JP2003308977A

JP2003308977A - 有機エレクトロルミネッセンス発光装置とその製造方法

Info

Publication number: JP2003308977A
Application number: JP2002110482A
Authority: JP
Inventors: Morio Taniguchi; 彬雄谷口
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2002-04-12
Filing date: 2002-04-12
Publication date: 2003-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】設置に要する面積に対して光量が大きく、発
光色の設定も容易な、高発光効率の有機ＥＬ発光装置を
提供すること。【解決手段】湾曲した形状にある非透湿性透明基板、
該湾曲基板の内側面に形成され、湾曲基板側から、少な
くとも透明電極層、有機発光材料層、そして電極層が順
に積層された構成を有する有機エレクトロルミネッセン
ス発光性積層体、該湾曲基板の開口部に非透湿的に接合
された非透湿性保護板、および前記電極層のそれぞれに
接続され、各電極層に外部より電気的エネルギーを供給
するための電気的接続端子からなり、前記有機エレクト
ロルミネッセンス発光性積層体の湾曲基板側の電極層
が、化学気相成長法により形成されていることを特徴と
する有機エレクトロルミネッセンス発光装置

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネッセンス発光装置とその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】車両の運転席に備えられたインストルメ
ントパネルには、車両に装備された様々な装置の作動状
態を示すインジケータランプが備えられている。インジ
ケータランプの例としては、ハンドブレーキやシートベ
ルトの作動状態を示す警告灯などが挙げられる。また、
インジケータランプは、テレビなどの電気製品の作動状
態（通電状態など）を示すためにも用いられる。

【０００３】インジケータランプは、装置の作動／非作
動の二つの状態を、ランプの点灯／非点灯の状態で示す
ものである。従って、インジケータランプには、小型の
ものが多い。一方、前記の警告灯のように、インジケー
タランプは、ランプの点灯により人に対して何らかの注
意を促すものである。従って、インジケータランプに
は、ランプの点灯を容易に確認できる優れた視認性が必
要とされる。従って、インジケータランプの光源として
は、できるだけ光量が大きいことが好ましい。

【０００４】即ち、インジケータランプの光源は、光源
の設置に要する面積が小さく、且つできるだけ光量が大
きいことが好ましい。小型電球は、設置に要する面積が
小さく、光量も大きいため、インジケータランプの光源
として好ましく用いられている。小型電球は、気密状態
のガラスバルブに備えられた一対の電極と、一対の電極
間に架けられたフィラメントなどからなる。小型電球
は、電極に電気的エネルギーが供給されてフィラメント
が高温に加熱されると、フィラメントの温度放射により
可視光を発する。

【０００５】小型電球などの電球は、フィラメントの加
熱により発光するため、電球に供給する電気的エネルギ
ーの多くが、熱エネルギーや赤外線に変換される。従っ
て、電球には、発光効率が低いという問題がある。ま
た、インジケータランプは、人に注意を促す際の重要度
などにより、発光色を、赤色や、黄色、青色などに設定
する必要もある。このような場合、電球のガラスバルブ
を着色するか、電球の発した光を着色された半透明の材
料を透過させることにより、発光色を設定する必要があ
る。この様にして電球の発光色を設定することができる
が、発光色以外の可視光は、着色されたガラスバルブな
どに吸収されるために、電球の発光効率はさらに低くな
る。

【０００６】一方、電球以外の光源の一つとして、有機
エレクトロルミネッセンス発光装置が知られている。有
機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと記載す
る）発光装置は、平板状の基板、基板の表面に形成さ
れ、基板側から、少なくとも電極層、有機発光材料層、
そして電極層が順に積層された構成を有する有機ＥＬ発
光性積層体、そして前記の電極層のそれぞれに接続さ
れ、各電極層に電気的エネルギーを供給するための電気
的接続端子などから構成されている。以下、このような
平板状の基板を用いた有機ＥＬ発光装置を、平面型有機
ＥＬ発光装置と記載する。

【０００７】有機ＥＬ発光性積層体は、その有機発光材
料層から生ずる発光を基板の側から取り出すために、基
板として透明なガラス基板を用い、ガラス基板の側か
ら、透明陽電極層、有機発光材料層、そして陰電極層を
順に積層して形成することが一般的である。有機ＥＬ発
光性積層体の各電極層に電気的エネルギーを供給する
と、陽電極層から正孔が、陰電極層から電子が、有機発
光材料層に注入される。そして有機発光材料層内におけ
る電子と正孔の再結合により生成した励起子（エキシト
ン）が失活する際の光の放出（蛍光、燐光）により、有
機ＥＬ発光性積層体は発光する。

【０００８】平面型有機ＥＬ発光装置は、小型電球のよ
うに、電気的エネルギーの多くが熱エネルギーなどに変
換されることがないために、発光効率に優れている。ま
た、有機ＥＬ発光装置は、有機発光材料層に含まれる有
機発光材料の選択により、発光色の設定も容易である。
そして小型電球のように不要な色の光を取り除いて発光
色の設定をする訳ではないので、発光色の設定により発
光効率を低下させることがない。

【０００９】インジケータランプに用いられる小型電球
の代わりに、平面型有機ＥＬ発光装置を用いることも考
えられ、これにより、発光効率は改善され、発光色の設
定も容易となる。しかしながら、インジケータランプを
警告灯に用いる場合などを考慮すると、さらに有機ＥＬ
発光装置の光量を大きくすることが好ましい。

【００１０】平面型有機ＥＬ発光装置は、主にディスプ
レイの用途についての研究がされている。ディスプレイ
の性能としては、表示される情報の見易さ（視野角な
ど）、あるいは発光色の再現性などが重要となる。即
ち、ディスプレイに用いられる平面型有機ＥＬ発光装置
は、ある程度の光量（輝度）を備えていれば十分なので
ある。逆に光量が大きすぎると（輝度が高すぎると）、
ディスプレイを直視して長時間の作業をした場合に、作
業者が疲労し易くなる。一方、インジケータランプの場
合は、人が常にその光源を直視している訳ではないの
で、ランプの点灯により、人に対して確実に注意を促す
ことができることが重要である。従って、インジケータ
ランプの光源は、光量ができるだけ大きいことが好まし
い。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、設置
に要する面積に対して光量が大きく、発光色の設定も容
易な、高発光効率の有機ＥＬ発光装置を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者は、有機ＥＬ発
光性積層体を、湾曲した形状にある基板（以下、湾曲基
板と略する）の内側面に形成することにより、設置面積
に対して光量が大きく、発光色の設定も容易な、高発光
効率の有機ＥＬ発光装置が提供できると考えた。そして
有機ＥＬ発光装置の製造方法を検討したところ、有機Ｅ
Ｌ発光性積層体の発光輝度が、湾曲基板の面方向におい
てばらつき易いという別の問題を生じることがわかっ
た。そして、この発光輝度のばらつきが、湾曲基板側の
電極層の表面の凹凸が大きいために、有機発光材料層に
加わる電気的エネルギーが不均一となるために生ずるこ
とがわかった。

