JP2003294559A - センサ回路 - Google Patents
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2268—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力センサにおいて、大きな傾きのＴＣＳを
もったセンシング部２のＴＣＳを補償する。 【解決手段】 センシング部２を構成するゲージ抵抗２
０２〜２０５に、温度補償用抵抗３が並列接続され、そ
れらに定電流回路１から定電流Ｉｓが供給されるように
なっている。定電流回路１は、温度補償用抵抗１０２を
有し、定電流Ｉｓの電流値が温度上昇に伴って増加する
ように構成されている。したがって定電流Ｉｓの電流値
に温度特性をもたせることができ、大きな傾きのＴＣＳ
をもったセンシング部２のＴＣＳを補償することができ
る。
もったセンシング部２のＴＣＳを補償する。 【解決手段】 センシング部２を構成するゲージ抵抗２
０２〜２０５に、温度補償用抵抗３が並列接続され、そ
れらに定電流回路１から定電流Ｉｓが供給されるように
なっている。定電流回路１は、温度補償用抵抗１０２を
有し、定電流Ｉｓの電流値が温度上昇に伴って増加する
ように構成されている。したがって定電流Ｉｓの電流値
に温度特性をもたせることができ、大きな傾きのＴＣＳ
をもったセンシング部２のＴＣＳを補償することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサ回路に関
し、例えば印加される圧力を検出する圧力センサのよう
に、物理量に応じた抵抗変化を利用して物理量を検出す
る物理量検出装置に用いて好適なものである。
し、例えば印加される圧力を検出する圧力センサのよう
に、物理量に応じた抵抗変化を利用して物理量を検出す
る物理量検出装置に用いて好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、車両におけるブレーキ装置の
ブレーキ液圧や燃料噴射装置の燃料圧等の圧力の測定手
段として圧力センサが用いられている。この圧力センサ
の多くは、半導体基板に薄肉のダイヤフラム部が形成さ
れ、このダイヤフラム部の中央部および周辺部に圧力検
出素子（ゲージ抵抗）が２つずつ形成されてホイートス
トンブリッジ回路が構成されている。このゲージ抵抗に
よってブリッジ接続されたセンシング部に圧力が印加さ
れると、ピエゾ抵抗効果によってゲージ抵抗の抵抗値が
変化し、この結果として中央部および周辺部のゲージ抵
抗における中点電位に電位差が生じる。圧力センサで
は、この出力電圧に適当な増幅・調整処理を施して圧力
に応じた電気信号を出力するようにしている。このよう
な圧力センサは、ゲージ抵抗の抵抗温度特性（ＴＣＲ）
とセンシング部の感度温度特性（ＴＣＳ）を有してお
り、温度変化に伴い抵抗値とセンサの感度が変化する。
そこで、従来からセンシング部のＴＣＳを補償する圧力
センサが提案されている。図５に、従来の圧力センサの
回路例を示す。
ブレーキ液圧や燃料噴射装置の燃料圧等の圧力の測定手
段として圧力センサが用いられている。この圧力センサ
の多くは、半導体基板に薄肉のダイヤフラム部が形成さ
れ、このダイヤフラム部の中央部および周辺部に圧力検
出素子（ゲージ抵抗）が２つずつ形成されてホイートス
トンブリッジ回路が構成されている。このゲージ抵抗に
よってブリッジ接続されたセンシング部に圧力が印加さ
れると、ピエゾ抵抗効果によってゲージ抵抗の抵抗値が
変化し、この結果として中央部および周辺部のゲージ抵
抗における中点電位に電位差が生じる。圧力センサで
は、この出力電圧に適当な増幅・調整処理を施して圧力
に応じた電気信号を出力するようにしている。このよう
な圧力センサは、ゲージ抵抗の抵抗温度特性（ＴＣＲ）
とセンシング部の感度温度特性（ＴＣＳ）を有してお
り、温度変化に伴い抵抗値とセンサの感度が変化する。
そこで、従来からセンシング部のＴＣＳを補償する圧力
センサが提案されている。図５に、従来の圧力センサの
回路例を示す。
【０００３】圧力センサは、定電流回路１、センシング
部２および温度補償用抵抗３を有して構成されている。
部２および温度補償用抵抗３を有して構成されている。
【０００４】定電流回路１は、オペアンプ１００ａ、ダ
ーリントン接続されたトランジスタ１００ｂ、１００
ｃ、カレントミラー接続されたトランジスタ１００ｄ、
１００ｅ、１００ｆおよび抵抗１０１とを備えている。
オペアンプ１００ａの一方の入力端子には入力電圧ＶＫ
が入力される。また、オペアンプ１００ａの他方の入力
端子はダーリントン接続されたトランジスタ１００ｃの
エミッタと接続されている。このオペアンプ１００ａは
ボルテージ・フォロワとなっており、ダーリントン接続
されたトランジスタ１００ｂ、１００ｃを介してカレン
トミラー接続されたトランジスタ１００ｄに流れる電流
を駆動する。そして、トランジスタ１００ｅにはトラン
ジスタ１００ｄに流れる電流に比例した定電流Ｉｓが流
れる。このようにして、トランジスタ１００ｅには入力
電圧ＶＫに比例した定電流Ｉｓが流れる。なお、定電流
Ｉｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１に
は依存しない。
ーリントン接続されたトランジスタ１００ｂ、１００
ｃ、カレントミラー接続されたトランジスタ１００ｄ、
１００ｅ、１００ｆおよび抵抗１０１とを備えている。
オペアンプ１００ａの一方の入力端子には入力電圧ＶＫ
が入力される。また、オペアンプ１００ａの他方の入力
端子はダーリントン接続されたトランジスタ１００ｃの
エミッタと接続されている。このオペアンプ１００ａは
ボルテージ・フォロワとなっており、ダーリントン接続
されたトランジスタ１００ｂ、１００ｃを介してカレン
トミラー接続されたトランジスタ１００ｄに流れる電流
を駆動する。そして、トランジスタ１００ｅにはトラン
ジスタ１００ｄに流れる電流に比例した定電流Ｉｓが流
れる。このようにして、トランジスタ１００ｅには入力
電圧ＶＫに比例した定電流Ｉｓが流れる。なお、定電流
Ｉｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１に
は依存しない。
【０００５】センシング部２は、ホイーストン・ブリッ
ジ接続されたゲージ抵抗２０２〜２０５を有して構成さ
