JP2003161707A - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検体である試料の交換を極めて容易に行なう
こと。 【解決手段】Ｘ線遮蔽箱1の内部に配置され、Ｘ線を発
生するＸ線源10と、Ｘ線遮蔽箱1の内部に配置され、被
検体14を載置するテーブル12と、Ｘ線遮蔽箱1の内部に
配置され、被検体14を透過したＸ線源10からのＸ線13を
検出するＸ線検出器11とを備え、Ｘ線検出器11により得
られた被検体14の透過データに基づいて、被検体14の透
過像を作成するＸ線透視検査装置であって、Ｘ線遮蔽箱
1は、テーブル12面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直
交する２つの面にわたる連続した開口部1aと、開口部1a
を覆ってＸ線を遮蔽するように開閉自在に設けられたＸ
線遮蔽扉2とを有するものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非破壊検査装置の
うちの一つであるＸ線透視検査装置に係り、特に被検体
である試料の交換を極めて容易に行なえるようにしたＸ
線透視検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、被検体である試料、例えば小型電
子部品等を高分解能で非破壊検査することを目的とし
て、Ｘ線透視検査装置が採用されてきている。

【０００３】図３は、この種の従来のＸ線透視検査装置
の構成例を示す概要図である。

【０００４】図３において、Ｘ線遮蔽箱１０１の内部に
は、Ｘ線管１０２とＸ線Ｉ.Ｉ.（イメージインテンシフ
ァイア）１０３とが配置されており、Ｘ線ビーム１０４
を測定する。

【０００５】Ｘ線遮蔽箱１０１の前面には、図示しない
被検体を出し入れするための開口部と、この開口部を覆
うようにＸ線遮蔽する試料扉１０５が設けられており、
この試料扉１０５は左右にスライドして開閉されるよう
になっている。

【０００６】被検体である基板等の試料は、試料扉１０
５を開いてＸ線遮蔽箱１０１の内部の図示しない試料テ
ーブルの上に載置し、Ｘ線ビーム１０４の中で水平方向
に電動で駆動することにより、任意の位置の透過像が得
られる。

【０００７】なお、試料扉１０５には、鉛ガラス１０６
が貼り付けられて、Ｘ線遮蔽箱１０１の内部が観察でき
るようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のＸ線透視検査装置においては、Ｘ線遮蔽
箱１０１の前面に設けられている開口部の大きさを大き
くすることができないため、被検体である試料の交換を
行ない難く、例えば頻繁に試料の交換を必要とする抜き
取り検査等を行なう場合には、ネックとなっている。

【０００９】本発明の目的は、被検体である試料の交換
を極めて容易に行なうことが可能なＸ線透視検査装置を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に対応する発明では、Ｘ線遮蔽箱の内部
に配置され、Ｘ線を発生するＸ線源と、Ｘ線遮蔽箱の内
部に配置され、被検体を載置するテーブルと、Ｘ線遮蔽
箱の内部に配置され、被検体を透過したＸ線源からのＸ
線を検出するＸ線検出器とを備え、Ｘ線検出器により得
られた被検体の透過データに基づいて、当該被検体の透
過像を作成するＸ線透視検査装置であって、Ｘ線遮蔽箱
は、テーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直交す
る２つの面にわたる連続した開口部と、当該開口部を覆
ってＸ線を遮蔽するように開閉自在に設けられたＸ線遮
蔽扉とを有するものとしている。

【００１１】従って、請求項１に対応する発明のＸ線透
視検査装置においては、Ｘ線遮蔽箱の内部に配置されて
被検体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互
いに略直交する２つの面にわたる連続した開口部を開放
することにより、テーブル面の２方向を開放することが
でき、被検体である試料の交換を極めて容易に行なうこ
とができる。

【００１２】また、請求項２に対応する発明では、上記
請求項１に対応する発明のＸ線透視検査装置において、
Ｘ線遮蔽扉としては、上下方向スライド式、左右方向ス
ライド式、あるいはドア開閉式のうちのいずれか一つの
方式により、開口部を開放状態または閉じた状態とする
ようにしている。

