JP2003292983A - 脆性材料用加工油、加工用組成物及び加工方法 - Google Patents
脆性材料用加工油、加工用組成物及び加工方法Info
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- JP2003292983A JP2003292983A JP2002094715A JP2002094715A JP2003292983A JP 2003292983 A JP2003292983 A JP 2003292983A JP 2002094715 A JP2002094715 A JP 2002094715A JP 2002094715 A JP2002094715 A JP 2002094715A JP 2003292983 A JP2003292983 A JP 2003292983A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 潤滑油等が混入しても加工性能や、水に対す
る分散性が低下せず、加工後の脆性材料に付着した加工
油を水で容易に洗浄除去できる加工油、この加工油と研
磨材を含む脆性材料加工用組成物、及びこれを使用した
脆性材料の加工方法を提供すること。 【解決手段】 ポリエチレングリコール：６０〜９５質
量部；ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート及
び／又はポリオキシエチレンソルビタンモノオレエー
ト：３〜２０質量部；ソルビタンモノラウレート及び／
又はソルビタンモノオレエート：０．３〜１０質量部；
及び酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重合物：０
〜１０質量部を含有する脆性材料用加工油；この加工油
及び研磨材を含有する加工用組成物；及びこの加工用組
成物を使用する脆性材料の加工方法。
る分散性が低下せず、加工後の脆性材料に付着した加工
油を水で容易に洗浄除去できる加工油、この加工油と研
磨材を含む脆性材料加工用組成物、及びこれを使用した
脆性材料の加工方法を提供すること。 【解決手段】 ポリエチレングリコール：６０〜９５質
量部；ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート及
び／又はポリオキシエチレンソルビタンモノオレエー
ト：３〜２０質量部；ソルビタンモノラウレート及び／
又はソルビタンモノオレエート：０．３〜１０質量部；
及び酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重合物：０
〜１０質量部を含有する脆性材料用加工油；この加工油
及び研磨材を含有する加工用組成物；及びこの加工用組
成物を使用する脆性材料の加工方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料用加工
油、これを含む脆性材料加工用組成物及びこれを用いた
脆性材料の加工方法に関し、更に詳細には、ガラス、シ
リコン等の脆性材料の切断、研削、研磨、ラッピング等
に使用するのに好適な加工油、これを含む脆性材料加工
用組成物及びこれを用いた脆性材料の加工方法に関す
る。
油、これを含む脆性材料加工用組成物及びこれを用いた
脆性材料の加工方法に関し、更に詳細には、ガラス、シ
リコン等の脆性材料の切断、研削、研磨、ラッピング等
に使用するのに好適な加工油、これを含む脆性材料加工
用組成物及びこれを用いた脆性材料の加工方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】硬度の高い半導体材料等の脆性材料の切
断加工には、遊離砥粒を用いてのワイヤソー、ブレード
ソー（バンドソー）加工が加工能率、加工精度の観点か
ら近年広く使用されている。その際、不水溶性油剤又は
有機溶剤に砥粒を混合し、調整した液（スラリー）を循
環使用している。近年では、水溶性と称して、水溶性切
削・研削油剤の原液や、ポリエチレングリコール（ＰＥ
Ｇ）、モノエチレングリコール等に、ＧＣ（ＳｉＣ）砥
粒、ＣＢＮ砥粒等を質量比１：１で混合し、脆性材料加
工用組成物として使用されている。加工終了後、加工さ
れた脆性材料に付着した加工用組成物は、水で洗い流す
ことができる。しかし例えば、ワイヤーソー切断におい
ては加工機械軸受部の潤滑油が漏れ、あるいはラッピン
グ加工においては加工機械摺動部の潤滑油が漏れて、加
工用組成物中に混入する。漏れて混入した潤滑油の量が
多くなると、加工された脆性材料に付着した加工用組成
物は、水で洗い流すことができなくなる。
断加工には、遊離砥粒を用いてのワイヤソー、ブレード
ソー（バンドソー）加工が加工能率、加工精度の観点か
ら近年広く使用されている。その際、不水溶性油剤又は
有機溶剤に砥粒を混合し、調整した液（スラリー）を循
環使用している。近年では、水溶性と称して、水溶性切
削・研削油剤の原液や、ポリエチレングリコール（ＰＥ