【００１３】このような発光輝度のばらつきは、平面型
の有機ＥＬ発光装置においても生ずる場合があり、これ
を防止するために、研磨により基板側の電極層の表面を
平滑にする対策がなされることがある。ところが、湾曲
基板の内側面に形成された電極層の表面を精度良く研磨
することは困難であった。本発明者は、湾曲基板側の電
極層の製膜方法や成膜条件を検討したところ、湾曲基板
側の電極層を化学気相成長法により形成することによ
り、電極層の研磨が不要な程度にまでその表面を平滑に
でき、前記の発光輝度がばらつく問題も無く、設置に要
する面積に対して大きな光量が得られ、且つ発光効率の
高い有機ＥＬ発光装置を提供できることを見出した。

【００１４】本発明は、湾曲した形状にある非透湿性透
明基板、湾曲基板の内側面に形成され、湾曲基板側か
ら、少なくとも透明電極層、有機発光材料層、そして電
極層が順に積層された構成を有する有機エレクトロルミ
ネッセンス発光性積層体、前記湾曲基板の開口部に非透
湿的に接合された非透湿性保護板、および前記電極層の
それぞれに接続され、各電極層に外部より電気的エネル
ギーを供給するための電気的接続端子からなり、前記有
機エレクトロルミネッセンス発光性積層体の湾曲基板側
の電極層が、化学気相成長法により形成されていること
を特徴とする有機エレクトロルミネッセンス発光装置に
ある。

【００１５】本発明はまた、湾曲した形状にある非透湿
性基板、湾曲基板の内側面に形成され、湾曲基板側か
ら、少なくとも電極層、有機発光材料層、そして透明電
極層が順に積層された構成を有する有機エレクトロルミ
ネッセンス発光性積層体、前記湾曲基板の開口部に非透
湿的に接合された非透湿性の光取り出し用の透明板、お
よび前記電極層のそれぞれに接続され、各電極層に外部
より電気的エネルギーを供給するための電気的接続端子
からなり、前記有機エレクトロルミネッセンス発光性積
層体の湾曲基板側の電極層が、化学気相成長法により形
成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッ
センス発光装置にもある。

【００１６】本発明はまた、筒状の非透湿性透明基板、
筒状基板の内周面の少なくとも一部に形成され、筒状基
板側から、少なくとも透明電極層、有機発光材料層、そ
して電極層が順に積層された構成を有する有機エレクト
ロルミネッセンス発光性積層体、前記筒状基板の両端の
開口部のそれぞれに非透湿的に接合された非透湿性保護
板、および前記電極層のそれぞれに接続され、各電極層
に外部より電気的エネルギーを供給するための電気的接
続端子からなり、前記有機エレクトロルミネッセンス発
光性積層体の筒状基板側の電極層が、化学気相成長法に
より形成されていることを特徴とする有機エレクトロル
ミネッセンス発光装置にもある。

【００１７】上記三つの本発明の有機エレクトロルミネ
ッセンス発光装置の好ましい態様は、下記の通りであ
る。（１）化学気相成長法が、パイロゾル法もしくはスプレ
ー法である。（２）基板側の電極層が、酸化インジウムスズから形成
されている。

【００１８】本発明はまた、湾曲した形状にある基板、
および湾曲基板の内側面に化学気相成長法により形成さ
れた電極層からなる電極層付き基板にもある。

【００１９】本発明はまた、湾曲した形状にある非透湿
性透明基板を、湾曲基板の外側面が成膜装置の基板保持
手段もしくは基板搬送手段に接触するよう装着して保持
もしくは搬送し、基板保持手段もしくは基板搬送手段に
非接触な湾曲基板の表面に、化学気相成長法により透明
導電材料膜を形成する工程、透明導電材料膜をパターニ
ングすることにより、湾曲基板の内側面に残す透明電極
層部分以外の透明導電材料膜を除去する工程、次いで湾
曲基板に残された透明電極層の上に、少なくとも有機発
光材料層、そして電極層を順に積層することにより、前
記の透明電極層、有機発光材料層そして電極層からなる
有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体を形成する
工程、そして前記湾曲基板の開口部に、非透湿性保護板
を非透湿的に接合する工程を含み、かつ前記電極層のそ
れぞれに接続され、各電極層に外部より電気的エネルギ
ーを供給するための電気的接続端子を付設する工程を含
む有機エレクトロルミネッセンス発光装置の製造方法に
もある。

【００２０】本発明の有機エレクトロルミネッセンス発
光装置の製造方法の好ましい態様は、下記の通りであ
る。（１）前記の透明導電材料膜を除去する工程が、透明導
電材料膜が形成された湾曲基板の内側面にスピンコート
法によりレジスト材料膜を形成する工程、湾曲基板に、
湾曲基板の内側面と対応する形状のマスクを装着した後
に前記レジスト材料膜の露光と現像をして、湾曲基板の
内側面に残す透明電極層と対応するパターンのレジスト
膜を形成する工程、次いで湾曲基板の内側面に残す透明
電極層部分以外の、前記レジスト膜が形成されていない
透明導電材料膜をエッチングにより除去する工程、およ
び前記レジスト膜を除去する工程を含む。（２）化学気相成長法が、パイロゾル法もしくはスプレ
ー法である。

【００２１】なお、本明細書において、「透明」とは、
可視光の透過率が７０％以上であることを意味する。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の有機ＥＬ発光装置を、添
付の図面を用いて説明する。図１は、本発明に従う有機
ＥＬ発光装置の一例の構成を示す断面図である。図１の
有機ＥＬ発光装置は、湾曲した形状にある非透湿性透明
基板１１、湾曲基板１１の内側面に形成された有機ＥＬ
発光性積層体１２、そして湾曲基板１１の開口部に非透
湿的に接合された非透湿性保護板１３などからなる。

