JPS6193936A - 放射線による被測定物の組成分析方法 - Google Patents
放射線による被測定物の組成分析方法Info
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- JPS6193936A JPS6193936A JP59214580A JP21458084A JPS6193936A JP S6193936 A JPS6193936 A JP S6193936A JP 59214580 A JP59214580 A JP 59214580A JP 21458084 A JP21458084 A JP 21458084A JP S6193936 A JPS6193936 A JP S6193936A
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- radiation
- rays
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- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
丁産業上の利用外！１７Ｊ
本発明は放射線を利用した非破壊手段により。
被測定物の組成を分析する方法に関する。
Ｔ従来技術Ａ
複数の元素により構成された物質において、各元素の比
、各元素の絶対量等を非破壊手段で求めるとき、複数の
単色Ｘ線をその物質に照射し、その透過Ｘ線の強度を所
定の検出系で測定解析する方法が実施されている。
、各元素の絶対量等を非破壊手段で求めるとき、複数の
単色Ｘ線をその物質に照射し、その透過Ｘ線の強度を所
定の検出系で測定解析する方法が実施されている。
かかる方法の場合、Ｘ線エネルギが当初から定まってい
るので、発生させるＸ線エネルギを自由に変えることが
できず、したがって被測定物の厚さ、構成元素に応じた
高精度の分析が望めない。
るので、発生させるＸ線エネルギを自由に変えることが
できず、したがって被測定物の厚さ、構成元素に応じた
高精度の分析が望めない。
また、検出系としてＧｅなどの半導体素子からなる検出
器が一般に用いられるが、Ｇｅ系検出器は高価であるば
かりか、液体チー／素により冷却しながら使用しなけれ
ばならないので、保守、管理等にも難点がある。
器が一般に用いられるが、Ｇｅ系検出器は高価であるば
かりか、液体チー／素により冷却しながら使用しなけれ
ばならないので、保守、管理等にも難点がある。
子発明が解決しようとする問題点Ａ
本発明は上記の問題点に鑑み、被測定物の構成元素、厚
さなどに応じた分析が高精度かつ経済的に行なえる方法
を提供しようとするものである。
さなどに応じた分析が高精度かつ経済的に行なえる方法
を提供しようとするものである。
子問題点を解決するだめの手段」
本発明に係る方法は、放射線発生装置からの放射線を、
複数の元素または物質により構成された被測定物に照射
し、その透過線を複数個の単結晶体に当てて特定エネル
ギの透過線を複数種取り出し、これら透過線を放射線検
出装置で測定解析することにより、被測定物中における
各構成元素ごとの組成を分析することを特徴としている
。
複数の元素または物質により構成された被測定物に照射
し、その透過線を複数個の単結晶体に当てて特定エネル
ギの透過線を複数種取り出し、これら透過線を放射線検
出装置で測定解析することにより、被測定物中における
各構成元素ごとの組成を分析することを特徴としている
。
７作用１
本発明方法の場合、被測定物を透過した透過放射線すな
わち透過線を、複数個の単結晶体に当てて特定エネルギ
の透過線を複数種取り出すから、被測定物の厚さ、構成
元素に応じ、取り出せる放射線のエネルギを自由に変え
ることができ、したがってこれら透過線を放射線検出装
置で測定解析するときの分析精度が高まり、しかも検出
器としてはＧｅ系検出器のごときでなく、安価で取り扱
いの容易なシンチレーション計数管でよいから、取り扱
い上の難度がないとともに経済的となる。
わち透過線を、複数個の単結晶体に当てて特定エネルギ
の透過線を複数種取り出すから、被測定物の厚さ、構成
元素に応じ、取り出せる放射線のエネルギを自由に変え
ることができ、したがってこれら透過線を放射線検出装
置で測定解析するときの分析精度が高まり、しかも検出
器としてはＧｅ系検出器のごときでなく、安価で取り扱
いの容易なシンチレーション計数管でよいから、取り扱
い上の難度がないとともに経済的となる。
ｆ実 施 例ｊ
以下本発明方法の実施例につき、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図放射線発生装置（イ）（ロ）は本発明方法におけ
る被測定物の態様を示したもので、同図（イ）の被測定
物ｌでは、ある種の元素からなる物質２とそれとは異な
る元素のからなる物質３とが相互に隣接して並んでおり
、同図（ロ）では、互いに異なる複数の元素により被測
