JP2003328938A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JP2003328938A JP2003328938A JP2002138637A JP2002138637A JP2003328938A JP 2003328938 A JP2003328938 A JP 2003328938A JP 2002138637 A JP2002138637 A JP 2002138637A JP 2002138637 A JP2002138637 A JP 2002138637A JP 2003328938 A JP2003328938 A JP 2003328938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- piston
- vacuum pump
- exhaust
- intake
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】排気及び吸気構成の自由度の大きい真空ポンプ
を提供する。 【解決手段】本発明の真空ポンプは、シリンダ４０と、
シリンダ４０内において往復動するように構成されたピ
ストン５０とを備える。シリンダ４０内には吸気弁４６
を固定するためのボルト４８が設けられる一方で、ピス
トン５０にはボルト４８の頭部４８ａと嵌まり合う凹部
５０ａが設けられている。このボルト４８の頭部４８ａ
と、ピストンの凹部５０ａが、シリンダ４０及びピスト
ン５０の回転中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置に設けられている。
を提供する。 【解決手段】本発明の真空ポンプは、シリンダ４０と、
シリンダ４０内において往復動するように構成されたピ
ストン５０とを備える。シリンダ４０内には吸気弁４６
を固定するためのボルト４８が設けられる一方で、ピス
トン５０にはボルト４８の頭部４８ａと嵌まり合う凹部
５０ａが設けられている。このボルト４８の頭部４８ａ
と、ピストンの凹部５０ａが、シリンダ４０及びピスト
ン５０の回転中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置に設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ドライ真空ポンプ
に関し、特に、揺動ピストン型ドライ真空ポンプの圧縮
室の技術に関する。
に関し、特に、揺動ピストン型ドライ真空ポンプの圧縮
室の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空ポンプとしては、例
えば、図６（ａ）（ｂ）に示すようなものが知られてい
る。図６（ａ）（ｂ）に示すように、この真空ポンプ１
０１は、シリンダ１０２と、このシリンダ１０２に対応
するピストン１０３を有している。
えば、図６（ａ）（ｂ）に示すようなものが知られてい
る。図６（ａ）（ｂ）に示すように、この真空ポンプ１
０１は、シリンダ１０２と、このシリンダ１０２に対応
するピストン１０３を有している。
【０００３】さらに、シリンダ１０２は、ピストン１０
３が挿入されるシリンダ部１０４と、このシリンダ部１
０４の一方の端部に設けられるヘッドプレート１０５を
有し、このヘッドプレート１０５にはヘッドカバー１０
６が取り付けられている。
３が挿入されるシリンダ部１０４と、このシリンダ部１
０４の一方の端部に設けられるヘッドプレート１０５を
有し、このヘッドプレート１０５にはヘッドカバー１０
６が取り付けられている。
【０００４】図７（ａ）に示すように、ヘッドプレート
１０５には、排気孔１０５ａ及び吸気孔１０５ｂが設け
られている。そして、ヘッドプレート１０５の表面の排
気孔１０５ａの部位に排気弁１０７が設けられるととも
に、ヘッドプレート１０５の裏面の吸気孔１０５ｂの部
位には吸気弁１０８が設けられている。
１０５には、排気孔１０５ａ及び吸気孔１０５ｂが設け
られている。そして、ヘッドプレート１０５の表面の排
気孔１０５ａの部位に排気弁１０７が設けられるととも
に、ヘッドプレート１０５の裏面の吸気孔１０５ｂの部
位には吸気弁１０８が設けられている。
【０００５】図６（ｂ）に示すように、ピストン１０３
は、ピストンロッド１０３ａの先端部に設けられた支持
部１０３ｂにカップパッキン１０９を装着し、このカッ