れている。ここで、ゲージ抵抗２０２〜２０５は、セン
シング部２に印加される圧力に応じて抵抗値が変化する
とともに、温度変化に伴い抵抗値が変化するＴＣＲを有
している。センシング部２には定電流回路１のトランジ
スタ１００ｅの電圧ＶＳＩが印加され、センシング部の
２つの中点Ｂ、Ｃ間には、センシング部２に印加された
圧力に応じた電圧ＶＳ＋、ＶＳ−が出力される。
ジ接続されたゲージ抵抗２０２〜２０５を有して構成さ
れている。ここで、ゲージ抵抗２０２〜２０５は、セン
シング部２に印加される圧力に応じて抵抗値が変化する
とともに、温度変化に伴い抵抗値が変化するＴＣＲを有
している。センシング部２には定電流回路１のトランジ
スタ１００ｅの電圧ＶＳＩが印加され、センシング部の
２つの中点Ｂ、Ｃ間には、センシング部２に印加された
圧力に応じた電圧ＶＳ＋、ＶＳ−が出力される。
【０００６】温度補償用抵抗３は、温度変化に伴い抵抗
値が変化するＴＣＲを有し、センシング部２と並列に接
続されている。
値が変化するＴＣＲを有し、センシング部２と並列に接
続されている。
【０００７】上記した構成において、温度補償用抵抗３
のＴＣＲはゲージ抵抗２０２〜２０５のＴＣＲよりも大
きくなっている。ここで、温度補償用抵抗３およびセン
シング部２に流れる電流をそれぞれＩｓ１、Ｉｓ２とす
ると、温度上昇に伴い温度補償用抵抗３に流れる電流Ｉ
ｓ１は減少し、センシング部２に流れる電流Ｉｓ２は増
加する。そして、電流Ｉｓ２が増加することにより、セ
ンシング部２に印加される電圧ＶＳＩは上昇する。な
お、センサのＴＣＳはこの電圧ＶＳＩ、すなわち、セン
シング部２に流れる電流Ｉｓ２に依存する。
のＴＣＲはゲージ抵抗２０２〜２０５のＴＣＲよりも大
きくなっている。ここで、温度補償用抵抗３およびセン
シング部２に流れる電流をそれぞれＩｓ１、Ｉｓ２とす
ると、温度上昇に伴い温度補償用抵抗３に流れる電流Ｉ
ｓ１は減少し、センシング部２に流れる電流Ｉｓ２は増
加する。そして、電流Ｉｓ２が増加することにより、セ
ンシング部２に印加される電圧ＶＳＩは上昇する。な
お、センサのＴＣＳはこの電圧ＶＳＩ、すなわち、セン
シング部２に流れる電流Ｉｓ２に依存する。
【０００８】したがって、上記したように電流Ｉｓ２が
増加すると、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のセンサのＴＣＳを補償できる。また、温度補償用
抵抗３のＴＣＲがゲージ抵抗２０２〜２０５のＴＣＲよ
りも小さい抵抗を用いることで、センシング部２が正の
傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。な
お、この場合、温度補償用抵抗３のＴＣＲがゲージ抵抗
２０２〜２０５のＴＣＲよりも小さければよく、温度補
償用抵抗３はＴＣＲが零でもよい。このように、センシ
ング部２のゲージ抵抗２０２〜２０５と異なる温度特性
を有する温度補償用抵抗３により、センシング部２に流
れる電流Ｉｓ２に温度特性をもたせ、センシング部２の
ＴＣＳを補償することができる。
増加すると、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のセンサのＴＣＳを補償できる。また、温度補償用
抵抗３のＴＣＲがゲージ抵抗２０２〜２０５のＴＣＲよ
りも小さい抵抗を用いることで、センシング部２が正の
傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。な
お、この場合、温度補償用抵抗３のＴＣＲがゲージ抵抗
２０２〜２０５のＴＣＲよりも小さければよく、温度補
償用抵抗３はＴＣＲが零でもよい。このように、センシ
ング部２のゲージ抵抗２０２〜２０５と異なる温度特性
を有する温度補償用抵抗３により、センシング部２に流
れる電流Ｉｓ２に温度特性をもたせ、センシング部２の
ＴＣＳを補償することができる。
【０００９】ところで、センシング部２のゲージ抵抗２
０２〜２０５のＴＣＲは、圧力検出素子（ゲージ抵抗）
を構成する拡散抵抗の不純物濃度に依存し、ゲージ抵抗
を定電流駆動すると、温度上昇と共にセンシング部２へ
の印加電圧ＶＳＩが上昇する。このように、拡散抵抗の
不純物濃度によってＴＣＳの低下を補償することができ
る（自己感度補償）。しかし、実際には、このような自
己感度補償ではＴＣＳを補償できない場合がある。そこ
で、上記した圧力センサは、このような拡散抵抗の不純
物濃度によるＴＣＳ補償だけでなく、更に、ＴＣＲを有
する温度補償用抵抗３を用いたＴＣＳ補償により、ＴＣ
Ｓの補償を行っている。
０２〜２０５のＴＣＲは、圧力検出素子（ゲージ抵抗）
を構成する拡散抵抗の不純物濃度に依存し、ゲージ抵抗
を定電流駆動すると、温度上昇と共にセンシング部２へ
の印加電圧ＶＳＩが上昇する。このように、拡散抵抗の
不純物濃度によってＴＣＳの低下を補償することができ
る（自己感度補償）。しかし、実際には、このような自
己感度補償ではＴＣＳを補償できない場合がある。そこ
で、上記した圧力センサは、このような拡散抵抗の不純
物濃度によるＴＣＳ補償だけでなく、更に、ＴＣＲを有
する温度補償用抵抗３を用いたＴＣＳ補償により、ＴＣ
Ｓの補償を行っている。
【００１０】図６（ａ）、（ｂ）に、理想的な圧力セン
サのＴＣＳおよび実際の圧力センサのＴＣＳ特性を示
す。図６（ａ）に示すように、理想的なセンシング部２
を有する圧力センサは、自己感度補償により感度が温度
に対して一定となる。ところが、実際には、図６（ｂ）
の実線のようなＴＣＳを示す場合があり、上記した圧力
センサはＴＣＲを有する温度補償用抵抗３を用いたＴＣ
Ｓ補償により、補償量δのＴＣＳの補償を行っている。
サのＴＣＳおよび実際の圧力センサのＴＣＳ特性を示
す。図６（ａ）に示すように、理想的なセンシング部２
を有する圧力センサは、自己感度補償により感度が温度
に対して一定となる。ところが、実際には、図６（ｂ）
の実線のようなＴＣＳを示す場合があり、上記した圧力
センサはＴＣＲを有する温度補償用抵抗３を用いたＴＣ
Ｓ補償により、補償量δのＴＣＳの補償を行っている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記した圧力センサで
は、図６（ｂ）の実線に示すような補償量δのＴＣＳを
補償しているが、図６（ｂ）の長鎖線に示すように、セ
ンシング部２のＴＣＳが大きな傾きをもつ場合には、Ｔ
ＣＳの補償ができないという問題がある。
