JP2003326707A - 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで、高い吐出効率のヘッドが得られ
ない。 【解決手段】 振動板１０の下面には相互に電気的に互
いに分離された導電性を有する構造体からなる複数の櫛
歯状に形成した電極１４ａ、１４ｂと、２つの電極１４
ａ、１４ｂ間に形成した電気機械変換体である構造体か
らなる複数の圧電体１５とからなる積層圧電構造体１６
を設け、積層圧電構造体１６に電圧を印加して伸縮させ
ることにより振動板１０を変形させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液滴吐出ヘッド及びイン
クジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の
画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジ
ェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドである
インクジェットヘッドは、インク滴を吐出する単一又は
複数のノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室（イ
ンク室、液室、加圧液室、圧力室、インク流路等とも称
される。）と、吐出室内のインクを加圧する圧力を発生
する圧力発生手段とを備えて、圧力発生手段で発生した
圧力で吐出室内インクを加圧することによってノズル孔
からインク滴を吐出させる。

【０００３】なお、液滴吐出ヘッドとしては、例えば液
体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮ
Ａの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあ
るが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明す
る。また、液滴吐出ヘッドのアクチュエータ部分を構成
するマイクロアクチュエータは、例えばマイクロポン
プ、マイクロ光変調デバイスなどの光学デバイス、マイ
クロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズの
アクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力
センサなどのマイクロデバイスにも適用することができ
る。

【０００４】ところで、液滴吐出ヘッドとしては、圧力
発生手段として圧電素子などの電気機械変換素子を用い
て吐出室の壁面を形成している振動板を変形変位させる
ことでインク滴を吐出させるピエゾ型（圧電型）のも
の、吐出内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子
を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴
を吐出させるサーマル型のもの、吐出室の壁面を形成す
る振動板を静電力で変形させることでインク滴を吐出さ
せる静電型のものなどがある。

【０００５】圧電型インクジェットヘッドとしては、振
動板を変形させて圧力を発生させる方式として、ピスト
ン型とベンダー型がある。前者のピストン型としては、
例えば特開平６−２２６９７１号公報に記載されている
ように、電極と圧電体を交互に積層し、電圧を印加する
と積層方向に伸縮する効果を利用し、圧電素子の一端を
振動板に固定し電極に電位差を与えることによって発生
する変位が振動板を伝って圧力室を加圧しインクを吐出
させるものがある。

【０００６】また、後者のベンダー型としては、例えば
特開平５−２８６１３１号公報に記載されているよう
に、振動板の片側の面上に薄膜圧電素子を形成し、該圧
電素子に電圧を印加することで発生する伸縮によって振
動板が屈曲変形し、それによってインクを押し出して吐
出するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のピスト
ン型ヘッドにあっては、個々のノズルピッチに合わせて
圧電素子を形成するため、シート状の圧電材料と電極を
交互に積層したバルク材を用いて、それを基板や台座の
上に接着等により固定してワイヤーソウ或いはダイシン
グ等により所定のピッチで切断することで個々の圧電素
子を形成するようにしている。

【０００８】しかしながら、微細なピッチで切断すると
切断後の圧電素子が倒壊、または欠損したりし、ある程
度以上の微細な加工は非常に困難であることが分かって
おり高密度化に対しては不利である。また、高密度化す
ると、振動板の変位量が不十分で十分な大きさの液滴を
吐出できず、十分な変位量を稼ぐために、圧電素子の積
層数を増やすと、圧電素子全体が厚くなり、切断溝を深
く形成しなければならなくなり、歩留まりの低下やヘッ
ドサイズが増加し、結果としてコストが高くなる。さら
に、得られた圧電素子と各圧力室が形成された部品を精
度よく接合する必要があり、組立工程が複雑でコスト高
になるというような課題がある。

【０００９】これに対して、上記ベンダー型ヘッドにあ
っては、振動板上にゾルゲル法或いはスパッタ法等を利
用して均一に成膜できリソグラフィー技術でパターニン
グもできるため、比較的容易に目的の形状の圧電素子を
得ることができる。

【００１０】しかしながら、振動板を屈曲させて変位さ
せる構造のため、一定以上のサイズの液滴を得るために
は振動板面積を大きくする必要があり、高密度配列が困
難である。高密度化しようとすると、圧電体を厚く形成
せねばならず厚膜形成が困難で、更に圧電体をパターニ
ングする際のエッチングに非常に時間が掛り、さらには
圧電素子を駆動させるための電圧が高くなり、結果とし
て大幅にコストが増加してしまうという課題がある

【００１１】また、成膜法としてゾルゲル法、スパッタ
法などを採用するとバルク材ほどの圧電定数が得られ
ず、振動板の変位量、発生力不足分を補うために、圧電
体を厚く形成せねばならず、結局この点でもコストが増
加することになる。

【００１２】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、低コストで高い吐出効率が得られる液滴吐出ヘ
ッド、この液滴吐出ヘッドを備えることで高画質記録が
可能インクジェット記録装置を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板には、電気
的に互いに絶縁分離された導電性を有する少なくとも２
つの電極とこの電極間に形成した電気機械変換体とから
なる構造体が設けられ、電極は振動板面と垂直方向の断
面において櫛歯状に形成されている構成としたものであ
る。

【００１４】また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振
動板には、電気的に互いに絶縁分離された導電性を有す
る少なくとも２つの電極とこの電極間に形成した電気機
械変換体とからなる構造体が設けられ、電極は振動板面
と平行方向の断面において櫛歯状に形成されている構成
としたものである。

