JP2003161707A - X線透視検査装置 - Google Patents
X線透視検査装置Info
- Publication number
- JP2003161707A JP2003161707A JP2001361125A JP2001361125A JP2003161707A JP 2003161707 A JP2003161707 A JP 2003161707A JP 2001361125 A JP2001361125 A JP 2001361125A JP 2001361125 A JP2001361125 A JP 2001361125A JP 2003161707 A JP2003161707 A JP 2003161707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- door
- opening
- subject
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被検体である試料の交換を極めて容易に行なう
こと。 【解決手段】X線遮蔽箱1の内部に配置され、X線を発
生するX線源10と、X線遮蔽箱1の内部に配置され、被
検体14を載置するテーブル12と、X線遮蔽箱1の内部に
配置され、被検体14を透過したX線源10からのX線13を
検出するX線検出器11とを備え、X線検出器11により得
られた被検体14の透過データに基づいて、被検体14の透
過像を作成するX線透視検査装置であって、X線遮蔽箱
1は、テーブル12面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直
交する2つの面にわたる連続した開口部1aと、開口部1a
を覆ってX線を遮蔽するように開閉自在に設けられたX
線遮蔽扉2とを有するものとする。
こと。 【解決手段】X線遮蔽箱1の内部に配置され、X線を発
生するX線源10と、X線遮蔽箱1の内部に配置され、被
検体14を載置するテーブル12と、X線遮蔽箱1の内部に
配置され、被検体14を透過したX線源10からのX線13を
検出するX線検出器11とを備え、X線検出器11により得
られた被検体14の透過データに基づいて、被検体14の透
過像を作成するX線透視検査装置であって、X線遮蔽箱
1は、テーブル12面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直
交する2つの面にわたる連続した開口部1aと、開口部1a
を覆ってX線を遮蔽するように開閉自在に設けられたX
線遮蔽扉2とを有するものとする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非破壊検査装置の
うちの一つであるX線透視検査装置に係り、特に被検体
である試料の交換を極めて容易に行なえるようにしたX
線透視検査装置に関するものである。
うちの一つであるX線透視検査装置に係り、特に被検体
である試料の交換を極めて容易に行なえるようにしたX
線透視検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、被検体である試料、例えば小型電
子部品等を高分解能で非破壊検査することを目的とし
て、X線透視検査装置が採用されてきている。
子部品等を高分解能で非破壊検査することを目的とし
て、X線透視検査装置が採用されてきている。
【0003】図3は、この種の従来のX線透視検査装置
の構成例を示す概要図である。
の構成例を示す概要図である。
【0004】図3において、X線遮蔽箱101の内部に
は、X線管102とX線I.I.(イメージインテンシフ
ァイア)103とが配置されており、X線ビーム104
を測定する。
は、X線管102とX線I.I.(イメージインテンシフ
ァイア)103とが配置されており、X線ビーム104
を測定する。
【0005】X線遮蔽箱101の前面には、図示しない
被検体を出し入れするための開口部と、この開口部を覆
うようにX線遮蔽する試料扉105が設けられており、
この試料扉105は左右にスライドして開閉されるよう
になっている。
被検体を出し入れするための開口部と、この開口部を覆
うようにX線遮蔽する試料扉105が設けられており、
この試料扉105は左右にスライドして開閉されるよう
になっている。
【0006】被検体である基板等の試料は、試料扉10
5を開いてX線遮蔽箱101の内部の図示しない試料テ
ーブルの上に載置し、X線ビーム104の中で水平方向
に電動で駆動することにより、任意の位置の透過像が得
られる。
5を開いてX線遮蔽箱101の内部の図示しない試料テ
ーブルの上に載置し、X線ビーム104の中で水平方向
に電動で駆動することにより、任意の位置の透過像が得
られる。
【0007】なお、試料扉105には、鉛ガラス106
が貼り付けられて、X線遮蔽箱101の内部が観察でき
るようになっている。
が貼り付けられて、X線遮蔽箱101の内部が観察でき
るようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のX線透視検査装置においては、X線遮蔽
箱101の前面に設けられている開口部の大きさを大き
くすることができないため、被検体である試料の交換を
行ない難く、例えば頻繁に試料の交換を必要とする抜き
取り検査等を行なう場合には、ネックとなっている。
たような従来のX線透視検査装置においては、X線遮蔽
箱101の前面に設けられている開口部の大きさを大き
くすることができないため、被検体である試料の交換を
行ない難く、例えば頻繁に試料の交換を必要とする抜き
取り検査等を行なう場合には、ネックとなっている。
【0009】本発明の目的は、被検体である試料の交換
を極めて容易に行なうことが可能なX線透視検査装置を
提供することにある。
を極めて容易に行なうことが可能なX線透視検査装置を
