JP4134297B2 - マルチビーム走査装置 - Google Patents
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Description
140 第1レンズ群
154Y、154M、154C、154K 調整ミラー
160Y、160M、160C、160K 第2レンズ群
170 2等辺牽引リンク
Claims (9)
- 複数の発光素子から射出される複数の光ビームを、偏向器を用いて偏向させて結像光学系を介して複数の被走査面の各々で同時に走査させるマルチビーム走査装置において、
前記結像光学系は、前記偏向器に偏向された前記複数の光ビームの全てが入射する第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系を通過した前記複数の光ビームの各々の光路を偏向する回動自在に支持された複数の光路偏向手段と、
前記複数の光路偏向手段の各々に偏向された前記複数の光ビームの各々が入射する複数の第2の結像光学系と、を備え、
さらに、前記複数の光路偏向手段の各々と、前記複数の光路偏向手段に対応する前記複数の第2の結像光学系の各々と、を連動させる複数の連動手段を備えていること、を特徴とするマルチビーム走査装置。 - 前記複数の連動手段の各々は、前記複数の光路偏向手段の各々と、前記対応する前記複数の第2の結像光学系の各々と、の距離を一定に保つように、前記複数の光路偏向手段の各々と、前記対応する前記複数の第2の結像光学系の各々と、を連動させること、を特徴とする請求項1に記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数の連動手段の各々は、前記複数の光路偏向手段の各々の回動に伴って、前記対応する前記第2の結像光学系が移動するように、前記複数の光路偏向手段の各々と、前記対応する前記複数の第2の結像光学系の各々と、を連結しているレバー部を各々有していること、を特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数のレバー部の各々は、前記第2の結像光学系の各々が、前記第2の結像光学系の各々に対応する前記複数の光路偏向手段の各々を中心に、前記対応する前記複数の光路偏向手段の回動の角度の2倍の角度を回動するよう形成されていること、を特徴とする請求項3に記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数の連動手段の各々は、前記複数の光路偏向手段の各々における前記複数の光ビームの各々の偏向点と、前記複数の光路偏向手段の各々の回動中心と、前記対応する前記複数の第2の結像光学系の各々の回動中心と、が一致するよう形成されていること、を特徴とする請求項4に記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数の被走査面の各々で形成されるスポット形状を規定する複数の開口部の各々と、前記複数の開口部の各々に対応する前記複数の第2の結像光学系の各々と、を相対的に移動しない状態で配置していること、を特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数の第2の結像光学系の各々は、前記光ビームの入射面に凹部を有し、
前記複数の開口部の各々は、前記複数の第2の結像光学系の各々の前記凹部に嵌合していること、を特徴とする請求項6に記載のマルチビーム走査装置。 - 前記第1の結像光学系はfθレンズであること、を特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載のマルチビーム走査装置。
- 前記複数の第2の結像光学系の各々は、前記光ビームを副走査方向に収束させるパワーを有する光学系であること、を特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載のマルチビーム走査装置。
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