【００１５】これらの各本発明に係る液滴吐出ヘッドに
おいては、電極は振動板の短辺方向に配列されているこ
とが好ましい。また、ビットごとに共通に接続された電
極と、複数のビットで共通に接続された電極とを有する
ことが好ましい。この場合、電極を共通に接続する部分
は振動板の領域外に設けられていることが好ましい。ま
た、電極は櫛歯状先端部が振動板の領域外に設けられて
いることが好ましい。また、電極は櫛歯状先端部が振動
板の領域内に設けられて、振動板端と櫛歯状先端部との
距離が前記振動板の長辺長の１／６以下であることが好
ましい。

【００１６】さらに、電極の櫛歯状先端部と電極を共通
に接続する部分との間隔が、電極間の間隔よりも広いこ
とが好ましい。また、電極は金属あるいは金属シリサイ
ドを含むことが好ましい。

【００１７】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係
る液滴吐出ヘッドである構成としたものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は、本発明の液滴吐出ヘ
ッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解
斜視図で、一部断面図で示している。図２は同ヘッドの
振動板短辺方向に沿う断面説明図で２つの吐出室部分だ
け示している。図３は同ヘッドの電極部分の拡大説明
図、図４は図３の部分斜視説明図である。

【００１９】このインクジェットヘッドは、インク液滴
を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシ
ュータタイプのものであり、３枚の第１、第２、第３基
板１、２、３を重ねて接合した積層構造となっており、
第１基板１と第２基板２とを接合することによって、イ
ンク滴を吐出する複数のノズル孔４が連通する吐出室
６、各吐出室６に流体抵抗部７を介してインクを供給す
る共通液室（共通インク室）８などを形成している。な
お、エッジシュータタイプとすることもできる。

【００２０】中間の第１基板１は、シリコン基板からな
り、吐出室６を形成するための貫通部と、各々の吐出室
６にインクを供給するための共通液室８を形成するため
の貫通部を有する。この第１基板１の底面に吐出室６及
び共通液室８などの底壁ともなる絶縁性薄膜からなる振
動板１０を設けている。

【００２１】なお、振動板１０は、第１基板１を形成す
るシリコン基板に高濃度ボロンをドープして形成したボ
ロン原子を１Ｅ２０／ｃｍ^３以上含有する高濃度ボロン
拡散層で形成することもでき、あるいは、振動板１０
は、この他、ＳＯＩ（Siliconon Insulator）基板の活
性層、金属等の導電性を有する薄膜、有機樹脂フィルム
などで形成することもできる。ただし、特に振動板１０
を導電性薄膜で形成する場合には外面側に絶縁膜を形成
する。

【００２２】そして、この振動板１０の外面側には、相
互に電気的に互いに分離された導電性を有する構造体か
らなる複数の電極１４ａ、１４ｂと、２つの電極１４
ａ、１４ｂ間に隙間なく形成した電気機械変換体である
圧電体１５とからなる積層圧電構造体１６を設けてい
る。これらの振動板１０と積層圧電構造体１６によっ
て、積層圧電構造体１６に電圧を印加して伸縮させるこ
とにより可動部分である振動板１０を変形させる圧電ア
クチュエータを構成している。

【００２３】ここで、圧電構造体１６の各電極１４ａ、
１４ｂは、それぞれ図３に示すように、振動板１０と垂
直方向の断面において櫛歯状に形成されている。そし
て、一方の電極１４ａは圧電構造体１６の下面側で共通
の接続部１４Ａに束ねられて接続され、また、他方の電
極１４ｂは圧電構造体１６の上面側で共通の接続部１４
Ｂに束ねられて接続されている。これにより、電極１４
ａ、１４ｂが細線であっても低抵抗化を図れ、また、電
極１４ａをリソ・エッチで形成する際にスペースが比較
的広く形成でき、その加工（リソ・エッチ）が容易とな
る。

【００２４】また、圧電体１５の分極方向は電極１４
ａ、１４ｂ間の電界方向と平行な方向としている。

【００２５】この第１基板１の下面に接合される第２基
板２は、圧電構造体１６を外部からの衝撃やホコリなど
から保護したり、第１基板１の強度を補強したりするた
めの保護基板である。この第２基板２には、ガラス、金
属、シリコン、樹脂などからなる基板などを使用し、こ
の基板２には各振動板１０に対応する位置に例えば１ｍ
の深さの凹部１８を形成している。

【００２６】ただし、必ずしも振動板１０ごとに凹部１
８を形成する必要はなく、振動板配列を囲む凹部、ある
いはチップの縁のみ接合される凹部を形成する構成でも
良い。また、振動板１０の変位を阻害するおそれがある
場合には、大気に連通する大気連通路を形成することも
できる。

【００２７】また、第１基板１の上面に接合される第３
基板３には、例えば厚さ５０μｍのニッケル基板を用
い、第３基板３の面部に、吐出室６と連通するようにそ
れぞれノズル孔４、共通液室８と吐出室６を連通させる
流体抵抗部７となる溝を設け、また共通液室８と連通す
るようにインク供給口９を設けている。

【００２８】次に、このように構成したインクジェット
ヘッドの動作について説明する。圧電構造体１６の電極
１４ｂに発振回路により、０Ｖから３０Ｖに変化するパ
ルス電位を印加すると、パルス電位を印加していない電
極１４ａとの間に電界が生じ、生じた電界によってい圧
電体１５は圧電効果により伸縮する。