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に対応する発明では、X線遮蔽箱の内部
に配置され、X線を発生するX線源と、X線遮蔽箱の内
部に配置され、被検体を載置するテーブルと、X線遮蔽
箱の内部に配置され、被検体を透過したX線源からのX
線を検出するX線検出器とを備え、X線検出器により得
られた被検体の透過データに基づいて、当該被検体の透
過像を作成するX線透視検査装置であって、X線遮蔽箱
は、テーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直交す
る2つの面にわたる連続した開口部と、当該開口部を覆
ってX線を遮蔽するように開閉自在に設けられたX線遮
蔽扉とを有するものとしている。
めに、請求項1に対応する発明では、X線遮蔽箱の内部
に配置され、X線を発生するX線源と、X線遮蔽箱の内
部に配置され、被検体を載置するテーブルと、X線遮蔽
箱の内部に配置され、被検体を透過したX線源からのX
線を検出するX線検出器とを備え、X線検出器により得
られた被検体の透過データに基づいて、当該被検体の透
過像を作成するX線透視検査装置であって、X線遮蔽箱
は、テーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直交す
る2つの面にわたる連続した開口部と、当該開口部を覆
ってX線を遮蔽するように開閉自在に設けられたX線遮
蔽扉とを有するものとしている。
【0011】従って、請求項1に対応する発明のX線透
視検査装置においては、X線遮蔽箱の内部に配置されて
被検体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互
いに略直交する2つの面にわたる連続した開口部を開放
することにより、テーブル面の2方向を開放することが
でき、被検体である試料の交換を極めて容易に行なうこ
とができる。
視検査装置においては、X線遮蔽箱の内部に配置されて
被検体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互
いに略直交する2つの面にわたる連続した開口部を開放
することにより、テーブル面の2方向を開放することが
でき、被検体である試料の交換を極めて容易に行なうこ
とができる。
【0012】また、請求項2に対応する発明では、上記
請求項1に対応する発明のX線透視検査装置において、
X線遮蔽扉としては、上下方向スライド式、左右方向ス
ライド式、あるいはドア開閉式のうちのいずれか一つの
方式により、開口部を開放状態または閉じた状態とする
ようにしている。
請求項1に対応する発明のX線透視検査装置において、
X線遮蔽扉としては、上下方向スライド式、左右方向ス
ライド式、あるいはドア開閉式のうちのいずれか一つの
方式により、開口部を開放状態または閉じた状態とする
ようにしている。
【0013】従って、請求項2に対応する発明のX線透
視検査装置においては、X線遮蔽扉を、上下方向スライ
ド式、左右方向スライド式、あるいはドア開閉式のうち
のいずれか一つの方式として、開口部を開放状態または
閉じた状態とすることにより、X線遮蔽扉を開放した時
に邪魔にならないようにすることができる。
視検査装置においては、X線遮蔽扉を、上下方向スライ
ド式、左右方向スライド式、あるいはドア開閉式のうち
のいずれか一つの方式として、開口部を開放状態または
閉じた状態とすることにより、X線遮蔽扉を開放した時
に邪魔にならないようにすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。
いて図面を参照して詳細に説明する。
【0015】図1は、本実施の形態によるX線透視検査
装置の構成例を示す外観斜視図である。
装置の構成例を示す外観斜視図である。
【0016】図1において、X線遮蔽箱1には、互いに
略直交する2つの面にわたる連続した開口部1aがあ
り、この開口部1aを覆ってX線を遮蔽するように、X
線遮蔽扉である試料扉2をレール6を介して開閉自在に
取り付けている。
略直交する2つの面にわたる連続した開口部1aがあ
り、この開口部1aを覆ってX線を遮蔽するように、X
線遮蔽扉である試料扉2をレール6を介して開閉自在に
取り付けている。
【0017】この試料扉2は、上方にスライドさせて移
動させることができ、開口部1aを開放状態にできるよ
うにしている。
動させることができ、開口部1aを開放状態にできるよ
うにしている。
【0018】また、試料扉2の2つの面には鉛ガラス3
が取り付けられ、被検体である試料を2方向から観察で
きるようにしている。
が取り付けられ、被検体である試料を2方向から観察で
きるようにしている。
【0019】図2は、本実施の形態によるX線透視検査
装置の構成例を示す断面図であり、図1と同一部分には
同一符号を付して示している。
装置の構成例を示す断面図であり、図1と同一部分には
同一符号を付して示している。
【0020】図1において、X線遮蔽箱1の内部には、
X線ビーム13を発生するX線源であるX線管10と、
X線ビーム13を検出するX線検出器であるX線フラッ
トパネルセンサ11とが、上下方向に対向して配置され
ている。
X線ビーム13を発生するX線源であるX線管10と、
X線ビーム13を検出するX線検出器であるX線フラッ
トパネルセンサ11とが、上下方向に対向して配置され
ている。
【0021】また、このX線管10とX線フラットパネ
ルセンサ11との間には、試料テーブル12が水平に配
置され、この試料テーブル12上には、被検体14が載
置されている。
ルセンサ11との間には、試料テーブル12が水平に配
置され、この試料テーブル12上には、被検体14が載
置されている。
【0022】これにより、被検体14である試料を透過
したX線ビーム13がX線フラットパネルセンサ11で
