JP2003241048A - 光デバイス - Google Patents
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Abstract
光学特性の信頼性を向上することができるとともに、地
球環境に優しい光デバイスの製造を可能とする。 【解決手段】光学素子とこれを保持するホルダからなる
光デバイスにおいて、酸化バナジウムとホウ酸を主成分
とし、亜鉛及びバリウムの少なくとも一種を含有する低
融点ガラスを用いて上記光学素子とホルダを接合した。
Description
各種モジュールに用いる光学素子とホルダを低融点ガラ
スによって接合された光デバイスに関する。
光デバイスとしては、低融点ガラスを用いてホルダに接
合したものがある。その構造を図3に示す。例えば、光
学素子1は熱膨張係数120×10-7/℃のレンズであ
り、ホルダ2は熱膨張係数170×10-7/℃のステン
レス鋼からなっており、さらに低融点ガラス3は軟化点
350℃で熱膨張係数110×10-7/℃の鉛ガラスを
主成分として作製される。
いたが、これに限るものではなく、また素材もステンレ
ス鋼を用いたが、低融点ガラス3の熱膨張係数に近けれ
ば、他の金属やセラミックであっても差し支えない。ま
た、低融点ガラス3は軟化点350℃で熱膨張係数11
0×10-7/℃の鉛ガラスを主成分とするものを用いた
が、軟化点250℃〜400℃で熱膨張係数80〜13
0×10-7/℃の範囲の低融点ガラスであれば構わな
い。
る光デバイスは、上記低融点ガラス3の代わりに、接着
剤を用いる方法と鉛と錫の合金半田を用いる方法も知ら
れている。しかし、接着剤を用いる場合、接着剤は一般
に吸湿性が高いため、環境条件によっては脆くなり易
い。しかも、ガラス転移点温度が低いため、接着剤を用
いた光デバイスの使用温度は相対的に狭くなる。また、
アウトガスが生じるという問題もあることから、長期的
な信頼性に欠けるという問題点もある。
が低いため、特に、半田接合部に重力等の荷重が常にか
かる場合には、半田が時間とともに歪んでいくというク
リープ現象を生じ易い。このため、光学素子1とホルダ
2をこの半田で固定した場合、光学素子1の位置が時間
と共に変化していくことになり、長期にわたる光学系の
安定性が確保できないという問題がある。さらに、鉛と
錫の合金半田は250×10-7/℃であり、光学素子1
の熱膨張係数120×10-7/℃に比較して大きな差が
ある。したがって、光学素子1とこの半田で固定する場
合、熱膨張係数の違いにより、半田の冷却時に光学素子
に応力が加わり、亀裂や複屈折化等の問題が生じること
がある。また、温度変化や電子回路の発熱等による周囲
温度の変化があると、半田接合部に引っ張りと圧縮の応
力が繰り返しかかる。この熱的疲労により半田に亀裂が
生じて光学素子1の位置が変化し、光軸がずれるという
問題もある(特開平2−281201号公報参照)。
ガラス3を用いた光デバイスが使用されている。
図4に示すように、光学素子1に反射防止膜4を施した
ものがほとんどであるが、反射防止膜4の耐熱性は40
0℃以下である。これに対し、通常使用される酸化鉛系
の低融点ガラス3は、焼成温度を450℃以下にするこ
とが困難であり、上記反射防止膜4の耐熱温度以下とす
ることができなかった。さらに、環境保護の観点から、
酸化鉛を低融点ガラスから除外することが望まれていた
(特開平8−259262号公報参照)。
点ガラス3は、光学素子1およびホルダ2との接合面以
外に外気露出表面があり、低融点ガラス3が、高湿度環
境において劣化が促進される恐れがあった。
は、光学素子とこれを保持するホルダからなる光デバイ
スにおいて、酸化バナジウムとホウ酸を主成分とし、亜
鉛及びバリウムの少なくとも一種を含有する低融点ガラ
スを用いて上記光学素子とホルダを接合したことを特徴
とする。
テルルの少なくとも一種を含有することを特徴とする。
0.1重量%以下であることを特徴とする。
に被覆部材を備えたことを特徴とする。
よって説明する。
の断面図を示す。図1に示すように本光デバイスの基本
構成は、光学素子1と、これを保持するホルダ2と、両
者を固定する低融点ガラス3からなる。例えば、光学素
子1には円筒形ガラスレンズを用い、ホルダ2にFe−
Ni合金を用いて、低融点ガラス3としては酸化バナジ