【００２９】この実施形態では、圧電体１５の分極方向
が電界方向と平行な方向であるので、この場合分極方向
が電界方向と一致していることになり、電極１４ａ、１
４ｂ間の圧電体１５は伸張し（ここではｄ３３方向の変
位となる）、振動板１０は屈曲変形を起こして、吐出室
６とは反対側へ撓む。その結果、吐出室６内の圧力が急
激に減少し、インクが共通液室８より流体抵抗部７を通
じて吐出室６内に補給される。

【００３０】そして、電極１４ｂの電位が０Ｖに戻る
と、圧電体１５にかかっていた電極１４ａ、１４ｂの電
界は消滅し、それによって圧電体１５の変位も元に戻る
ので、振動板１０は吐出室６内の圧力を急激に増加さ
せ、図２に示すように、ノズル孔４よりインク液滴２２
を記録紙２３に向けて吐出する。

【００３１】また、圧電体１５の分極方向を電界方向と
１８０°反転させた構成にした場合、電極１４ｂに発振
回路により、０Ｖから３０Ｖに変化するパルス電位を印
加すると、パルス電位を印加していない電極１４ａとの
間に電界が生じ、生じた電界によって圧電体１５は圧電
効果により収縮する。圧電体１５が収縮すると、振動板
１０は屈曲変形を起こし吐出室６側へ撓む。その結果、
吐出室６内の圧力が急激に増加し、図２に示すように、
ノズル孔４よりインク液滴２２を記録紙２３に向けて吐
出する。

【００３２】次に、電極１４ｂの電位が０Ｖに戻ると、
圧電体１５にかかっていた電極１４ａ、１４ｂの電界は
消滅し、それによって圧電体１５の変位も元に戻るの
で、振動板１０は吐出室６の圧力を急激に減少させ、イ
ンクが共通液室８より流体抵抗部７を通じて吐出室６内
に補給される。

【００３３】ここで、圧電体に発生する力Ｆと伸びδｘ
は、次の（１）式及び（２）式で与えられる。なお、こ
れらの式中の、Ｎ：圧電体の積層数、Ｓ：有効面積、
Ｌ：圧電体総厚み、Ｙ：ヤング率、ｄ：圧電定数、Ｖ：
電圧、であり、各寸法の定義を図３及び図４中に付記し
ている。

【００３４】

【数１】

【００３５】

【数２】

【００３６】これらの式からも分かるように、振動板を
効率よく屈曲させるには、積層数Ｎを増やすこと、電極
間距離を短くすること、圧電体の断面積（有効面積Ｓ）
を大きくすることが重要である。

【００３７】このように、このヘッドは、振動板１０面
上に電極１４ａ、１４ｂと圧電体１５とからなる圧電構
造体１６が形成されているので、新たに圧電体を保持す
るための支持体や振動板との接合、接合のためのアライ
メントなどの複雑な工程が不要でコストダウンが可能で
あり、またウエハ状での形成が可能になるため、大幅な
コストの低下を図れる。

【００３８】また、振動板１０上に電気的に絶縁分離さ
れた電極１４ａ、１４ｂが形成され、電極１４ａと電極
１４ｂ間に電圧を印加することによって、電極１４ａと
電極１４ｂとの間の圧電体１５が変位して振動板１０を
変形させるので、電極１４ａ、１４ｂと圧電体１５を振
動板１０と平行な方向に積層することで振動板１０の大
きな変位を得ることができ、動作効率が向上し、ヘッド
の滴吐出効率が向上する。

【００３９】さらに、振動板１０と電極１４ａ、１４ｂ
とを電気的に分離することで、電極１４ａ、１４ｂに印
加した電圧が振動板１０側にリークすることもなく、さ
らに動作効率が高くなる。この場合、振動板１０と電極
１４の電気的な分離を、絶縁性の振動板１０を用い、あ
るいは、振動板１０と電極１４の間に絶縁膜を形成して
行うことで、容易に絶縁することができ、また信頼性の
高いヘッドを得ることができる。また、圧電体の分極方
向を電極間に発生する電界と平行な方向とすることによ
り、圧電体は効率的に伸縮して振動板を効率よく変位さ
せることができる。

【００４０】さらにまた、電極１４ａ、１４ｂを櫛歯状
に形成することで電極の低抵抗化を図れる。

【００４１】次に、同第２実施形態に係るインクジェッ
トヘッドについて図５ないし図８を参照して説明する。
なお、図５は同ヘッドの振動板短辺方向の断面説明図、
図６は同ヘッドの電極部分の拡大説明図、図７は図６を
Ｚ方向から見た図、図８は同実施形態の他の例を示す図
７と同様な図６をＺ方向から見た図である。

【００４２】このヘッドでは、振動板１０と圧電構造体
１６との間に絶縁膜１１を形成している。これにより、
上記第１実施形態における図３のＡ部の圧電効果の影響
を排除することができるので、効率良く振動板１０を変
形させることができ、また、絶縁膜１１は電極１４ｂの
エッチング加工の際のエッチングストッパーと機能させ
ることもできる。

【００４３】そして、このヘッドでは、図７に示すよう
に、電極１４ａは圧電積層体１６の下面に配置した共通
の接続部１４Ａに束ねられて接続され、また、他方の電
極１４ｂは圧電構造体１６の端部（振動板１０と平行な
面で振動板１０の短辺側端部）に引き出されて共通の接
続部１４Ｂに束ねられて接続されている。これにより、
電極１４ａ、１４ｂが細線であっても低抵抗化を図れ、
また、電極１４ａをリソ・エッチで形成する際にスペー
スが比較的広く形成でき、その加工（リソ・エッチ）が
容易となる。

