JP2003307440A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 407
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 12
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 230000009471 action Effects 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 241000669003 Aspidiotus destructor Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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Abstract
きるようにした光学式エンコーダを提供すること。 【解決手段】 所定方向に沿って目盛り線が刻まれた目
盛り板と、目盛り板上の目盛り線を光学的に読み取る光
学読取器とを含み、目盛り板と光学読取器との相対移動
に伴って、光学読取器から対応する電気信号が出力され
るようにした光学式エンコーダであって、光学読取器
が、投光用光源からの光を目盛り板に照射する投光用光
学系と、目盛板からの光を受光部へと結像させる受光用
光学系とを有し、かつ受光用光学系がテレセントリック
光学系で構成される。
Description
ダに係り、特に、テレセントリック光学系を採用するこ
とにより、高い組付精度を不要として低コスト製作を可
能とした光学式エンコーダに関する。
は、所定の移動方向に沿って目盛り線が刻まれた目盛り
板と、目盛り板上の目盛り線を光学的に読み取る光学読
取器とを含んでいる。検出対象物の動きと連動して、目
盛り板と光学読取器とが相対移動すると、光学読取器か
らは対応する電気信号が出力される。
場合とリニアエンコーダの場合とでは相違する。ロータ
リエンコーダの場合、目盛り板としては回転ディスクが
採用され、目盛り板と光学読取器とは円周方向に相対移
動可能に支持される。リニアエンコーダの場合、目盛り
板としては細長い板(『スケール』等と呼ばれる)が使
用され、目盛り板と光学読取器とは直線方向に相対移動
可能に支持される。
味は、インクリメント式エンコーダの場合とアブソリュ
ート式エンコーダの場合とでは相違する。インクリメン
ト式エンコーダの場合、目盛り板上には等ピッチで1若
しくは2列以上に亘り目盛り線が刻まれる。目盛り板と
光学読取器とが相対移動すると、光学読取器からは移動
距離または回転角度に対応する個数の単相又は多相パル
ス列が出力される。一般的な例においては、光学読取器
からは90°の位相差を有する2相パルス列が出力され
る。アブソリュート式エンコーダの場合、目盛り板上の
各列にはその絶対位置を示す多ビットコードに相当する
目盛り線が刻まれる。目盛り板と光学読取器とが相対移
動すると、光学読取器からは移動位置または回転角を直
接的に示す多ビットコードが出力される。一般的な例に
おいては、目盛り板上に刻まれる多ビットコードとして
はグレイコードが採用される。
読取器の形式が透過式か反射式かにより相違する。光学
読取器の形式が透過式の場合、金属等の遮光性板にスリ
ットをエッチングによって抜いたり、遮光性被膜を有す
るガラス板にエッチング処理を行って線状透明部を出現
させる等により、目盛り線が目盛り板に刻まれる。光学
読取器の形式が反射式の場合、金属製被膜をガラス板に
蒸着して鏡面反射部を形成し、その後エッチング処理を
行って線状透明部を出現させたり、素材板表面にコント
ラストの高い印刷処理を行う等により、目盛り線が目盛
り板に刻まれる。高精度の位置検出が要求される用途の
場合、目盛り線の刻みピッチは数10μm〜数100μ
mとなる。
り板に照射する投光用光学系と、目盛板からの光を受光
部へと結像させる受光用光学系とを有する。透過型光学
読取器の場合、投光用光源を含む投光用光学系と受光部
を含む受光用光学系とは目盛り板を挟んで対向配置され
る。反射型光学読取器の場合、投光用光源を含む投光用
光学系と受光部を含む受光用光学系とは目盛り板の一方
の側にまとめて配置される。
用光源となる半導体レーザの光波長との間に一定の相関
のある高精細検出領域にあっては、回折干渉を利用した
検出方式も採用される。
ーダにおいて、高精度の位置計測を可能とするために
は、目盛り板と光学読取器とが相対的に移動する過程に
おいて、受光用光学系を介して受光面上に常に明瞭な目
盛り線像を結像させ続けなければならない。
光学系としては比較的に被写界深度の浅いレンズが使用
されるため、ロータリエンコーダにおいて過大な軸負荷
がかかったり、回転ディスクがバタツキを起こして、目
盛り板と光学読取器との距離が変動すると、直ちに、受
光面上に結像される目盛り線像の明瞭度や大きさも変動
して、光学読取器の出力信号中にノイズ成分が現れ、そ
の結果、アブソリュート式又はインクリメント式のいず
れを問わず、検出精度が低下する。
リメント式エンコーダの場合、目盛り板上の隣接スリッ
ト(目盛り線)からの迷光の影響を排除するためには、
目盛り板と遮光板との間隙を厳密に管理せねばならず、
高い組付精度が必要となってコストアップが招来され
る。
タリエンコーダの構造を示す図であり、図22は図21
中にて一点鎖線の円Yにより示される要部を説明の便宜
上拡大したものである。それらの図において、802は
発光ダイオード(LED)、801は発光ダイオード
(LED)のケース、803は回転ディスク、804は
遮光板、805は受光素子、806は受光素子を搭載す
るための基板、そして807はロータリエンコーダのケ
ースをそれぞれ表している。
り板(回転ディスク803)と遮光板804との間隙C
が極めて狭いため、上述するような問題に加えて、ロー
タリエンコーダの場合には、過大な軸負荷がかかって回
転ディスク803が傾いたりすると、回転ディスク80
3が受光部(遮光板804及び受光素子805)に擦れ
て破損が生じてしまう。
ーダとしては回折干渉反射型のリニアエンコーダが存在
するが、その検出原理から目盛り線のピッチはレーザの
波長との関係で細かくせざるを得ず、多様なピッチ(分
解能)に対応できない。加えて、特殊なスケールが必要
となり、汎用性に欠ける。
有する反射型光学読取器を採用したエンコーダの場合に
は、それら2本の光軸は目盛り板の法線に対して対称的
に傾斜するため、目盛り板のバタツキや傾きによる目盛
り線像の明瞭度や大きさの変動が激しく、高精度検出用
途には実用に供し得ない。
れたものであり、その目的とするところは、高い組付精
度を不要として低コストに製作できるようにした光学式
エンコーダを提供することにある。
り板と光学読取器との距離が多少変動しても、光学読取
器からの出力信号は安定に維持されるようにした光学式
エンコーダを提供することにある。
される目盛り板の目盛り線ピッチに合わせて僅かの部品
を交換するだけで、様々な目盛り線ピッチを有する目盛
り板に対応した反射型光学読取器を容易に実現できるよ
うにした汎用性の高い反射型光学読取器モジュールを提
供することにある。
される目盛り板の目盛り線ピッチに合わせて僅かの部品
を交換するだけで、様々な目盛り線ピッチを有する目盛
り板に対応した透過型光学式読取器を容易に実現するこ
とができるようにした透過型光学読取器モジュールを提
供することにある。
の光学式エンコーダや反射型光学読取器モジュールに好
適であり、高精細ピッチに容易に対応が可能な目盛り板
を提供することにある。
については、以下の明細書の記載を参照することによ
り、当業者であれば容易に理解されるであろう。
ーダは、所定方向に沿って目盛り線が刻まれた目盛り板
と、目盛り板上の目盛り線を光学的に読み取る光学読取
器とを含み、目盛り板と光学読取器との相対移動に伴っ
て、光学読取器から対応する電気信号が出力される。光
学読取器は、投光用光源からの光を目盛り板に照射する
投光用光学系と、目盛板からの光を受光部へと結像させ
る受光用光学系とを有する。さらに、本発明の要点であ
るが、受光用光学系がテレセントリック光学系で構成さ
れる。
式/リニア式、インクリメント式/アブソリュート式の
別を問わず、様々な形式の光学式エンコーダに適用が可
能である。ここで、『テレセントリック光学系』とは、
周知の如く、レンズの焦点位置にピンホール板を配置す
ることにより、レンズに入射する平行光のみが結像に寄
与するようにした光学系である。
テレセントリック光学系が採用されているため、目盛り
