgeräts, wenn das DUT 1 um die gerade Linie A als eine Rotationsachse herum rotiert wird, welche sich vertikal (in der Z-Richtung) ausdehnt.
In Bezug auf 14(a) wird der Ausgabeschritt ausgeführt. Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch den Einhausungsteil 12 und das DUT 1 hindurch fort, während sie sich entlang der Strahlengänge P1 bis P5 bewegt wie in Bezug auf die erste Ausführungsform beschrieben. Dann wird der Detektionsschritt ausgeführt. Als ein Ergebnis wird ein bestimmter Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, wird das DUT 1 um eine gerade Linie A als eine Rotationsachse (eine gerade Linie A kann kein aktuelles Element sein) herum rotiert, welche sich vertikal (in der Z-Richtung) ausdehnt (siehe 10(a) und 10(b)). Zum Beispiel wird das DUT 1 gegen den Uhrzeigersinn herum rotiert. Dann wird das DUT 1 angeordnet wie in 14(b) gezeigt. Der Teil des DUT 1, welcher von dem Strahlengang P2 geschnitten wird, unterscheidet sich in Bezug auf den Fall in 14(b) und dem Fall in 14(a). Daher können der Fall in 14(b) bzw. der Fall in 14(a) unterschiedliche Teile des DUT 1 messen.
Um das DUT 1 um eine gerade Linie als eine Rotationsachse herum zu rotieren, können die Haltevorrichtungen 100a und 100b um eine gerade Linie A als eine Rotationsachse herum rotiert werden. Es soll angemerkt werden, dass die gerade Linie A eine gerade Linie ist, welche orthogonal zu der Bodenoberfläche 102a und der Dachoberfläche 102b (Fixieroberflächen) ist. Um die Haltevorrichtungen 100a und 100b zu rotieren können die Rotationsaktuatoren 110a und 110b rotiert werden.
In Bezug auf 10(a) und 10(b) ist die Ausbreitungsrichtung der zu messenden elektromagnetischen Welle (Richtung des Strahlengangs P1) orthogonal zu der geraden Linie A.
Wie oben beschrieben wird in dem Zustand, welcher in 10(a) gezeigt ist, das DUT 1 um eine gerade Linie A als eine Rotationsachse herum rotiert, während der Behälter 10 und DUT 1 (oder das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und der Terahertzwellen-Detektor 4) in der X-Richtung bewegt werden. Nach diesem Prozess kann ein Querschnitt des DUT 1 auf der Ebene (Ebene, welche den Strahlengang P1 in 10(a) enthält) orthogonal zu der Z-Richtung mit Hilfe der weithin bekannten CT gemessen werden.
Des Weiteren werden der Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle in Bezug auf das DUT 1 nach oben bewegt. Dann schneiden die Strahlengänge P1 und P5 einen oberen Teil des DUT 1 wie in 10(b) gezeigt.
In dem gezeigten Zustand wird das DUT 1 um die gerade Linie A als die Rotationsachse herum rotiert, während der Behälter 10 und das DUT 1 (oder das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und der Terahertzwellen-Detektor 4) in der X-Richtung bewegt werden. Nach diesem Prozess kann ein Querschnitt des DUT 1 auch auf einer Ebene (Ebene, welche den Strahlengang P1 in 10(b) enthält) orthogonal zu der Z-Richtung mit Hilfe der weithin bekannten CT gemessen werden.
Es soll angemerkt werden, dass das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und der Terahertzwellen-Detektor 4 bewegt werden können, um die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle zu bewegen. Alternativ kann das DUT 1 in Bezug auf den Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle vertikal bewegt werden.
Während die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle vertikal zwischen den Endoberflächen 1c und 1d des DUT 1 bewegt werden (der Behälter 10 wird ebenfalls zusammen mit den Strahlengängen der Terahertzwelle bewegt) können Querschnitte des DUT 1 auf Ebenen orthogonal zu den Z-Richtungen gemessen werden. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 gemessen werden.
Aus diesem Grund können die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig unterhalb der Endoberfläche 1d des DUT 1 bewegt werden. Alternativ können die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig über der Endoberfläche 1c des DUT 1 bewegt werden.
15(a) ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in dem Fall, in welchem die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig unter der Endoberfläche 1d des DUT 1 bewegt werden und 15(b) ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in dem Fall, in welchem die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig oberhalb der Endoberfläche 1c des DUT 1 bewegt werden. Es soll angemerkt werden, dass 15(a) und 15(b) Ansichten sind, welche transparent durch den Behälter 10 hindurch blicken und das DUT 1, die Haltevorrichtungen 100a und 100b und die Rotationsaktuatoren 110a und 110b innerhalb des Behälters 10 zeigen.