【００２３】有機ＥＬ発光性積層体１２は、湾曲基板側
から、少なくとも透明電極層１４、有機発光材料層１
５、そして電極層１６が順に積層された構成を有する。
有機ＥＬ発光装置には、有機ＥＬ発光性積層体１２の透
明電極層１４と電極層１６のそれぞれに接続して、各電
極層に外部より電気的エネルギーを供給するための電気
的接続端子として、導電膜１７が付設されている。透明
電極層１４（もしくは電極層１６）と導電膜１７とは、
互いに接触することにより電気的に接続されている。そ
して湾曲基板１１と保護板１３とは、接着剤１８により
非透湿的に接合されている。また、図１に記入した矢印
１９は、有機ＥＬ発光装置の光の取り出し方向を示して
いる。

【００２４】本発明の有機ＥＬ発光装置においては、有
機ＥＬ発光性積層体１２が、湾曲基板１１の内側面に形
成され、湾曲基板の内側面に沿った湾曲した形状にある
ことに特徴がある。有機ＥＬ発光性積層体１２を、湾曲
基板１１の内側面に形成することにより、有機ＥＬ発光
装置の設置スペースに対する発光面積を大きくすること
ができ、有機ＥＬ発光装置から取り出される光の光量を
大きくする（従って、輝度を高くする）ことができる。

【００２５】また、本発明の有機ＥＬ発光装置は、有機
発光材料層１５に用いる有機発光材料の選択により、発
光色を直接設定できる。従って、本発明の有機ＥＬ発光
装置は、電球のように不要な色の発光を取り除いて発光
色の設定をする訳ではないので、発光色の設定により発
光効率が低下することがない。このように、湾曲した形
状の有機ＥＬ発光性積層体１２を用いることにより、発
光装置の設置に要する面積に対して光量が大きく、発光
色の設定も容易な、高発光効率の発光装置を提供するこ
とができる。

【００２６】さらに、本発明の有機ＥＬ発光装置におい
ては、その発光輝度にばらつきが生じないように、有機
ＥＬ発光性積層体１２の湾曲基板側の透明電極層１４
を、化学気相成長法により形成する。透明電極層１４を
化学気相成長法により形成する方法については、有機Ｅ
Ｌ発光装置の製造方法と併せて、後に記載する。

【００２７】湾曲基板１１及び保護板１３は、有機ＥＬ
発光性積層体１２が水分を吸収して発光特性が劣化する
（発光量が低下するなど）ことを防止するために、非透
湿性の材料から形成することが好ましい。湾曲基板１１
および保護板１３を形成する材料の透湿性は、有機ＥＬ
発光性積層体１２が耐久性試験などで発光特性が劣化し
ない程度に低い透湿性を有していればよく、湾曲基板及
び保護板を形成する材料は、実験的に選定することがで
きる。

【００２８】湾曲基板１１および保護板１３を形成する
材料の例としては、ガラスや非透湿層を積層した樹脂な
どが挙げられる。樹脂の例としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリ
エステルが挙げられる。非透湿層としては、金属薄膜を
蒸着するなどの方法で形成された層を挙げることができ
る。湾曲基板１１に非透湿層を設ける場合は、非透湿層
を、可視光透過率が低下しない程度の薄い厚みで形成す
ることが好ましい。湾曲基板１１及び保護板１３を形成
する材料としては、ガラスを用いることが好ましい。保
護板は１３は、金属や合金組成物から形成してもよい。
また、例示した材料以外の材料でも、ある程度の低い透
湿性を有すれば、材料の厚みを厚くすることにより透湿
を抑えることができるので、湾曲基板や保護板を形成す
る材料として用いることができる。

【００２９】湾曲基板１１は、有機ＥＬ発光性積層体１
２の発光を、有機ＥＬ発光装置の外部に効率よく取り出
すために透明とする。湾曲基板１１の可視光透過率は、
７０％以上であることが好ましく、８０％以上であるこ
とがより好ましく、９０％以上であることがさらに好ま
しい。

【００３０】有機ＥＬ発光性積層体１２の水分の吸収を
抑えるために、湾曲基板１１と保護板１３とは、接着剤
１８により非透湿的に接合される。接着剤１８の例とし
ては、エポキシ系接着剤、およびアクリル系接着剤など
が挙げられる。接着剤１８は、有機ＥＬ発光性積層体１
２に用いる材料が熱により変質することを防止するため
に、常温硬化型もしくは紫外線硬化型の接着剤であるこ
とが好ましい。

【００３１】湾曲基板１１と保護板１３から構成される
空間を、真空空間もしくは不活性気体を充填した空間と
することも好ましい。このためには、湾曲基板１１と保
護板１３とを、真空中もしくは不活性気体中で接合すれ
ばよい。また、保護板１３に予め排気管（図示せず）を
設け、湾曲基板１１と保護板１３とを接合した後に、湾
曲基板と保護板とから構成される空間の内部にある、水
分を含む空気を排気した後に排気管を溶封するか、ある
いは同様に空気を排気し、次いでアルゴンや窒素などの
不活性ガスを充填した後に排気管を溶封してもよい。湾
曲基板１１と保護板１３とから構成される空間の内部か
ら水分を排除する意味では、湾曲基板１１と保護板１３
とは非透湿的に接合されていればよいが、完全に気密状
態に接合することもできる。

【００３２】前述のように、有機ＥＬ発光性積層体１２
は、湾曲した形状であること、湾曲基板側の電極層を化
学気相成長法によって形成すること以外は、平面型有機
ＥＬ発光装置に準じて形成することができる。以下に、
本発明の有機ＥＬ発光装置を、平面型の有機ＥＬ発光装
置に準じて形成する場合を例として、詳しく記載する。
なお、有機ＥＬ発光性積層体の層構成や、各層を形成す
る材料については、「有機ＬＥＤ素子の残された研究課
題と実用化戦略」（ぶんしん出版、１９９９年）、及び
「光・電子機能有機材料ハンドブック」（朝倉書店、１
９９７年）などに詳細に記載されている。本発明におけ
る有機ＥＬ発光性積層体１２は、これらの文献の記載内
容に準じて形成することができる。

【００３３】図１において、有機ＥＬ発光性積層体１２
は、湾曲基板側から、陽電極層１４、有機発光材料層１
５、そして陰電極層１６が順に積層された構成を有す
る。有機ＥＬ発光性積層体１２は、前記と逆の順、即ち
湾曲基板側から、陰電極層、有機発光材料層、そして陽
電極層が順に積層された構成を有していてもよいが、陽
電極層から先に形成することが一般的である。どちらの
積層順序の場合であっても、湾曲基板側の電極層は、化
学気相成長法により形成する。そして有機ＥＬ発光性積
層体の発光を有機ＥＬ発光装置の外部に取り出すため
に、有機ＥＬ発光性積層体の陽電極層と陰電極層のう
ち、少なくとも湾曲基板側の電極層は透明電極層とす
る。

