JP2003326209A - 表面処理方法及び表面処理装置 - Google Patents

表面処理方法及び表面処理装置

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JP2003326209A
JP2003326209A JP2002134665A JP2002134665A JP2003326209A JP 2003326209 A JP2003326209 A JP 2003326209A JP 2002134665 A JP2002134665 A JP 2002134665A JP 2002134665 A JP2002134665 A JP 2002134665A JP 2003326209 A JP2003326209 A JP 2003326209A
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carrier
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line
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JP2002134665A
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Kiyoshi Kida
潔 木田
Toshiaki Kida
利昭 木田
Hideo Oda
秀雄 小田
Kiyonobu Morimoto
清信 森本
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Kidaseiko KK
Original Assignee
Kidaseiko KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メッキ後に行う色づけ処理などの表面処理に
おいて、ワークに対する処理能率及び装置としての稼働
効率を飛躍的に高めることができ、また色あい等の表面
処理の仕上がり度合いに関して不均一化のおそれがでな
いようにする。 【解決手段】 複数の処理装置が並べられた処理ライン
2に沿ってワーク搬送用のキャリア3を一方向に走行さ
せ、所要の処理装置に対応させてキャリア3を停止させ
つつこの処理装置との間でワークへの処理を実行させ、
その後、キャリア3を走行方向一定のまま元の走行開始
位置へ向けて循環走行させ、キャリア3が1周分の循環
走行を繰り返すたびにワークの載せ代えを行うようにさ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面処理方法及び
表面処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】表面処理にはその一つとしてメッキ後に
行う色づけ処理がある。図8は、亜鉛メッキ後に色づけ
処理を行う従来の表面処理装置100の一例を模式的に
示したものである。この図例の表面処理装置100は、
一直線状に設置された処理ライン101と、この処理ラ
イン101に沿って往復走行可能とされたワーク搬送用
のキャリア102,103(2台ある)と、これらキャ
リア102,103の走行を制御する制御装置104と
を有している。
【0003】処理ライン101は、複数の処理装置(1
12〜131)が並べられることによって構成されてい
る。この処理ライン101は、少量多品種の表面処理に
対応できるようになったものであり、図中に工程種を書
き添えてあるように、黒工程105、グリーン工程10
6、クロメート工程107、ユニクロ工程108、三価
工程109、といった複数の処理工程が含まれたものと
なっている。すなわち、これら個々の処理工程105〜
109が、上記した複数の処理装置(112〜131)
のうち、それぞれ所定のものを組み合わせたものとして
構成されているのである。
【0004】これら処理装置(112〜131)には、
全処理工程105〜109に共通使用されるものとして
ワーク供給装置112、2台の乾燥(脱水)装置11
3、酸洗い装置114、水洗装置115、及びワーク取
出装置116がある。またその他、黒工程105に固有
の処理槽117〜119、グリーン工程106に固有の
処理槽120〜122、クロメート工程107に固有の
処理槽123〜125、ユニクロ工程108に固有の処
理槽126〜128、三価工程109に固有の処理槽1
29〜131がある。
【0005】上記キャリア102,103は、処理ライ
ン101に沿った走行と、各処理装置112〜131に
対応する停止、及びこの処理装置との間でワーク(図示