板と光学読取器との相対移動の過程で、例えばロータリ
エンコーダにおいて過大な軸負荷がかかったり、回転デ
ィスクがバタツキを起こして、目盛り板と光学読取器と
の距離が多少変動したとしても、受光面上に結像される
目盛り線像は常に一定の明瞭な状態に維持され、光学読
取器から出力される電気信号にノイズ成分が含まれるこ
とがないため、この電気信号に基づいて信頼性の高い位
置検出が可能となる。
実施してもよい。その場合には、目盛り板上の目盛り線
は透光性を有するものとされ、かつ光学読取器としては
投光用光学系と受光用光学系とを目盛り板を挟んで同軸
に対向配置してなる透過型光学読取器が採用される。ま
た、投光用光学系には、光源からの光を目盛り板の一方
側の面に一群の目盛り線が含まれるようにスポット照射
する投光側光源が含まれる。さらに、受光用光学系に
は、目盛り板の他方側の面に透過する光を集光する受光
側レンズと、受光側レンズ前方の焦点位置に配置される
ピンホール板と、ピンホール板通過後の光線の結像位置
に配置され一群の目盛り線像に対応する受光アレイパタ
ーンを有する受光部とが含まれる。ここで、『受光アレ
イパターン』とは、よく知られているように、微小な線
状受光領域を、目盛り板上の目盛り線配列に整合するよ
うに、複数個一連に配列してなるパターンのことであ
る。
は、目盛り板の他方側の面に透過する光を集光する受光
側レンズと、受光側レンズ前方の焦点位置に配置される
ピンホール板とからなるテレセントリック光学系が組み
込まれているため、目盛り板と光学読取器との相対移動
の過程で、例えばロータリエンコーダにおいて過大な軸
負荷がかかったり、回転ディスクがバタツキを起こし
て、目盛り板と光学読取器との距離が多少変動したとし
ても、先に述べたテレセントリック光学系の作用によ
り、信頼性の高い位置検出が可能となる。また、上記ピ
ンホール板はモジュールケースとは別部材で構成し組み
込んでも、モジュールケースの一部として一体化させて
構成しても、どちらでもよい。
で、光軸と平行でない迷光成分についてはテレセントリ
ック光学系の作用によって受光面への結像には寄与しな
くなるため、受光用光学系と目盛り板との間隙を厳密に
管理せずとも、迷光が出力電気信号に与える影響を排除
することができる。その結果、製造に当たっての組付精
度の要求が緩和されることにより、その分だけコストダ
ウンが可能となる。
は、受光部が、一群の目盛り線像に対応するスリットパ
ターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあってスリッ
トパターンを透過した光線を受光する受光素子とを含
み、スリットパターンから受光素子を露出させることで
受光アレイパターンが形成されるようにしてもよい。
板上の目盛り線パターンが異なるような場合にも、各目
盛り板の目盛り線パターンに合致したスリットパターン
を有する遮光板を用意すれば、遮光板を取り替えるだけ
で、様々な製品仕様に対応することができ、部品点数の
減少により一層のコストダウンが可能となる。
実施してもよい。その場合には、目盛り板上の目盛り線
は反射性を有するものとされ、かつ光学読取器としては
同軸落射型光学系を含む反射型光学読取器が採用され
る。また、同軸落射型光学系には、投光用光源と、投光
用光源からの光を平行光線として目盛り板に一群の目盛
り線が含まれるようにスポット照射すると共に、目盛り
板からの反射光を集光する投受光兼用の対物レンズと、
投光用光源から対物レンズに向かう往路光と対物レンズ
から戻る復路光とを分離する光分離器と、光分離器を経
由して分離された復路光の光路前方の対物レンズ焦点位
置に配置されるピンホール板と、ピンホール板通過後の
復路光の結像位置に配置され一群の目盛り線像に対応す
る受光アレイパターンを有する受光部とが含まれる。
系には、投光用光源からの光を平行光線として目盛り板
に一群の目盛り線が含まれるようにスポット照射すると
共に、目盛り板からの反射光を集光する投受光兼用の対
物レンズと、投光用光源から対物レンズに向かう往路光
と対物レンズから戻る復路光とを分離する光分離器と、
光分離器を経由して分離された復路光の光路前方の対物
レンズ焦点位置に配置されるピンホール板とからなるテ
レセントリック光学系が組み込まれているため、目盛り
板と光学読取器との相対移動の過程で、例えばロータリ
エンコーダにおいて過大な軸負荷がかかったり、回転デ
ィスクがバタツキを起こして、目盛り板と光学読取器と
の距離が多少変動したとしても、先に述べたテレセント
リック光学系の作用により、信頼性の高い位置検出が可
能となる。また、上記ピンホール板はモジュールケース
とは別部材で構成し組み込んでも、モジュールケースの
一部として一体化させて構成しても、どちらでもよい。
で、光軸と平行でない迷光成分についてはテレセントリ
ック光学系の作用によって受光面への結像には寄与しな
くなるため、反射型光学読取器と目盛り板との間隙を厳
密に管理せずとも、迷光が出力電気信号に与える影響を
排除することができる。その結果、製造に当たっての組
付精度の要求が緩和されることにより、その分だけコス
トダウンが可能となる。また、投光用光源についても、
平行光を発することが不要となる。従って、従来の透過
型エンコーダで必要であった点光源LED、レンズ付き
LED、或いはレーザダイオード(LD)と言った高価
な発光部品を使用せずとも、普通のLEDの使用が可能
となり、この点からもコストダウンが可能となる。さら
に、投受光兼用の対物レンズ並びに光分離器(ハーフミ
ラー等)による光軸折曲構造を採用したことにより、光
学読取器の小型化を実現することができる。
も、受光部が、一群の目盛り線像に対応するスリットパ
ターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあってスリッ
トパターンを透過した光線を受光する受光素子とを含
み、スリットパターンから受光素子を露出させることで
受光アレイパターンが形成されるようにしてもよい。
板上の目盛り線パターンが異なるような場合にも、各目
盛り板の目盛り線パターンに合致したスリットパターン
を有する遮光板を用意すれば、遮光板を取り替えるだけ
で、様々な製品仕様に対応することができ、部品点数の
減少により一層のコストダウンが可能となる。
は、目盛り板上の目盛り線領域は鏡面とされかつ目盛り
線と目盛り線との間領域は粗面としてもよい。
系を採用した光学読取器に適用した場合、テレセントリ
ック光学系の作用により、目盛り板の鏡面部分で正反射
した反射光以外は、受光面への結像には寄与しないた
め、目盛り板上の粗面部分と鏡面部分とに対応して、極
めて明瞭な目盛り線像を受光面に結像させることができ
る。目盛り板の素材として薄い金属板を使用するような
場合、その表面を鏡面部分を残して選択的にエッチング
で粗面化することで、さほど素材板の強度を損ねること
なく、所望の目盛り線パターンを形成することができ
る。そのため、この鏡面と粗面との組み合わせによる目
盛り板によれば、従前の打ち抜き加工による目盛り板の
場合に比べてより精細な目盛り線ピッチへの対応が可能
となる利点がある。
するにあたり、上述したように鏡面金属板の表面にエッ
チングを行うことにより粗面部を形成してもよいし、鏡
面金属板をレーザハーフ加工することにより粗面部を形
成してもよい。
においては、目盛り板と光学読取器とが相対的に直線運
動可能に支持される、ようにしてもよい。このような構
成によれば、小型、高精度、高信頼性を有するリニアエ
ンコーダを低コストに実現することでができる。
においては、目盛り板と光学読取器とが相対的に回転運
動可能に支持される、ようにしてもよい。このような構
成によれば、小型、高精度、高信頼性を有するロータリ
エンコーダを低コストに実現することでができる。
反射型光学読取器はモジュール化して汎用部品とするこ
とができる。すなわち、本発明の反射型光学読取器モジ
ュールは、投光用光源と、投光用光源からの光を平行光
として目盛り板に一群の目盛り線が含まれるようにスポ
ット照射すると共に、目盛り板で反射した戻り光を投光
用光源に向けて返す対物レンズと、投光用光源と対物レ
ンズとの間にあって目盛り板で反射された戻り光を光源
から対物レンズに向かう往き光から分離する光分離器
と、光分離器で分離された戻り光の光軸前方焦点位置に
配置されたピンホール板と、ピンホール板通過後の光線
の結像位置に配置され一群の目盛り線像に対応する受光
アレイパターンを有する受光部とを、投受光兼用窓を有
するケース内に一体的に収容してなり、光学式エンコー
ダに組み込み可能とされる。
