JP2003279502A - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】どのような被検体に対しても、良好に透視方向
を変えられること。 【解決手段】被検体4を載置する回転テーブル6と、回転
テーブル6を回転させる回転手段7と、回転テーブル6を
水平方向からその回転軸と共に傾斜させる傾斜手段8
と、回転テーブル6に載置された被検体4に対してＸ線ビ
ーム2を放射するＸ線源1と、Ｘ線源1から放射されて被
検体4を透過したＸ線ビーム2を検出するＸ線検出手段3
と、その出力を被検体4の透過像として表示する表示手
段と、Ｘ線ビーム2の方向がほぼ水平方向とほぼ垂直方
向の２方向をとるように、Ｘ線源1とＸ線検出手段3の配
置を切換える透視方向切換え手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて被検
体を透視し、被検体の内部を非破壊で検査するＸ線透視
検査装置に係り、特にどのような被検体に対しても、良
好に透視方向を変えられるようにしたＸ線透視検査装置
に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来から、Ｘ線透視による内部検査は、
色々な分野でさまざまな被検体について行なわれてきて
いる。 【０００３】例えば、自動車分野のアルミホイール、鉄
・アルミ鋳物、タイヤ等、セラミックス分野、スポーツ
用品、半導体、電子・電気機器、電池、溶接部品、食品
等で使用されている。 【０００４】また、その検査内容についても、例えば異
物混入、製造過程での自然欠陥、形状検査、寸法管理
（製品性能上の仕様確保）、部品の欠落、充填材料の量
検査等、さまざまである。 【０００５】さらに、検査方法についても、オフライン
の目視検査からインライン検査での欠陥の自動判定まで
行なわれている。 【０００６】このようなＸ線透視による被検体の内部検
査では、（被検体限定の場合を除いて）１つの装置で、
さまざまな形状の被検体に対応できるようにすることが
好ましい。 【０００７】汎用型のＸ線透視検査装置では、被検体の
透過像を見ながら電動で透視方向を変更できるような機
構部が付属しており、ある変更範囲内で透視方向を変更
することができる。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被検体
によって、好ましい透視方向の変更範囲が異なるため、
従来のＸ線透視検査装置では、どのような被検体に対し
ても、良好に透視方向を変えることのできる機構部を持
ったものが無いのが実状である。 【０００９】本発明の目的は、どのような被検体に対し
ても、良好に透視方向を変えることが可能なＸ線透視検
査装置を提供することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、Ｘ線を用いて被検体を透視し、当該被
検体の内部を非破壊で検査するＸ線透視検査装置におい
て、被検体を載置する回転テーブルと、回転テーブルを
回転させる回転手段と、回転テーブルを水平方向からそ
の回転軸と共に傾斜させる傾斜手段と、回転テーブルに
載置された被検体に対してＸ線ビームを放射するＸ線源
と、Ｘ線源から放射されて被検体を透過したＸ線ビーム
を検出するＸ線検出手段と、Ｘ線検出手段からの出力を
被検体の透過像として表示する表示手段と、Ｘ線ビーム
の方向がほぼ水平方向とほぼ垂直方向の２方向をとるよ
うに、Ｘ線源とＸ線検出手段の配置を切換える透視方向
切換え手段とを備えている。 【００１１】従って、本発明のＸ線透視検査装置におい
ては、Ｘ線ビームの方向をほぼ水平方向に切換えた場
合、回転テーブル上の被検体を回転および傾斜させるこ
とにより、「水平範囲」で透視方向を変えて良好な透視
方向を選ぶことができる。また、Ｘ線ビームの方向をほ
ぼ垂直方向に切換えた場合、回転テーブル上の被検体を
回転および傾斜させることにより、「垂直範囲」で透視
方向を変えて良好な透視方向を選ぶことができる。以上
により、「長型」の被検体に対しても、「平型」の被検
体に対しても、良好に透視方向を変えることが可能とな
る。 【００１２】 【発明の実施の形態】まず、本発明の考え方の前提とな
る概念について説明する。 【００１３】本発明者等が、Ｘ線透視の被検体の形状に
ついて考察を重ねた結果、多種多様である被検体も、Ｘ
線透視の観点からは、形状は大別して２種類に分けられ
ることがわかった。 【００１４】すなわち、被検体の３軸に沿った長さを、
長い方からａ,ｂ,ｃとすると、ｂがｃに近いかａに近い