は、図６（ｂ）の実線に示すような補償量δのＴＣＳを
補償しているが、図６（ｂ）の長鎖線に示すように、セ
ンシング部２のＴＣＳが大きな傾きをもつ場合には、Ｔ
ＣＳの補償ができないという問題がある。
【００１２】本発明は、センシング部に供給する電流自
体に温度特性をもたせた新規な構成によってＴＣＳの補
償を行うことができるセンサ回路を提供することを目的
とする。
体に温度特性をもたせた新規な構成によってＴＣＳの補
償を行うことができるセンサ回路を提供することを目的
とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、センシング部を構成す
る第１の抵抗と、センシング部と並列に接続され、第１
の抵抗とは異なる温度特性を有する第２の抵抗と、第
１、第２の抵抗に所定電流を流す電流源とを備え、電流
源は、所定電流の電流値に温度特性をもたせる補償回路
を有することを特徴としている。
め、請求項１に記載の発明では、センシング部を構成す
る第１の抵抗と、センシング部と並列に接続され、第１
の抵抗とは異なる温度特性を有する第２の抵抗と、第
１、第２の抵抗に所定電流を流す電流源とを備え、電流
源は、所定電流の電流値に温度特性をもたせる補償回路
を有することを特徴としている。
【００１４】このように、第１、第２の抵抗に流れる所
定電流の電流値に温度特性をもたせることにより、セン
シング部のＴＣＳを補償することができる。このような
ＴＣＳの補償により、センシング部のＴＣＳが大きな傾
きをもつ場合でもそのＴＣＳの補償を行うことが可能と
なる。
定電流の電流値に温度特性をもたせることにより、セン
シング部のＴＣＳを補償することができる。このような
ＴＣＳの補償により、センシング部のＴＣＳが大きな傾
きをもつ場合でもそのＴＣＳの補償を行うことが可能と
なる。
【００１５】請求項２に記載の発明では、電流源を、温
度変化に伴い抵抗値が変化する第３の抵抗を有し、この
第３の抵抗により所定電流の電流値に温度特性をもたせ
るように構成したことを特徴としている。
度変化に伴い抵抗値が変化する第３の抵抗を有し、この
第３の抵抗により所定電流の電流値に温度特性をもたせ
るように構成したことを特徴としている。
【００１６】この発明においても、第１、第２の抵抗に
流れる所定電流の電流値に温度特性をもたせることがで
きるため、センシング部のＴＣＳを補償することができ
る。
流れる所定電流の電流値に温度特性をもたせることがで
きるため、センシング部のＴＣＳを補償することができ
る。
【００１７】なお、上記した電流源として、請求項３に
記載の発明のように、温度上昇に伴って所定電流が増加
するように構成すれば、センシング部のＴＣＳが負の傾
きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。また、
電流源として、請求項４に記載の発明のように、温度上
昇に伴って所定電流が減少するように構成すれば、セン
シング部のＴＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
記載の発明のように、温度上昇に伴って所定電流が増加
するように構成すれば、センシング部のＴＣＳが負の傾
きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。また、
電流源として、請求項４に記載の発明のように、温度上
昇に伴って所定電流が減少するように構成すれば、セン
シング部のＴＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
【００１８】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項５に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタを有し、第１
のトランジスタに基準電流を流して第２のトランジスタ
から基準電流に比例した定電流を所定電流として第１、
第２の抵抗に流すように構成し、さらに温度上昇により
第３の抵抗の抵抗値が増加することによって基準電流が
増加するように構成することができる。この場合、セン
シング部のＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
源として、請求項５に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタを有し、第１
のトランジスタに基準電流を流して第２のトランジスタ
から基準電流に比例した定電流を所定電流として第１、
第２の抵抗に流すように構成し、さらに温度上昇により
第３の抵抗の抵抗値が増加することによって基準電流が
増加するように構成することができる。この場合、セン
シング部のＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
【００１９】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項６に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタを有し、第１
のトランジスタに基準電流を流して第２のトランジスタ
から基準電流に比例した定電流を所定電流として第１、
第２の抵抗に流すように構成し、さらに温度上昇により
第３の抵抗の抵抗値が増加することによって基準電流が
減少するように構成することができる。この場合、セン
シング部のＴＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
源として、請求項６に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタを有し、第１
のトランジスタに基準電流を流して第２のトランジスタ
から基準電流に比例した定電流を所定電流として第１、
第２の抵抗に流すように構成し、さらに温度上昇により
第３の抵抗の抵抗値が増加することによって基準電流が
減少するように構成することができる。この場合、セン
シング部のＴＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償
することができる。
【００２０】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項７に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１のト