て各光学部品が所定位置に位置決めされていれば、ケー
スと回転ディスクやスケールとの位置決めは比較的にラ
フでよいため、反射型光学読取器モジュールをケースご
と取り付けるだけで、所望の反射型光学式エンコーダを
容易かつ迅速に製作することができる。
ては、受光部が、一群の目盛り線像に対応するスリット
パターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあってスリ
ットパターンを透過した光線を受光する受光素子とを含
み、スリットパターンから受光素子を露出させることで
受光アレイパターンが形成される、ようにしてもよい。
物レンズ、光分離器、ピンホール板、受光素子等は共通
のままで、遮光板を対応するスリットパターンを有する
ものに変更するだけで、様々な精度、検出レンジ、サイ
ズを有する反射型光学式エンコーダへの対応が可能とな
る。
透過型光学読取器はモジュール化して汎用部品とするこ
とができる。すなわち、本発明の透過型光学読取器モジ
ュールは、投光用光源と、投光用光源からの光を目盛り
板の一方側の面に一群の透光性目盛り線が含まれるよう
にスポット照射する投光側レンズとを含む投光用光学系
と、目盛り板の他方側の面に透過する光を集光する受光
側レンズと、受光側レンズの光軸前方の焦点位置に配置
されるピンホール板と、ピンホール板通過後の光線の結
像位置に配置され一群の目盛り線像に対応する受光アレ
イパターンを有する受光部とを含む受光側光学系とを、
目盛り板が挿入される空隙部を挟んで投光用光学系収容
部と受光用光学系収容部とが対向配置されるケース内に
一体的に収容してなり、光学式エンコーダに組み込み可
能とされる。
て各光学部品が所定位置に位置決めされていれば、ケー
スと回転ディスクやスケールとの位置決めは比較的にラ
フでよいため、透過型光学読取器モジュールをケースご
と取り付けるだけで、所望の透過型光学式エンコーダを
容易かつ迅速に製作することができる。
ては、受光部が、一群の目盛り線像に対応するスリット
パターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあってスリ
ットパターンを透過した光線を受光する受光素子とを含
み、スリットパターンから受光素子を露出させることで
受光アレイパターンが形成される、ようにしてもよい。
光側レンズ、ピンホール板、受光素子等は共通のまま
で、遮光板を対応するスリットパターンを有するものに
変更するだけで、様々な精度、検出レンジ、サイズを有
する透過型光学式エンコーダへの対応が可能となる。
透過型光学読取器は受光側光学系のみをモジュール化し
て汎用部品とすることもできる。すなわち、本発明の受
光側光学系モジュールは、透光性目盛り線が刻まれた目
盛り板を透過する光を集光する受光側レンズと、受光側
レンズの光軸前方の焦点位置に配置されるピンホール板
と、ピンホール板通過後の光線の結像位置に配置され一
群の目盛り線像に対応する受光アレイパターンを有する
受光部とを、受光用窓を有するケース内に一体的に収容
してなり、光学式エンコーダに投光側光学系と共に組み
込むことで、透過型読取器を構成可能とされる。
各光学部品が所定位置に位置決めされていれば、ケース
と回転ディスクやスケールとの位置決め、並びに、ケー
スと投光側光学系との位置決めは比較的にラフでよいた
め、受光側光学系モジュールをケースごと取り付け、併
せて投光側光学系を組み合わせるだけで、所望の透過型
光学式エンコーダを容易かつ迅速に製作することができ
る。
も、受光部が、一群の目盛り線像に対応するスリットパ
ターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあってスリッ
トパターンを透過した光線を受光する受光素子とを含
み、スリットパターンから受光素子を露出させることで
受光アレイパターンが形成される、ようにしてもよい。
このとき、上述の各モジュールにおいて、受光部を構成
する遮光板を受光素子から分離して着脱可能とすれば、
汎用性並びに組立容易性が向上する。
投受光兼用レンズを物体側テレセントリックレンズで構
成してなる同軸落射型光学系を含む反射型光学読取器に
適用されるエンコーダ用目盛り板であって、目盛り線が
鏡面反射面とされかつ目盛り線間領域が粗面とされてい
る、または、目盛り線が粗面とされかつ目盛り線間領域
が鏡面反射面とされている。
系を採用した光学読取器に適用した場合、テレセントリ
ック光学系の作用により、目盛り板の鏡面部分で正反射
した反射光以外は、受光面への結像には寄与しないた
め、目盛り板上の粗面部分と鏡面部分とに対応して、極
めて明瞭な目盛り線像を受光面に結像させることができ
る。目盛り板の素材として薄い金属板を使用するような
場合、その表面を鏡面部分を残して選択的にエッチング
で粗面化することで、さほど素材板の強度を損ねること
なく、所望の目盛り線パターンを形成することができ
る。そのため、この鏡面と粗面との組み合わせによる目
盛り板によれば、素材板の強度を損ねることなくより精
細な目盛り線ピッチへの対応が可能となる利点がある。
て、目盛り線が円に沿って刻まれるようにすれば、ロー
タリエンコーダに好適である。また、上記の光学式エン
コーダ用目盛り板において、目盛り線が直線に沿って刻
まれるようにすれば、リニアエンコーダに好適である。
ック光学系として1枚ものの非球面レンズが使用され、
レンズの厚さ(T)と焦点距離(F)との間には、T>
1.2Fの関係が規定されているようにすれば、受光面
上に結像される目盛り線パターンの鮮明度が良好とな
る。
ック光学系として1枚ものの非球面レンズが使用され、
レンズの厚さ(T)とレンズと目盛り板との距離(S)
との関係には、1.2T>S>0.8Tの間が規定され
ているようにすれば、受光面上に結像される目盛り線パ
ターンの鮮明度が良好となる。
コーダの好適な実施の一形態を添附図面を参照して詳細
に説明する。
ーダは、所定方向に沿って目盛り線が刻まれた目盛り板
と、目盛り板上の目盛り線を光学的に読み取る光学読取
器とを有する。目盛り板と光学読取器とが相対的に移動
すると、光学読取器からは対応する電気信号が出力され
る。光学読取器は、投光用光源からの光を目盛り板に照
射する投光用光学系と、目盛り板からの光を受光部へと
結像させる受光用光学系とを含んでいる。加えて、重要
な点であるが、受光用光学系にはテレセントリック光学
系が採用される。
型のものとが存在する。特に、この実施形態にあって
は、光学読取器を構成する各種の光学部品等を一体的に
ケースに組み込んだ光学読取器モジュールが採用され
る。後述するように、この光学読取器モジュールは、僅
かな部品を交換するだけで、様々な製品仕様を有する光
学式エンコーダに共用可能とされている。
光学読取器モジュール1の外観斜視図が図1に示されて
いる。同図に示されるように、反射型光学読取器モジュ
ール1は合成樹脂製のモジュールケース101を有す
る。モジュールケース101の外形は略矩形とされ、そ
の左右両側面101a,101bにはネジ孔103a,
103bを有する鍔状の取付用ブラケット102a,1
02bが一体的に形成されている。モジュールケース1
01の目盛り板と対向する先端面101cには、投受光
兼用窓104が明けられており、この投受光兼用窓10
4からはモジュールケース101に内蔵された後述する
対物レンズ106が臨んでいる。なお、矩形の窪み10
5は樹脂成型品のヒケ止めの肉盗み部である。
す説明図が図2に示されている。なお、同図(a)は正
面図、同図(b)は同図(a)におけるA−A線断面
図、同図(c)は平面図である。
射型光学読取器モジュール1のモジュールケース101
内には、光学読取器として機能する同軸落射型光学系の
各構成部品が組み込まれている。すなわち、モジュール
ケース101の内部には、モジュールケース101を前
後方向(図中上下方向)に貫通する空所が形成され、こ
の空所は前部室113と中間部室114と後部室115
とに分割されている。そして、前部室113には対物レ
ンズ106が、中間部室114には光分離器として機能
するハーフミラー108が、後部室115には投光用光
源として機能する発光ダイオード(LED)107がそ
れぞれ所定の姿勢で収容されている。また、中間部室1
14の側方には、モジュールケース101側面に抜ける
別の空所が形成され、この空所は内側室116と外側室
117とに分割されている。中間部室114と側方通路
上の内側室116との境界部分には、中央にピンホール
を有するピンホール板109が配置され、さらに外側室
117には受光部を構成する遮光板110と受光素子で