は省略するがバスケットに複数が入れられた状態にあ
る)への処理を実行させるといった動作を行うようにな
っている。このうち、一方のキャリア102は、ワーク
供給装置112からワークをバスケットごと受け取る動
作(動作手順)と、その後、所要の処理が施されて戻
ってきたワークを乾燥装置113で乾燥させ(動作手順
)、ワーク取出装置116へ送り渡す(動作手順)
という、主に搬入・搬出動作を分担する。
【0006】なお、場合によっては、これらワーク供給
装置112や乾燥装置113、ワーク取出装置116に
比較的近い位置の処理装置(例えば黒工程105に固有
の処理槽117〜119等)に対するワーク搬送、停
止、処理実行といった処理進行動作(動作手順〜)
を分担することもある。これに対し、他方のキャリア1
03は、その他の処理装置に対するワーク搬送、停止、
処理実行といった処理進行動作(動作手順〜)の殆
どや、酸洗い装置114及び水洗装置115に対するワ
ーク搬送、停止、処理実行といった処理進行動作(動作
手順及び動作手順)を分担する。
【0007】すなわち、これらキャリア102,103
は、処理ライン101の中途部でワークの受け渡しを行
うようになっている。これらキャリア102,103
は、制御装置104とフレキシブルコード135,13
6を介して有線の状態で結線されており、動作制御され
るようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
表面処理装置100では、2台のキャリア102,10
3が処理を分担する方式となっており、従って、一方の
キャリア102が搬入・搬出動作を行っている間に他方
のキャリア103が処理進行動作を並行して行うことに
なり、これらによって表面処理装置100の稼働効率
(処理量)を高めるようになっていた。しかし、これら
両キャリア102,103は1本のレール137を共用
して走行させる構造とせざるを得なかっため、搬入・搬
出動作を分担する方のキャリア102がその担当動作を
行っている限りにおいては、言うまでもなく、このキャ
リア102に対し、処理進行動作を分担する方のキャリ
ア103がワークを送り渡すことも、また新たなワーク
を受け取ることもできないものであった。
【0009】すなわち、処理進行動作を分担する方のキ
ャリア103が仮にその担当動作を早期に終えていたと
しても、このキャリア103は、搬入・搬出動作を分担
する方のキャリア102が受け渡し位置に戻ってくるま
での間、その動作を中断して待機している必要があっ
た。勿論、これらキャリア102,103が逆の状況と
なる場合もあった。従来の表面処理装置100では、こ
のようなことがネックとなって稼働効率を高めることが
困難となっていた。
【0010】従って例えば、ワーク供給装置112へ供
給されたワークが一連の処理を終えてワーク取出装置1
16まで運び出されるまでのサイクルタイムとしては、
最も迅速に処理を進行させた場合であっても、3分30
秒が切れるということはなかった。のみならす、上記し
たように処理進行動作を分担する方のキャリア103が
その動作を中断している時間が長くなりすぎると(約3
分以上)、このキャリア103によって保持されたワー
クは空中放置の状態となり、結果、個々のワークにおい
て乾燥時間にバラツキが生じることとなり、その色合い
に悪影響がでるといった不具合が発生することもあっ
た。
【0011】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、ワークに対する処理能率(生産性)及び装置
としての稼働効率を飛躍的に高めることができ、また色
あい等の表面処理の仕上がり度合いに関し、空中放置を
原因としては不均一化のおそれがでないようにした表面
処理方法及び表面処理装置を提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は次の手段を講じた。即ち、本発明に係る表
面処理方法は、複数の処理装置が並べられた処理ライン
に沿ってワーク搬送用のキャリアを一方向に走行させ、
所要の処理装置に対応させてキャリアを停止させつつこ
の処理装置との間でワークへの処理を実行させ、その
後、キャリアを走行方向一定のまま元の走行開始位置へ
向けて循環走行させ、キャリアが1周分の循環走行を繰
り返すたびにワークの載せ代えを行う、というものであ
る。
【0013】このように、本発明の表面処理方法では、
キャリアの走行が一方向に向いたエンドレスの循環走行
である。このようにキャリアをエンドレスで循環走行さ
せる方式では、1本のレールに対して仮に複数のキャリ
アを設けるものとしても、各キャリア間でワークの受け