【００４４】ここで、共通の接続部１４Ｂは振動板１０
と平行方向の面において振動板１０の変形可能領域Ｘ外
に設けられた構成とすることで、振動板１０の変位を大
きくすることができる。これに対して、共通の接続部１
４Ｂを振動板１０の変形可能領域Ｘ内に設けると、振動
板１０の実質的な厚みが増加して剛性が高くなり、振動
板１０の変形量が小さくなる。

【００４５】また、図８に示すように、電極１４ａにつ
いて振動板１０と平行方向の面の先端部１４ａｓを振動
板１０の変形可能領域Ｘ外に位置するように形成するこ
とによって、振動板１０の変位を大きくすることができ
る。

【００４６】すなわち、例えば電極１４ａ、１４ｂ間の
圧電体１５が伸びる、つまりｄ３３方向の変位により振
動板１０を吐出室６とは反対側へ曲げる際、ｄ３１方向
に圧電体３１は縮むこととなり、これは振動板１０をｄ
３３方向の変位による曲げと逆（吐出室側）に曲げる力
となる。電極１４ａの先端部１４ａｓが変形可能領域Ｘ
の外に設けられた構成とすることで、ｄ３１方向の力が
振動板１０の曲げに寄与することを抑制することがで
き、その結果、振動板の変位を大きくすることができ
る。

【００４７】次に、本発明の第３実施形態について図９
ないし図１１を参照して説明する。なお、なお、図９は
同ヘッドの要部平面説明図、図１０は図９のＢ部拡大説
明図、図１１は図９のＣ部拡大説明図である。このヘッ
ドでは、電極１４ａについて振動板１０と平行方向の面
の先端部１４ａｓを振動板１０の変形可能領域Ｘ内に位
置するように形成し、先端部１４ａｓと変形可能領域Ｘ
端との距離を変形可能領域Ｘの長辺長ｂの１／６以下と
している。これによって、上記第２実施形態よりも更に
振動板１０の変位を大きくすることができる。

【００４８】すなわち、先端部１４ａｓを振動板１０の
変形可能領域Ｘ内に位置するように形成することによ
り、変形可能領域Ｘ端（固定端）での拘束力を下げるこ
とができて振動板自体を変位させやすくすることがで
き、先端部１４ａｓと変形可能領域Ｘ端との距離を変形
可能領域Ｘの長辺長ｂの１／６以下とすることによっ
て、変位させるエネルギー源となる圧電体１５の領域を
確保できるため振動板の変位を大きくすることができ
る。

【００４９】次に、同第４実施形態に係るインクジェッ
トヘッドについて図１２ないし図１４を参照して説明す
る。なお、図１２は同ヘッドの振動板短辺方向の断面説
明図、図１３は同ヘッドの電極部分の拡大説明図、図１
４は同ヘッドの電極部分の平面説明図である。

【００５０】このヘッドでは、２つの電極１４ａ、１４
ｂを振動板１０と平行方向の面において櫛歯状に形成
し、それぞれ端部を共通の接続部１４Ａ、１４Ｂに束ね
て接続している。これら２つの電極１４ａ、１４ｂは振
動板１０の短辺方向に配列し、共通の接続部１４Ａ、１
４Ｂは振動板１０の長辺方向端部側に短辺方向に沿って
設けている。これらの共通の接続部１４Ａ、１４Ｂを通
じて駆動回路２５から電極１４ａ、１４ｂ間に駆動パル
スを印加する。

【００５１】このように構成しても、前記第１実施形態
と同様に、振動板１０の大きな変位を得ることができ、
動作効率が向上し、ヘッドの滴吐出効率が向上するとと
もに、電極の低抵抗化を図れ、更に製造工数の低減を図
れる。

【００５２】次に、同第５実施形態に係るインクジェッ
トヘッドについてその製造工程とともに図１５及び図１
６を参照して説明する。なお、この実施形態と前記第３
実施形態との違いは、第３実施形態では電極の振動板と
反対側の端部が圧電体で埋め込まれていないのに対し、
この実施形態では同電極の端部が圧電体で埋め込まれて
いる点である。

【００５３】先ず、図１５（ａ）に示すように、第１基
板１となる（１１０）を面方位とする厚さ４００μｍの
シリコン基板３１にＬＰ−ＣＶＤにより振動板１０とな
るシリコン窒化膜３２を０．５μｍ厚みに形成し、更に
熱ＣＶＤによりシリコン酸化膜３３を０．２μｍ厚みに
形成する。

【００５４】次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコ
ン酸化膜３３の表面にポリシリコン３４を２μｍ厚みに
成膜する。なお、ノンドープのポリシリコンは高周波数
駆動、多チャンネル駆動を行うと電極の電気抵抗値が問
題となることがあるので、n型又はp型の伝導型を有する
不純物原子、例えばn型であればリン、砒素、p型であれ
ばボロンやアンチモン等を導入することにより電気抵抗
値を低減することが好ましい。

【００５５】そして、同図（ｃ）に示すように、フォト
リソによりポリシリコン３４上にレジストパターンを形
成し、ドライエッチングによりポリシリコン３４を間隔
１μｍ、０．５μｍの線幅でエッチングして電極１４
ａ、１４ｂを形成する。このときシリコン酸化膜３３が
エッチングストップ層をなす。ここで、電極１４ａ、１
４ｂの形状は図１４に示すように櫛歯状に形状されてい
て、１回のリソ・エッチで電極１４ａ、１４ｂを形成す
ることができるため、製造コストを低く抑えることがで
きる。