あるフォトダイオード(PD)111との重ね合せ体が
収容される。なお、図において、符号107aが付され
ているのは発光ダイオード107を搭載する基板、符号
111aが付されているのは受光素子111を搭載する
基板である。
て製作された一枚ものの非球面レンズが使用され、前部
室113内に圧入、接着等の手法にて固定される。投光
用光源として機能する発光ダイオード107としては、
レンズ付き等ではない安価な普通の発光ダイオードを使
用することができる。この発光ダイオード107は、後
部室115内に挿入された状態で基板107aを介して
モジュールケース101に固定される。中間部室114
内に収容されたハーフミラー108は、発光ダイオード
107から対物レンズ106へ向かう光は通過させるも
のの、対物レンズ106から発光ダイオード107へと
戻る光については反射する性質を有する。このハーフミ
ラー108の反射面は、発光ダイオード107と対物レ
ンズ106とを結ぶ光軸に対して45度の傾きを有して
いる。ピンホール板109は、対物レンズ106の焦点
位置に配置されている。そのため、対物レンズ106に
入射する光線のうちで、対物レンズ106の光軸に対し
て平行な成分のみが、ピンホール板109のピンホール
を通過することができる。換言すれば、対物レンズ10
6に入射する光のうちで、その光軸に対して傾斜した成
分については、ピンホール板109のピンホールを通過
できないから、受光面上への結像には寄与しない。遮光
板110には、スリット列パターンが形成されている。
このスリット列パターンのスリットピッチは、図示しな
い目盛り板上の目盛り線配列パターンにおける目盛り線
ピッチに対応する。遮光板110の背後に位置する受光
素子111の受光面は、遮光板110のスリット列パタ
ーンに対応して露出されるから、これにより受光部を構
成する受光アレイパターンが具現化される。受光素子1
11の受光面は遮光板110の背面と対面した状態で外
側室117に収容され、基板111aを介してケース1
01に固定される。受光素子搭載基板111aとケース
101との固定は、この例では、基板111aに明けら
れた嵌合孔にケース側の突起112a,112bを嵌入
することで行われる。
光学読取器モジュール1によれば、任意の目盛り線ピッ
チを有する目盛り板に対しては、基板111aごと受光
素子111を取り除いたのち、外側室117から遮光板
110を取り出して、これを対応するスリットピッチを
有するものと交換するだけで対応することができるか
ら、様々な製品仕様を有する光学式エンコーダに対し
て、殆どの部品を共用してコストダウンを図ることがで
きる。
いて、ピンホール板109はモジュールケース101と
は別体として構成され反射型光学読取器モジュール内に
組み込まれているが、本発明の反射型光学読取器モジュ
ールの他の実施形態として、ピンホール板109をモジ
ュールケース101の一部として一体化させて構成して
もよい。その実施例が図3に示されている。尚、同図に
おいて、反射型光学読取器モジュールの構成要素は図2
(b)とほぼ同じであるため、同じ符号を用いて説明は
省略する。図3にて示される反射型光学読取器モジュー
ル1と図2(b)における反射型光学読取器モジュール
1との違いは、ピンホール119がモジュールケース1
01の一部として一体化されて構成されていることであ
る。
の光学系全体のみを取り出して示す構成図が図4に示さ
れている。同図に示されるように、この反射型光学読取
器は同軸落射型光学系を含んでいる。この同軸落射型光
学系は、投光用光源として機能する発光ダイオード10
7と、発光ダイオード107からの光を平行光線として
目盛り板2に一群の目盛り線が含まれるようにスポット
照射すると共に、目盛り板2からの反射光を集光する投
受光兼用の対物レンズ106と、発光ダイオード107
から対物レンズ106に向かう往路光と対物レンズ10
6から戻る復路光とを分離する光分離器として機能する
ハーフミラー108と、ハーフミラー108を経由して
分離された復路光の光路前方の対物レンズ焦点位置に配
置されるピンホール板109と、ピンホール板通過後の
復路光の結像位置に配置され一群の目盛り線像に対応す
る受光アレイパターンを有する受光部118とを含んで
いる。ここで、先に述べたように、受光部118は、一
群の目盛り線像に対応するスリット列パターンを有する
遮光板110と、遮光板110の背後にあってスリット
パターンを透過した光線を受光する受光素子111とを
含んでいる。スリットパターンから受光素子111を露
出させることで受光アレイパターンが形成される。な
お、受光アレイパターンは、微小な受光素子を複数個基
板上に配列しても形成することができる。
読取器の光学系において、図示しないが、発光ダイオー
ド107と、ピンホール板109及び受光部118との
位置関係を入れ替えて設置することも可能である。その
ような構成にしても、光分離器としてのハーフミラー1
08の周知の特性により、発光ダイオード107から対
物レンズ106に向かう往路光を反射させ対物レンズに
照射し、対物レンズ106から戻る復路光を通過させピ
ンホール板109を介して受光部118に結像させ、同
様の結果を得ることが可能である。
は、ロータリエンコーダかリニアエンコーダかにより相
違する。目盛り板2の構成を示す説明図が図14に示さ
れている。同図(a)に示されるように、ロータリエン
コーダに使用される回転ディスク2aの場合、目盛り線
は1列若しくは2列以上に亘り、同心円に沿って放射状
に配列される。同図(b)に示されるように、リニアエ
ンコーダに使用されるスケール2bの場合、目盛り線は
1列若しくは2列以上に亘り、直線に沿って平行に配列
される。
目盛り線を刻む手法は、光学読取器の形式が透過式か反
射式かにより相違する。光学読取器の形式が透過式の場
合、金属等の遮光性板にスリットを打ち抜いたり、遮光
性被膜を有するガラス板にエッチング処理を行って線状
透明部を出現させる等により、目盛り線が目盛り板に刻
まれる。光学読取器の形式が反射式の場合、金属製被膜
をガラス板に蒸着して鏡面反射部を形成し、その後エッ
チング処理を行って線状透明部を出現させたり、素材板
表面にコントラストの高い印刷処理を行う等により、目
盛り線が目盛り板に刻まれる。高精度の位置検出が要求
される用途の場合、目盛り線の刻みピッチは数10μm
〜数100μmとなる。
を採用した反射型光学読取器に好適な反射読取用の目盛
り板を開発した。図14(c)に示されるように、この
目盛り板8にあっては、目盛り線領域8aの表面は鏡面
とされ、投光用光源からの光を正反射する。一方、相隣
接する目盛り線領域8aと目盛り線領域8aとの中間領
域8bは粗面とされ、投光用光源からの光を乱反射す
る。目盛り板8の素材としては、表面が鏡面状態とされ
た金属薄板が使用され、その表面を目盛り線領域8aを
残して選択的にエッチング加工することにより粗面化さ
せる。
直に照射される光は目盛り線領域8aからは正反射して
光軸に平行な光線として戻されるので、テレセントリッ
ク光学系の作用により、受光面への結像に寄与する。こ
れに対して、目盛り線間領域8bから戻される光は、乱
反射により光軸に平行な成分は極めて少ないので、テレ
セントリック光学系の作用により、受光面への結像には
殆ど寄与しない。その結果、反射型光学読取器モジュー
ル1と目盛り板8との距離変動に拘わらず、受光面上に
は、常に明瞭な目盛り線像が結像され、これにより信頼
性の高い電気信号が得られる。加えて、この目盛り板8
によれば、素材板の強度を大きく損ねることがないた
め、目盛り線ピッチのより一層の微細化に対応すること
ができる。
相隣接する目盛り線領域8aと目盛り線領域8aとの中
間領域8bを形成するにあたり、上述したように、目盛
り線領域8aを鏡面、中間領域8bを粗面として形成し
ても、また、目盛り線領域8aを粗面、中間領域8bを
鏡面としてもよい。更に、目盛り板として用いられる表
面が鏡面状態とされた金属薄板に粗面部を形成する際に
は、鏡面部をエッチングすることにより所定領域に粗面
部を形成しても、また、鏡面金属板にレーザ加工を施す
ことにより所定領域に粗面部を形成してもよい。
モジュール1は、幾つかの方法により、ロータリエンコ
ーダのケースに組み込むことができる。第1のモジュー
ル取付方法を採用したロータリエンコーダの構造を示す
説明図が図5に、ケースを取り外した状態を示す斜視図
が図6にそれぞれ示されている。なお、図5(a)は左
側面図、図5(b)は正面図、図5(c)はA−A線断
面図である。
て、3はインクリメント式の反射型光学式ロータリエン