渡しを行わせる必要がなく、それぞれのキャリアについ
て常に一方向的に走行させ続ければよいものである。す
なわち、個々のキャリアは、それ自体の処理進行状況に
応じて単独で動作を続けることができるのである。その
ため、ワーク供給装置へ供給されたワークが一連の処理
を終えてワーク取出装置まで運び出されるまでのサイク
ルタイムとして、これを大幅に短縮させることができ
る。
【0014】従って、この表面処理方法としての処理能
率(生産性)及びこの表面処理装置全体としての稼働効
率を飛躍的に高めることができる。また、このように迅
速な処理ができるので、色あい等の表面処理の仕上がり
度合いに関し、空中放置を原因としては不均一化のおそ
れがでることはない。例えば、処理ラインをキャリアが
1周するのに3分以内とすることができる。なお、処理
ラインには複数種の処理工程が含まれ、且つこれら各処
理工程ごとに複数の処理装置が組み合わされたものとす
ればよいものである。そして、キャリアは指示された特
定の処理工程に合わせてそれに必要とされる処理装置を
選出して停止とワーク処理の実行とを行いながら、不要
な処理装置に対しては不停止のまま通過走行するものと
すればよい。
【0015】勿論、処理ラインに対して複数のキャリア
を設ければよい。この場合、これら各キャリアは、各独
立した制御を受けて走行可能なものとすればよい。処理
ラインに含まれる各種処理工程は、いずれもメッキ後に
色づけを行うものとすればよく、また処理ラインの前に
行うメッキは亜鉛メッキとすればよい。一方、本発明に
係る表面処理装置では、複数の処理装置が並べられた処
理ラインと、この処理ラインに沿って一方向に走行して
元の走行開始位置へ循環可能とされるワーク搬送用のキ
ャリアと、このキャリアに対して所定の処理プログラム
を指示する制御装置とを有しているものである。
【0016】そして、キャリアは停止した処理装置との
間でワークの処理を実行可能であると共に、処理ライン
を1周するたびにワークの載せ代えが可能となってい
る。勿論、処理ラインに対して複数のキャリアが設けら
れており、制御装置は各キャリアを独立制御可能になっ
ている。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づき説明する。図1乃至図6は、本発明に係る表
面処理装置1の一実施形態を模式的に示している。な
お、この図例の表面処理装置1は、従来例として示した
図8のものと同様に、亜鉛メッキ後に色づけ処理を行う
ものとして適用してある。図1に示すように、本発明に
係る表面処理装置1は、処理ライン2と、この処理ライ
ン2に沿って走行可能とされたワーク搬送用のキャリア
3と、このキャリア3に所定の処理プログラムを与える
制御装置4とを有している。
【0018】本実施形態において、処理ライン2には複
数(図例では2台)のキャリア3が設けられており、こ
れら各キャリア3は、制御装置4によって各独立して制
御されるようになっている。図2及び図3から明らかな
ように、処理ライン2は、複数の処理装置(112〜1
31)が並べられることによって構成されている。な
お、これら各処理装置(112〜131)は、従来例の
中で説明したものとレイアウトや配置順等の細部が異な
るものの、一つ一つについては略同様なものが対応して
いるので、その対応するものについて同じ符号を付して
ある。
【0019】従ってこの処理ライン2についても、少量
多品種の表面処理に対応できるようになっており、黒工
程105、グリーン工程106、クロメート工程10
7、ユニクロ工程108、三価工程109、といった複
数の処理工程が含まれたものとなっている。これら個々
の処理工程105〜109が、上記した複数の処理装置
(112〜131)のうち、それぞれ所定のものを組み
合わせたものとして構成されていること等に関しては、
従来例で説明したところと略同様であるので、ここでの
詳説は省略する。
【0020】ただ、本実施形態で示した処理ライン2
は、従来例で説明したレイアウト(一直線状)とは異な
って処理装置112〜131が二列に並べられており、
この処理ライン2を一巡するようなかたちでエンドレス
の楕円レール6が設けられている。そして、キャリア3
はこの楕円レール6に沿って一方向に循環走行可能とさ
れている。図4に示すように、楕円レール6は装置フレ
ーム10によって処理ライン2上の所定高さに保持され
た上方軌道とされており、キャリア3は、この上方軌道
としての楕円レール6にハンガー部11を介して吊り下
げられつつ、その走行をガイドされる構造となってい
る。
【0021】なお、装置フレーム10には、楕円レール