【００３４】陽電極層は、仕事関数の大きい（４ｅＶ以
上）金属、合金、導電性化合物、またはこれらの混合物
から形成される。陽電極層を形成する材料の例として
は、金などの金属、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、Ｃ
ｕＩ、ポリ３−メチルチオフェン、ポリチェニレンビニ
レン、およびポリアニリンなどの透明導電性化合物が挙
げられる。陽電極層としては、ＳｎＯ₂、ＣｄＯ、Ｚｎ
Ｏ、ＴｉＯ₂、Ｉｎ₂Ｏ ₃などのネサ膜を用いることも
できる。陽電極層は、ＩＴＯから形成することが好まし
い。陽電極層の厚さは、通常１０ｎｍ乃至１μｍの範囲
にあり、５０乃至２００ｎｍの範囲にあることがより好
ましい。

【００３５】陰電極層は、仕事関数の小さい（４ｅＶ以
下）金属、合金、電気導電性化合物及びこれらの混合物
からなる。具体的な例としては、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｌ
ｉ、Ｉｎ、希土類金属、Ｎａ・Ｋ合金、Ｍｇ・Ａｇ合
金、Ｍｇ・Ｃｕ合金、Ａｌ・Ｌｉ合金、Ａｌ／Ａｌ₂Ｏ₃
混合物を挙げることができる。陰電極層の厚さは、通常
１０ｎｍ乃至１μｍの範囲にあり、５０乃至２００ｎｍ
の範囲にあることがより好ましい。陰電極層の可視光透
過率を高くする場合には、陰電極層の厚みを１０ｎｍ以
下に、好ましくは３乃至１０ｎｍの範囲に、さらに好ま
しくは３乃至８ｎｍの範囲に設定することが好ましい。

【００３６】湾曲基板側の電極層の可視光透過率は、７
０％以上であることが好ましく、８０％以上であること
がさらに好ましい。電極層の可視光透過率は、電極層の
厚みを増減することにより調節することができる。電極
層の抵抗は、数百Ω／ｓｑ．以下であることが好まし
い。

【００３７】湾曲基板側の電極層は、化学気相成長法に
より形成する。化学気相成長法は、パイロゾル法もしく
はスプレー法であることが好ましい。湾曲基板とは逆の
側の電極層を形成する方法の例としては、真空蒸着法、
直流（ＤＣ）スパッタ法、高周波（ＲＦ）スパッタ法、
スピンコート法、キャスト法、およびＬＢ法などが挙げ
られる。

【００３８】有機発光材料層は、有機発光材料から形成
するか、キャリア輸送性（正孔輸送性、電子輸送性、ま
たは両性輸送性）を示す有機材料（以下、ホスト材料と
記載する）に少量の有機発光材料を添加した材料から形
成される。本発明の有機ＥＬ発光装置は、有機発光材料
層に含まれる有機発光材料の選択により、発光色を容易
に設定することができる。

【００３９】有機発光材料層を有機発光材料から形成す
る場合には、有機発光材料としては、成膜性に優れ、膜
の安定性に優れた材料が選定される。このような有機発
光材料としては、Ａｌｑ₃（トリス（８−ヒドロキシキ
ノリナト）アルミニウム）に代表される金属錯体、ポリ
フェニレンビニレン（ＰＰＶ）誘導体、ポリフルオレン
誘導体などが用いられる。ホスト材料と共に用いる有機
発光材料としては、添加量が少ないために、前記の有機
発光材料の他に、単独では安定な薄膜を形成し難い蛍光
色素なども用いることができる。蛍光色素の例として
は、クマリン、ＤＣＭ誘導体、キナクリドン、ペリレ
ン、ルブレンなどが挙げられる。ホスト材料の例として
は、前記のＡｌｑ₃、ＴＰＤ（トリフェニルジアミ
ン）、電子輸送性のオキサジアゾール誘導体（ＰＢ
Ｄ）、ポリカーボネート系共重合体、ポリビニルカルバ
ゾールなどが挙げられる。また、有機発光材料層を有機
発光材料から形成する場合にも、発光色を調節するため
に、蛍光色素などの有機発光材料を少量添加することも
できる。

【００４０】次に、図１の有機ＥＬ発光装置の製造方法
を、添付の図面を用いて説明する。図２は、湾曲基板の
内側面へ透明陽電極層を形成する方法を説明する図であ
る。本発明の有機ＥＬ発光装置において、湾曲基板側の
電極層は、化学気相成長法により形成する。化学気相成
長法は、常圧化学気相成長法の一種であるパイロゾル法
もしくはスプレー法であることが好ましく、パイロゾル
法であることが特に好ましい。以下、湾曲基板側の透明
電極層の形成方法を、パイロゾル法により形成する場合
を例として説明する。また、透明電極層を形成する材料
としては、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を代表例とし
て説明する。

【００４１】図２に示すパイロゾル成膜装置２１は、成
膜炉２２と、霧化した膜形成材料を導入する原料導入管
２３、霧化した膜形成材料を排気するための排気管２４
などを備えている。そして、霧化した膜形成材料と基板
が接触するように、基板を搬送するためのベルトコンベ
ア２６、基板を加熱するためのヒータ２５が備えられて
いる。パイロゾル法により、ＩＴＯ膜を平板状の基板に
形成する方法については、特開２００１−７０３１号及
び特開２００１−３５２７３号の各公報に詳しく記載さ
れている。

【００４２】パイロゾル法においては、膜形成材料の溶
液を超音波により霧化して、原料同入管２３から成膜炉
２２に導入し、これを加熱された基板に接触させること
により、基板表面に膜を形成する。スプレー法は、溶液
をスプレーすることにより膜形成材料の溶液を霧化する
こと以外は、パイロゾル法と同様の製膜方法である。

【００４３】ＩＴＯ膜は、膜形成材料として、インジウ
ム化合物とスズ化合物を有機溶媒に溶解した溶液を用い
て形成される。

【００４４】インジウム化合物としては、熱分解して酸
化インジウムとなる化合物を用いることが好ましい。イ
ンジウム化合物の例としては、インジウムトリスアセチ
ルアセトナート（Ｉｎ（ＣＨ₃ＣＯＣＨＣＯＣ
Ｈ₃）₃）、インジウムトリスベンゾイルメタネート
（Ｉｎ（Ｃ₆Ｈ₃ＣＯＣＨＣＯＣ₆Ｈ₃）₃）、三塩化
インジウム（ＩｎＣｌ₃）、硝酸インジウム（Ｉｎ（Ｎ
Ｏ₃）₃）などが挙げられる。

