JP2003270163A - 検査方法および装置 - Google Patents
検査方法および装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】撮像条件や照明条件の最適設定について、未熟
なオペレータであっても適正に行なうことが容易であ
り、負荷が極めて小さい検査方法および装置を提供す
る。 【解決手段】撮像条件と照明条件を変化させて条件設定
用物品を撮像して得た複数の撮像画像に基づいて評価値
を最適化する撮像条件と照明条件を演算し、その演算さ
れた撮像条件と照明条件において検査対象物品の検査を
行なうようにした検査方法およびその方法を適用した装
置。
なオペレータであっても適正に行なうことが容易であ
り、負荷が極めて小さい検査方法および装置を提供す
る。 【解決手段】撮像条件と照明条件を変化させて条件設定
用物品を撮像して得た複数の撮像画像に基づいて評価値
を最適化する撮像条件と照明条件を演算し、その演算さ
れた撮像条件と照明条件において検査対象物品の検査を
行なうようにした検査方法およびその方法を適用した装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は物品を撮像して得た
画像に基づいて欠陥を検出する技術分野に属する。特
に、欠陥部分とそれ以外の部分との画像における差異が
明確となるように、検出すべき欠陥や検査対象の物品に
応じて撮像条件と照明条件を最適化した上で検査を実施
する検査方法および装置に関する。
画像に基づいて欠陥を検出する技術分野に属する。特
に、欠陥部分とそれ以外の部分との画像における差異が
明確となるように、検出すべき欠陥や検査対象の物品に
応じて撮像条件と照明条件を最適化した上で検査を実施
する検査方法および装置に関する。
【０００２】
【従来技術】物品を撮像して得た画像に基づいて欠陥を
検出する検査装置が多数存在する。この種の検査装置に
おいては、データ処理部への入力画像の良し悪しが、検
査性能の良し悪しに直接的に影響する。物品に存在する
欠陥の映像が入力画像にも存在していなければ、どんな
に優れたデータ処理を適用しても欠陥を抽出することが
できない。反対に、入力画像において欠陥部分とそれ以
外の部分との差異が明確であれば、容易に検査性能を高
めることができる。
検出する検査装置が多数存在する。この種の検査装置に
おいては、データ処理部への入力画像の良し悪しが、検
査性能の良し悪しに直接的に影響する。物品に存在する
欠陥の映像が入力画像にも存在していなければ、どんな
に優れたデータ処理を適用しても欠陥を抽出することが
できない。反対に、入力画像において欠陥部分とそれ以
外の部分との差異が明確であれば、容易に検査性能を高
めることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の検査
装置においては、その撮像条件や照明条件の最適設定
は、極めて複雑かつ高度の作業である。たとえば、最適
条件をテーブルテスト等で見出しておき、検査の前に検
査装置を設定してその最適条件に合致させる必要性があ
る。また、検出したい欠陥の種類や検査対象の物品が変
われば、そのような最適設定の作業をその度にやり直す
必要性がある。このような作業は、熟練したオペレータ
であっても適正に行なうことが困難であり、負荷が極め
て大きい。
装置においては、その撮像条件や照明条件の最適設定
は、極めて複雑かつ高度の作業である。たとえば、最適
条件をテーブルテスト等で見出しておき、検査の前に検
査装置を設定してその最適条件に合致させる必要性があ
る。また、検出したい欠陥の種類や検査対象の物品が変
われば、そのような最適設定の作業をその度にやり直す
必要性がある。このような作業は、熟練したオペレータ
であっても適正に行なうことが困難であり、負荷が極め
て大きい。
【０００４】本発明は上記の問題を解決するためになさ
れたものである。その目的は、撮像条件や照明条件の最
適設定について、未熟なオペレータであっても適正に行
なうことが容易であり、負荷が極めて小さい検査方法お
よび装置を提供することにある。
れたものである。その目的は、撮像条件や照明条件の最
適設定について、未熟なオペレータであっても適正に行
なうことが容易であり、負荷が極めて小さい検査方法お
よび装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題は下記の本発明
によって解決される。すなわち、本発明の請求項１に係
る検査方法は、撮像条件と照明条件を変化させて条件設
定用物品を撮像して得た複数の撮像画像に基づいて評価
値を最適化する撮像条件と照明条件を演算し、その演算
された撮像条件と照明条件において検査対象物品の検査
を行なうようにしたものである。
によって解決される。すなわち、本発明の請求項１に係
る検査方法は、撮像条件と照明条件を変化させて条件設
定用物品を撮像して得た複数の撮像画像に基づいて評価
値を最適化する撮像条件と照明条件を演算し、その演算
された撮像条件と照明条件において検査対象物品の検査
を行なうようにしたものである。
【０００６】本発明によれば、撮像条件と照明条件を変
化させた複数の撮像画像から最適な撮像条件と照明条件
が演算され、その条件で検査が行なわれる。したがっ
て、撮像条件や照明条件の最適設定について、未熟なオ
ペレータであっても適正に行なうことが容易であり、負
荷が極めて小さい検査方法が提供される。
化させた複数の撮像画像から最適な撮像条件と照明条件
が演算され、その条件で検査が行なわれる。したがっ
て、撮像条件や照明条件の最適設定について、未熟なオ
ペレータであっても適正に行なうことが容易であり、負
荷が極めて小さい検査方法が提供される。
【０００７】また本発明の請求項２に係る検査方法は、
請求項１に係る検査方法において、前記撮像条件は撮像
角度であり、前記照明条件は照明角度であるようにした
ものである。本発明によれば、撮像角度と照明角度が最
適設定される。
請求項１に係る検査方法において、前記撮像条件は撮像
角度であり、前記照明条件は照明角度であるようにした
ものである。本発明によれば、撮像角度と照明角度が最
適設定される。
【０００８】また本発明の請求項３に係る検査方法は、
請求項１または２に係る検査方法において、前記条件設
定用物品は検査基準物品であるようにしたものである。
本発明によれば、検査基準物品の最適な入力画像が得ら
れる。したがって、検査基準物品との相異が正確に検査
される。
請求項１または２に係る検査方法において、前記条件設
定用物品は検査基準物品であるようにしたものである。
本発明によれば、検査基準物品の最適な入力画像が得ら
れる。したがって、検査基準物品との相異が正確に検査
される。
【０００９】また本発明の請求項４に係る検査方法は、
請求項１または２に係る検査方法において、前記条件設
定用物品は検査する欠陥を含む不良物品であるようにし
たものである。本発明によれば、欠陥の陰影が明瞭な入
力画像が得られる。したがって、欠陥の有無が正確に検
査される。
請求項１または２に係る検査方法において、前記条件設
定用物品は検査する欠陥を含む不良物品であるようにし
たものである。本発明によれば、欠陥の陰影が明瞭な入
力画像が得られる。したがって、欠陥の有無が正確に検
査される。
【００１０】また本発明の請求項５に係る検査方法は、
請求項１〜３のいずれかに係る検査方法において、前記