定物ｌが構成されている。
る被測定物の態様を示したもので、同図（イ）の被測定
物ｌでは、ある種の元素からなる物質２とそれとは異な
る元素のからなる物質３とが相互に隣接して並んでおり
、同図（ロ）では、互いに異なる複数の元素により被測
定物ｌが構成されている。
第２図は本発明方法の１実施例である。
同図において、４は放射線発生装置であり、この放射線
発生装置としては、１例としてＸ線発生装置が用いられ
る。
発生装置としては、１例としてＸ線発生装置が用いられ
る。
５ａ、 ５ｂ、 ５ｃはコリメータ、ｆｔａ、 ６ｂは
単結晶体である。
単結晶体である。
７ａ、７ｂは例えばＭａｌをシンチレータとしたシンチ
レーション計数管からなる検出器、８はマルチチャンネ
ル型波高分析器であり１両検出器７ａ、 ７ｂとマルチ
チャンネル型波高分析器８とが相互に接続されて放射線
検出装置８が構成されている。
レーション計数管からなる検出器、８はマルチチャンネ
ル型波高分析器であり１両検出器７ａ、 ７ｂとマルチ
チャンネル型波高分析器８とが相互に接続されて放射線
検出装置８が構成されている。
第２図において前記第１図（イ）の被測定物ｌの組成を
分析するとき、被測定物ｌはコリメータ５ｂ、５ｃの間
に配置される。
分析するとき、被測定物ｌはコリメータ５ｂ、５ｃの間
に配置される。
放射線発生装置４からの放射線（Ｘ線）はコリメータ５
ａ、５ｂを通過した後、被測定物１へ入射するとともに
該被測定物１を透過した放射線すなわち透過線が各単結
晶体６ａ、 ８ｂへ入射し、その後の回折波がそれぞれ
検出器７ａ、７ｂへ入射する。
ａ、５ｂを通過した後、被測定物１へ入射するとともに
該被測定物１を透過した放射線すなわち透過線が各単結
晶体６ａ、 ８ｂへ入射し、その後の回折波がそれぞれ
検出器７ａ、７ｂへ入射する。
上記両車結晶体のうち、単結晶体８ａはラウェ条件を満
たす所望のエネルギが取り出せるように配置されており
、他方の単結晶体６ｂではブラッグ条件を満たすようそ
の結晶の角度が調整され、所望のエネルギが取り出せる
ようになっている。
たす所望のエネルギが取り出せるように配置されており
、他方の単結晶体６ｂではブラッグ条件を満たすようそ
の結晶の角度が調整され、所望のエネルギが取り出せる
ようになっている。
ここでラウェ、ブランクの両ケースにつき、第３図（イ
）（ロ）を参照して説明する。
）（ロ）を参照して説明する。
第３図（イ）に示すラウェケースの場合、同図のごとく
入射した透過線（Ｘ線）が結晶内のある格子面で回折し
、入射波側とは異なる面にｘｉｓが出てくる。
入射した透過線（Ｘ線）が結晶内のある格子面で回折し
、入射波側とは異なる面にｘｉｓが出てくる。
第３図（ロ）に示すブラッグケースの場合、同図に示す
ごとくＸ線は結晶内部を透過せず、格子面で回折する。
ごとくＸ線は結晶内部を透過せず、格子面で回折する。
いずれの場合も、格子間の距離をｄとすると、各単結晶
体８ａ、６ｂを介して取り出せるエネルギＥは次式のよ
うになる。
体８ａ、６ｂを介して取り出せるエネルギＥは次式のよ
うになる。
上記式においてｎは整数、ｈはブランク定数、Ｃは光速
、ｅはＸ線と格子面とのなす角である。
、ｅはＸ線と格子面とのなす角である。
したがってｅを変えることにより所望のエネルギをもつ
Ｘ線が取り出せる。
Ｘ線が取り出せる。
このようにして各検出器７ａ、 ７ｂへ入射した透過線
（Ｘ線）はこれら検出器７ａ、７ｂのシンチレータ（Ｎ
ａＩ）に当たり、ここでエネルギを失って光を放出する
。
（Ｘ線）はこれら検出器７ａ、７ｂのシンチレータ（Ｎ
ａＩ）に当たり、ここでエネルギを失って光を放出する
。
その光は光電増倍管で増巾されてマルチチャンネル型波
高分析器８に入り、これを介して波高分析することによ
りＸ線の強度分布を知ることができる。
高分析器８に入り、これを介して波高分析することによ
りＸ線の強度分布を知ることができる。
ここで簡単な例として、上記のごとく測定されたＸ線強
度により、被測定物１における物質２．３の質量厚さを
求める方法を述べる。
度により、被測定物１における物質２．３の質量厚さを
求める方法を述べる。
なお、質量厚さは、物質の厚さく放射線が透過する方向
の寸法）とその厚さ方向における元素の質量との積によ
り求まる値であり、これにより各物質中の組成比、各構
成元素の絶対量などが判明する。
の寸法）とその厚さ方向における元素の質量との積によ
り求まる値であり、これにより各物質中の組成比、各構
成元素の絶対量などが判明する。
上記において入射Ｘ線をＩＯ，単結晶体６ａ、１３ｂを
介して取り出されるエネルギをＥｌ、Ｅ２、透過Ｘ線の
強度を１１．Ｉ２．物質２．３のエネルギをＥｌ、Ｅ２
に対する吸収係数をＭＡＬ、ｉＡ２、ＭＢｌ、 ＭＢ２
．物質２．３の放射線透過方向の厚さをｉＡ、ＦＢとす
ると下記の式がなりたつ。
介して取り出されるエネルギをＥｌ、Ｅ２、透過Ｘ線の
強度を１１．Ｉ２．物質２．３のエネルギをＥｌ、Ｅ２
に対する吸収係数をＭＡＬ、ｉＡ２、ＭＢｌ、 ＭＢ２
