JP2003315306A - 安全センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 火災時の初期段階で早くかつ確実に検知する
ことのできる安全センサを提供することを目的とする。 【解決手段】 パルス的に駆動するＣＯセンサ１６と、
前記ＣＯセンサ１６と同一筐体内に収納された火災セン
サ１５と、前記火災センサ１５からの信号によって前記
ＣＯセンサ１６のパルス間隔を変化させるパルス間隔制
御手段２０を有する構成とし、火災センサ１５からの信
号によってＣＯセンサ１６のパルス間隔を変化させるこ
とにより、電池電源で駆動させた場合の電池寿命を長く
するともに、異常時に、ＣＯセンサ１６の検知のタイミ
ングを変化させることにより、早期に確実に火災異常を
検知することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、室内燃焼機器の不
完全燃焼により発生する一酸化炭素や火災を検知する安
全センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のガスセンサは半導体式、熱線半導
体式、個体電解質式など種々の方式、形状のものが提案
されている。一例として固体電解質式は図７に示すよう
に板状の固体電解質１の両面に一対の白金電極２、３を
形成し、両面を板状のガス選択透過体４、５で覆い、片
方のガス選択透過体４の表面にヒータ６を形成するとと
もに、その上に酸化触媒層７を設置したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般にガスセンサは一
酸化炭素、メタン、プロパン、水素などに選択的に感応
し、ガス洩れ警報機や、ＣＯ警報機などの用途に用途に
用いられている。したがって最終安全装置として高感度
であること、応答が速いこと、信頼性が高いこと選択性
が高いこと、さらに消費電力が低いことが要求される。

【０００４】しかしながら図７に示す従来のガスセンサ
は個体電解質１、ガス選択透過体４、酸化触媒層７は板
状のチップの熱容量が大きいためセンサを動作温度に保
持するためには大きな電力が必要であり、そのために商
用電源が必要であった。したがって電源コンセントを常
時占有することになり、一般家庭では台所等のごく限ら
れた場所に設置されるのが普通である。しかし、暖房
機、給湯器等の室内燃焼機の燃焼不良による不幸な事故
が相変わらずなくならない現状や、住宅の高気密高断熱
化に伴うセントラル暖房の普及を考えると、ＣＯ警報機
を普及させる必要がある。ただし、電気製品が溢れてい
る家庭内において電源コンセントを占有することは非常
に不便であり、設置性を改良することが望まれる。

【０００５】このような課題を解決するために図８の構
成の薄膜ガスセンサが提案されている（特開２００１−
１９４３２９公報）。この薄膜ガスセンサは、基板８上
に形成されたヒータ９の上面に電気絶縁層１０を介して
形成された酸素イオン導電性を有する固体電解質薄膜１
１と、個体電解質薄膜１１上に形成された一対の電極１
２薄膜と、前記一対の電極１２の一方の電極１２’上に
設けられた酸化触媒層１３よりなる構成としている。こ
の構成により熱容量を小さくしてパルス駆動を可能とし
ており、その結果大幅な省電力化が可能となり電池駆動
が可能となることが示されている。しかし、半導体式、
熱線半導体式、固体電解質式等は、いずれもヒータで所
定の温度に加熱するため、電池容量を長期間保持するた
めパルス間隔を大きくとる必要があった。

【０００６】しかし、パルス間隔が大きい場合は、火災
などの緊急時にＣＯが急激に発生する場合は、ＣＯの検
出が遅れる場合もあった。これを解決するために、図９
に示されるようなヒータの駆動方法が示されている（特
開２００１−１９４３２９公報）。これは、加熱手段は
間欠的に動作するとともに、ＣＯセンサの出力が第一の
設定値より高い時（ｈ２）のパルス間隔（ｔｈ２）を第
一の設定値より低い時（ｈ１）のパルス間隔（ｔｈ１）
よりも短くすることによって、緊急時にＣＯを早く検知
するものである。しかし、この方法でも、通常ＣＯセン
サの出力が第一の設定値より低いときははパルス間隔を
長くして動作しているため、ＣＯ発生の初期段階ではＣ
Ｏ検出が遅れる場合がある。また、火災センサは温度で
検知する方式と、煙で検知する方式があるが、火災セン
サだけで使用する場合、特に煙で検知する方式は、タバ
コの煙や水蒸気で警報が発生する場合があった。