演算に探索法を適用するようにしたものである。本発明
によれば小さい負荷で高い精度の演算が行なわれる。
請求項１〜３のいずれかに係る検査方法において、前記
演算に探索法を適用するようにしたものである。本発明
によれば小さい負荷で高い精度の演算が行なわれる。
【００１１】また本発明の請求項６に係る検査装置は、
撮像角度を調節する撮像角度調節手段と、照明角度を調
節する照明角度調節手段と、前記撮像角度調節手段と前
記照明角度調節手段を制御する制御手段と、複数の撮像
角度および複数の照明角度において調節用物品を撮像し
て得た撮像画像を記憶する記憶手段と、前記記憶手段が
記憶する複数の撮像画像に基づいて評価値を最適化する
撮像角度と照明角度を演算する最適角度演算手段とを具
備し、前記演算された撮像角度と照明角度において検査
対象物品の検査を行なうようにしたものである。
撮像角度を調節する撮像角度調節手段と、照明角度を調
節する照明角度調節手段と、前記撮像角度調節手段と前
記照明角度調節手段を制御する制御手段と、複数の撮像
角度および複数の照明角度において調節用物品を撮像し
て得た撮像画像を記憶する記憶手段と、前記記憶手段が
記憶する複数の撮像画像に基づいて評価値を最適化する
撮像角度と照明角度を演算する最適角度演算手段とを具
備し、前記演算された撮像角度と照明角度において検査
対象物品の検査を行なうようにしたものである。
【００１２】本発明によれば、撮像角度調節手段、照明
角度調節手段、制御手段、記憶手段と、最適角度演算手
段とを具備することにより、撮像条件と照明条件を自動
で変化させた複数の撮像画像から最適な撮像条件と照明
条件が演算され、その条件で検査が行なわれる。したが
って、撮像条件や照明条件の最適設定について、未熟な
オペレータであっても適正に行なうことが容易であり、
負荷が極めて小さい検査装置が提供される。
角度調節手段、制御手段、記憶手段と、最適角度演算手
段とを具備することにより、撮像条件と照明条件を自動
で変化させた複数の撮像画像から最適な撮像条件と照明
条件が演算され、その条件で検査が行なわれる。したが
って、撮像条件や照明条件の最適設定について、未熟な
オペレータであっても適正に行なうことが容易であり、
負荷が極めて小さい検査装置が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明について実施の形態
を説明する。本発明の検査方法および装置においては、
検査を開始する前に撮像条件と照明条件を最適設定す
る。その最適設定は、特定の条件下における撮像画像
について所定の評価値を演算する過程と、その過程を
条件を変えて繰り返して得られる複数の条件と評価値を
組とするデータを得る過程と、そのデータに基づいて
評価値を最適化する撮像条件と照明条件を演算する過程
とが含まれている。
を説明する。本発明の検査方法および装置においては、
検査を開始する前に撮像条件と照明条件を最適設定す
る。その最適設定は、特定の条件下における撮像画像
について所定の評価値を演算する過程と、その過程を
条件を変えて繰り返して得られる複数の条件と評価値を
組とするデータを得る過程と、そのデータに基づいて
評価値を最適化する撮像条件と照明条件を演算する過程
とが含まれている。
【００１４】上述の過程について、図１と図２を参照し
て説明する。図１は本発明の検査装置における基本的な
構成を示す説明図である。図２は本発明の検査方法およ
び装置における基本的な過程を示すフロー図である。図
１において、１はカメラ、２は照明、３はデータ処理
部、４は操作表示部、５はカメラ支柱、６は照明支柱、
７ａ，７ｂは角度センサ、８はステージ、１００は条件
設定用物品である。
て説明する。図１は本発明の検査装置における基本的な
構成を示す説明図である。図２は本発明の検査方法およ
び装置における基本的な過程を示すフロー図である。図
１において、１はカメラ、２は照明、３はデータ処理
部、４は操作表示部、５はカメラ支柱、６は照明支柱、
７ａ，７ｂは角度センサ、８はステージ、１００は条件
設定用物品である。
【００１５】図１に示すように、カメラ支柱５は、ステ
ージ８におけるカメラ支柱５の支軸回りに角度可変に支
持され、そのカメラ支柱５の先端付近にカメラ１が固定
支持されている。すなわち、カメラ１の撮像方向はステ
ージ８の表面に対して角度可変に構成されている。ステ
ージ８の表面は条件設定用物品１００を載置する。した
がって、カメラ１による条件設定用物品１００の撮像角
度は所定の角度に設定することができる。
ージ８におけるカメラ支柱５の支軸回りに角度可変に支
持され、そのカメラ支柱５の先端付近にカメラ１が固定
支持されている。すなわち、カメラ１の撮像方向はステ
ージ８の表面に対して角度可変に構成されている。ステ
ージ８の表面は条件設定用物品１００を載置する。した
がって、カメラ１による条件設定用物品１００の撮像角
度は所定の角度に設定することができる。
【００１６】同様に、照明支柱６は、ステージ８におけ
る照明支柱６の支軸回りに角度可変に支持され、その照
明支柱６の先端付近に照明２が固定支持されている。す
なわち、照明２の照明方向はステージ８の表面に対して
角度可変に構成されている。ステージ８の表面は条件設
定用物品１００を載置する。したがって、照明２による
照明角度は所定の角度に設定することができる。
る照明支柱６の支軸回りに角度可変に支持され、その照
明支柱６の先端付近に照明２が固定支持されている。す
なわち、照明２の照明方向はステージ８の表面に対して
角度可変に構成されている。ステージ８の表面は条件設
定用物品１００を載置する。したがって、照明２による
照明角度は所定の角度に設定することができる。
【００１７】カメラ支柱５および照明支柱６の各々の支
軸には各々の角度センサ（図示せず）が取付けられてお
り、各々の角度センサ７ａ，７ｂが出力する角度、すな
わち撮像角度と照明角度はデータ処理部３によって入力
が行なわれる。また、カメラ１が出力する撮像信号もデ
ータ処理部３によって入力が行なわれ、そこの入口でＡ
／Ｄ（digital-to-analog）変換が行なわれた後に、デ
ータ処理部３の画像メモリ（図示せず）に記憶が行なわ
れる。
軸には各々の角度センサ（図示せず）が取付けられてお
り、各々の角度センサ７ａ，７ｂが出力する角度、すな
わち撮像角度と照明角度はデータ処理部３によって入力
が行なわれる。また、カメラ１が出力する撮像信号もデ
ータ処理部３によって入力が行なわれ、そこの入口でＡ
／Ｄ（digital-to-analog）変換が行なわれた後に、デ
ータ処理部３の画像メモリ（図示せず）に記憶が行なわ
れる。
【００１８】データ処理部３は、撮像角度、照明角度、
撮像画像を入力し、撮像条件と照明条件を演算する。デ
ータ処理部３は、パーソナルコンピュータ等のデータ処
理装置のハードウェアとソフトウェアによって実現する
ことができる。操作表示部４は、検査装置の操作表示部
であるが、パーソナルコンピュータのキーボード、マウ
ス、ディスプレイを適用することができる。
撮像画像を入力し、撮像条件と照明条件を演算する。デ
ータ処理部３は、パーソナルコンピュータ等のデータ処
理装置のハードウェアとソフトウェアによって実現する
ことができる。操作表示部４は、検査装置の操作表示部
であるが、パーソナルコンピュータのキーボード、マウ
ス、ディスプレイを適用することができる。
【００１９】条件設定用物品１００は、検査基準物品ま
