JP2003270572A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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Abstract
ることができ、安価で信頼性の高い光走査装置を得る。 【解決手段】 半導体レーザ12の光軸調整時に、fθ
レンズ24とシリンドリカルミラー30との間の光路内
で、感光体32の走査方向中央部32Aと等価な位置に
光量検出器50を配置し、この光量検出器50による出
力データに基づき、感光体32の走査方向中央部32A
で光量が最小となるように半導体レーザ12のX方向の
位置調整を行うことにより、半導体レーザ12の光軸を
感光体32の走査方向中央位置に一致させることがで
き、画像形成領域において均等な光量分布特性を得るこ
とができる。
Description
デジタル複写機などの画像記録装置に使用される光走査
装置に係り、詳しくは、回転多面鏡の反射面の走査方向
の幅よりも大きな光束が該反射面に入射するいわゆるオ
ーバーフィルド(OverFilled)タイプの光走
査装置に関する。
査する光走査装置では、回転多面鏡に向けて出射された
光ビームを回転多面鏡の一つの反射面の一部分のみに照
射して偏向走査するいわゆるアンダーフィルド光学系が
一般的に取り入れられている。
お、(A)は概略平面図を示し、(B)は概略側面図を
示している)、このアンダーフィルド光学系の光走査装
置では、半導体レーザ100から出射された光ビームが
コリメータレンズ102へ入射され、略中央部に矩形状
の開口が設けられた板状部材の開口部材104を通過す
る。
リンドリカルレンズ106によってビーム整形され、回
転多面鏡110の一つの反射面の一部によって反射さ
れ、fθレンズ108及びシリンドリカルミラー112
を経て、回転駆動するドラム状の記録媒体としての感光
体114の表面に潜像が形成される。
光学系では、回転多面鏡の反射面の走査方向の幅よりも
大きな光束を該反射面へ入射させる。このため、同一直
径の回転多面鏡において、アンダーフィルド光学系に比
して、反射面を多く設けることが可能となり、回転多面
鏡を比較的低い回転数で動作させることができ、駆動モ
ータを高速で回転させることによる振動、騒音、寿命等
の課題を解決することができる。
は、半導体レーザから出射された略ガウスビーム形状の
光束を、回転多面鏡の反射面が切り取るようにして使用
するため、回転多面鏡の走査角に応じて光量が変化し、
光量分布が不均一になることがある。
02号公報には、光束幅を規制する開口板の開口形状
を、走査方向(開口板の左右方向)中央部に比して、走
査方向両端部が大きくすることにより、走査方向両端部
の光量を増大させて、オーバーフィルド光学系における
光量分布を均一にする技術が開示されており、従来の単
純な矩形の開口形状と比べ、その効果は大きい。
光走査装置の製造時には、半導体レーザ自体の光軸のバ
ラツキ、各光学部品を載置する光学箱の精度の影響によ
り、光量分布の均一化を図るのは容易ではない。特に、
感光体上の走査方向の光量分布を均一化させるべく光量
分布を検出し、光軸調整を行う技術を採用する場合は問
題が生じる。
開示されているように、回転多面鏡による偏向後に複数
位置において検出された光量を基に光軸調整を行う場
合、走査方向に対応する方向の光軸調整は、感光体両端
部の光量に基づき光軸調整を行うため、感光体両端部に
相当する光量のバランスをとると、つまり、感光体両端
部において、光量出力差をなくすように調整しようとす
ると、図13に示すように、その差が0になる位置は数
カ所存在し、ポジションAに半導体レーザの光軸が調整
されなければならないにも拘らず、ポジションB、Cで
調整されてしまうことがある。
た場合、ポジションAで調整された場合に比して、感光
体両端部の外側の光量変化量が大きく、急激な光量低下
となってしまう。
つまり画像形成領域外の光を同期検出器へ導光し、同期
検知信号に同期して画像信号に基づき変調された光ビー
ムが半導体レーザから出射される。このため、該同期検
出器への光量が著しく低くなってしまうと、検出不良
や、同期信号の乱れによる、画質劣化につながる。
量分布の均一性を簡単に達成することができ、安価で信
頼性の高い光走査装置を提供することを目的とする。
は、光源から出射された光ビームは、偏向手段によって
