JP2003238688A - 電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル及び太陽電池に用いるのに適した有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法及び有機−無機ポリマーハイブリッドフィルム - Google Patents
電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル及び太陽電池に用いるのに適した有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法及び有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムInfo
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Abstract
くしなやかな基板フィルム、該基板フィルムを水を添加
することなしに効率的に作製できる製造方法を提供する
こと、及び、電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチ
パネルまたは太陽電池に用いる透明性、耐熱性が高く、
複屈折が少なく、軽くしなやかな基板を提供すること。 【解決手段】 活性水素を有する高分子化合物と重縮合
が可能な反応性金属化合物とを水分を添加することなく
重縮合させてなる有機−無機ポリマーハイブリッド材料
及び該有機−無機ポリマーハイブリッド材料の製造方
法。
Description
ーハイブリッドフィルムの製造方法及び該製造方法によ
り製造された有機−無機ポリマーハイブリッドフィルム
に関し、より詳しくは、電子ディスプレイ、電子光学素
子、タッチパネル及び太陽電池の基板として用いる有機
−無機ハイブリッドフィルムの製造方法並びに有機−無
機ハイブリッドフィルムに関する。
子ディスプレイ、CCD、CMOSセンサー等の電子光
学素子、太陽電池等の基板としては透明導電膜を形成し
た透明基板が用いられるが、これら基板は透明導電膜を
形成するためには耐熱性があることが必要であり、18
0℃でも変形しない程度の耐熱性が要求されており、さ
らに低抵抗の透明導電膜を得るためにはより高温での焼
成が必要であるため、従来は、主としてガラスが用いら
れてきた。しかし、最近携帯電話あるいは携帯用の情報
端末の普及に伴い、割れやすく比較的重いガラスに対し
て、屈曲性に富み割れにくく軽量な基板が求められるよ
うになった。そこで、これらの要求を満たすものとし
て、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネートあるいは
特開平5−142525号公報に記載のポリエーテルス
ルホンとアクリル系基板を張り合わせたプラスチック基
板フィルムが提案されているが、価格が高価であったり
透過率や複屈折等の光学的性質が充分でない等の欠点を
有していた。これらの基板フィルムは波長分散特性が負
であるため、複屈折を利用した表示方法が採用されてい
るが、例えば、STN、VAあるいはIPSモードの液
晶パネルにおいては、可視光の全波長域で偏光の補償が
できず、表示色の色ずれの原因となっており、また、有
機EL表示素子においては、コントラストの低下を起こ
していた。また、波長分散特性が正の樹脂としては、例
えば、セルロースアセテートプロピオネートなどのセル
ロース誘導体が挙げられるが、これらの樹脂のフィルム
はそれ自体では耐熱性が十分でなく、表示素子用基板フ
ィルムとしては不適であった。
材料として、有機−無機ポリマーハイブリッド材料が知
られているが、有機−無機ポリマーハイブリッド材料の
合成にはゾルゲル法が用いられており、反応性金属モノ
マーへの水分の添加が必須であった。光学用として用い
られるフィルムを製造する場合、高い平面性が得られる
点で溶剤キャスト法を用いることが優れており、該溶剤
キャスト法では、生産速度を高めるためには塩化メチレ
ンのような低沸点の溶剤を用い、かつ、樹脂を高濃度に
溶解させた溶液を用いることが有利である。しかしなが
ら、ゾルゲル法を用いて合成された有機−無機ポリマー
ハイブリッド材料を用いて上記の溶剤キャスト法により
フィルムを製造すると、高濃度の樹脂溶液が得られず、
乾燥速度も遅く、効率的に製造することが難しかった。
また、光学特性の劣化も生じてしまう。そこで検討した
ところ、ゾルゲル法を用いて合成された有機−無機ポリ
マーハイブリッド材料には水分が含まれており、該水分
によって、樹脂の溶媒への溶解度の低下を招き高濃度の
樹脂溶液が得られなくなり、乾燥速度が低下することが
判明した。光学特性の劣化は溶液の相分離によるもので
あることが判明した。
の目的は、透明性、耐熱性が高く、複屈折が少なく、軽
くしなやかなフィルムを提供することにある。第2の目
的は、フィルムを水を添加することなしに効率的に作製
できる製造方法を提供することにある。第3の目的は、
透明性、耐熱性が高く、複屈折が少なく、軽くしなやか
な基板を有する電子ディスプレイ、電子光学素子、タッ
チパネルまたは太陽電池を提供することにある。
討を行った結果、活性水素を有する有機高分子化合物を
