JP2003264076A - 有機発光層形成用塗液、有機led用ドナーフィルム、それを用いた有機led表示パネルの製造方法および有機led表示パネル - Google Patents

有機発光層形成用塗液、有機led用ドナーフィルム、それを用いた有機led表示パネルの製造方法および有機led表示パネル

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JP2003264076A
JP2003264076A JP2002063810A JP2002063810A JP2003264076A JP 2003264076 A JP2003264076 A JP 2003264076A JP 2002063810 A JP2002063810 A JP 2002063810A JP 2002063810 A JP2002063810 A JP 2002063810A JP 2003264076 A JP2003264076 A JP 2003264076A
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organic
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forming
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Yoshimasa Fujita
悦昌 藤田
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 転写工程において「転写不良」や「ハジキ」
が生じず、成膜性が良好な有機発光層を、効率よく、か
つ均一に形成し得る有機発光層形成用塗液、有機LED
用ドナーフィルム、それを用いた有機LED表示パネル
の製造方法および有機LED表示パネルを提供すること
を課題とする。 【解決手段】 有機LED表示パネルの有機LED層を
転写法で形成する際に使用される有機LED用ドナーフ
ィルムの有機発光層形成用塗液であって、前記塗液が、
重量平均分子量1,000〜1,000,000の高分
子発光材料を含有することを特徴とする有機発光層形成
用塗液により、上記の課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機発光層形成用
塗液、有機LED用ドナーフィルム、それを用いた有機
LED表示パネルの製造方法および有機LED表示パネ
ルに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、有機LED表示パネルのフルカラ
ー表示を可能にするため、有機LED層のパターン化技
術の研究開発が活発に行われている。これらの技術とし
て、例えば、マスク蒸着法(特開平8−227276号
公報)、インクジェット法(特開平10−12377号
公報)などが提案されている。しかし、マスク蒸着法で
は、大型基板を用いて素子を作製することが非常に難し
いといった問題があり、インクジェット法では、大型基
板を用いると素子の作製時間が非常に掛かるといった問
題があった。
【0003】そこで、大型基板を用いることができ、か
つ作製時間を大幅に短縮することが可能なパターン化技
術として、転写法(例えば、特開平10−208881
号公報、特開平11−237504号公報、特開平11
−260549号公報)が提案された。また、有機LE
D表示パネルの基本セル(画素)となる有機LED素子
の開口率を向上させる目的で、有機LED表示パネルの
駆動用のTFT基板とは逆方向から発光を取り出す技術
(例えば、特開平10−189252号公報)も提案さ
れている。
【0004】しかし、転写法により有機LED層をパタ
ーン化した場合、特にR、G、Bのそれぞれの発光を示
す高分子発光材料を含む有機発光層をRGBのパターン
に転写した場合には、誤転写を防止するために隣接する
画素の有機LED層の転写を避け、2画素おきにレーザ
光を照射し転写を行っても、パターン以外の部位(本
来、他の発光色の画素が形成される部位)にも転写され
てしまうといった転写不良の問題があった。また、前記
の問題とは逆に、レーザ光を照射しても有機LED層が
転写されないといった転写不良の問題もあった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、転写工程に
おいて「転写不良」や「ハジキ」が生じず、成膜性が良
好な有機発光層を、効率よく、かつ均一に形成し得る有
機発光層形成用塗液、有機LED用ドナーフィルム、そ
れを用いた有機LED表示パネルの製造方法および有機
LED表示パネルを提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を解決すべく鋭意研究を行った結果、有機発光層形成用
塗液に用いる発光材料に、重量平均分子量が1,000
〜1,000,000の範囲にある高分子発光材料を用
いることにより、形成膜中でそれらが複雑に絡み合い、
膜の強度が増し、転写工程において「転写不良」が生じ
ないことを見出し、また有機発光層形成用塗液が、20
℃における表面張力が50dyne/cm以下である液
体媒体を含むことにより、「ハジキ」が生じないことを
見出し、本発明を完成するに到った。
【0007】かくして、本発明によれば、有機LED表
示パネルの有機LED層を転写法で形成する際に使用さ
れる有機LED用ドナーフィルムの有機発光層形成用塗
液であって、前記塗液が、重量平均分子量1,000〜
1,000,000の高分子発光材料を含有することを
特徴とする有機発光層形成用塗液が提供される。
【0008】また、本発明によれば、有機LED表示パ
ネルの有機LED層を転写法で形成する際に使用される
有機LED用ドナーフィルムであって、光−熱変換層、
任意に熱伝播層および/またはガス発生層が積層された
ベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層され
てなり、前記転写層の有機発光層が、上記の有機発光層
形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなる
ことを特徴とする有機LED用ドナーフィルムが提供さ
れる。
【0009】さらに、本発明によれば、基板/第1電極
/少なくとも有機発光層を含む有機LED層/第2電極
からなる有機LED表示パネルを製造するに当り、基板
上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフ
ィルムが外側になるように上記の有機LED用ドナーフ
ィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照
射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを基
板上または基板上に形成した所要の積層物上に残してド
ナーフィルムを剥離して、有機LED層を転写形成する
ことを特徴とする有機LED表示パネルの製造方法が提
供される。
【0010】また、本発明によれば、上記の有機LED
表示パネルの製造方法により製造された有機LED表示
パネルが提供される。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の有機発光層形成用塗液
は、有機LED表示パネルの有機LED層を転写法で形
成する際に使用される有機LED用ドナーフィルムの有
機発光層形成用塗液であって、前記塗液が、重量平均分
子量1,000〜1,000,000の高分子発光材料
を含有することを特徴とする。
【0012】本発明の有機発光層形成用塗液は、少なく
とも1種の発光材料が液体媒体に溶解または分散したも
のであり、任意に結着用樹脂、レベリング剤、発光アシ