【０００７】本発明は前記従来の課題を解決するもの
で、火災時の初期段階で早くかつ確実に検知することの
でき、かつ省電力で電池駆動可能な安全センサを提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の安全センサは、パルス的に駆動するＣＯセ
ンサと、前記ＣＯセンサと同一筐体内に収納された火災
センサと、前記火災センサからの信号によって前記ＣＯ
センサを駆動するパルス間隔を変化させるパルス間隔制
御手段を有する構成としたものである。火災センサから
の信号によってＣＯセンサのパルス間隔を変化させるこ
とにより、電池電源で駆動させた場合の電池寿命を長く
するともに、異常時に、ＣＯセンサの検知のタイミング
を変化させることにより、早期に確実に火災異常を検知
することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、パルス
的に駆動するＣＯセンサと、前記ＣＯセンサと同一筐体
内に収納された火災センサと、前記火災センサからの信
号によって前記ＣＯセンサを駆動するパルス間隔を変化
させるパルス間隔制御手段を有する構成としているの
で、必要に応じてパルス間隔を変更して検知のタイミン
グを変更することができる。

【００１０】請求項２に記載の発明は、火災センサで火
災要因となる異常を検知したときに、ＣＯセンサのパル
ス間隔を短くさせる制御信号を発する構成としているの
で、室温が上昇、もしくは煙が発生したときに、ＣＯセ
ンサのパルス間隔を短くして、検知タイミングを早く
し、危険を早期に察知することができる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、火災センサで火
災要因となる異常を検知したときに、ＣＯセンサのパル
ス間隔を短くさせる制御信号は、前記火災センサの出力
レベルが火災の危険を報知するための警報を発する出力
レベルよりも低い出力レベルの時に発せられる構成とし
ているので、室温が上昇もしくは煙が発生した初期段階
で、ＣＯセンサのパルス間隔を短くして検知タイミング
を早くし、温度もしくは煙とＣＯの検知で火災を早期に
確実に検知することができる。

【００１２】請求項４に記載の発明は、火災センサの出
力が所定値以上であり、かつＣＯセンサの出力の増加率
が所定値以上の場合に警報を発する構成にしているの
で、万一火災の発生等でＣＯが急激に増加した場合に、
ＣＯ濃度があらかじめ設定された警報を発する濃度に達
していなくても警報を発して危険を早期に知らせること
ができる。

【００１３】請求項５に記載の発明は、火災センサは火
災要因となる異常を検出しなくなったとき、または異常
を検出しないときで、かつＣＯセンサの出力が所定値以
下の場合にＣＯセンサのパルス間隔を長くさせる、ある
いはパルス間隔を所定値にする制御信号を発する構成と
しているので、火災センサで火災要因となる異常が検出
されなくなったときに、ＣＯセンサを通常の状態のパル
ス間隔に復帰させるので、省電力化を図ることができ、
特に、電源に電池を用いる場合は電池寿命を長くするこ
とができる。

【００１４】請求項６に記載の発明はＣＯセンサを耐熱
低熱伝導性の基板と、前記基板上に形成されたヒータ
と、前記ヒータを覆うように設けられた絶縁膜と、前記
絶縁膜上に設けられた酸素イオン伝導性の固体電解質膜
と、前記固体電解質膜上に形成された異種のペロブスカ
イト型複合酸化物よりなる一対の電極または金とペロブ
スカイト型複合酸化物よりなる一対の電極または一対の
白金電極の一方の電極上に形成された触媒を有する構成
としている。耐熱低熱伝導性の基板上に薄膜で形成して
いるので、熱容量を小さくして固体電解質を瞬時に所定
の温度に昇温させるので，パルス的にＣＯセンサを駆動
することが可能であり、電池電源でＣＯセンサを駆動す
ることが可能になる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。 （実施例１）図１は本発明の実施例１における安全セン
サのブロック図を示すものである。図１において１４は
安全センサで、内部に火災センサ１５、ＣＯセンサ１６
が収納されている。火災センサ１５は、温度差を検知し
て火災を報知する方式でも、煙濃度を検知して火災を報
知する方式でも良い。１７は電源で、一次電池もしくは
二次電池により制御手段１８へ電力を供給する。制御手
段１８は火災センサ１５、ＣＯセンサ１６の制御を行う
とともに、火災センサ１５、ＣＯセンサ１６の出力信号
処理を行い、信号の状態によって警報装置１９を鳴動さ
せる等の処理を行う。２０はパルス間隔制御手段で、パ
ルス的に駆動しているＣＯセンサ１６のパルス間隔を火
災センサ１５の出力に応じて変更する。

