JP2003255003A - 昇降プローブ付き検査装置の検査済み特定部品の回収機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検査部品中から特定部品のみを自動的に回収
できる検査済み特定部品の回収機構の提供。 【解決手段】移動自在なアームの基台部１１が備える昇
降プローブ１２を定置された個々の微小な被検査部品１
６に接触させて特性を検査する検査装置に適用され、基
台部１２には、開蓋自在な密封容器１３と、一端部２４
側からの空気引きが自在で他端部２５を密封容器１３内
に連通させた第１エアチューブ２３と、密封容器１３内
に基端部３４を連通させて先端部３５からの空気引きを
自在とした第２エアチューブ３３とを配設し、該第２エ
アチューブ３３は、先端部３５をエアシリンダ４５が備
える昇降ロッド部４６に連結させて昇降制御を自在とす
るとともに、各被検査部品１６の検査結果により選定さ
れた特定部品１７上に位置させた第２エアチューブ３３
の先端部３５の降下と空気引きとにより、特定部品１７
の密封容器１３内への吸引を自在とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブを用いて
基板やチップ部品やパッケージ部品などからなる比較的
微小な被検査部品の良否を電気的に検査し、検査済みの
被検査部品中から選定された例えば不良品のみを特定部
品として自動的に回収できるようにした昇降プローブ付
き検査装置の検査済み特定部品の回収機構に関する技術
である。

【０００２】

【従来の技術】図３は、基板やチップ部品やパッケージ
部品などで構成される被検査部品の良否をプローブを用
いて電気的に検査し、不良品を特定できるようにした検
査装置の従来例を示す要部説明図である。

【０００３】同図によれば、Ｘ−Ｙ軸方向への移動を自
在とした図示しないアームに固定される基台部１には、
Ｚ軸方向への昇降を自在に配設された昇降プローブ２
と、エアシリンダ３が備える昇降ロッド部４の先端側に
取り付けられて所定マークの押捺を自在としたスタンプ
５とが配設されている。

【０００４】このため、定置された個々の被検査部品に
対しプローブ２を電気的に接触させて電気的な検査を行
い、その検査結果に応じて不良品と判断された被検査部
品を特定することができるように、例えば基板７の所定
位置にスタンプ５の印面６を接触させて不良品であるこ
とを示す所定マークを押捺できるようになっている。

【０００５】したがって、検査を終えた被検査部品は、
次工程において押捺されたマークを手掛かりに、目視に
よる確認やマーク検出装置によるチェックを経ることに
より、被検査部品中から不良品を特定することができる
ことになる。

【０００６】このようにして検査後の被検査部品中から
不良品が特定された後は、該当する特定部品としての基
板７やチップ部品やパッケージ部品を人手により個別に
取り除かれることになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来手法
による場合には、検査後に不良品を取り除く工程が必要
になるほか、目視による確認やマーク検出装置によるチ
ェックを経る際に見落としやマークが不鮮明で判別不能
となるなどの不都合があった。

【０００８】さらに、人手を介して行われる不良品の取
除き作業には、大変な労力が必要となるほか、被検査部
品が微小化すればするほどさらに煩雑な作業を強いられ
る不具合があった。

【０００９】本発明は、従来技術にみられた上記課題に
鑑み、被検査部品中から選定された特定部品、例えば不
良品のみを人手を介することなく自動的に確実に回収す
ることができる昇降プローブ付き検査装置の検査済み特
定部品の回収機構を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成すべくなされたものであり、Ｘ−Ｙ軸方向への移動が
自在なアームに取着された基台部にＺ軸方向への昇降が
自在な昇降プローブを付設し、該昇降プローブを定置さ
れた個々の微小な被検査部品に電気的に接触させて逐次
その特性を検査する検査装置に適用され、前記基台部に
は、開蓋自在な密封容器と、一端部側からの空気引きが
自在でその他端部を前記密封容器内に気密状に連通させ
てなる第１エアチューブと、前記密封容器内にその基端
部を気密状に連通させて開放端側に位置する先端部から
の空気引きを自在とした第２エアチューブとを配設し、
該第２エアチューブは、前記先端部を前記基台部に設置
されたエアシリンダが備える昇降ロッド部に連結させて
Ｚ軸方向での昇降制御を自在とするとともに、移動制御
された前記基台部を介して各被検査部品の検査結果によ
り選定された特定部品上に位置させた第２エアチューブ
の前記先端部の降下と空気引きとにより、前記特定部品
の前記密封容器内への吸引を自在としたことに構成上の
特徴がある。