Ｇ）、モノエチレングリコール等に、ＧＣ（ＳｉＣ）砥
粒、ＣＢＮ砥粒等を質量比１：１で混合し、脆性材料加
工用組成物として使用されている。加工終了後、加工さ
れた脆性材料に付着した加工用組成物は、水で洗い流す
ことができる。しかし例えば、ワイヤーソー切断におい
ては加工機械軸受部の潤滑油が漏れ、あるいはラッピン
グ加工においては加工機械摺動部の潤滑油が漏れて、加
工用組成物中に混入する。漏れて混入した潤滑油の量が
多くなると、加工された脆性材料に付着した加工用組成
物は、水で洗い流すことができなくなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、潤滑
油等の他の成分が混入しても加工性能の低下が少なく、
水に対する分散性も低下せず、循環使用しても加工後の
脆性材料に付着した加工油を水で容易に洗浄除去できる
ような加工油を提供することである。本発明の他の目的
は、上記加工油と研磨材を含む脆性材料加工用組成物を
提供することである。本発明のさらに他の目的は、上記
脆性材料加工用組成物を使用した脆性材料の加工方法を
提供することである。
油等の他の成分が混入しても加工性能の低下が少なく、
水に対する分散性も低下せず、循環使用しても加工後の
脆性材料に付着した加工油を水で容易に洗浄除去できる
ような加工油を提供することである。本発明の他の目的
は、上記加工油と研磨材を含む脆性材料加工用組成物を
提供することである。本発明のさらに他の目的は、上記
脆性材料加工用組成物を使用した脆性材料の加工方法を
提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記の成分を
含有する脆性材料用加工油を提供するものである。 成分Ａ：ポリエチレングリコール：６０〜９５質量部、 成分Ｂ：ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート、及
びポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテートから
なる群から選ばれる少なくとも１種：３〜２０質量部、 成分Ｃ：ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノオ
レエート、ソルビタンジオレエート、ソルビタントリオ
レエート、ポリオキシエチレンモノラウレート及びポリ
オキシエチレンモノオレエートからなる群から選ばれる
少なくとも１種：０．３〜１０質量部、及び 成分Ｄ：酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重合
物：０〜１０質量部。 本発明はまた、上記加工油及び研磨材を含有する脆性材
料加工用組成物を提供するものである。本発明はさら
に、上記脆性材料加工用組成物を使用することを特徴と
する脆性材料の加工方法を提供するものである。
含有する脆性材料用加工油を提供するものである。 成分Ａ：ポリエチレングリコール：６０〜９５質量部、 成分Ｂ：ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート、及
びポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテートから
なる群から選ばれる少なくとも１種：３〜２０質量部、 成分Ｃ：ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノオ
レエート、ソルビタンジオレエート、ソルビタントリオ
レエート、ポリオキシエチレンモノラウレート及びポリ
オキシエチレンモノオレエートからなる群から選ばれる
少なくとも１種：０．３〜１０質量部、及び 成分Ｄ：酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重合
物：０〜１０質量部。 本発明はまた、上記加工油及び研磨材を含有する脆性材
料加工用組成物を提供するものである。本発明はさら
に、上記脆性材料加工用組成物を使用することを特徴と
する脆性材料の加工方法を提供するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明に使用される成分Ａのポリ
エチレングリコールは、平均分子量１００〜４００のも
のであり、平均分子量２００のもの（ＰＥＧ２００とし
て市販されている）がさらに好ましい。平均分子量が１
００未満では、潤滑油などが混入した場合、液の中に取
り込みにくく、４００を超えると常温で固体となり、実
使用する場合、加温するなどの操作が必要となる点で好
ましくない。本発明の加工油１００質量部中、成分Ａの
含量は６０〜９５質量部である。６０質量部未満では、
洗浄性が著しく劣り、９５質量部を超えると潤滑油など
が混入した場合、液の中に取り込みにくくなるという点
で好ましくない。
エチレングリコールは、平均分子量１００〜４００のも
のであり、平均分子量２００のもの（ＰＥＧ２００とし
て市販されている）がさらに好ましい。平均分子量が１