【００５６】次に、同図（ｄ）に示すように、スパッタ
によって圧電材料３５を電極１４ａ、１４ｂ間に埋め込
む。

【００５７】ターゲットとしてはチタン酸鉛、ジルコン
酸チタン酸鉛、ジルコニウム酸鉛、ジルコン酸チタン酸
鉛ランタン、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン
酸鉛、チタン酸バリウム、酸化亜鉛などから任意に選ば
れる圧電性材を成分とする。ただし、これらの材料に限
らず、他の圧電材料を用いてもよい。

【００５８】また、圧電材の埋め込み法としてはその他
の手法を用いても構わない。例えば、イオンプレーティ
ング法、CVD法、パルスレーザーアブレーション法、ゾ
ルゲル法などがあり、高アスペクトの溝の埋め込みには
ＣＶＤ法がより好適である。

【００５９】なお、ここで、メタルマスクなどパターニ
ングされたマスクごしに成膜することにより、微細なパ
ターンを形成することは困難であるが、圧電体を形成す
るパターンと形成しないパターンを形成してやっても良
い。

【００６０】その後、熱処理を行って圧電材料３５を結
晶化させ、電極１４ａ、１４ｂ及び圧電体１５からなる
積層圧電構造体１６を形成する。

【００６１】なお、圧電材料３５を埋めこんだ後、研磨
やエッチング等により電極１４ａ、１４ｂ上の圧電材料
３５を除去することで、前記第３実施形態の構成とする
ことができる。これにより、より効率良く振動板を変形
させることができる。

【００６２】そして、積層圧電構造体１６の電極１４
ａ、１４ｂ間に電圧を印加して圧電体１５の分極を行
う。

【００６３】次いで、図１６（ａ）に示すように、シリ
コン基板３１に保護基板２を接合した後、シリコン基板
３１を研磨などにより厚さ１００μｍにする。保護基板
２には各振動板に対応する位置に１ｍｍの深さの凹部１
８が形成されている。また、保護基板２として、ここで
は、シリコン基板を用いたがこれに限らない。

【００６４】そして、図示しないが、ＬＰ−ＣＶＤで水
酸化カリウムエッチングのマスクとなるシリコン窒化膜
を形成し、同図（ｂ）に示すように、水酸化カリウム水
溶液によりシリコン基板３１をエッチングし、吐出室６
と同時にシリコン窒化膜３２からなる振動板１０を形成
して、第１基板１を形成する。

【００６５】なお、このとき、振動板１０を構成するシ
リコン窒化膜３２はエッチングストッパーとして機能
し、また、絶縁膜でもあるため電極１４ａ、１４ｂと電
気的に分離されていることとなる。シリコン窒化膜は引
っ張り応力であるため振動板が座屈することはないが、
引っ張り応力によって振動板１０を変形させることがで
きないことがある。そのような場合には、シリコン窒化
膜にボロン、リン、水素などの不純物をドープして応力
緩和することができる。

【００６６】また、ここでは水酸化カリウムエッチング
により振動板１０及び吐出室６を形成したが、ドライエ
ッチングなどを用いても良く、高精度で高速で加工がで
きる高密度プラズマを用いたドライエッチングなどがよ
り好適である。

【００６７】その後、図示しないが、吐出室６の隔壁、
各々の吐出室６にインクを供給するための共通液室８の
隔壁を有する第１基板１に、ノズル孔などを有する第３
基板３を接合することにより液滴吐出ヘッドが完成す
る。

【００６８】なお、ここでは、電極をパターニング後、
圧電体を電極間に堆積形成する方法を用いたが、圧電体
を平面に堆積後、圧電体をエッチングすることによりパ
ターニングし、その後に電極を圧電体間に堆積形成する
方法で作製することもできる。

【００６９】次に、同第６実施形態に係るインクジェッ
トヘッドについて図１７ないし図１９を参照して説明す
る。なお、図１７は同ヘッドの要部平面説明図、図１８
は図１７のＤ部拡大説明図、図１９は図１７のＥ部拡大
説明図である。

【００７０】このヘッドにおいては、前記第４実施形態
と同様に、櫛歯状に形成した電極１４ａ、１４ｂを有
し、一方の電極１４ａは振動板長辺方向の一端部側に引
き出して各ビット（チャンネル）毎に束ねて共通の接続
部１４Ａａに接続し、他方の電極１４ｂは振動板長辺方
向の他端部側に引き出して全ビットを束ねて共通の接続
部１４Ｂａに接続している。このように構成することに
より、電気的駆動系が単純化でき、低コスト化が容易と
なる。

【００７１】また、前記各実施形態と同様に、変形可能
領域Ｘが平面形状で矩形状の振動板１０に対して、電極
１４ａ、１４ｂは短辺方向に配列、すなわち、電極１４
ａ、１４ｂが長辺方向へ伸びている形状にしている。こ
の場合、電極１４ａ、１４ｂを長辺方向に配列しても良
いが、振動板１０の変形可能領域Ｘが長方形の場合は、
短辺方向に配列することにより、振動板の変位を大きく
得ることができる。