たは検査する欠陥を含む不良物品である。検査基準物品
を条件設定用物品１００とすれば、検査基準物品の最適
な入力画像を得ることができ、検査対象物品と検査基準
物品との相異を正確に検査することができる。検査する
べき欠陥を含む不良物品条件設定用物品１００とすれ
ば、欠陥の陰影が明瞭な入力画像を得ることができ、欠
陥の有無を正確に検査することができる。
たは検査する欠陥を含む不良物品である。検査基準物品
を条件設定用物品１００とすれば、検査基準物品の最適
な入力画像を得ることができ、検査対象物品と検査基準
物品との相異を正確に検査することができる。検査する
べき欠陥を含む不良物品条件設定用物品１００とすれ
ば、欠陥の陰影が明瞭な入力画像を得ることができ、欠
陥の有無を正確に検査することができる。
【００２０】ここで、検査対象物品としては、たとえ
ば、ホログラム、アルミ蒸着紙、エンボス加工紙、マー
クが記録された印刷物、画線部が形成されたオフセット
印刷版、レジスト膜を有する金属板、等である。それら
の検査対象は、マークや文字数字の識別、外観に現れる
欠陥の検査、等のために画像入力が行なわれる。
ば、ホログラム、アルミ蒸着紙、エンボス加工紙、マー
クが記録された印刷物、画線部が形成されたオフセット
印刷版、レジスト膜を有する金属板、等である。それら
の検査対象は、マークや文字数字の識別、外観に現れる
欠陥の検査、等のために画像入力が行なわれる。
【００２１】上述の図１に示す構成において、次に、本
発明の検査装置の動作について図２を参照して説明す
る。まず図１のステップＳ１において、条件設定用物品
１００をステージ８に載置する。次に、ステップＳ２に
おいて、最適条件判定処理を行なう。ここで判定処理す
る最適条件とは、その一例としてのカメラ１の撮像角度
と照明２の照明角度である。次に、ステップＳ３におい
て、カメラ１と照明２を最適条件（撮像角度と照明角
度）に設定する。次に、ステップＳ４において、検査を
開始する。
発明の検査装置の動作について図２を参照して説明す
る。まず図１のステップＳ１において、条件設定用物品
１００をステージ８に載置する。次に、ステップＳ２に
おいて、最適条件判定処理を行なう。ここで判定処理す
る最適条件とは、その一例としてのカメラ１の撮像角度
と照明２の照明角度である。次に、ステップＳ３におい
て、カメラ１と照明２を最適条件（撮像角度と照明角
度）に設定する。次に、ステップＳ４において、検査を
開始する。
【００２２】上述のステップＳ２の最適条件判定処理
は、図２に示すように、詳細なステップＳ２１〜２４か
ら成る。そのステップについて説明する。ステップＳ２
１（画像入力）において、操作表示部４においてオペレ
ータは撮像指示入力を行なうと、その条件において条件
設定用物品１００が撮像が行なわれる。その撮像におけ
る撮像画像、撮像角度、照明角度はデータ処理部３に記
憶される。
は、図２に示すように、詳細なステップＳ２１〜２４か
ら成る。そのステップについて説明する。ステップＳ２
１（画像入力）において、操作表示部４においてオペレ
ータは撮像指示入力を行なうと、その条件において条件
設定用物品１００が撮像が行なわれる。その撮像におけ
る撮像画像、撮像角度、照明角度はデータ処理部３に記
憶される。
【００２３】次に、ステップＳ２２（欠陥および地合部
信号抽出）において、データ処理部３において撮像画像
における欠陥の信号レベル（欠陥部分の画素値）と、地
合部分の信号レベル（地合部分の画素値）を抽出する。
たとえば、操作表示部４に表示された撮像画像におい
て、オペレータは欠陥部分および地合部分を指示しその
部分の画素値の入力を指示する。データ処理部３は、欠
陥部分と地合部分の画素値に基づいて評価値を演算す
る。評価値は、たとえば、欠陥部分と地合部分の画素値
の差異、比率とする。データ処理部３は、その評価値と
撮像角度と照明角度を組とするデータを記憶する。
信号抽出）において、データ処理部３において撮像画像
における欠陥の信号レベル（欠陥部分の画素値）と、地
合部分の信号レベル（地合部分の画素値）を抽出する。
たとえば、操作表示部４に表示された撮像画像におい
て、オペレータは欠陥部分および地合部分を指示しその
部分の画素値の入力を指示する。データ処理部３は、欠
陥部分と地合部分の画素値に基づいて評価値を演算す
る。評価値は、たとえば、欠陥部分と地合部分の画素値
の差異、比率とする。データ処理部３は、その評価値と
撮像角度と照明角度を組とするデータを記憶する。
【００２４】次に、ステップＳ２３（カメラ・照明条件
変更）において、オペレータはカメラ支柱５を調節して
カメラ１を所定の撮像角度に変更する。また、照明支柱
６を調節して照明２を所定の照明角度に変更する。上述
の、ステップＳ２１〜Ｓ２３を繰返し行なう。
変更）において、オペレータはカメラ支柱５を調節して
カメラ１を所定の撮像角度に変更する。また、照明支柱
６を調節して照明２を所定の照明角度に変更する。上述
の、ステップＳ２１〜Ｓ２３を繰返し行なう。
【００２５】次に、ステップＳ２４（カメラ・照明最適
条件演算）において、データ処理部３は、記憶されてい
る評価値と撮像角度と照明角度を組とする複数のデータ
に基づいて評価値を最適化する撮像角度と照明角度を演
算する。
条件演算）において、データ処理部３は、記憶されてい
る評価値と撮像角度と照明角度を組とする複数のデータ
に基づいて評価値を最適化する撮像角度と照明角度を演
算する。
【００２６】複数のデータは、ｘ軸を撮像角度、ｙ軸を
照明角度、ｚ軸を評価値とする空間における複数の点と
して表すことができる。仮にすべてのデータを集計でき
たとすると、そのデータによって、ｘｙｚ空間における
曲面、すなわちｚ＝ｆ（ｘ，ｙ）が形成されるはずであ
る。そして複数の点は、その曲面に含まれる点である。
したがって、複数の点から、周知の補間法を適用する等
によりその曲面を演算または想定することができる。そ
して、その曲面における評価値ｚの最大値（または極大
値）を与える撮像角度ｘと照明角度ｙを演算することが
できる。これにより、評価値を最適化する撮像角度と照
明角度が得られる。
照明角度、ｚ軸を評価値とする空間における複数の点と
して表すことができる。仮にすべてのデータを集計でき
たとすると、そのデータによって、ｘｙｚ空間における
曲面、すなわちｚ＝ｆ（ｘ，ｙ）が形成されるはずであ
る。そして複数の点は、その曲面に含まれる点である。
したがって、複数の点から、周知の補間法を適用する等
によりその曲面を演算または想定することができる。そ
して、その曲面における評価値ｚの最大値（または極大
値）を与える撮像角度ｘと照明角度ｙを演算することが
できる。これにより、評価値を最適化する撮像角度と照
明角度が得られる。
【００２７】以上、図１に示す構成および図２に示すフ
ロー図に基づいて、オペレータが手動で撮像角度、照明
角度を設定し、複数のデータを収集してから評価値を最
適化する撮像角度と照明角度を演算する方式について説
明した。次に、自動で撮像角度、照明角度を設定し、デ
ータを収集しながら評価値を最適化する撮像角度と照明
角度を探索し漸近して行く方式について、図３、図４を
参照して説明する。図３は本発明の検査装置における構
成の一例を示す説明図である。図４は本発明の検査方法
および装置における過程の一例を示すフロー図である。
図３において、２１はカメラ、２２は照明、２３はデー
タ処理部、２４は操作表示部、２５はカメラ支柱、２６