．物質２．３の放射線透過方向の厚さをｉＡ、ＦＢとす
ると下記の式がなりたつ。
これにより質量厚さく９文）を求めると、次式％式％
びρＡ、ρＢは前記物質２．３の密度である。
上記の方法は、第４図にように２種の元素により構成さ
れた物質、例えば５１０２とＧ ｅ ０２とにより構成
された被測定物についても、各元素ごとの質量厚さを求
めることができる。
れた物質、例えば５１０２とＧ ｅ ０２とにより構成
された被測定物についても、各元素ごとの質量厚さを求
めることができる。
被測定物は断面円形、断面多角形など、任意形状のもの
が特定対象となる。
が特定対象となる。
例えば２種の元素から構成された円筒体、円柱体におい
て、各元素の質量厚さがこれらの中心軸に対称に分布し
ている場合、被測定物とＸ線照射方向とを直交させ、そ
のＸ線照射方向と直交する方向へ被測定物をインチング
するか、または放射線発生装置および放射線検出装置を
インチングして当該被測定物の一側端から他側端までを
Ｘ線で走査する。
て、各元素の質量厚さがこれらの中心軸に対称に分布し
ている場合、被測定物とＸ線照射方向とを直交させ、そ
のＸ線照射方向と直交する方向へ被測定物をインチング
するか、または放射線発生装置および放射線検出装置を
インチングして当該被測定物の一側端から他側端までを
Ｘ線で走査する。
この際、各照射位置を透過したＸ線強度は前記の方法と
同じく順次検出器（シンチレーション計数管）により検
出し、当該検出結果に基づき被測定物の横断面方向に対
する各構成元素の質量厚さを求める。
同じく順次検出器（シンチレーション計数管）により検
出し、当該検出結果に基づき被測定物の横断面方向に対
する各構成元素の質量厚さを求める。
本発明方法ではＸ線以外の放射線も用いることができる
。。
。。
ｒ発明の効果」
以−Ｆ説明した通り、本発明方法によるときは、複数の
元素または物質により構成された被測定物を任意の放射
線により非破壊測定するとき、被測定物を透過した透過
線を複数個の単結晶体に当てて特定エネルギの透過線を
複数種取り出すから、被測定物の厚さ、構成元素に応じ
、取り出せる放射線のエネルギを自由に変えることがで
き、したがってこれら透過線を放射線検出装置で測定解
析するときの分析精度が高まるとともに検出器も安価で
取り扱いの容易なシンチレーション計数管等でよいから
、取り扱いが易度、経済性などが確保できる。
元素または物質により構成された被測定物を任意の放射
線により非破壊測定するとき、被測定物を透過した透過
線を複数個の単結晶体に当てて特定エネルギの透過線を
複数種取り出すから、被測定物の厚さ、構成元素に応じ
、取り出せる放射線のエネルギを自由に変えることがで
き、したがってこれら透過線を放射線検出装置で測定解
析するときの分析精度が高まるとともに検出器も安価で
取り扱いの容易なシンチレーション計数管等でよいから
、取り扱いが易度、経済性などが確保できる。
【図面の簡単な説明】
第１図（イ）（ロ）は本発明方法における被測定物の各
種態様を略示した説明図、第２図は本発明方法の１実施
例を略示した説明図、第３図（イ）（ロ）は本発明方法
でのＸ線回析におけるラウェケース、ブラッグケースを
示した説明図、第４図は被測定物の各元素の密度分布図
である。 ｌ ・・・・舎・被測定物 ２．３・・・φ物質 ４ ・・・−・・放射線発生装置 ５ａ、５ｂ、５ｃ＊＊＝＋リメータ ８ａ、 ６ｂ・・・・単結晶体 ７ａ、７ｂ・・・・検出器 ８ ・−φ・・・マルチチャンネル型波高分析器８ ＠
・・拳拳・放射線検出装置 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第１図 （イ） （０）
第 ４ 図 イ１【、９・１足１初のイシこ 手続補正書 昭和６０年 １月１８日 ２ 発明の名称 放射線による被測定物の組成分
析方法３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 古河電気工業株式会社 ４代理人〒１００ 東京都千代田区有楽町１丁目６番６号小谷ビル５ 補正
命令の日付（自発） ６ 補正の対象 ｒＪＡ細書のｆ特許請求の範囲」 「発明の詳細な説明
」の各欄７ 補正の内容 １）特許請求の範囲の範囲をつぎの通り補正します。 ！（１）放射線発生装置からの放射線を、複数の元素ま
たは物質により構成された被測定物に照射し、その透過
線を複数個の単結晶体に当てて特定エネルギの透過線を
Ｎ数種取り出し、これら透過線を放射線検出装置で測定
解析することにより、被測定物中における各構成元素ご
との組成を分析することを特徴とす林射線による被測定
物の組成分析方法。 （２）放射線の照射時、被測定物、放射線のいずれかを
走査する特許請求の範囲第１項記載の放射線による被測
定物の組成分析方法。」 ２） 明細８第４頁１行目のｆ放射線検出装置町を削除
し、同頁４行目の「元素のからなるｊをＩ元素からなる
、ｊ と補正します。 ３）明細書第７頁２狛目のｆ質量ＡをＩ音度」と補正し