プパッキン１０９を押え板１１０によって押さえるよう
に構成されている。
は、ピストンロッド１０３ａの先端部に設けられた支持
部１０３ｂにカップパッキン１０９を装着し、このカッ
プパッキン１０９を押え板１１０によって押さえるよう
に構成されている。
【０００６】そして、図示しないモータの動力によって
ピストンロッド１０３ａを往復動させ、吸気弁１０８及
び排気弁１０７の動作により、吸気管１１１を介してシ
リンダ１０２内に大気を取り込むとともに、シリンダ１
０２内の大気を排気管１１２から排出するようになって
いる。
ピストンロッド１０３ａを往復動させ、吸気弁１０８及
び排気弁１０７の動作により、吸気管１１１を介してシ
リンダ１０２内に大気を取り込むとともに、シリンダ１
０２内の大気を排気管１１２から排出するようになって
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の真空ポンプ１０１の場合、ヘッドプレート１０５
の裏面に吸気弁１０８を固定するためのボルト１１３の
頭部１１３ａが突出しているため、図６（ｂ）及び図７
（ｂ）に示すように、ピストン１０３の押え板１１０
に、このボルト１１３の頭部１１３ａを逃がすための凹
部１１０ａが設けられている。
従来の真空ポンプ１０１の場合、ヘッドプレート１０５
の裏面に吸気弁１０８を固定するためのボルト１１３の
頭部１１３ａが突出しているため、図６（ｂ）及び図７
（ｂ）に示すように、ピストン１０３の押え板１１０
に、このボルト１１３の頭部１１３ａを逃がすための凹
部１１０ａが設けられている。
【０００８】したがって、従来の真空ポンプ１０１で
は、吸気管１１１及び排気管１１２の向きを変更しよう
とすると、ヘッドプレート１０５、押え板１１０及びピ
ストンロッド１０３ａの向きをヘッドカバー１０６の向
きに合わせなければならず、その結果、対応可能な方向
が限定されるという問題があった。
は、吸気管１１１及び排気管１１２の向きを変更しよう
とすると、ヘッドプレート１０５、押え板１１０及びピ
ストンロッド１０３ａの向きをヘッドカバー１０６の向
きに合わせなければならず、その結果、対応可能な方向
が限定されるという問題があった。
【０００９】本発明は、このような従来の技術の課題を
解決するためになされたもので、排気及び吸気構成の自
由度の大きい真空ポンプを提供することを目的とする。
解決するためになされたもので、排気及び吸気構成の自
由度の大きい真空ポンプを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた請求項１記載の発明は、吸排気（吸気又は排
気）用の弁を有するシリンダと、前記シリンダ内におい
て往復動するように構成されたピストンとを備え、前記
シリンダ内に突部が設けられる一方で、前記ピストンに
は前記突部と嵌まり合う凹部が設けられた真空ポンプで
あって、前記シリンダの突部と前記ピストンの凹部が、
前記シリンダ及び前記ピストンの回転中心軸の近傍の位
置に設けられているものである。請求項２記載の発明
は、請求項１記載の発明において、前記シリンダ内の突
部が、前記弁の弁体を前記シリンダ内に固定するための
固定部材であるものである。請求項３記載の発明は、請
求項１又は２のいずれか１項記載の発明において、前記
ピストンの凹部が、前記ピストンに設けられるパッキン
を固定する固定部材に設けられた孔であるものである。
になされた請求項１記載の発明は、吸排気（吸気又は排
気）用の弁を有するシリンダと、前記シリンダ内におい
て往復動するように構成されたピストンとを備え、前記
シリンダ内に突部が設けられる一方で、前記ピストンに
は前記突部と嵌まり合う凹部が設けられた真空ポンプで
あって、前記シリンダの突部と前記ピストンの凹部が、
前記シリンダ及び前記ピストンの回転中心軸の近傍の位
置に設けられているものである。請求項２記載の発明
は、請求項１記載の発明において、前記シリンダ内の突
部が、前記弁の弁体を前記シリンダ内に固定するための
固定部材であるものである。請求項３記載の発明は、請
求項１又は２のいずれか１項記載の発明において、前記
ピストンの凹部が、前記ピストンに設けられるパッキン
を固定する固定部材に設けられた孔であるものである。
【００１１】本発明にあっては、シリンダの突部（例え
ば弁体固定用の固定部材）とピストンの凹部が、シリン
ダ及びピストンの回転中心軸の近傍の位置に設けられて
いることから、例えばヘッドカバーに設けられた吸気管