用いると、その活性水素と反応性金属化合物が配位子交
換することにより、反応系内に水分を存在させることな
しに有機−無機ポリマーハイブリッド材料が形成される
ことを見出し、本発明を完成させるに至った。すなわ
ち、本発明の上記目的は下記の構成によって達成され
る。 (1)活性水素を有する高分子化合物と重縮合が可能な
反応性金属化合物とを水分を添加することなく重縮合さ
せてなることを特徴とする有機−無機ポリマーハイブリ
ッド材料。 (2)活性水素を有する高分子化合物が、水酸基を有す
る高分子化合物であることを特徴とする上記(1)に記
載の有機−無機ポリマーハイブリッド材料。 (3)活性水素を有する高分子化合物と重縮合が可能な
反応性金属化合物とを水分を添加することなく重縮合さ
せることを特徴とする有機−無機ポリマーハイブリッド
材料の製造方法。 (4)活性水素を有する高分子化合物が、水酸基を有す
る高分子化合物であることを特徴とする上記(3)に記
載の有機−無機ポリマーハイブリッド材料の製造方法。 (5)活性水素を有する高分子化合物と重縮合が可能な
反応性金属化合物との重縮合物を主成分とする有機−無
機ポリマーハイブリッドフィルムを水分を添加すること
なく作製することを特徴とする有機−無機ポリマーハイ
ブリッドフィルムの製造方法。 (6)活性水素を有する高分子化合物が、水酸基を有す
る高分子化合物であることを特徴とする上記(5)に記
載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方
法。 (7)水酸基を有する高分子化合物が、セルロースエス
テルであることを特徴とする上記(6)に記載の有機−
無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法。 (8)重縮合が可能な反応性金属化合物が、Si、T
i、ZrまたはAlのアルコキシド、または、Si、T
i、ZrまたはAlを含むダブル金属アルコキシドであ
ることを特徴とする上記(5)〜(7)のいずれかに記
載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方
法。 (9)溶剤キャスト法で製造することを特徴とする上記
(5)〜(8)のいずれかに記載の有機−無機ポリマー
ハイブリッドフィルムの製造方法。 (10)溶剤キャスト法が、0.5%以下の水分量であ
る溶液を用いてなされていることを特徴とする上記
(9)に記載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィル
ムの製造方法。 (11)上記(5)〜(10)のいずれかに記載の有機
−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法により
製造されたことを特徴とする有機−無機ポリマーハイブ
リッドフィルム。 (12)基板が、上記(11)に記載の有機−無機ポリ
マーハイブリッドフィルムで構成されていることを特徴
とする電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル
または太陽電池。
おいて、有機−無機ハイブリッド材料の有機物としては
活性水素を有する高分子化合物が用いられる。ここで活
性水素とは水素イオンになりやすい状態にある水素原子
をいい、このような水素原子を有する官能基としては、
例えば、水酸基、アミノ基、アミド基、イミノ基、イミ
ド基、カルボン酸残基、スルホン酸残基、リン酸残基、
シクロペンタジエニル基、及び下記一般式(1)または
(2)で表される官能基が挙げられる。 一般式(1) −Z1−CHR−Z2 一般式(2) −CHZ3Z4 (式中、Z1は2価の電子吸引性の基を表し、Z2〜Z4
は1価の電子吸引性の基を表し、Rは水素原子または置
換基を表す。) 一般式(1)及び(2)において、Z1で表される2価
の電子吸引性の基としては、例えば、カルボニル基、オ
キシム基、イミノメチレン基、ジシアノメチレン基が挙
げられ、Z2〜Z4で表される1価の電子吸引性の基とし
ては、例えば、フェニル基、アシル基、シアノ基、スル
ホン基、エステル基が挙げられる。Rで表される置換基
としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、ア
リール基、ハロゲン原子が挙げられる。これら置換基は
さらに置換されていてもよい。一般式(1)及び(2)
で表される具体的官能基としては、例えば、1,3−ジ
ケトン残基、アセト酢酸メチル残基、アセト酢酸エチル
残基などが挙げられる。
合物は、これらの活性水素を有する官能基を高分子化合
物に有せしめることにより得ることができ、例えば、活
性水素を有するグラフト成分を高分子化合物にグラフト
させることにより、高分子化合物の末端に導入すること
により、あるいは、このような官能基を有するモノマー
と有さないモノマーを共重合させることにより得ること
ができる。このような官能基を有せしめる高分子化合物
としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニル
ピロリドン、ポリエチレンイミン、フェノール樹脂、エ