、同頁８行［１の「キをＥｌ、ｊをｌギＥ１、Ｊと補正
します。
種態様を略示した説明図、第２図は本発明方法の１実施
例を略示した説明図、第３図（イ）（ロ）は本発明方法
でのＸ線回析におけるラウェケース、ブラッグケースを
示した説明図、第４図は被測定物の各元素の密度分布図
である。 ｌ ・・・・舎・被測定物 ２．３・・・φ物質 ４ ・・・−・・放射線発生装置 ５ａ、５ｂ、５ｃ＊＊＝＋リメータ ８ａ、 ６ｂ・・・・単結晶体 ７ａ、７ｂ・・・・検出器 ８ ・−φ・・・マルチチャンネル型波高分析器８ ＠
・・拳拳・放射線検出装置 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第１図 （イ） （０）
第 ４ 図 イ１【、９・１足１初のイシこ 手続補正書 昭和６０年 １月１８日 ２ 発明の名称 放射線による被測定物の組成分
析方法３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 古河電気工業株式会社 ４代理人〒１００ 東京都千代田区有楽町１丁目６番６号小谷ビル５ 補正
命令の日付（自発） ６ 補正の対象 ｒＪＡ細書のｆ特許請求の範囲」 「発明の詳細な説明
」の各欄７ 補正の内容 １）特許請求の範囲の範囲をつぎの通り補正します。 ！（１）放射線発生装置からの放射線を、複数の元素ま
たは物質により構成された被測定物に照射し、その透過
線を複数個の単結晶体に当てて特定エネルギの透過線を
Ｎ数種取り出し、これら透過線を放射線検出装置で測定
解析することにより、被測定物中における各構成元素ご
との組成を分析することを特徴とす林射線による被測定
物の組成分析方法。 （２）放射線の照射時、被測定物、放射線のいずれかを
走査する特許請求の範囲第１項記載の放射線による被測
定物の組成分析方法。」 ２） 明細８第４頁１行目のｆ放射線検出装置町を削除
し、同頁４行目の「元素のからなるｊをＩ元素からなる
、ｊ と補正します。 ３）明細書第７頁２狛目のｆ質量ＡをＩ音度」と補正し
、同頁８行［１の「キをＥｌ、ｊをｌギＥ１、Ｊと補正
します。
Claims (2)
- （１）放射線発生装置からの放射線を、複数の元素また
は物質により構成された被測定物に照射し、その透過線
を複数個の単結晶体に当てて特定エネルギの透過線を複
数種取り出し、これら透過線を放射線検出装置で測定解
析することにより、被測定物中における各構成元素ごと
の組成を分析することを特徴とする放射線による放射線
による被測定物の組成分析方法。 - （２）放射線の照射時、被測定物、放射線のいずれかを
走査する特許請求の範囲第１項記載の放射線による被測
定物の組成分析方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214580A JPS6193936A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 放射線による被測定物の組成分析方法 |
| CN85107357.3A CN1011440B (zh) | 1984-10-13 | 1985-09-28 | 用放射线分析测定物组份的方法 |
| DE8585307256T DE3581356D1 (de) | 1984-10-13 | 1985-10-10 | Verfahren zur bestimmung der zusammenstellung von faseroptikbasismaterial unter verwendung von roentgenstrahlung. |
| EP85307256A EP0178849B1 (en) | 1984-10-13 | 1985-10-10 | Method of analyzing composition of optical fiber base material to be measured by radioactive rays |
| US06/786,695 US4884290A (en) | 1984-10-13 | 1985-10-11 | Method of analyzing composition of optical fiber base material to be measured by radioactive rays |