は照明支柱、２７ａ，２７ｂは角度設定機構、２８は光
電センサ、２９は移動センサ、１００は条件設定用物品
である。
ロー図に基づいて、オペレータが手動で撮像角度、照明
角度を設定し、複数のデータを収集してから評価値を最
適化する撮像角度と照明角度を演算する方式について説
明した。次に、自動で撮像角度、照明角度を設定し、デ
ータを収集しながら評価値を最適化する撮像角度と照明
角度を探索し漸近して行く方式について、図３、図４を
参照して説明する。図３は本発明の検査装置における構
成の一例を示す説明図である。図４は本発明の検査方法
および装置における過程の一例を示すフロー図である。
図３において、２１はカメラ、２２は照明、２３はデー
タ処理部、２４は操作表示部、２５はカメラ支柱、２６
は照明支柱、２７ａ，２７ｂは角度設定機構、２８は光
電センサ、２９は移動センサ、１００は条件設定用物品
である。
【００２８】角度調節機構２７ａは、フレーム（図示せ
ず）に固定されておりカメラ支柱２５を支持する。また
角度調節機構２７ａは、カメラ支柱２５の角度をデータ
処理部２３からの制御司令に基づいて設定する。そのた
め、角度調節機構２７ａは、サーボモータ、ステップモ
ータ、等の制御可能なモータと、減速機、伝達機構、等
によって構成される。カメラ支柱２５の先端付近にはカ
メラ２１が固定支持されている。すなわち、カメラ２１
の撮像方向は、搬送機構３０の搬送経路に対して角度設
定可能に構成されている。搬送機構３０の搬送経路は条
件設定用物品１００を載置し搬送する。したがって、カ
メラ１による条件設定用物品１００の撮像角度はデータ
処理部２３からの制御司令に基づいて所定の角度に設定
することができる。そのときデータ処理部２３は角度調
節機構２７ａの制御装置として動作する。
ず）に固定されておりカメラ支柱２５を支持する。また
角度調節機構２７ａは、カメラ支柱２５の角度をデータ
処理部２３からの制御司令に基づいて設定する。そのた
め、角度調節機構２７ａは、サーボモータ、ステップモ
ータ、等の制御可能なモータと、減速機、伝達機構、等
によって構成される。カメラ支柱２５の先端付近にはカ
メラ２１が固定支持されている。すなわち、カメラ２１
の撮像方向は、搬送機構３０の搬送経路に対して角度設
定可能に構成されている。搬送機構３０の搬送経路は条
件設定用物品１００を載置し搬送する。したがって、カ
メラ１による条件設定用物品１００の撮像角度はデータ
処理部２３からの制御司令に基づいて所定の角度に設定
することができる。そのときデータ処理部２３は角度調
節機構２７ａの制御装置として動作する。
【００２９】同様に、角度調節機構２７ｂは、フレーム
（図示せず）に固定されており照明支柱２６を支持す
る。また角度調節機構２７ｂは、照明支柱２６の角度を
データ処理部２３からの制御司令に基づいて設定する。
そのため、角度調節機構２７ｂは、サーボモータ、ステ
ップモータ、等の制御可能なモータと、減速機、伝達機
構、等によって構成される。照明支柱２６の先端付近に
は照明２２が固定支持されている。すなわち、照明２２
の撮像方向は、搬送機構３０の搬送経路に対して角度設
定可能に構成されている。搬送機構３０の搬送経路は条
件設定用物品１００を載置し搬送する。したがって、カ
メラ２１による条件設定用物品１００の撮像角度はデー
タ処理部２３からの制御司令に基づいて所定の角度に設
定することができる。そのときデータ処理部２３は角度
調節機構２７ｂの制御装置として動作する。
（図示せず）に固定されており照明支柱２６を支持す
る。また角度調節機構２７ｂは、照明支柱２６の角度を
データ処理部２３からの制御司令に基づいて設定する。
そのため、角度調節機構２７ｂは、サーボモータ、ステ
ップモータ、等の制御可能なモータと、減速機、伝達機
構、等によって構成される。照明支柱２６の先端付近に
は照明２２が固定支持されている。すなわち、照明２２
の撮像方向は、搬送機構３０の搬送経路に対して角度設
定可能に構成されている。搬送機構３０の搬送経路は条
件設定用物品１００を載置し搬送する。したがって、カ
メラ２１による条件設定用物品１００の撮像角度はデー
タ処理部２３からの制御司令に基づいて所定の角度に設
定することができる。そのときデータ処理部２３は角度
調節機構２７ｂの制御装置として動作する。
【００３０】カメラ２１が出力する撮像信号はデータ処
理部２３によって入力が行なわれ、そこの入口でＡ／Ｄ
（digital-to-analog）変換が行なわれた後に、データ
処理部２３の画像メモリ（図示せず）に記憶が行なわれ
る。カメラ２１はエリアセンサカメラ、ラインセンサカ
メラのいずれであってもよい。ラインセンサカメラを適
用するときには、ラインセンサカメラの主走査と搬送機
構３０の副走査により２次元の画像を撮像する。
理部２３によって入力が行なわれ、そこの入口でＡ／Ｄ
（digital-to-analog）変換が行なわれた後に、データ
処理部２３の画像メモリ（図示せず）に記憶が行なわれ
る。カメラ２１はエリアセンサカメラ、ラインセンサカ
メラのいずれであってもよい。ラインセンサカメラを適
用するときには、ラインセンサカメラの主走査と搬送機
構３０の副走査により２次元の画像を撮像する。
【００３１】光電センサ２８は、搬送装置３０によって
搬送される物品（検査基準物品、検査対象物品、条件設
定用物品、等）が検査領域に到達したことを検出するた
めの光電センサである。到達を検出すると到達検出信号
をデータ処理部２３に出力する。
搬送される物品（検査基準物品、検査対象物品、条件設
定用物品、等）が検査領域に到達したことを検出するた
めの光電センサである。到達を検出すると到達検出信号
をデータ処理部２３に出力する。
【００３２】移送センサ２９は、搬送機構３０による搬
送量を検出するセンサ、たとえば、ロータリーエンコー
ダである。移送センサ２９は、光電センサ２８が物品を
検出してからの物品の位置を検出するためにある。移送
センサ２９が出力する搬送量はデータ処理部２３に出力
され、そこでカメラ２１による撮像と搬送との同期処理
が行なわれる。
送量を検出するセンサ、たとえば、ロータリーエンコー
ダである。移送センサ２９は、光電センサ２８が物品を
検出してからの物品の位置を検出するためにある。移送
センサ２９が出力する搬送量はデータ処理部２３に出力
され、そこでカメラ２１による撮像と搬送との同期処理
が行なわれる。
【００３３】なお、検査を開始する前の撮像条件と照明
条件とを最適設定する段階では、カメラ２１がエリアセ
ンサカメラであれば搬送機構３０は停止する。ラインセ
ンサカメラであれば、搬送機構３０は撮像の度に条件設
定用物品１００を往復動作させる。
条件とを最適設定する段階では、カメラ２１がエリアセ
ンサカメラであれば搬送機構３０は停止する。ラインセ
ンサカメラであれば、搬送機構３０は撮像の度に条件設
定用物品１００を往復動作させる。
【００３４】データ処理部２３は、撮像角度と照明角度
を設定して撮像画像を入力し、撮像条件と照明条件を演
算する。データ処理部２３は、パーソナルコンピュータ
等のデータ処理装置のハードウェアとソフトウェアによ
って実現することができる。操作表示部２４は、検査装
置の操作表示部であるが、パーソナルコンピュータのキ
ーボード、マウス、ディスプレイを適用することができ
る。
を設定して撮像画像を入力し、撮像条件と照明条件を演
算する。データ処理部２３は、パーソナルコンピュータ
等のデータ処理装置のハードウェアとソフトウェアによ