【００１６】次に、ＣＯセンサ１６の構成について図２
を用いて説明する。

【００１７】図２において、１６はＣＯセンサである。
ＣＯセンサ１６としては、半導体式、熱線半導体式、固
体電解質式、定電位電解式など種々の方式があるが、本
実施例では固体電解質式を用いている。２１は耐熱性で
低熱伝導性の基板で、ここでは約２ｍｍ×２ｍｍ×０．
３ｍｍの石英ガラスを用いている。２２は白金のヒータ
でスパッタ法、電子線蒸着法などによって所定の温度に
なるように抵抗値を設定している。２３は絶縁膜でアル
ミナ、シリカ、窒化珪素などの絶縁材料の薄膜をスパッ
タ法、電子線蒸着法などによってヒータ２２を覆うよう
に形成している。２４は絶縁膜２３上に絶縁膜２３より
小さな面積に形成された固体電解質膜であり、酸素イオ
ン導電性を有する固体電解質（８％イットリア安定化ジ
ルコニア）をスパッタ法で約０．４ｍｍ×０．６ｍｍの
大きさに形成している。固体電解質としては酸素イオン
導電性を有するすべての固体電解質を使用することがで
きるがジルコニアに少量のイットリアを混合して焼成し
たイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）が比較的安価
で入手も簡単である。２５ａ、２５ｂは電極で、白金を
スパッタ法で感応膜上に形成している。白金に一部パラ
ジウム、ルテニウム、ロジウムなどの貴金属を混入させ
ても良い。その他、一般に固体電解質型に用いる電極材
料すべてが使用可能である。２６は片方の電極２５ａ上
に設定された触媒で、触媒２６は測定対象ガスを酸化分
解するものであれば良いが、白金、パラジウム、ルテニ
ウム、ロジウムなどの貴金属やバナジウム、マンガン等
の酸化物あるいはこれらの混合物をアルミナなどに担持
したものをスクリーン印刷法で形成する。本実施例では
電極２５ａ、２５ｂに白金を用い、一方の電極２５ａ上
に触媒２６を設定する構成としたが、触媒２６を用い
ず、電極を異種のペロブスカイト型複合酸化物とする
か、ペロブスカイト型複合酸化物と金で構成しても良
い。２７はヒータ２２から延長されたヒータ端子であ
る。２８ａ、２８ｂは電極２５ａ、２５ｂの間で検出し
た出力を取り出すための電極リードで検出回路（図示せ
ず）出力信号を送出するための電極端子２９ａ、２９ｂ
が接続されている。電極と電極リードと電極端子（２５
ａと２８ａと２９ａおよび２５ｂと２８ｂと２９ｂ）は
それぞれ同一材料で一体的に形成されている。また電極
リード２８と電極端子２９は固体電解質膜２４の領域外
に形成されている。