及び排気管の向きを変更した場合であっても、シリンダ
の突部とピストンの凹部の相対的な位置関係が変わらな
いため、吸気管及び排気管の向きを任意に設定すること
が可能になる。
ば弁体固定用の固定部材）とピストンの凹部が、シリン
ダ及びピストンの回転中心軸の近傍の位置に設けられて
いることから、例えばヘッドカバーに設けられた吸気管
及び排気管の向きを変更した場合であっても、シリンダ
の突部とピストンの凹部の相対的な位置関係が変わらな
いため、吸気管及び排気管の向きを任意に設定すること
が可能になる。
【００１２】その結果、本発明によれば、排気及び吸気
構成の自由度の大きい真空ポンプを提供することができ
る。
構成の自由度の大きい真空ポンプを提供することができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの
実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１
（ａ）（ｂ）は、本実施の形態の真空ポンプの全体構成
を示す断面図である。また、図２（ａ）は、本実施の形
態における排気ユニットの要部構成を示す断面図、図２
（ｂ）は、同排気ユニットのシリンダの構成を示す断面
図である。
実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１
（ａ）（ｂ）は、本実施の形態の真空ポンプの全体構成
を示す断面図である。また、図２（ａ）は、本実施の形
態における排気ユニットの要部構成を示す断面図、図２
（ｂ）は、同排気ユニットのシリンダの構成を示す断面
図である。
【００１４】図１（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の
形態の真空ポンプ１は、揺動ピストン型ドライ真空ポン
プであり、ハウジング２内に設けられたモータ３と、こ
のモータ３によって二台一組で同位相で駆動される第１
及び第２の排気ユニット４（４Ａ、４Ｂ）を有してい
る。
形態の真空ポンプ１は、揺動ピストン型ドライ真空ポン
プであり、ハウジング２内に設けられたモータ３と、こ
のモータ３によって二台一組で同位相で駆動される第１
及び第２の排気ユニット４（４Ａ、４Ｂ）を有してい
る。
【００１５】第１及び第２の排気ユニット４Ａ、４Ｂ
は、同一の構成となるように組み立てられ、図２に示す
ように、それぞれ、後述するシリンダ４０と、ピストン
５０と、結合ロッド６０とを有している。
は、同一の構成となるように組み立てられ、図２に示す
ように、それぞれ、後述するシリンダ４０と、ピストン
５０と、結合ロッド６０とを有している。
【００１６】各排気ユニット４Ａ、４Ｂのピストン５０
は、結合ロッド６０先端部分にそれぞれ取り付けられて
おり、その状態で、ピストン５０は、シリンダ４０内に
挿入されている。
は、結合ロッド６０先端部分にそれぞれ取り付けられて
おり、その状態で、ピストン５０は、シリンダ４０内に
挿入されている。
【００１７】そして、第１及び第２の排気ユニット４
Ａ、４Ｂは、各結合ロッド６０をモータ３の駆動軸３０
に偏芯軸（図示せず）を介して取り付けることによって
互いに逆位相でピストン運動するように構成されてい
る。
Ａ、４Ｂは、各結合ロッド６０をモータ３の駆動軸３０
に偏芯軸（図示せず）を介して取り付けることによって
互いに逆位相でピストン運動するように構成されてい
る。
【００１８】また、第１及び第２の排気ユニット４Ａ、
４Ｂのシリンダ４０には、それぞれヘッドカバー７０を
介して吸気管７１と排気管７２とがそれぞれ１本ずつ接
続されている（図１では吸気管７１又は排気管７２の一
方のみが示されている）。
４Ｂのシリンダ４０には、それぞれヘッドカバー７０を
介して吸気管７１と排気管７２とがそれぞれ１本ずつ接
続されている（図１では吸気管７１又は排気管７２の一
方のみが示されている）。
【００１９】そして、ピストン５０がモータ３の駆動軸
３０から遠ざかる方向に移動するとき、即ち、ピストン
５０が下死点から上死点に向かうときには、シリンダ４
０に設けられた後述する排気弁が開き、吸気弁が閉じ
て、シリンダ４０内の気体がヘッドカバー７０を介して
排気管７２から大気中に放出される。
３０から遠ざかる方向に移動するとき、即ち、ピストン
５０が下死点から上死点に向かうときには、シリンダ４
０に設けられた後述する排気弁が開き、吸気弁が閉じ