って実現することができる。操作表示部２４は、検査装
置の操作表示部であるが、パーソナルコンピュータのキ
ーボード、マウス、ディスプレイを適用することができ
る。
【００３５】上述の図３に示す構成において、次に、本
発明の検査装置の動作について説明する。条件設定用物
品１００が搬送機構３０によって搬送され、条件設定用
物品１００の端部が光電センサ２８の検出位置に到達す
ると、光電センサ２８は到達検出信号をデータ処理部２
３に出力する。
発明の検査装置の動作について説明する。条件設定用物
品１００が搬送機構３０によって搬送され、条件設定用
物品１００の端部が光電センサ２８の検出位置に到達す
ると、光電センサ２８は到達検出信号をデータ処理部２
３に出力する。
【００３６】データ処理部２３は移送センサ２９が出力
する搬送量を入力し、条件設定用物品１００の搬送位置
とカメラ２１の撮像領域との関係を演算する。カメラ２
１は、ここではラインセンサカメラであるものとして説
明する。データ処理部２３は、条件設定用物品１００の
所定の搬送位置においてカメラ２１が出力する撮像信号
を読み込み撮像画像をデータ処理部２３のメモリに記憶
する。このとき、その撮像画像、カメラ２１の撮像角
度、照明２２の照明角度を関連付けて記憶しておく。
する搬送量を入力し、条件設定用物品１００の搬送位置
とカメラ２１の撮像領域との関係を演算する。カメラ２
１は、ここではラインセンサカメラであるものとして説
明する。データ処理部２３は、条件設定用物品１００の
所定の搬送位置においてカメラ２１が出力する撮像信号
を読み込み撮像画像をデータ処理部２３のメモリに記憶
する。このとき、その撮像画像、カメラ２１の撮像角
度、照明２２の照明角度を関連付けて記憶しておく。
【００３７】このようにして１回の撮像を行なうと、デ
ータ処理部２３は制御司令を出力し搬送機構３０を操作
して条件設定用物品１００を逆方向に搬送し光電センサ
２８の手前まで戻す。また、データ処理部２３は制御指
令を出力し角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作してカメ
ラ２１の撮像角度と照明２２の照明角度を所定の角度に
変更する。
ータ処理部２３は制御司令を出力し搬送機構３０を操作
して条件設定用物品１００を逆方向に搬送し光電センサ
２８の手前まで戻す。また、データ処理部２３は制御指
令を出力し角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作してカメ
ラ２１の撮像角度と照明２２の照明角度を所定の角度に
変更する。
【００３８】次に、データ処理部２３は制御司令を出力
し搬送機構３０を操作して条件設定用物品１００を順方
向に搬送する。条件設定用物品１００の端部が光電セン
サ２８の検出位置に到達すると、光電センサ２８は到達
検出信号をデータ処理部２３に出力する。
し搬送機構３０を操作して条件設定用物品１００を順方
向に搬送する。条件設定用物品１００の端部が光電セン
サ２８の検出位置に到達すると、光電センサ２８は到達
検出信号をデータ処理部２３に出力する。
【００３９】データ処理部２３は移送センサ２９が出力
する搬送量を入力し、条件設定用物品１００の搬送位置
とカメラ２１の撮像領域との関係を演算する。データ処
理部２３は、条件設定用物品１００の所定の搬送位置に
おいてカメラ２１が出力する撮像信号（主走査信号）を
読み込む動作を繰返す。そして、所定の搬送位置におけ
る全体の主走査信号を読み込むことにより撮像画像をデ
ータ処理部２３のメモリに記憶する。このとき、その撮
像画像、カメラ２１の撮像角度、照明２２の照明角度を
関連付けて記憶しておく。
する搬送量を入力し、条件設定用物品１００の搬送位置
とカメラ２１の撮像領域との関係を演算する。データ処
理部２３は、条件設定用物品１００の所定の搬送位置に
おいてカメラ２１が出力する撮像信号（主走査信号）を
読み込む動作を繰返す。そして、所定の搬送位置におけ
る全体の主走査信号を読み込むことにより撮像画像をデ
ータ処理部２３のメモリに記憶する。このとき、その撮
像画像、カメラ２１の撮像角度、照明２２の照明角度を
関連付けて記憶しておく。
【００４０】このようにして２回の撮像を行なうと、デ
ータ処理部２３は制御指令を出力し搬送機構３０を操作
して条件設定用物品１００を逆方向に搬送し光電センサ
２８の手前まで戻す。また、データ処理部２３は制御司
令を出力し角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作してカメ
ラ２１の撮像角度と照明２２の照明角度を所定の角度に
変更する。というようにして、所定の撮像角度と照明角
度における撮像画像をメモリに記憶すると、データ処理
部２３はメモリに記憶されている複数の撮像画像と関連
付けて記憶されている撮像角度と照明角度に基づいて、
評価値を最適化する撮像角度と照明角度を演算する。
ータ処理部２３は制御指令を出力し搬送機構３０を操作
して条件設定用物品１００を逆方向に搬送し光電センサ
２８の手前まで戻す。また、データ処理部２３は制御司
令を出力し角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作してカメ
ラ２１の撮像角度と照明２２の照明角度を所定の角度に
変更する。というようにして、所定の撮像角度と照明角
度における撮像画像をメモリに記憶すると、データ処理
部２３はメモリに記憶されている複数の撮像画像と関連
付けて記憶されている撮像角度と照明角度に基づいて、
評価値を最適化する撮像角度と照明角度を演算する。
【００４１】このように自動で撮像角度、照明角度を設
定し、データを収集しながら評価値を最適化する撮像角
度と照明角度を探索して漸近して行く過程について、図
４を参照して説明する。まず図４のステップＳ４１にお
いて、データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度を０
度、３０度、６０度の３段階、照明２２の照明角度を０
度、３０度、６０度の３段階に変更して撮像画像を読み
込む。撮像角度Ａ１度、照明角度Ａ２度で撮像して得た
撮像画像をＤA1#A2と表すものとする。上述の撮像画像
は９個存在し、それらの撮像画像は、Ｄ0#0，Ｄ0#30，
Ｄ0#60，Ｄ30#0，Ｄ30#30，Ｄ30#60，Ｄ60#0，
Ｄ60#30，Ｄ60#60である。
定し、データを収集しながら評価値を最適化する撮像角
度と照明角度を探索して漸近して行く過程について、図
４を参照して説明する。まず図４のステップＳ４１にお
いて、データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度を０
度、３０度、６０度の３段階、照明２２の照明角度を０
度、３０度、６０度の３段階に変更して撮像画像を読み
込む。撮像角度Ａ１度、照明角度Ａ２度で撮像して得た
撮像画像をＤA1#A2と表すものとする。上述の撮像画像
は９個存在し、それらの撮像画像は、Ｄ0#0，Ｄ0#30，
Ｄ0#60，Ｄ30#0，Ｄ30#30，Ｄ30#60，Ｄ60#0，
Ｄ60#30，Ｄ60#60である。
【００４２】次に、ステップＳ４２において、データ処
理部３は各画像について評価値を演算する。評価値は、
たとえば、欠陥部分と地合部分の画素値の差異である。
評価値を演算した結果、評価値を最適化する撮像条件が