ランジスタに流れる基準電流を変化させるオペアンプと
を有し、第２のトランジスタから基準電流に比例した定
電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流すように構
成し、さらに第３の抵抗の抵抗値によってオペアンプの
一方の入力端子の入力電圧が変化するように構成するこ
とができる。この場合、請求項８に記載の発明のよう
に、電流源として、オペアンプの他方の入力端子に外部
からの入力電圧が入力され、その入力電圧と定電流が比
例関係となるように構成すれば、電源電圧レシオ性を有
することができる。
源として、請求項７に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１のト
ランジスタに流れる基準電流を変化させるオペアンプと
を有し、第２のトランジスタから基準電流に比例した定
電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流すように構
成し、さらに第３の抵抗の抵抗値によってオペアンプの
一方の入力端子の入力電圧が変化するように構成するこ
とができる。この場合、請求項８に記載の発明のよう
に、電流源として、オペアンプの他方の入力端子に外部
からの入力電圧が入力され、その入力電圧と定電流が比
例関係となるように構成すれば、電源電圧レシオ性を有
することができる。
【００２１】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項８に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１のト
ランジスタに直列接続された第４の抵抗と、外部からの
入力電圧が一方の端子に入力され第４の抵抗の端子電圧
が他方の端子に入力されるオペアンプとを有し、このオ
ペアンプの出力によって第１のトランジスタに基準電流
を流し、第２のトランジスタから基準電流に比例した定
電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流すように構
成され、さらに入力電圧が第３の抵抗を介してオペアン
プの他方の入力端子に入力され、基準電流が第４の抵抗
を流れる電流から第３の抵抗を流れる電流を引いた電流
となるように構成すれば、センシング部のＴＣＳが負の
傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。
源として、請求項８に記載の発明のように、カレントミ
ラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１のト
ランジスタに直列接続された第４の抵抗と、外部からの
入力電圧が一方の端子に入力され第４の抵抗の端子電圧
が他方の端子に入力されるオペアンプとを有し、このオ
ペアンプの出力によって第１のトランジスタに基準電流
を流し、第２のトランジスタから基準電流に比例した定
電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流すように構
成され、さらに入力電圧が第３の抵抗を介してオペアン
プの他方の入力端子に入力され、基準電流が第４の抵抗
を流れる電流から第３の抵抗を流れる電流を引いた電流
となるように構成すれば、センシング部のＴＣＳが負の
傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することができる。
【００２２】また、請求項９に記載のセンサ回路に対
し、請求項１０に記載の発明のように、第３の抵抗と第
４の抵抗を入れ替えた構成とすれば、センシング部のＴ
ＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することがで
きる。
し、請求項１０に記載の発明のように、第３の抵抗と第
４の抵抗を入れ替えた構成とすれば、センシング部のＴ
ＣＳが正の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することがで
きる。
【００２３】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項１１に記載の発明のように、カレント
ミラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１の
トランジスタに直列接続された第４の抵抗と、入力電圧
が一方の端子に入力され第４の抵抗の端子電圧が他方の
端子に入力されるオペアンプとを有し、このオペアンプ
の出力によって第１のトランジスタに基準電流を流し、
第２のトランジスタから基準電流に比例した定電流を所
定電流として第１、第２の抵抗に流すように構成され、
電源電圧を第３の抵抗を用いた分圧回路によって分圧し
た電圧によりオペアンプの入力電圧を生成するようにす
れば、センシング部のＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴ
ＣＳを補償することができる。
源として、請求項１１に記載の発明のように、カレント
ミラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１の
トランジスタに直列接続された第４の抵抗と、入力電圧
が一方の端子に入力され第４の抵抗の端子電圧が他方の
端子に入力されるオペアンプとを有し、このオペアンプ
の出力によって第１のトランジスタに基準電流を流し、
第２のトランジスタから基準電流に比例した定電流を所
定電流として第１、第２の抵抗に流すように構成され、
電源電圧を第３の抵抗を用いた分圧回路によって分圧し
た電圧によりオペアンプの入力電圧を生成するようにす
れば、センシング部のＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴ
ＣＳを補償することができる。
【００２４】また、請求項２に記載の発明における電流
源として、請求項１２に記載の発明のように、カレント
ミラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１の
トランジスタに直列接続された第４の抵抗と、外部から
の入力電圧が一方の端子に入力されるオペアンプとを有