| CA000492826A CA1262779A (en) | 1984-10-13 | 1985-10-11 | Method of analysing composition of optical fiber base material to be measured by radioactive rays |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214580A JPS6193936A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 放射線による被測定物の組成分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193936A true JPS6193936A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16658067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214580A Pending JPS6193936A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 放射線による被測定物の組成分析方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4884290A (ja) |
| EP (1) | EP0178849B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6193936A (ja) |
| CN (1) | CN1011440B (ja) |
| CA (1) | CA1262779A (ja) |
| DE (1) | DE3581356D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004001790A1 (de) * | 2004-01-12 | 2005-08-04 | Commodas Daten- Und Systemtechnik Nach Mass Gmbh | Vorrichtung zur Trennung von Schüttgütern |
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| JPH0769477B2 (ja) * | 1990-09-05 | 1995-07-31 | 理学電機工業株式会社 | Ｘ線分光装置 |
| US5280176A (en) * | 1992-11-06 | 1994-01-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | X-ray photoelectron emission spectrometry system |
| US6041098A (en) * | 1997-02-03 | 2000-03-21 | Touryanski; Alexander G. | X-ray reflectometer |
| JP4498663B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2010-07-07 | 学校法人東京理科大学 | 透過型結晶分析体の厚さ設定方法 |
| CN110527551A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-12-03 | 浙江理工大学 | 适用于炼油常减压装置的多元组分分离系统 |
| CN110527552A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-12-03 | 浙江理工大学 | 适用于常减压装置实时动态的多元组分精准分离方法 |
| CN111285052A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-16 | 河北金波嘉源测控技术有限公司 | 皮带物料流控制系统 |
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|---|---|---|---|---|
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| NL255499A (ja) * | 1959-09-03 | 1900-01-01 | ||
| NL252217A (ja) * | 1960-06-01 | |||
| US3100261A (en) * | 1960-07-29 | 1963-08-06 | Gen Electric | X-ray analyzing apparatus wherein two comparative detector channels have different absorption versus frequency characteristics |
| US3397312A (en) * | 1964-08-15 | 1968-08-13 | Hitachi Ltd | Laminated X-ray analyzing crystal wherein the respective laminations have different lattice spacings |
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