DE112010002787T5 - Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, Messverfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium - Google Patents

Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, Messverfahren, Programm und Aufzeichnungsmedium Download PDF

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Shigeki Nishina
Motoki Imamura
Akiyoshi IRISAWA
Tomoyu Yamashita
Eiji Kato
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Abstract

Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät der vorliegenden Erfindung umfasst ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, eine Relativpositionsänderungseinheit, eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, eine Phasenableitungseinheit, eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, eine Sinogramm-Ableitungseinheit und eine Bildableitungseinheit. Das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät gibt eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters aus, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt. Der Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert die elektromagnetische Welle, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde. Die Relativpositionsänderungseinheit ändert eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet. Die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit zeichnet eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle auf, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird. Die Phasenableitungseinheit leitet basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde. Die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit leitet eine verzögerungskorrigierte Phase ab, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase. Die Sinogramm-Ableitungseinheit leitet ein Sinogramm ab basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit. Die Bildableitungseinheit leitet basierend auf denn Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ab, welcher die Schnittlinie beinhaltet.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft die Tomographie unter Verwendung einer elektromagnetischen Welle (deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) (wie z. B. eine Terahertzwelle (deren Frequenz ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz ist)).
  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Die Computertomographie (CT) ist gemeinhin bekannt als ein Verfahren zum Erlangen tomographischer Informationen über ein Prüfobjekt. Dieses Verfahren wird als Röntgen-CT bezeichnet, wenn es unter Verwendung eines Generators und eines Detektors für Röntgenstrahlen ausgeführt wird. Mit der Röntgen-CT ist es möglich, tomographische Informationen über einen menschlichen Körper auf zerstörungsfreie und kontaktfreie Weise zu erhalten.
  • Jedoch ist es schwierig für die Röntgen-CT, interne Zustände zu detektieren (wie z. B. Defekte und Verformungen) industrieller Produkte, welche aus Halbleitern, Kunststoffen, Keramiken, Hölzern und Papieren konstruiert sind (im Weiteren als „Rohmaterial” bezeichnet). Dies liegt in der Tatsache begründet, dass die Röntgenstrahlen eine hohe Transmissionseigenschaft in Bezug auf jegliche Materialien aufweisen.
  • Auf der anderen Seite pflanzt sich die Terahertzwelle geeignet durch die Rohmaterialien der industriellen Produkte – wie oben beschrieben – hindurch fort. Hierdurch kann die CT, welche unter Verwendung eines Generators und eines Detektors der Terahertzwelle ausgeführt wird (im Weiteren als „Terahertz-CT” bezeichnet), interne Zustände der industriellen Produkte detektieren. Patentdokument 1 ( US-Patent-Nr.: 7 119 339 ) und Nicht-Patentdokument 1 (S. Wang et. al. „Pulsed terahertz tomography", J. Phys. D, Vol. 37 (2004), R1–R36) beschreiben die Terahertz-CT.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Jedoch kann bei der Terahertz-CT nach der Detektion der Terahertzwelle aufgrund eines Brechungsindex des Prüfobjekts und eines Brechungsindex einer Umgebung des Prüfobjekts ein Fehler erzeugt werden.
  • Deshalb ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Fehler eines Wertes der detektierten elektromagnetischen Welle einschließlich der Terahertzwelle zu entfernen, wenn eine elektromagnetische Welle (deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) einschließlich der Terahertzwelle einem Prüfobjekt (device under test, DUT) zum Messen zugeführt wird.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird, eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetische Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase ableitet; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm ableitet basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit beinhalten, welche basierend auf dem von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit abgeleiteten Ergebnis eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für die Gruppenverzögerung ableitet.
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit beinhalten, welche basierend auf dem von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit abgeleiteten Ergebnis eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für die chromatische Dispersion ableitet.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektierten Ergebnis eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird, indem ein Integral der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Frequenz der ersten Phase abgezogen wird; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts kann gemäß dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät der vorliegenden Erfindung bekannt sein; und die Sinogramm-Ableitungseinheit kann ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableiten.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, der zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, die durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase erlangt wird; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und – als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und des Bilds des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts – ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, der die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, die eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, die basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, die basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Gruppenverzögerungsableitungseinheit ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinoramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, der die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Gemäß dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät der vorliegenden Erfindung kann der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts bekannt sein; und die Sinogramm-Ableitungseinheit kann ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts ableiten basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts ableitet und basierend auf dem zweiten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und des Bilds des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher durch partielles Ableiten der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz erlangt wird, von dem Sinogramm; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Transmissionsgrad-Aufzeichnungseinheit, welche einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter übertragen wird, während eine Reflektion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt wird, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt; eine Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit, welche eine korrigierte Leistung ableitet, die eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, welche detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; eine Dämpfungsverhältnisableitungseinheit, welche ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und eine Inverse-Radontransformation-Einheit, welche die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis der Dämpfungsverhältnisableitungseinheit anwendet.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit, welche eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung erlangt wird; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit, welche eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Gemäß dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät der vorliegenden Erfindung kann der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts bekannt sein; und die Sinogramm-Ableitungseinheit kann ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts ableiten, basierend auf der Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung.
  • Ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst: Ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Chromatische-Dispersion-Korrektureinheit, welche eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher durch das partielle Ableiten einer Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz erlangt wird, von der chromatischen Dispersion; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die Frequenz der elektromagnetischen Welle ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; ein Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und ein Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild des Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis durch den Elektromagnetische-Wellen-Detektor eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase erlangt wird; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und die elektromagnetische Welle weiter in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch ein Übertragen der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und ein Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und ein Bild als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorlegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetische Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm, und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorlegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; ein Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet, und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; ein Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird, und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt, berücksichtigt ist; einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, die detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, der basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm ableitet für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der ektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Chromatische-Dispersion-Korrekturschritt, welcher eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von der chromatischen Dispersion; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welches die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten. Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorlegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertrage wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenabkitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen denn ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Ableiten der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter hindurch übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt ist, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt; einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, die detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Chromatische-Dispersion-Korrekturschritt, welcher eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von der chromatischen Dispersion; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; ein Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufgezeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; ein Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufgezeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zum Ausführen durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; ein Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, die durch den Behälter hindurch übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt ist, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt, einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, welche detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche durch den Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; ein Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; ein Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und ein Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welches die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, die erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Instruktionen zur Ausführung durch Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren umfasst: Einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Chromatische-Dispersion-Korrekturschritt, welcher eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von der chromatischen Dispersion; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 ist ein Diagramm, welches eine Konfiguration eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2(a) und 2(b) sind Draufsichten auf das Prüfobjekt (device under test, DUT) 1, das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und den Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung verschoben wird;
  • 3(a) ist eine Draufsicht des DUT 1, des Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegeräts 2 und des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 nicht in der θ-Richtung verschoben ist, und 3(b) ist eine Draufsicht des DUT 1, des Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegeräts 2 und des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der +θ-Richtung verschoben wird;
  • 4 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der ersten Ausführungsform zeigt;
  • 5(a) und 5(b) sind Diagramme, welche eine Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegeräts gemäß der zweiten Ausführungsform zeigen;
  • 6 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt;
  • 7 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der dritten Ausführungsform zeigt;
  • 8 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der vierten Ausführungsform zeigt;
  • 9 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der fünften Ausführungsform zeigt;
  • 10 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der sechsten Ausführungsform zeigt;
  • 11 ist Ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der siebten Ausführungsform zeigt;
  • 12(a) und 12(b) sind Vorderansichten des Behälters 5, welcher einen Teil des DUT 1 unterbringt, und des Terahertzwellen-Messgeräts;
  • 13(a) und 13(b) sind Vorderansichten des Behälters 5, welcher das DUT 1 zur Gänze unterbringt, und des Terahertzwellen-Messgeräts;
  • 14 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß einer Abwandlung der vierten Ausführungsform zeigt; und
  • 15 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß einer Abwandlung der fünften Ausführungsform zeigt.
  • ART UND WEISE DES AUSFÜHRENS DER ERFINDUNG
  • Nun wird eine Beschreibung der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Figuren gegeben.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist ein Diagramm, welches eine Konfiguration eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der ersten Ausführungsform umfasst ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2, einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4, einen Objekttisch zum Scannen (Relativpositionsänderungseinheit) 6, eine Anzeige 8 und ein Bildableitungsgerät 10. Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät wird zum Messen eines Prüfobjekts (device under test, DUT) 1 eingesetzt.
  • Ein Behälter bringt zumindest einen Teil des DUT 1 unter, welcher von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen werden soll. 1 zeigt einen ebenen Querschnitt des DUT 1 und des Behälters 5. Das DUT 1 ist zum Beispiel zylindrisch.
  • Weiterhin kann der Behälter 5 das DUT 1 teilweise (siehe 12(a) und 12(b)) oder gänzlich (siehe 13(a) und 13(b)) unterbringen.
  • Obwohl es einen dünnen Spalt zwischen dem Behälter 5 und dem DUT 1 gibt, ist dieser Spalt nicht abgebildet.
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 gibt eine elektromagnetische Welle in Richtung des DUT 1 und des Behälters 5 aus, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt. Die Frequenz der elektromagnetischen Welle, welche in Richtung des DUT 1 ausgegeben wird, beinhaltet ein Terahertzwellenband (wie zum Beispiel ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz). Gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird angenommen eine Terahertzwelle als ein Beispiel der elektromagnetischen Welle zu verwenden.
  • Die Terahertzwelle, welche in Richtung des DUT 1 ausgegeben wurde, wird durch das DUT 1 hindurch übertragen. Der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 detektiert die elektromagnetische Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle), welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Ein Punkt, an welchem die Terahertzwelle in das DUT 1 einfällt, ist m und ein Punkt, an welchem die Terahertzwelle aus dem DUT 1 austritt, ist n. Eine Schnittlinie 100 zwischen einem Strahlengang der elektromagnetischen Welle, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wird und dem DUT ist dann repräsentiert als eine Linie mn. Weiterhin ist die Form eines ebenen Querschnitts des DUT 1 kreisförmig und der Mittelpunkt des Kreises ist ein Punkt A.