し、このオペアンプの出力によって第１のトランジスタ
に基準電流を流し、第２のトランジスタから基準電流に
比例した定電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流
すように構成され、第３の抵抗と第５の抵抗によって第
４の抵抗の端子電圧を分圧した電圧がオペアンプの他方
の入力端子に入力されるようにすれば、センシング部の
ＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することが
できる。
源として、請求項１２に記載の発明のように、カレント
ミラー接続された第１、第２のトランジスタと、第１の
トランジスタに直列接続された第４の抵抗と、外部から
の入力電圧が一方の端子に入力されるオペアンプとを有
し、このオペアンプの出力によって第１のトランジスタ
に基準電流を流し、第２のトランジスタから基準電流に
比例した定電流を所定電流として第１、第２の抵抗に流
すように構成され、第３の抵抗と第５の抵抗によって第
４の抵抗の端子電圧を分圧した電圧がオペアンプの他方
の入力端子に入力されるようにすれば、センシング部の
ＴＣＳが負の傾きをもつ場合のＴＣＳを補償することが
できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】（第１実施形態）図１に、本実施
形態における圧力センサの回路構成を示す。なお、上記
した従来技術と同一部分には、同一符号を付して説明を
省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。この第
１実施形態では、図５に示した従来の技術と比べて、定
電流回路１の構成が異なっている。
形態における圧力センサの回路構成を示す。なお、上記
した従来技術と同一部分には、同一符号を付して説明を
省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。この第
１実施形態では、図５に示した従来の技術と比べて、定
電流回路１の構成が異なっている。
【００２６】図１に示すように、定電流回路１は、抵抗
１０３、１０４およびＴＣＲを有する温度補償用抵抗１
０２を有している。入力電圧ＶＫは抵抗１０３を介して
オペアンプ１００ａの一方の入力端子に入力されると共
に、温度補償用抵抗１０２を介してオペアンプ１００ａ
の他方の入力端子に入力される。また、抵抗１０３に接
続されたオペアンプ１００ａの入力端子は抵抗１０４を
介して接地されている。
１０３、１０４およびＴＣＲを有する温度補償用抵抗１
０２を有している。入力電圧ＶＫは抵抗１０３を介して
オペアンプ１００ａの一方の入力端子に入力されると共
に、温度補償用抵抗１０２を介してオペアンプ１００ａ
の他方の入力端子に入力される。また、抵抗１０３に接
続されたオペアンプ１００ａの入力端子は抵抗１０４を
介して接地されている。
【００２７】上記した構成において、抵抗１０１および
温度補償用抵抗１０２に流れる電流をそれぞれＩ１、Ｉ
ａとすると、ダーリントン接続されたトランジスタ１０
０ｃに流れる電流Ｉｋは、Ｉｋ＝Ｉ１−Ｉａで表され
る。温度上昇と共に抵抗１０２の抵抗値が増加すると温
度補償用抵抗１０２に流れる電流Ｉａは減少し、トラン
ジスタ１００ｃに流れる電流Ｉｋは増加する。そして、
電流Ｉｋが増加することにより、トランジスタ１００ｅ
に流れる定電流Ｉｓは増加する。そして、センシング部
２に流れる電流Ｉｓ２は増加し、センシング部２に印加
される電圧ＶＳＩは上昇する。そして、センサのＴＣＳ
はこの電圧ＶＳＩに依存するため、センシング部２のＴ
ＣＳを補償することができる。
温度補償用抵抗１０２に流れる電流をそれぞれＩ１、Ｉ
ａとすると、ダーリントン接続されたトランジスタ１０
０ｃに流れる電流Ｉｋは、Ｉｋ＝Ｉ１−Ｉａで表され
る。温度上昇と共に抵抗１０２の抵抗値が増加すると温
度補償用抵抗１０２に流れる電流Ｉａは減少し、トラン
ジスタ１００ｃに流れる電流Ｉｋは増加する。そして、
電流Ｉｋが増加することにより、トランジスタ１００ｅ
に流れる定電流Ｉｓは増加する。そして、センシング部
２に流れる電流Ｉｓ２は増加し、センシング部２に印加
される電圧ＶＳＩは上昇する。そして、センサのＴＣＳ
はこの電圧ＶＳＩに依存するため、センシング部２のＴ
ＣＳを補償することができる。
【００２８】したがって、この実施形態によれば、従来
の拡散抵抗の不純物濃度の調整によるＴＣＳ補償とＴＣ
Ｒを有する温度補償用抵抗３を用いたＴＣＳ補償に加
え、ＴＣＲを有する温度補償用抵抗１０２を用いたＴＣ
Ｓ補償により、図６（ｂ）の長鎖線に示すように大きな
負の傾きをもつＴＣＳを補償することができる。
の拡散抵抗の不純物濃度の調整によるＴＣＳ補償とＴＣ
Ｒを有する温度補償用抵抗３を用いたＴＣＳ補償に加
え、ＴＣＲを有する温度補償用抵抗１０２を用いたＴＣ
Ｓ補償により、図６（ｂ）の長鎖線に示すように大きな
負の傾きをもつＴＣＳを補償することができる。
【００２９】なお、抵抗１０３、１０４は、入力電圧Ｖ
Ｋと定電流Ｉｓの比例関係を従来の回路と同等にするた
めに設けられているものであり、抵抗１０３、１０４を
用いなくても温度補償用抵抗１０２により定電流Ｉｓを
変化させることができる。また、温度補償用抵抗３にＴ
ＣＲを有さない抵抗を用いた場合でも、温度補償用抵抗
１０２により定電流Ｉｓを変化させることができる。
Ｋと定電流Ｉｓの比例関係を従来の回路と同等にするた
めに設けられているものであり、抵抗１０３、１０４を
用いなくても温度補償用抵抗１０２により定電流Ｉｓを
変化させることができる。また、温度補償用抵抗３にＴ
ＣＲを有さない抵抗を用いた場合でも、温度補償用抵抗
１０２により定電流Ｉｓを変化させることができる。
【００３０】また、この実施形態の構成によれば、従来
技術で示した圧力センサと同様に、定電流Ｉｓは入力電
圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１に依存しないた
め、入力電圧ＶＫを電源電圧ＶＣＣ１に比例する様にし
ておけば、ゲージ出力（ＶＫ＋−ＶＫ−）も電源電圧に
比例する。すなわち、電源電圧レシオ性を有する出力を
得ることができる。
技術で示した圧力センサと同様に、定電流Ｉｓは入力電
圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１に依存しないた