００未満では、潤滑油などが混入した場合、液の中に取
り込みにくく、４００を超えると常温で固体となり、実
使用する場合、加温するなどの操作が必要となる点で好
ましくない。本発明の加工油１００質量部中、成分Ａの
含量は６０〜９５質量部である。６０質量部未満では、
洗浄性が著しく劣り、９５質量部を超えると潤滑油など
が混入した場合、液の中に取り込みにくくなるという点
で好ましくない。
【０００６】本発明に使用される成分Ｂは、ポリオキシ
エチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレ
ンソルビタンモノオレエート、及びポリオキシエチレン
ソルビタンモノパルミテートからなる群から選ばれる少
なくとも１種であり、好ましくは、ポリオキシエチレン
ソルビタンモノラウレート及びポリオキシエチレンソル
ビタンモノオレエートであり、最も好ましくはポリオキ
シエチレンソルビタンモノラウレートである。成分Ｂの
ポリオキシエチレンの平均付加モル数は、好ましくは１
０〜４０である。平均付加モル数が１０未満では基材と
しているポリエチレングリコールに混合した場合濁りが
生じ、４０を超えると潤滑油などが混入した場合、液の
中に取り込みにくくなるという点で好ましくない。本発
明の加工油１００質量部中、成分Ｂの含量は３〜２０質
量部である。３質量部未満では、潤滑油などが混入した
場合、液の中に取り込みにくく、２０質量部を超えると
ポリエチレングリコールに混合した場合濁りが生じると
いう点で好ましくない。
エチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレ
ンソルビタンモノオレエート、及びポリオキシエチレン
ソルビタンモノパルミテートからなる群から選ばれる少
なくとも１種であり、好ましくは、ポリオキシエチレン
ソルビタンモノラウレート及びポリオキシエチレンソル
ビタンモノオレエートであり、最も好ましくはポリオキ
シエチレンソルビタンモノラウレートである。成分Ｂの
ポリオキシエチレンの平均付加モル数は、好ましくは１
０〜４０である。平均付加モル数が１０未満では基材と
しているポリエチレングリコールに混合した場合濁りが
生じ、４０を超えると潤滑油などが混入した場合、液の
中に取り込みにくくなるという点で好ましくない。本発
明の加工油１００質量部中、成分Ｂの含量は３〜２０質
量部である。３質量部未満では、潤滑油などが混入した
場合、液の中に取り込みにくく、２０質量部を超えると
ポリエチレングリコールに混合した場合濁りが生じると
いう点で好ましくない。
【０００７】本発明に使用される成分Ｃは、ソルビタン
モノラウレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタ
ンジオレエート、ソルビタントリオレエート、ポリオキ
シエチレンモノラウレート及びポリオキシエチレンモノ
オレエートからなる群から選ばれる少なくとも１種であ
り、好ましくはポリオキシエチレンモノラウレート及び
ポリオキシエチレンモノオレエート、さらに好ましくは
ポリオキシエチレンモノオレエートである。成分Ｃのポ
リオキシエチレンモノラウレート及びポリオキシエチレ
ンモノオレエートのポリオキシエチレンの平均付加モル
数は、好ましくは３〜１５である。平均付加モル数が３
未満、あるいは１５を超えると、成分Ａと成分Ｂのカッ
プリング剤としての効果が低く、濁りが生じるという点
で好ましくない。本発明の加工油１００質量部中、成分
Ｃの含量は０．３〜１０質量部である。０．３質量部未
満では、成分Ａと成分Ｂのカップリング剤としての効果
が低く、濁りが生じ、１０質量部を超えると性能上は問
題はないが、製品コストが高くなり経済的でないという
点で好ましくない。
モノラウレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタ
ンジオレエート、ソルビタントリオレエート、ポリオキ
シエチレンモノラウレート及びポリオキシエチレンモノ
オレエートからなる群から選ばれる少なくとも１種であ
り、好ましくはポリオキシエチレンモノラウレート及び
ポリオキシエチレンモノオレエート、さらに好ましくは
ポリオキシエチレンモノオレエートである。成分Ｃのポ
リオキシエチレンモノラウレート及びポリオキシエチレ
ンモノオレエートのポリオキシエチレンの平均付加モル
数は、好ましくは３〜１５である。平均付加モル数が３
未満、あるいは１５を超えると、成分Ａと成分Ｂのカッ
プリング剤としての効果が低く、濁りが生じるという点
で好ましくない。本発明の加工油１００質量部中、成分
Ｃの含量は０．３〜１０質量部である。０．３質量部未
満では、成分Ａと成分Ｂのカップリング剤としての効果
が低く、濁りが生じ、１０質量部を超えると性能上は問
題はないが、製品コストが高くなり経済的でないという
点で好ましくない。
【０００８】本発明に使用される成分Ｄは酸化エチレン
酸化プロピレンブロック共重合物である。成分Ｄの酸化
エチレン酸化プロピレンブロック共重合物の平均分子量