スト剤、電荷輸送材料、添加剤(ドナー、アクセプター
など)、発光性のドーパントなどを含む。以下にそれぞ
れの材料を例示するが、これらは本発明を限定するもの
ではない。
【0013】本発明において用いられる重量平均分子量
1,000〜1,000,000の高分子発光材料とし
ては、有機LED用の公知の高分子発光材料が挙げられ
る。高分子発光材料の重量平均分子量が1,000未満
の場合には、有機LED表示パネル(有機LED素子)
としての発光効率や寿命が低下するので好ましくない。
特に重量平均分子量が1,000未満であると高分子発
光材料のガラス転移温度および/または融点が低下する
ため、有機LED表示パネル(有機LED素子)として
の寿命が著しく低下する。また、高分子発光材料の重量
平均分子量が1,000,000を超える場合には、高
分子発光材料により形成された膜の強度が増しすぎるた
め、転写不良が生じるので好ましくない。より好ましい
重量平均分子量は、10,000〜600,000であ
る。
【0014】また、本発明において有機発光層形成用塗
液は、20℃における表面張力が50dyne/cm以
下である液体媒体を含むものが好ましい。有機発光層形
成用塗液が、20℃における表面張力が50dyne/
cm以下である液体媒体を含むことにより、ベースフィ
ルム上で有機発光層形成用塗液の「ハジキ」に起因する
欠陥を完全に防止することができる。
【0015】また、本発明において液体媒体は、ベンゼ
ン骨格を少なくとも有する芳香族炭化水素であるのが好
ましい。この液体媒体を用いることで、高分子発光材料
を完全に溶解させることができる。高分子発光材料が完
全に溶解しないと、有機LED表示パネル(有機LED
素子)としての発光効率や寿命が著しく低下する。
【0016】高分子発光材料としては、例えば、ポリ
(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO−P
PP)、ポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N−ト
リエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニル
−アルト−1,4−フェニルレン]ジブロマイド(PP
P−NEt3+)、ポリ[2−(2’−エチルヘキシルオ
キシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン]
(MEH−PPV)、ポリ[5−メトキシ−(2−プロ
パノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレ
ン](MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス−(ヘキ
シルオキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニ
レン)](CN−PPV)、ポリ(9,9−ジオクチル
フルオレン)(PDAF)などが挙げられる。
【0017】また、上記の高分子発光材料の代わりにそ
れらの前駆体を用いて有機発光層形成用塗液を調製し、
有機発光層となる塗膜を形成後、熱処理などにより塗膜
中で前駆体を高分子発光材料に変換してもよい。このよ
うな前駆体としては、例えば、ポリ(p−フェニレンビ
ニレン)前駆体(Pre−PPV)、ポリ(p−ナフタ
レンビニレン)前駆体(Pre−PNV)、ポリ(p−
フェニレン)前駆体(Pre−PPP)などが挙げられ
る。
【0018】結着用樹脂としては、例えば、ポリカーボ
ネート、ポリエステルなどが挙げられるが、本発明はこ
れらに限定されるものではない。
【0019】液体媒体としては、前記の高分子発光材料
を溶解または分散できるものであれば特に限定されず、
例えば、純水、メタノール、エタノール、テトラヒドロ
フラン(THF)、クロロホルム、トルエン、キシレ
ン、トリメチルベンゼンなどが挙げられる。これらは2
種以上の混合媒体として用いることもできる。
【0020】また、後記するようにベースフィルムに有
機発光層形成用塗液を塗布して転写層を形成するが、こ
の際の塗液の「ハジキ」を考慮すると、20℃における
表面張力が50dyne/cm以下である液体媒体を前
記塗液に含有させるのが好ましい。このような液体媒体
としては、エチレングリコール(48.4)、シクロヘ
キサノン(35.2)、o−キシレン(30.0)、m
−キシレン(28.6)、p−キシレン(28.3)、
エチルメチルケトン(24.6)、n−ブチルアルコー
ル(24.6)、ミネラルスピリット(24.0)、メ
タノール(22.6)、ヘキサン(18.6)などが挙
げられる。括弧内は表面張力(単位:dyne/cm)
を示す。
【0021】本発明の有機発光層形成用塗液は、上記の
各成分を用いて調製されるが、その固形分は、0.01
〜150重量%、好ましくは0.1〜100重量%、よ
り好ましくは1〜50重量%である。
【0022】図2(a)〜(c)に示すように、本発明
の有機LED用ドナーフィルム7は、基材フィルム1上
に光−熱変換層2、任意に熱伝播層4および/またはガ
ス発生層5が積層されたベースフィルム6上に単層また
は多層の転写層3が積層されてなり、前記転写層の少な
くとも1層が、本発明の有機発光層形成用塗液を用いて
ウエットプロセスで形成されてなる。以下、それぞれの
構成部分およびそれらの作製方法について説明する。
【0023】1.ベースフィルム ベースフィルム6は、基材フィルム1上に少なくとも光
−熱変換層2が形成されたものである(図2(a)参
照)。また、必要に応じて光−熱変換層2上に熱伝播層
4が形成されていてもよく(図2(b)参照)、さらに
ガス発生層5が形成されていてもよい(図2(c)参
照)。
【0024】後記するように、有機発光層形成用塗液の
塗布などのウエットプロセスによりベースフィルム上に
転写層を形成する場合には、ベースフィルムの表面張力
は、水との接触角が50°以下であるのが好ましい。こ
れにより、ベースフィルムに対する塗液の「ハジキ」を
低減または防止することができる。この条件に適合させ
る方法としては、ベースフィルムの表面層を形成する材
料を適宜選択するか、または次のような方法によって表
面を改質すればよい。その方法としては、UV光を照射
するUV処理、オゾン雰囲気でUV光を照射するUVオ
ゾン処理、アルゴン、酸素などのガスを用いたプラズマ
を照射するプラズマ処理などが挙げられる。
【0025】1−1.基材フィルム 基材フィルムは、透明高分子フィルムからなる。例え
ば、ポリカーボネート(PC)、ポリエチレンテレフタ
レート(PET)、ポリエステル、ポリアクリル、エポ
キシ樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリエーテル
スルフォンなどが挙げられるが、本発明はこれらに限定
されるものではない。これらの中でも、PC、PETが
特に好ましい。また、基材フィルムの膜厚としては、1
0〜600μmが好ましく、50〜200μmが特に好
ましい。
【0026】1−2.光−熱変換層 光−熱変換層(「光吸収層」ともいう)は、光を吸収し
効率良く熱を発生させる性質を有している物質から構成
される。例えば、アルミニウム、その酸化物および/ま
たはその硫化物からなる金属膜、カーボンブラック、黒
鉛または赤外線染料などを高分子材料(例えば、熱硬化
型エポキシ樹脂)に分散した有機膜が挙げられるが、本
発明はこれらに限定されるものではない。
【0027】金属膜は、真空蒸着法、電子ビーム蒸着
法、スパッタリング法などの公知の方法により形成する
ことができ、その膜厚は、50〜10,000Åが好ま
しく、100〜5,000Åが特に好ましい。また、有
機膜は、公知のコーティング法により形成することがで
き、その膜厚は、0.01〜50μmが好ましく、0.