ウムとホウ酸を主成分とし、亜鉛及びバリウムの少なく
とも一種を含有する低融点ガラスを用いて接合を行うも
のである。
スレンズを用いたが、用途に応じて、ボールレンズ、平
板レンズ、角形レンズ等の各種レンズを用いても良い。
また、レンズに限らず、気密窓、プリズム、偏光子等の
光学ガラスや複屈折ガラス、ファラデー回転子などの光
学結晶等を用いることもできる。また、これらの光学部
品の材料には、環境に対する悪影響を防止するため、鉛
の含有量が0.1重量%以下のものを用いることが望ま
しい。
熱膨張係数や機械的強度に応じて選定するものである。
また、本発明の光デバイスをさらに他のデバイスに取り
付けるときの方法によってもホルダ2の材質は選定すべ
きである。上記に述べたFe−Ni合金の他、ステンレ
ス鋼、銅合金、真鍮、アルミニウム合金などあらゆる金
属、また、金属に限らず、アルミナ、ジルコニア等の各
種セラミックから選定できる。
及びバリウムの少なくとも一種を含有しているために、
焼成温度を400℃以下とすることができ、反射防止膜
4の耐熱温度以下に下げることができるとともに、環境
に対する悪影響を防止できる。なお、上記低融点ガラス
3では、ビスマスもしくはテルル等の希少金属を添加す
ることで融点を更に下げることが可能である。
ムとホウ酸を主成分として、その主成分に鉛と化学的に
性質の近い亜鉛、接着安定性を高める役割を持つバナジ
ウムを調整している。
ム(V2O5)の含有量を20〜60重量%とし、ホウ酸
(B2O3)の含有量を20〜60重量%とすることが望
ましく、両成分の合計を50〜90重量%の範囲内とす
ることが望ましい。これは、上記範囲以外の含有量であ
ると亜鉛、バリウムを添加したとしても焼成温度を40
0度以下に下げることが困難となるためである。
れ酸化物換算で、酸化亜鉛(ZnO)を0〜30重量
%、酸化バリウム(BaO)を0〜30重量%、両成分
の合計を10〜50重量%の範囲内とすることが望まし
い。
近いので、低融点ガラスの組成全体の安定性を高めるこ
とができる。また、バリウムは接着安定性を高める働き
をもち、この範囲外の含有量であると、組成の安定性が
悪くなり、また接着力も低下するのでこの範囲内が望ま
しい。
の少なくとも一方を含有していればよいが、双方を含有
させることにより、組成的安定性及び接着力のいずれも
が向上するので、特に好ましい。
れぞれ酸化物換算で酸化ビスマス(Bi2O3)、酸化テ
ルル(TeO2)は共に0〜5重量%含有させ、また両
者合計でも0〜10重量%含有させると更に焼成温度を
低下させることができる。この範囲以上に含有させると
接着力が低下するのでこの範囲内が好ましい。ただし、
ビスマス、テルルは本発明の必要構成組成ではなく、含
有していなくとも本発明の効果を奏することができる。
係数等に応じて、混合比を変えたものを選択する。
鉛を含む酸化鉛系の低融点ガラス3では困難であった2
50〜400℃の焼成温度を実現することができる。こ
の焼成温度であれば、光学素子1の光学面に加工されて
いる反射防止膜4の耐熱温度以下に抑えることが可能と
なる。
は、光学素子1とホルダ2の接合による応力を緩和する
ため、50×10-7〜130×10-7/℃の範囲とする
ことが好ましい。さらに、ホルダ2の熱膨張係数は、低
融点ガラス3の熱膨張係数の0.6〜1.4倍の範囲と
することにより、歪みを減じることができる。このと
き、光学素子1の熱膨張係数についても、50〜130
×10-7/℃の範囲で、低融点ガラス3の熱膨張係数の
0.6〜1.4倍の範囲内とすることにより、同様に歪
みを減じることができる。
反射防止膜4は、通常3層以上となっており、光学素子
の材料や目的の反射率に応じて、SiO2、TiO2、Z
rO 2、Ta2O5等から選択が可能である。また、この
反射防止膜4は、要求特性や用途により、光学素子1の
光学面の両面、もしくは片面に施されたり、もしくは反
射防止膜4を施さない場合もある。
法は、酸化バナジウムとホウ酸を主成分として、その主
成分に鉛と化学的に性質の近い亜鉛、接着安定性を高め
る役割を持つバナジウムを調整する。これらを混合し約
1000℃で焼成し溶融物から棒状ガラスを作る。冷却
後粉砕し、粉末状態で低融点ガラス3とする。
2に示す。反射防止膜4が施された光学素子1とホルダ