【００１１】この場合、前記第２エアチューブには、吸
引された前記特定部品の通過を確認するセンサを配設し
ておくのが好ましい。また、第１エアチューブの前記他
端部は、前記密封容器内に導入された前記特定部品の吸
引を阻止する通気カバーをその開口面に具備させておく
のが望ましい。さらに、前記センサによる前記特定部品
の通過有無の検出信号を第１エアチューブによる空気引
きの要否指令と連動させておくこともできる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一例につき一部
を切り欠いて示す要部説明図であり、図２は、図１にお
ける密封容器側の状態を示す平面図である。

【００１３】本発明は、Ｘ−Ｙ軸方向への移動が自在な
図示しないアームに取着された基台部１１にＺ軸方向へ
の昇降が自在な昇降プローブ１２を付設し、該昇降プロ
ーブ１２を定置された個々の微小な被検査部品１６に電
気的に接触させて逐次その特性を検査する検査装置に適
用して搭載される。

【００１４】この場合、基台部１１には、開蓋自在な適
宜容量の密封容器１３と、一端部２４側からの空気引き
が自在でその他端部２５を密封容器１３内に気密状に連
通させてなる第１エアチューブ２３と、密封容器１３内
にその基端部３４を気密状に連通させて開放端側に位置
する先端部３５からの空気引きを自在とした第２エアチ
ューブ３３とが配設されている。

【００１５】このうち、密封容器１３は、個々の被検査
部品１６のうちの回収された特定部品１７を収納してお
くために基台部１１側に連結固定されるものであり、適
宜の封止構造のもとで開蓋自在に形成された上蓋部１４
と容器本体部１５とで形成されている。

【００１６】また、密封容器１３は、回収後に容器本体
部１５内に収納されている特定部品１６を量的に目視確
認できるように、少なくとも上蓋部１４が、好ましくは
容器本体部１５も透明な合成樹脂等により形成されてい
るものを好適に用いることができる。

【００１７】可撓性を有する適宜口径の透明または不透
明なチューブ材からなる第１エアチューブ２３は、図示
しない真空ポンプ等の真空源に一端部２４が連結されて
空気引き自在となっており、その他端部２５がエルボ２
６を介して密封容器１３内に気密状に連結させることで
内部空間１３ａと連通している。

【００１８】この場合、第１エアチューブ２３の他端部
２５は、図２に示されているように上蓋部１４に設けら
れた通孔１４ａを介して内部空間１３ａへと導入され、
上蓋部１４を介してその上下に配設されたナット部材２
７，２７相互を緊締することにより気密性を確保した状
態のもとで連結されている。

【００１９】また、第１エアチューブ２３の他端部２５
は、密封容器１３内に導入された回収後の特定部品１７
をその開口面２５ａから吸引してしまうのを阻止するた
めに、目の細かい網材や特定部品１７よりも小さな通孔
を有するカバー材などからなる通気カバー２８により開
口面２５ａが覆われている。

【００２０】しかも、第１エアチューブ２３は、その流
路中に図示しない電磁弁が介在配置されており、該電磁
弁により流路の開閉を制御することができるようになっ
ている。

【００２１】可撓性を有する適宜口径のチューブ材から
なる第２エアチューブ３３は、その基端部３４を密封容
器１３内に気密状に連結することで内部空間１３ａと連
通している。この場合、基端部３４は、図１に示すよう
に上蓋部１４に設けられた通孔１４ｂを介して内部空間
１３ａへと導入され、上蓋部１４を介してその上下に配
設されたナット材３６，３６相互を緊締することにより
気密性が確保された状態のもとで連結されている。

【００２２】この場合、第２エアチューブ３３の基端部
３４は、上蓋部１４と直交するようにして真上から差し
込むために、上蓋部１４上に脚片３８を介して支台部３
７が立設されており、該支台部３７に穿設された通孔３
９を挿通させることにより垂下されている。

【００２３】また、支台部３７の下面にあって通孔３９
を間においた領域には、例えば発光素子４２と受光素子
４３とからなるフォトセンサ４１のような適宜構造のセ
ンサ４０が配設されており、これにより第２エアチュー
ブ３３の透明な基端部３４側を特定部品１７が通過した
か否かを検出することができるようになっている。

【００２４】さらに、第２エアチューブ３３は、基端部
３４側から直上させた後にＵターンさせることで、真下
方向に向かってその先端部３５が垂下されている。

【００２５】しかも、硬質樹脂材などで形成された適宜
の直進部材からなる先端部３５は、基台部１１に連結支
持させて設置されているエアシリンダ４５が備える昇降
ロッド部４６に連結されている。