1〜10μmが特に好ましい。
【0028】1−3.熱伝播層 熱伝播層(「剥離層」ともいう)は、転写を効率良く行
うために熱を伝播させる層である。例えば、ポリαメチ
ルスチレンなどの高分子材料が挙げられるが、本発明は
特にこれに限定されるものではない。熱伝播層は、公知
の成膜法により形成することができ、その膜厚は、0.
001〜10μmが好ましく、0.005〜5μmが特
に好ましい。
【0029】1−4.ガス発生層 ガス発生層は、光または熱を吸収すると分解反応を起こ
して、例えば、窒素ガスまたは水素ガスなどを放出し、
転写のためのエネルギーを提供する、すなわち、転写効
率の向上に寄与する層である。ガス発生層を構成する材
料としては、例えば、四硝酸ペンタエリトリトール、ト
リニトロトルエンなどが挙げられるが、本発明はこれら
に限定されるものではない。ガス発生層は、公知の成膜
法により形成することができ、その膜厚は、0.001
〜10μmが好ましく、0.005〜5μmが特に好ま
しい。
【0030】2.転写層 転写層は、転写工程により実際に転写される層であり、
有機LED層のみの構造でも電極層と有機LED層を組
合わせた構造でもよい。具体的には、下記の構成が挙げ
られるが、本発明はこれらにより限定されるものではな
い。 (1)有機LED層 (2)第1電極/有機LED層 (3)有機LED層/第2電極 (4)第1電極/有機LED層/第2電極 なお、ベースフィルムに対する転写層の積層順は限定さ
れない。
【0031】2−1.有機LED層 有機LED層は、単層構造でも多層構造でもよく、具体
的には、下記の構成が挙げられるが、本発明はこれらに
より限定されるものではない。 (1)有機発光層 (2)正孔輸送層/有機発光層 (4)有機発光層/電子輸送層 (5)正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層 (6)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層 (7)正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電荷ブロッ
キング層/電子輸送層 ここで、各有機LED層は、単層構造でも多層構造でも
よく、それらの膜厚は、通常1〜1000nm程度であ
る。
【0032】本発明の有機LED用ドナーフィルムは、
転写層となる上記の有機LED層中の有機発光層が、本
発明の有機発光層形成用塗液を用いて、公知のウエット
プロセスでベースフィルム上に形成(成膜)されてな
る。ウエットプロセスとしては、スピンコート法、ディ
ップコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、ス
プレーコート法、インクジェット法、凸版印刷法、凹版
印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート法
などが挙げられ、中でも膜厚の均一性、材料の利用効率
の点から、マイクログラビアコート法が好ましい。
【0033】有機発光層を成膜する際の環境は特に限定
されるものではないが、膜の吸湿、材料の変質を考慮す
ると、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気が好まし
い。また、有機発光層となる塗膜を形成した後には、残
留する液体媒体を除去するために、加熱乾燥を行うのが
好ましい。また、加熱乾燥を行う環境は特に限定される
ものではないが、塗膜中の有機材料の変質を防止する観
点から、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気が好ま
しく、さらには減圧下が好ましい。
【0034】有機発光層以外の有機LED層、すなわち
正孔注入層、正孔輸送層および電子輸送層などの電荷注
入輸送層、ならびに電荷ブロッキング層は、公知の材料
および方法により形成することができる。具体的には、
各有機LED層の構成材料を直接用いた、真空蒸着法、
EB法、MBE法、スパッタ法などの公知のドライプロ
セスにより形成するか、または有機発光層と同様に、そ
れらの構成材料を含む塗液を用いた、スピンコート法、
ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コート
法、スプレーコート法、インクジェット法、凸版印刷
法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビア
コート法などのウエットプロセスにより形成することが
できる。
【0035】有機発光層以外の有機LED層をウエット
プロセスで形成する場合には、形成する層構成によっ
て、個別に調製した正孔注入層形成用塗液、正孔輸送層
形成用塗液、電子輸送層形成用塗液または電荷ブロッキ
ング層形成用塗液を用いる。各塗液は、正孔注入材料、
正孔輸送材料、電子輸送材料または電荷ブロッキング材
料を液体媒体に溶解または分散したものであり、任意に
結着用樹脂、レベリング剤、その他の添加剤(ドナー、
アクセプターなど)などを含む。
【0036】電荷注入輸送層の構成材料は、正孔注入材
料、正孔輸送材料および電子輸送材料に分類され、本発
明には有機LED用や有機光導電体用の公知の電荷輸送
材料を用いることができる。これらの具体的な化合物を
以下に例示するが、本発明はこれらにより限定されるも
のではない。
【0037】正孔輸送材料としては、例えば、無機p型
半導体材料;ポルフィリン化合物、N,N’−ビス−
(3−メチルフェニル)−N,N’−ビス−(フェニ
ル)−ベンジジン(TPD)、N,N’−ジ(ナフタレ
ン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン
(NPD)などの芳香族第三級アミン化合物、ヒドラゾ
ン化合物、キナクリドン化合物、スチリルアミン化合物
などの低分子材料;ポリアニリン(PANI)、ポリア
ニリン−樟脳スルホン酸(PANI−CSA)、3,4
−ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンサル
フォネイト(PEDOT/PSS)、ポリ(トリフェニ
ルアミン誘導体)(Poly−TPD)、ポリビニルカ
ルバゾール(PVCz)などの高分子材料;ポリ(p−
フェニレンビニレン)前駆体(Pre−PPV)、ポリ
(p−ナフタレンビニレン)前駆体(Pre−PNV)
などの高分子材料の前駆体などが挙げられる。これらは
2種以上の混合物としても用いることができる。
【0038】電子輸送材料としては、例えば、無機n型
半導体材料;オキサジアゾ−ル誘導体、トリアゾ−ル誘
導体、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘
導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジ
フェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体などの低分子
材料;ポリ(オキサジアゾール)(Poly−OXZ)
などの高分子材料が挙げられる。これらは2種以上の混
合物としても用いることができる。
【0039】電荷ブロッキング層の構成材料としては、
有機LED用の公知の電荷ブロッキング材料を用いるこ
とができる。この電荷ブロッキング材料としては、例え