  • Weiterhin ist ein Punkt, an welchem die Terahertzwelle in den Behälter 5 einfällt, m' und ein Punkt, an welchem die Terahertzwelle aus dem Behälter 5 austritt ist Alle Punkte ma, mb, mc und md in 2(a), 2(b), 3(a) und 3(b) sind Punkte, an welchen die Terahertzwelle in das DUT 1 einfällt. Alle Punkte na, nb, nc und nd in 2(a), 2(b), 3(a) und (3b) sind Punkte, an welchen die Terahertzwelle aus dem DUT 1 austritt.
  • Alle Punkte ma', mb', mc' und md' in 2(a), 2(b), 3(a) und 3(b) sind Punkte, an welchen die Terahertzwelle in den Behälter 5 einfällt. Alle Punkte na', nb', nc' und nd in 2(a), 2(b), 3(a) und 3(b) sind Punkte, an welchen die Terahertzwelle aus dem Behälter 5 austritt.
  • Der Behälter 5 beinhaltet einen ersten gekrümmten Oberflächenteil S1 und einen zweiten gekrümmten Oberflächenteil 52. Der erste gekrümmte Oberflächenteil S1 ist eine zylindrische Oberfläche mit einen Radius r1 (ein Teil einer Seitenfläche eines Zylinders, wobei dessen Bodenfläche ein Kreis mit dem Radius r1 ist). Der zweite gekrümmte Oberflächenteil 52 ist eine zylindrische Oberfläche mit einem Radius r2 (ein Teil einer Seitenfläche eines Zylinders, dessen Bodenfläche ein Kreis mit dem Radius r2 ist). Hier gilt die Beziehung r2 = r1. Der erste gekrümmte Oberflächenteil S1 und der zweite gekrümmte Oberflächenteil 52 sind als Bögen gezeichnet, welche in 1 zueinander achsensymmetrisch sind.
  • Das DUT 1 ist zwischen dem ersten gekrümmten Oberflächenteil S1 und dem zweiten gekrümmten Oberflächenteil S2 angeordnet. Aus diesem Grund wird ein Brechungsindex des DUT 1 als n1 bezeichnet und ein Brechungsindex des Behälters 5 als n2. Darm gilt eine Beziehung n1 < n2. Weiterhin sind der erste gekrümmte Oberflächenteil S1 und der zweite gekrümmte Oberflächenteil S2 konvexe Oberflächen. Weiterhin können n1 und n2 von dem Brechungsindex der den Behälter 5 umgebenden Luft (zum Beispiel 1) verschieden sein.
  • Es soll angemerkt werden, dass das Material des Behälters 5 ein Harzmaterial sein kann wie zum Beispiel Teflon (eingetragenes Markenzeichen), Polyethylen oder dergleichen. Diese Harzmaterialien können für gewöhnlich nicht zum Messen eines Lichtstrahls in dem sichtbaren Frequenzspektrum oder dem Infrarotspektrum verwendet werden. Jedoch weisen diese Harzmaterialien eine geringe Absorption und eine geringe Streuung des Lichtstrahls der Terahertzwelle auf und können daher zum Messen mit Hilfe der Terahertzwelle verwendet werden.
  • Der Objekttisch zum Scannen (Relativpositionsänderungseinheit) 6 verändert eine Relativposition einer Schnittlinie 100 in Bezug auf das DUT 1. Zum Beispiel ist das DUT 1 an dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt, der Objekttisch zum Scannen 6 bewegt sich in einer X-Richtung und einer Z-Richtung (Richtung senkrecht zu dem Blatt von 1) und rotiert um eine Linie, welche durch den Punkt A hindurchtritt und senkrecht zu dem Blatt von 1 steht (im Weiteren bezeichnet als ”Bewegung in einer θ-Richtung”).
  • 2(a) und 2(b) sind Draufsichten des DUT 1, des Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegeräts 2 und des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung bewegt wird. Es soll angemerkt werden, dass das DUT 1 Inhalte 1a und 1b beinhaltet. Der Objekttisch zum Scannen 6 ist nicht dargestellt.
  • In Bezug auf 2(a) wenn ein Objekttisch zum Scannen 6 in der +X-Richtung verschoben wird von dem Zustand, welcher in 1 gezeigt ist (alternativ können das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 in der –X-Richtung verschoben werden), wird die Schnittlinie 100 von einer Linie mana repräsentiert. Die Relativposition der Schnittlinie 100 in Bezug auf das DUT 1 ist unterhalb des Punkts A. Die Schnittlinie 100 tritt durch den Inhalt 1b hindurch.
  • In Bezug auf 2(b) wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der –X-Richtung verschoben ist von dem Zustand, welcher in 1 gezeigt wird (alternativ können das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 in der +X-Richtung verschoben sein), wird die Schnittlinie 100 von einer Linie mbnb repräsentiert. Die Relativposition der Schnittlinie 100 in Bezug auf das DUT 1 ist oberhalb des Punkts A. Die Schnittlinie 100 tritt durch den Inhalt 1a hindurch.
  • Wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung bewegt wird, verändert sich dabei der Zustand von dem, welcher in 2(a) gezeigt ist, zu dem, welcher in 2(b) gezeigt ist, wobei sich die Relativposition der Schnittlinie 100 in Bezug auf das DUT 1 verändert von derjenigen unterhalb des Punktes A zu derjenigen oberhalb des Punktes A.
  • In Bezug auf 2(b) wird eine Beschreibung eines Strahlengangs der Terahertzwelle gegeben, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgegeben wurde.
  • Zuerst wird die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 ausgegeben wurde (Strahlengang P1) auf den ersten gekrümmten Oberflächenteil S1 eingestrahlt. Dabei wird die Terahertzwelle gebrochen. In anderen Worten, der Behälter 5 (1 < n2) dient als eine konvexe Linse und der Strahlengang dreht sich daher in –X-Richtung und bewegt sich auf einem Strahlengang P2 (Linie mb'mb) in dem Behälter 5. Die Terahertzwelle, welche sich auf dem Strahlengang P2 bewegt hat, fällt in das DUT 1 ein und bricht. In anderen Worten, der Strahlengang wird in die +X-Richtung gedreht in Bezug auf eine Verlängerung des optischen Pfads P2 durch das DUT 1 (n1 < b2) und die Terahertzwelle bewegt sich auf einem Strahlengang P3 (Linie mbnb). Der Strahlengang P3 ist nahezu parallel mit dem Strahlengang P1 und der optischen Achse OA.
  • Die Terahertzwelle, welche sich auf dem Strahlengang P3 in dem DUT 1 bewegt hat, fällt in den Behälter 5 ein und bricht. In anderen Worten, der Strahlengang dreht in der +X-Richtung durch den Behälter 5 und die Terahertzwelle bewegt sich auf einem Strahlengang P4 (Linie nbnb'). Die Terahertzwelle, welche sich auf dem Strahlengang P4 bewegt hat, fällt in den zweiten gekrümmten Oberflächenteil S2 ein und bricht. In anderen Worten, der Behälter 5 (1 < n2) dient als eine konvexe Linse und die Terahertzwelle bewegt sich auf einem Strahlegang P5 und fällt in den Terahertzwellen-Detektor 4 ein.
  • In 2(b) ist der Strahlengang P2 nahezu achsensymmetrisch mit dem Strahlengang P4 und der Strahlengang P1 ist nahezu achsensymmetrisch mit dem Strahlengang P5, da der Bogen, welcher den ersten gekrümmten Oberflächenteil S1 repräsentiert, und der Bogen, welcher den zweiten gekrümmten Oberflächenteil S2 repräsentiert, achsensymmetrisch sind. Daher ist der Strahlengang P5 nahezu auf einer Verlängerung des Strahlengangs P1 verortet,
  • 3(a) ist eine Draufsicht auf das DUT 1, das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und den Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 nicht in der θ-Richtung bewegt wird, und 3(b) ist eine Draufsicht auf das DUT 1, das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und den Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4, wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der +θ-Richtung bewegt wird. Es soll angemerkt werden, dass das DUT 1 die Inhalte 1a und 1b beinhaltet. Der Objekttisch zum Scannen 6 ist nicht abgebildet. Weiterhin rotiert das DUT 1 in der +θ-Richtung, während sich der Behälters nicht dreht, als ein Ergebnis der Drehung des Objekttischs zum Scannen 6 in der +θ-Richtung des Objekttischs zum Scannen 6.
  • In Bezug auf 3(a), wenn der Objekttisch zum Scannen 6 nicht in der θ-Richtung bewegt wird, tritt derselbe Zustand wie in 2(a) auf, und die Schnittlinie 100 ist daher repräsentiert durch die Linie mcnc. Die Schnittlinie 100 tritt durch den Inhalt 1b hindurch.
  • In Bezug auf 3(b), wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der +θ-Richtung bewegt wird von dem Zustand, welcher in 3(a) gezeigt wird (alternativ können das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 und der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 in der –θ-Richtung verschoben werden), wird die Schnittlinie 100 von einer Linie mdnd repräsentiert. Die Schnittlinie 100 pflanzt sich weder durch den Inhalt 1a noch durch den Inhalt 1b hindurch fort.
  • Wenn der Objekttisch zum Scannen 6 in der θ-Richtung bewegt wird, wobei sich der Zustand von dem, welcher in 3(a) gezeigt ist, zu dem, welcher in 3(b) gezeigt ist, verändert, verändert sich die Relativposition der Schnittlinie 100 in Bezug auf das DUT 1.
  • 12(a) und 12(b) sind Vorderansichten des Behälters 5, welcher einen Teil des DUT 1 unterbringt, und des Terahertzwellen-Messgeräts. Das DUT 1 ist zylindrisch und ein Teil des DUT 1 ist in dem Behälter 5 untergebracht. Die Strahlengänge P2, P3 und P4 wurden in den 12(a) und 12(b) ausgelassen.
  • Der Behälter 5 und die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle bewegen sich in einer vertikalen Richtung (nach unten in den 12(a) und 12(b)) in Bezug auf das DUT 1. Der Strahlengang P5 schneidet sich dann mit einem unteren Teil des DUT 1 wie in 12(a) gezeigt. Als ein Ergebnis wird der untere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen. Es ist nur notwendig, zum Bewegen der Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und den Terahertzwellen-Detektor 4 zu bewegen.