【００７２】さらに、共通の接続部１４Ａａ、１４Ｂａ
を振動板１０の変形可能領域Ｘの外に配置することによ
り、前述したように、振動板１０の変位を大きくするこ
とができる。すなわち、電極が束ねられた部分となる共
通の接続部１４Ａａ、１４Ｂａが変形可能領域Ｘの内に
設けられた場合、振動板１０の剛性が増加し、振動板の
変位が減少してしまうことになるが、変形可能領域Ｘの
外に設けることで振動板１０の剛性の増加を抑えること
ができる。

【００７３】また、図１８及び図１９に示すように、例
えば電極１４ａ、１４ｂ間の圧電体１５が伸びる、つま
りｄ３３方向の変位により振動板１０を吐出室６とは反
対側へ曲げる際、ｄ３１方向に圧電体１５は縮むことと
なり、これは振動板１０をｄ３３方向の変位による曲げ
と逆（圧力室６側）に曲げる力となる。同図にも示すよ
うに、電極１４ａ、１４ｂの櫛歯先端部１４ａｓ、１４
ｂｓが振動板１０の変形可能領域Ｘの外に設けられた構
成とすることで、ｄ３１方向の力が振動板１０の曲げに
寄与することを抑制することができ、その結果、振動板
１０の変位を大きくすることができる。

【００７４】さらに、図１８及び図１９に示すように、
電極１４ａ、１４ｂの櫛歯先端部１４ａｓ、１４ｂｓと
電極が束ねられた部分である共通の接続部１４Ａａ、１
４Ｂａとの距離ｄを電極１４ａ、１４ｂ間の距離ｌより
も広く形成している。

【００７５】ここで、距離ｄが距離ｌ以下の場合には、
距離ｄの部分は圧電体１５で完全に埋め込まれる。この
場合、距離ｄ間にある圧電体１５も分極し、圧電効果に
より歪むこととなり、ｄ３３方向の伸びは振動板１０の
曲げを阻害してしまう。そこで、距離ｄを距離ｌより広
くすることにより、振動板１０を効率良く変位させるこ
とができる。

【００７６】次に、同第７実施形態に係るインクジェッ
トヘッドについて図２０を参照して説明する。なお、同
図は振動板長辺方向に沿う断面説明図である。このヘッ
ドでは、前記第４実施形態で説明した製造工程におい
て、図１５（ａ）で絶縁膜１１（ここではシリコン酸化
膜３３）の表面にメタル層３８、例えばタングステンシ
リサイドを０．１５μｍ厚みに、ポリシリコン３４を２
μｍ厚みに順次堆積して形成した後、ポリシリコン３４
及びメタル層３８をパターニングして電極１４（１４
ａ、１４ｂ）を形成している。

【００７７】また、図１６（ｂ）で第１基板１を形成し
た後、第１基板１から電極取出し口３９を形成して対応
するシリコン窒化膜３２及びシリコン酸化膜３３を除去
することによりメタル層３８を露出させている。これに
より、メタル層３８とＦＣＰやワイヤボンドなどにより
ドライバーＩＣとを接続することができる。

【００７８】このように、電極に金属や金属シリサイド
を含む構成とすることで低抵抗化することができる。ま
た、電極をポリシリコンなどで形成した場合でも、メタ
ル層をコンタクトして外部へ電極を取出せるため、外部
に電極を取り出す場合でも電圧を効率良く電極に伝えら
れる。

【００７９】なお、ここではメタル層、ポリシリコンと
順次堆積したが、ポリシリコン層堆積後メタル層を堆積
しても良く、また、電極取出しについても、ここでは振
動板を介して圧力室側に形成したがこれに限られるもの
ではない。メタル層となる金属や金属シリサイドについ
てもここでは、タングステンシリサイドを用いたが、こ
れに限られるものではない。

【００８０】次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドをイン
クタンクと一体にしたインクカートリッジ（インクタン
ク一体型ヘッド）について図２１を参照して説明する。
このインクカートリッジ１００は、ノズル孔１０１等を
有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッ
ド１０２と、このインクジェットヘッド１０２に対して
インクを供給するインクタンク１０３とを一体化したも
のである。

【００８１】このように本発明に係る液滴吐出ヘッドで
あるインクジェットヘッドとインクタンクとを一体化す
ることにより、低コストで、高い滴吐出効率の液滴吐出
ヘッドを一体化したインクカートリッジ（インクタンク
一体型ヘッド）が得られる。

【００８２】次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載
したインクジェット記録装置の一例について図２２及び
図２３を参照して説明する。なお、図２２は同記録装置
の斜視説明図、図２３は同記録装置の機構部の側面説明
図である。

【００８３】このインクジェット記録装置は、記録装置
本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッ
ジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェット
ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給
するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１
２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から
多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは
給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着す
ることができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するた
めの手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カ
セット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される
用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要
の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１
１６に排紙する。

【００８４】印字機構部１１２は、図示しない左右の側
板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と
従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方
向（図２３で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、この
キャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、
マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を
吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェ
ットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口
を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方
向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３
にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各イ
ンクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。な
お、本発明に係るヘッド一体型ヘッド（インクカートリ
ッジ）を搭載するようにすることもできる。

【００８５】インクカートリッジ１２５は上方に大気と
連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへイン
クを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多
孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジ
ェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持
している。

【００８６】また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘ
ッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出する
ノズルを有する１個のヘッドでもよい。

【００８７】ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙
搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に
嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッ
ド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャ
リッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査
モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動
プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装
し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に
固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転により
キャリッジ１２３が往復駆動される。