偏向走査される。また、光源から出射された光ビーム
は、整形手段によって、偏向手段の走査方向の偏向面幅
を越える幅の光ビームに整形される。
開口部材が配置されており、この開口部材には光ビーム
が通過する開口部が形成されている。開口部は、走査方
向と直交する方向の長さを、走査方向中央部に比して走
査方向両端部を長くした形状にしている(以下、「ダン
ベル型」という)。
での走査方向中央部の光ビームの光量を最小としてい
る。いわゆるオーバーフィルド光学系において、整形手
段と光源との間の光路内に配設する開口部材に形成され
た開口部の形状をダンベル型とした場合、光源の光軸
が、被走査面(像面)上の走査方向中央位置と一致する
と、光軸上の光量、つまり走査方向中央位置の光量が、
走査方向中央部で最も小さい値となる。
又はその等価位置で光量が最小となるように光軸調整さ
れた光走査装置では、光源の光軸と被走査面上の走査方
向中央位置とが一致し、画像形成領域において均等な光
量分布特性を容易に得ることができる。
位置を基準に等間隔位置にある2カ所の光ビームの光量
を略均一にすると共に、該2カ所の光ビームの光量を、
走査方向中央部の光ビームの光量の所定比以上としてい
る。
において、光量が略均等となり最小となる位置を検出し
にくい場合もある。このため、走査方向中央部以外に走
査方向中央位置を基準に等間隔位置にある2ヶ所の光量
バランスをとる(光量を略均一にする)と共に、該2ヶ
所の光量を走査方向中央部の光ビームの光量の所定比以
上となるように光軸調整された光走査装置では、画像形
成領域はもちろんのこと、画像形成領域外の光量分布に
おいても急激な変化はなく、所定の光量を満足させるこ
とが可能となる。
過する開口部の形状を略矩形型にした光軸調整用開口部
材が、開口部材と交換可能に設けられている。
のプロファイル(通常ガウシアン分布)の影響を直接受
けるので、走査方向両端部(始点側及び終点側)の走査
方向中央部との光量比は、ほぼ直線的に変化し、始点側
と終点側との光量分布差がほぼ0になるのは、光源の光
軸と被走査面上の走査方向中央位置とが略一致した場合
のみである。
光軸調整用開口部材を、開口部と交換可能に設けること
で、光軸調整用開口部材を用いて光源の光軸を調整する
ことができ、光軸を被走査面上の走査方向中央位置に容
易に一致させることができる。そして、光軸調整後に、
ダンベル型の開口部が形成された開口部材に交換するこ
とで、走査方向の光量分布を均一にすることができる。
軸上に回転部材を回転可能に設けており、この回転部材
を回転させることで、光ビームが通過する開口部を走査
方向と直交する方向の長さを走査方向中央部に比して走
査方向両端部を長くした形状(ダンベル型)或いは略矩
形型の形状に変化させることができる。
部をとし、光軸調整後、ダンベル型の開口部に変化させ
ることで、光軸を被走査面上の走査方向中央位置に容易
に一致させることができると共に、走査方向の光量分布
を均一にすることができる。
部材回転させるだけで、開口部の形状を変化させること
ができるので、軸ずれを防止することができ、結果的
に、より均一な光量分布が得られ、安価で信頼性の高い
光走査装置を得ることができる。
係る光走査装置の概要を説明する。なお、感光体(後述
する)上に潜像が形成される方向を主走査方向とし、こ
の主走査方向に直交する方向を副走査方向とする。
査装置10には、半導体レーザ12が備えられており、
半導体レーザ12から出射された光ビームは、コリメー
タレンズ(図示省略)が内装された鏡筒14へ入射さ
れ、コリメータレンズによって略平行光束とされる。
成された開口部材16の略中央部に設けられた開口部1
8を通過して光束幅が規制され、シリンドリカルレンズ
20によって所定形状(副走査方向には集束し主走査方
向には長い)の線状光束とされる。線状光束された光ビ
ームは、折り曲げミラー22によって反射され、Fθレ
ンズ24を透過して光ビームの偏向手段としての回転多
面鏡26へ正面から入射される。
され、外周に複数の反射面28を備えており、Fθレン
ズ24等の光学部品によって、反射面28の走査方向の
幅よりも大きな幅の光束が整形され、反射面28の反射
面幅を越える幅の光ビームが反射面28へ入射される
(いわゆるオーバーフィルド光学系)。
ムは、回転多面鏡26で反射偏向された後、Fθレンズ
24を透過し、シリンドリカルミラー30によってfθ