（数平均分子量）は、好ましくは１００〜５０００であ
り、さらに好ましくは１５００〜２０００である。平均
分子量が１００未満では潤滑性が不足し、一次性能を満
足しにくくなる。また、５０００を超えると液の粘度が
高くなるので好ましくない。成分Ｄの酸化エチレン酸化
プロピレンブロック共重合物中の酸化エチレンのモル比
は、好ましくは５〜６０モル％である。酸化エチレンの
モル比が５モル％未満では加工終了後、付着した加工液
を水で洗い流すことが困難になり、６０モル％を超える
と潤滑油が混入した場合、分散できる量が極端に少なく
なるという点で好ましくない。本発明の加工油１００質
量部中、成分Ｄの含量は０〜１０質量部である。１０質
量部を超えると液の外観が濁り、長期の安定性に欠ける
という点で好ましくない。
酸化プロピレンブロック共重合物である。成分Ｄの酸化
エチレン酸化プロピレンブロック共重合物の平均分子量
（数平均分子量）は、好ましくは１００〜５０００であ
り、さらに好ましくは１５００〜２０００である。平均
分子量が１００未満では潤滑性が不足し、一次性能を満
足しにくくなる。また、５０００を超えると液の粘度が
高くなるので好ましくない。成分Ｄの酸化エチレン酸化
プロピレンブロック共重合物中の酸化エチレンのモル比
は、好ましくは５〜６０モル％である。酸化エチレンの
モル比が５モル％未満では加工終了後、付着した加工液
を水で洗い流すことが困難になり、６０モル％を超える
と潤滑油が混入した場合、分散できる量が極端に少なく
なるという点で好ましくない。本発明の加工油１００質
量部中、成分Ｄの含量は０〜１０質量部である。１０質
量部を超えると液の外観が濁り、長期の安定性に欠ける
という点で好ましくない。
【０００９】本発明の脆性材料加工用組成物に使用され
る研磨材としては、ダイヤモンドパウダー、ＧＣ砥粒、
ＣＢＮ砥粒等が挙げられ、ダイヤモンドパウダーが特に
好ましい。本発明の脆性材料加工用組成物中、加工油１
００質量部に対する研磨材の割合は、好ましくは０．０
１〜３００質量部、さらに好ましくは０．０１〜２５質
量部である。
る研磨材としては、ダイヤモンドパウダー、ＧＣ砥粒、
ＣＢＮ砥粒等が挙げられ、ダイヤモンドパウダーが特に
好ましい。本発明の脆性材料加工用組成物中、加工油１
００質量部に対する研磨材の割合は、好ましくは０．０
１〜３００質量部、さらに好ましくは０．０１〜２５質
量部である。
【００１０】本発明の脆性材料加工用組成物を用いて加
工するのに適する脆性材料としては、ガラス、シリコ
ン、単結晶シリコンカーバイド、多結晶シリコンカーバ
イド、水晶、サファイア、石英等が挙げられる。本発明
の潤滑剤組成物は、必要に応じて抗菌剤、防錆剤、消泡
剤等の添加剤を含有していても良い。これら添加剤の合
計量は一般に上記有効成分に対して、水を除いた質量比
で１：２０〜２０：１である。
工するのに適する脆性材料としては、ガラス、シリコ
ン、単結晶シリコンカーバイド、多結晶シリコンカーバ
イド、水晶、サファイア、石英等が挙げられる。本発明
の潤滑剤組成物は、必要に応じて抗菌剤、防錆剤、消泡
剤等の添加剤を含有していても良い。これら添加剤の合
計量は一般に上記有効成分に対して、水を除いた質量比
で１：２０〜２０：１である。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を実施例、比較例によってさら
に詳細に説明する。 実施例１〜４及び比較例１〜３ 表１に示す成分を表１に示す割合で混合し、加工油を調
製した。これらの加工油について、鉱油分散性、洗浄性
及び流動性を次の方法により評価した。 鉱油分散性 原液中にパラフィン系鉱油を５質量％添加し、手攪拌に
より鉱油が均一に混ざるかどうかを肉眼で観察する。 〇：均一に混ざる、×：混じらない 洗浄性 鉱油分散性試験後の液に、鋼板（６０mm×８０mm×１m
m）を１分間浸漬し、取り出した後、鋼板に付着した加
工油が水で洗浄できるかどうかを観察する。 〇：洗浄できる、×：洗浄できない 流動性 ２０℃において液状であること（２０℃において動粘度
が５００mm2／ｓ以下であれば液状と判断する）。 〇：液状である、×：液状ではない 結果を表１に示す。表中の配合量は質量％である。
に詳細に説明する。 実施例１〜４及び比較例１〜３ 表１に示す成分を表１に示す割合で混合し、加工油を調
製した。これらの加工油について、鉱油分散性、洗浄性
及び流動性を次の方法により評価した。 鉱油分散性 原液中にパラフィン系鉱油を５質量％添加し、手攪拌に
より鉱油が均一に混ざるかどうかを肉眼で観察する。 〇：均一に混ざる、×：混じらない 洗浄性 鉱油分散性試験後の液に、鋼板（６０mm×８０mm×１m
m）を１分間浸漬し、取り出した後、鋼板に付着した加
工油が水で洗浄できるかどうかを観察する。 〇：洗浄できる、×：洗浄できない 流動性 ２０℃において液状であること（２０℃において動粘度
が５００mm2／ｓ以下であれば液状と判断する）。 〇：液状である、×：液状ではない 結果を表１に示す。表中の配合量は質量％である。