【００８８】一方、給紙カセット１１４にセットした用
紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給
紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ロ
ーラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１
３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１
３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送
ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及
び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を
規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１
３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転
駆動される。

【００８９】そして、キャリッジ１２３の主走査方向の
移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された
用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙
ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。こ
の印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙
１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送
コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排
紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１
４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６
とを配設している。

【００９０】記録時には、キャリッジ１２３を移動させ
ながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動するこ
とにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して
１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記
録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記
録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を
終了させ用紙１１３を排紙する。

【００９１】また、キャリッジ１２３の移動方向右端側
の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良
を回復するための回復装置１４７を配置している。回復
装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手
段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこ
の回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘ
ッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に
保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。
また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出す
ることにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、
安定した吐出性能を維持する。

【００９２】吐出不良が発生した場合等には、キャッピ
ング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、
チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに
気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等
はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復され
る。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された
廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のイ
ンク吸収体に吸収保持される。

【００９３】このように、このインクジェット記録装置
においては本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジ
ェットヘッドを搭載しているので、滴吐出効率が高く、
画像品質が向上した記録装置を低コストで得ることがで
きる。

【００９４】次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドのマイ
クロアクチュエータをマイクロポンプに適用した例つい
て図２４を参照して説明する。なお、同図は同マイクロ
ポンプの要部断面説明図である。このマイクロポンプ
は、流路基板２０１と保護基板２０２とを重ねて接合し
た積層構造となっており、流路基板２０１には流体が流
れる流路２０３を形成するとともに、流路２０３の一壁
面を形成する変形可能な可動板２０４（ヘッドの振動板
に相当する。）を設け、可動板２０４の保護基板２０２
と接合固定しない部分は可動部分２０５となっている。

【００９５】そして、可動部分２０５には絶縁膜２０６
を介して外面側に、インクジェットヘッドと同様に、電
極２１４と圧電体２１５とからなる積層圧電構造体２１
６を設けている。保護基板２０２はヘッドの第２基板２
と同様な機能を有するものであり、圧電構造体２１６を
配置するための凹部２０８を形成している。ここでは、
保護基板２０２は平板板基板にスペーサ部２０９を設け
ることで凹部２０８を形成している。

【００９６】このマイクロポンプの動作原理を説明する
と、前述したように圧電構造体２１６の電極２１４、２
１４間に電圧を印加することで、圧電構造体２１６が例
えば同図に示すように流路２０３側に撓んで可動部分２
０５が流路２０３側に変形する。ここで、可動部分２０
５を図中右側から順次駆動する（変形させる）ことによ
って流路２０３内の流体は、矢印方向へ流れが生じ、流
体の輸送が可能となる。

【００９７】なお、この例では可動部分を複数設けた例
を示したが、可動部分は１つでも良い。また、輸送効率
を上げるために、可動部分間に１又は複数の弁、例えば
逆止弁などを設けることもできる。

【００９８】次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドのマイ
クロアクチュエータを適用した光学デバイスの例につい
て図２５を参照して説明する。なお、同図は同デバイス
の概略構成図である。この光学デバイスは、変形可能な
ミラー３０１と保護基板３０２とを重ねて接合してお
り、ミラー３０１の保護基板３０２と接合固定しない部
分は可動部分３０５となっている。。

【００９９】そして、可動部分３０５には絶縁膜３０６
を介して外面側に、インクジェットヘッドと同様に、電
極３１４と圧電体３１５とからなる積層圧電構造体３１
６を設けている。保護基板３０２はヘッドの第２基板２
と同様な機能を有するものであり、電極３０７を配置す
るための凹部３０８を形成している。ここでは、保護基
板３０２は平板板基板にスペーサ部３０９を設けること
で凹部３０８を形成している。

【０１００】この光学デバイスの原理を説明すると、ミ
ラー３０１の可動部分３０５に設けた圧電構造体３１６
の電極３１４、３１４間に電圧を印加することで、圧電
構造体３１６が例えば同図に示すように凸状に撓んで可
動部分３０５が凸状に変形する。

【０１０１】したがって、光源３１０からの光がレンズ
３１１を介してミラー３０１に照射した場合、ミラー３
０１を駆動しないときには、光は入射角と同じ角度で反
射するが、ミラー３０１の可動部分３０５を駆動した場
合はその可動部分３０５が凸面ミラーとなるので反射光
は発散光となる。これにより光変調デバイスが実現でき
る。

【０１０２】そこで、この光学デバイスを応用した例を
図２６をも参照して説明する。この例は、上述した光学
デバイスを２次元に配列し、各ミラーの可動部分３０５
を独立して駆動するようにしたものである。なお、ここ
では、４×４の配列を示しているが、これ以上配列する
ことも可能である。

【０１０３】したがって、前述した図２４と同様に、光
源３１０からの光はレンズ３１１を介してミラー３０１
に照射され、ミラー３０１を駆動していないところに入
射した光は、投影用レンズ３１２へ入射する。一方、圧
電構造体３１７に電圧を印加してミラー３０１の可動部
分３０５を凸状に変形させているところは、光は発散し
投影用レンズ３１２にほとんど入射しない。この投影用
レンズ３１２に入射した光はスクリーン（図示しない）
などに投影され、スクリーンに画像を表示することがで
きる。

【０１０４】なお、上記実施形態においては、液滴吐出
ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明
したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドと
して、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴
吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐
出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。ま
た、マイクロアクチュエータを備えるマイクロデバイス
としては、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバ
イス）以外にも、マイクロスイッチ（マイクロリレ
ー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッ
チ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用するこ
とができる。