  • Der Behälter 5 und die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle bewegen sich in der vertikalen Richtung (nach oben in 12(a) und 12(b)) in Bezug auf das DUT 1. Der Strahlengang P5 schneidet sich dann mit einem oberen Teil des DUT 1, wie in 12(b) gezeigt. Als ein Ergebnis wird der obere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen. Es ist nur notwendig, zum Bewegen der Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle das Terahertzwellen-Ausgabegerät 2 und den Terahertzwellen-Detektor 4 zu bewegen.
  • Das DUT 1 kann in Bezug auf den Behälter 5 und die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle vertikal bewegt werden.
  • 13(a) und 13(b) sind Vorderansichten des Behälters 5, welcher eine Gesamtheit des DUT 1 unterbringt, und des Terahertzwellen-Messgeräts. Es soll angemerkt werden, dass nur das DUT 1 als ein Querschnitt gezeigt ist. Das DUT 1 ist zylindrisch und die Gesamtheit des DUT 1 ist in dem Behälter 5 untergebracht. Die Strahlengänge P2, P3 und P4 sind in den 13(a) und 13(b) weggelassen.
  • In Bezug auf 13(a) bewegen sich der Behälter 5 und das DUT 1 in der vertikalen Richtung (nach oben in 13(a) und 13(b)) in Bezug auf die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle. Als ein Ergebnis wird der untere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen.
  • In Bezug auf 13(b) bewegen sich der Behälter 5 und das DUT 1 in der vertikalen Richtung (nach unten in 13(a) und 13(b)) in Bezug auf die Strahlengänge Pi und P5 der Terahertzwelle. Dann wird der obere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellen-Messgerät gemessen.
  • Die Strahlengänge P1 und P5 der Terahertzwelle können in Bezug auf den Behälter 5 und das DUT 1 vertikal verschoben werden.
  • Wie oben beschrieben, kann das DUT 1 von dem Objekttisch zum Scannen 6 gescannt werden.
  • Das Bildableitungsgerät 10 leitet ein Bild eines Querschnitts des DUT 1 ab, welches auf einer Ebene gemacht wurde, welche die Schnittlinie 100 beihaltet (das Blatt in 1, 2(a), 2(b), 3(a) und 3(b)).
  • Die Anzeige 8 zeigt ein Bild F(x, y) (siehe Gleichung (5)) an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde. Das abgeleitete Bild besteht aus numerischen Daten eines zweidimensionalen Querschnitts des DUT 1 und es wird ein zweidimensionales tomographisches Bild des DUT 1 gezeigt, indem die numerischen Daten mit vorgegebenen Farben assoziiert werden. Es soll angemerkt werden, dass ein weithin bekanntes Verfahren geeignet eingesetzt werden kann als das Verfahren zum Anzeigen des zweidimensionalen tomographischen Bilds basierend auf den numerischen Daten.
  • 4 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. Das Bildableitungsgerät 10 beinhaltet einen A/D-Konverter 11, eine Phasenableitungseinheit 12, eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15, eine Sinogramm-Ableitungseinheit 16, eine Integrationseinheit 17, eine Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 und eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19.
  • Der A/D-Konverter 11 konvertiert ein detektiertes Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4, welches ein analoges Signal ist, in ein digitales Signal.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle (zum Beispiel eine Terahertzwelle) ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf dem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 empfängt die Ausgabe des A/D-Konverters 11. Die Ausgabe des A/D-Konverters 11 sind Pulswellenformdaten der elektromagnetischen Welle, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde. Die Pulswellenformdaten sind eine Funktion von x (Bewegung in der X-Richtung des Objekttischs zum Scannen 6), θ (Bewegung in der θ-Richtung des Objekttischs zum Scannen 6) und t (Zeit).
  • Die Phasenableitungseinheit 12 transformiert diese Pulswellenformdaten mit Hilfe der Fourier-Transformation, wobei Spektraldaten der Pulswellenform in dem Frequenzbereich erlangt werden. Die Spektraldaten der Pulswellenform sind eine Funktion von x, θ und f (Frequenz). Die Phasenableitungseinheit 12 leitet eine Phase Ph1'(x, θ, f) aus den Spektraldaten der Pulswellenform ab. Es soll angemerkt werden, dass die Argumente (x, θ, f) der Funktion Ph1'(x, θ, f) in 4 weggelassen wurden. Für andere Funktionen ist die Darstellung der Argumente auf ähnliche Weise weggelassen worden.
  • Die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 zeichnet eine Verzögerungszeit Δt(x, θ) der elektromagnetischen Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) auf, welche von der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 verursacht wird. Die Verzögerungszeit Δt(x, θ) verursacht einen Fehler der Phase Ph1'(x, θ, f), welche von der Phasenableitungseinheit 12 abgeleitet wurde.
  • Die Verzögerungszeit Δt(x, θ) ist in Bezug auf 1 wie folgt repräsentiert. Δt(x, θ) = (((Brechungsindex des Strahlengangs mm') – 1)mm' + ((Brechungsindex des Strahlengangs nn') – 1)nn')/c wobei c die Lichtgeschwindigkeit bezeichnet.
  • Der Brechungsindex des Behälters 5 ist n2 und daher gilt die folgende Gleichung: Δt(x, θ) = ((n2 – 1)mm' + (n2 – 1)nn')/c
  • Die Integrationseinheit 17 integriert die Verzögerungszeit Δt(x, θ) in Bezug auf die Frequenz f.
  • Die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 subtrahiert die Ausgabe der Integrationseinheit 17 (der Wert, welcher durch das Integrieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) in Bezug auf die Frequenz f erlangt wurde) von der Phase Ph1'(x, θ, f) welche von der Phasenableitungseinheit 12 abgeleitet wurde, wobei eine verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) abgeleitet wird. Die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) besitzt einen Wert, welcher erlangt wird durch das Entfernen des Fehlers von der Phase Ph1'(x, θ, f), welcher durch die Verzögerungszeit Δt(x, θ) verursacht wird.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 empfängt die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 und leitet eine Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f).
  • Es soll angemerkt werden, dass die Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 abgeleitet wird gemäß der folgenden Gleichung (1). GD1(x, θ, f) = ∂ / ∂f Ph1(x, θ, f) Gleichung (1)
  • Die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 leitet eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19.
  • Die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 empfängt speziell die Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet eine chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Es soll angemerkt werden, dass die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) repräsentiert wird von der nachfolgenden Gleichung (2) und es wird daher erkannt, dass die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) erlangt werden kann durch das partielle Ableiten der Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f.
  • Es soll angemerkt werden, dass die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 empfangen kann, die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) zu der Gleichung (2) bestimmen kann und die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f)) ableiten kann.
  • Figure 00580001
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein Sinogramm basierend auf dem abgeleiteten Ergebnis (verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f)) von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 ab. Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 empfängt speziell die Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet das Sinogramm SGD1(x, θ) für die Gruppenverzögerung ab, wie in der folgenden Gleichung (3) gezeigt. Da die Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) abgeleitet wird basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) (siehe Gleichung (1)), wird das Sinogramm SGD1(x, θ) ebenfalls basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) abgeleitet. SGD1(x, θ) = ∫GD1(x, θ, f)df Gleichung (3)
  • Alternativ einpfängt die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) von der Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 und leitet das Sinogramm SCD1(x, θ, f) für die chromatische Dispersion ab wie in der folgenden Gleichung (4) gezeigt. Da die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) (siehe Gleichung (2)) abgeleitet wird, wird auch das Sinogramm SCD1(x, θ) basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) abgeleitet. SCD1(x, 0) = ∫CD1(x, θ, f)df Gleichung (4)
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 einpfängt das Sinogramm von der Sinogramm-Ableitungseinheit 16 und leitet ein Bild des Querschnitts des DUT 1 ab, welches die Schnittlinie 100 beinhaltet, basierend auf dem Sinogramm.
  • Wenn das Sinogramm, welches von der Sinogramm-Ableitungseinheit 16 abgeleitet wurde, repräsentiert wird als S(x, θ), dann leitet die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 das Bild F(x, y) wie von der folgenden Gleichung (5) beschrieben ab. Die Gleichung (5) bedeutet die Ableitung des Bildes gemäß der gefilterten Rückprojektion.
  • Figure 00600001
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der ersten Ausführungsform gegeben.
  • Zuerst wird das DUT i an dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt. Dann während sich der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung und der Z-Richtung (Richtung senkrecht zu dem Blatt von 1) sowie in der θ-Richtung bewegt, gibt das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 die elektromagnetische Welle in Richtung des DUT x aus, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) besitzt. Die Terahertzwelle, welche in Richtung des DUT 1 ausgegeben wurde, wird durch das DUT 1 hindurch übertragen. Die elektromagnetische Welle, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, wird von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 detektiert. Auf diese Weise wird das DUT 1 gescannt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde. Die Phase Ph1'(x, θ, f) beinhaltet den Fehler, welcher durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) verursacht wird, welcher ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 ist.
  • Die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 subtrahiert die Ausgabe (der Wert, welcher erlangt wird durch das Integrieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welche von der Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 aufgezeichnet wurde, in Bezug auf die Frequenz f) von der Integrationseinheit 17 von der Phase Ph1'(x, θ, f), welche von der Phasenableitungseinheit 12 abgeleitet wurde. Als ein Ergebnis wird die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) abgeleitet, von welcher der Fehler entfernt worden ist, der von der Verzögerung der elektromagnetischen Welle als ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 verursacht wurde.
  • Die Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und die chromatische Dispersion CD1(x, θ, f) werden abgeleitet basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) und der Sinogramm-Ableitungseinheit 16 zugeführt.
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet das Sinogramm SGD1(x, θ) basierend auf der Gruppenverzögerung oder dem Sinogramm SCD1(x, θ) basierend auf der chromatischen Dispersion ab. Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild des Querschnitts des DUT 1 von dem abgeleiteten Sinogramm ab.