In dem Fall, welcher in 15(a) und 15(b) gezeigt ist, pflanzt sich die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgegeben wurde, durch die Haltevorrichtung 100a oder 100b hindurch fort und wird von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert.
16 ist eine Querschnittsdraufsicht auf den Behälter 10 und die Haltevorrichtung 100a in 15(a) und 15(b). Es soll angemerkt werden, dass 16 einen Querschnitt des Behälters 10 und der Haltevorrichtung 100a in 15(b) auf einer Ebene zeigt, welcher orthogonal zu der Z-Richtung ist (Ebene, welche den Strahlengang P1 in 15(b) beinhaltet). Des Weitern ist der Brechungsindex n0 der Haltevorrichtung 100a gleich zu dem Brechungsindex n1 des DUT 1. Die Strahlengänge P1 bis P5 der Terahertzwelle sind dieselben wie in 2 gezeigt, da der Brechungsindex n0 der Haltevorrichtung 100a zu dem Brechungsindex n1 des DUT 1 gleich ist.
Wenn sich die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgegeben wurde, durch die Haltevorrichtung 100b hindurch fortpflanzt (entsprechend 15(a)), sind die Strahlengänge der Terahertzwelle ähnlich zu denen in 16 (und 2). Es wird angenommen, dass der Brechungsindex n0 der Haltevorrichtung 100b zu dem Brechungsindex n1 des DUT 1 gleich ist.
Solange die Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1 gilt, sind die Strahlengänge der Terahertzwelle, welche sich durch die Haltevorrichtung 100a hindurch fortpflanzen, und die Strahlengänge der Terahertzwelle, welche sich durch die Haltevorrichtung 100b hindurch fortpflanzen, ungefähr dieselben wie in 16 (und in 2).
17 ist eine Querschnittsdraufsicht des Behälters 10 in einem Vergleichsbeispiel unter der Annahme, dass die Haltevorrichtung 100a in 15(b) nicht vorhanden ist. Es soll angemerkt werden, dass 17 einen Querschnitt des Behälters 10 in 15(b) zeigt auf der Ebene orthogonal zu der Z-Richtung (Ebene, welche den Strahlengang P1 in 15(b) beinhaltet). Es soll angemerkt werden, dass eine Beziehung 1 < n1 < n2 gilt.
Die Strahlengänge P1 und P2 sind dieselben wie in 2. Jedoch entfernt sich ein optischer Strahlengang P3' weiter von der optischen Achse OA als der Strahlengang P3, wenn die Beziehung 1 < n1 gilt. Die Terahertzwelle, welche sich entlang des Strahlengangs P3' fortgepflanzt hat, pflanzt sich entlang der Strahlengänge P4' und P5' fort und entfernt sich von der optischen Achse OA. Als ein Ergebnis kann die Terahertzwelle nicht von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert werden. Dies bedeutet, dass die Terahertzwelle nicht von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert werden kann, wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig über die Endoberfläche 1c des DUT 1 (siehe 15(b)) bewegt werden und die Haltevorrichtung 100a nicht vorhanden ist.
Ähnlich kann die Terahertzwelle nicht von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert werden, wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig unterhalb der Endoberfläche 1d des DUT 1 bewegt werden (siehe 15(a)) und die Haltevorrichtung 100b nicht vorhanden ist.
Die Terahertzwelle wird dann nicht länger von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert, wenn eine Umgebung der Endoberfläche 1c oder 1d des DUT 1 gemessen werden soll, wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle auch nur geringfügig von dem DUT 1 entfernt werden. Dies ist nicht bevorzugt für die Messung von Umgebungen der Endoberflächen 1c und 1d des DUT 1.
Jedoch existieren gemäß der vierten Ausführungsform die Haltevorrichtungen 100a und 100b. Als ein Ergebnis sind die Strahlengänge der Terahertzwelle so ausgebildet wie in 16 gezeigt, welche dieselben sind wie in 2, sogar wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig von dem DUT 1 verschoben sind. Daher kann die Terahertzwelle von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert werden, sogar wenn die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle geringfügig von dem DUT 1 verschoben sind. Dies ist bevorzugt für die Messung der Umgebungen der Endoberflächen 1c und 1d des DUT 1.
Wie vorhin beschrieben wird die Seitenoberfläche 1e des DUT 1 nicht von den Haltevorrichtungen 100a und 100b bedeckt. Diese Konfiguration stellt die folgenden vorteilhaften Effekte bereit.