め、入力電圧ＶＫを電源電圧ＶＣＣ１に比例する様にし
ておけば、ゲージ出力（ＶＫ＋−ＶＫ−）も電源電圧に
比例する。すなわち、電源電圧レシオ性を有する出力を
得ることができる。
【００３１】（第２実施形態）図２に、第２の実施形態
の圧力センサの回路構成を示す。図２に示すように、第
１実施形態における抵抗１０１と温度補償用抵抗１０２
を入れ替えた構成となっている。
の圧力センサの回路構成を示す。図２に示すように、第
１実施形態における抵抗１０１と温度補償用抵抗１０２
を入れ替えた構成となっている。
【００３２】この構成において、温度補償用抵抗１０２
および抵抗１０１に流れる電流をそれぞれＩ１、Ｉａと
すると、ダーリントン接続されたトランジスタ１００ｃ
に流れる電流Ｉｋは、Ｉｋ＝Ｉ１−Ｉａで表される。温
度上昇と共に温度補償用抵抗１０２の抵抗値が増加する
と抵抗１０２に流れる電流Ｉ１は減少し、トランジスタ
１００ｃに流れる電流Ｉｋは減少する。そして、電流Ｉ
ｋが減少することにより、トランジスタ１００ｅに流れ
る定電流Ｉｓは減少する。そして、センシング部２に流
れる電流Ｉｓ２は減少し、センシング部２に印加される
電圧ＶＳＩは低下する。
および抵抗１０１に流れる電流をそれぞれＩ１、Ｉａと
すると、ダーリントン接続されたトランジスタ１００ｃ
に流れる電流Ｉｋは、Ｉｋ＝Ｉ１−Ｉａで表される。温
度上昇と共に温度補償用抵抗１０２の抵抗値が増加する
と抵抗１０２に流れる電流Ｉ１は減少し、トランジスタ
１００ｃに流れる電流Ｉｋは減少する。そして、電流Ｉ
ｋが減少することにより、トランジスタ１００ｅに流れ
る定電流Ｉｓは減少する。そして、センシング部２に流
れる電流Ｉｓ２は減少し、センシング部２に印加される
電圧ＶＳＩは低下する。
【００３３】したがって、この実施形態によれば、温度
上昇によりＴＣＲを有する温度補償用抵抗１０２の抵抗
値が増加し、カレントミラー接続されたトランジスタ１
００ｅに流れる定電流Ｉｓを減少させるようになってい
るので、センシング部２のＴＣＳが正の傾きをもつ場合
のＴＣＳを補償することができる。
上昇によりＴＣＲを有する温度補償用抵抗１０２の抵抗
値が増加し、カレントミラー接続されたトランジスタ１
００ｅに流れる定電流Ｉｓを減少させるようになってい
るので、センシング部２のＴＣＳが正の傾きをもつ場合
のＴＣＳを補償することができる。
【００３４】なお、この実施形態においても、定電流Ｉ
ｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１には
依存しない為、電源電圧レシオ性を有している。
ｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１には
依存しない為、電源電圧レシオ性を有している。
【００３５】（第３実施形態）図３に、第３の実施形態
の圧力センサの回路構成を示す。図３に示すように、定
電流回路１は抵抗１０５〜１０７およびＴＣＲを有する
温度補償用抵抗１０２を有している。抵抗１０６、１０
７および温度補償用抵抗１０２は電源電圧ＶＣＣを分圧
しており、これによって生成される抵抗１０６、１０７
間の中間電圧がコンパレータ１００ａの一方の入力端子
に入力される。また、入力電圧ＶＫは、抵抗１０５を介
して抵抗１０７と抵抗１０８の接続点に印加される。
の圧力センサの回路構成を示す。図３に示すように、定
電流回路１は抵抗１０５〜１０７およびＴＣＲを有する
温度補償用抵抗１０２を有している。抵抗１０６、１０
７および温度補償用抵抗１０２は電源電圧ＶＣＣを分圧
しており、これによって生成される抵抗１０６、１０７
間の中間電圧がコンパレータ１００ａの一方の入力端子
に入力される。また、入力電圧ＶＫは、抵抗１０５を介
して抵抗１０７と抵抗１０８の接続点に印加される。
【００３６】上記した構成において、温度上昇に伴い温
度補償用抵抗１０２の抵抗値が増加すると、抵抗１０
６、１０７間の中間電圧が増加し、オペアンプ１００ａ
の一方の入力端子の電圧は上昇する。そして、ダーリン
トン接続されたトランジスタ１００ｃに流れる電流Ｉｋ
は増加し、トランジスタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは
増加する。そして、センシング部２に流れる電流Ｉｓ２
は増加し、センシング部２に印加される電圧ＶＳＩは上
昇する。
度補償用抵抗１０２の抵抗値が増加すると、抵抗１０
６、１０７間の中間電圧が増加し、オペアンプ１００ａ
の一方の入力端子の電圧は上昇する。そして、ダーリン
トン接続されたトランジスタ１００ｃに流れる電流Ｉｋ
は増加し、トランジスタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは
増加する。そして、センシング部２に流れる電流Ｉｓ２
は増加し、センシング部２に印加される電圧ＶＳＩは上
昇する。
【００３７】したがって、この実施形態によれば、温度
上昇によりＴＣＲを有する温度温度補償用抵抗１０２の
抵抗値が増加し、カレントミラー接続されたトランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓを増加させるようになっ
ているので、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のＴＣＳを補償することができる。
上昇によりＴＣＲを有する温度温度補償用抵抗１０２の
抵抗値が増加し、カレントミラー接続されたトランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓを増加させるようになっ
ているので、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のＴＣＳを補償することができる。
【００３８】（第４実施形態）図４に、第４の実施形態
の圧力センサの回路構成を示す。図４に示すように、定
電流回路１は抵抗１０１、１１０〜１１２、およびＴＣ
Ｒを有した温度補償用抵抗１０２を備え、オペアンプ１
００ａはオープン・コレクタのものが用いられている。
直列接続された温度補償用抵抗１０２および抵抗１１０
は抵抗１０１と並列接続され、温度補償用抵抗１０２お
よび抵抗１１０間の中間電圧はオペアンプ１００ａの一
方の入力端子に印加される。また、オペアンプ１００ａ
の出力は抵抗１１１を介して電源ＶＣＣ１に接続されて
いる。