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Gemäß der ersten Ausführungsform, wenn die CT für das DUT 1 ausgeführt wird, welches in dem Behälter 5 untergebracht ist, basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) (speziell basierend auf der Gruppenverzögerung oder chromatischen Dispersion) ist es möglich, den Fehler von der Phase Ph1'(x, θ, f) zu entfernen, welcher durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle als ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 verursacht wird.
  • Zweite Ausführungsform
  • Eine zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dahingehend, dass das (erste) DUT 1 und ein zweites DUT 20 verwendet werden. Das DUT 1 gemäß der ersten Ausführungsform wird als erstes DUT 1 gemäß der zweiten Ausführungsform bezeichnet.
  • 5(a) und 5(b) sind Diagramme, welche eine Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der zweiten Ausführungsform zeigen. 6 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt. In dem folgenden Abschnitt werden dieselben Komponenten mit denselben Bezugszeichen bezeichnet wie in der ersten Ausführungsform und nicht weiter im Detail beschrieben. Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß der zweiten Ausführungsform umfasst das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2, den Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4, den Objekttisch zum Scannen (Relativpositionsänderungseinheit) 6, die Anzeige 8 und das Bildableitungsgerät 10. Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät wird zum Messen des DUT 1 verwendet.
  • Weiterhin umfasst das Bildableitungsgerät 10 gemäß der zweiten Ausführungsform den A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Sinogramm-Ableitungseinheit 16, die Integrationseinheit 17, die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 und die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19.
  • Der Behälter 5 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird. Das (erste) DUT 1 ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform und deshalb wird auf eine Beschreibung desselben verzichtet.
  • Das zweite DUT 20 (siehe 5(a)) ist nicht in dem Behälter 5 untergebracht.
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform (siehe 5(b)). Jedoch gibt das Elektromagnetisch-Wellen-Ausgabegerät 2 zusätzlich eine elektromagnetische Welle (dieselbe wie die elektromagnetische Welle, welche dem ersten DUT 1 zugeführt wird) in Richtung des zweiten DUT 20 aus (siehe 5(a)).
  • Der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform (siehe 5(b)). Jedoch detektiert der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 ebenfalls die elektromagnetische Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle), welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde (siehe 5(a)).
  • Der Objekttisch zum Scannen (Relativpositionsänderungseinheit) 6 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform (siehe 5(b)). Jedoch ändert der Objekttisch zum Scannen 6 ebenso eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das zweite DUT 20, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wird und das zweite DUT 20 schneidet. Die Funktion des Objekttischs zum Scannen 6 ist dieselbe wie in dem Fall, in welchem das (erste) DUT 1 und der Behälter 5 an dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt ist (siehe 2(a), 2(b), 3(a), 3(b), 12(a), 12(b), 13(a) und 13(b)).
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet wie in der ersten Ausführungsform eine erste Phase Ph1'(x, θ, f) ab, welche diejenige Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde. Die Phasenableitungseinheit 12 leitet zusätzlich eine zweite Phase Ph2(x, θ, f) in denn Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde.
  • Der A/D-Konverter 11, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 und die Integrationseinheit 17 sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf Beschreibungen derselben verzichtet wird.
  • Die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 subtrahiert wie in der ersten Ausführungsform die Ausgabe (der Wert welcher erlangt wird durch das Integrieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) in Bezug auf die Frequenz f) der Integrationseinheit 17 von der ersten Phase Ph1'(x, θ, f), welche von der Phasenableitungseinheit 12 abgeleitet wurde, wobei die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) abgeleitet wird.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 einpfängt wie in der ersten Ausführungsform die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 und leitet eine erste Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f). Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 empfängt des Weiteren die zweite Phase Ph2(x, θ, f) und leitet eine zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde, basierend auf der zweiten Phase Ph2(x, θ, f).
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab.
  • Es soll angemerkt werden, dass das Sinogramm Srn(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung abgeleitet wird von der Sinogramm-Ableitungseinheit 16 gemäß der folgenden Gleichung (6). Srn(x, θ) = ∫(GD1(x, θ, f) – GD2(x, θ, f))df Gleichung (6)
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild F(x, y) des Querschnitts des DUT 1 ab, wie in der ersten Ausführungsform. Das Bild F(x, y) kann abgeleitet werden, indem S(x, θ) in der Gleichung (5) ersetzt wird durch das Sinogramm Srn(x, θ).
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der zweiten Ausführungsform gegeben.
  • Zuerst wird das zweite DUT 20 an dem Objekttisch zum Scannen 6 (siehe 5(a)) befestigt. Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des zweiten DUT 20 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph2(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 mit Hilfe der partiellen Ableitung der Phase Ph2(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde.
  • Dann wird das erste DUT 1 an dem Objekttisch zum Scannen 6 (siehe 5(b)) befestigt. Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des ersten DUT 1 durchgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die erste Phase Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) ab, indem die Ausgabe der Integrationseinheit 17 von der ersten Phase Ph1'(x, θ, f) subtrahiert wird.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 leitet mit Hilfe der partiellen Ableitung der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die erste Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Dabei einpfängt die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 die erste Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet das Sinogramm Srn(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 ab, basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) (siehe Gleichung (6)).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild des Querschnitts des DUT 1 wie in der ersten Ausführungsform ab.
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde, an.
  • Gemäß der zweiten Ausführungsform, wenn die CT ausgeführt wird für das DUT 1, welches in dem Behälter 5 untergebracht ist, basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) und der Phase Ph2(x, θ, f)(speziell basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung) ist es möglich den Fehler, welcher durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle als ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 verursacht wird von der Phase Ph1'(x, θ, f) zu entfernen.
  • Wenn der Brechungsindex des zweiten DUT 20 bekannt ist (zum Beispiel wenn das zweite DUT 20 Luft beinhaltet (umfassend Stickstoffatmosphäre oder Vakuum)), kann das Bild für den Brechungsindex des ersten DUT 1 angezeigt werden. Wenn das zweite DUT 20 die Luft ist, ist es nicht notwendig das zweite DUT 20 an dem Objekttisch zum Scannen 6 zu befestigen und das zweite DUT 20 in der X-Richtung zu bewegen.
  • In diesem Fall, leitet die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 ein Sinogramm Sn(x, θ) für den Brechungsindex des ersten DUT 1 von dem Sinogramm Srrn(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung gemäß der folgenden Gleichung (7) ab. Es soll angemerkt werden, dass c die Lichtgeschwindigkeit ist und Δx eine räumliche Auflösung des Sinogramms ist. Des Weiteren wird angenommen, dass der Brechungsindex des zweiten DUT 20 1 ist. Weiterhin wird das Sinogramm Srn(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung abgeleitet basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) wie oben beschrieben. Sn(x, θ) = 1 + c(Srn(x, θ))/Δx Gleichung (7)
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet ein Bild des Querschnitts des DUT 1 aus dem Sinogramm Sn(x, θ) für den Brechungsindex des ersten DUT 1 wie in der ersten Ausführungsform ab (es soll angemerkt werden, dass Srn(x, θ) in der Gleichung (6) ersetzt wird durch Sn(x, θ)). Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Dritte Ausführungsform
  • Eine dritte Ausführungsform verwendet das erste DUT 1 und das zweite DUT 20 wie in der zweiten Ausführungsform und dennoch unterscheidet sich die dritte Ausführungsform von der zweiten Ausführungsform in der Ableitung eines Sinogramms durch die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 und die Ableitung eines Bildes durch die Tomogramm-Ableitungseinheit 18.
  • 7 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der dritten Ausführungsform zeigt.
  • Die Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der dritten Ausführungsform ist dieselbe wie in der zweiten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung desselben verzichtet. Des Weiteren umfasst das Bildableitungsgerät 10 gemäß der dritten Ausführungsform den A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Sinogramm-Ableitungseinheit 16, die Integrationseinheit 17, die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 und die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19. Im folgenden Abschnitt werden dieselben Komponenten mit derselben Nummerierung beschrieben wie in der zweiten Ausführungsform und werden nicht weiter im Detail erklärt.
  • Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Integrationseinheit 17 und die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 sind dieselben wie in der zweiten Ausführungsform und werden nicht weiter im Detail erklärt.
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein erstes Sinogramm SGD1(x, θ) basierend auf der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ab und ein zweites Sinogramm SGD2(x, θ) basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) (siehe Gleichung (3), wo das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) erlangt wird durch das Ersetzen von GD1(x, θ, f) der Gleichung (3) durch GD2(x, θ, f)).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 leitet ein Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 basierend auf dem ersten Sinogramm SGD1(x, θ) ab und ein Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20 basierend auf dem zweiten Sinogramm SGD2(x, θ). Es soll angemerkt werden, dass das Verfahren des Ableitens des Bildes FGD1(x, y) und des Bildes FGD2(x, y) dasselbe ist wie in der ersten Ausführungsform. In anderen Worten, das Bild FGD1(x, y) und das Bild FGD2(x, y) kann abgeleitet werden, indem das erste Sinogramm SGD1(x, θ) bzw. das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) dem Sinogramm S(x, θ) in der Gleichung (5) zugeordnet wird.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet zusätzlich das Bild F(x, y) ab, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 als eine Differenz zwischen dem Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 und dem Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20 repräsentiert. Es soll angemerkt werden, dass F(x, y) = FGD1(x, y) – FGD2(x, y). Das Bild F(x, y) repräsentiert die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 sowie eine Differenz in den Brechungsindizes zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20.
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der dritten Ausführungsform gegeben.
  • Der Betrieb bis zur Ableitung der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) und der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ist derselbe wie in der zweiten Ausführungsform.
  • Zuerst wird das zweite DUT 20 an dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(a)). Dann wird das Scannen des zweiten DUT 20 ausgeführt wie in der ersten Ausführungsform.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph2(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 mit Hilfe des partiellen Differenzierens der Phase Ph2(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde.
  • Dann wird das erste DUT 1 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(b)). Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des ersten DUT 1 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die erste Phase Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit 19 die verzögerungskorrigierte Phase Ph1(x, θ, f) ab durch das Subtrahieren der Ausgabe der Integrationseinheit 17 von der ersten Phase Ph1'(x, θ, f)
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 leitet mit Hilfe des partiellen Ableitens der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die erste Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Die Funktion bis zu diesem Punkt ist dieselbe wie in der zweiten Ausführungsform.