18 ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts in einem Vergleichsbeispiel unter der Annahme, dass die Seitenoberfläche 1e des DUT 1 von den Haltevorrichtungen 100a und 100b in 10(a) und 10(b) bedeckt sind.
In diesem Vergleichsbeispiel kollidieren die Teile 104a und 104b, welche die Seitenoberfläche bedecken mit der Seitenoberfläche 1e, welche von den Haltevorrichtungen 100a und 100b bedeckt ist (das DUT 1 wird von den Haltevorrichtungen 100a und 100b durch die Teile 104a und 104b, welche die Seitenoberfläche bedecken, fixiert, indem die Seitenoberfläche 1e des DUT 1 eingeklemmt wird), wenn die Umgebungen der Endoberflächen 1c und 1d des DUT 1 gemessen werden. Des Weiteren verändert sich die Ausbreitungsrichtung der Terahertzwelle auf Grund der Anwesenheit der Teile 104a oder 104b, welche die Seitenoberfläche bedecken, wenn sich die Terahertzwelle durch den Teil 104a oder 104b, welche die Seitenoberfläche bedecken hindurch fortpflanzt, und die Terahertzwelle kann nicht von dem Terahertzwellen-Detektor 4 detektiert werden.
Jedoch wird gemäß der vierten Ausführungsform die Seitenfläche 1e des DUT 1 nicht von den Haltevorrichtungen 100a und 100b bedeckt und die Zustände, in welchen die Teile 104a und 104b, welche die Seitenoberflächen bedecken, und die Tatsache, dass der Terahertzwellen-Detektor 4 die Terahertzwelle nicht detektieren kann sind daher vermieden worden.
Es wurde die Beschreibung des Beispiels gemäß der vierten Ausführungsform gegeben, in welchem ein Teil des DUT 1 in dem Spaltteil 11 des Behälters 10 untergebracht ist (siehe 10(a) und 10(b)). Jedoch kann das DUT 1 zur Gänze in dem Spaltteil 11 des Behälters 10 untergebracht sein.
19 ist eine Vorderansicht des Behälters 10, der Haltevorrichtungen 100a und 100b, der Rotationsaktuatoren 110a und 110b und des Terahertzwellen-Messgeräts gemäß einer Abwandlung der vierten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass 19 eine Ansicht ist, welche transparent durch den Behälter 10 hindurch blickt und das DUT 1 und die Haltevorrichtungen 100a und 100b innerhalb des Behälters 10 zeigt.
Das DUT 1 ist zylindrisch und das DUT 1 ist zur Gänze in dem Spaltteil 11 des Behälters 10 untergebracht.
In der Abwandlung der vierten Ausführungsform, welche in 19 gezeigt ist, werden der Behälter 10 und das DUT 1 vertikal in Bezug auf die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle bewegt. Alternativ können die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle in Bezug auf den Behälter 10 und das DUT 1 vertikal bewegt werden.
Es wurde eine Beschreibung des Beispiels gemäß der vierten Ausführungsform gegeben, in welcher die Haltevorrichtungen 100a und 100b zusammen mit dem Behälter 10 verwendet werden. Jedoch können die Haltevorrichtungen 100a und 100b ohne den Behälter 10 verwendet werden.
Des Weiteren kann das DUT 1 gemäß der vierten Ausführungsform gemessen werden, während das DUT 1 vertikal steht, jedoch ist die Ausrichtung des DUT 1 nicht auf die vertikal-stehende Position beschränkt. Zum Beispiel kann das DUT 1 horizontal gelegt werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

US 7119339 [0004]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

S. Wang et al., „Pulsed terahertz tomography”, J. Phys. D, Vol 37 (2004), R1–R36 [0004]

Claims

Haltevorrichtung, aufweisend eine Fixieroberfläche in derselben Form wie eine Endoberfläche eines Prüfobjekts, welches gemessen wird, indem eine zu messende elektromagnetische Welle auf das Prüfobjekt eingestrahlt wird, welche eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz aufweist, wobei: die Endoberfläche an der Fixieroberfläche befestigt ist; eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n0 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n0 einen Brechungsindex der Haltevorrichtung bezeichnet und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts bezeichnet; und die Haltevorrichtung keine Seitenoberfläche des Prüfobjekts bedeckt.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Haltevorrichtung um eine gerade Linie als eine Achse herum rotiert wird, welche orthogonal zu der Fixieroberfläche ist.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 2, wobei die Fortpflanzungsrichtung der zu messenden elektromagnetischen Welle orthogonal zu der geraden Linie ist.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Endoberfläche an der Fixieroberfläche durch Pressen der Fixieroberfläche gegen die Endoberfläche fixiert ist.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei: es zwei Haltevorrichtungen gibt; das Prüfobjekt zwei Endoberflächen aufweist, welche zueinander parallel sind; und die beiden Haltevorrichtung gegen die beiden Endoberflächen gepresst werden.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Endoberfläche an der Fixieroberfläche durch Ankleben der Fixieroberfläche an den Endoberfläche befestigt ist.