上述の９個の撮像画像においてはＤA1#A2であったとす
る。そのとき、データ処理部２３は撮像角度Ａ１度、照
明角度Ａ２度の近辺において、より詳細に評価値を最適
化する撮像角度と照明角度を探索する処理に進む。
理部３は各画像について評価値を演算する。評価値は、
たとえば、欠陥部分と地合部分の画素値の差異である。
評価値を演算した結果、評価値を最適化する撮像条件が
上述の９個の撮像画像においてはＤA1#A2であったとす
る。そのとき、データ処理部２３は撮像角度Ａ１度、照
明角度Ａ２度の近辺において、より詳細に評価値を最適
化する撮像角度と照明角度を探索する処理に進む。
【００４３】すなわち、次のステップＳ４３において、
データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度をＡ１度、Ａ
１±１０度、Ａ１±２０度の５段階、照明２２の照明角
度をＡ２度、Ａ２±１０度、Ａ３±２０度の５段階に変
更して撮像画像を読み込む。上述の撮像画像はＤA1#A2
を含めると２５個存在し、それらの撮像画像は、ＤA1-
20#A2-20，ＤA1-20#A2-10，ＤA1-20#A2，
ＤA1-20#A2+10，ＤA1-20#A2+20，ＤA1- 10#A2-20，Ｄ
A1-10#A2-10，ＤA1-10#A2，ＤA1-10#A2+10，Ｄ
A1-10#A2+20，ＤA1# A2-20，ＤA1#A2-10，ＤA1#A2，Ｄ
A1#A2+10，ＤA1#A2+20，ＤA1+10#A2-20，
ＤA1+ 10#A2-10，ＤA1+10#A2，ＤA1+10#A2+10，Ｄ
A1+10#A2+20，ＤA1+20#A2-20，ＤA1+ 20#A2-10，Ｄ
A1+20#A2，ＤA1+20#A2+10，ＤA1+20#A2+20である。
データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度をＡ１度、Ａ
１±１０度、Ａ１±２０度の５段階、照明２２の照明角
度をＡ２度、Ａ２±１０度、Ａ３±２０度の５段階に変
更して撮像画像を読み込む。上述の撮像画像はＤA1#A2
を含めると２５個存在し、それらの撮像画像は、ＤA1-
20#A2-20，ＤA1-20#A2-10，ＤA1-20#A2，
ＤA1-20#A2+10，ＤA1-20#A2+20，ＤA1- 10#A2-20，Ｄ
A1-10#A2-10，ＤA1-10#A2，ＤA1-10#A2+10，Ｄ
A1-10#A2+20，ＤA1# A2-20，ＤA1#A2-10，ＤA1#A2，Ｄ
A1#A2+10，ＤA1#A2+20，ＤA1+10#A2-20，
ＤA1+ 10#A2-10，ＤA1+10#A2，ＤA1+10#A2+10，Ｄ
A1+10#A2+20，ＤA1+20#A2-20，ＤA1+ 20#A2-10，Ｄ
A1+20#A2，ＤA1+20#A2+10，ＤA1+20#A2+20である。
【００４４】次に、ステップＳ４４において、データ処
理部２３は各画像について評価値を演算する。評価値を
演算した結果、評価値を最適化する撮像条件が上述の２
５個の撮像画像においてはＤA1#A2であったとする。そ
のとき、データ処理部２３は撮像角度Ａ１度、照明角度
Ａ２度の近辺において、より詳細に評価値を最適化する
撮像角度と照明角度を探索する処理に進む。
理部２３は各画像について評価値を演算する。評価値を
演算した結果、評価値を最適化する撮像条件が上述の２
５個の撮像画像においてはＤA1#A2であったとする。そ
のとき、データ処理部２３は撮像角度Ａ１度、照明角度
Ａ２度の近辺において、より詳細に評価値を最適化する
撮像角度と照明角度を探索する処理に進む。
【００４５】すなわち、次のステップＳ４５において、
データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度をＡ１度、Ａ
１±５度の３段階、照明２２の照明角度をＡ２度、Ａ２
±５度の３段階に変更して撮像画像を読み込む。上述の
撮像画像はＤA1#A2を含めて９個存在し、それらの撮像
画像は、ＤA1-5#A2-5，ＤA1-5#A2，ＤA1-5#A2+5，ＤA
1#A2-5，ＤA1#A2，ＤA1#A2+5，ＤA1+5#A2-5，
ＤA1+5#A2，ＤA1+5#A2+5である。
データ処理部２３はカメラ２１の撮像角度をＡ１度、Ａ
１±５度の３段階、照明２２の照明角度をＡ２度、Ａ２
±５度の３段階に変更して撮像画像を読み込む。上述の
撮像画像はＤA1#A2を含めて９個存在し、それらの撮像
画像は、ＤA1-5#A2-5，ＤA1-5#A2，ＤA1-5#A2+5，ＤA
1#A2-5，ＤA1#A2，ＤA1#A2+5，ＤA1+5#A2-5，
ＤA1+5#A2，ＤA1+5#A2+5である。
【００４６】次に、ステップＳ４６において、データ処
理部３は各画像について評価値を演算する。評価値を演
算した結果、評価値を最適化する撮像条件が上述の９個
の撮像画像においてはＤA1#A2であったとする。そのと
き、データ処理部２３は、カメラ２１の撮像角度をＡ１
度とし、照明２２の照明角度をＡ２度とすることが最適
であると判定する。
理部３は各画像について評価値を演算する。評価値を演
算した結果、評価値を最適化する撮像条件が上述の９個
の撮像画像においてはＤA1#A2であったとする。そのと
き、データ処理部２３は、カメラ２１の撮像角度をＡ１
度とし、照明２２の照明角度をＡ２度とすることが最適
であると判定する。
【００４７】以上、自動で撮像角度、照明角度を設定
し、データを収集しながら評価値を最適化する撮像角度
と照明角度に漸近して行く過程について説明した。上述
のようにしてデータ処理部２３は撮像角度と照明角度の
最適値を演算すると、データ処理部２３はカメラ２１の
撮像角度と照明２２の照明角度がその最適値となるよう
に角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作する。
し、データを収集しながら評価値を最適化する撮像角度
と照明角度に漸近して行く過程について説明した。上述
のようにしてデータ処理部２３は撮像角度と照明角度の
最適値を演算すると、データ処理部２３はカメラ２１の
撮像角度と照明２２の照明角度がその最適値となるよう
に角度調節機構２７ａ，２７ｂを操作する。
【００４８】検査装置の検査方式が検査基準物品と検査
対象物品の画像を比較する方式であれば、搬送機構３０
によって検査基準物品を搬送し撮像を行い検査基準画像
をデータ処理部のメモリに記憶する。そして、検査対象
物品を搬送し撮像を行い検査対象画像をメモリに読み込
んで検査を行なう。一方、検査装置の検査方式が検査対
象物品の画像だけで行なう方式であれば、ただちに検査
対象物品を搬送し撮像を行い検査対象画像をメモリに読
み込んで検査を行なう。
対象物品の画像を比較する方式であれば、搬送機構３０
によって検査基準物品を搬送し撮像を行い検査基準画像
をデータ処理部のメモリに記憶する。そして、検査対象
物品を搬送し撮像を行い検査対象画像をメモリに読み込
んで検査を行なう。一方、検査装置の検査方式が検査対
象物品の画像だけで行なう方式であれば、ただちに検査
対象物品を搬送し撮像を行い検査対象画像をメモリに読
み込んで検査を行なう。
【００４９】以上、本発明について実施の形態を説明し
た。本発明はこの実施の形態にだけ限定されるのではな
く様々な形態で実施することができる。たとえば、撮像
条件としては撮像角度だけでなく、カメラの種類、カラ