2を低融点ガラス3により接合し、その低融点ガラス3
の外気露出表面に被覆部材5を備えたものである。この
被覆部材5は、外気に露出した低融点ガラス3の表面
を、湿度等の、低融点ガラス3を劣化させる可能性のあ
るものから保護することを目的とする。この被覆部材5
はリング状で、ホルダ2と同様に、Fe−Ni合金の
他、ステンレス鋼、銅合金、真鍮、アルミニウム合金な
どあらゆる金属、また、金属に限らず、アルミナ、ジル
コニア等の各種セラミックから選定できる他、各種金属
を蒸着するなどの方法でも成形可能である。
いて説明する。
に成形された低融点ガラス3を光学素子1とホルダ2の
接合箇所に配置させ、温度コントロールが可能な焼成炉
に入れて5〜10℃/分で350℃まで上昇させ、35
0℃で10分間保持後、20〜50℃/分で室温まで降
下させた後、焼成炉から取り出すものである。接合方法
はこれに限らず、低融点ガラス3としてバインダーを混
合したペースト状のものを使用しても構わない。また、
焼成炉に限らず、ホットプレート等のヒーター付きの高
温器具であれば、構わない。温度条件も、上記に限ら
ず、使用部材、器具に応じて変更しても構わない。
時に焼成接合か、低融点ガラス3の接合後に別途蒸着で
成形する方法がある。
し、信頼性試験を実施し、反射率での評価を行った。
mmで熱膨張係数が88×10-7/℃の円筒形ガラスレ
ンズ、ホルダ2に熱膨張係数97×10-7/℃のFe−
Ni合金、低融点ガラス3に本発明の酸化バナジウムと
ホウ酸を母材とし、少なくとも亜鉛及びバリウムのいず
れか一方を含有した、焼成温度280〜390℃のもの
を用いて試料A〜Eの光デバイスを作製した。
4付の光学素子1に外径1.8mmで熱膨張係数が88
×10-7/℃の円筒形ガラスレンズ、ホルダ2に熱膨張
係数97×10-7/℃のFe−Ni合金、低融点ガラス
3に酸化鉛を含有した焼成温度450、460℃のもの
を用いて試料F、Gの光デバイスを作製した。
100個ずつ作製し、作製後の反射防止膜4の反射率測
定を行った。次に、85℃、85%、2000時間の恒
温恒湿試験に投入し、その後の反射率を測定し、投入前
からの反射率変動値に変換したものを表1に示す。
ラスを用いた試料(No.A〜E)はすべて0.2%以
下の反射率変動に抑えられているが、比較例の試料(N
o.F、G)においては、0.2%を超える反射率のも
のが、半数程度も発生した。
の光デバイスに比べ、反射率変動という光学特性におい
て明らかに性能が向上した
とこれを保持するホルダからなる光デバイスにおいて、
酸化バナジウムとホウ酸を主成分とし、亜鉛及びバリウ
ムの少なくとも一種を含有する低融点ガラスを用いて上
記光学素子とホルダを接合したことにより、焼成温度を
400℃以下に抑えることができ、光学特性の信頼性を
向上することができるとともに、地球環境に優しい光デ
バイスの製造が可能となった。
図である。
断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】光学素子とこれを保持するホルダからなる
光デバイスにおいて、酸化バナジウムとホウ酸を主成分
とし、亜鉛およびバリウムの少なくとも一種を含有する
低融点ガラスを用いて、上記光学素子とホルダを接合し
たことを特徴とする光デバイス。 - 【請求項2】上記低融点ガラスが、ビスマスおよびテル
ルの少なくとも一種を含有することを特徴とする請求項
1記載の光デバイス。 - 【請求項3】上記光学素子の鉛の含有量が0.1重量%
以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の光デ
バイス。 - 【請求項4】上記低融点ガラスの外気露出表面に被覆部
材を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに
記載の記載の光デバイス。
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- 2002-02-20 JP JP2002043747A patent/JP4091773B2/ja not_active Expired - Fee Related
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