コーダ、301は金属製円筒状のケース、301aはケ
ース端面板、302及び303は軸受け、304は回転
軸、305は電気コード、306は金属製のエンコーダ
本体部、307は出力回路基板である。また、図6にお
いては図1、図2、及び図5の対応部と同一の符号を付
与し説明を省略する。
回転軸304の突出量を幾分長めとすることにより、回
転ディスク2aとエンコーダ本体306との間には空所
308が設けられ、この空所308に収まるようにし
て、反射型光学読取器モジュール1がエンコーダ本体部
306にビス等により固定される。本体部306は金属
製であるから位置決め精度が良好となり、温度変化によ
る検出部の位置関係の変動も抑制される。このとき、回
転ディスク2aの目盛り線表示面はエンコーダ本体30
6側(図中左側)へと向けられ、反射型光学読取器モジ
ュール1の投受光軸の向きは回転ディスク2aに対して
垂直とされる。反射型光学読取器モジュール1の光学系
にはテレセントリック光学系が採用されているので、反
射型光学読取器モジュール1と回転ディスク2aとの距
離については、さほど注意を払う必要はなく、高い組付
精度は要求されないから低コストに製作することができ
る。
タリエンコーダの構造を示す説明図が図7に、ケースを
取り外した状態を示す斜視図が図8にそれぞれ示されて
いる。なお、図7(a)は正面図、図7(b)は右側面
図、図7(c)はA−A線断面図である。
て、上述した図5(a)、(b)、及び(c)にて示さ
れる構成要素と同一であるため、同一の符号を付与し説
明を省略する。また、図8においては図1、図2、及び
図7の対応部と同一の符号を付与し説明を省略する。
回転軸304の突出量を短めとすることにより、回転デ
ィスク2aとケース端面板301aとの間には空所30
8が設けられ、この空所308に収まるようにして、反
射型光学読取器モジュール1が支持板307にビス等に
より固定される。このとき、回転ディスク2aの目盛り
線表示面はケース端面板301a側(図中右側)へと向
けられ、反射型光学読取器モジュール1の投受光軸の向
きは回転ディスク2aに対して垂直とされる。この場合
にも、反射型光学読取器モジュール1の光学系にはテレ
セントリック光学系が採用されているので、反射型光学
読取器モジュール1と回転ディスク2aとの距離につい
ては、さほど注意を払う必要はなく、高い組付精度は要
求されないから低コストに製作することができる。
することができる。リニアエンコーダ用の反射型光学読
取器モジュールの構造を示す説明図が図9に、リニアエ
ンコーダに対するモジュール取付状態を概略的に示す説
明図が図10にそれぞれ示されている。なお、図9
(a)は正面図、図9(b)はA−A線断面図、図9
(c)は平面図である。
るリニアスケール、4は反射型光学読取器モジュール、
401は合成樹脂製のモジュールケース、402a,4
02bは取付用ブラケット、403a,403bはビス
孔、404は投受光兼用窓、405は樹脂成型品のヒケ
止めの肉盗み部、406は対物レンズ、407は発光ダ
イオード(LED)、407aは発光ダイオード搭載基
板、408はハーフミラー、409はピンホール板、4
10は遮光板、411は受光素子であるフォトダイオー
ド(PD)、411aはフォトダイオード搭載基板、4
12は電気コードである。
らかなように、リニアエンコーダに適用する場合であっ
ても、モジュールケース401内の光学部品配置はロー
タリエンコーダに適用する場合とほぼ同様であり、こう
して製作された反射型光学読取器モジュール4はリニア
スケール2bと対向しつつ相対移動可能に支持される。
このときも、反射型光学読取器モジュール4とリニアス
ケール2bとの距離は、テレセントリック光学系の作用
により比較的にラフに決定することができる。
しても具現化することができる。透過型光学読取器モジ
ュールの光学系全体を取り出して示す構成図が図11に
示されている。同図に示されるように、この光学系に
は、投光用光学系と受光用光学系とが含まれている。投
光用光学系には、目盛り板(この例では目盛り線はスリ
ット列で構成される)2の一方側の面に一群の目盛り線
が含まれるようにスポット光を照射する投光側光源50
1が含まれている。受光用光学系には、目盛り板2の他
方側の面にスリット列を通して透過する光を集光する受
光側レンズ502と、受光側レンズ502前方の焦点位
置に配置されるピンホール板503と、ピンホール板5
03通過後の光線の結像位置に配置され一群の目盛り線
像に対応する受光アレイパターンを有する受光部506
とが含まれている。この例にあっても、受光部506
は、一群の目盛り線像に対応するスリットパターンを有
する遮光板504と、遮光板504の背後にあってスリ
ットパターンを透過した光線を受光する受光素子505
とを含み、遮光板504のスリットパターンから受光素
子505を露出させることで受光アレイパターンが形成
される。
は、目盛り板2の他方側の面に透過する光を集光する受
光側レンズ502と、受光側レンズ502前方の焦点位
置に配置されるピンホール板503とからなるテレセン
トリック光学系が組み込まれているため、目盛り板2と
光学読取器との相対移動の過程で、例えばロータリエン
コーダにおいて過大な軸負荷がかかったり、回転ディス
クがバタツキを起こして、目盛り板2と光学読取器との
距離が多少変動したとしても、先に述べたテレセントリ
ック光学系の作用により、信頼性の高い位置検出が可能
となる。
で、光軸と平行でない迷光成分についてはテレセントリ
ック光学系の作用によって受光面への結像には寄与しな
くなるため、受光用光学系と目盛り板との間隙を厳密に
管理せずとも、迷光が出力電気信号に与える影響を排除
することができる。その結果、製造に当たっての組付精
度の要求が緩和されることにより、その分だけコストダ
ウンが可能となる。
器モジュールの構造を概略的に示す説明図が図12に示
されている。同図に示されるように、この透過型光学読
取器モジュール5は、目盛り板2の一方側の面に一群の
スリット列が含まれるようにスポット光を照射する投光
用光源501を含む投光用光学系と、目盛り板2の他方
側の面に透過する光を集光する受光側レンズ502と、
受光側レンズ502の光軸前方の焦点位置に配置される
ピンホール板503と、ピンホール板503通過後の光
線の結像位置に配置され一群の目盛り線像に対応する受
光アレイパターンを有する受光部506とを含む受光用
光学系とを有する。上述の投光用光学系と受光用光学系
とはケース500に収容される。ケース500は、目盛
り板2が挿入される空隙部507を挟んで投光用光学系
収容部508と受光用光学系収容部509とを対向配置
させた構造を有する。なお、507aは投光用窓、50
7bは受光用窓である。先程の例と同様に、受光部50
6は、一群の目盛り線像に対応するスリットパターンを
有する遮光板504と、遮光板504の背後にあってス
リットパターンを透過した光線を受光する受光素子50
5とを含み、スリットパターンから受光素子505を露
出させることで受光アレイパターンが形成される。
ディスク2a又はリニアスケール2b)2のスリットピ
ッチに対応するスリットピッチを有する遮光板504を
選択するだけで、大部分の部品は共用して様々な製品仕
様に対応できるから、コストダウンを図ることができる
他、投光系光学系と受光系光学系とを一体的に結合して
いるため、その取り扱いが容易となる。
系のうちの受光側光学系のみをモジュール化することも
できる。こうして得られる受光側光学系モジュール6の
構造を概略的に示す説明図が図13に示されている。
スケール等の目盛り板、6は受光側光学系モジュール、
7は発光ダイオード(LED)、601は合成樹脂製の
モジュールケース、602は受光用窓、603は光軸折
り曲げ用のミラー、604は受光側レンズ、605はピ
ンホール板、606は遮光板、607は受光素子、60
8は受光部である。
モジュール6は、透光性目盛り線が刻まれた目盛り板2
を透過する光を集光する受光側レンズ604と、受光側
レンズ604の光軸前方の焦点位置に配置されるピンホ
ール板605と、ピンホール板605通過後の光線の結
像位置に配置され一群の目盛り線像に対応する受光アレ
イパターンを有する受光部608とを、受光用窓602
を有するケース601内に一体的に収容してなり、光学
式エンコーダに投光側光学系と共に組み込むことで、透
過型読取器を構成可能としている。また、受光部608
は、一群の目盛り線像に対応するスリットパターンを有
する遮光板606と、遮光板606の背後にあってスリ
ットパターンを透過した光線を受光する受光素子607