レンズ24、回転多面鏡26の面倒れ補正が行われる
が、Fθレンズ24によって、光ビームは画像記録用の
感光材が塗布されたドラム状の感光体32の表面に光ス
ポットとして集光され結像されると共に、該光スポット
が感光体32の表面で等速移動し、これにより、感光体
32の走査方向で潜像が形成される。
れた光ビームと回転多面鏡26の反射面28により反射
された光ビームとが同一のfθレンズ24を通過するた
め、折り曲げミラー22により反射された光ビームは、
fθレンズ24の斜め上方から入射されるようにし、回
転多面鏡26の反射面28により反射された光ビーム
は、反射面28によって斜め下方へ反射されてfθレン
ズ24に入射されるように各光学部品を配設している。
査装置に用いられる光軸調整方法について説明する。
設けられた開口部18の形状は、開口部18のX方向
(主走査方向)両端部を、中央部に比してY方向(副走
査方向)に張り出させ、主走査方向両端部の幅を広くし
ている(以下、「ダンベル型」という。図2(B)及び
図2(C)についても同様)。
けられた開口部36の副走査方向中央部と両端部との段
差部分に傾斜部36Aを設けている。さらに、図2
(C)では、開口部材38に設けられた開口部39の副
走査方向中央部から両端部に架けて副走査方向の幅が徐
々に広くなるようにしている。
状を、走査方向中央部に比して、走査方向両端部が大き
くなるようにすることで、走査方向両端部の光量を増大
させて、オーバーフィルド光学系における光量分布を均
一にしている。
6は、開口部18の中心がシリンドリカルレンズ20等
の光学系部品の光軸と一致するように配設されており、
主走査方向(矢印X方向)及び副走査方向(矢印Y方
向)について半導体レーザ12の光軸調整を行う。
の光軸調整時にシリンドリカルミラー30の前に位置検
出器40を配置し、この位置検出器40によって出力さ
れたデータに基づいて半導体レーザ12の位置調整を行
う。
ザ12自体の光軸のバラツキ及び各光学部品を載置する
光学箱の精度が、被走査面である感光体32の走査方向
での光量分布のバラツキに大きく影響を及ぼしてしま
う。
分布を均一にするためには、位置検出器40による位置
調整だけでは不十分である。また、図13には半導体レ
ーザ12(光源)のX方向の位置と感光体32の走査方
向両端部(始点側及び終点側)の走査中央部との光量比
の関係が示されているが、感光体32の始点側と終点側
とで光量差が0になる位置は数カ所(ポジションA、
B、C)存在するため、感光体32の始点側と終点側と
で光量差が0になる位置に半導体レーザ12のX方向の
位置を合わせたとしても、半導体レーザ12の位置が必
ずしも理想位置(ポジションA)であるとは限らない。
の位置と感光体32の走査方向中央部との光量比の関係
が示されており、これによると、半導体レーザ12の光
軸が感光体32の走査中央位置と一致するとき、走査中
央位置の光量は、走査中央部の中で最も小さい値をと
る。
ザ12の光軸調整時に、fθレンズ24とシリンドリカ
ルミラー30との間の光路内で、感光体32の走査方向
中央部32Aと等価な位置に光量検出器50を配置し、
この光量検出器50による出力データに基づき、感光体
32の走査方向中央部32Aで光量が最小となるように
半導体レーザ12のX方向の位置調整を行うことによ
り、半導体レーザ12の光軸を感光体32の走査方向中
央位置に一致させることができ、画像形成領域において
均等な光量分布特性を得ることができる。これは、開口
部の形状を図2(A)或いは図2(B)とした場合、顕
著に現れる。
ンズ24とシリンドリカルミラー30との間の光路内に
配置し、fθレンズ24とシリンドリカルミラー30と
の間の光路内の光量を検出したが、感光体32上の光量
を直接検出するようにしても良い。
調整時に光量検出器50をfθレンズ24とシリンドリ
カルミラー30との間の光路内に配置したが、このよう
に、光走査装置10の製造時のみに使用する時はもちろ
んのこと、光走査装置10内に光量検出器50を配設し
た状態のまま取り外すことなく、図示しない画像形成装
置に組み込んでも良い。
示しない駆動装置を設け、fθレンズ24とシリンドリ
カルミラー30との間の光路内にスプリッタ(図示省
略)を配設して、入射された光ビームを光路に沿って透
過する方向と光路外へ反射する方向とに分けるようにす
る。一方、光量検出器50は光路外に配設し、スプリッ