【００４５】スズ化合物としては、熱分解して酸化第二
スズとなる化合物を用いることが好ましい。スズ化合物
の例としては、塩化第二スズ、ジメチルスズジクロライ
ド、ジブチルスズジクロライド、テトラブチルスズ、ス
タニアスオクトエート（Ｓｎ（ＯＣＯＣ₇Ｈ₁₅）₂）、
ジブチルスズマレエート、ジブチルスズアセテート、ジ
ブチルスズビスアセチルアセトナートなどが挙げられ
る。

【００４６】有機溶媒の例としては、アセチルアセト
ン、アセトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケト
ンなどのケトン系溶媒、メタノール、エタノール、プロ
パノール、イソプロパノール、ブタノールなどのアルコ
ール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系
溶媒、メチルセルソルブ、テトラヒドロフランなどのエ
ーテル系溶媒、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳
香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シク
ロヘキサノンなどの脂肪族炭化水素などが挙げられる。

【００４７】ＩＴＯ膜は、得られた膜形成材料の溶液を
用いて、以下のようにして形成される。図２に示すよう
に、湾曲基板１１を、その外側面がパイロゾル成膜装置
２１のベルトコンベア（基板搬送手段）２６に接触する
よう装着して搬送する。そしてヒータ２５により、湾曲
基板１１を、空気中で、前記インジウム化合物及びスズ
化合物が熱分解を起こして酸化インジウム膜及び酸化第
二スズを形成する温度（３００〜８００℃程度）まで加
熱する。そして前記の膜形成材料の溶液を超音波により
霧化して、パイロゾル装置の原料導入管２３から成膜炉
２２に導入する。霧化した膜形成材料と加熱された湾曲
基板とが接触することにより、湾曲基板の表面にＩＴＯ
膜（透明導電材料膜）を形成することができる。

【００４８】以上のようにしてパイロゾル法により形成
されたＩＴＯ膜は、表面が平滑であり、表面を研磨する
必要がない。そして形成されたＩＴＯ膜をパターニング
することにより、湾曲基板の内側面に残す透明電極層部
分以外のＩＴＯ膜を除去することにより、透明陽電極層
が形成される。

【００４９】湾曲基板の内側面に残す透明電極層部分以
外のＩＴＯ膜は、以下のように除去することができる。
先ず、ＩＴＯ膜が形成された湾曲基板の内側面にスピン
コート法によりレジスト材料膜を形成する。そして、湾
曲基板に、図３に示すような湾曲基板の内側面と対応す
る形状のマスク３１を装着した後に、前記レジスト材料
膜の露光と現像をして、湾曲基板の内側面に残す透明電
極層と対応するパターンのレジスト膜を形成する。次い
で湾曲基板の内側面に残す透明電極層部分以外の、前記
レジスト膜が形成されていないＩＴＯ膜をエッチングに
より除去する。ＩＴＯ膜を除去した後、有機溶媒などを
用いて前記レジスト膜は除去される。

【００５０】図４は、図１の有機ＥＬ発光装置の製造工
程における、透明陽電極層１４を形成後の湾曲基板１１
の底面図である。図４に示すように、透明陽電極層１４
は、湾曲基板１１の内側面に形成される。そして、保護
板に設けられる導電膜（電気的接続端子）と電気的に接
続するために、透明陽電極層１４のパターンの一部は、
湾曲基板１１の縁部まで延びている。

【００５１】透明陽電極層を形成するＩＴＯ膜は、膜の
抵抗値を調節するために、特開２００１−３５２７３号
公報に記載されているように、インジウム化合物とスズ
化合物からなる膜形成材料溶液に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒな
どの第三成分が添加された溶液から形成することもでき
る。また、形成されたＩＴＯ膜の抵抗値を調節するため
に、紫外線、可視光、もしくは赤外線を照射する方法
（特開昭６３−３１４７１４号公報などに記載）、酸素
を含む雰囲気下で熱処理する方法（特開平７−２２４３
８３号公報に記載）、有機溶媒を含む雰囲気中で熱処理
する方法（特開２００１−３５２７３号公報に記載）な
どの公知の処理方法を実施することができる。

【００５２】図５は、図１の有機ＥＬ発光装置の製造工
程における、透明陽電極層１４に次いで有機発光材料層
１５が形成された湾曲基板１１の底面図である。図５に
示すように、有機発光材料層１５は、透明陽電極層１４
が、後に形成される陰電極層と短絡（接触）しないよう
に、透明陽電極層１４の大部分を覆うように形成され
る。有機発光材料層１５は、透明陽電極層１４と同様に
して、湾曲基板の内側面と対応する形状のマスクを湾曲
基板に装着して、真空蒸着法により形成することが好ま
しい。

【００５３】図６は、図１の有機ＥＬ発光装置の製造工
程における、有機発光材料層１５に次いで陰電極層１６
が形成された湾曲基板１１の底面図である。図６に示す
ように、陰電極層１６は、透明陽電極層１４と短絡しな
いよう、透明陽電極層の露出部分とは重ならないパター
ンで形成される。陰電極層１６のパターンは、透明陽電
極層と同様にして湾曲基板の内側面と対応するマスクを
湾曲基板に装着して、真空蒸着法もしくはスパッタ法に
より形成することが好ましい。この様にして、湾曲基板
１１の内側面に、有機ＥＬ発光性積層体を形成すること
ができる。

【００５４】図７は、図１の有機ＥＬ発光装置の製造工
程における、導電膜１７（電気的接続端子）を形成後の
保護板１３の平面図である。図７に示すように、導電膜
１７（電気的接続端子）は、導電性材料を薄膜形成する
ことにより得られる。導電性材料の例としては、前記の
透明陽電極層もしくは陰電極層を形成する材料、アルミ
ニウム、銅、銀などの金属材料が挙げられる。薄膜形成
の方法の例としては、真空蒸着法、スパッタ法などが挙
げられる。保護板１３の導電膜１７のパターンは、公知
の方法（マスク法、フォトリソグラフィー法など）によ
り設定できる。そして、保護板１３の図７に二点鎖線で
示す位置に、有機ＥＬ発光性積層体が形成された湾曲基
板の開口部を重ねて、接合部分の周囲を接着剤により非
透湿的に接合することにより、図１の有機ＥＬ発光装置
を得ることができる。

【００５５】有機ＥＬ発光性積層体の発光効率を高く
し、有機発光材料層へのキャリア（正孔、電子）の注入
効率を向上させるために、有機発光材料層と陽電極層の
間に正孔輸送層を、有機発光材料層と陰電極層との間に
電子輸送層を付設することができる。