【０１０５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液滴
吐出ヘッドによれば、振動板には電気的に互いに絶縁分
離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこの電
極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が設け
られ、電極は振動板面と垂直方向の断面又は平行方向の
断面において櫛歯状に形成されているので、低コストで
で、液滴吐出効率の高いヘッドが得られる。

【０１０６】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係
る液滴吐出ヘッドである構成としたので、高画質記録を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係る
インクジェットヘッドの分解斜視説明図

【図２】同ヘッドの振動板短辺方向に沿う断面説明図

【図３】同ヘッドの電極部分の拡大説明図

【図４】同電極の部分斜視説明図

【図５】同第２実施形態に係るヘッドの振動板短辺方向
に沿う断面説明図

【図６】同ヘッドの電極部分の拡大説明図

【図７】図６をＺ方向から見た平面説明図

【図８】同実施形態の他の例を説明する図６をＺ方向か
ら見た平面説明図

【図９】同第３実施形態に係るヘッドの図６をＺ方向か
ら見た平面説明図

【図１０】図９のＢ部の拡大説明図

【図１１】図９のＣ部の拡大説明図

【図１２】同第４実施形態に係るヘッドの振動板短辺方
向に沿う断面説明図

【図１３】同ヘッドの電極部分の拡大説明図

【図１４】同ヘッドの電極部分の平面説明図

【図１５】同第５実施形態に係るヘッドについてその製
造工程とともに説明する断面説明図

【図１６】図１５に続く工程を説明する断面説明図

【図１７】同第６実施形態に係るヘッドの電極部分の平
面説明図

【図１８】図１７のＤ部の拡大説明図

【図１９】図１７のＥ部の拡大説明図

【図２０】同第７実施形態に係るヘッドの振動板長辺方
向に沿う断面説明図

【図２１】本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたインク
タンク一体型ヘッドの説明に供する斜視説明図

【図２２】本発明に係るインクジェット記録装置の一例
を説明する斜視説明図

【図２３】同記録装置の機構部の説明図

【図２４】本発明に係る液滴吐出ヘッドのマイクロアク
チュエータを適用したマイクロポンプの例を説明する断
面説明図

【図２５】本発明に係る液滴吐出ヘッドのマイクロアク
チュエータを適用した光学デバイスの例を説明する断面
説明図

【図２６】同光学デバイスを用いた光変調デバイスの一
例を説明する斜視説明図

【符号の説明】

１…第１基板、２…第２基板、３…ノズル板、４…ノズ
ル孔、６…吐出室、７…流体抵抗部、８…共通液室、１
０…振動板、１１…絶縁膜、１４ａ、１４ｂ…電極、１
４Ａ、１４Ｂ、１４Ａａ、１４Ｂａ…共通の接続部、１
５…圧電体、１６…圧電構造体、１００…タンク一体型
ヘッド（インクカートリッジ）、２０１…流路基板、２
０３…流路、２０５…可動部分、２１６…圧電構造体、
３０１…ミラー、３０５…可動部分、３１６…圧電構造
体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/18 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｄ (72)発明者 橋本 憲一郎 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 木幡 八州太郎 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 2C057 AF51 AF93 AG42 AG43 AG48 AG53 AG59 AP16 AP31 AP52 AP58 AQ02

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液滴を吐出するノズルが連通する吐出室
   の少なくとも一方の壁面を構成する振動板を有し、この
   振動板を変形させることで前記液滴を吐出させる液滴吐
   出ヘッドにおいて、前記振動板には、電気的に互いに絶
   縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこ
   の電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が
   設けられ、前記電極は振動板面と垂直方向の断面におい
   て櫛歯状に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘ
   ッド。
2. 【請求項２】 液滴を吐出するノズルが連通する吐出室
   の少なくとも一方の壁面を構成する振動板を有し、この
   振動板を変形させることで前記液滴を吐出させる液滴吐
   出ヘッドにおいて、前記振動板には、電気的に互いに絶
   縁分離された導電性を有する少なくとも２つの電極とこ
   の電極間に形成した電気機械変換体とからなる構造体が
   設けられ、前記電極は振動板面と平行方向の断面におい
   て櫛歯状に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘ
   ッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド
   において、前記電極は前記振動板の短辺方向に配列され
   ていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の液
   滴吐出ヘッドにおいて、ビットごとに共通に接続された
   電極と、複数のビットで共通に接続された電極とを有す
   ることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の液滴吐出ヘッドにおい
   て、前記電極を共通に接続する部分は前記振動板の領域
   外に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の液
   滴吐出ヘッドにおいて、前記電極は櫛歯状先端部が前記
   振動板の領域外に設けられていることを特徴とする液滴
   吐出ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１ないし５のいずれかに記載の液
   滴吐出ヘッドにおいて、前記電極は櫛歯状先端部が前記
   振動板の領域内に設けられていて、振動板端と櫛歯状先
   端部との距離が前記振動板の長辺長の１／６以下である
   ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかに記載の液
   滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の櫛歯状先端部と電極
   を共通に接続する部分との間隔が、電極間の間隔よりも
   広いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
9. 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれかに記載の液
   滴吐出ヘッドにおいて、前記電極は金属あるいは金属シ
   リサイドを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
10. 【請求項１０】 インク滴を吐出するインクジェットヘ
    ッドを搭載するインクジェット記録装置において、前記
    インクジェットヘッドが前記請求項１ないし９のいずれ
    かに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするイン
    クジェット記録装置。