ば、4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリ
ン、2,9−ジメチル−1,10−フェナントロリン等
が挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるもの
ではない。また、これらは2種以上の混合物としても用
いることができる。
【0040】結着用樹脂としては、有機発光層形成用塗
液の説明で例示したものが挙げられる。液体媒体として
は、前記の材料を溶解または分散できるものであれば特
に限定されず、有機発光層形成用塗液の説明で例示した
ものが挙げられる。各塗液は、上記の各成分を用いて調
製されるが、その固形分は、0.01〜20重量%、好
ましくは0.1〜10重量%、より好ましくは1〜5重
量%である。
【0041】2−2.第1電極および第2電極 第1電極および第2電極を形成する電極材料としては、
公知の電極材料を用いることができる。第1電極を陽極
とする場合には第2電極を陰極とし、第1電極を陰極と
する場合には第2電極を陽極とする。陽極を形成する材
料としては、仕事関数が高い金属(Au、Pt、Niな
ど)および透明電極材料(ITO、IDIXO、SnO
2など)などが挙げられる。また、陰極を形成する材料
としては、仕事関数の低い金属(Rb、Csなどのアル
カリ金属、Ca、Baなどのアルカリ土類金属、C
e)、絶縁物(LiF、Li2Oなどのアルカリ金属、
BaF2のようなアルカリ土類金属)、ならびに仕事関
数の低い金属、絶縁物、金属電極材料(Al、Agな
ど)および透明電極(ITO、IDIXO、SnO
2等)などの単層膜を組み合わせた積層膜などが挙げら
れる。各電極は、上記の材料を用いて、EB、スパッ
タ、抵抗加熱蒸着法などの公知の方法で形成することが
できるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0042】本発明の有機LED表示パネルは、基板/
第1電極/少なくとも有機発光層を含む有機LED層/
第2電極からなり、その製造方法は、基板上または基板
上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側
になるように(転写層が内側になるように)上記の有機
LED用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィ
ルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部も
しくはすべてを基板上または基板上に形成した所要の積
層物上に残してドナーフィルムを剥離して、有機LED
層を転写形成することを特徴とする。
【0043】図1を用いて本発明の有機LED表示パネ
ルの製造方法を具体的に説明する。転写層3が形成され
たベースフィルム6(本発明の有機LED用ドナーフィ
ルム)と第1電極10が形成された基板8とを、ベース
フィルム6と基板8とが外側になるように貼り付け、ベ
ースフィルム側(ベースフィルムの基材フィルム側)か
ら光(例えば、レーザ光)を照射もしくは熱を放射す
る。次いで、転写層3の一部もしくはすべてを残して、
ドナーフィルムを剥離することにより転写が完了する。
その後、基板8を真空乾燥または加熱乾燥するのが好ま
しく、一連の転写工程は、形成層(膜)の吸湿や材料の
変質を考慮して、不活性ガス中で行うのが好ましい。
【0044】本発明において用いられる基板としては、
例えば、ガラス、石英などの無機材料;ポリエチレンテ
レフタレート(PET)などのプラスティック;アルミ
ナなどのセラミックスなどの絶縁性基板;アルミニウ
ム、鉄などの金属基板にSiO 2、有機絶縁材料などの
絶縁物をコートした基板;前記の金属基板の表面に陽極
酸化などの方法で絶縁化処理を施した基板などが挙げら
れるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0045】基板上に形成した所要の積層物としては、
第1電極、薄膜トランジスタ(TFT)などのスイッチ
ング素子などが挙げられる。第1電極は、有機LED層
と同時にまたは同様に転写法で形成してもよいが、予
め、公知の電極材料を用い、EB、スパッタ、抵抗加熱
蒸着法などの公知の方法で基板上に形成されていてもよ
い。また、第1電極は、フォトリソグラフィー法により
パターン化されていてもよい。
【0046】TFTとしては、例えば、ポリシリコンT
FTが挙げられる。但し、ポリシリコンTFTを低温プ
ロセスで形成する場合には、500℃以下の温度で融解
せず、かつ歪みが生じない基板、ポリシリコンTFTを
高温プロセスで形成する場合には、1000℃以下の温
度で融解せず、かつ歪みが生じない基板を用いるのが好
ましい。
【0047】TFTが形成された基板を用いる場合に
は、有機LED表示パネルの基本セル(画素)間におい
て電極による短絡を防止するために、予め電極をストラ
イプ状にパターン化し、パターン化した電極と垂直方向
にレーザを照射または熱を放射し転写することで電極を
四角状に転写してもよいし、または最初から四角状にパ
ターン化した電極を用いてレーザを照射または熱を放射
し転写することで電極を四角状に転写してもよい。ま
た、基板としてTFT付の基板を用いる場合、画素間で
電極による短絡を防止するため電極の膜厚を画素間で短
絡が起きない程度に薄くしてもよい。
【0048】本発明の有機LED表示パネルの製造方法
では、少なくとも有機発光層を含む有機LED層が転写
法により成膜されている必要があるが、他の有機LED
層は、公知の方法で成膜されていてもよい。用いる材料
としては、転写層の有機LED層の説明で例示したもの
が挙げられる。その形成方法としては、スピンコート
法、ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コー
ト法、スプレーコート法、インクジェット法、凸版印刷
法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビア
コート法などのウエットプロセス、および真空蒸着法、
EB法、MBE法、スパッタ法などのドライプロセスが
挙げられる。
【0049】本発明の有機LED用ドナーフィルムを、
第1電極を有する基板上に貼り付ける場合には、予め第
1電極の表面をクリーニングしておくのが好ましい。例
えば、イソプロピルアルコール(IPA)などで洗浄す
ることにより、第1電極の表面に付着したゴミなどを除
去することができ、UVオゾン処理、プラズマ処理など
に付すことにより、基板と有機LED用ドナーフィルム
との密着性を向上させることができる。また、逆スパッ
タなどのクリーニングに付すことにより、電極表面に形
成された金属酸化物などの絶縁層を除去することができ
る。
【0050】本発明の有機LED用ドナーフィルムを、
基板上または基板上に形成した所要の積層物上に貼り付
け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放
射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィ
ルムを剥離して、有機LED層を転写形成する。光の照
射または熱の放射は、有機LED層を転写形成し得るエ
ネルギーを有するものであればよく、用いる材料などに
より異なるが、例えば、出力0.2〜3.0J/cm2