  • Dabei empfängt die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 die erste Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet das erste Sinogramm SGD1(x, θ) basierend auf der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab.
  • Es soll angemerkt werden, dass das erste Sinogramm SGD1(x, θ) ein Integral der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz ist. Das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) ist ein Integral der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, 0, f) in Bezug auf die Frequenz.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 basierend auf dem ersten Sinogramm SGD1(x, θ) und das Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20 basierend auf dem zweiten Sinogramm SGD2(x, θ) ab.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet zusätzlich das Bild F(x, y) ab, welches die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 repräsentiert als die Differenz zwischen dem Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 und dem Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20. Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Gemäß der dritten Ausführungsform ist es möglich, wenn die CT nicht auf einer Absorptionsrate der elektromagnetischen Welle durch das DUT 1 basierend ausgeführt wird, sondern basierend auf der Phase Ph1(x, θ, f) und der Phase Ph2(x, θ, f) (speziell basierend auf der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung), den Fehler von der Phase Ph1'(x, θ, f) zu entfernen, welcher durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle verursacht wird als ein Ergebnis der elektromagnetischen Welle, welche durch den Behälter 5 hindurch übertragen wird.
  • Vierte Ausführungsform
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß einer vierten Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dahingehend, dass das Bildableitungsgerät 10 ein Sinogramm für die Gruppenverzögerung (oder die chromatische Diffusion) anstelle der Phase korrigiert.
  • 8 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der vierten Ausführungsform zeigt.
  • Die Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der vierten Ausführungsform ist dieselbe wie bei der ersten Ausführungsform (siehe 1) und daher wird auf eine Beschreibung desselben verzichtet. Der Behälter 5 ist derselbe wie der der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
  • Des Weiteren umfasst das Bildableitungsgerät 10 gemäß der vierten Ausführungsform den A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15, Sinogramm-Ableitungseinheiten 16a und 16b, Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheiten 162a und 162b, eine Partielle-Ableitungseinheit 172 und die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18. Im folgenden Abschnitt werden dieselben Komponenten mit denselben Referenznummern wie in der ersten Ausführungsform bezeichnet und werden nicht weiter im Detail beschrieben.
  • Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12 und die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung derselben verzichtet wird.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 einpfängt die Phase Ph1'(x, θ, f) von der Phasenableitungseinheit 12 und leitet eine Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f). Das Verfahren des Ableitens der Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform. In anderen Worten, die Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) kann abgeleitet werden mit Hilfe des partiellen Ableitens der Phase Ph1'(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f.
  • Die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 leitet eine chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit 12. Das Verfahren des Ableitens der chromatischen Dispersion CD1'(x, θ, f) ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform.
  • Speziell die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 empfängt die Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) kann erlangt werden durch das partielle Ableiten der Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f.
  • Des Weiteren kann die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 die Phase Ph1'(x, θ, f) von der Phasenableitungseinheit 12 empfangen und kann die Phase Ph1(x, θ, f) in der Gleichung (2) ersetzen durch die Phase Ph1'(x, θ, f), wodurch die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) abgeleitet wird.
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16a empfängt die Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet ein Sinogramm SGD1'(x, θ) basierend auf der Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) wie in der ersten Ausführungsform ab (es soll angemerkt werden, dass GD1(x, θ, f) in der Gleichung (3) ersetzt wird durch GD1'(x, θ, f)). Das Sinogramm SGD1'(x, θ) enthält einen Fehler, nämlich die Verzögerungszeit Δt(x, θ).
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16b empfängt die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) von der Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 und leitet ein Sinogramm SCD1'(x, θ) basierend auf der chromatischen Dispersion CD1'(x, θ, f) ab wie in der ersten Ausführungsform (es soll angemerkt werden, dass CD1(x, θ, f) in der Gleichung (4) ersetzt wird durch CD1'(x, θ, f)). Das Sinogramm SCD1'(x, θ) enthält einen Fehler, welcher durch die Verzögerungszeit Δt(x, θ) verursacht wird.
  • Die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a liest die Verzögerungszeit Δt(x, θ) aus der Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 aus und leitet ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm SGD1(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem Sinogramm SGD1'(x, θ). Das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welches der Fehler ist, von dem Sinogramm SGD1'(x, θ).
  • Die Partielle-Ableitungseinheit 172 leitet die Verzögerungszeit Δt(x, θ) in Bezug auf die Frequenz f partiell ab.
  • Die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162b leitet ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm SCD1(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren einer Ausgabe der Partielle-Ableitungseinheit 17 (ein Wert, welcher erlangt wird durch das partielle Ableiten der Verzögerungszeit Δt(x, θ) in Bezug auf die Frequenz f) von dem Sinogramm SCD1(x, θ). Das verzögerungskorrigierte Sinogramm SCD1(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Fehlers, welcher von der Verzögerungszeit Δt(x, θ) verursacht wird, von dem Sinogramm SCD'(x, θ).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 empfängt das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) oder SCD1(x, θ) von der Verzögerungskorrigierte-Ableitungseinheit 162a oder 162b und leitet ein Bild des Querschnitts des DUT 1 ab, welcher die Schnittlinie 100 einschließt, basierend auf dem Sinogramm wie in der ersten Ausführungsform (siehe Gleichung (5), SGD1(x, θ) oder SCD1(x, θ) wird S(x, θ) in der Gleichung (5) zugeordnet).
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der vierten Ausführungsform gegeben.
  • Zuerst wird das DUT 1 an dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt. Dann, während sich der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung und der Z-Richtung (Richtung senkrecht zu dem Blatt von 1) sowie in der θ-Richtung bewegt, gibt das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 die elektromagnetische Welle in Richtung des DUT 1 aus, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle). Die Terahertzwelle, welche in Richtung des DUT 1 abgegeben wurde, pflanzt sich durch das DUT 1 hindurch fort. Die elektromagnetische Welle, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, wird von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 detektiert. Auf diese Weise wird das DUT 1 gescannt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird denn A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde. Die Phase Ph1'(x, θ, f) beinhaltet den Fehler, welcher von der Verzögerung der elektromagnetischen Welle (wie einer Terahertzwelle) verursacht wird, welche ein Ergebnis des Übertragens der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 ist.
  • Die Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) werden abgeleitet basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) und der Sinogramm-Ableitungseinheit 16 zugeführt.
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet das Sinogramm SGD1'(x, θ) ab, basierend auf der Gruppenverzögerung oder das Sinogramm SCD1'(x, θ) basierend auf der chromatischen Dispersion. Der Fehler wird von dem abgeleiteten Sinogramm durch die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a oder 162b entfernt, woraus das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) oder SCD1(x, θ) resultiert.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild des Querschnitts des DUT 1 basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm SGD1(x, θ) oder SCD1(x, θ) ab.
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Gemäß der vierten Ausführungsform ist es möglich, wenn die CT für das DUT 1 ausgeführt wird, welches in dem Behälter 5 untergebracht ist, basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) (speziell basierend auf der Gruppenverzögerung oder der chromatischen Dispersion), den Fehler zu entfernen, welcher verursacht wird von der Verzögerung der elektromagnetischen Welle als ein Ergebnis der elektromagnetischen Welle, welche durch den Behälter 5 hindurch übertragen wird von dem Sinogramm SGD1'(x, θ) für die Gruppenverzögerung und von dem Sinogramm SCD1'(x, θ) für die chromatische Dispersion.
  • Als eine Abwandlung der vierten Ausführungsform kann die Gruppenverzbgerung GD1'(x, θ, f) und die chromatische Dispersion CD1'(x, θ, f) korrigiert werden.
  • 14 ist ein Funktionsblockdiagramm, welche eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der Abwandlung der vierten Ausführungsform zeigt. Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit 15 und die Partielle-Ableitungseinheit 172 des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der Abwandlung der vierten Ausführungsform sind dieselben wie in der vierten Ausführungsform.
  • Die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 zeichnet eine Verzögerungszeit Δt(x, θ, f) als Δt(x, θ, f) = Δt(x, θ) auf für alle fs in einem Frequenzband, in welchem die Phase Ph1'(x, θ, f) abgeleitet wird. In anderen Worten, Δt wird als konstant betrachtet unabhängig von f.
  • Eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit 14a leitet eine korrigierte Gruppenverzögerung ab, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ, f) von der Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f). Die korrigierte Gruppenverzögerung wird dann bezeichnet mit GD1(x, θ, f).
  • Eine Chromatische-Dispersion-Korrektureinheit 15a leitet eine korrigierte chromatische Dispersion ab, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wurde durch das partielle Ableiten der Verzögerungszeit Δt(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f, von der chromatischen Dispersion CD1'(x, θ, f). Die korrigierte chromatische Dispersion wird dann bezeichnet als CD1(x, θ, f).
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16a leitet das Sinogramm (welches mit SGD1(x, θ) bezeichnet ist) basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ab. Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16b leitet das Sinogramm (welches bezeichnet wird mit SCD1(x, θ)) basierend auf der chromatischen Dispersion CD1(x, θ, f) ab.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild des Querschnitts des DUT 1 basierend auf dem Sinogramm SGD1(x, θ) oder SCD1(x, θ) ab.
  • Fünfte Ausführungsform
  • Eine fünfte Ausführungsform unterscheidet sich von der vierten Ausführungsform dahingehend, dass das (erste) DUT 1 und das zweite DUT 20 verwendet werden. Das DUT 1 gemäß der vierten Ausführungsform wird bezeichnet als erstes DUT 1 gemäß der fünften Ausführungsform.
  • Die Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der fünften Ausführungsform ist dieselbe wie bei der zweiten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung derselben verzichtet. 9 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der fünften Ausführungsform zeigt. In dem folgenden Abschnitt werden dieselben Komponenten mit denselben Referenzzeichen wie in der vierten Ausführungsform bezeichnet und werden nicht weiter im Detail beschrieben.
  • Das Bildableitungsgerät 10 gemäß der fünften Ausführungsform umfasst den A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Sinogramm-Ableitungseinheit 16, die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a und die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18.
  • Der Behälter 5 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird. Das (erste) DUT 1 ist dasselbe wie das DUT 1 der ersten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
  • Das zweite DUT 20 (siehe 5(a)) wird nicht in dem Behälter 5 untergebracht.