タによって反射された光ビームが入射するようにする。
以上のような構成により、光量検出器50による出力デ
ータに応じて、駆動装置を駆動させ、半導体レーザ12
の光軸をリアルタイムで調整するようにしても良い。
走査装置に用いられる光軸調整方法の他の例について説
明する。
ンドリカルミラー30との間の光路内に、感光体32の
走査方向中央部32A及び走査方向中央部32Aを基準
に等間隔位置にある2点32B、32Cと等価な位置に
光量検出器50、52、54をそれぞれ配置している。
査方向中央部において、光量が略均等となり最小となる
位置を検出しにくい場合もある。このため、走査方向中
央部以外に走査方向中央部を基準に等間隔位置にある2
ヶ所の光量バランスをとる(光量を略均一にする)。
定比以上になるように、光軸を調整する。これにより、
画像形成領域はもちろんのこと、画像形成領域外の光量
分布においても急激な変化はなく、所定の光量を満足さ
せることが可能となる。
18の形状が図2(A)の場合であるが、走査中央光量
と比較して95%以上という条件を設定することで、理
想の光軸に調整することができる。この所定比は、開口
部の形状によって異なるので、開口部の形状を図2
(B)或いは図2(C)を使用する場合は、別途所定比
を設定する必要がある。
査装置について説明する。なお、第1の実施形態に係る
光走査装置と略同一の内容については説明を割愛する。
の開口部39が形成された開口部材38と、略矩形型の
開口部44が形成された光軸調整用開口部材42と、を
用い、図示しないホルダーによって保持可能とする。そ
して、光軸調整時には光軸調整用開口部材42を用い、
光軸調整後、開口部材38に交換する。
の場合、光源自体のプロファイル(通常ガウシアン分
布)の影響を直接受けるので、図8に示すように、半導
体レーザ12(光源)の光軸と感光体32の走査方向両
端部(始点側及び終点側)の走査方向中央部との光量比
は、ほぼ直線的に変化し、始点側と終点側との光量分布
差がほぼ0になるのは、半導体レーザ12の光軸と感光
体32上の走査方向中央位置とが略一致した場合のみで
ある。
形型の開口部44の場合は、走査方向両端部の光量分布
差の出力が、半導体レーザ12の位置に対して大きく変
動するため、光量検出器50(図4参照)において、多
少の測定誤差が生じても、半導体レーザ12の光軸調整
に影響を及ぼすことはない。
れた光軸調整用開口部材42を用いて光軸調整を行うこ
とで、光軸を感光体32上の走査方向中央位置に容易に
一致させることができる。そして、光軸調整後に、ダン
ベル型の開口部39が形成された開口部材38に交換す
ることで、走査方向の光量分布を均一にすることができ
る。
て図2(C)に示す形状としたが、ダンベル型の開口部
であれば良いため、これに限るものではなく、図2
(A)或いは図2(C)の形状であっても良い。
に光軸調整用開口部材42を用いて半導体レーザ12の
光軸調整を行い、調整後、光軸調整用開口部材42を取
り除き、開口部材38に交換するようにしたが、光走査
装置10を画像形成装置(図示省略)に組み込んだ状態
で光軸調整を行うような構成としても良い。
部材38を走査方向に対して平行に配置するホルダーを
設け、このホルダーに往復駆動装置(図示省略)を配設
し、走査方向に対して平行に移動させるようにする。ホ
ルダーを往復移動させ、半導体レーザ12の光路上に光
軸調整用開口部材42或いは開口部材38を配置する。
これにより、光走査装置10を画像形成装置に組み込ん
だ状態で光軸調整を行うことができる。
査装置の他の例について説明する。
内装された鏡筒56が示されている。鏡筒56の出射側
には底部56Aが設けられており、この底部56Aには
ダンベル型の開口部58が形成されている。
(B)に示す円筒状の蓋体60(回転部材)が嵌め込み
可能となっており、鏡筒56の同軸上を回転可能となっ
ている。蓋体60には略十字状の開口部64が形成され
ており、この開口部64の左右方向(走査方向)は開口
部58と同一形状となるようにし、開口部64の上下方
向(副走査方向)は略矩形状となるようにしている。
部56A側に蓋体60を嵌め込み、開口部58と開口部
64とを重ね合わせた状態にする。開口部58及び開口
部64の開口部分が一致する領域が開口部となるため、
図10(B)に示すように、開口部58と開口部64と
を重ね合わせて形成された開口部66は開口部58と一
致する。また、この状態から図11(A)に示すよう