【００５６】正孔輸送層を形成する材料の代表例として
は、テトラアリールベンジシン化合物、芳香族アミン
類、ピラゾリン誘導体、およびトリフェニレン誘導体な
どの正孔輸送性材料が挙げられる。正孔輸送性材料の好
ましい例としては、テトラフェニルジアミン（ＴＰＤ）
が挙げられる。正孔輸送層の厚みは、２乃至２００ｎｍ
の範囲にあることが好ましい。正孔輸送層は、有機発光
材料層と同様の方法により形成することができる。

【００５７】正孔輸送性材料には、正孔移動度などの正
孔輸送性を改善するために、電子受容性アクセプタを添
加することが好ましい。電子受容性アクセプタの例とし
ては、ハロゲン化金属、ルイス酸、および有機酸などが
挙げられる。電子受容性アクセプタが添加された正孔輸
送層については、特開平１１−２８３７５０号公報に記
載がある。正孔輸送層を、電子受容性アクセプタが添加
された正孔輸送性材料から形成する場合、正孔輸送層の
厚みは、２乃至５０００ｎｍの範囲にあることが好まし
い。

【００５８】電子輸送層を形成する材料の代表例として
は、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘
導体、チオピランジオキシド誘導体、ナフタレンピリレ
ンなどの複素環テロラカルボン酸無水物、カルボジイミ
ド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメ
タン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、
キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ペリレン誘導
体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、およびスチル
ベン誘導体などの電子輸送性材料が挙げられる。また、
トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌ
ｑ）などのアルミキノリノール錯体を用いることもでき
る。電子輸送層の厚みは、５乃至３００ｎｍの範囲にあ
ることが好ましい。電子輸送層は、有機発光材料層と同
様の方法により形成することができる。

【００５９】図８は、本発明に従う有機ＥＬ発光装置の
別の一例の構成を示す断面図である。図８の有機ＥＬ発
光装置は、湾曲した形状にある非透湿性基板８１、湾曲
基板８１の内側面に形成された有機ＥＬ発光性積層体８
２、そして湾曲基板８１の開口部に非透湿的に接合され
た非透湿性の光取り出し用の透明板８３などからなる。

【００６０】有機ＥＬ発光性積層体８２は、湾曲基板側
から、少なくとも電極層８４、有機発光材料層８５、そ
して透明陰電極層８６が順に積層された構成を有する。
このように湾曲基板とは逆の側の電極層を透明電極層と
し、湾曲基板の開口部に光取り出し用の透明板８３を接
合することにより、有機ＥＬ発光性積層体の発光を、光
取り出し用の透明板８３の側から取り出すことができ
る。図８に記入した矢印８９は、有機ＥＬ発光装置の光
の取り出し方向を示している。図８の有機ＥＬ発光装置
は、湾曲基板８１の内側面の形状を、球面、楕円面もし
くは放物面の一部を含む形状に設定することにより、発
光装置から取り出される光の指向性を容易に調節するこ
とができる。

【００６１】湾曲基板側の電極層８４は、図１の発光装
置と同様にして、パイロゾル法により形成されたＩＴＯ
膜をパターニングして形成すればよい。この場合、湾曲
基板８１を金属から形成することにより、有機ＥＬ発光
積層体８２から生ずる発光を、湾曲基板により反射し
て、光取り出し用透明板８３の側から取り出すことがで
きるので、有機ＥＬ発光性積層体の発光を効率よく利用
することができる。

【００６２】湾曲基板８１を形成する材料の例として
は、図１の有機ＥＬ発光装置の保護板を形成する材料と
して例示した透明材料、金属、合金組成物が挙げられ
る。金属の例としては、Ｆｅ、Ｃｕ、Ａｌなどが挙げら
れる。湾曲基板８１を形成する材料としては、金属もし
くは合金組成物が好ましい。金属や合金組成物を用いる
と、基板を湾曲した形状に精度良く加工することができ
る。さらに、有機ＥＬ発光性積層体８２の有機発光材料
層８５から湾曲基板側８１へと向かう光が湾曲基板によ
り反射されて、有機ＥＬ発光装置から取り出される光の
光量を大きくすることができる。

【００６３】光取り出し用透明板８３は、光を透過する
透明な材料から形成する。光取り出し用透明板の可視光
透過率は、７０％以上であることが好ましく、８０％以
上であることがより好ましく、９０％以上であることが
さらに好ましい。光取り出し用透明板８３を形成する材
料の例は、図１の有機ＥＬ発光装置の湾曲基板を形成す
る材料と同様である。また、光取り出し用透明板８３の
厚みを調節して、凸レンズもしくは凹レンズを形成する
ことにより、有機ＥＬ発光装置から取り出される光の指
向性を調節することもできる。

【００６４】また、図８の有機ＥＬ発光装置は、湾曲基
板８１の形状の設定により、発光装置から取り出される
光の光量をさらに大きくすることもできる。有機ＥＬ発
光装置から取り出される光の光量を大きくするには、光
取り出し用透明板８３の面積に対して、湾曲基板８１の
内側面に形成される有機ＥＬ発光性積層体８２の面積を
大きくすればよい。

【００６５】図９は、本発明に従う有機ＥＬ発光装置の
さらに別の一例の構成を示す断面図である。図９の有機
ＥＬ発光装置は、円筒状の非透湿性透明基板９１（以
下、円筒状基板と記載する）、円筒状基板９１の内周面
の一部に形成された有機ＥＬ発光性積層体９２、そして
円筒状基板９１の両端の開口部のそれぞれに非透湿的に
接合された非透湿性保護板９３ａ及び９３ｂなどからな
る。

【００６６】有機ＥＬ発光性積層体９２は、円筒状基板
側から、透明陽電極層９４、有機発光材料層９５、そし
て陰電極層９６が順に積層された構成を有する。図９の
有機ＥＬ発光装置には、有機ＥＬ発光性積層体９２の透
明陽電極層９４と陰電極層９６のそれぞれに接続して、
各電極層に外部より電気的エネルギーを供給するための
電気的接続端子として、導電膜９７ａ及び９７ｂが備え
られている。透明陽電極層９４（もしくは陰電極層９
６）と導電膜９７ａ（もしくは導電膜９７ｂ）とは、互
いに接触することにより電気的に接続されている。そし
て円筒状基板９１とそれぞれの保護板とは、接着剤９８
により非透湿的に接合される。

【００６７】図９の発光装置において、保護板を導電性
材料から形成することもできる。保護板のそれぞれを、
導電性材料から形成することにより、保護板のそれぞれ
を電気的接続端子として用いることができる。導電性材
料の好ましい例としては、鉄、銅、アルミニウムなどの
金属材料を挙げることができる。