とを含み、スリットパターンから受光素子607を露出
させることで受光アレイパターンが形成される。
前述と同様の理由により、様々な製品仕様を有する透過
型光学式エンコーダに柔軟に対応できることに加えて、
ミラー603により光軸を折り曲げているため、モジュ
ールの薄型化を実現することができる。
反射型光学読取器において、遮光板を反射型光学読取器
モジュールに組み込み、目盛り板との位置決めを行う際
に好適な手段を説明する。それらの図において、701
は反射型光学読取器モジュール、702は位置決め板、
703は回転ディスクの回転軸、704は発光ダイオー
ド(LED)、705は受光素子、706はピンホー
ル、707はレンズ、708はハーフミラー、そして7
09は目盛り板(回転ディスク)である。
であり、同図にて示されるように、位置決め板702は
遮光板711である部分と回転軸703を挿入し、嵌合
するための挿入孔710を備えた部分が一体化して構成
されたものである。この挿入孔710に回転軸703を
嵌号することによって図15にて示されるように、遮光
板711を反射型光学読取器モジュール701に組み込
む際の目盛り板709との位置決めを容易に行うことが
できる。そして、位置決めが完了した後に、図17にて
点線S−Sにて示される切断線に沿って不要部分を切断
し、遮光板711のみが反射型光学読取器モジュール7
01に組み込まれる。位置決め板702の不要部分を切
断し、遮光板711のみが反射型光学読取器モジュール
701に組み込まれている状態が図16にて示されてい
る。
り、反射型光学読取器モジュールの出力線からの電気信
号を見ながら反射型光学読取器モジュール701と目盛
り板709との位置決めを行う必要がなくなる。従っ
て、遮光板711を組み込んだ反射型光学読取器モジュ
ール701と目盛り板709との位置決めを回転軸70
3を介して正確かつ容易に行うことができる。
手段は便宜上、反射型光学読取器モジュールに適用した
ものとして説明したが、もちろん透過型光学読取器モジ
ュールに適用する遮光板と目盛り板との位置決め手段と
して具現化することが可能であることは言うまでもな
い。
力信号に対する電気的な処理について簡単に説明する。
周知の如く、例えば、インクリメント式エンコーダの場
合、受光素子から出力される単相又は多相パルス列は、
増幅処理並びに波形整形処理されて、矩形パルス列に変
換され、これを適宜にカウント等することにより、移動
量や位置に相当する情報が得られる。
電気的構成を概略的に示す回路図の一例が図18に示さ
れている。投光用光源である発光ダイオード(LED)
9からの光は、目盛り板10上のスリット列及び遮光板
11上のスリット列を透過したのち、受光素子であるフ
ォトダイオード(PD)の受光面に照射される。この例
では、目盛り板10上には、互いに平行若しくは同心円
状の6列のスリット列が形成されている。最初の2列
は、A相に対応するもので、互いに180度の位相差を
有する2列のスリット列にて構成される。次の2列は、
B相に対応するもので、これも互いに180度の位相差
を有する2列のスリット列にて構成される。最後の2列
は、Z相に対応するもので、これについても互いに18
0度の位相差を有する。A相を構成する2列のスリット
列の透過光はそれぞれフォトダイオード25a,25b
により受光される。B相を構成する2列のスリット列の
透過光はそれぞれフォトダイオード26a,26bによ
り受光される。Z相を構成する2列のスリット列の透過
光はそれぞれフォトダイオード27a,27bにより受
光される。A相を分担する2個のフォトダイオード25
a,25bの出力電流は、それぞれI/V変換器12
a,12bにてI/V変換されたのち、差動増幅器15
を介して変化分が強調される。B相を分担する2個のフ
ォトダイオード26a,26bの出力電流は、それぞれ
I/V変換器13a,13bにてI/V変換されたの
ち、差動増幅器16を介して変化分が強調される。Z相
を分担する2個のフォトダイオード27a,27bの出
力電流は、それぞれI/V変換器14a,14bにてI
/V変換されたのち、差動増幅器17を介して変化分が
強調される。差動増幅器15,16,17の各出力は、
その後段に配置されたコンパレータ18,19,20に
てそれぞれ二値化されたのち、出力回路21,22,2
3を介してドライブレベルに調整され、A相信号、B相
信号、Z相信号として外部へと出力される。なお、符号
24は各回路へ電源を供給する電源回路である。
に好適なテレセントリック光学系の具体例を開示する。
光学系にとって最も重要な点は、目盛り板上の目盛り線
パターンを受光面上に鮮明に結像させることである。受
光面上の目盛り線パターンの鮮明度は、受光素子からの
出力電気信号波形に基づいてモジュレーション値Mを求
めることで、定性的な評価が可能となる。すなわち、モ
ジュレーション値Mの値が大きい(最大は『1』)ほ
ど、鮮明度が高いと言える。ここで、受光素子からの出
力電気信号波形のピーク値をEmax、ボトム値をEm
inと置くと、モジュレーション値Mは次式で表すこと
ができる。
に、レンズとして一枚ものの非球面レンズ(倍率=1)
を採用することを前提とし、レンズとピンホールとの距
離(焦点距離)をF、レンズの厚さをT、レンズと目盛
り板との距離をSと置いて、焦点距離Fとモジュレーシ
ョン値Mとの関係を考察する。
(c)のグラフに示されるように、レンズと目盛り板と
の距離S並びにレンズ厚さTを5mmに固定したまま、
焦点距離Fを3.2,3.6,4.0,5.0と増加さ
せてゆくと、モジュレーション値Mの値は、焦点距離F
がある程度までは一定であるが、F=3.6辺りを越え
ると低下することが判る。
に、レンズとして一枚ものの非球面レンズ(倍率=1)
を採用することを前提とし、レンズとピンホールとの距
離(焦点距離)をF、レンズの厚さをT、レンズと目盛
り板との距離をSと置いて、レンズ厚さTとモジュレー
ション値Mとの関係を考察する。
(c)のグラフに示されるように、レンズと目盛り板と
の距離Sを5mm、焦点距離を4.7mmにそれぞれ固
定したまま、レンズ厚さTを4.0,5.0,6.0と
増加させてゆくと、モジュレーション値Mの値は、レン
ズ厚さT=5.0辺りで最大となることが判る。
採用する光学読取器モジュール1を想定すると、ハーフ
ミラー108の配置スペースとの関係で、焦点距離Fは
あまり小さくすることはできない。
軸落射型光学系を採用する光学読取器モジュール1を実
現し、しかもレンズとして一枚ものの非球面レンズ(倍
率=1)を使用することを前提とすると、F=3.6、
すなわち、S=T=1.4Fが最適条件であることが結
論づけられた。
が5mmである場合、F≦4mmが好適であることが判
る。従って、光学式エンコーダにおいて、テレセントリ
ック光学系として1枚ものの非球面レンズが使用され、
レンズの厚さ(T)と焦点距離(F)との関係には、T
>1.2Fの関係が規定されているようにすれば、受光
面上に結像される目盛り線パターンの鮮明度が良好とな
る。
mであり、Fが4.7mmである場合、Tは5mmが好
適であると判る。従って、光学式エンコーダにおいて、
テレセントリック光学系として1枚ものの非球面レンズ
が使用され、レンズの厚さ(T)とレンズと目盛り板と
の距離(S)との関係には、1.2T>S>0.8Tの
関係が規定されているようにすれば、受光面上に結像さ
れる目盛り線パターンの鮮明度が良好となる。
よれば、高い組付精度を不要として低コストに製作でき
るようにした光学式エンコーダを提供することができ
る。
取器との距離が多少変動しても、光学読取器からの出力
信号は安定に維持されるようにした光学式エンコーダを
提供することができる。
平行光を不要とすることにより、点光源LED、レンズ
付きLED、或いはレーザダイオード(LD)と言った
高価な発光部品を使用せずとも、普通のLEDを使用し
て低コストに製作することができるようにした反射型の
光学式エンコーダを提供することができる。
板の目盛り線ピッチに合わせて僅かの部品を交換するだ
けで、様々な目盛り線ピッチを有する目盛り板に対応し
た光学読取器を容易に実現できるようにした汎用性の高
い反射型光学読取器モジュールを提供することができ
る。
板の目盛り線ピッチを有する目盛り板に合わせて僅かの
部品を交換するだけで、様々な目盛り線ピッチに対応し
た透過型光学式読取器を容易に実現することができるよ
うにした透過型光学読取器モジュールを提供することが
できる。
板の目盛り線ピッチを有する目盛り板に合わせて僅かの
部品を交換するだけで、様々な目盛り線ピッチに対応し