6に対してその下方側で平行するようにして下部レール
12も設けられており、キャリア3にはこの下部レール
12を両側から挟持するようになる下部ピンチローラ1
3が設けられて、走行中の振れ止めとなるようにしてあ
る。図5及び図6に示すように、楕円レール6は、直線
部分はもとより楕円のカーブ部分をも含めて扁平な帯板
状に形成されたものとなっている。そして、この楕円レ
ール6には、その幅方向両端部に三角形状に突出する車
輪係合縁14が設けられている。
【0022】これに対し、キャリア3のハンガー部11
には、楕円レール6をその左右両側から挟持する配置で
対を成す走行車輪15が回転自在に設けられており、こ
れら各走行車輪15には、楕円レール6の車輪係合縁1
4に側方から係合可能となるV字溝が設けられている。
このような楕円レール6と走行車輪15とが係合するこ
とにより、キャリア3は上下方向のガタツキや横揺れが
殆どない状態に保持されたまま、安定して走行すること
になる。
【0023】また、上記したように左右一対で1組とな
っている走行車輪15は、楕円レール6の長手方向で2
組のものが一つの台車18に設けられ、更にこの台車1
8が、ハンガー部11に対して前後に2台設けられたも
のとなっている。そして各台車18は、ハンガー部11
に下向きに設けられた台車保持台19に対して旋回軸2
0を中心に旋回自在となっている。このようなことか
ら、キャリア3は、楕円レール6におけるカーブ部分の
通過及びカーブ部分と直線部分との乗り継ぎが可能であ
り、楕円レール6に対する循環走行として、連続した安
定な走行が可能になっているものである。
【0024】図4及び図5に示したように、キャリア3
には、それぞれ走行用のモータ23が搭載されており、
この走行用モータ23にはギヤ24が設けられている。
このギヤ24は、装置フレーム10側において楕円レー
ル6と平行するように架設されたラックレール25に対
して噛合している。従って、各キャリア3は、走行用モ
ータ23の駆動によって自走可能となっている。ところ
で、キャリア3にはワークを入れたバスケット27を保
持するためのハンド部30が下向きに設けられている。
このハンド部30は、バスケット27を保持したり離し
たりするハンドリング動作と、保持したバスケット27
を上げ下げさせながらひねりを加えるモミ動作と、これ
らハンドリング動作やモミ動作の前後に全体を昇降させ
る昇降動作との、計3つの動作が可能になっている。
【0025】図7に示すように、このハンド部30は、
三つ又状に形成された吊りブラケット31を支点としそ
の下側で揺動自在に接続された3本のアーム32を有し
たものとなっており、これら各アーム32は、吊りブラ
ケット31の中心部を上下貫通した状態で上下動可能と
された伝動軸33を介して下部リンク機構34で相互連
接されている。従って、伝動軸33を下降させた状態
(図7中の実線の状態)として各アーム32を下すぼみ
状態にさせ、また伝動軸33を上昇させることで各アー
ム32を拡開させる(二点鎖線参照)ことができる。こ
のアーム32の拡開やその逆の縮閉がハンドリング動作
にあたる。
【0026】この伝動軸33の上下動は、図4に示した
ハンドリング用モータ35によって行われる。また、上
記した吊りブラケット31は、上記伝動軸33を外嵌す
る筒軸37の下端部に設けられたものとなっており、こ
の筒軸37もまた、上下動可能になっている。この筒軸
37には、その長手方向中途部の側面にカムフォロワー
40が設けられている。この筒軸37に対しては、カム
フォロワー40の設けられた高さ位置の側面を覆うよう
にして、半円筒状のカム41が付設されており、このカ
ム41にはカムフォロワー40が嵌るカム溝42が設け
られている。このカム溝42は、上下方向成分及び周方
向成分を一緒に有することで斜めにねじられた形状を有
している。
【0027】従って、筒軸37を上下動させると、この
筒軸37を介して設けられた状態にあるハンド部30
は、1/4回転ほどのひねりを伴いながら上下動するこ
とになる。このことが上記したモミ動作にあたる。この
筒軸37の上下動は、図4に示したモミ用モータ43に
よって行われる。更に、このようなハンド部30は、図
4に示すようにキャリア3の外フレーム44に対し、ガ
イドローラ45を介して昇降自在に保持された昇降枠4
6に組み込まれたものとなっている。この昇降枠46
は、ベルトの巻きだし巻き取り構造等を利用した昇降駆
動機構(図示略)を介して、昇降するようになってい
る。
【0028】言うまでもなく、この昇降枠46の昇降
が、ハンド部30としての全体的な昇降動作にあたる。
この昇降駆動機構(図示略)は、図4に示した昇降用モ