に、蓋体60を90度回転させると、図11(B)に示
すように略矩形型の開口部68に変化する。
11(B)に示すように、略矩形型の開口部68とし、
光軸調整後は、蓋体60を90度回転させて、図10
(B)に示すようにダンベル型の開口部66に変化させ
ることで、半導体レーザ12の光軸を感光体32上の走
査方向中央位置に容易に一致させることができると共
に、走査方向の光量分布を均一にすることができる。
の同軸上に設けられた蓋体60を回転させるだけで、開
口部66(図10(B)参照)或いは開口部68(図1
1(B)参照)の形状に変化させることができるので、
軸ずれを防止することができ、結果的に、より均一な光
量分布が得られ、安価で信頼性の高い光走査装置を得る
ことができる。
に記載の発明では、被走査面上の走査方向中央部又はそ
の等価位置で光量が最小となるように光軸調整された光
走査装置では、光源の光軸と被走査面上の走査方向中央
位置とが一致し、画像形成領域において均等な光量分布
特性を容易に得ることができる。
はもちろんのこと、画像形成領域外の光量分布において
も急激な変化はなく、所定の光量を満足させることが可
能となる。
口部が形成された光軸調整用開口部材を、開口部と交換
可能に設けることで、光軸調整用開口部材を用いて光源
の光軸を調整することができ、光軸を被走査面上の走査
方向中央位置に容易に一致させることができる。そし
て、光軸調整後に、ダンベル型の開口部が形成された開
口部材に交換することで、走査方向の光量分布を均一に
することができる。
略矩形型の開口部とし、光軸調整後、ダンベル型の開口
部に変化させることで、光軸を被走査面上の走査方向中
央位置に容易に一致させることができると共に、走査方
向の光量分布を均一にすることができる。また、開口部
材の同軸上に設けられた回転部材回転させるだけで、開
口部の形状を変化させることができるので、軸ずれを防
止することができ、結果的に、より均一な光量分布が得
られ、安価で信頼性の高い光走査装置を得ることができ
る。
導体レーザのY方向の調整方法を示す斜視図である。
の部分断面図であり、開口部材に形成された開口部の形
状を示している。
示すグラフである。
導体レーザのX方向の調整方法を示す斜視図である。
導体レーザのX方向の調整方法の他の例を示す斜視図で
ある。
図である。
口部の形状を示している。
走査方向両端部の走査方向中央部との光量比との関係を
示すグラフである。
示す説明図であり、(A)は鏡筒の断面図及び右側面図
を示し、(B)は鏡筒に嵌め込む蓋体の断面図及び右側
面図を示している。
図を示す図であり、(B)は、(A)によって形成され
た開口部の形状を示している。
図を示す図であり、(B)は、(A)によって形成され
た開口部の形状を示している。
示す説明図であり、(A)は平面図を示し、(B)は側
面図を示している。
央部との光量比との関係を示すグラフである。
Claims (4)
- 【請求項1】 光ビームを出射する光源と、 前記光源からの光ビームを偏向走査する偏向手段と、 前記光源から出射された光ビームを、前記偏向手段の走
査方向の偏向面幅を越える幅の光ビームに整形する整形
手段と、 前記光源と前記偏向手段との間の光路内に配置されると
共に、光ビームが通過する開口部の走査方向と直交する
方向の長さを、走査方向中央部に比して走査方向両端部
を長くした開口部材と、 を備え、 被走査面又は前記偏向手段以降の光路での走査方向中央
部の光ビームの光量が最小であることを特徴とする光走
査装置。 - 【請求項2】 前記走査方向中央位置を基準に等間隔位
置にある2カ所の光ビームの光量が略均一であると共
に、前記2カ所の光ビームの光量が、走査方向中央部の
光ビームの光量の所定比以上であることを特徴とする請
求項1に記載の光走査装置。 - 【請求項3】 光ビームを出射する光源と、 前記光源からの光ビームを偏向走査する偏向手段と、 前記光源から出射された光ビームを、前記偏向手段の走
査方向の偏向面幅を越える幅の光ビームに整形する整形
手段と、 前記光源と前記偏向手段との間の光路内に配置されると
共に、光ビームが通過する開口部の走査方向と直交する
方向の長さを、走査方向中央部に比して走査方向両端部
を長くした開口部材と、 前記開口部材と交換可能に設けられ、光ビームが通過す
る開口部の形状を略矩形型にした光軸調整用開口部材