た透過型光学式読取器を容易に実現することができるよ
うにした受光側光学系モジュールを提供することができ
る。
ンコーダや反射型光学読取器モジュールに好適であり、
高精細ピッチに容易に対応が可能な目盛り板を提供する
ことができる。
る。
図である。
構造を示す説明図である。
ある。
エンコーダの構造を示す説明図である。
エンコーダのケースを取り外した状態を示す斜視図であ
る。
エンコーダの構造を示す説明図である。
エンコーダのケースを取り外した状態を示す斜視図であ
る。
ールの構造を示す説明図である。
態を概略的に示す説明図である。
である。
に示す説明図である。
す説明図である。
説明する図(その1)
説明する図(その2)
説明する図(その3)
す回路図である。
図(その1)である。
図(その2)である。
ダの構造を示す説明図
ダの要部を拡大した説明図
ンコーダ用) 5 透過型光学読取器モジュール 6 受光側光学系モジュール 7 発光ダイオード(LED) 8 目盛り板 8a 鏡面である目盛り線領域 8b 粗面である目盛り線間領域 9 発光ダイオード(LED) 10 目盛り板 11 遮光板 12a,12b,13a,13b,14a,14b
I/V変換器 15,16,17 差動増幅器 18,19,20 コンパレータ 21,22,23 出力回路 24 電源回路 101 モジュールケース 102a,102b 取付用ブラケット 103a,103b 取付用ネジ孔 104 投受光兼用窓 105 樹脂成型品のヒケ止めの肉盗み部 106 対物レンズ 107 発光ダイオード(LED) 107a 発光素子搭載基板 108 ハーフミラー 109 ピンホール板 110 遮光板 111 受光素子(フォトダイオード(PD)) 111a 受光素子搭載基板 112a,112b 突起 113 前部室 114 中間部室 115 後部室 116 内側室 117 外側室 118 受光部 119 ピンホール 301 ケース 301a ケース端面板 302,303 軸受 304 回転軸 305 電気コード 306 エンコーダ本体部 307 支持板 308 空所 401 モジュールケース 402a,402b 取付用ブラケット 403a,403b 取付用ネジ孔 404 投受光兼用窓 405 樹脂成型品のヒケ止めの肉盗み部 406 対物レンズ 407 投光用発光ダイオード(LED) 407a 発光素子搭載基板 408 ハーフミラー 409 ピンホール板 410 遮光板 411 受光用フォトダイオード(PD) 412 電気コード 500 モジュールケース 501 投光用発光ダイオード(LED) 502 受光側レンズ 503 ピンホール板 504 遮光板 505 受光用フォトダイオード(PD) 506 受光部 507 間隙 507a 投光用窓 507b 受光用窓 508 投光側光学系収容部 509 受光側光学系収容部 601 モジュールケース 602 受光用窓 603 反射用ミラー 604 受光側レンズ 605 ピンホール板 606 遮光板 607 受光用フォトダイオード(PD) 608 受光部 701 反射型光学読取器モジュール 702 位置決め板 703 回転ディスクの回転軸 704 発光ダイオード(LED) 705 受光素子 706 ピンホール 707 レンズ 708 ハーフミラー 709 目盛り板 710 挿入孔 711 遮光板 801 発光ダイオード(LED)用ケース 802 発光ダイオード(LED) 803 回転ディスク 804 遮光板 805 受光素子 806 受光素子搭載用基板 807 ロータリエンコーダのケース
Claims (20)
- 【請求項1】 所定方向に沿って目盛り線が刻まれた目
盛り板と、目盛り板上の目盛り線を光学的に読み取る光
学読取器とを含み、目盛り板と光学読取器との相対移動
に伴って、光学読取器から対応する電気信号が出力され
るようにした光学式エンコーダであって、 光学読取器が、投光用光源からの光を目盛り板に照射す
る投光用光学系と、目盛板からの光を受光部へと結像さ
せる受光用光学系とを有し、かつ受光用光学系がテレセ
ントリック光学系で構成される、光学式エンコーダ。 - 【請求項2】 目盛り板上の目盛り線が透光性を有し、
かつ光学読取器が投光用光学系と受光用光学系とを目盛
り板を挟んで同軸に対向配置してなる透過型光学読取器
であり、 投光用光学系が、光源からの光を目盛り板の一方側の面
に一群の目盛り線が含まれるようにスポット照射する投
光側光源を含み、かつ受光用光学系が、目盛り板の他方
側の面に透過する光を集光する受光側レンズと、受光側
レンズ前方の焦点位置に配置されるピンホール板と、ピ
ンホール板通過後の光線の結像位置に配置され一群の目
盛り線像に対応する受光アレイパターンを有する受光部
とを含む、請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項3】 受光部が、一群の目盛り線像に対応する
スリットパターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあ
ってスリットパターンを透過した光線を受光する受光素
子とを含み、スリットパターンから受光素子を露出させ
ることで受光アレイパターンが形成される、請求項2に
記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項4】 目盛り板上の目盛り線が反射性を有し、
かつ光学読取器が同軸落射型光学系を含む反射型光学読
取器であり、 同軸落射型光学系が、 投光用光源と、投光用光源からの光を平行光線として目
盛り板に一群の目盛り線が含まれるようにスポット照射
すると共に、目盛り板からの反射光を集光する投受光兼
用の対物レンズと、投光用光源から対物レンズに向かう
往路光と対物レンズから戻る復路光とを分離する光分離
器と、光分離器を経由して分離された復路光の光路前方
の対物レンズ焦点位置に配置されるピンホール板と、ピ
ンホール板通過後の復路光の結像位置に配置され一群の
目盛り線像に対応する受光アレイパターンを有する受光
部とを含む、請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項5】 受光部が、一群の目盛り線像に対応する
スリットパターンを有する遮光板と、遮光板の背後にあ
ってスリットパターンを透過した光線を受光する受光素
子とを含み、スリットパターンから受光素子を露出させ
ることで受光アレイパターンが形成される、請求項4に
記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項6】 目盛り板上の目盛り線領域は鏡面とされ
かつ目盛り線と目盛り線との間領域は粗面とされてい
る、請求項4又は5に記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項7】 目盛り板と光学読取器とは相対的に直線
運動可能に支持され、目盛り板上には移動直線に沿って
目盛り線が刻まれている、請求項1〜6のいずれかに記
載の光学式エンコーダ。 - 【請求項8】 目盛り板と光学読取器とは相対的に回転
運動可能に支持され、目盛り板上には移動円周に沿って
目盛り線が刻まれている、請求項1〜6のいずれかに記
載の光学式エンコーダ。 - 【請求項9】 投光用光源と、投光用光源からの光を平
行光として目盛り板に一群の目盛り線が含まれるように
スポット照射すると共に、目盛り板で反射した戻り光を
投光用光源に向けて返す対物レンズと、投光用光源と対
物レンズとの間にあって目盛り板で反射された戻り光を
光源から対物レンズに向かう往き光から分離する光分離
器と、光分離器で分離された戻り光の光軸前方焦点位置
に配置されたピンホール板と、ピンホール板通過後の光
線の結像位置に配置され一群の目盛り線像に対応する受
光アレイパターンを有する受光部とを、投受光兼用窓を
有するケース内に一体的に収容してなり、光学式エンコ
ーダに組み込み可能とした反射型光学読取器モジュー
ル。 - 【請求項10】 受光部が、一群の目盛り線像に対応す
るスリットパターンを有する遮光板と、遮光板の背後に
あってスリットパターンを透過した光線を受光する受光
素子とを含み、スリットパターンから受光素子を露出さ
せることで受光アレイパターンが形成される、請求項9
に記載の反射型光学読取器モジュール。 - 【請求項11】 目盛り板の一方側の面に一群の透光性
目盛り線が含まれるようにスポット光を照射する投光用
光源を含む投光用光学系と、 目盛り板の他方側の面に透過する光を集光する受光側レ
ンズと、受光側レンズの光軸前方の焦点位置に配置され