ーフィルターの有無、等であっても同様に実施できる。
また、照明条件としては照明角度だけでなく、光源の種
類、拡散板の有無、等であっても同様に実施できる。
た。本発明はこの実施の形態にだけ限定されるのではな
く様々な形態で実施することができる。たとえば、撮像
条件としては撮像角度だけでなく、カメラの種類、カラ
ーフィルターの有無、等であっても同様に実施できる。
また、照明条件としては照明角度だけでなく、光源の種
類、拡散板の有無、等であっても同様に実施できる。
【００５０】
【発明の効果】以上のとおりであるから、本発明の請求
項１に係る検査方法によれば、撮像条件や照明条件の最
適設定について、未熟なオペレータであっても適正に行
なうことが容易であり、負荷が極めて小さい検査方法が
提供される。また本発明の請求項２に係る検査方法によ
れば、撮像角度と照明角度を最適設定することができ
る。また本発明の請求項３に係る検査方法によれば、検
査基準物品との相異を正確に検査することができる。ま
た本発明の請求項４に係る検査方法によれば、欠陥の有
無を正確に検査することができる。また本発明の請求項
５に係る検査方法によれば小さい負荷で高い精度の演算
を行なうことができる。また本発明の請求項６に係る検
査装置によれば、撮像条件や照明条件の最適設定につい
て、未熟なオペレータであっても適正に行なうことが容
易であり、負荷が極めて小さい検査装置が提供される。
項１に係る検査方法によれば、撮像条件や照明条件の最
適設定について、未熟なオペレータであっても適正に行
なうことが容易であり、負荷が極めて小さい検査方法が
提供される。また本発明の請求項２に係る検査方法によ
れば、撮像角度と照明角度を最適設定することができ
る。また本発明の請求項３に係る検査方法によれば、検
査基準物品との相異を正確に検査することができる。ま
た本発明の請求項４に係る検査方法によれば、欠陥の有
無を正確に検査することができる。また本発明の請求項
５に係る検査方法によれば小さい負荷で高い精度の演算
を行なうことができる。また本発明の請求項６に係る検
査装置によれば、撮像条件や照明条件の最適設定につい
て、未熟なオペレータであっても適正に行なうことが容
易であり、負荷が極めて小さい検査装置が提供される。
【図１】本発明の検査装置における基本的な構成を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明の検査方法および装置における基本的な
過程を示すフロー図である。
過程を示すフロー図である。
【図３】本発明の検査装置における構成の別の一例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】本発明の検査方法および装置における最適条件
を演算する過程の一例を示すフロー図である。
を演算する過程の一例を示すフロー図である。
１，２１ カメラ
２，２２ 照明
３，２３ データ処理部
４，２４ 操作表示部
５，２５ カメラ支柱
６，２６ 照明支柱
７ａ，７ｂ 角度センサ
８ ステージ
２７ａ，２７ｂ 角度設定機構
２８ 光電センサ
２９ 移動センサ
１００ 条件設定用物品
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G051 AB02 AC01 AC11 BB01 CA04
CA06 EA11 EA14
5B057 AA02 BA02 DA03 DB02 DB06
DB09 DC22
5C054 AA01 CF06 CH02 EA01 FC11
GB01 GD03 HA05
Claims (6)
- 【請求項１】撮像条件と照明条件を変化させて条件設定
用物品を撮像して得た複数の撮像画像に基づいて評価値
を最適化する撮像条件と照明条件を演算し、その演算さ
れた撮像条件と照明条件において検査対象物品の検査を
行なうことを特徴とする検査方法。 - 【請求項２】請求項１記載の検査方法において、前記撮
像条件は撮像角度であり、前記照明条件は照明角度であ
ることを特徴とする検査方法。 - 【請求項３】請求項１または２記載の検査方法におい
て、前記条件設定用物品は検査基準物品であることを特
徴とする検査方法。 - 【請求項４】請求項１または２記載の検査方法におい
て、前記条件設定用物品は検査する欠陥を含む不良物品
であることを特徴とする検査方法。 - 【請求項５】請求項１〜３のいずれかに記載の検査方法
において、前記演算に探索法を適用することを特徴とす
る検査方法。 - 【請求項６】撮像角度を調節する撮像角度調節手段と、 照明角度を調節する照明角度調節手段と、 前記撮像角度調節手段と前記照明角度調節手段を制御す
る制御手段と、 複数の撮像角度および複数の照明角度において調節用物
品を撮像して得た撮像画像を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段が記憶する複数の撮像画像に基づいて評価
値を最適化する撮像角度と照明角度を演算する最適角度
演算手段とを具備し、 前記演算された撮像角度と照明角度において検査対象物
品の検査を行なうことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002071375A JP2003270163A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002071375A JP2003270163A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 検査方法および装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003270163A true JP2003270163A (ja) | 2003-09-25 |
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ID=29201670
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|---|---|---|---|
| JP2002071375A Pending JP2003270163A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 検査方法および装置 |
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Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007298381A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | 画像検出装置および画像検出方法 |
| JP2008084179A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 媒体検証装置および媒体検証方法 |
| JP2008275563A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査画像形成装置、検査装置、検査画像形成方法、及び検査方法 |
| KR100912651B1 (ko) | 2007-12-21 | 2009-08-17 | 주식회사 앤비젼 | 자동 영상 검사 장치 |