検出されて、被検体14の透過データに基づいて被検体
14の透過像が作成されるようにしている。
したX線ビーム13がX線フラットパネルセンサ11で
検出されて、被検体14の透過データに基づいて被検体
14の透過像が作成されるようにしている。
【0023】そして、この透過像が、表示器4に表示さ
れるようにしている。
れるようにしている。
【0024】一方、開口部1aは、その下端が試料テー
ブル12の面に近い高さで、試料テーブル12の2方向
を開放できるようにしている。
ブル12の面に近い高さで、試料テーブル12の2方向
を開放できるようにしている。
【0025】また、操作パネル5からは、XY機構18
により試料テーブル12を水平方向に移動させることが
でき、被検体14である試料の任意の位置を透過像視野
に入れることができると共に、図示しないX線管上下機
構によりX線管10を上下移動させて、像倍率を変更す
ることができるようにしている。
により試料テーブル12を水平方向に移動させることが
でき、被検体14である試料の任意の位置を透過像視野
に入れることができると共に、図示しないX線管上下機
構によりX線管10を上下移動させて、像倍率を変更す
ることができるようにしている。
【0026】さらに、操作パネル5から、図示しないX
線制御器および高圧発生器を通じて、X線管10の管電
圧、管電流を変更でき、透視条件を変えることができる
ようにしている。
線制御器および高圧発生器を通じて、X線管10の管電
圧、管電流を変更でき、透視条件を変えることができる
ようにしている。
【0027】なお、試料扉2にはワイヤ17の一端が取
り付けられ、またこのワイヤ17の他端には、滑車16
を介してバランスウエイト15が取り付けられており、
試料扉2を上方にスライドさせて移動させる際のバラン
スをとるようにしている。
り付けられ、またこのワイヤ17の他端には、滑車16
を介してバランスウエイト15が取り付けられており、
試料扉2を上方にスライドさせて移動させる際のバラン
スをとるようにしている。
【0028】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるX線透視検査装置の作用について説明する。
によるX線透視検査装置の作用について説明する。
【0029】図1および図2において、操作者は、検査
を行なうに際して、図示しない取っ手で試料扉2を上方
にスライドさせて、X線遮蔽箱1の開口部1aを開放に
した状態で、被検体14である試料を試料テーブル12
上に載せる。
を行なうに際して、図示しない取っ手で試料扉2を上方
にスライドさせて、X線遮蔽箱1の開口部1aを開放に
した状態で、被検体14である試料を試料テーブル12
上に載せる。
【0030】次に、図示しない取っ手で試料扉2を下端
までスライドさせて、開口部1aを閉状態にする。
までスライドさせて、開口部1aを閉状態にする。
【0031】この時、開口部1aを閉状態にすること
で、図示しないインターロックスイッチにより、X線管
10からX線ビーム13が放射可能な状態になる。
で、図示しないインターロックスイッチにより、X線管
10からX線ビーム13が放射可能な状態になる。
【0032】次に、X線ビーム13をONして、透過像
を表示部4に表示させる。
を表示部4に表示させる。
【0033】一方、この表示部4に表示された透過像を
目視確認した結果、もし被検体14である試料を交換す
る場合には、X線ビーム13をOFFして、同様に試料
扉2を開閉させて行なう。
目視確認した結果、もし被検体14である試料を交換す
る場合には、X線ビーム13をOFFして、同様に試料
扉2を開閉させて行なう。
【0034】上述したように、本実施の形態によるX線
透視検査装置では、X線遮蔽箱1の内部に配置されて被
検体14を載置する試料テーブル12面にそれぞれ略直
交しかつ互いに略直交する2つの面にわたる連続した開
口部1aを開放するようにしているので、試料テーブル
12面の2方向を開放することができ、被検体14の交
換を容易に行なうことが可能となる。
透視検査装置では、X線遮蔽箱1の内部に配置されて被
検体14を載置する試料テーブル12面にそれぞれ略直
交しかつ互いに略直交する2つの面にわたる連続した開
口部1aを開放するようにしているので、試料テーブル
12面の2方向を開放することができ、被検体14の交
換を容易に行なうことが可能となる。
【0035】また、試料扉2を上下方向にスライドさせ
る方式とするようにしているので、試料扉2を開放した
時に邪魔にならないようにすることも可能となる。
る方式とするようにしているので、試料扉2を開放した
時に邪魔にならないようにすることも可能となる。
【0036】さらに、検査中の被検体14を、2つの鉛
ガラス3を通して2方向から観察することも可能とな
る。
ガラス3を通して2方向から観察することも可能とな
る。
【0037】(その他の実施の形態)尚、本発明は、上
記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階では
その要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施する
ことが可能である。例えば、上記実施の形態では、試料
扉2としては、上方向にスライドさせる方式とした場合
について説明したが、これに限らず、試料扉2として
は、下方向にスライドさせる方式としてもよい。
記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階では
その要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施する
ことが可能である。例えば、上記実施の形態では、試料
扉2としては、上方向にスライドさせる方式とした場合
について説明したが、これに限らず、試料扉2として