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2, der Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 und der Objekttisch zum Scannen 6 sind dieselben wie in der zweiten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung derselben verzichtet wird.
  • Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12 und die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 sind dieselben wie in der zweiten Ausführungsform, weshalb auf eine Beschreibung derselben verzichtet wird.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 wie in der vierten Ausführungsform empfängt die erste Phase Ph1'(x, θ, f) von der Phasenableitungseinheit 12 und leitet die erste Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf der ersten Phase Ph1'(x, θ, f). Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 einpfängt des Weiteren die zweite Phase Ph2(x, θ, f) wie in der zweiten Ausführungsform und leitet eine zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde, basierend auf der zweiten Phase Ph2(x, θ, f).
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab.
  • Es soll angemerkt werden, dass ein Sinogramm S1'(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung abgeleitet wird durch das Ersetzen von GD1(x, θ, f) der Gleichung (6) durch GD1'(x, θ, f).
  • Die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a liest die Verzögerungszeit Δt(x, θ) aus der Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 aus und leitet ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm Srn(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem Sinogramm Srn'(x, θ). Das verzögerungskorrigierte Sinogramm Srn(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welches der Fehler ist, von denn Sinogramm Srn'(x, θ).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild F(x, y) des Querschnitts des DUT 1 ab wie in der ersten Ausführungsform. Das Bild F(x, y) kann abgeleitet werden, indem S(x, θ) in der Gleichung (5) durch Srn(x, θ) ersetzt wird.
  • Die Anzeige 8 zeigt ein Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der fünften Ausführungsform gegeben.
  • Zuerst wird das zweite DUT 20 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(a)). Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des zweiten DUT 20 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph2(x, θ, f)) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 durch partielles Ableiten der Phase Ph2(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenz der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde.
  • Dann wird das erste DUT 1 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(b)). Denn wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des ersten DUT 1 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die erste Phase Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 leitet die erste Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde, indem die erste Phase Ph1'(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f partiell abgeleitet wird.
  • Dabei empfängt die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 die erste Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet das Sinogramm Srn'(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT i und dem zweiten DUT 20 ab, basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) (siehe Gleichung (6), wo GD1(x, θ, f) ersetzt wird durch GD1'(x, θ, f)).
  • Im weiteren Verlauf leitet die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a das verzögerungskorrigierte Sinogramm Srn(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem Sinogramm Srn'(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung. Das verzögerungskorrigierte Sinogramm Srn(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welches der Fehler ist, von dem Sinogramm Srn'(x, θ).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein Bild des Querschnitts des DUT 1 ab wie in der ersten Ausführungsform.
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Gemäß der fünften Ausführungsform ist es möglich wenn die CT für das DUT 1 ausgeführt wird, welches in dem Behälter 5 untergebracht ist, basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) und der Phase Ph2(x, θ, f)) (speziell basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung), den Fehler zu entfernen, welcher durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle verursacht wird als ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5, von dem Sinogramm Srn'(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung.
  • Wenn der Brechungsindex des zweiten DUT 20 bekannt ist (zum Beispiel wenn das zweite DUT 20 Luft ist (umfassend Stickstoffatmosphäre oder Vakuum)), wie in der zweiten Ausführungsform beschrieben, kann das Bild für den Brechungsindex des ersten DUT 1 angezeigt werden. Wenn das zweite DUT 20 Luft ist, ist es nicht notwendig das zweite DUT 20 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 zu befestigen und das zweite DUT 20 in der X-Richtung zu bewegen.
  • In diesem Fall leitet die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 ein Sinogramm Sn'(x, θ) für den Brechungsindex des ersten DUT 1 von dem Sinogramm Srn'(x, θ) ab für die Differenz in der Gruppenverzögerung gemäß der oben beschriebenen Gleichung (7) (es soll angemerkt werden, dass Srn(x, θ) ersetzt wird durch Srn'(x, θ)). Es soll angemerkt werden, dass c die Lichtgeschwindigkeit ist und Δx die räumliche Auflösung des Sinogramms. Des Weiteren wird angenommen, dass der Brechungsindex des zweiten DUT 20 1 ist. Im Weiteren wird das Sinogramm Srn'(x, θ) für die Differenz in der Gruppenverzögerung abgeleitet, basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) wie vorhin beschrieben.
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet ein Bild des Querschnitts des DUT 1 aus dem Sinogramm Sn(x, θ) für den Brechungsindex des ersten DUT 1 ab (die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a erlangt das Sinogramm Sn(x, θ) durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem Sinogramm Sn'(x, θ)) wie in der ersten Ausführungsform. Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Als eine Abwandlung der fünften Ausführungsform kann die Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) korrigiert werden.
  • 15 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der Abwandlung der fünften Ausführungsform zeigt. Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12 und die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der Abwandlung der fünften Ausführungsform sind dieselben wie in der fünften Ausführungsform.
  • Die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 zeichnet Verzögerungszeit Δt(x, θ, f) auf als Δt(x, θ, f) = Δt(x, θ) für alle f's in einem Frequenzband, in welchem die Phase Ph1'(x, θ, f) abgeleitet wird. In anderen Worten, Δt wird als konstant betrachtet unabhängig von f.
  • Eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit 142 leitet eine korrigierte Gruppenverzögerung ab, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ, f) von der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f). Die korrigierte Gruppenverzögerung wird dann bezeichnet als GD1(x, θ, f).
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet das Sinogramm (welches bezeichnet ist als Srn(x, θ)) ab, basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) und der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) (siehe Gleichung (6)).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild des Querschnitts des DUT 1 ab, basierend auf dem Sinogramm Srn(x, θ).
  • Wenn der Brechungsindex des zweiten DUT 20 bekannt ist (zum Beispiel wenn das zweite DUT 20 Luft ist (umfassend Stickstoffatmosphäre oder Vakuum)), kann das Bild ebenfalls angezeigt werden für den Brechungsindex des ersten DUT 1 wie vorhin beschrieben.
  • Sechste Ausführungsform
  • Obwohl eine sechste Ausführungsform das erste DUT 1 und das zweite DUT 2 wie in der fünften Ausführungsform verwendet, ist es unterschiedlich von der fünften Ausführungsform in der Ableitung eines Sinogramms durch die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 und die Ableitung eines Bildes durch die Tomogramm-Ableitungseinheit 18.
  • 10 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der sechsten Ausführungsform zeigt.
  • Die Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der sechsten Ausführungsform ist dieselbe wie bei der fünften Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung derselben verzichtet. Des Weiteren umfasst das Bildableitungsgerät 10 gemäß der sechsten Ausführungsform den A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13, die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14, die Sinogramm-Ableitungseinheit 16, die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a und die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18. In den folgenden Abschnitten werden dieselben Komponenten mit denselben Referenzzeichen wie in der fünften Ausführungsform beschrieben und nicht weiter im Detail erklärt.
  • Der A/D-Konverter 11, die Phasenableitungseinheit 12, die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 und die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 sind dieselben wie in der fünften Ausführungsform, sodass auf Beschreibungen derselben verzichtet wird.
  • Die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 leitet ein erstes Sinogramm SGD1'(x, θ) basierend auf der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und ein zweites Sinogramm SGD2(x, θ) basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) (siehe Gleichung (3), wo GD1'(x, θ, f) oder GD2(x, θ, f) GD1(x, θ, f) zugeordnet wird).
  • Die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a liegt die Verzögerungszeit Δt(x, θ) aus der Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 13 aus und leitet das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem ersten Sinogramm SGD1'(x, θ). Das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welche der Fehler ist, von dem ersten Sinogramm SGD1'(x, 0).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit (Bildableitungseinheit) 18 leitet das Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 ab, basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm SGD1(x, θ) und das Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20 basierend auf dem zweiten Sinogramm SGD2(x, θ). Es soll angemerkt werden, dass das Verfahren zum Ableiten des Bildes FGD1(x, y) und das Bild FGD2(x, y) dieselben sind wie in der ersten Ausführungsform. In anderen Worten, das Bild FGD1(x, y) und das Bild FGD2(x, y) kann abgeleitet werden durch das Zuordnen des verzögerungskorrigierten Sinogramms SGD1(x, θ) bzw. des zweiten Sinogramms SGD2(x, θ) zu dem Sinogramm S(x, θ) in der Gleichung (5).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet zusätzlich das Bild F(x, y) ab, welche die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 repräsentiert als die Differenz zwischen dem Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 und dem Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20. Es soll angemerkt werden, dass F(x, y) = FGD1(x, y) – FGD2(x, y) ist. Das Bild F(x, y) repräsentiert die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem DUT 1 und dem DUT 20 sowie eine Differenz in dem Brechungsindex zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20.
  • Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der sechsten Ausführungsform gegeben.
  • Der Betrieb bis zur Ableitung der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) und der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) ist derselbe wie in der fünften Ausführungsform.
  • Zuerst wird das zweite DUT 20 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(a)). Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des zweiten DUT 20 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die Phase Ph2(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde. Wie in der ersten Ausführungsform leitet die Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 durch partielles Ableiten der Phase Ph2(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite DUT 20 hindurch übertragen wurde.
  • Dann wird das erste DUT 1 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt (siehe 5(b)). Dann wird wie in der ersten Ausführungsform das Scannen des ersten DUT 1 ausgeführt.
  • Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal wird der Phasenableitungseinheit 12 zugeführt.
  • Die Phasenableitungseinheit 12 leitet die erste Ph1'(x, θ, f) in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Die Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit 14 leitet die erste Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) durch partielles Ableiten der verzögerungskorrigierten Phase Ph1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz f ab, welche eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste DUT 1 hindurch übertragen wurde.
  • Der Betrieb bis zu diesem Punkt ist derselbe wie in der fünften Ausführungsform.
  • Dabei empfängt die Sinogramm-Ableitungseinheit 16 die erste Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) und die zweite Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) von der Gruppenverzögerungsableitungseinheit 14 und leitet das erste Sinogramm SGD1'(x, θ) basierend auf der ersten Gruppenverzögerung GD1'(x, θ, f) ab und das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f).