程度のYAGレーザによるレーザ光の照射が挙げられ
る。
【0051】本発明の有機LED表示パネルの製造方法
では、少なくとも有機発光層を含む有機LED層が転写
法により成膜されている必要があるが、転写層として電
気的、光学的特性が異なる有機LED層をそれぞれ別の
ベースフィルム上に形成したドナーフィルムを用いて転
写工程を繰り返し行うことにより、基板上に多層の有機
LED層を転写形成してもよい。すなわち、基板上に、
正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層および電子輸送層
を1層ずつ転写形成してもよい。
【0052】転写層として、例えば、正孔輸送層/赤色
発光層/第1電極からなる有機赤色発光多層膜、正孔輸
送層/緑色発光層/第1電極からなる有機緑色発光多層
膜、および正孔輸送層/青色発光層/第1電極からなる
有機青色発光多層膜を有する3種類の有機LED用ドナ
ーフィルムを用いて、基板上に転写工程を繰り返すこと
により、赤色(R)、緑色(G)および青色(B)の発
光多層膜を有する有機LED表示パネルを得ることがで
きる。
【0053】図3の(a)〜(k)は、本発明の有機L
ED表示パネルの製造方法における転写工程の一例を示
す概略断面図である。この工程では、まず、(a)第1
電極10および隔壁(絶縁膜)16が形成された基板8
上に、転写層として有機赤色発光層13が形成されたベ
ースフィルム6(有機LED用ドナーフィルム)をベー
スフィルム6が外側になるように貼り付け、(b)次い
でベースフィルム側から光を照射または熱を放射し(図
番12)、(c)転写層の一部もしくはすべてを残して
ドナーフィルムを剥離して、有機LED層として有機赤
色発光層13を転写形成する。引き続き、有機緑色発光
層14が形成されたベースフィルムおよび有機青色発光
層15が形成されたベースフィルムをそれぞれ用いて、
工程(a)〜(c)と同様にして、工程(d)〜(f)
および工程(g)〜(i)で有機緑色発光層14および
有機青色発光層15を転写形成する。(j)次いで、転
写形成した各発光層の全面に公知の方法で第2電極9を
形成する。(k)さらに、第2電極の全面に公知の方法
で封止膜17を形成する。図3のように、本発明の有機
LED表示パネルには、隔壁が設けられていてもよい。
【0054】この発明の有機LED表示パネルには、偏
光板を設けるのが好ましい。偏光板としては、従来の直
線偏向板と1/4λ板を組み合わせたものが好ましい。
これにより、有機LED素子としてのコントラストを向
上させることができる。
【0055】この発明の有機LED表示パネルには、封
止膜または封止基板を設けるのが好ましい。封止膜また
は封止基板は、公知の封止材料および封止方法を用いて
形成することができる。例えば、窒素ガス、アルゴンガ
スなどの不活性ガスをガラス、金属などで封止する方
法、不活性ガス中に酸化バリウムなどの吸湿剤などを混
入する方法、第2電極上に樹脂を直接スピンコートする
か、もしくは貼り合わせて封止膜とする方法、プラズマ
CVD法などにより第2電極上に窒化シリコン膜などを
成膜し封止膜とする方法などが挙げられるが、本発明は
これらに限定されるものではない。これにより、外部か
ら有機LED表示パネル(有機LED素子)内への酸
素、水分の混入が防止され、有機LED表示パネルの寿
命が向上する。
【0056】以上のようにして、本発明の有機LED表
示パネルが製造される。その駆動方法としては、パッシ
ブマトリックス駆動、アクティブマトリックス駆動など
の従来の有機LED表示パネルの駆動方法を用いること
ができるが、本発明ではこれらに限定されるものではな
い。
【0057】
【実施例】本発明を実施例および比較例に基づいてさら
に具体的に説明するが、これらの実施例により本発明が
限定されるものではない。実施例および比較例で得られ
た塗液の25℃における粘度を、粘度測定機(ファンギ
ラブ社製、型式:ビスコベーシック)を用いて測定した
(単位:cps)。
【0058】比較例1 基材フィルムとして膜厚0.1mmのポリエチレンテレ
フタレート(PET)フィルムを用い、このフィルム上
に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化
型エポキシ樹脂を膜厚が5μmになるようにコーティン
グして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層(剥離
層)として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が1μmに
なるようにコーティングして、ベースフィルムを得た。
【0059】次いで、マイクログラビアコーターで青色
発光層形成用塗液をベースフィルム上に塗布して、青色
発光層となる膜厚80nmの転写層を形成した。ここ
で、青色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量
4,000,000のポリ(9,9−ジオクチルフルオ
レン)(PDAF)をキシレンに固形分1wt%で溶解
したものを用いた。このときの塗液の粘度は2.8cp
sであった。特定の重量平均分子量を有するPDAは、
反応条件(具体的にはモノマーを高分子化するときに用
いる重合開始剤の添加量)を調整して公知の方法により
合成し、公知の方法(GPCまたは透析用チューブ)を
用いて、得られた高分子材料から特定の分子量を有する
ものを選別することにより得た。
【0060】次に、このベースフィルムを高純度窒素雰
囲気中、90℃で1時間加熱し、転写層中の溶媒を除去
した。次いで、抵抗加熱蒸着装置を用いて青色発光層上
に正孔輸送層となるN,N’−ジ(ナフタレン−1−イ
ル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン(NPD)を
膜厚40nmになるように成膜し、青色発光層と正孔輸
送層からなる転写層を有するドナーフィルムを得た。
【0061】膜厚15nmのITOが長さ20mm、幅
100μm、ピッチ200μmでパターン形成されたガ
ラス基板に、正孔輸送材料として3,4−ポリエチレン
ジオキシチオフェン/ポリスチレンサルフォネイト(P
EDOT/PSS)を含有する正孔輸送層形成用塗液を
スピンコーターで塗布し、高純度窒素中、200℃で1
分間加熱・乾燥して、膜厚20nmの正孔輸送層を得
た。ここで、正孔輸送層形成用塗液としては、PEDO
T/PSSを純水に固形分0.1wt%で溶解したもの
を用いた。
【0062】PEDOT/PSSからなる正孔輸送層を
形成した基板に、前記ドナーフィルムを貼りつけて、ロ
ーラーを用いて2kg重の圧力を加え、両者を密着させ
た後、基板のITO上をITOと平行に2本おきに2J
/cm2のYAGレーザを用いてレーザ光をスキャン照
射し、ベースフィルムを剥離した。転写層の転写状態を
確認するために、光学顕微鏡を用いて、剥離したベース
フィルム表面および転写層が転写された基板表面を観察
した。得られた結果を表1に示す。
【0063】比較例2 重量平均分子量2,000,000のPDAFを用いる
こと以外は、比較例1と同様にして、ベースフィルムを
作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0064】実施例1 重量平均分子量1,000,000のPDAFを用いる