は、下方向にスライドさせる方式としてもよい。
【0038】さらに、試料扉2としては、上下方向にス
ライドさせる方式に限らず、左右方向にスライドさせる
方式(蛇腹式、中折れ式、分割式)、あるいはドア開閉
式(片開きや観音開き)としてもよい。
ライドさせる方式に限らず、左右方向にスライドさせる
方式(蛇腹式、中折れ式、分割式)、あるいはドア開閉
式(片開きや観音開き)としてもよい。
【0039】また、上記実施の形態には種々の段階の発
明が含まれており、開示される複数の構成要件における
適宜な組合わせにより、種々の発明を抽出することがで
きる。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題(の少なくとも一つ)が解決で
き、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくと
も一つ)が得られる場合には、この構成要件が削除され
た構成を発明として抽出することができる。
明が含まれており、開示される複数の構成要件における
適宜な組合わせにより、種々の発明を抽出することがで
きる。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題(の少なくとも一つ)が解決で
き、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくと
も一つ)が得られる場合には、この構成要件が削除され
た構成を発明として抽出することができる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のX線透視
検査装置によれば、X線遮蔽箱の内部に配置されて被検
体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに
略直交する2つの面にわたる連続した開口部を開放する
ようにしているので、テーブル面の2方向を開放するこ
とができ、被検体である試料の交換を極めて容易に行な
うことが可能となる。
検査装置によれば、X線遮蔽箱の内部に配置されて被検
体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに
略直交する2つの面にわたる連続した開口部を開放する
ようにしているので、テーブル面の2方向を開放するこ
とができ、被検体である試料の交換を極めて容易に行な
うことが可能となる。
【図1】本発明によるX線透視検査装置の一実施の形態
を示す外観斜視図。
を示す外観斜視図。
【図2】本発明によるX線透視検査装置の一実施の形態
を示す断面図。
を示す断面図。
【図3】従来のX線透視検査装置の構成例を示す概要
図。
図。
1…X線遮蔽箱
1a…開口部
2…試料扉
3…鉛ガラス
5…操作パネル
6…レール
10…X線管
11…X線フラットパネルセンサ
12…試料テーブル
13…X線ビーム
14…被検体
15…バランスウエイト
16…滑車
17…ワイヤ
18…XY機構。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
G21K 5/02 G21K 5/02 X
(72)発明者 久志 健生
東京都府中市晴見町2丁目24番地の1 東
芝アイティー・コントロールシステム株式
会社内
(72)発明者 真鍋 緑朗
神奈川県横浜市金沢区福浦二丁目4番1号
アールテック株式会社内
Fターム(参考) 2G001 AA01 BA11 CA01 HA13 KA20
LA11 PA02 SA14
2G088 EE27 EE30 FF02 GG19 GG20
GG21 HH07 JJ05 JJ29 JJ35
JJ37
Claims (2)
- 【請求項1】 X線遮蔽箱の内部に配置され、X線を発
生するX線源と、 前記X線遮蔽箱の内部に配置され、被検体を載置するテ
ーブルと、 前記X線遮蔽箱の内部に配置され、前記被検体を透過し
た前記X線源からのX線を検出するX線検出器とを備
え、 前記X線検出器により得られた前記被検体の透過データ
に基づいて、当該被検体の透過像を作成するX線透視検
査装置であって、 前記X線遮蔽箱は、 前記テーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直交す
る2つの面にわたる連続した開口部と、 前記開口部を覆ってX線を遮蔽するように開閉自在に設
けられたX線遮蔽扉と、 を有することを特徴とするX線透視検査装置。 - 【請求項2】 前記請求項1に記載のX線透視検査装置
において、 前記X線遮蔽扉としては、上下方向スライド式、左右方
向スライド式、あるいはドア開閉式のうちのいずれか一
つの方式により、前記開口部を開放状態または閉じた状
態とするようにしたことを特徴とするX線透視検査装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001361125A JP2003161707A (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | X線透視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001361125A JP2003161707A (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | X線透視検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003161707A true JP2003161707A (ja) | 2003-06-06 |
Family