ポキシ樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン、ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリカーボネイト、ポリエステル、ポ
リエチレングリコール、セルロース、セルロースエステ
ル、セルロースエーテル、キチン、キトサンなどが挙げ
られるが、波長分散特性が正であるセルロースエステル
であることが好ましい。
あるとは、波長600nmにおける面内リターデーショ
ン値R(600)を波長450nmにおける面内リター
デーション値R(450)で除した値が1より大きいこ
とをいう。波長600nmにおける面内リターデーショ
ン値R(600)及び波長450nmにおける面内リタ
ーデーション値R(450)は、該高分子化合物を可溶
な溶媒(例えば、アセトン、酢酸エチル、テトラヒドロ
フラン、1,3−ジオキソラン、塩化メチレン及びこれ
らの混合溶媒)に溶解し、ガラス板上にフィルム厚みが
100μmになるように流延し乾燥させたフィルムを作
製し、波長600nmにおける面内リターデーション値
R(600)と波長450nmにおける面内リターデー
ション値R(450)を測定することができる。波長分
散特性が正である基板フィルムにおいては、可視光の全
波長領域で偏光の補償が可能であり、複屈折を利用した
表示方法を採用している液晶パネルにおいては色ずれを
防ぐことができ、また、有機EL表示素子においては良
好なコントラストを得ることができる。波長分散特性が
正であるセルロースエステルの例としては、トリアセチ
ルセルロース(TAC)、ジアセチルセルロース(DA
C)、セルロースアセテートプロピオネート(CA
P)、セルロースアセテートブチレート(CAB)、セ
ルロースアセテートフタレート、セルロースアセテート
トリメリテートなどが挙げられる。
属化合物の金属とは、「周期表の化学」岩波書店 斎藤
一夫著71頁に記載の金属すなわち半金属性原子を含む
金属をいう。本発明において、重縮合が可能な反応性金
属化合物としては、例えば、金属アルコキシド、反応性
の金属ハロゲン化物、反応性の金属イソシアナートを用
いることができる。また、重縮合が可能な反応性金属化
合物における金属種としては、例えば、ケイ素、チタ
ン、ジルコニウム、アルミニウムが挙げられる。また、
重縮合が可能な反応性金属化合物は加水分解可能である
ことが好ましい。
金属化合物としては、加水分解可能な置換基が金属1原
子当たり2個ある化合物、例えば、ジメチルジメトキシ
シラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジイソプ
ロポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、ジエチル
ジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチ
ルジイソプロポキシシラン、ジエチルジブトキシシラ
ン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキ
シシラン、ジフェニルジイソプロポキシシラン、ジフェ
ニルジブトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチ
ルジメトキシシラン、ジクロロジメチルシラン、ジクロ
ロジエチルシラン、バリウムイソプロポキシド、カルシ
ウムエトキシド、銅エトキシド、マグネシウムエトキシ
ド、マンガンメトキシド、ストロンチウムイソプロポキ
シド、すずエトキシド、亜鉛メトキシエトキシド等が挙
げられ、加水分解可能な置換基が金属1原子当たり3個
である化合物、例えば、メチルトリメトキシシラン、メ
チルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシ
ラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシ
シラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソプ
ロポキシシラン、エチルトリブトキシシラン、フェニル
トリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フ
ェニルトリイソプロポキシシラン、フェニルトリブトキ
シシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエト
キシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニル
トリブトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメ
トキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラ
ン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルト
リメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシ
ラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、
(3−アクリロキシプロピル)トリメトキシシラン、ア
セトキシトリエトキシシラン、(ヘプタデカフルオロ−
1,1,2,2−テトラヒドロデシル)トリメトキシシ
ラン、(3,3,3−トリフルオロプロピル)トリメト
キシシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロ
ロシラン、フェニルトリクロロシラン、メチルトリイソ
シアナートシラン、フェニルトリイソシアナートシラ
ン、ビニルトリイソシアナートシラン、トリメトキシボ
ラン、トリエトキシボラン、アルミニウムエトキシド、
アルミニウムイソプロポキシド、アルミニウムn−ブト
キシド、アルミニウムs−ブトキシド、アルミニウムt
−ブトキシド、アルマトラン、アルミニウムフェノキシ
ド、アルミニウムアセチルアセトナート、アンチモンエ
トキシド、ヒ素トリエトキシド、ビスマスt−ペントキ
シド、クロムイソプロポキシド、エルビウムメトキシエ
トキシド、ガリウムエトキシド、インジウムメトキシエ
トキシド、鉄エトキシド、ランタンイソプロポキシド、
ネオジウムメトキシエトキシド、プラセオジムメトキシ
エトキシド、サマリウムイソプロポキシド、バナジウム
トリイソブトキシドオキシド、イットリウムイソプロポ
キシド等が挙げられ、加水分解可能な置換基が金属1原
子当たり4個である化合物としては、例えば、テトラメ
トキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロ
ポキシシラン、テトラブトキシシラン、テトラクロロシ
ラン、テトライソシアナートシラン、チタンエトキシ
ド、チタンイソプロポキシド、チタンn−ブトキシド、
テトラクロロチタン、チタンジイソプロポキシド(ビス
−2,4−ペンタンジオネート)、チタンジイソプロポ
キシド(ビス−2,4−エチルアセトアセテート)、チ
タンジ−n−ブトキシド(ビス−2,4−ペンタンジオ
ネート)、ジルコニウムn−プロポキシド、ジルコニウ
ムn−ブトキシド、テトラメトキシゲルマン、テトラエ
トキシゲルマン、テトライソプロポキシゲルマン、テト
ラn-ブトキシゲルマン、セリウムt−ブトキシド、ハ
フニウムエトキシド、ハフニウムn−ブトキシド、テル
ルエトキシド等が挙げられ、加水分解可能な置換基が金
属1原子当たり5個である化合物としては、例えば、モ
リブデンエトキシド、ニオブエトキシド、ニオブn−ブ
トキシド、タンタルメトキシド、タンタルエトキシド、
タンタルn−ブトキシド、タングステン(V)エトキシ
ド等が挙げられ、加水分解可能な置換基が金属1原子当
たり6個である化合物としては、例えば、タングステン
(VI)エトキシド、タングステン(VI)フェノキシド等
が挙げられる。
は、金属酸化物になった際に400nm以上の可視部に
吸収を持たない金属化合物が好ましく、Si、Al、T
i、Zrの化合物が好ましい。また、これらの金属のダ
ブル金属アルコキシドも用いることができる。ダブル金
属アルコキシドとは、一分子中に複数の金属原子を含む
アルコキシドであり、例えば、アルミニウム銅アルコキ
シド、アルミニウムチタンアルコキシド、アルミニウム
イットリウムアルコキシド、アルミニウムジルコニウム
アルコキシド、バリウムチタンアルコキシド、バリウム
ジルコニウムアルコキシド、インジウムスズアルコキシ
ド、マグネシウムアルミニウムアルコキシド、マグネシ
ウムチタンアルコキシド、マグネシウムジルコニウムア
ルコキシド、ストロンチウムチタンアルコキシド、スト
ロンチウムジルコニウムアルコキシド等が挙げられる。
また、重縮合が可能な反応性金属化合物における上記加
水分解が可能な置換基以外の置換基としては、例えば、
置換または無置換のアルキル基、置換または無置換のア
リール基が好ましく、該アルキル基またはアリール基の
置換基としては、例えば、アルキル基(例えば、メチル
基、エチル基等)、シクロアルキル基(例えば、シクロ
ペンチル基、シクロヘキシル基等)、アラルキル基(例
えば、ベンジル基、2−フェネチル基等)、アリール基
(例えば、フェニル基、ナフチル基等)、複素環基(例
えば、フラン基、チオフェン基、ピリジン基等)、アル
コキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基等)、アリ
ールオキシ基(例えば、フェノキシ基等)、アシル基、
ハロゲン原子、シアノ基、アミノ基、アルキルチオ基、
グリシジル基、ビニル基等が好ましい。
合反応時に共存させてもよい。 一般式(3) (Rf)nSi(X)4-n (式中、Rfはフッ素原子含有アルキル基またはフッ素
原子含有アリール基を表す。Xは加水分解可能基を表
す。)一般式(3)で表される化合物としては、例え
ば、(3,3,3−トリフルオロプロピル)トリメトキ
シシラン、ペンタフルオロフェニルプロピルトリメトキ
シシラン、(ヘプタデカフルオロ−1,1,2,2−テ
トラヒドロデシル)トリエトキシシラン、(3,3,3
−トリフルオロプロピル)トリクロロシラン、ペンタフ
ルオロフェニルプロピルトリクロロシラン、(ヘプタデ
カフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロデシル)ト
リクロロシラン等が挙げられる。有機−無機ポリマーハ
イブリッド材料は活性水素を有する高分子化合物及び反
応性金属化合物の溶液を混ぜ合わせ重縮合させることに
より得られる。縮合反応を行わせるに当たり、触媒を加
え縮合反応を促進させてもよい。触媒としては、例え
ば、塩化水素、硫酸、硝酸等の無機酸、酢酸、トリフロ
ロ酢酸、レブリン酸、クエン酸、p−トルエンスルホン
酸、メタンスルホン酸等の有機酸等が用いられる。ま
た、ルイス酸、例えば、ケイ素、ゲルマニウム、チタ
ン、アルミニウム、アンチモン、錫などの金属の酢酸
塩、その他の有機酸塩、ハロゲン化物、燐酸塩なども用
いられる。また、触媒としては、塩基も用いることがで
き、このような塩基としては、例えば、モノエタノール
アミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、
ジエチルアミン、トリエチルアミンなど、DBU(ジア
ザビシクロウンデセン−1)、DBN(ジアザビシクロ
ノネン)などのビシクロ環系アミン、アンモニア、ホス
フィン等の塩基を挙げることができる。これらの酸や塩
基は複数回に分けて添加してもよい。反応後、用いた触
媒は中和して除去してもよいし、除去しなくてもよい。
また、触媒が揮発性の触媒である場合には減圧して除去
することができる。
可能な反応性金属化合物とを重縮合させる場合、活性水
素を有する高分子化合物と重縮合可能な反応性金属化合
物をともに溶剤に溶解させた溶液中で重縮合させること
が好ましい。ここで用いることができる溶媒としては、
例えば、エチルアルコール、メチルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、n−プロピルアルコール、1−ブタ
ノール、2−ブタノール、1−メトキシエタノール、プ
ロピレングリコールメチルエーテルなどのアルコール、
アセトン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン
(THF)、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソラ
ン、ジメチルイミダゾリノン、ジメチルホルムアミド、
ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、ジメチルスル
フォキシド、スルホラン、塩化メチレン、酢酸メチル、
酢酸エチル、ぎ酸メチル、ぎ酸エチルなどが挙げられ
る。これらの溶媒は2種以上混合して用いてもよい。こ
れら溶媒は適宜選択して使用される。例えば、溶液を基
材上に押し出しあるいは流延させた後に溶剤を蒸発させ
乾燥してフィルムを製造する場合には、揮発性が高く、
かつ、押し出しあるいは流延させる基材を溶解しないも
のが好ましい。このような条件を満たし好ましい高分子
化合物であるセルロースエステルを高濃度に溶解する溶
剤として最も好ましい溶剤は塩化メチレン:エチルアル
コールの比が95:5〜80:20の混合溶剤である。
本発明の有機−無機ポリマーハイブリッド材料の形態は
特に限定されるものではなく、例えば、フィルム等の各
種の成形品の形態であってもよい。また、これらの形態
を有しなくてもよい。活性水素を有する高分子化合物と
重縮合が可能な反応性金属化合物との重縮合反応は活性
水素を有する高分子化合物と重縮合が可能な反応性金属
化合物の混合により完結してもよいが、その後に有機−
無機ポリマーハイブリッド材料を加工する工程を有する
場合には、該加工工程において重縮合反応を完結させる
ようにしてもよい。例えば、有機−無機ポリマーハイブ
リッド材料からフィルムを作製する場合には、有機−無
機ポリマーハイブリッド材料の組成物を基材上に押し出
しあるいは流延し乾燥する工程が行われるが、この工程
あるいはこの工程後において重縮合反応を完結させるよ
うにすることができる。しかし、有機−無機ポリマーハ
イブリッド材料は加工する工程の前に重縮合反応を完結
することが好ましい。
分を添加することなく重縮合して得ることが、層分離を
起こさず、また、乾燥においても速やかにできるので好
ましい。本発明において、水分を添加することなくとは
水分を全く添加しないことを意味するものではなく、本
発明の目的を損なわなければ反応系中に水分が存在して
も構わない。しかし、水分量は少ない方が好ましい。本
発明の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造
方法において、フィルムは従来公知のフィルムの製造技
術を用いることにより得ることができる。例えば、該材
料の溶液を基材上に押し出しあるいは流延させた後に溶
剤を蒸発してさせフィルムを製造することができる。こ
のような方法でフィルムを得る場合には、揮発性で、か
つ、押し出しあるいは流延させる基材を溶解しないもの
を使用することが好ましい。溶剤キャスト法によりフィ
ルムを得る場合、水分量が0.5%以下となるようにし
て重縮合されて得られた溶液を用いることが好ましい。
得られたフィルムは、その後、熱処理、紫外線処理或い
はプラズマ処理等を行うことにより三次元架橋の進んだ