こと以外は、比較例1と同様にして、ベースフィルムを
作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0065】実施例2 重量平均分子量800,000のPDAFを用いること
以外は、比較例1と同様にして、ベースフィルムを作製
し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認した。得
られた結果を表1に示す。
【0066】実施例3 重量平均分子量600,000のPDAFを用いること
以外は、比較例1と同様にして、ベースフィルムを作製
し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認した。得
られた結果を表1に示す。
【0067】比較例3 基材フィルムとして膜厚0.1mmのPETフィルムを
用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン
粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が5μmに
なるようにコーティングして室温硬化させた。次に、熱
伝播層(剥離層)として、ポリαメチルスチレン膜を膜
厚が1μmになるようにコーティングして、ベースフィ
ルムを得た。
【0068】次いで、マイクログラビアコーターで緑色
発光層形成用塗液をベースフィルム上に塗布して、緑色
発光層となる膜厚80nmの転写層を形成した。ここ
で、緑色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量
4,000,000のポリ(p−フェニレンビニレン)
前駆体(Pre−PPV)を水/メタノール混合媒体
(混合比6:4)に固形分1wt%で溶解したものを用
いた。このときの塗液の粘度は2.8cpsであった。
得られた転写層を窒素雰囲気中、150℃で8時間加熱
し、pre−PPVをPPVに変換した。特定の重量平
均分子量を有するPre−PPVは、反応条件(具体的
にはモノマーを高分子化するときに用いる重合開始剤の
添加量)を調整して公知の方法により合成し、公知の方
法(GPCまたは透析用チューブ)を用いて、得られた
高分子材料から特定の分子量を有するものを選別するこ
とにより得た。
【0069】次に、このベースフィルムを高純度窒素雰
囲気中、90℃で1時間加熱し、転写層中の溶媒を除去
した。次いで、抵抗加熱蒸着装置を用いて緑色発光層上
に正孔輸送層となるNPDを膜厚40nmになるように
成膜し、緑色発光層と正孔輸送層からなる転写層を有す
るドナーフィルムを得た。
【0070】膜厚15nmのITOが長さ20mm、幅
100μm、ピッチ200μmでパターン形成されたガ
ラス基板に、正孔輸送材料としてPEDOT/PSSを
含有する正孔輸送層形成用塗液をスピンコーターで塗布
し、高純度窒素中、200℃で1分間加熱・乾燥して、
膜厚20nmの正孔輸送層を得た。ここで、正孔輸送層
形成用塗液としては、PEDOT/PSSを純水に固形
分0.1wt%で溶解したものを用いた。
【0071】PEDOT/PSSからなる正孔輸送層を
形成した基板に、前記ドナーフィルムを貼りつけて、ロ
ーラーを用いて2kg重の圧力を加え、両者を密着させ
た後、基板のITO上をITOと平行に2本おきに2.
3J/cm2のYAGレーザを用いてレーザ光をスキャ
ン照射し、ベースフィルムを剥離した。転写層の転写状
態を確認するために、光学顕微鏡を用いて、剥離したベ
ースフィルム表面および転写層が転写された基板表面を
観察した。得られた結果を表1に示す。
【0072】比較例4 重量平均分子量2,000,000のPre−PPVを
用いること以外は、比較例3と同様にして、ベースフィ
ルムを作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確
認した。得られた結果を表1に示す。
【0073】実施例4 重量平均分子量1,000,000のPre−PPVを
用いること以外は、比較例3と同様にして、ベースフィ
ルムを作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確
認した。得られた結果を表1に示す。
【0074】実施例5 重量平均分子量800,000のPre−PPVを用い
ること以外は、比較例3と同様にして、ベースフィルム
を作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0075】実施例6 重量平均分子量600,000のPre−PPVを用い
ること以外は、比較例3と同様にして、ベースフィルム
を作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0076】比較例5 基材フィルムとして膜厚0.1mmのポリエチレンテレ
フタレート(PET)フィルムを用い、このフィルム上
に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化
型エポキシ樹脂を膜厚が5μmになるようにコーティン
グして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層(剥離
層)として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が1μmに
なるようにコーティングして、ベースフィルムを得た。
【0077】次いで、マイクログラビアコーターで赤色
発光層形成用塗液をベースフィルム上に塗布して、赤色
発光層となる膜厚80nmの転写層を形成した。ここ
で、赤色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量
4,000,000のポリ[2,5−ビス−(ヘキシル
オキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレ
ン)](CN−PPV)をクロロホルムに固形分1wt
%で溶解したものを用いた。このときの塗液の粘度は
2.8cpsであった。特定の重量平均分子量を有する
CN−PPVは、反応条件(具体的にはモノマーを高分
子化するときに用いる重合開始剤の添加量)を調整して
公知の方法により合成し、公知の方法(GPCまたは透
析用チューブ)を用いて、得られた高分子材料から特定
の分子量を有するものを選別することにより得た。
【0078】次に、このベースフィルムを高純度窒素雰
囲気中、90℃で1時間加熱し、転写層中の溶媒を除去
した。次いで、抵抗加熱蒸着装置を用いて青色発光層上
に正孔輸送層となるNPDを膜厚40nmになるように
成膜し、赤色発光層と正孔輸送層からなる転写層を有す
るドナーフィルムを得た。
【0079】膜厚15nmのITOが長さ20mm、幅
100μm、ピッチ200μmでパターン形成されたガ
ラス基板に、正孔輸送材料としてPEDOT/PSSを
含有する正孔輸送層形成用塗液をスピンコーターで塗布
し、高純度窒素中、200℃で1分間加熱・乾燥して、
膜厚20nmの正孔輸送層を得た。ここで、正孔輸送層
形成用塗液としては、PEDOT/PSSを純水に固形
分0.1wt%で溶解したものを用いた。
【0080】PEDOT/PSSからなる正孔輸送層を
形成した基板に、前記ドナーフィルムを貼りつけて、ロ
ーラーを用いて2kg重の圧力を加え、両者を密着させ
た後、基板のITO上をITOと平行に2本おきに1.