ID=19171834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001361125A Pending JP2003161707A (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | X線透視検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003161707A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009025262A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Rigaku Industrial Co | X線分析装置 |
JP2011163870A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2017026489A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 中国電力株式会社 | 放射線量測定装置の設置構造 |
KR101997409B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2019-07-05 | (재)한국건설생활환경시험연구원 | 방사선 차폐 성능측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법 |
JP7415898B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-01-17 | 株式会社島津製作所 | X線撮像装置 |
-
2001
- 2001-11-27 JP JP2001361125A patent/JP2003161707A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009025262A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Rigaku Industrial Co | X線分析装置 |
JP4630313B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2011-02-09 | 株式会社リガク | X線分析装置 |
JP2011163870A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2017026489A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 中国電力株式会社 | 放射線量測定装置の設置構造 |
KR101997409B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2019-07-05 | (재)한국건설생활환경시험연구원 | 방사선 차폐 성능측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법 |
JP7415898B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-01-17 | 株式会社島津製作所 | X線撮像装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI646327B (zh) | 螢光x射線分析裝置 | |
CA1168380A (en) | X-ray security screening system having magnification | |
EP3026429A1 (en) | X-ray fluorescence analyzer and x-ray fluorescence analyzing method | |
US9618461B2 (en) | X-ray analysis apparatus | |
JP2003161707A (ja) | X線透視検査装置 | |
JP2002062268A (ja) | コンピュータ断層撮影装置 | |
WO2009121051A2 (en) | X-ray inspection systems and methods | |
JP2001255286A (ja) | X線検査装置およびx線検査方法 | |
CN101810486B (zh) | 放射线成像设备及用于该设备的处理方法 | |
JPH0933450A (ja) | X線透視像取込用枠体及び可搬形x線検査装置 | |
JP2004257914A (ja) | X線透視装置 | |
JP3655778B2 (ja) | X線分析装置 | |
JP2005189239A (ja) | 不良検査装置並びにプローブ位置決め方法およびプローブ移動方法 | |
JP4041606B2 (ja) | X線分析装置 | |
WO2012123216A1 (de) | Einrichtung zur roentgenspektroskopie | |
JP2001027617A (ja) | X線検査装置 | |
JP2001021510A (ja) | X線分析装置 | |
JP3876765B2 (ja) | 分析装置 | |
JP3942467B2 (ja) | X線透視検査装置 | |
JP4792918B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP4577212B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2003098129A (ja) | エネルギー分散型マイクロアナライザ | |
JP3928014B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP5732144B2 (ja) | X線検査装置およびx線検査方法 | |
JP3897102B2 (ja) | X線透視装置 |