て、シリンダ４０内の気体がヘッドカバー７０を介して
排気管７２から大気中に放出される。
【００２０】逆に、ピストン５０がモータ３の駆動軸３
０に近づく方向、即ち、ピストン５０が上死点から下死
点に向かって移動するときには、排気弁が閉じ、吸気弁
が空いて、シリンダ５０内に、吸気管７１の先端からヘ
ッドカバー７０を通って気体がシリンダ５０内に吸い込
まれる。
０に近づく方向、即ち、ピストン５０が上死点から下死
点に向かって移動するときには、排気弁が閉じ、吸気弁
が空いて、シリンダ５０内に、吸気管７１の先端からヘ
ッドカバー７０を通って気体がシリンダ５０内に吸い込
まれる。
【００２１】図３（ａ）は、本実施の形態の排気ユニッ
トのシリンダの断面図、図３（ｂ）は、同シリンダの裏
面側から見た平面図、図３（ｃ）は、同シリンダの表面
側から見た平面図である。
トのシリンダの断面図、図３（ｂ）は、同シリンダの裏
面側から見た平面図、図３（ｃ）は、同シリンダの表面
側から見た平面図である。
【００２２】図２及び図３（ａ）に示すように、本実施
の形態の排気ユニット４のシリンダ４０は、ヘッドプレ
ート部４１とシリンダ部４２とが一体的に構成されたも
のである。
の形態の排気ユニット４のシリンダ４０は、ヘッドプレ
ート部４１とシリンダ部４２とが一体的に構成されたも
のである。
【００２３】すなわち、本実施の形態のシリンダ４０
は、円板形状のヘッドプレート部４１の一方の面（裏
面）側に、円筒フランジ状のシリンダ部４２が一体形成
されている。
は、円板形状のヘッドプレート部４１の一方の面（裏
面）側に、円筒フランジ状のシリンダ部４２が一体形成
されている。
【００２４】この場合、シリンダ部４２は、ヘッドプレ
ート部４１に対して同心状に設けられている。
ート部４１に対して同心状に設けられている。
【００２５】図３（ｂ）（ｃ）に示すように、シリンダ
４０のヘッドプレート部４１には、排気孔４３及び吸気
孔４４が設けられている。
４０のヘッドプレート部４１には、排気孔４３及び吸気
孔４４が設けられている。
【００２６】ここで、シリンダ４０のヘッドプレート部
４１の裏面には、吸気孔４４上に吸気弁４６が設けら
れ、また、シリンダ４０のヘッドプレート部４１の表面
には、排気孔４３上に排気弁４５が設けられている。
４１の裏面には、吸気孔４４上に吸気弁４６が設けら
れ、また、シリンダ４０のヘッドプレート部４１の表面
には、排気孔４３上に排気弁４５が設けられている。
【００２７】吸気弁４６は、長方形形状に形成され、そ
の端部がボルト４８によってシリンダ４０のヘッドプレ
ート部４１の裏面にねじ止めされている。
の端部がボルト４８によってシリンダ４０のヘッドプレ
ート部４１の裏面にねじ止めされている。
【００２８】この場合、吸気弁４６用のボルト４８は、
シリンダ４０のヘッドプレート部４１及びシリンダ部４
２の回転中心軸Ｏ1の位置に設けられている。
シリンダ４０のヘッドプレート部４１及びシリンダ部４
２の回転中心軸Ｏ1の位置に設けられている。
【００２９】一方、排気弁４５も、長方形形状に形成さ
れている。そして、排気弁４５は、シリンダ４０のヘッ
ドプレート部４１の表面に設けられた凹部４１ａ内にお
いて、その端部がボルト４７によってねじ止めされてい
る。
れている。そして、排気弁４５は、シリンダ４０のヘッ
ドプレート部４１の表面に設けられた凹部４１ａ内にお
いて、その端部がボルト４７によってねじ止めされてい
る。
【００３０】図４（ａ）は、本実施の形態のシリンダの
押え板の平面図、図４（ｂ）は、同シリンダの押え板の
断面図、図４（ｃ）は、同シリンダのカップパッキンの
平面図である。
押え板の平面図、図４（ｂ）は、同シリンダの押え板の
断面図、図４（ｃ）は、同シリンダのカップパッキンの
平面図である。
【００３１】図５（ａ）は、本実施の形態においてシリ
ンダが下死点にある状態を示す断面図、図５（ｂ）は、
同シリンダが上死点にある状態を示す断面図である。
ンダが下死点にある状態を示す断面図、図５（ｂ）は、
同シリンダが上死点にある状態を示す断面図である。
【００３２】図２に示すように、本実施の形態のピスト
ン５０は、上述した結合ロッド６０の端部の支持部６０
ａに取り付けられるもので、結合ロッド６０の支持部６
０ａと押え板５３との間にカップパッキン５４を挟むよ
うに構成されている。
ン５０は、上述した結合ロッド６０の端部の支持部６０
ａに取り付けられるもので、結合ロッド６０の支持部６