8J/cm2のYAGレーザを用いてレーザ光をスキャ
ン照射し、ベースフィルムを剥離した。転写層の転写状
態を確認するために、光学顕微鏡を用いて、剥離したベ
ースフィルム表面および転写層が転写された基板表面を
観察した。得られた結果を表1に示す。
【0081】比較例6 重量平均分子量2,000,000のCN−PPVを用
いること以外は、比較例5と同様にして、ベースフィル
ムを作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認
した。得られた結果を表1に示す。
【0082】実施例7 重量平均分子量1,000,000のCN−PPVを用
いること以外は、比較例5と同様にして、ベースフィル
ムを作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認
した。得られた結果を表1に示す。
【0083】実施例8 重量平均分子量800,000のCN−PPVを用いる
こと以外は、比較例5と同様にして、ベースフィルムを
作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0084】実施例9 重量平均分子量600,000のCN−PPVを用いる
こと以外は、比較例5と同様にして、ベースフィルムを
作製し、転写試験を行い、転写層の転写状態を確認し
た。得られた結果を表1に示す。
【0085】
【表1】
【0086】実施例10 TFT(薄膜トランジスタ基板)の作製 アルミナ基板上に、SiH4の分解によるLP−CDV
法により、膜厚50nmのα−Si膜を成膜し、その
後、固相成長法によりα−Siを多結晶化した。次に、
チャンネル部、ソース・ドレイン部からなるPoly−
Si膜をエッチング加工し、ゲート絶縁膜としてPol
y−Si膜を1000℃以上で熱酸化して、膜厚100
nmのSiO2を形成した。この後、ゲート電極として
膜厚50nmのAlをスパッタリングで成膜した。そし
て、ゲート電極をパターニングした。また、コンデンサ
ーの下部電極を加工した。この後、ゲート電極側面を陽
極酸化し、オフセット部を形成し、その後、イオン打ち
込み法によりソース・ドレイン部にリンを高濃度にドー
プした。走査線を形成し、この後、層間絶縁膜として膜
厚300nmのSiO2膜を形成した。更にソース、共
通電極を形成し、TFTの活性層のドレイン部から画素
の中央部分まで、アルミニウムターゲットを用いたスパ
ッタ法により接続電極を形成し、コンデンサーの上部電
極を形成し、高温プロセスによりPoly−Si TF
Tを形成した。
【0087】次に、平坦化膜として膜厚3μmのSiO
2膜を形成した。次に、この平坦化膜上にレジストを塗
布し、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール
部分が貫けたパターンを形成した後、エッチングによ
り、基板側より画素側で開口部が広い形状をもつコンタ
クトホールを画素の中央部に開口させ、レジストを洗い
流した。これにより画素に均等に電流を供給することが
できる。次に、スパッタ法により、画素電極としての膜
厚3μmの銀を絶縁膜上に成膜した。次に、これを4μ
mの厚み分研磨することにより、絶縁膜とコンタクトホ
ールを含めて平坦化した。
【0088】次に、抵抗蒸着法により、第2電極として
膜厚1nmのカルシウムを成膜した。次に、スパッタ法
により、絶縁膜として膜厚200nmのSiO2を成膜
した。次に、この表面を研磨することで、画素電極間に
のみ絶縁膜を残し、かつ前記絶縁膜と画素電極とを同時
に平坦化した。これにより画素電極のエッジ部での電界
集中による素子の劣化を防止することが可能となり、か
つ転写法により有機LED層を形成した場合にも、ベー
スフィルムが完全に基板に密着するので、有機LED層
が、転写されない部分が生ずることを防止できる。
【0089】以下の赤色、緑色、青色の各発光画素形成
用ドナーフィルムの作製からそれらのパターニング転
写、対向電極および封止膜の形成までの工程は、有機
層、電極の劣化を防止するために不活性ガス中または真
空中で行った。
【0090】赤色発光画素形成用ドナーフィルムの作製 基材フィルムとして膜厚0.1mmのPETフィルムを
用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン
粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が5μmに
なるようにコーティングして室温硬化させた。次に、そ
の上に熱伝播層(剥離層)として、ポリαメチルスチレ
ン膜を膜厚が1μmになるようにコーティング形成し
て、ベースフィルムを得た。
【0091】次いで、ベースフィルムに波長177nm
のUV光を5分間照射した後、マイクログラビアコータ
ーで正孔輸送層形成用塗液をベースフィルム上に塗布し
て、正孔輸送層となる膜厚50nmの転写層を形成し
た。次に、このフィルムを110℃で5分間、高純度窒
素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。ここ
で、正孔輸送層形成用塗液としては、PEDOT/PS
Sを純水に固形分1wt%で溶解したものを用いた。こ
のときの塗液の粘度は4.6cpsであった。
【0092】次いで、マイクログラビアコーターで赤色
発光層形成用塗液を正孔輸送層上に塗布して、赤色発光
層となる膜厚75nmの転写層を形成した。ここで、赤
色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量1,00
0,000のCN−PPVをクロロホルムに固形分2w
t%で溶解したものを用いた。このときの塗液の粘度は
2.6cpsであった。次に、このベースフィルムを高
純度窒素雰囲気中、110℃で5分間加熱し、転写層中
の溶媒を除去し、赤色発光画素形成用ドナーフィルムと
した。
【0093】緑色発光画素形成用ドナーフィルムの作製 基材フィルムとして膜厚0.1mmのPETフィルムを
用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン
粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が5μmに
なるようにコーティングして室温硬化させた。次に、そ
の上に熱伝播層(剥離層)として、ポリαメチルスチレ
ン膜を膜厚が1μmになるようにコーティング形成し
て、ベースフィルムを得た。
【0094】次いで、ベースフィルムに波長177nm
のUV光を5分間照射した後、マイクログラビアコータ
ーで正孔輸送層形成用塗液をベースフィルム上に塗布し
て、正孔輸送層となる膜厚50nmの転写層を形成し
た。次に、このフィルムを110℃で5分間、高純度窒
素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。ここ
で、正孔輸送層形成用塗液としては、PEDOT/PS
Sを純水に固形分1wt%で溶解したものを用いた。こ
のときの塗液の粘度は4.6cpsであった。
【0095】次いで、マイクログラビアコーターで緑色
発光層形成用塗液を正孔輸送層上に塗布して、緑色発光
層となる膜厚75nmの転写層を形成した。ここで、緑
色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量1,00
0,000のpre−PPVをメタノールに固形分2w
t%で溶解したものを用いた。このときの塗液の粘度は
3.6cpsであった。次に、得られた転写層を窒素雰
囲気中、110℃で5分間加熱し、転写層中の溶媒を除