【００６８】図９の発光装置は、有機ＥＬ発光性積層体
９２が、円筒状基板９１の内周面に形成されているため
に、装置の設置に要する面積に対して光量が大きい。ま
た、図９の有機ＥＬ発光装置は、有機ＥＬ発光性積層体
を用いるために発熱量が少なく、駆動にインバータを必
要としない。このような利点を生かして、図９の有機Ｅ
Ｌ発光装置は、照明用の蛍光灯の代わりとして好ましく
用いることができる。

【００６９】

【実施例】［実施例１］（陽電極層形成用溶液の調製）濃度０．１５モル／リッ
トルの三塩化インジウム（ＩｎＣｌ₃）のメチルアルコ
ール溶液を作製した。作製した溶液に、塩化第二スズ
（ＳｎＣｌ₄）を、溶液中のインジウムに対して５質量
％添加し、そして攪拌することにより、陽電極層形成用
の溶液を調製した。

【００７０】（陽電極層の形成）調製した陽電極層形成
用の溶液に超音波を付与することにより、前記溶液を一
分間に２ミリリットルの割合で霧化して、パイロゾル成
膜装置の原料導入管から成膜炉に流入させた。湾曲基板
としては、外径１０ｍｍ、厚さ１ｍｍの半球状のガラス
を用いた。図２に示すように、湾曲基板は、その外側面
がパイロゾル装置のベルトコンベアに接触するようにし
て搬送され、装置が備えるヒータにより４５０℃に加熱
される。湾曲基板を、霧化した陽電極層形成用溶液の雰
囲気中（二つの排気管の間）を約１４分で通過するよう
にベルトコンベアで搬送することにより、ベルトコンベ
アに非接触な、湾曲基板の表面に、ＩＴＯ（酸化インジ
ウムスズ）膜を形成した。

【００７１】ＩＴＯ膜（透明導電材料膜）が形成された
湾曲基板を、その縁部が上を向くようにして、スピンコ
ータの回転台に両面テープを用いて固定した。次いで、
湾曲基板の内側面に、ネガ型のフォトレジスト液をスポ
イトを用いて滴下した。そして、スピンコータの回転台
を回転させて、ＩＴＯ膜が形成された湾曲基板の内側面
と周縁に、レジスト液をスピンコートした。レジスト液
がスピンコートされた湾曲基板をオーブンで加熱乾燥し
て、レジスト液に含まれる溶媒を除去することにより、
レジスト材料膜を形成した。

【００７２】レジスト材料膜が形成された湾曲基板の内
側面に、図３で示す形状のマスクを装着し、紫外線を照
射してレジスト材料膜を露光した。マスクを取り除いた
後に、レジスト膜を現像して、図４の陽電極層と対応す
るパターンのレジスト膜を形成した。次いで、湾曲基板
の表面に形成されたＩＴＯ膜の、レジスト膜で覆われて
いない部位を、塩化第二鉄・塩酸系のエッチング液を用
いて溶解し、さらに有機溶媒によりレジスト膜を除去す
ることによって、形成したＩＴＯ膜を図４に示すパター
ンに設定して、陽電極層を形成した。

【００７３】形成された陽電極層の厚みは、１５０ｎｍ
であった。なお、陽電極層の厚さは、前記と同様にして
湾曲基板の内側面に陽電極層が形成された膜厚測定用の
サンプルを加工して、陽電極層の断面を走査型電子顕微
鏡により観察することにより測定した。

【００７４】（正孔輸送層と有機発光材料層の形成）陽
電極層の形成と同様にして、陽電極層が形成された湾曲
基板の内側に、図５に示す有機発光材料層のパターンと
対応するマスクを装着した。次いで、真空蒸着装置によ
り、マスクが装着された湾曲基板の内側面に、正孔輸送
性材料であるＴＰＤ（トリフェニルジアミン）薄膜を形
成した。

【００７５】マスクを装着した状態のまま、湾曲基板の
内側面に、さらに有機発光材料であるＡｌｑ₃（トリス
（８−ヒドロキシキノリナト）アルミニウム）薄膜を形
成した。そして湾曲基板に装着されたマスクを取り外す
ことにより形成した膜を図５に示すパターンに設定し
て、ＴＰＤからなる正孔輸送層と、Ａｌｑ₃からなる有
機発光材料層を形成した。正孔輸送層と有機発光材料層
の厚さを、前記と同様にして走査型電子顕微鏡を用いて
測定したところ、それぞれ５０ｎｍであった。

【００７６】（陰電極層の形成）陽電極層の形成と同様
にして、有機発光材料層が形成された湾曲基板の内側
に、図６に示す陰電極層のパターンと対応するマスクを
装着した。正孔輸送層と同様にして、真空蒸着装置によ
り、マスクが装着された湾曲基板の内側面に、厚さ２０
０ｎｍのＭｇ・Ａｇ合金薄膜を形成した。湾曲基板に装
着されたマスクを取り外すことにより、形成した薄膜を
図６に示すパターンに設定して、陰電極層を形成した。
この様にして、湾曲基板の内側面に、透明陽電極層、正
孔輸送層、有機発光材料層、そして陰電極層からなる有
機エレクトロルミネッセンス発光性積層体を形成した。

【００７７】（非透湿性保護板の作製）非透湿性保護板
として、厚さ１ｍｍ、直径１２ｍｍの円盤状のガラス板
を用いた。ガラス板の上に、図７に示す導電膜のパター
ンで穴が空いたステンレス製のマスクを密着配置し、ス
パッタ法により、厚さ１５０ｎｍのＩＴＯ薄膜を形成し
た。ガラス板からマスクを取り除くことにより薄膜を図
７に示すパターンに設定して、導電膜（電気的接続端
子）が設けられた保護板を作製した。

【００７８】保護板の導電膜が形成された面の上に、有
機ＥＬ発光性積層体が形成された湾曲基板を、透明陽電
極層と陰電極層の湾曲基板の縁部に形成された部位が、
保護板の導電膜と接するように配置した。そして、湾曲
基板と保護板との接合部の周囲に接着剤を塗布して、両
者を非透湿的に接合した。この様にして、有機ＥＬ発光
装置を作製した。作製した有機ＥＬ発光装置の導電膜
（電気的接続端子）に、１０Ｖの電圧を印加して、発光
輝度を測定したところ、２１００ｃｄ／ｍ²であった。
また、有機ＥＬ発光装置の発光色は、緑色であった。そ
して、有機ＥＬ発光装置の発光を目視で確認したとこ
ろ、輝度にむらが無いことが確認できた。