０ａと押え板５３との間にカップパッキン５４を挟むよ
うに構成されている。
【００３３】これら結合ロッド６０の支持部６０ａ、カ
ップパッキン５４及び押え板５３は、それぞれ所定の大
きさの真円形状に形成されている。
ップパッキン５４及び押え板５３は、それぞれ所定の大
きさの真円形状に形成されている。
【００３４】図４（ｂ）に示すように、押え板５３の回
転中心軸Ｏ2の位置には、上記吸気弁４６を固定するた
めのボルト４８の頭部（突部）４８ａと嵌まり合う穴部
５３ａが設けられている。
転中心軸Ｏ2の位置には、上記吸気弁４６を固定するた
めのボルト４８の頭部（突部）４８ａと嵌まり合う穴部
５３ａが設けられている。
【００３５】本実施の形態の場合は、この穴部５３ａ
は、ボルト４８の頭部４８ａより若干大きい径の真円形
状に形成されている。
は、ボルト４８の頭部４８ａより若干大きい径の真円形
状に形成されている。
【００３６】また、穴部５３ａの深さは、ボルト４８の
頭部４８ａの高さより若干大きくなるように設定されて
いる。
頭部４８ａの高さより若干大きくなるように設定されて
いる。
【００３７】一方、カップパッキン５４の中心部には、
押え板５３の穴部５３ａと同様の真円形状の孔部５４ａ
が形成されている。
押え板５３の穴部５３ａと同様の真円形状の孔部５４ａ
が形成されている。
【００３８】そして、図２（ｂ）及び図５（ｂ）に示す
ように、結合ロッド６０の支持部６０ａ上にカップパッ
キン５４及び押え板５３を重ねることによりピストン部
５０の回転中心軸Ｏ2の位置に、上記ボルト４８の頭部
４８ａと嵌まり合う凹部５０ａが形成されるようになっ
ている。
ように、結合ロッド６０の支持部６０ａ上にカップパッ
キン５４及び押え板５３を重ねることによりピストン部
５０の回転中心軸Ｏ2の位置に、上記ボルト４８の頭部
４８ａと嵌まり合う凹部５０ａが形成されるようになっ
ている。
【００３９】このような構成を有する本実施の形態によ
れば、シリンダ４０のヘッドプレート部４１の裏面に設
けたボルト４８の頭部４８ａと、ピストン５０に設けた
凹部５０ａとが、シリンダ４０及びピストン５０の回転
中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置に設けられていることから、ヘッ
ドカバー７０に設けられた吸気管７１及び排気管７２の
向きを変更した場合であっても、ヘッドプレート部４１
のボルト４８の頭部４８ａとピストン５０の凹部５０ａ
の相対的な位置関係が変わらないため、吸気管７１及び
排気管７２の向きを任意に設定することが可能になる。
れば、シリンダ４０のヘッドプレート部４１の裏面に設
けたボルト４８の頭部４８ａと、ピストン５０に設けた
凹部５０ａとが、シリンダ４０及びピストン５０の回転
中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置に設けられていることから、ヘッ
ドカバー７０に設けられた吸気管７１及び排気管７２の
向きを変更した場合であっても、ヘッドプレート部４１
のボルト４８の頭部４８ａとピストン５０の凹部５０ａ
の相対的な位置関係が変わらないため、吸気管７１及び
排気管７２の向きを任意に設定することが可能になる。
【００４０】その結果、本実施の形態によれば、排気及
び吸気構成の自由度の大きい真空ポンプを提供すること
ができる。
び吸気構成の自由度の大きい真空ポンプを提供すること
ができる。
【００４１】なお、本発明は上述の実施の形態に限られ
ることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、
上述の実施の形態においては、シリンダ４０のヘッドプ
レート部４１裏面のボルト４８の頭部４８ａと、ピスト
ン５０の凹部５０ａとを、それぞれの回転中心軸Ｏ1、
Ｏ2の位置に設けるようにしたが、本発明はこれに限ら
れず、ボルト４８の頭部４８ａがピストン５０の凹部５
０ａ内に収まる限り、回転中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置から多
少ずらして配置することも可能である。
ることなく、種々の変更を行うことができる。例えば、
上述の実施の形態においては、シリンダ４０のヘッドプ
レート部４１裏面のボルト４８の頭部４８ａと、ピスト
ン５０の凹部５０ａとを、それぞれの回転中心軸Ｏ1、
Ｏ2の位置に設けるようにしたが、本発明はこれに限ら
れず、ボルト４８の頭部４８ａがピストン５０の凹部５