基板フィルムとすることができる。フィルムの厚さはい
かなるものでもよく、例えば、10μm〜1mm程度の
もの等任意の厚さのフィルムを作製することができる
が、電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル及
び太陽電池の基板として用いる場合、30μm〜500
μmの厚さのものが好ましい。
じて、その表面に金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化
物、有機物重合体等の皮膜を形成してもよく、これらの
皮膜は複数積層されていてもよい。上記の金属酸化物、
金属窒化物、金属酸窒化物としては、ケイ素、ジルコニ
ウム、チタン、タングステン、タンタル、アルミニウ
ム、亜鉛、インジウム、クロム、バナジウム、スズ、ニ
オブから選ばれる1種類以上の元素の酸化物あるいは窒
化物、酸窒化物を用いることができ、酸化ケイ素、酸化
アルミニウム、窒化ケイ素が特に好ましい。金属酸化
物、金属窒化物、金属酸窒化物の皮膜は、例えば、真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等
によって製膜することにより形成することができる。本
発明で得られたフィルムに、ITO膜などの透明導電膜
を設ける場合、ITO膜の反対の面にこうした皮膜を形
成することによりフィルムの表裏での吸湿性や内部応力
の差による反りを解消することができる。また、これら
の皮膜は表裏両面に形成してもよい。これらの皮膜を形
成することにより、優れた水蒸気透過性の低減ができ
る。
するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるも
のではない。 実施例1 〈本発明の基板フィルム1の作製〉テトライソプロポキ
シチタン1.70gをTHF1.70gに溶解し、この
溶液を室温で10.0質量%のセルロースアセテートプ
ロピオネート(CAP)(イーストマンケミカル製)の
メチルセロソルブ溶液48.0gに攪拌しながら加え
た。得られた溶液を1時間室温で攪拌した後、ガラス板
上に流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは40μmであっ
た。 〈本発明の基板フィルム2の作製〉テトライソプロポキ
シチタン4.26gをTHF4.0gに溶解し、この溶
液を室温で10.0質量%のセルロースアセテートプロ
ピオネート(CAP)(イーストマンケミカル製)のメ
チルセロソルブ溶液48.0gに攪拌しながら加えた。
得られた溶液を1時間室温で攪拌した後、ガラス板上に
流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは90μmであった。 〈本発明の基板フィルム3の作製〉テトライソプロポキ
シチタン0.34gをTHF0.34gに溶解し、この
溶液を室温で、トリアセチルセルロース(TAC)(イ
ーストマンケミカル製)を固形分濃度12.5質量%で
塩化メチレン:エタノール=84:16の混合溶媒に溶
解させた溶液48.0gに、攪拌しながら加えた。得ら
れた溶液を5分間室温で攪拌した後、ガラス板上に流延
し乾燥させた。乾燥後の厚みは105μmであった。 〈本発明の基板フィルム4の作製〉ジルコニウムテトラ
n−プロポキシド70%プロパノール溶液9.36gを
塩化メチレン7.0gに溶解し、この溶液を室温で、セ
ルロースアセテートプロピオネート(CAP)(イース
トマンケミカル製)を固形分濃度10.0質量%でメチ
ルセロソルブ:塩化メチレン=50:50(重量比)の
混合溶媒に溶解させた溶液74.0gに攪拌しながら加
えた。得られた溶液を1時間室温で攪拌した後、ガラス
板上に流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは100μmで
あった。 〈本発明の基板フィルム5の作製〉アルミニウムs−ブ
トキシド0.82gを2−ブタノール0.82g、塩化
メチレン1.64gに溶解し、トリアセチルセルロース
(TAC)(イーストマンケミカル製)を固形分濃度1
2.5質量%で塩化メチレン:エタノール=84:16
の混合溶媒に溶解させた溶液39.4gに、攪拌しなが
ら加えた。得られた溶液を5分間室温で攪拌した後、ガ
ラス板上に流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは70μm
であった。 〈本発明の基板フィルム6の作製〉テトライソシアナー
トシラン3.92gを酢酸エチル3.92gに溶解し、
ジアセチルセルロース(DAC)(ダイセル化学製、L
−50)を固形分濃度12.5質量%で塩化メチレン:
エタノール=84:16の混合溶媒に溶解させた溶液3
8.4gに攪拌しながら加えた。得られた溶液を1時間
室温で攪拌した後、ガラス板上に流延し乾燥させた。乾
燥後の厚みは100μmであった。 〈本発明の基板フィルム7の作製〉アートン(JSR
(株)製)10.0gをTHF100g中に溶解させ、
蒸留水10.0g、硫酸0.05gを加え、8時間還流
しながら攪拌した。放冷後、メタノール1.5Lを入れ
たビーカーに再沈殿後、ろ過・乾燥して高分子Aを7.