【００１２】
【表１】
【００１３】
PEG200:三洋化成製PEG200(MW=200)
PEG300:三洋化成製PEG300(MW=300)
PEG400:三洋化成製PEG400(MW=400)
PEG1000:三洋化成製PEG1000(MW=1000)
POESML:ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート
(日本油脂製LT-221) POESMO:ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート
(日本油脂製OT-221) POEMO: ポリオキシエチレンモノオレエート(三洋化成製
イオネットMo200) EO/PO(0.4):酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重
合物(MW=2000,EO/PO=0.4)(日本油脂製PE-64) EO/PO(0.1):酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重
合物(MW=2000,EO/PO=0.1)(日本油脂製PE-61)
(日本油脂製LT-221) POESMO:ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート
(日本油脂製OT-221) POEMO: ポリオキシエチレンモノオレエート(三洋化成製
イオネットMo200) EO/PO(0.4):酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重
合物(MW=2000,EO/PO=0.4)(日本油脂製PE-64) EO/PO(0.1):酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重
合物(MW=2000,EO/PO=0.1)(日本油脂製PE-61)
【００１４】本発明の実施例１〜４の加工油は、鉱油分
散性、洗浄性及び流動性に優れている。これに対して、
成分Ｂを含まない比較例１の加工油は、鉱油分散性及び
洗浄性が不良であり、成分Ｂ、Ｃ及びＤを含まない比較
例２の加工油は、鉱油分散性及び洗浄性が不良であり、
成分Ａとして平均分子量１０００のポリエチレングリコ
ールを使用した比較例３の加工油は、鉱油分散性及び洗
浄性は優れているが、流動性が不良である。
散性、洗浄性及び流動性に優れている。これに対して、
成分Ｂを含まない比較例１の加工油は、鉱油分散性及び
洗浄性が不良であり、成分Ｂ、Ｃ及びＤを含まない比較
例２の加工油は、鉱油分散性及び洗浄性が不良であり、
成分Ａとして平均分子量１０００のポリエチレングリコ
ールを使用した比較例３の加工油は、鉱油分散性及び洗
浄性は優れているが、流動性が不良である。
【００１５】実施例５〜８
実施例１〜４の加工油１００質量部に、ダイヤモンドパ
ウダー５質量部を混合し、脆性材料加工用組成物を調製
した。
ウダー５質量部を混合し、脆性材料加工用組成物を調製
した。
【発明の効果】本発明の加工油は、鉱油分散性、洗浄性
及び流動性に優れ、これを使用した加工用組成物は、潤
滑油等の他の成分が混入しても加工性能の低下が少な
く、水に対する分散性も低下せず、循環使用しても加工
後の脆性材料に付着した加工油を水で容易に洗浄除去で
きる。
及び流動性に優れ、これを使用した加工用組成物は、潤
滑油等の他の成分が混入しても加工性能の低下が少な
く、水に対する分散性も低下せず、循環使用しても加工
後の脆性材料に付着した加工油を水で容易に洗浄除去で
きる。
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ１０Ｍ 145/24 Ｃ１０Ｍ 145/24
145/30 145/30
// Ｃ１０Ｎ 20:04 Ｃ１０Ｎ 20:04
20:06 20:06 Ｚ
40:22 40:22
Ｆターム(参考） 4H104 AA04C BB35C BB42A BB48C
CB15A CB15C CB16C EA03A
EA03C EA08C PA22 RA01
Claims (15)
- 【請求項１】 下記の成分を含有する脆性材料用加工
油。 成分Ａ：平均分子量１００〜４００のポリエチレングリ
コール：６０〜９５質量部、 成分Ｂ：ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート、及
びポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテートから
なる群から選ばれる少なくとも１種：３〜２０質量部、 成分Ｃ：ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノオ
レエート、ソルビタンジオレエート、ソルビタントリオ
レエート、ポリオキシエチレンモノラウレート及びポリ
オキシエチレンモノオレエートからなる群から選ばれる
少なくとも１種：０．３〜１０質量部、及び 成分Ｄ：酸化エチレン酸化プロピレンブロック共重合