０ａ内に収まる限り、回転中心軸Ｏ1、Ｏ2の位置から多
少ずらして配置することも可能である。
【００４２】また、上述の実施の形態では、吸気弁４６
を固定するためのボルト４８を例にとって説明したが、
本発明はこれに限られず、他の突部が存在する場合にも
同様に構成することが可能である。この場合は、吸気弁
４６を固定するためのボルト４８と他の突部を上記回転
中心軸Ｏ1、Ｏ2の近傍に配置することも可能である。
を固定するためのボルト４８を例にとって説明したが、
本発明はこれに限られず、他の突部が存在する場合にも
同様に構成することが可能である。この場合は、吸気弁
４６を固定するためのボルト４８と他の突部を上記回転
中心軸Ｏ1、Ｏ2の近傍に配置することも可能である。
【００４３】さらに、本発明は、揺動ピストン型のドラ
イ真空ポンプのみならず、ダイヤフラム型のドライ真空
ポンプに適用することもできるものである。
イ真空ポンプのみならず、ダイヤフラム型のドライ真空
ポンプに適用することもできるものである。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、吸気
管及び排気管の向きを任意に設定することができるの
で、排気及び吸気構成の自由度の大きい真空ポンプを提
供することができる。
管及び排気管の向きを任意に設定することができるの
で、排気及び吸気構成の自由度の大きい真空ポンプを提
供することができる。
【図１】（ａ）（ｂ）：本発明に係る真空ポンプの実施
の形態の全体構成を示す断面図
の形態の全体構成を示す断面図
【図２】（ａ）：同実施の形態における排気ユニットの
要部構成を示す断面図 （ｂ）：同排気ユニットのシリンダの構成を示す断面図
要部構成を示す断面図 （ｂ）：同排気ユニットのシリンダの構成を示す断面図
【図３】（ａ）：同実施の形態の排気ユニットのシリン
ダの断面図 （ｂ）：同シリンダの裏面側から見た平面図 （ｃ）：同シリンダの表面側から見た平面図
ダの断面図 （ｂ）：同シリンダの裏面側から見た平面図 （ｃ）：同シリンダの表面側から見た平面図
【図４】（ａ）：同実施の形態のシリンダの押え板の平
面図 （ｂ）：同シリンダの押え板の断面図 （ｃ）：同シリンダのカップパッキンの平面図
面図 （ｂ）：同シリンダの押え板の断面図 （ｃ）：同シリンダのカップパッキンの平面図
【図５】（ａ）：同実施の形態においてシリンダが下死
点にある状態を示す断面図 （ｂ）：同シリンダが上死点にある状態を示す断面図
点にある状態を示す断面図 （ｂ）：同シリンダが上死点にある状態を示す断面図
【図６】（ａ）：従来の真空ポンプの要部構成を示す断
面図 （ｂ）：従来のシリンダの構成を示す断面図
面図 （ｂ）：従来のシリンダの構成を示す断面図
【図７】（ａ）：従来のシリンダのヘッドプレートの平
面図 （ｂ）：従来の押え板の平面図
面図 （ｂ）：従来の押え板の平面図
１…真空ポンプ ４０…シリンダ ４１…ヘッドプレー
ト部 ４２…シリンダ部 ４３…排気孔 ４４…吸気孔 ４５…排気弁 ４６…吸
気弁 ４８…ボルト ４８ａ…頭部（突部） ５０…ピストン ５０ａ…凹部
５３…押え板 ５３ａ…穴部 ５４…カップパッキン
６０…結合ロッド
ト部 ４２…シリンダ部 ４３…排気孔 ４４…吸気孔 ４５…排気弁 ４６…吸
気弁 ４８…ボルト ４８ａ…頭部（突部） ５０…ピストン ５０ａ…凹部
５３…押え板 ５３ａ…穴部 ５４…カップパッキン
６０…結合ロッド
Claims (3)
- 【請求項１】吸排気用の弁を有するシリンダと、前記シ
リンダ内において往復動するように構成されたピストン
とを備え、前記シリンダ内に突部が設けられる一方で、
前記ピストンには前記突部と嵌まり合う凹部が設けられ
た真空ポンプであって、 前記シリンダの突部と前記ピストンの凹部が、前記シリ
ンダ及び前記ピストンの回転中心軸の近傍の位置に設け
られている真空ポンプ。 - 【請求項２】前記シリンダ内の突部は、前記弁の弁体を
前記シリンダ内に固定するための固定部材である請求項
１記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】前記ピストンの凹部は、前記ピストンに設
けられるパッキンを固定する固定部材に設けられている