かによって、前者を細長いもの、つまり「長型」と名づ
け、後者を平たいもの、つまり「平型」と名づける。 【００１５】図５は、「長型」被検体１００の透視方向
を説明するための概念図である。 【００１６】Ｘ線透視は、透過長が短かい方向から行な
うのが、良好な透過画像が得られるので、通常、「長
型」は図５に斜線で示した透視方向から透視する。 【００１７】この方向を、「水平範囲」１０１と名づけ
る。 【００１８】「長型」に対しては、この「水平範囲」１
０１で透視方向を変更できる機構部を持ったＸ線透視検
査装置が好ましい。 【００１９】これにより、透過画像を見ながら、「水平
範囲」１０１で透視方向を変えて、良好な透視方向を選
ぶことができる。 【００２０】図６は、「平型被検体」１０２の透視方向
を説明するための概念図である。 【００２１】同様に、Ｘ線透視は、透過長が短かい方向
から行なうのが、良好な透過画像が得られるので、通
常、「平型」は図６に斜線で示した透視方向から透視す
る。 【００２２】この方向を、「垂直範囲」１０３と名づけ
る。 【００２３】「平型」に対しては、この「垂直範囲」１
０３で透視方向を変更できる機構部を持ったＸ線透視検
査装置が好ましい。 【００２４】これにより、透過画像を見ながら、「垂直
範囲」１０３で透視方向を変えて、良好な透視方向を選
ぶことができる。 【００２５】本発明は、このような被検体の分類と、そ
れぞれの好ましい透視方向の範囲に着目してなされたも
のである。 【００２６】以下、上記のような考え方に基づく本発明
の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明す
る。 【００２７】（第１の実施の形態）図１は、本実施の形
態によるＸ線透視検査装置の構成例を示す概要図であ
る。 【００２８】図１において、被検体４を載置する回転テ
ーブル６と、当該回転テーブル６を回転させる回転機構
７の全体は、回転軸１２と共に傾斜機構８で傾斜させる
ようにしている。 【００２９】回転テーブル６の上面は、水平方向から傾
斜軸１３を中心として左右に十数度傾斜できるようにし
ている。 【００３０】回転テーブル６（および回転機構７と傾斜
機構８）は、ＸＹ機構９で水平面内で２方向に移動させ
ると共に、Ｚ機構１０で垂直方向に移動させるようにし
ている。 【００３１】Ｘ線管１は、被検体４に向けてＸ線ビーム
２を放射するようにフレーム５上に配置し、Ｘ線検出器
３はＸ線管１から放射されて被検体４を透過したＸ線ビ
ーム２を検出するようにフレーム５上に配置している。 【００３２】フレーム５は、図示しない旋回機構により
支持されており、また傾斜軸１３にほぼ平行で水平方向
である旋回軸１１を中心に旋回できるようにしている。 【００３３】この旋回により、Ｘ線ビーム２の方向が、
回転軸１２が傾斜する面内で水平方向と垂直方向とに切
換えられるようにしている。 【００３４】ここで、Ｘ線検出器３としては、例えばＸ
線Ｉ.Ｉ.とテレビカメラとからなるものを用いることが
できる。 【００３５】また、図示は省略しているが、この他に構
成要素として、筐体（Ｘ線を遮蔽する遮蔽箱）、Ｘ線管
１に電力を供給する高電圧発生器、管電圧・管電流を制
御するＸ線制御器、Ｘ線検出器３の出力を透過画像とし
て表示する表示部、機構を制御する機構制御部、機構を
操作する操作パネル等がある。 【００３６】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるＸ線透視検査装置の作用について説明する。 【００３７】図１において、まず、「長型」の被検体の
場合には、図１に示すように、フレーム５を水平方向に
旋回させて、Ｘ線ビーム２を水平に切換える。 【００３８】そして、この状態で回転φと傾斜θを動か
すことで、「長型」の被検体４に対し、「水平範囲」１
０１で透視方向を変えて、良好な透視方向を選ぶことが
できる。 【００３９】さらに、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に動かすことで、
透視位置や拡大率を変更することができる。 【００４０】一方、「平型」の被検体の場合には、図２
に示すように、フレーム５を垂直方向に旋回させて、Ｘ
線ビーム２を垂直方向に切換える。 【００４１】そして、この状態で回転φと傾斜θを動か
すことで、「平型」の被検体１６に対し、「垂直範囲」
１０３で透視方向を変えて、良好な透視方向を選ぶこと
ができる。 【００４２】さらに、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に動かすことで、