5g得た。
4gに溶解し、この溶液を室温で、上記高分子Aを固形
分濃度12.5質量%でTHFに溶解させた溶液48.
0gに、攪拌しながら加えた。得られた溶液を5分間室
温で攪拌した後、ガラス板上に流延し乾燥させた。乾燥
後の厚みは95μmであった。
5質量%のジアセチルセルロース(DAC)(ダイセル
化学製、L−50)のアセトン溶液50gをガラス板上
に流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは50μmであっ
た。 〈比較例の基板フィルム9の作製〉12.5質量%のト
リアセチルセルロース(TAC)(イーストマンケミカ
ル製)のアセトン溶液50gをガラス板上に流延し乾燥
させた。乾燥後の厚みは50μmであった。なお、上記
トリアセチルセルロースLT−55のアセチル基の置換
度は2.80であった。 〈比較例の基板フィルム10の作製〉12.5質量%の
セルロースアセテートプロピオネート(CAP)(イー
ストマンケミカル製)のアセトン溶液50gをガラス板
上に流延し乾燥させた。乾燥後の厚みは50μmであっ
た。なお、上記セルロースアセテートプロピオネートの
置換度は2.43であった。 〈比較例の基板フィルム11〉フィルム厚100μmの
ポリノルボルネンフィルムであるアートン(JSR
(株)製)を比較の基板フィルム11とした。
50μmのポリエーテルスルホンフィルムであるスミラ
イト FS−1300(住友ベークライト(株)製)を
比較の基板フィルム12とした。 〈比較例の基板フィルム13〉フィルム厚100μmの
ポリカーボネートフィルムであるピュアエース(帝人
(株)製)を比較の基板フィルム13とした。 〈比較例の基板フィルム14〉フィルム厚100μmの
ポリノルボルネンフィルムであるゼオノア ZF142
0R(日本ゼオン(株)製)を比較の基板フィルム14
とした。 〈比較例の基板フィルム15〉テトラエトキシシラン
4.16g、エタノール4.16gの混合溶液に対し1
2.8%塩酸水溶液を0.70g滴下し、室温で30分
撹拌してテトラエトキシシランの加水分解を行った後、
塩化メチレン4.16gを加えて無色透明均一な溶液を
得た。この溶液をトリアセチルセルロース(TAC)
(イーストマンケミカル製)を固形分濃度12.5質量
%で塩化メチレン:エタノール=84:16の混合溶媒
に溶解させた溶液38.4gに撹拌しながら加えた。得
られた溶液を6時間室温で撹拌した後、ガラス板上に流
延し乾燥した。乾燥後の厚みは100μmであった。作
製した本発明の基板フィルム1〜7および比較例の基板
フィルム8〜15について、光透過率(可視光)、ヘイ
ズ、ガラス転移温度(Tg)、250℃弾性率、複屈折
を評価した。得られた評価結果を表1に示す。なお、光
透過率は及びヘイズはTURBIDITY METER
T−2600DA(東京電色(株)製)で測定した。
複屈折は自動複屈折計KOBRA−21ADH(王子計
測機器(株)製)でフィルム面内のX方向、Y方向の位
相差を測定した値で表した。また、ガラス転移温度(T
g)と250℃弾性率は、固体粘弾性測定装置RSA−
II(レオメトリクス社製)の引っ張りモードで測定し
た。
屈折が大きく好ましくない。また、比較例の基板フィル
ム8〜12、14は250℃における弾性率が悪く好ま
しくない。また、比較例の基板フィルム15は水分の混
入のために白濁したもろいフィルムとなってしまい好ま
しくない。これに対し、本発明の基板フィルム1〜7
は、無機物の混合により、ガラス転移温度が向上してお
り、Tg以上の250℃でも弾性率は100MPa以上
とガラス状態に近い弾性率を有し、耐熱性が向上してお
り、電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル及
び太陽電池に用いる基板フィルムとして好ましい。
複屈折が少なく軽くしなやかな電子ディスプレイ素子
用、電子光学素子用、タッチパネル用および太陽電池用
の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムを、効率的
に提供することができた。
Claims (12)
- 【請求項1】 活性水素を有する高分子化合物と重縮合
が可能な反応性金属化合物とを水分を添加することなく
重縮合させてなることを特徴とする有機−無機ポリマー
ハイブリッド材料。 - 【請求項2】 活性水素を有する高分子化合物が、水酸
基を有する高分子化合物であることを特徴とする請求項
1に記載の有機−無機ポリマーハイブリッド材料。 - 【請求項3】 活性水素を有する高分子化合物と重縮合
が可能な反応性金属化合物とを水分を添加することなく
重縮合させることを特徴とする有機−無機ポリマーハイ
ブリッド材料の製造方法。 - 【請求項4】 活性水素を有する高分子化合物が、水酸
基を有する高分子化合物であることを特徴とする請求項
3に記載の有機−無機ポリマーハイブリッド材料の製造