物：０〜１０質量部。 - 【請求項２】 成分Ｂが、ポリオキシエチレンソルビタ
ンモノラウレート及び／又はポリオキシエチレンソルビ
タンモノオレエートである請求項１記載の加工油。 - 【請求項３】 成分Ｃが、ポリオキシエチレンモノラウ
レート及び／又はポリオキシエチレンモノオレエートで
ある請求項１又は２項記載の加工油。 - 【請求項４】 成分Ｄが、平均分子量１００〜５０００
である請求項１〜３のいずれか１項記載の加工油。 - 【請求項５】 成分Ｄの分子中酸化エチレンの比率が５
〜６０モル％である請求項１〜４のいずれか１項記載の
加工油。 - 【請求項６】 成分Ａが、平均分子量２００である請求
項１〜５のいずれか１項記載の加工油。 - 【請求項７】 成分Ｂのポリオキシエチレンの平均付加
モル数が１０〜４０である請求項１〜６のいずれか１項
記載の加工油。 - 【請求項８】 成分Ｂが、ポリオキシエチレンソルビタ
ンモノラウレートである請求項１〜７のいずれか１項記
載の加工油。 - 【請求項９】 成分Ｃのポリオキシエチレンの平均付加
モル数が３〜１５である請求項１〜８のいずれか１項記
載の加工油。 - 【請求項１０】 成分Ｃが、ポリオキシエチレンモノオ
レエートである請求項１〜９のいずれか１項記載の加工
油。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれか１項記載の
加工油及び研磨材を含有する脆性材料加工用組成物。 - 【請求項１２】 加工油１００質量部に対して研磨材
０．０１〜３００質量部を含有する請求項１１記載の加
工用組成物。 - 【請求項１３】 研磨材が、ダイヤモンドパウダー、Ｇ
Ｃ砥粒及びＣＢＮ砥粒からなる群から選ばれる少なくと
も１種である請求項１２記載の加工用組成物。 - 【請求項１４】 研磨材が、ダイヤモンドパウダーであ
る請求項１２記載の加工用組成物。 - 【請求項１５】 請求項１２〜１４のいずれか１項記載
の脆性材料加工用組成物を使用することを特徴とする脆
性材料の加工方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2002094715A JP2003292983A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 脆性材料用加工油、加工用組成物及び加工方法 |
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| JP2002094715A JP2003292983A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 脆性材料用加工油、加工用組成物及び加工方法 |
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Family
ID=29238580
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002094715A Pending JP2003292983A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 脆性材料用加工油、加工用組成物及び加工方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107530A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 出光興産株式会社 | 脆性材料用加工油 |
| WO2010071875A3 (en) * | 2008-12-20 | 2010-09-16 | Cabot Microelectronics Corporation | Cutting fluid composition for wiresawing |
-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002094715A patent/JP2003292983A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107530A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 出光興産株式会社 | 脆性材料用加工油 |
| JP2009203411A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 脆性材料用加工油 |
| WO2010071875A3 (en) * | 2008-12-20 | 2010-09-16 | Cabot Microelectronics Corporation | Cutting fluid composition for wiresawing |
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