【００１８】以上の構成において電源（図示せず）から
ヒータ端子２７、を介してヒータ２２に電力を供給し固
体電解質２４を所定温度（４００℃〜５００℃）に加熱
する。固体電解質膜２４が所定の温度に達すると電極２
５ａ、２５ｂと固体電解質膜２４と空気の界面で電子の
授受が行われ、酸素イオンが発生する。ここで、空気中
にＣＯが存在すると、酸化触媒２６の乗った電極２５ａ
ではＣＯは酸化触媒２６によって酸化され、電極２５ａ
までＣＯは到達しない。もう一方の電極２５ｂではＣＯ
は電極２５ｂ表面でＣＯ２に酸化される。この酸化反応
には固体電解質膜２４内の酸素イオンが使われ、その結
果両電極間の電極反応に差が生じ、固体電解質酸素イオ
ンの平衡が崩れ、両電極間に電位差が発生する。この電
位差を検出することによりＣＯ濃度を検出することがで
きる。基板２１に用いている石英ガラスは熱伝導率が
１．５Ｗ／ｍＫと絶縁膜１６（３５〜４５Ｗ／ｍＫ）や
固体電解質膜２４（６Ｗ／ｍＫ）に対して小さく、した
がってヒータ２２で加熱した場合に、基板２１の温度は
ほとんど上昇することなくヒータ２２の直上の固体電解
質膜２４の領域およびその近傍のみの温度を上昇させる
ことができるので、加熱のための消費電力を大幅に低減
することができる。また、熱衝撃強度も大きいので短時
間で所定の温度まで昇温することが可能である。

【００１９】上記構成では１５ｍＷｓｅｃの電力量で４
５０℃までの昇温が可能であった。固体電解質膜２４は
所定の温度で酸素イオン導電性が生じる。すなわち固体
電解質が所定の温度になればＣＯの検知が可能である。
本実施例では、基板２１に熱伝導率の小さな石英ガラス
を用い、固体電解質も薄膜で形成しているので瞬時に固
体電解質膜２４を所定の温度し昇温することが可能で、
ヒータ２２をパルス的に駆動させて大幅に消費電力が低
減できるため、電池電源での駆動が可能である。本実施
例の構成では、１０ｍｓｅｃのヒータ２２への通電で４
５０℃までの昇温が可能であり、ヒータ２２への通電停
止後約０．５ｓｅｃで室温まで復帰した。したがって、
パルス間隔は、０．５ｓｅｃから通常の測定には問題の
無い３０ｓｅｃ程度までパルス間隔は任意に設定可能で
ある。また、パルス間隔０．５ｓｅｃもＣＯセンサをさ
らに小型化すれば０．５ｓｅｃ以下に設定することも可
能になる。

【００２０】パルス的に駆動することは半導体式や、熱
線半導体式でも可能であるが、これらの方式では、半導
体表面に吸着する水分の影響を大きく受け、パルス間隔
が大きいときは吸着水の影響で出力が低下し、水分除去
のために長時間の過熱が必要になるために、パルス間隔
を任意に設定することは困難である。

【００２１】本実施例は固体電解質式のパルス間隔を任
意に設定できるという特徴を活かし、火災センサ１５と
の組合せで、火災などの非常時に、異常を早期に確実に
検出して逃げ送れなどの不幸な事態を極力避け得る安全
センサを提供するものであり、以下にその動作について
説明する。安全センサの動作のパターンとしては大きく
以下の３つの場合が考えられる。

【００２２】１．火災センサ１５の出力のみ変化する場
合。

【００２３】２．ＣＯセンサ１６の出力のみが変化する
場合。

【００２４】３．火災センサ１５とＣＯセンサ１５の両
方の出力が変化する場合。

【００２５】火災センサ１５の出力のみが変化する場合
の動作を図３に示す。すなわち、ＣＯの発生がまだ少な
くＣＯセンサで異常検知できないが室温上昇や煙等によ
って火災センサが先に異常検知する場合である。火災セ
ンサ１５はサーミスタにより室温を測定する方式でもフ
ォトダイオードで煙濃度を測定する方式でも良いが、い
ずれの場合も消費電力が小さいので、電池電源を使用し
た場合でも常時通電し連続的な監視が可能である。通常
の状態では火災センサ１５の検知出力はｋ０、ＣＯセン
サ１６のパルス間隔はｔａである。ｔａは通常ＣＯの検
出に支障のない約３０秒（たとえば、１回のみの検知で
は誤報の可能性があるため、２回の検知でＣＯ発生と判
断する場合、ＣＯ発生から１分以内で検知できる時間）
程度に設定してある。火災による室温上昇や煙発生など
何らかの原因で検知出力がｋ１になったときに、異常と
判断し、パルス間隔制御手段２０によってＣＯセンサ１
６のパルス間隔をｔｂに変更する。火災センサ１５はＣ
Ｏセンサ１６の検知出力に関係なく連続的な監視を続
け、検知出力がｋ２になったときに火災と判断し警報を
発する。以上によって、室温が上昇もしくは煙が発生し
た初期段階で、ＣＯセンサのパルス間隔を短くして検知
タイミングを早くし、温度もしくは煙とＣＯの検知で火
災を早期に確実に検知することができる。