去すると同時に、pre−PPVをPPVに変換し、緑
色発光画素形成用ドナーフィルムとした。
【0096】青色発光画素形成用ドナーフィルムの作製 基材フィルムとして膜厚0.1mmのPETフィルムを
用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン
粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が5μmに
なるようにコーティングして室温硬化させた。次に、そ
の上に熱伝播層(剥離層)として、ポリαメチルスチレ
ン膜を膜厚が1μmになるようにコーティング形成し
て、ベースフィルムを得た。
【0097】次いで、ベースフィルムに波長177nm
のUV光を5分間照射した後、マイクログラビアコータ
ーで正孔輸送層形成用塗液をベースフィルム上に塗布し
て、正孔輸送層となる膜厚50nmの転写層を形成し
た。次に、このフィルムを110℃で5分間、高純度窒
素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。ここ
で、正孔輸送層形成用塗液としては、PEDOT/PS
Sを純水に固形分1wt%で溶解したものを用いた。こ
のときの塗液の粘度は4.6cpsであった。
【0098】次いで、マイクログラビアコーターで青色
発光層形成用塗液を正孔輸送層上に塗布して、青色発光
層となる膜厚75nmの転写層を形成した。ここで、赤
色発光層形成用塗液としては、重量平均分子量1,00
0,000のをキシレンに固形分1wt%で溶解したも
のを用いた。このときの塗液の粘度は6.6cpsであ
った。次に、このベースフィルムを高純度窒素雰囲気
中、110℃で5分間加熱し、転写層中の溶媒を除去
し、青色発光画素形成用ドナーフィルムとした。
【0099】パターニング転写 p−Si TFTを形成した基板に、赤色発光画素形成
用ドナーフィルムを貼り付け、転写エネルギーが1.2
J/cm2になるように調整した13WのYAGレーザ
を用いて、所望の位置にレーザ光をスキャン(走査)照
射することで、赤色発光画素を基板上にパターン転写し
た。次に、緑色発光画素形成用ドナーフィルムおよび青
色発光画素形成用ドナーフィルムをそれぞれ用い、赤色
発光画素と同様にして、緑色発光画素および青色発光画
素を、p−Si TFTを形成した基板にパターニング
転写した。
【0100】対向電極および封止膜の形成 各発光画素を形成した基板を、真空中、100℃で30
分間加熱することにより、有機膜中に吸着した水分を完
全に除去した。次に、前記の真空状態を保持し、基板を
金属蒸着用チャンバーに固定し、室温でのスパッタ法に
より、対向電極(透明電極)として膜厚150nmにな
るように透明導電膜(出光興産株式会社製、商品名:I
DIXO)を全面に成膜した。ここで、成膜した透明電
極は、面抵抗:<30Ω/□、透過率:>80%(55
0nm)、平坦性:±2%であった。この対向電極上の
全体に、スピンコート法により、封止膜として膜厚が1
μmになるようにエポキシ樹脂を成膜し、封止膜上に、
偏光板を設け、有機LED表示パネルを完成した。
【0101】
【発明の効果】本発明の有機発光層形成用塗液は、有機
LED表示パネルの有機LED層を転写法で形成する際
に使用される有機LED用ドナーフィルムの有機発光層
形成用塗液であって、前記塗液が、重量平均分子量1,
000〜1,000,000の高分子発光材料を含有す
ることを特徴とするので、転写工程において「転写不良
(所望の画素間に転写層が形成されることがない)」や
「ハジキ」が生じず、成膜性が良好な有機発光層を、効
率よく、かつ均一に形成し得る有機発光層形成用塗液、
有機LED用ドナーフィルム、それを用いた有機LED
表示パネルの製造方法および有機LED表示パネルを提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の有機LED表示パネルの製造方法を示
す概略断面図である。
【図2】本発明の有機LED用ドナーフィルムの部分概
略断面図である。
【図3】本発明の有機LED表示パネルの製造方法にお
ける転写工程の一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 基材フィルム 2 光―熱変換層 3 転写層 4 熱伝播層 5 ガス発生層 6 ベースフィルム 7 有機LED用ドナーフィルム 8 基板 9 第2電極 10 第1電極 12 光または熱源 13 有機赤色発光層 14 有機緑色発光層 15 有機青色発光層 16 隔壁(絶縁膜) 17 封止膜

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有機LED表示パネルの有機LED層を
    転写法で形成する際に使用される有機LED用ドナーフ
    ィルムの有機発光層形成用塗液であって、前記塗液が、
    重量平均分子量1,000〜1,000,000の高分
    子発光材料を含有することを特徴とする有機発光層形成
    用塗液。
  2. 【請求項2】 有機発光層形成用塗液が、20℃におけ
    る表面張力が50dyne/cm以下である液体媒体を
    含む請求項1に記載の有機発光層形成用塗液。
  3. 【請求項3】 液体媒体が、ベンゼン骨格を少なくとも
    有する芳香族炭化水素である請求項1または2に記載の
    有機発光層形成用塗液。
  4. 【請求項4】 有機LED表示パネルの有機LED層を
    転写法で形成する際に使用される有機LED用ドナーフ
    ィルムであって、光−熱変換層、任意に熱伝播層および
    /またはガス発生層が積層されたベースフィルム上に単
    層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の
    有機発光層が、請求項1〜3のいずれか1つに記載の有
    機発光層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成さ
    れてなることを特徴とする有機LED用ドナーフィル
    ム。
  5. 【請求項5】 ベースフィルムが、水との接触角が50
    °以下である表面張力を有する請求項4に記載の有機L
    ED用ドナーフィルム。
  6. 【請求項6】 基板/第1電極/少なくとも有機発光層
    を含む有機LED層/第2電極からなる有機LED表示
    パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成し
    た所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるよう
    に請求項4または5に記載の有機LED用ドナーフィル
    ムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射ま
    たは熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを基板上
    または基板上に形成した所要の積層物上に残してドナー
    フィルムを剥離して、有機LED層を転写形成すること
    を特徴とする有機LED表示パネルの製造方法。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の有機LED表示パネル
    の製造方法により製造された有機LED表示パネル。
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