ータ47によって行われる。以上の説明から明らかなよ
うに、各キャリア3は、処理ライン2に沿った走行と、
各処理装置112〜131に対応する停止、及びこれら
各処理装置112〜131との間でのワークへの処理実
行とを、各独立して動作可能となっている。
【0029】ここで一例を挙げると、図2に示した黒工
程105に固有の処理槽117〜119では、まずキャ
リア3は黒の色づけ槽117に対応して停止し、昇降用
モータ47の駆動でハンド部30を下降させる。このハ
ンド部30の下降により、ハンド部30に保持されたバ
スケット27は色づけ槽117に浸漬される(図4中の
二点鎖線参照)。ここで必要に応じてモミ用モータ43
を駆動させると、ハンド部30はモミ動作(上げ下げさ
せながらひねりを加える動作)を行うことになり、バス
ケット27内に入れられたワークに対して色づけ槽11
7の処理液が満遍なく接触する状態が得られる。
【0030】そしてモミ用モータ43の停止、昇降用モ
ータ47の逆転(上昇)を行った後は、キャリア3は走
行を開始し、隣接する次の水洗槽118に対応して停止
する。このようにして、以後、所要の処理装置に対して
上記と略同様な動作を繰り返してゆくというものであ
る。なお、言うまでもなくワーク供給装置112やワー
ク取出装置116、及び乾燥装置113では、上記した
モミ動作の代わりにハンドリング動作を行うことにな
る。
【0031】図2及び図3に示すように、表面処理装置
1の全体的な動作手順としては、ワーク供給装置112
からのバスケット27(ワーク)の受け取り(動作手順
)、酸洗い装置114及び水洗装置115での前処理
(動作手順及び)、黒工程105等での固有の処理
進行動作(〜)、乾燥装置113での乾燥(動作手
順)、ワーク取出装置116へのバスケット27の送
り渡し(動作手順)となる。この間、キャリア3は、
不要な処理装置に対しては不停止のまま通過走行するよ
うになっている。
【0032】そして、一連の動作を終えたキャリア3
は、元の走行開始位置へ向けて走行し、また動作手順
から動作を開始する。このような各キャリア3に対する
動作制御は、制御部4により各別に指示されるものであ
るが、ワーク供給装置112でキャリア3に対して差し
出されるバスケット27ごとに、その処理工程(即ち、
色づけすべき色)が異なる場合がある。従って、2台の
キャリア3が、それぞれ別々の処理工程105〜109
に合わせた動作を行うといったことも当然に起こってく
る。
【0033】しかし、本発明では、各キャリア3の走行
が一方向に向いたエンドレスの循環走行であるから、各
キャリア3間でバスケット27(ワーク)の受け渡しを
行わせる必要がなく、個々のキャリア3は、それ自体の
処理進行状況に応じて単独で動作を続けることができる
のである。そのため、ワーク供給装置112へ供給され
たワークが一連の処理を終えてワーク取出装置116ま
で運び出されるまでのサイクルタイムを大幅に短縮させ
ることができ、この表面処理装置1の全体としての稼働
効率を飛躍的に高めることができる。
【0034】一例を挙げると、このサイクルタイムを2
分〜2分30秒、場合によっては2分を切ることも可能
という驚異的なスピードに短縮することができる。とこ
ろで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではな
く、実施の形態に応じて適宜変更可能である。本発明に
係る表面処理方法は、ニッケルメッキや銅メッキ等の後
に行う色づけ処理で適用することもできる。また、亜鉛
メッキ、ニッケルメッキ、銅メッキ等においても適用す
ることができる。
【0035】キャリア3の構造自体などは、適宜変更可
能である。楕円レール6は、1本に繋がったレールとす
ることが限定されるものではなく、別種のレールやトラ
バーサ等に対して途中で乗り換えを行わせるように構成
させることも可能である。楕円レール6の断面形状等
は、上記実施形態のものに限定されるものではない。
【0036】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る表面処理方法及び表面処理装置では、ワークに対
する処理能率及び装置としての稼働効率を飛躍的に高め
ることができる。また、色あい等の表面処理の仕上がり
度合いに関し、空中放置を原因としては不均一化が起こ
るおそれはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る表面処理装置の一実施形態を模式
的に示した平面図である。
【図2】図1のA部拡大図である。
【図3】図1のB部拡大図である。
【図4】図1のC−C線拡大断面図である。