るピンホール板と、ピンホール板通過後の光線の結像位
置に配置され一群の目盛り線像に対応する受光アレイパ
ターンを有する受光部とを含む受光側光学系とを、 目盛り板が挿入される空隙部を挟んで投光用光学系収容
部と受光用光学系収容部とが対向配置されるケース内に
一体的に収容してなり、光学式エンコーダに組み込み可
能とした透過型光学読取器モジュール。 - 【請求項12】 受光部が、一群の目盛り線像に対応す
るスリットパターンを有する遮光板と、遮光板の背後に
あってスリットパターンを透過した光線を受光する受光
素子とを含み、スリットパターンから受光素子を露出さ
せることで受光アレイパターンが形成される、請求項1
1に記載の透過型光学読取器モジュール。 - 【請求項13】 透光性目盛り線が刻まれた目盛り板を
透過する光を集光する受光側レンズと、受光側レンズの
光軸前方の焦点位置に配置されるピンホール板と、ピン
ホール板通過後の光線の結像位置に配置され一群の目盛
り線像に対応する受光アレイパターンを有する受光部と
を、受光用窓を有するケース内に一体的に収容してな
り、光学式エンコーダに投光側光学系と共に組み込むこ
とで、透過型読取器を構成可能とした受光側光学系モジ
ュール。 - 【請求項14】 受光部が、一群の目盛り線像に対応す
るスリットパターンを有する遮光板と、遮光板の背後に
あってスリットパターンを透過した光線を受光する受光
素子とを含み、スリットパターンから受光素子を露出さ
せることで受光アレイパターンが形成される、請求項1
3に記載の受光側光学系モジュール。 - 【請求項15】 受光部を構成する遮光板は受光素子か
ら分離して着脱可能とされている、請求項10、12、
又は14のいずれかに記載のモジュール。 - 【請求項16】 投受光兼用レンズを物体側テレセント
リックレンズで構成してなる同軸落射型光学系を含む反
射型光学読取器に適用されるエンコーダ用目盛り板であ
って、目盛り線が鏡面反射面とされかつ目盛り線間領域
が粗面とされている、または、目盛り線が粗面、目盛り
線間領域が鏡面反射面とされている、光学式エンコーダ
用目盛り板。 - 【請求項17】 目盛り線が円に沿って刻まれている、
請求項16に記載の光学式エンコーダの目盛り板。 - 【請求項18】 目盛り線が直線に沿って刻まれてい
る、請求項16に記載の光学式エンコーダの目盛り板。 - 【請求項19】 テレセントリック光学系として1枚も
のの非球面レンズが使用され、レンズの厚さ(T)と焦
点距離(F)との間には、T>1.2Fの関係が規定さ
れている、請求項2又は4に記載の光学式エンコーダ。 - 【請求項20】 テレセントリック光学系として1枚も
のの非球面レンズが使用され、レンズの厚さ(T)とレ
ンズと目盛り板との距離(S)との間には、1.2T>
S>0.8Tの関係が規定されている、請求項2又は4
に記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003014476A JP3743426B2 (ja) | 2002-02-13 | 2003-01-23 | 光学式エンコーダ |
US10/359,281 US7071461B2 (en) | 2002-02-13 | 2003-02-06 | Optical encoder having telecentric optical system |
DE10304854A DE10304854A1 (de) | 2002-02-13 | 2003-02-06 | Optischer Codierer |
CNB031041981A CN1204450C (zh) | 2002-02-13 | 2003-02-13 | 光学编码器 |
CNU032033370U CN2630895Y (zh) | 2002-02-13 | 2003-02-13 | 光学编码器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002035139 | 2002-02-13 | ||
JP2002-35139 | 2002-02-13 | ||
JP2003014476A JP3743426B2 (ja) | 2002-02-13 | 2003-01-23 | 光学式エンコーダ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003307440A true JP2003307440A (ja) | 2003-10-31 |
JP2003307440A5 JP2003307440A5 (ja) | 2004-11-18 |
JP3743426B2 JP3743426B2 (ja) | 2006-02-08 |
Family
ID=29253496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003014476A Expired - Fee Related JP3743426B2 (ja) | 2002-02-13 | 2003-01-23 | 光学式エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7071461B2 (ja) |
JP (1) | JP3743426B2 (ja) |
CN (2) | CN1204450C (ja) |
DE (1) | DE10304854A1 (ja) |
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-
2003
- 2003-01-23 JP JP2003014476A patent/JP3743426B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-06 US US10/359,281 patent/US7071461B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-06 DE DE10304854A patent/DE10304854A1/de not_active Ceased
- 2003-02-13 CN CNB031041981A patent/CN1204450C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-13 CN CNU032033370U patent/CN2630895Y/zh not_active Expired - Fee Related
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CN112740074A (zh) * | 2019-08-14 | 2021-04-30 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 闪光激光雷达 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN2630895Y (zh) | 2004-08-04 |
US20030209658A1 (en) | 2003-11-13 |
DE10304854A1 (de) | 2003-11-13 |
CN1438532A (zh) | 2003-08-27 |
CN1204450C (zh) | 2005-06-01 |
US7071461B2 (en) | 2006-07-04 |
JP3743426B2 (ja) | 2006-02-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050519 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101125 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101125 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111125 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121125 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121125 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131125 Year of fee payment: 8 |
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