【００２６】ＣＯセンサ１６の出力のみが変化する場合
の動作を図４に示す。すなわち、室温上昇や煙の発生が
まだ少なく火災センサで異常検知できないが不完全燃焼
等によるＣＯが発生しＣＯセンサが先に異常検知する場
合である。ＣＯセンサ１６は通常パルス間隔ｔａで動作
しているが、火災センサ１５の検知出力が変化しない場
合でもＣＯの検知出力がｃ１になったときにパルス間隔
制御手段２０によってＣＯセンサ１６のパルス間隔をｔ
ｂに変更する。ｔｂは上述したように０．５ｓｅｃ程度
に設定することができ、実質的には連続検知と同等の検
知が可能である。ＣＯの検知出力が増加し続け、検知出
力がｃ２に達したときにＣＯ異常と判断し、警報を発す
る。

【００２７】次に、火災センサ１５とＣＯセンサ１５の
両方の出力が変化する場合の動作を図５に示す。通常の
状態では火災センサ１５の検知出力はｋ０、ＣＯセンサ
１６のパルス間隔はｔａである。何らかの原因で火災セ
ンサ１５の検知出力がｋ１になったときに、火災の要因
になる異常が発生したと判断し、パルス間隔制御手段２
０によってＣＯセンサ１６のパルス間隔をｔｂに変更す
る。火災センサ１５はＣＯセンサ１６の検知出力に関係
なく連続的な監視を続け、検知出力がｋ２になったとき
に火災と判断し警報を発する。一方、ＣＯセンサ１６で
はパルス間隔ｔｂで検知を続け、火災センサ１５の検知
出力に関係なくＣＯ濃度がｃ３（ＣＯセンサ１６のみの
出力が変化した場合の警報を発する濃度ｃ２よりも低い
濃度）に達したとき、火災の危険性が高いと判断し、警
報を発する。以上によって、ＣＯの異常を検知する前
に、火災センサとの連動により、室温が上昇もしくは煙
が発生した初期段階で、ＣＯセンサのパルス間隔を短く
して検知タイミングを早くし、温度もしくは煙とＣＯの
検知で火災を早期に確実に検知することができる。

【００２８】また、さらに緊急のとき、例えば火災セン
サ１５の検知出力がｋ１になり、パルス間隔制御手段２
０によってＣＯセンサ１６のパルス間隔がｔｂに変更さ
れた後、ＣＯの発生量が急激に増加し、ＣＯセンサの出
力の増加率Δｃが所定値以上の場合は（図５の白抜き
丸）、ＣＯ濃度がｃ３以下であっても警報を発して異常
を報知することもできる。

【００２９】このように、火災センサ１５とＣＯセンサ
１６を組み合わせることによって、それぞれ単独で検知
する場合よりも早期に確実に危険を報知することが可能
となる。

【００３０】また、図６に示すように火災センサ１５は
一旦火災要因となる異常を検知し、火災センサ１５の出
力がｋ１以上になってＣＯセンサ１６のパルス間隔がｔ
２になった後、火災要因となる異常を検出しなくなり、
火災センサ１５の出力がｋ１以下となったときは、ＣＯ
センサ１６の出力が所定値ｃ２以下になったときにパル
ス間隔制御手段２０によってＣＯセンサ１６のパルス間
隔をｔａに戻し、通常の検知状態に復帰させる。したが
って、不要の電力を消費することなく、電源として電池
を用いた場合でも長期間使用することができる。

【００３１】なお、火災センサ１５はＣＯセンサ１６の
検知出力に関係なく連続的な監視を続けるものとして説
明したがこれに限らず、火災センサの電池容量や火災セ
ンサ出力に応じて火災センサの動作を間欠的に行ってそ
の検知精度を変更するものでもよい。