請求項１又は２のいずれか１項記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002138637A JP2003328938A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002138637A JP2003328938A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003328938A true JP2003328938A (ja) | 2003-11-19 |
Family
ID=29700020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002138637A Pending JP2003328938A (ja) | 2002-05-14 | 2002-05-14 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003328938A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI465641B (zh) * | 2011-01-20 | 2014-12-21 | Ulvac Kiko Inc | 活塞及真空泵浦 |
-
2002
- 2002-05-14 JP JP2002138637A patent/JP2003328938A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI465641B (zh) * | 2011-01-20 | 2014-12-21 | Ulvac Kiko Inc | 活塞及真空泵浦 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02218890A (ja) | 扇風機の首振装置 | |
| JP3373558B2 (ja) | 小型ポンプ装置 | |
| WO1991007590A1 (en) | Swash plate piston pump/motor | |
| JP2009299530A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
| JP2003328938A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP4585405B2 (ja) | 小型ダブルヘッドダイヤフラムポンプ | |
| JPH0335896Y2 (ja) | ||
| JPH1054363A (ja) | ポンプ | |
| JPH0587045A (ja) | 可変容量型揺動斜板式圧縮機 | |
| JPH07208368A (ja) | ピストン揺動式圧縮機 | |
| JP2947243B2 (ja) | 斜板式圧縮機におけるピストン構造 | |
| JPH09329083A (ja) | 空気圧縮機 | |
| JP2003328937A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3383703B2 (ja) | 小型ポンプ装置 | |
| JP2591031Y2 (ja) | 往復動ポンプ | |
| JP2001280234A (ja) | 対向式往復動ポンプ | |
| JPH10141500A (ja) | 圧縮機のコネクティングロッドとピストンの結合構造 | |
| JP2924952B2 (ja) | 密閉型往復動式圧縮機の弁装置 | |
| JPS6314876U (ja) | ||
| JP2000110729A (ja) | 小型ポンプ | |
| JP3373575B2 (ja) | 小型ポンプ装置 | |
| JP2001280245A (ja) | 往復動ポンプ | |
| JP2002098045A (ja) | ポンプ | |
| JP2000161229A (ja) | 往復動圧縮機 | |
| JPS62152089U (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050303 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20071203 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071204 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080408 |