  • Es soll angemerkt werden, dass das erste Sinogramm SGD1'(x, θ) ein Integral der ersten Gruppenverzögerung GD1(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz ist. Das zweite Sinogramm SGD2(x, θ) ist ein Integral der zweiten Gruppenverzögerung GD2(x, θ, f) in Bezug auf die Frequenz.
  • Des Weiteren leitet die Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit 162a das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) ab, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ) von dem ersten Sinogramm SGD1'(x, θ). Das verzögerungskorrigierte Sinogramm SGD1(x, θ) ist ein Sinogramm, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit Δt(x, θ), welche der Fehler ist, von dem ersten Sinogramm SGD1'(x, θ).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet das Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 ab, basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm SGD1(x, θ) und das Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20 basierend auf dem zweiten Sinogramm SGD2(x, θ).
  • Die Tomogramm-Ableitungseinheit 18 leitet des Weiteren das Bild F(x, y) ab, welches die Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten DUT 1 und dem zweiten DUT 20 repräsentiert als die Differenz zwischen dem Bild FGD1(x, y) des Querschnitts des ersten DUT 1 und dem Bild FGD2(x, y) des Querschnitts des zweiten DUT 20. Die Anzeige 8 zeigt das Bild an, welches von dem Bildableitungsgerät 10 abgeleitet wurde.
  • Gemäß der sechsten Ausführungsform ist es möglich, wenn die CT nicht basierend auf einer Absorptionsrate der elektromagnetischen Welle durch das DUT 1 ausgeführt wird, sondern basierend auf der Phase Ph1'(x, θ, f) und der Phase Ph2(x, θ, f) (speziell basierend auf der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung), den Fehler von dem ersten Sinogramm SGD1'(x, θ) zu beseitigen, der durch die Verzögerung der elektromagnetischen Welle verursacht wird als ein Ergebnis der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5.
  • Siebte Ausführungsform
  • Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß einer siebten Ausführungsform misst das DUT 1 basierend auf dem Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle des DUT 1.
  • Die Konfiguration des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts gemäß der siebten Ausführungsform ist dieselbe wie bei der ersten Ausführungsform (siehe 1) und daher wird auf eine Beschreibung derselben verzichtet. Der Behälter 5 ist derselbe wie der der ersten Ausführungsform, so dass auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
  • 11 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches eine Konfiguration des Bildableitungsgeräts 10 gemäß der siebten Ausführungsform zeigt. Das Bildableitungsgerät 10 gemäß der siebten Ausführungsform umfasst den A/D-Konverter 11, eine Transmissionsgradaufzeichnungseinheit 120, eine Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit 130, eine Dämpfungsverhältnisableitungseinheit 140 und eine Inverse-Radontransformation-Einheit 180.
  • Der A/D-Konverter 11 ist derselbe wie in der ersten Ausführungsform, so dass auf eine Beschreibung desselben verzichtet wird.
  • Die Transmissionsgradaufzeichnungseinheit 120 zeichnet einen Wert auf, welcher einen Transmissionsgrad T repräsentiert, welcher der Leistung der elektromagnetischen Welle entspricht, die durch den Behälter 5 hindurch übertragen wird, wenn eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an den Transmissionsoberflächen (ein erster gekrümmter Oberflächenteil S1 und ein zweiter gekrümmter Oberflächenteil S2) berücksichtigt wird, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter 5 eintritt. Es soll angemerkt werden, dass ”ein Wert, welcher einen Transmissionsgrad repräsentiert” der Transmissionsgrad selber sein kann, eine Funktion des Transmissionsgrades (wie zum Beispiel ein Logarithmus des Transmissionsgrades) oder ein Reflexionsgrad (100% – (Transmissionsgrad)). Dabei zeichnet die Transmissionsgradaufzeichnungseinheit den Transmissionsgrad T selbst auf.
  • Es wird angenommen, dass Licht, welches sich in einem Medium mit einem Brechungsindex n0 bewegt hat, in einem Einfallswinkel θin1 ein Medium einfällt, welches einen Brechungsindex n1 besitzt. Dabei wird eine Leistungsreflexion Rp1 eines p-polarisierten Lichts repräsentiert von einer Gleichung (8) und eine Leistungsreflexion RS1 eines s-polarisierten Lichts von einer Gleichung (9).
  • Figure 00880001
  • Daher ist es möglich, die Leistungsreflexion des p-polarisierten Lichts (s-polarisierten Lichts) an den Punkten m, m', n und n' gemäß den Gleichungen (8) und (9) zu erlangen.
  • Dabei wird die Leistungsreflexion des p-polarisierten Lichts (s-polarisierten Lichts) an dem Punkt m bezeichnet mit Rpm(R); die Leistungsreflexion des p-polarisierten Lichts (s-polarisierten Lichts) an dem Punkt m', wird bezeichnet mit Rpm'(Rsm'); die Leistungsreflexion des p-polarisierten Lichts (s-polarisierten Lichts) an dem Punkt n wird bezeichnet mit Rpa,(Rsn); und die Leistungsreflexion des p-polarisierten Lichts (s-polarisierten Lichts) an dem Punkt n' wird bezeichnet mit Rpn'(Rsn').
  • Wenn die elektromagnetische Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) p-polarisiertes Licht ist und eine Transmission T mit Tp bezeichnet ist, wird Tp repräsentiert durch: Tp = (1 – Rpm')(1 – Rpm)(1 – Rpn)(1 – Rpn').
  • Wenn die elektromagnetische Welle (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle) s-polarisiertes Licht ist und eine Transmission T mit Ts bezeichnet wird, wird Ts repräsentiert durch: Ts = (1 – Rsm')(1 – Rsm)(1 – Rsn)(1 – Rsn').
  • Wenn die elektromagnetische Welle elliptisch polarisiertes Licht ist und eine p-Richtungskomponente und eine s-Richtungskomponente bei einem Leistungsverhältnis a:1 – a (0 < a < 1) beinhaltet, wird der Transmissionsgrad T repräsentiert durch: T = aTp + (1 – a)Ts.
  • Die Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit 130 leitet basierend auf einer Leistung (bezeichnet mit I'(X, θ)) der elektromagnetischen Welle, welche durch den Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 detektiert wurde, und dem Transmissionsgrad T eine korrigierte Leistung I(X, θ) ab, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, welche detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad T 100% ist. Es soll angemerkt werden, dass X ein X-Achsenabschnitt einer Schnittlinie 100 ist. In anderen Worten, X beschreibt eine X-Achsenkoordinate des Schnittpunkts zwischen der X-Achse (der Achse, welche sich in der X-Richtung erstreckt) und der Schnittlinie 100. Des Weiteren bezeichnet θ einen Winkel zwischen der Schnittlinie 100 und einer horizontalen Achse, welche senkrecht zu der X-Achse ist.
  • Die Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit 130 leitet eine korrigierte Leistung I ab, zum Beispiel als I = I'/T.
  • Die Dämpfungsverhältnisableitungseinheit 140 leitet ein Dämpfungsverhältnis g(X, θ) der elektromagnetischen Welle ab, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung I(X, θ).
  • Eine Leistung (Intensität) der elektromagnetischen Welle, welche sich auf das DUT 1 zu bewegt, wird bezeichnet mit I0. Das Dämpfungsverhältnis g(X, θ) der elektromagnetischen Welle wird dann repräsentiert als ln(I0/I(X, θ)).
  • Die Inverse-Radontransformation- Einheit 180 empfängt das Dämpfungsverhältnis g(X, θ) von der Dämpfungsverhältnisableitungseinheit 140 und führt eine inverse Radontransformation durch, wobei ein Querschnittsbild erlangt wird. Das Querschnittsbild wird der Anzeige 8 zugeführt. Es soll angemerkt werden, dass die Inverse-Radontransformation-Einheit 18 vordefinierte Farben bestimmen kann, welche mit dem Querschnittsbild verbunden sind und kann die bestimmten Farben der Anzeige 8 zur Verfügung stellen.
  • Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der siebten Ausführungsform gegeben.
  • Zuerst wird das DUT 1 auf dem Objekttisch zum Scannen 6 befestigt. Dann, während sich der Objekttisch zum Scannen 6 in der X-Richtung und der Z-Richtung (Richtung senkrecht zu dem Blatt von 1) sowie in der O-Richtung bewegt, gibt das Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät 2 die elektromagnetische Welle in Richtung des DUT 1 aus, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt (wie zum Beispiel eine Terahertzwelle). Die Terahertzwelle, welche in Richtung des DUT 1 abgegeben wurde, pflanzt sich durch das DUT 1 hindurch fort. Die elektromagnetische Welle, welche durch das DUT 1 hindurch übertragen wurde, wird von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor 4 detektiert. Auf diese Weise wird das DUT 1 gescannt.
  • Das detektierte Ergebnis (Leistung I'(X, θ)) des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird dem A/D-Konverter 11 des Bildableitungsgeräts 10 zugeführt. Das detektierte Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors 4 wird von dem A/D-Konverter 11 in das digitale Signal konvertiert und das digitale Signal der Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit 130 zugeführt. Die Leistung I'(X, θ) beinhaltet einen Fehler, welcher durch die Reflexion durch den Behälter 5 verursacht wird.
  • Die Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit 130 leitet die korrigierte Leistung I(X, θ) ab, indem die Leistung I'(X, θ) durch den Transmissionsgrad T geteilt wird, mit welchem die Leistung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter 5 hindurch übertragen wird. Somit wird der Fehler, welcher von der Reflexion durch den Behälter 5 verursacht wird, von der Leistung I' entfernt und resultiert in der korrigierten Leistung I.
  • Die Dämpfungsverhältnisableitungseinheit 140 leitet das Dämpfungsverhältnis g(X, θ)(= ln(I0/I(X, θ))) aus der korrigierten Leistung I(X, θ) ab.
  • Die Inverse-Radontransformation-Einheit 180 einpfängt das Dämpfungsverhältnis g(X, θ) der Dämpfungsverhältnisableitungseinheit 140 und führt eine inverse Radontransformation durch, wobei ein Querschnittsbild erlangt wird.
  • Das Querschnittsbild wird der Anzeige 8 zugeführt und angezeigt.
  • Gemäß der siebten Ausführungsform, wenn die CT basierend auf der Leistung I'(X, θ) auf das DUT 1 angewendet wird, welches in dem Behälter 5 untergebracht ist, kann der Fehler, welcher von der Reflexion durch den Container 5 verursacht wird, von der Leistung I'(X, θ) entfernt werden.