透視位置や拡大率を変更することができる。 【００４３】以上のようにして、「長型」の被検体４に
対しても、「平型」の被検体１６に対しても、良好に透
視方向を変えることができる。 【００４４】また、回転テーブル６の水平方向からの傾
斜角度は少ないので、被検体４、１６の固定は、粘着テ
ープ等を用いて簡便に行なうことができる。 【００４５】上述したように、本実施の形態によるＸ線
透視検査装置では、どのような被検体４、１６に対して
も、良好に透視方向を変えることが可能となる。 【００４６】（変形例）前述した第１の実施の形態にお
いて、フレーム５は水平方向と垂直方向が切換えられれ
ばよいので、精度良く旋回させる必要はない。 【００４７】また、電動でなく手動で切換えるようにし
てもよい。 【００４８】さらに、旋回でなく、ネジ止めを付け替え
るだけとするようにしてもよい。 【００４９】一方、Ｘ線管１とＸ線検出器３を一体で切
り換える必要もなく、片方ずつ切り換えてもよい。 【００５０】また、Ｘ線検出器はＸ線Ｉ.Ｉ.とテレビカ
メラとからなるものに限られることもない。 【００５１】（第２の実施の形態）図３は、本実施の形
態によるＸ線透視検査装置の構成例を示す概要図であ
り、図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省
略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。 【００５２】すなわち、図３に示すように、本実施の形
態によるＸ線透視検査装置が、前述した第１の実施の形
態と異なるのは、フレーム５とその旋回機構を省略して
いる点、および筐体（Ｘ線遮蔽）に２つのＸ線検出器取
付け部２１、２２と２つのＸ線管取付け部２３、２４
（請求項の「透視方向切換え手段」に対応）とを設けて
いる点である。 【００５３】すなわち、本実施の形態では、Ｘ線検出器
３とＸ線管１の取付けを変更することで、Ｘ線ビーム２
の方向を、回転軸１２が傾斜する面内で水平方向と垂直
方向に切換えることができるようにしている。 【００５４】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるＸ線透視検査装置の作用について説明する。 【００５５】図３は、Ｘ線ビーム２が水平方向に切換え
られた状態である。 【００５６】Ｘ線検出器３は、Ｘ線検出器取付け部２１
に取付けられ、外にはみ出した部分は遮蔽カバー２５で
覆われている。 【００５７】Ｘ線管１は、Ｘ線管取付け部２３に取付け
られ、外にはみ出した部分は遮蔽カバー２７で覆われて
いる。 【００５８】Ｘ線検出器取付け部２２の開口部は、遮蔽
カバー２６で覆われている。 【００５９】図３に示すような状態で、前述した第１の
実施の形態と同様に、「長型」の被検体４に対し、「水
平範囲」１０１で透視方向を変えて、良好な透視方向を
選ぶことができる。 【００６０】図４は、Ｘ線ビーム２が垂直方向に切換え
られた状態である。 【００６１】Ｘ線検出器３は、Ｘ線検出器取付け部２２
に取付けられ、外にはみ出した部分は遮蔽カバー２５で
覆われている。 【００６２】Ｘ線管１は、Ｘ線管取付け部２４に取付け
られている。 【００６３】Ｘ線検出器取付け部２１とＸ線管取付け部
２３の開口部は、それぞれ遮蔽カバー２６、２８で覆わ
れている。 【００６４】図４に示すような状態で、前述した第１の
実施の形態と同様に、「平型」の被検体１６に対し、
「垂直範囲」１０３で透視方向を変えて、良好な透視方
向を選ぶことができる。 【００６５】以上のようにして、前述した第１の実施の
形態と同様に、「長型」の被検体４に対しても、「平
型」の被検体１６に対しても、良好に透視方向を変える
ことができ、また被検体の固定も簡便に行なうことがで
きるのに加えて、さらに本実施の形態では、ビーム切換
え機構が簡単で安価で小型軽量にすることができるとい
う利点がある。 【００６６】特に、本実施の形態は、被検体の形状が比
較的一定しており、長期的には変化があるようなユーザ
に都合がよい。 【００６７】さらに、本実施の形態では、装置の標準化
を図ることができるという利点がある。すなわち、装置
の製造は、「長型」に対しても「平型」に対しても共通
で、出荷時に切換えるだけで対応することができる。 【００６８】上述したように、本実施の形態によるＸ線
透視検査装置でも、どのような被検体４、１６に対して
も、良好に透視方向を変えることが可能となる。 【００６９】（その他の実施の形態）尚、本発明は、上