【００１３】従って、請求項２に対応する発明のＸ線透
視検査装置においては、Ｘ線遮蔽扉を、上下方向スライ
ド式、左右方向スライド式、あるいはドア開閉式のうち
のいずれか一つの方式として、開口部を開放状態または
閉じた状態とすることにより、Ｘ線遮蔽扉を開放した時
に邪魔にならないようにすることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。

【００１５】図１は、本実施の形態によるＸ線透視検査
装置の構成例を示す外観斜視図である。

【００１６】図１において、Ｘ線遮蔽箱１には、互いに
略直交する２つの面にわたる連続した開口部１ａがあ
り、この開口部１ａを覆ってＸ線を遮蔽するように、Ｘ
線遮蔽扉である試料扉２をレール６を介して開閉自在に
取り付けている。

【００１７】この試料扉２は、上方にスライドさせて移
動させることができ、開口部１ａを開放状態にできるよ
うにしている。

【００１８】また、試料扉２の２つの面には鉛ガラス３
が取り付けられ、被検体である試料を２方向から観察で
きるようにしている。

【００１９】図２は、本実施の形態によるＸ線透視検査
装置の構成例を示す断面図であり、図１と同一部分には
同一符号を付して示している。

【００２０】図１において、Ｘ線遮蔽箱１の内部には、
Ｘ線ビーム１３を発生するＸ線源であるＸ線管１０と、
Ｘ線ビーム１３を検出するＸ線検出器であるＸ線フラッ
トパネルセンサ１１とが、上下方向に対向して配置され
ている。

【００２１】また、このＸ線管１０とＸ線フラットパネ
ルセンサ１１との間には、試料テーブル１２が水平に配
置され、この試料テーブル１２上には、被検体１４が載
置されている。

【００２２】これにより、被検体１４である試料を透過
したＸ線ビーム１３がＸ線フラットパネルセンサ１１で
検出されて、被検体１４の透過データに基づいて被検体
１４の透過像が作成されるようにしている。

【００２３】そして、この透過像が、表示器４に表示さ
れるようにしている。

【００２４】一方、開口部１ａは、その下端が試料テー
ブル１２の面に近い高さで、試料テーブル１２の２方向
を開放できるようにしている。

【００２５】また、操作パネル５からは、ＸＹ機構１８
により試料テーブル１２を水平方向に移動させることが
でき、被検体１４である試料の任意の位置を透過像視野
に入れることができると共に、図示しないＸ線管上下機
構によりＸ線管１０を上下移動させて、像倍率を変更す
ることができるようにしている。

【００２６】さらに、操作パネル５から、図示しないＸ
線制御器および高圧発生器を通じて、Ｘ線管１０の管電
圧、管電流を変更でき、透視条件を変えることができる
ようにしている。

【００２７】なお、試料扉２にはワイヤ１７の一端が取
り付けられ、またこのワイヤ１７の他端には、滑車１６
を介してバランスウエイト１５が取り付けられており、
試料扉２を上方にスライドさせて移動させる際のバラン
スをとるようにしている。

【００２８】次に、以上のように構成した本実施の形態
によるＸ線透視検査装置の作用について説明する。

【００２９】図１および図２において、操作者は、検査
を行なうに際して、図示しない取っ手で試料扉２を上方
にスライドさせて、Ｘ線遮蔽箱１の開口部１ａを開放に
した状態で、被検体１４である試料を試料テーブル１２
上に載せる。

【００３０】次に、図示しない取っ手で試料扉２を下端
までスライドさせて、開口部１ａを閉状態にする。

【００３１】この時、開口部１ａを閉状態にすること
で、図示しないインターロックスイッチにより、Ｘ線管
１０からＸ線ビーム１３が放射可能な状態になる。

【００３２】次に、Ｘ線ビーム１３をＯＮして、透過像
を表示部４に表示させる。

【００３３】一方、この表示部４に表示された透過像を
目視確認した結果、もし被検体１４である試料を交換す
る場合には、Ｘ線ビーム１３をＯＦＦして、同様に試料
扉２を開閉させて行なう。