  • Des Weiteren können die oben beschriebenen Ausführungsformen auf die folgende Weise realisiert werden. Ein Computer ist ausgestattet mit einer CPU, einer Festplatte und einem Medien-Leser für zum Beispiel eine Floppydisk (eingetragenes Markenzeichen) und/oder eine CD-ROM, wobei der Medienleser veranlasst wird ein Medium zu lesen, welches ein Programm aufzeichnet, welches die oben beschriebenen zugehörigen Komponenten, wie zum Beispiel das Bildableitungsgerät 10 realisiert, wobei das Programm auf die Festplatte installiert wird. Dieses Verfahren kann ebenso die oben beschriebenen Funktionen realisieren.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 7119339 [0004]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • Wang et. al. „Pulsed terahertz tomography”, J. Phys. D, Vol. 37 (2004), R1–R36 [0004]

Claims (49)

  1. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät aufweisend: ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetische Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase ableitet; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm ableitet basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  2. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß Anspruch 1, aufweisend eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf dem von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit abgeleiteten Ergebnis eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für die Gruppenverzögerung ableitet.
  3. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß Anspruch 1, aufweisend eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit, welche basierend auf dem von der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit abgeleiteten Ergebnis eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für die chromatische Dispersion ableitet.
  4. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektierten Ergebnis eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird, indem ein Integral der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Frequenz der ersten Phase abgezogen wird; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  5. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß Anspruch 4, wobei der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts bekannt ist; und die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableitet.
  6. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, der zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit, welche eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, die durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase erlangt wird; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungseinheit und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und – als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und des Bilds des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts – ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  7. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, der die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, die eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, die basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, die basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Gruppenverzögerungsableitungseinheit ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm, ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  8. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, der die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  9. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß Anspruch 8, wobei der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts bekannt ist; und die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts basierend auf der Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableitet.
  10. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm erlangt wird; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts ableitet und basierend auf dem zweiten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und des Bilds des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  11. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit ableitet; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Verzögerungskorrigierte-Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher durch partielles Ableiten der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz erlangt wird, von dem Sinogramm; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  12. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Transmissionsgrad Aufzeichnungseinheit, welche einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter übertragen wird, während eine Reflektion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt wird, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt; eine Korrigierte-Leistung-Ableitungseinheit, welche eine korrigierte Leistung ableitet, die eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, welche detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; eine Dämpfungsverhältnisableitungseinheit, welche ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und eine Inverse-Radontransformation-Einheit, welche die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis der Dämpfungsverhältnisableitungseinheit anwendet.
  13. Ektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit, welche eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung erlangt wird; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  14. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Gruppenverzögerungsableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Gruppenverzögerungskorrektureinheit, welche eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  15. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemäß Anspruch 15, wobei der Brechungsindex des zweiten Prüfobjekts bekannt ist; und die Sinogramm-Ableitungseinheit ein Sinogramm für den Brechungsindex des ersten Prüfobjekts basierend auf der Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ableitet.
  16. Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet; eine Phasenableitungseinheit, welche basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Chromatische-Dispersion-Ableitungseinheit, welche basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis der Phasenableitungseinheit eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Verzögerungszeitaufzeichnungseinheit, welche eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; eine Chromatische-Dispersion-Korrektureinheit, welche eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher durch das partielle Ableiten einer Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz erlangt wird, von der chromatischen Dispersion; eine Sinogramm-Ableitungseinheit, welche ein Sinogramm basierend der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und eine Bildableitungseinheit, welche basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  17. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die Frequenz der elektromagnetischen Welle ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild des Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  18. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis durch den Elektromagnetische-Wellen-Detektor eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase erlangt wird; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  19. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und die elektromagnetische Welle weiter in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche durch ein Übertragen der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und ein Bild als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  20. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  21. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  22. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet, und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  23. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird, und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  24. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt, berücksichtigt ist; einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, die detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  25. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einen detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, der basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  26. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm ableitet für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  27. Messverfahren unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Verfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Chromatische-Dispersion-Korrekturschritt, welcher eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von der chromatischen Dispersion; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welches die Schnittlinie beinhaltet.
  28. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  29. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  30. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, welche von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  31. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von der Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  32. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertrage wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungsskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  33. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiterhin die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von den ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  34. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Ableiten der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  35. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, welche durch den Behälter hindurch übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt ist, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt; einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, die detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  36. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, das eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einen, abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  37. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  38. Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist: einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Chromatische-Dispersion-Korrekturschritt, welcher eine korrigierte chromatische Dispersion ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von der chromatischen Dispersion; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten chromatischen Dispersion ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  39. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der Phase; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  40. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufgezeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetische Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  41. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufgezeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritt, welcher eine verzögerungskorrigierte Phase ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren eines Integrals der Verzögerungszeit in Bezug auf die Frequenz von der ersten Phase; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Verzögerungskorrigierte-Phasen-Ableitungsschritts und der zweiten Phase eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf dem ersten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  42. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase im Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Gruppenverzögerungsableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  43. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welchem ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der ersten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  44. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein erstes Sinogramm basierend auf der ersten Gruppenverzögerung ableitet und ein zweites Sinogramm basierend auf der zweiten Gruppenverzögerung ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die von einer Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch Subtrahieren der Verzögerungszeit von dem ersten Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher ein Bild eines Querschnitts des ersten Prüfobjekts basierend auf denn verzögerungskorrigierten Sinogramm ableitet und ein Bild eines Querschnitts des zweiten Prüfobjekts basierend auf dem zweiten Sinogramm ableitet und als eine Differenz zwischen dem Bild des Querschnitts des ersten Prüfobjekts und dem Bild des Querschnitts des zweiten Prüfobjekts ein Bild ableitet, welches eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt repräsentiert.
  45. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine chromatische Dispersion in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Chromatische-Dispersion-Ableitungsschritts ableitet; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Verzögerungskorrigiertes-Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein verzögerungskorrigiertes Sinogramm ableitet, welches erlangt wird durch das Subtrahieren eines Wertes, welcher erlangt wird durch das partielle Differenzieren der Gruppenverzögerung in Bezug auf die Frequenz, von dem Sinogramm; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem verzögerungskorrigierten Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
  46. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Weile in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Transmissionsgradaufzeichnungsschritt, welcher einen Wert aufzeichnet, der einen Transmissionsgrad einer Leistung der elektromagnetischen Welle repräsentiert, die durch den Behälter hindurch übertragen wird, während eine Reflexion der elektromagnetischen Welle an einer Transmissionsoberfläche berücksichtigt ist, durch welche die elektromagnetische Welle in den Behälter eintritt; einen Korrigierte-Leistung-Ableitungsschritt, welcher eine korrigierte Leistung ableitet, welche eine Leistung der elektromagnetischen Welle ist, welche detektiert wird, wenn der Transmissionsgrad 100% ist, basierend auf einer Leistung der elektromagnetischen Welle, welche durch den Elektromagnetische-Wellen-Detektor detektiert wird, und dem Transmissionsgrad; einen Dämpfungsverhältnisableitungsschritt, welcher ein Dämpfungsverhältnis der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, basierend auf der korrigierten Leistung; und einen Inverse-Radontransformation-Schritt, welcher die inverse Radontransformation auf ein abgeleitetes Ergebnis des Dämpfungsverhältnisableitungsschritts anwendet.
  47. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer Schnittlinie in Bezug auf das Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, welche erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher ein Sinogramm basierend auf der korrigierten Gruppenverzögerung ableitet; und ein Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welches die Schnittlinie beinhaltet.
  48. Computerlesbares Medium aufweisend ein Programm von Anweisungen zur Ausführung durch einen Computer zum Durchführen eines Messverfahrens unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts aufweisend ein Elektromagnetische-Wellen-Ausgabegerät, welches eine elektromagnetische Welle in Richtung eines ersten Prüfobjekts und eines Behälters ausgibt, welcher zumindest einen Teil des ersten Prüfobjekts unterbringt, wobei die elektromagnetische Welle eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt, und weiter die elektromagnetische Welle in Richtung eines zweiten Prüfobjekts ausgibt; einen Elektromagnetische-Wellen-Detektor, welcher die elektromagnetische Welle detektiert, die durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und die elektromagnetische Welle detektiert, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; und eine Relativpositionsänderungseinheit, welche eine Relativposition einer ersten Schnittlinie in Bezug auf das erste Prüfobjekt ändert, an welcher ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wird und das erste Prüfobjekt schneidet, wobei das Messverfahren aufweist einen Phasenableitungsschritt, welcher basierend auf einem detektierten Ergebnis des Elektromagnetische-Wellen-Detektors eine erste Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Phase ableitet, welche eine Phase in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ist, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Gruppenverzögerungsableitungsschritt, welcher basierend auf einem abgeleiteten Ergebnis des Phasenableitungsschritts eine erste Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das erste Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, und eine zweite Gruppenverzögerung in dem Frequenzbereich der elektromagnetischen Welle ableitet, welche durch das zweite Prüfobjekt hindurch übertragen wurde; einen Verzögerungszeitaufzeichnungsschritt, welcher eine Verzögerungszeit der elektromagnetischen Welle aufzeichnet, die durch eine Übertragung der elektromagnetischen Welle durch den Behälter verursacht wird; einen Gruppenverzögerungskorrekturschritt, welcher eine korrigierte Gruppenverzögerung ableitet, die erlangt wird durch das Subtrahieren der Verzögerungszeit von der ersten Gruppenverzögerung; einen Sinogramm-Ableitungsschritt, welcher basierend auf einer Differenz zwischen der korrigierten Gruppenverzögerung und der zweiten Gruppenverzögerung ein Sinogramm für eine Differenz in der Gruppenverzögerung zwischen dem ersten Prüfobjekt und dem zweiten Prüfobjekt ableitet; und einen Bildableitungsschritt, welcher basierend auf dem Sinogramm ein Bild eines Querschnitts des Prüfobjekts ableitet, welcher die Schnittlinie beinhaltet.
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