方法。 - 【請求項5】 活性水素を有する高分子化合物と重縮合
が可能な反応性金属化合物との重縮合物を主成分とする
有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムを水分を添加
することなく作製することを特徴とする有機−無機ポリ
マーハイブリッドフィルムの製造方法。 - 【請求項6】 活性水素を有する高分子化合物が、水酸
基を有する高分子化合物であることを特徴とする請求項
5に記載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの
製造方法。 - 【請求項7】 水酸基を有する高分子化合物が、セルロ
ースエステルであることを特徴とする請求項6に記載の
有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法。 - 【請求項8】 重縮合が可能な反応性金属化合物が、S
i、Ti、ZrまたはAlのアルコキシド、または、S
i、Ti、ZrまたはAlを含むダブル金属アルコキシ
ドであることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記
載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方
法。 - 【請求項9】 溶剤キャスト法で製造することを特徴と
する請求項5〜8のいずれかに記載の有機−無機ポリマ
ーハイブリッドフィルムの製造方法。 - 【請求項10】 溶剤キャスト法が、0.5%以下の水
分量である溶液を用いてなされていることを特徴とする
請求項9に記載の有機−無機ポリマーハイブリッドフィ
ルムの製造方法。 - 【請求項11】 請求項5〜10のいずれかに記載の有
機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法によ
り製造されたことを特徴とする有機−無機ポリマーハイ
ブリッドフィルム。 - 【請求項12】 基板が、請求項11に記載の有機−無
機ポリマーハイブリッドフィルムで構成されていること
を特徴とする電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチ
パネルまたは太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002039152A JP2003238688A (ja) | 2002-02-15 | 2002-02-15 | 電子ディスプレイ、電子光学素子、タッチパネル及び太陽電池に用いるのに適した有機−無機ポリマーハイブリッドフィルムの製造方法及び有機−無機ポリマーハイブリッドフィルム |
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JP (1) | JP2003238688A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006137821A (ja) * | 2004-11-11 | 2006-06-01 | Konica Minolta Opto Inc | 有機無機ハイブリッド材料、その製造方法、偏光板及び液晶表示装置 |
US7435461B2 (en) | 2004-02-20 | 2008-10-14 | Fujifilm Corporation | Cellulose acylate film |
WO2019093458A1 (ja) * | 2017-11-10 | 2019-05-16 | コニカミノルタ株式会社 | 乾燥剤、それを含有する有機薄膜、有機薄膜が積層された有機積層膜、及びそれを具備した電子デバイス |
US11276837B2 (en) | 2017-11-10 | 2022-03-15 | Konica Minolta, Inc. | Manufacturing method for electronic device |
-
2002
- 2002-02-15 JP JP2002039152A patent/JP2003238688A/ja active Pending
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US11554572B2 (en) | 2017-11-10 | 2023-01-17 | Konica Minolta, Inc. | Desiccant, organic thin film including same, organic layered film in which organic thin film is layered, and electronic device provided therewith |
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