の圧力センサの回路構成を示す。図４に示すように、定
電流回路１は抵抗１０１、１１０〜１１２、およびＴＣ
Ｒを有した温度補償用抵抗１０２を備え、オペアンプ１
００ａはオープン・コレクタのものが用いられている。
直列接続された温度補償用抵抗１０２および抵抗１１０
は抵抗１０１と並列接続され、温度補償用抵抗１０２お
よび抵抗１１０間の中間電圧はオペアンプ１００ａの一
方の入力端子に印加される。また、オペアンプ１００ａ
の出力は抵抗１１１を介して電源ＶＣＣ１に接続されて
いる。
【００３９】上記した構成において、オペアンプの特性
から入力電圧ＶＫと温度補償用抵抗１０２および抵抗１
１０間の中間電圧は同じである。そして、抵抗１０１、
１１０および温度補償用抵抗１０２の抵抗値をＲ１、Ｒ
２、Ｒ３とすると、抵抗１０１と温度補償用抵抗１０２
の接続点の電圧Ｖａは数式１で表される。
から入力電圧ＶＫと温度補償用抵抗１０２および抵抗１
１０間の中間電圧は同じである。そして、抵抗１０１、
１１０および温度補償用抵抗１０２の抵抗値をＲ１、Ｒ
２、Ｒ３とすると、抵抗１０１と温度補償用抵抗１０２
の接続点の電圧Ｖａは数式１で表される。
【００４０】
【数１】
また、抵抗１０１、１１０に流れる電流Ｉ１、Ｉ２は、
それぞれ数式２、数式３で表される。
それぞれ数式２、数式３で表される。
【００４１】
【数２】
【００４２】
【数３】
したがって、カレントミラー接続されたトランジスタ１
００ｃに流れる電流Ｉｋは数式４で表される。
００ｃに流れる電流Ｉｋは数式４で表される。
【００４３】
【数４】
そして、トランジスタ１００ｄ、１００ｅからなるカレ
ントミラー回路の電流増幅率をｎとすると、トランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは数式５で表される。
ントミラー回路の電流増幅率をｎとすると、トランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは数式５で表される。
【００４４】
【数５】
このように、温度上昇と共に温度補償用抵抗１０２の抵
抗値が増加すると、カレントミラー接続されたトランジ
スタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは増加する。そして、
センシング部２に流れる電流は増加し、センシング部２
に印加される電圧ＶＳＩは上昇する。
抗値が増加すると、カレントミラー接続されたトランジ
スタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓは増加する。そして、
センシング部２に流れる電流は増加し、センシング部２
に印加される電圧ＶＳＩは上昇する。
【００４５】したがって、この実施形態によれば、温度
上昇によりＴＣＲを有する温度温度補償用抵抗１０２の
抵抗値が増加し、カレントミラー接続されたトランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓを増加させるようになっ
ているので、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のＴＣＳを補償することができる。
上昇によりＴＣＲを有する温度温度補償用抵抗１０２の
抵抗値が増加し、カレントミラー接続されたトランジス
タ１００ｅに流れる定電流Ｉｓを増加させるようになっ
ているので、センシング部２のＴＣＳが負の傾きをもつ
場合のＴＣＳを補償することができる。
【００４６】なお、この実施形態においても、定電流Ｉ
ｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１には
依存しない為、電源電圧レシオ性を有している。
ｓは入力電圧ＶＫのみに比例し、電源電圧ＶＣＣ１には
依存しない為、電源電圧レシオ性を有している。
【００４７】また、オペアンプ１００ａをオープン・コ
レクタとすることにより、オペアンプ１００ａの出力電
圧範囲が広くなり、カレントミラー接続されたトランジ
スタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓの変動幅を広くするこ
とができる。
レクタとすることにより、オペアンプ１００ａの出力電
圧範囲が広くなり、カレントミラー接続されたトランジ
スタ１００ｅに流れる定電流Ｉｓの変動幅を広くするこ
とができる。
【００４８】上記した種々の実施形態では、本発明を、
圧力センサに適用するものを示したが、本発明は、圧力
以外に、加速度、角速度などの物理量に応じて抵抗値が
変化するセンシング回路を備えた物理量検出装置に適用
することができる。また、本発明は、そのような物理量
検出装置に限らず、センシング部を有するセンサ回路に
広く適用することができる。
圧力センサに適用するものを示したが、本発明は、圧力
以外に、加速度、角速度などの物理量に応じて抵抗値が
変化するセンシング回路を備えた物理量検出装置に適用
することができる。また、本発明は、そのような物理量
検出装置に限らず、センシング部を有するセンサ回路に
広く適用することができる。
【００４９】なお、上記した種々の実施形態において、
ゲージ抵抗２０２〜２０５がセンシング部を構成する第
１の抵抗に相当し、温度補償用抵抗３が第１の抵抗と異
なる温度特性を有する第２の抵抗に相当し、定電流回路
１が電流源に相当している。また、温度変化に伴い抵抗
値が変化する第３の抵抗が温度補償用抵抗１０２に相当
し、この温度補償用抵抗１０２の回路部分が第１、第２
の抵抗に流れる所定電流の電流値に温度特性をもたせる
補償回路を構成している。また、トランジスタ１００
ｄ、１００ｅが、カレントミラー接続された第１、第２
のトランジスタに相当し、トランジスタ１００ｄに流れ
る電流Ｉｋが基準電流に相当している。
ゲージ抵抗２０２〜２０５がセンシング部を構成する第
１の抵抗に相当し、温度補償用抵抗３が第１の抵抗と異
なる温度特性を有する第２の抵抗に相当し、定電流回路
１が電流源に相当している。また、温度変化に伴い抵抗
値が変化する第３の抵抗が温度補償用抵抗１０２に相当
し、この温度補償用抵抗１０２の回路部分が第１、第２
の抵抗に流れる所定電流の電流値に温度特性をもたせる
補償回路を構成している。また、トランジスタ１００
ｄ、１００ｅが、カレントミラー接続された第１、第２
のトランジスタに相当し、トランジスタ１００ｄに流れ