【００２６】これを図１を参酌してさらに詳しく説明す
れば、第２エアチューブ３３における先端部３５は、連
結片４７を介して昇降ロッド部４６と連結されており、
該昇降ロッド部４６の昇降に従動して上下方向（Ｚ軸方
向）への昇降が自在となって配設されている。なお、連
結片４７は、例えばエアシリンダ４５に刻設されたガイ
ド溝４８に案内させるなど、適宜のガイド構造が付与さ
れてその昇降移動が自在となって配設されている。

【００２７】しかも、基台部１１は、Ｘ−Ｙ軸方向での
所定位置へと移動できるように移動制御されているの
で、該基台部１１が備える昇降プローブ１２を用いて個
々の被検査部品１６の電気的な特性を検査することがで
き、その検査結果により選定された特定部品１７上に第
２エアチューブ３３の先端部３５を移動させることもで
きる。

【００２８】さらに、第２エアチューブ３３の先端部３
５から吸引された特定部品１７の通過の有無は、センサ
４０により検知することができるので、その際に発せら
れる検出信号に対応させて第１エアチューブ２３側の図
示しない電磁弁の開閉を制御することにより、第１エア
チューブ２３側からの空気引きの要否指令と連動させる
ことができるようになっている。

【００２９】次に、本発明の作用・効果を説明すれば、
電気的な特性を検査しようとする微小なチップ部品やパ
ッケージ部品からなる個々の被検査部品１６は、例えば
パレット１９に設けられている位置決めのための穴部２
０などに定置させることで用意される。

【００３０】このようにして用意された被検査部品１６
は、検査装置の適宜の位置に位置決めしてパレット１９
を設置することにより、検査のための準備を終える。こ
の場合、パレット１９の穴部２０を空気引きすることに
より被検査部品１６をより好ましい状態のもとで定置さ
せてやることができる。

【００３１】かくして、個々の被検査部品１６に対し昇
降プローブ１２を電気的に接触させてそれぞれの電気的
な特性が検査され、その検査結果に基づいて良品と不良
品との判別が行われる。

【００３２】次いで、基台部１１を移動制御することで
不良品であるとして選定された一つの特定部品１７上に
第２エアチューブ３３の先端部３５をまず位置させる。

【００３３】しかる後、エアシリンダ４５を作動させて
第２エアチューブ３３の先端部３５を特定部品１７に接
近させ、適宜の位置センサから得られる検出信号等の制
御信号を送って第１エアチューブ２３が備える電磁弁を
開制御することにより、第１エアチューブ２３→密封容
器１３→第２エアチューブ３３のルートを経て空気引き
させることにより、特定部品１７も先端部３５から吸引
されて第２エアチューブ３３を経ることにより密封容器
１３内に回収されることになる。

【００３４】このとき、センサ４０が特定部品１７の通
過を検出すれば、その検出信号により第１エアチューブ
２３が備える電磁弁が閉制御されて空気引き動作が解除
される。なお、センサ４０が特定部品１７の通過を検出
しない場合には、一定時間の経過を待ってエラーと判断
され、エラーに伴う電磁弁の閉制御等の必要な処理が行
われる。

【００３５】しかも、第１エアチューブ２３の他端部２
５は、その開口面２５ａが通気カバー２８で覆われてい
るので、密封容器１３内に導入された回収後の特定部品
１７が第１エアチューブ２３の側に吸引されるのを確実
に防止することができる。

【００３６】以上に述べた特定部品１７のための一連の
回収動作は、パレット１９上の特定部品１７の数に応じ
て繰り返し行われ、すべての回収を終えた後は、新規の
被検査部品１６が定置された新たなパレット１９が回収
を終えたパレット１９と交換され、再び同じ作業が開始
される。なお、密封容器１３内に回収されて貯め込まれ
た特定部品１７は、作業従事者により密封容器１３を開
蓋して取り出すことにより必要な処分がされることにな
る。

【００３７】以上は、本発明の実施形態を図示例に即し
て説明したものであり、その具体的な実施の形態例はこ
れに限定されるものではなく、本発明から逸脱しない範
囲で上記実施形態に対し様々な変形を施すことが可能で
ある。例えば、回収される特定部品１７は、不良品では
なく良品とすることができる。また、センサ４０は、第
２エアチューブ３３における基端部３４側ではなく先端
部３５側を含む所望位置に設置しておくこともできる。
さらに、必要により第１エアチューブの他端部の開口面
を通気カバーで覆うことなく開放させておくこともでき
る。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、検査
を終えた個々の被検査部品の検査結果に基づいて選定さ
れた特定部品は、その上方に位置させた第２エアチュー
ブの先端部を降下させて接近させた上で空気引きさせる
ことにより、第２エアチューブを経て密封容器内に自動
的に回収することができる。