【図5】図4のD部拡大図である。
【図6】楕円レールのカーブ部分をキャリアが通過する
様子を下から見上げた状態(図4のE−E矢視線参照)
として示した図である。
【図7】キャリアに設けられたハンド部を示した斜視図
である。
【図8】従来における表面処理装置の一例を模式的に示
した平面図である。
【符号の説明】
1 表面処理装置 2 処理ライン 3 キャリア 4 制御装置 105〜109 処理工程 112〜131 処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C25D 5/48 C25D 5/48 (72)発明者 小田 秀雄 大阪府羽曳野市駒ケ谷5番地の34 木田精 工株式会社内 (72)発明者 森本 清信 大阪府羽曳野市駒ケ谷5番地の34 木田精 工株式会社内 Fターム(参考) 4D075 AB01 AB33 AB34 AB36 AB56 BB87X CA47 DA11 DA23 DB05 DB06 EA07 4F040 AA01 AB04 AC02 BA42 CC16 CC19 4F042 AA01 BA01 DF02 DF05 DF16 DF21 DF25 DF26 DF29 DF34 4K024 AA03 AA05 AA09 DB04 DB10 4K026 BA06 BB06 DA08

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の処理装置(112〜131)が並
    べられた処理ライン(2)に沿ってワーク搬送用のキャ
    リア(3)を一方向に走行させ、所要の処理装置(11
    2〜131)に対応させてキャリア(3)を停止させつ
    つこの処理装置(112〜131)との間でワークへの
    処理を実行させ、その後、キャリア(3)を走行方向一
    定のまま元の走行開始位置へ向けて循環走行させ、キャ
    リア(3)が1周分の循環走行を繰り返すたびにワーク
    の載せ代えを行うことを特徴とする表面処理方法。
  2. 【請求項2】 前記処理ライン(2)には複数種の処理
    工程(105〜109)が含まれ且つこれら各処理工程
    (105〜109)ごとに複数の処理装置(112〜1
    31)が組み合わされたものとなっており、前記キャリ
    ア(3)は指示された特定の処理工程(105〜10
    9)に合わせてそれに必要とされる処理装置(112〜
    131)を選出して停止とワーク処理の実行とを行いな
    がら不要な処理装置(112〜131)に対しては不停
    止のまま通過走行することを特徴とする請求項1記載の
    表面処理方法。
  3. 【請求項3】 前記処理ライン(2)に対して複数のキ
    ャリア(3)が設けられ、これら各キャリア(3)が各
    独立した制御を受けて走行可能になっていることを特徴
    とする請求項1又は請求項2記載の表面処理方法。
  4. 【請求項4】 前記処理ライン(2)に含まれる各種処
    理工程(105〜109)は、いずれもメッキ後に色づ
    けを行うものであることを特徴とする請求項2又は請求
    項3記載の表面処理方法。
  5. 【請求項5】 前記処理ライン(2)の前に行うメッキ
    は亜鉛メッキであることを特徴とする請求項4記載の表
    面処理方法。
  6. 【請求項6】 前記処理ライン(2)をキャリア(3)
    が1周するのに3分以内とされていることを特徴とする
    請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の表面処理方
    法。
  7. 【請求項7】 複数の処理装置(112〜131)が並
    べられた処理ライン(2)と、この処理ライン(2)に
    沿って一方向に走行して元の走行開始位置へ循環可能と
    されるワーク搬送用のキャリア(3)と、このキャリア
    (3)に対して所定の処理プログラムを指示する制御装
    置(4)とを有しており、 キャリア(3)は停止した処理装置(112〜131)
    との間でワークの処理を実行可能であると共に処理ライ
    ン(2)を1周するたびにワークの載せ代えが可能とな
    っていることを特徴とする表面処理装置。
  8. 【請求項8】 前記処理ライン(2)に対して複数のキ
    ャリア(3)が設けられており、前記制御装置(4)は
    各キャリア(3)を独立制御可能になっていることを特
    徴とする請求項7記載の表面処理装置。
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