【００３２】なお、ＣＯセンサのパルス間隔はｔａとｔ
ｂの２段階で説明したが３段階以上であってもよい。そ
の場合、時間と共にパルス間隔を徐々に短くしたり長く
なるようにしてもよいし、火災センサ出力やＣＯセンサ
出力に応じてパルス間隔を徐々に短くしたり長くなるよ
うにしてもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、パルス的
に駆動するＣＯセンサと火災センサを組み合わせて、火
災センサで火災要因となる異常を検知したときに、ＣＯ
センサのパルス間隔を短くし、ＣＯの検知間隔を短くす
ることにより、火災の要因となる温度や煙の検知と、Ｃ
Ｏの検知を同時に行い、早期に確実に検知して報知する
ことにより、火災時の熱や煙の危険のみならずＣＯの危
険も同時に知らせることにより、逃げ遅れによる中毒死
の危険性を低減することができる。パルス間隔を任意に
設定することにより、電池を電源とする場合でも長期間
の使用が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例における安全センサのブロッ
ク図

【図２】同本発明の１実施例におけるＣＯセンサの組み
立て斜視図

【図３】同本発明の１実施例における安全センサ動作図

【図４】同本発明の１実施例における安全センサの別の
動作図

【図５】同本発明の１実施例における安全センサの別の
動作図

【図６】同本発明の１実施例における安全センサの別の
動作図

【図７】従来例のガスセンサの要部斜視図

【図８】従来例の別のガスセンサの要部斜視図

【図９】従来例のガスセンサの動作図

【符号の説明】

１４ 安全センサ １５ 火災センサ １６ ＣＯセンサ １７ 電源 １８ 制御手段 １９ 警報 ２０ パルス間隔制御手段 ２１ 基板 ２２ ヒータ ２３ 絶縁膜 ２４ 固体電解質膜 ２５ａ、２５ｂ 電極 ２６ 触媒

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丹羽 孝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鶴田 邦弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 梅田 孝裕 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 西井 一成 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 吉村 康男 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G004 BB04 BC02 BF07 BF08 BJ02 BJ03 BL08 BL14 BL20 BM04 BM09 BM10 5G405 AA01 AB01 AB02 AB03 AC07 CA08 EA27

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パルス的に駆動するＣＯセンサと、前記
   ＣＯセンサと同一筐体内に収納された火災センサと、前
   記火災センサからの信号によって前記ＣＯセンサを駆動
   するパルス間隔を変化させるパルス間隔制御手段を有す
   る安全センサ。
2. 【請求項２】 火災センサで火災要因となる異常を検知
   したときに、ＣＯセンサのパルス間隔を短くさせる制御
   信号を発する請求項１記載の安全センサ。
3. 【請求項３】 火災センサで火災要因となる異常を検知
   したときに、ＣＯセンサのパルス間隔を短くさせる制御
   信号は、前記火災センサの出力レベルが火災の危険を報
   知するための警報を発する出力レベルよりも低い出力レ
   ベルの時に発せられる請求項１、２記載の安全センサ。
4. 【請求項４】 火災センサの出力が所定値以上であり、
   かつＣＯセンサの出力の増加率が所定値以上の場合に警
   報を発する請求項１から３記載の安全センサ。
5. 【請求項５】 火災センサは火災要因となる異常を検出
   しなくなったとき、または異常を検出しないときで、か
   つＣＯセンサの出力が所定値以下の場合にＣＯセンサの
   パルス間隔を長くさせる、あるいはパルス間隔を所定値
   にする制御信号を発する請求項１から４記載の安全セン
   サ。
6. 【請求項６】 ＣＯセンサは耐熱低熱伝導性の基板と、
   前記基板上に形成されたヒータと、前記ヒータを覆うよ
   うに設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられた酸
   素イオン伝導性の固体電解質膜と、前記固体電解質膜上
   に形成された異種のペロブスカイト型複合酸化物よりな
   る一対の電極または前記固体電解質膜上に形成された一
   対の白金電極の一方の電極上に形成された触媒を有する
   請求項１から５記載の安全センサ。