る電流Ｉｋが基準電流に相当している。
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの回路
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る圧力センサの回路
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る圧力センサの回路
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態に係る圧力センサの回路
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図５】従来の圧力センサの回路構成を示す図である。
【図６】圧力センサの感度温度特性を示す図である。
１・・・定電流回路、２・・・センシング部、１００ａ・・・オ
ペアンプ、１０２、３・・・温度補償用抵抗、１００ｂ〜
１００ｆ・・・トランジスタ、２０２〜２０５・・・ゲージ抵
抗。
ペアンプ、１０２、３・・・温度補償用抵抗、１００ｂ〜
１００ｆ・・・トランジスタ、２０２〜２０５・・・ゲージ抵
抗。
Claims (12)
- 【請求項１】 センシング部を構成する第１の抵抗と、 前記センシング部と並列に接続され、前記第１の抵抗と
は異なる温度特性を有する第２の抵抗と、 前記第１、第２の抵抗に所定電流を流す電流源とを備
え、 前記電流源は、前記所定電流の電流値に温度特性をもた
せる補償回路を有することを特徴とするセンサ回路。 - 【請求項２】 センシング部を構成する第１の抵抗と、 前記センシング部と並列に接続され、前記第１の抵抗と
は異なる温度特性を有する第２の抵抗と、 前記第１、第２の抵抗に所定電流を流す電流源とを備
え、 前記電流源は、温度変化に伴い抵抗値が変化する第３の
抵抗を有し、この第３の抵抗により前記所定電流の電流
値に温度特性をもたせるように構成されていることを特
徴とするセンサ回路。 - 【請求項３】 前記電流源は、温度上昇に伴って前記所
定電流が増加するように構成されていることを特徴とす
る請求項１または２に記載のセンサ回路。 - 【請求項４】 前記電流源は、温度上昇に伴って前記所
定電流が減少するように構成されていることを特徴とす
る請求項１または２に記載のセンサ回路。 - 【請求項５】 前記電流源は、カレントミラー接続され
た第１、第２のトランジスタを有し、前記第１のトラン
ジスタに基準電流を流して前記第２のトランジスタから
前記基準電流に比例した定電流を前記所定電流として前
記第１、第２の抵抗に流すように構成され、さらに温度
上昇により前記第３の抵抗の抵抗値が増加することによ
って前記基準電流が増加するように構成されていること
を特徴とする請求項２に記載のセンサ回路。 - 【請求項６】 前記電流源は、カレントミラー接続され
た第１、第２のトランジスタを有し、前記第１のトラン
ジスタに基準電流を流して前記第２のトランジスタから
前記基準電流に比例した定電流を前記所定電流として前
記第１、第２の抵抗に流すように構成され、さらに温度
上昇により前記第３の抵抗の抵抗値が増加することによ
って前記基準電流が減少するように構成されていること
を特徴とする請求項２に記載のセンサ回路。 - 【請求項７】 前記電流源は、カレントミラー接続され
た第１、第２のトランジスタと、前記第１のトランジス
タに流れる基準電流を変化させるオペアンプとを有し、
前記第２のトランジスタから前記基準電流に比例した定
電流を前記所定電流として前記第１、第２の抵抗に流す
ように構成され、さらに前記第３の抵抗の抵抗値によっ
て前記オペアンプの一方の入力端子の入力電圧が変化す
るように構成されていることを特徴とする請求項２に記
載のセンサ回路。 - 【請求項８】 前記電流源は、前記オペアンプの他方の
入力端子に外部からの入力電圧が入力され、その入力電
圧と前記定電流が比例関係となるように構成されている
ことを特徴とする請求項７に記載のセンサ回路。 - 【請求項９】 前記電流源は、カレントミラー接続され
た第１、第２のトランジスタと、前記第１のトランジス
タに直列接続された第４の抵抗と、外部からの入力電圧
が一方の端子に入力され前記第４の抵抗の端子電圧が他
方の端子に入力されるオペアンプとを有し、このオペア
ンプの出力によって前記第１のトランジスタに基準電流
を流し、前記第２のトランジスタから前記基準電流に比
例した定電流を前記所定電流として前記第１、第２の抵
抗に流すように構成され、さらに前記入力電圧が前記第
３の抵抗を介して前記オペアンプの前記他方の入力端子
に入力され、前記基準電流が前記第４の抵抗を流れる電
流から前記第３の抵抗を流れる電流を引いた電流となる
ように構成されていることを特徴とする請求項２に記載
のセンサ回路。 - 【請求項１０】 請求項９に記載のセンサ回路に対し、
前記第３の抵抗と前記第４の抵抗を入れ替えた構成とし
たことを特徴とするセンサ回路。 - 【請求項１１】 前記電流源は、カレントミラー接続さ
れた第１、第２のトランジスタと、前記第１のトランジ
スタに直列接続された第４の抵抗と、入力電圧が一方の
端子に入力され前記第４の抵抗の端子電圧が他方の端子
に入力されるオペアンプとを有し、このオペアンプの出
力によって前記第１のトランジスタに基準電流を流し、
前記第２のトランジスタから前記基準電流に比例した定
電流を前記所定電流として前記第１、第２の抵抗に流す
ように構成され、電源電圧を前記第３の抵抗を用いた分
圧回路によって分圧した電圧により前記オペアンプの前
記入力電圧が生成されるようになっていることを特徴と
する請求項２に記載のセンサ回路。 - 【請求項１２】 前記電流源は、カレントミラー接続さ
れた第１、第２のトランジスタと、前記第１のトランジ
スタに直列接続された第４の抵抗と、外部からの入力電
圧が一方の端子に入力されるオペアンプとを有し、この
オペアンプの出力によって前記第１のトランジスタに基
準電流を流し、前記第２のトランジスタから前記基準電
流に比例した定電流を前記所定電流として前記第１、第
２の抵抗に流すように構成され、前記第３の抵抗と第５
の抵抗によって前記第４の抵抗の端子電圧を分圧した電
圧が前記オペアンプの他方の入力端子に入力されるよう
になっていることを特徴とする請求項２に記載のセンサ
回路。
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