【００３９】したがって、検査後の人手を介した特定部
品の除去作業が不要になるばかりでなく、微小な被検査
部品であっても目視による確認やマーク検出装置による
チェックを経ることなく確実に特定部品としてそのすべ
てを円滑に回収することができる。

【００４０】しかも、第２エアチューブに吸引された特
定部品の通過を確認するセンサが設置されている場合に
は、その検出信号と第１エアチューブによる空気引きの
要否指令とを連動させることにより、その自動制御をよ
り容易化することができる。

【００４１】また、第１エアチューブの他端部の開口面
を通気カバーで覆ってある場合には、回収後の特定部品
が第１エアチューブ側に吸引されるおそれをなくして回
収作業のさらなる円滑化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例につき一部を切り欠いて示す要部
説明図。

【図２】図１における密封容器側についての平面図。

【図３】従来からある検査装置の要部構造を示す説明
図。

【符号の説明】

１ 基台部 ２ 昇降プローブ ３ エアシリンダ ４ 昇降ロッド部 ５ スタンプ ６ 印面 ７ 基板 １１ 基台部 １２ 昇降プローブ １３ 密封容器 １３ａ 内部空間 １４ 上蓋部 １４ａ，１４ｂ 通孔 １５ 容器本体部 １６ 被検査部品 １７ 特定部品 １９ パレット ２０ 穴部 ２３ 第１エアチューブ ２４ 一端部 ２５ 他端部 ２６ エルボ ２７ ナット材 ２８ 通気カバー ２８ａ 開口面 ３３ 第２エアチューブ ３４ 基端部 ３５ 先端部 ３６ ナット材 ３７ 支台部 ３８ 脚片 ３９ 通孔 ４０ センサ ４１ フォトセンサ ４２ 発光素子 ４３ 受光素子 ４５ エアシリンダ ４６ 昇降ロッド部 ４７ 連結片 ４８ ガイド溝

フロントページの続き (72)発明者 関 和彦 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日置 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G003 AA00 AF05 AF06 AF08 AG11 AG14 AH00 2G011 AC00 AC06 AD01 2G036 AA27 BB09 BB12 CA00 CA03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ−Ｙ軸方向への移動が自在なアームに
   取着された基台部にＺ軸方向への昇降が自在な昇降プロ
   ーブを付設し、該昇降プローブを定置された個々の微小
   な被検査部品に電気的に接触させて逐次その特性を検査
   する検査装置に適用され、 前記基台部には、開蓋自在な密封容器と、一端部側から
   の空気引きが自在でその他端部を前記密封容器内に気密
   状に連通させてなる第１エアチューブと、前記密封容器
   内にその基端部を気密状に連通させて開放端側に位置す
   る先端部からの空気引きを自在とした第２エアチューブ
   とを配設し、 該第２エアチューブは、前記先端部を前記基台部に設置
   されたエアシリンダが備える昇降ロッド部に連結させて
   Ｚ軸方向での昇降制御を自在とするとともに、移動制御
   された前記基台部を介して各被検査部品の検査結果によ
   り選定された特定部品上に位置させた第２エアチューブ
   の前記先端部の降下と空気引きとにより、前記特定部品
   の前記密封容器内への吸引を自在としたことを特徴とす
   る昇降プローブ付き検査装置の検査済み特定部品の回収
   機構。
2. 【請求項２】 前記第２エアチューブには、吸引された
   前記特定部品の通過を確認するセンサを配設した請求項
   １に記載の昇降プローブ付き検査装置の検査済み特定部
   品の回収機構。
3. 【請求項３】 第１エアチューブの前記他端部は、前記
   密封容器内に導入された前記特定部品の吸引を阻止する
   通気カバーをその開口面に備える請求項１または２に記
   載の昇降プローブ付き検査装置の検査済み特定部品の回
   収機構。
4. 【請求項４】 前記センサによる前記特定部品の通過有
   無の検出信号を第１エアチューブによる空気引きの要否
   指令に連動させた請求項２または３に記載の昇降プロー
   ブ付き検査装置の検査済み特定部品の回収機構。