記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階で
はその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施す
ることが可能である。また、各実施の形態は可能な限り
適宜組み合わせて実施してもよく、その場合には組み合
わせた作用効果を得ることができる。さらに、上記各実
施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示さ
れる複数の構成要件における適宜な組み合わせにより、
種々の発明を抽出することができる。例えば、実施の形
態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除さ
れても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題
（の少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述
べられている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合
には、この構成要件が削除された構成を発明として抽出
することができる。 【００７０】 【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸ線透視
検査装置によれば、Ｘ線ビームの方向を切換える場合
に、回転テーブル上の被検体を回転および傾斜させるよ
うにしているので、どのような被検体に対しても、良好
に透視方向を変えることが可能となる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明によるＸ線透視検査装置の第１の実施の
形態を示す概要構成図。 【図２】同第１の実施の形態のＸ線透視検査装置におけ
る作用を説明するための概要図。 【図３】本発明によるＸ線透視検査装置の第２の実施の
形態を示す概要構成図。 【図４】同第２の実施の形態のＸ線透視検査装置におけ
る作用を説明するための概要図。 【図５】本発明の考え方の前提となる「長型」被検体の
透視方向を説明するための概念図。 【図６】本発明の考え方の前提となる「平型」被検体の
透視方向を説明するための概念図。 【符号の説明】 １…Ｘ線管 ２…Ｘ線ビーム ３…Ｘ線検出器 ４…被検体 ５…フレーム ６…回転テーブル ７…回転機構 ８…傾斜機構 ９…ＸＹ機構 １０…Ｚ機構 １１…旋回軸 １２…回転軸 １３…傾斜軸 １６…被検体 ２１…Ｘ線検出器取付け部 ２２…Ｘ線検出器取付け部 ２３…Ｘ線管取付け部 ２４…Ｘ線管取付け部 ２５…遮蔽カバー ２６…遮蔽カバー ２７…遮蔽カバー ２８…遮蔽カバー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 玉木 清英 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝アイティー・コントロールシステム株式 会社内 (72)発明者 富沢 英行 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝アイティー・コントロールシステム株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA09 HA13 JA01 JA06 JA07 JA08 KA03 PA12 PA15

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 Ｘ線を用いて被検体を透視し、当該被検
   体の内部を非破壊で検査するＸ線透視検査装置におい
   て、 前記被検体を載置する回転テーブルと、 前記回転テーブルを回転させる回転手段と、 前記回転テーブルを水平方向からその回転軸と共に傾斜
   させる傾斜手段と、 前記回転テーブルに載置された被検体に対してＸ線ビー
   ムを放射するＸ線源と、 前記Ｘ線源から放射されて前記被検体を透過したＸ線ビ
   ームを検出するＸ線検出手段と、 前記Ｘ線検出手段からの出力を前記被検体の透過像とし
   て表示する表示手段と、 前記Ｘ線ビームの方向がほぼ水平方向とほぼ垂直方向の
   ２方向をとるように、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出手段の
   配置を切換える透視方向切換え手段と、 を備えて成ることを特徴とするＸ線透視検査装置。