JP2009199757A - 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板S上に少なくとも第1電極と、発光層を含む有機化合物層と第2電極からなる有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、有機化合物を含む液体をミスト化し、基板上に堆積させ、有機化合物層を得る方法であって、有機化合物層を含む液体を超音波振動によってミスト化するミスト発生装置101,201と、ミストを充満させ雰囲気を加圧する充満加圧室2と、充満加圧室2からのミストを流すためのスリット流路3を備え、スリット流路3内に、被堆積基板Sを配置し、ミストを付着させ有機化合物層を成膜することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
【選択図】図2
Description
材料使用効率が高く、膜厚分布が均一な成膜(製造)が可能な方法を提供する。
このような、有機溶媒に溶かした発光材料をミスト化し堆積させる方法の場合、材料使用効率と成膜される膜の厚みの分布ムラ、膜の厚み制御の点等において、不十分なものと考えられ、さらなる改善が望まれる。
有機化合物層を含む液体を超音波振動によってミスト化するミスト発生装置と、ミストを充満させ雰囲気を加圧する充満加圧室と、充満加圧室からのミストを流すためのスリット流路を備え、スリット流路内に、被堆積基板を配置し、ミストを付着させ有機化合物層を成膜することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
図2の装置を用いて、有機ELパネルを作製する。
2 充満混合室
3 スリット流路
12 原料貯留部
13、113、213 超音波発振子
11、111、211 導入管
14、114、214、16、116、216、24、26 開閉弁
15、115、215 放出管
Claims (10)
- 基板上に少なくとも第1電極と、発光層を含む有機化合物層と第2電極からなる有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、有機化合物を含む液体をミスト化し、基板上に堆積させ、有機化合物層を得る方法であって、
有機化合物層を含む液体を超音波振動によってミスト化するミスト発生装置と、ミストを充満させ雰囲気を加圧する充満加圧室と、充満加圧室からのミストを流すためのスリット流路を備え、スリット流路内に、被堆積基板を配置し、ミストを付着させ有機化合物層を成膜することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 - 複数のミスト発生装置を備え、それぞれから発生するミストを充満加圧室に導入してミストガスを混合し、混合材料膜を得ることを特徴とする、請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- ミスト雰囲気を加圧する手段及び/又は充満加圧室にミストを導入する手段が、充満加圧室への不活性ガスを導入であることを特徴とする、請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 前記充満加圧室に導入するミストの量を、ミスト発生装置と充満加圧室の間に備えた開閉弁(バルブ)により調整することを特徴とする、請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 前記充満加圧室に導入するミストの量を、不活性ガスの導入量又は圧力により調整することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 前記充満加圧室と、スリット流路との間に開閉弁(バルブ)を備え、開閉弁の調整によりスリット流路内の流速を変化させることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 前記スリット流路は、上流側と下流側の断面積が異なり、スリット流路内においてミストの流速を変化させることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 前記スリット流路の幅手方向でスリット幅が異なり、スリット流路の中央部と端部においてミストの流速を変化させることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- 被堆積基板上に、開口が形成されたマスクを配置し、選択的に有機化合物を層を堆積させることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
- スリット流路又は被堆積基板を、加熱手段により加熱することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
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