| CN103364405A (zh) * | 2012-03-27 | 2013-10-23 | 三星电机株式会社 | 表面缺陷检测设备及其控制方法 |
| KR101444841B1 (ko) | 2009-08-06 | 2014-09-26 | 삼성테크윈 주식회사 | 조명 구동 장치 |
| EP2173087A4 (en) * | 2007-06-29 | 2017-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging device and method |
| JP2019144209A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | オムロン株式会社 | 外観検査装置、及び外観検査装置の照明条件設定方法 |
| JP2019158602A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法及びプログラム |
| JP2020052041A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | 迅智自動化科技股▲ふん▼有限公司ＣＥＮＺ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｃｏ． Ｌｔｄ． | 調整可能な画像取得の組み合わせを備えた自動光学検査機器および画像取得の組み合わせ調整方法 |
| WO2020194541A1 (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 日本電気株式会社 | 検査装置 |
| CN111917971A (zh) * | 2019-05-09 | 2020-11-10 | 联策科技股份有限公司 | 取像参数优化调整系统与方法 |
| JP2021127991A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-09-02 | オムロン株式会社 | 画像検査装置および画像検査プログラム、照明設定装置 |
| DE112020005230T5 (de) | 2019-10-29 | 2022-08-25 | OMRON Corporation | Bildverarbeitungssystem, Einstellverfahren und -programm |
| WO2023090152A1 (ja) * | 2021-11-17 | 2023-05-25 | 三菱電機株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
-
2002
- 2002-03-15 JP JP2002071375A patent/JP2003270163A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007298381A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | 画像検出装置および画像検出方法 |
| JP2008084179A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Toshiba Corp | 媒体検証装置および媒体検証方法 |
| JP2008275563A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査画像形成装置、検査装置、検査画像形成方法、及び検査方法 |
| EP2173087A4 (en) * | 2007-06-29 | 2017-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging device and method |
| KR100912651B1 (ko) | 2007-12-21 | 2009-08-17 | 주식회사 앤비젼 | 자동 영상 검사 장치 |
| KR101444841B1 (ko) | 2009-08-06 | 2014-09-26 | 삼성테크윈 주식회사 | 조명 구동 장치 |
| CN103364405A (zh) * | 2012-03-27 | 2013-10-23 | 三星电机株式会社 | 表面缺陷检测设备及其控制方法 |
| KR101376831B1 (ko) * | 2012-03-27 | 2014-03-20 | 삼성전기주식회사 | 표면결함 검사방법 |
| JP2019144209A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | オムロン株式会社 | 外観検査装置、及び外観検査装置の照明条件設定方法 |
| CN110186926A (zh) * | 2018-02-23 | 2019-08-30 | 欧姆龙株式会社 | 外观检查装置以及外观检查装置的照明条件设定方法 |
| JP2019158602A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法及びプログラム |
| CN110274538A (zh) * | 2018-03-13 | 2019-09-24 | 欧姆龙株式会社 | 外观检查装置、外观检查方法以及程序 |
| JP2020052041A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | 迅智自動化科技股▲ふん▼有限公司ＣＥＮＺ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ Ｃｏ． Ｌｔｄ． | 調整可能な画像取得の組み合わせを備えた自動光学検査機器および画像取得の組み合わせ調整方法 |
| WO2020194541A1 (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 日本電気株式会社 | 検査装置 |
| US11933739B2 (en) | 2019-03-26 | 2024-03-19 | Nec Corporation | Inspection apparatus |
| CN111917971A (zh) * | 2019-05-09 | 2020-11-10 | 联策科技股份有限公司 | 取像参数优化调整系统与方法 |
| CN111917971B (zh) * | 2019-05-09 | 2021-10-29 | 联策科技股份有限公司 | 取像参数优化调整系统与方法 |
| DE112020005230T5 (de) | 2019-10-29 | 2022-08-25 | OMRON Corporation | Bildverarbeitungssystem, Einstellverfahren und -programm |
| JP2021127991A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-09-02 | オムロン株式会社 | 画像検査装置および画像検査プログラム、照明設定装置 |
| WO2023090152A1 (ja) * | 2021-11-17 | 2023-05-25 | 三菱電機株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
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