【００３４】上述したように、本実施の形態によるＸ線
透視検査装置では、Ｘ線遮蔽箱１の内部に配置されて被
検体１４を載置する試料テーブル１２面にそれぞれ略直
交しかつ互いに略直交する２つの面にわたる連続した開
口部１ａを開放するようにしているので、試料テーブル
１２面の２方向を開放することができ、被検体１４の交
換を容易に行なうことが可能となる。

【００３５】また、試料扉２を上下方向にスライドさせ
る方式とするようにしているので、試料扉２を開放した
時に邪魔にならないようにすることも可能となる。

【００３６】さらに、検査中の被検体１４を、２つの鉛
ガラス３を通して２方向から観察することも可能とな
る。

【００３７】（その他の実施の形態）尚、本発明は、上
記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階では
その要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施する
ことが可能である。例えば、上記実施の形態では、試料
扉２としては、上方向にスライドさせる方式とした場合
について説明したが、これに限らず、試料扉２として
は、下方向にスライドさせる方式としてもよい。

【００３８】さらに、試料扉２としては、上下方向にス
ライドさせる方式に限らず、左右方向にスライドさせる
方式（蛇腹式、中折れ式、分割式）、あるいはドア開閉
式（片開きや観音開き）としてもよい。

【００３９】また、上記実施の形態には種々の段階の発
明が含まれており、開示される複数の構成要件における
適宜な組合わせにより、種々の発明を抽出することがで
きる。例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題（の少なくとも一つ）が解決で
き、発明の効果の欄で述べられている効果（の少なくと
も一つ）が得られる場合には、この構成要件が削除され
た構成を発明として抽出することができる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸ線透視
検査装置によれば、Ｘ線遮蔽箱の内部に配置されて被検
体を載置するテーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに
略直交する２つの面にわたる連続した開口部を開放する
ようにしているので、テーブル面の２方向を開放するこ
とができ、被検体である試料の交換を極めて容易に行な
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるＸ線透視検査装置の一実施の形態
を示す外観斜視図。

【図２】本発明によるＸ線透視検査装置の一実施の形態
を示す断面図。

【図３】従来のＸ線透視検査装置の構成例を示す概要
図。

【符号の説明】

１…Ｘ線遮蔽箱 １ａ…開口部 ２…試料扉 ３…鉛ガラス ５…操作パネル ６…レール １０…Ｘ線管 １１…Ｘ線フラットパネルセンサ １２…試料テーブル １３…Ｘ線ビーム １４…被検体 １５…バランスウエイト １６…滑車 １７…ワイヤ １８…ＸＹ機構。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ２１Ｋ 5/02 Ｇ２１Ｋ 5/02 Ｘ (72)発明者 久志 健生 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝アイティー・コントロールシステム株式 会社内 (72)発明者 真鍋 緑朗 神奈川県横浜市金沢区福浦二丁目４番１号 アールテック株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 HA13 KA20 LA11 PA02 SA14 2G088 EE27 EE30 FF02 GG19 GG20 GG21 HH07 JJ05 JJ29 JJ35 JJ37

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線遮蔽箱の内部に配置され、Ｘ線を発
   生するＸ線源と、 前記Ｘ線遮蔽箱の内部に配置され、被検体を載置するテ
   ーブルと、 前記Ｘ線遮蔽箱の内部に配置され、前記被検体を透過し
   た前記Ｘ線源からのＸ線を検出するＸ線検出器とを備
   え、 前記Ｘ線検出器により得られた前記被検体の透過データ
   に基づいて、当該被検体の透過像を作成するＸ線透視検
   査装置であって、 前記Ｘ線遮蔽箱は、 前記テーブル面にそれぞれ略直交しかつ互いに略直交す
   る２つの面にわたる連続した開口部と、 前記開口部を覆ってＸ線を遮蔽するように開閉自在に設
   けられたＸ線遮蔽扉と、 を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載のＸ線透視検査装置
   において、 前記Ｘ線遮蔽扉としては、上下方向スライド式、左右方
   向スライド式、あるいはドア開閉式のうちのいずれか一
   つの方式により、前記開口部を開放状態または閉じた状
   態とするようにしたことを特徴とするＸ線透視検査装
   置。