Haltevorrichtung gemäß einem den Ansprüche 1 bis 6, wobei: zumindest ein Teil des Prüfobjekts in einem Behälter untergebracht ist; wobei der Behälter aufweist: einen Spaltteil, welcher in seinem Inneren mindestens einen Teil des Prüfobjekts anordnet; und einen Einhausungsteil, welcher ein erstes gebogenes Oberflächenteil und ein zweites gebogenes Oberflachenteil einschließt, und den Spaltteil zwischen dem ersten gebogenen Oberflächenteil und den zweiten gebogenen Oberflächenteil anordnet, wobei der Spaltteil eingeschlossen wird; ein Brechungsindex n2 des Einhausungsteils größer ist als ein Brechungsindex n1 des Prüfobjekts; und sowohl der erste gebogene Oberflächenteil als auch der zweite gebogene Oberflächenteil konvexe Oberflächen sind.
Haltevorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1–6, wobei: zumindest ein Teil des Prüfobjekts in einem Behälter untergebracht ist; wobei der Behälter aufweist: einen Spaltteil, welcher in seinem Inneren zumindest einen Teil des Prüfobjekts anordnet; und einen Einhausungsteil, welcher einen ersten gebogenen Oberflachenteil und ein zweiten gebogenen Oberflachenteil aufweist und den Spaltteil zwischen dem ersten gebogenen Oberflächenteil und dem zweiten gebogenen Oberflächenteil anordnet, wobei der Spaltteil eingeschlossen wird; der Brechungsindex n2 des Einhausungsteils kleiner ist als der Brechungsindex n1 des Prüfobjekts; und sowohl der erste gebogene Oberflachenteil als auch der zweite gebogene Oberflachenteil konkave Oberflächen sind.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei eine Kontur einer ebenen Form des Spaltteils des Behälters einen Bogen beinhaltet.
Haltevorrichtung gemäß der Ansprüche 1–6, wobei: zumindest ein Teil des Prüfobjekts in einem Behälter untergebracht ist; wobei der Behälter aufweist: einen ersten Abdeckteil, welcher ein erstes gebogenes Oberflächenteil aufweist, welches die zu messende elektromagnetische Welle empfängt, und ein erstes konkaves Oberflächenteil aufweist, welches näher an dem Prüfobjekt verortet ist als der erste gebogene Oberflächenteil, und durch welchen sich die zu messende elektromagnetische Welle hindurch fortpflanzt und einen Brechungsindex n2a aufweist; und einen zweiten Abdeckteil, welcher einen zweiten konkaven Oberflächenteil aufweist, welcher die zu messende elektromagnetischen Welle empfängt, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und einen zweiten gebogenen Oberflachenteil aufweist, welcher weiter von dem Prüfobjekt entfernt verortet ist als der zweite konkave Oberflächenteil, und durch welchen sich die zu messende elektromagnetische Welle hindurch fortpflanzt und einen Brechungsindex n2b aufweist; und wenn ein Brechungsindex des Prüfobjekts n1 ist, ist der erste gebogene Oberflächenteil eine konvexe Oberfläche, wenn n2a > n1 ist, ist der erste gebogene Oberflächenteil eine konkave Oberfläche, wenn n2a < n1 ist, ist der zweite gebogene Oberflächenteil eine konvexe Oberfläche, wenn n2b > n1 ist, und ist der zweite gebogene Oberflächenteil eine konkave Oberfläche, wenn n2b < n1 ist.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 10, wobei sich n2a und n2b des Behälters voneinander unterscheiden.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 10, wobei sich ein Krümmungsradius einer ebenen Form des ersten gebogenen Oberflächenteils des Behälters und ein Krümmungsradius einer ebenen Form des zweiten gebogenen Oberflächenteils des Behälters voneinander unterscheiden.
Haltevorrichtung gemäß Anspruch 10 wobei die Konturen der ebenen Formen des ersten konkaven Oberflächenteils des Behälters und des zweiten konkaven Oberflächenteils des Behälters einen Bogen beinhalten.