と、 を有することを特徴とする光走査装置。 - 【請求項4】 光ビームを出射する光源と、 前記光源からの光ビームを偏向走査する偏向手段と、 前記光源から出射された光ビームを、前記偏向手段の走
査方向の偏向面幅を越える幅の光ビームに整形する整形
手段と、 前記光源と前記偏向手段との間の光路内に配置されると
共に、光ビームが通過する開口部の走査方向と直交する
方向の長さを、走査方向中央部に比して走査方向両端部
を長くした開口部材と、 前記開口部材の同軸上に回転可能に設けられ、光ビーム
が通過する開口部を走査方向と直交する方向の長さを走
査方向中央部に比して走査方向両端部を長くした形状或
いは略矩形型の形状に変化させる回転部材と、 を有することを特徴とする光走査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002072586A JP2003270572A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 光走査装置 |
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JP2002072586A JP2003270572A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 光走査装置 |
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---|---|
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Family
ID=29202542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002072586A Pending JP2003270572A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 光走査装置 |
Country Status (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010250336A (ja) * | 2010-06-04 | 2010-11-04 | Toshiba Corp | 光走査装置 |
CN102200716A (zh) * | 2010-03-25 | 2011-09-28 | 富士施乐株式会社 | 曝光装置及图像形成装置 |
WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
JP2016177251A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-10-06 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置および描画装置 |
-
2002
- 2002-03-15 JP JP2002072586A patent/JP2003270572A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102200716A (zh) * | 2010-03-25 | 2011-09-28 | 富士施乐株式会社 | 曝光装置及图像形成装置 |
JP2010250336A (ja) * | 2010-06-04 | 2010-11-04 | Toshiba Corp | 光走査装置 |
WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
CN107430272A (zh) * | 2015-03-20 | 2017-12-01 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置、光束扫描方法、及描绘装置 |
TWI691799B (zh) * | 2015-03-20 | 2020-04-21 | 日商尼康股份有限公司 | 光束掃描裝置及描繪裝置 |
JP2016177251A (ja) * | 2015-09-11 | 2016-10-06 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置および描画装置 |
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