【００７９】

【発明の効果】本発明の有機ＥＬ発光装置は、設置に要
する面積に対して光量が大きく、発光色の設定も容易
で、発光効率も高い。本発明の有機ＥＬ発光装置は、特
にインジケータランプなどに好ましく用いることができ
る。ただし、インジケータランプ以外にも、発光効率の
高い発光装置として、照明などの様々な分野での利用が
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従う有機エレクトロルミネッセンス発
光装置の一例の構成を示す断面図である。

【図２】湾曲基板の内側面へ透明陽電極層を形成する方
法を説明する図である。

【図３】図１の有機エレクトロルミネッセンス発光装置
の透明陽電極層のパターニングに用いるマスクの一例の
構成を示す斜視図である。

【図４】図１の有機エレクトロルミネッセンス発光装置
の製造工程における、透明陽電極層を形成後の湾曲基板
の底面図である。

【図５】図１の有機エレクトロルミネッセンス発光装置
の製造工程における、有機発光材料層を形成後の湾曲基
板の底面図である。

【図６】図１の有機エレクトロルミネッセンス発光装置
の製造工程における、陰電極層を形成後の湾曲基板の底
面図である。

【図７】図１の有機エレクトロルミネッセンス発光装置
の製造工程における、導電膜を形成後の保護板の底面図
である。

【図８】本発明に従う有機エレクトロルミネッセンス発
光装置のさらに別の一例の構成を示す断面図である。

【図９】本発明に従う有機エレクトロルミネッセンス発
光装置のさらに別の一例の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１１湾曲基板１２有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体１３保護板１４透明陽電極層１５有機発光材料層１６陰電極層１７導電膜１８接着剤１９発光の取り出し方向２１パイロゾル成膜装置２２成膜炉２３原料導入管２４排気管２５ヒータ２６ベルトコンベア３１マスク８１湾曲基板８２有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体８３光取り出し用透明板８４電極層８５有機発光材料層８６透明電極層８７導電膜８８接着剤８９発光の取り出し方向９１円筒状基板９２有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体９３ａ、９３ｂ保護板９４透明電極層９５有機発光材料層９６電極層９７ａ、９７ｂ導電膜９８接着剤９９光の取り出し方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】湾曲した形状にある非透湿性透明基板、
該湾曲基板の内側面に形成され、湾曲基板側から、少な
くとも透明電極層、有機発光材料層、そして電極層が順
に積層された構成を有する有機エレクトロルミネッセン
ス発光性積層体、該湾曲基板の開口部に非透湿的に接合
された非透湿性保護板、および前記電極層のそれぞれに
接続され、各電極層に外部より電気的エネルギーを供給
するための電気的接続端子からなり、前記有機エレクト
ロルミネッセンス発光性積層体の湾曲基板側の電極層
が、化学気相成長法により形成されていることを特徴と
する有機エレクトロルミネッセンス発光装置。
【請求項２】湾曲した形状にある非透湿性基板、該湾
曲基板の内側面に形成され、湾曲基板側から、少なくと
も電極層、有機発光材料層、そして透明電極層が順に積
層された構成を有する有機エレクトロルミネッセンス発
光性積層体、該湾曲基板の開口部に非透湿的に接合され
た非透湿性の光取り出し用の透明板、および前記電極層
のそれぞれに接続され、各電極層に外部より電気的エネ
ルギーを供給するための電気的接続端子からなり、前記
有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体の湾曲基板
側の電極層が、化学気相成長法により形成されているこ
とを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス発光装
置。
【請求項３】筒状の非透湿性透明基板、該筒状基板の
内周面の少なくとも一部に形成され、筒状基板側から、
少なくとも透明電極層、有機発光材料層、そして電極層
が順に積層された構成を有する有機エレクトロルミネッ
センス発光性積層体、該筒状基板の両端の開口部のそれ
ぞれに非透湿的に接合された非透湿性保護板、および前
記電極層のそれぞれに接続され、各電極層に外部より電
気的エネルギーを供給するための電気的接続端子からな
り、前記有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体の
筒状基板側の電極層が、化学気相成長法により形成され
ていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス
発光装置。
【請求項４】化学気相成長法が、パイロゾル法もしく
はスプレー法である請求項１乃至３のうちのいずれかの
項に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光装置。
【請求項５】基板側の電極層が、酸化インジウムスズ
から形成されている請求項１乃至３のうちのいずれかの
項に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光装置。
【請求項６】湾曲した形状にある基板、および該湾曲
基板の内側面に化学気相成長法により形成された電極層
からなる電極層付き基板。
【請求項７】湾曲した形状にある非透湿性透明基板
を、該湾曲基板の外側面が成膜装置の基板保持手段もし
くは基板搬送手段に接触するよう装着して保持もしくは
搬送し、該基板保持手段もしくは基板搬送手段に非接触
な湾曲基板の表面に、化学気相成長法により透明導電材
料膜を形成する工程、該透明導電材料膜をパターニング
することにより、該湾曲基板の内側面に残す透明電極層
部分以外の透明導電材料膜を除去する工程、次いで該湾
曲基板に残された透明電極層の上に、少なくとも有機発
光材料層、そして電極層を順に積層することにより、前
記の透明電極層、有機発光材料層そして電極層からなる
有機エレクトロルミネッセンス発光性積層体を形成する
工程、そして該湾曲基板の開口部に、非透湿性保護板を
非透湿的に接合する工程を含み、かつ前記電極層のそれ
ぞれに接続され、各電極層に外部より電気的エネルギー
を供給するための電気的接続端子を付設する工程を含む
有機エレクトロルミネッセンス発光装置の製造方法。
【請求項８】前記の透明導電材料膜を除去する工程
が、透明導電材料膜が形成された湾曲基板の内側面にス
ピンコート法によりレジスト材料膜を形成する工程、該
湾曲基板に、当該湾曲基板の内側面と対応する形状のマ
スクを装着した後に前記レジスト材料膜の露光と現像を
して、湾曲基板の内側面に残す透明電極層と対応するパ
ターンのレジスト膜を形成する工程、次いで湾曲基板の
内側面に残す透明電極層部分以外の、前記レジスト膜が
形成されていない透明導電材料膜をエッチングにより除
去する工程、および前記レジスト膜を除去する工程を含
む請求項７に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光
装置の製造方法。
【請求項９】化学気相成長法が、パイロゾル法もしく
はスプレー法である請求項７に記載の有機エレクトロル
ミネッセンス発光装置の製造方法。