JP2003237940A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

Info

Publication number
JP2003237940A
JP2003237940A JP2002039426A JP2002039426A JP2003237940A JP 2003237940 A JP2003237940 A JP 2003237940A JP 2002039426 A JP2002039426 A JP 2002039426A JP 2002039426 A JP2002039426 A JP 2002039426A JP 2003237940 A JP2003237940 A JP 2003237940A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
transfer
belt conveyor
line
processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002039426A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuaki Oki
信昭 大木
Takashi Futamura
孝 二村
Katsumi Morita
勝巳 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MEIDEN ENGINEERING CO Ltd
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
MEIDEN ENGINEERING CO Ltd
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MEIDEN ENGINEERING CO Ltd, Meidensha Corp, Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical MEIDEN ENGINEERING CO Ltd
Priority to JP2002039426A priority Critical patent/JP2003237940A/ja
Publication of JP2003237940A publication Critical patent/JP2003237940A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Automatic Assembly (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送ラインに、後行のワークが先行のワーク
を追い越すための待避エリアを設けると、搬送装置の占
有面積が増大する。 【解決手段】 搬送ラインであるベルトコンベア5の近
くの夫々の加工装置6・7の近傍に、三次元アームロボ
ット8・9を設け、ベルトコンベア5と加工装置6・7
との間でワーク10を授受する三次元アームロボット8
・9に、先行のワーク10を持ち上げて後行ワーク10
に追い越させるための追い越し補助手段としての機能を
兼用させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置における
ワークの待機,追い越し,ライン変更に関する。
【0002】
【従来の技術】工場において同じ製品を大量生産するに
は、ベルトコンベアやローラコンベア等の搬送手段を用
いて搬送ラインを形成すると共に、当該搬送ラインの近
傍に加工手段を配置し、搬送ラインに沿うワークの搬送
と加工手段によるワークの加工とを繰り返しながら、フ
ローショップ方式と言われる生産方法で、材料から製品
まで流れ作業で順次に生産している。このようなフロー
ショップ方式は、同じ製品を短い期間で大量に製造する
場合には非常に効果的な方法である。
【0003】フローショップ方式で複数製品を多品種混
合生産する場合や、特急で製造しなければならないため
に後から搬送されてきた後行の部材を先行の部材を追い
越して優先的に処理する追い越し製造を行う場合は、図
7に示すように、搬送ライン1の横に待避エリア2を設
け、先行ワーク3aが待避エリア2に待避した後に後行
ワーク3bが先行ワーク3aを追い越して優先的に加工
を受けることができる。
【0004】このほか、追い越しを常時可能にする目的
や搬送ラインが故障した場合の非常事態の救済の目的
で、図8に示すように複線化して搬送ライン1a・1b
を設けることが考えられる。このように複線化すると、
ところどころに渡り線4を設けることにより、図のよう
に搬送ライン1bを待避専用としたり、逆に追い越し専
用とすることができる。また、どちらかの搬送ラインが
ダウンした場合は、他方の搬送ラインを使用することに
より搬送作業を継続できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図7のよう
に待避エリアを作ると、搬送装置全体の占有する床面積
が増大し、待避エリアへの横移動機構を設けなければな
らず、搬送装置が複雑化してコスト高となる。
【0006】一方、図8のように複線化すると、搬送装
置全体が占有する床面積が略2倍以上になるだけでなく
渡り線が必要となる。また、搬送システムが複雑にな
り、搬送装置のコストが高くなる。
【0007】そこで本発明は、斯かる課題を解決した搬
送装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
めの請求項1に係る発明の構成は、搬送ラインに沿って
ワークを搬送する搬送手段と、前記搬送ラインの近傍に
設けられた加工手段とで構成した搬送装置において、前
記ワークを前記搬送手段と前記加工手段との間で授受す
るロボットを設けたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明による搬送装置の実
施の形態を説明する。
【0010】(a)実施の形態1 まず、実施の形態1を図1に示す。
【0011】図のようにベルトコンベア(搬送手段)5
が設けられており、ベルトコンベア5に沿って、ベルト
コンベア5の近傍には加工装置(加工手段)6・7が設
けられている。ベルトコンベア5は矢印で示す方向へ走
行しており、ベルトコンベア5の走行方向に対し、加工
装置6・7の上流側には、ベルトコンベア5と加工装置
6・7との間でワークを授受させるために三次元運動の
できる三次元アームロボット8・9が設けられている。
【0012】斯かる搬送装置では、ワーク10がベルト
コンベア5により搬送され、三次元アームロボット8に
より加工装置6に渡され、加工装置6で加工が行われた
後に三次元アームロボット8により再びベルトコンベア
5上に載せられる。そして、加工装置7の位置まで搬送
されると、同様にして三次元アームロボット9が介入し
て加工装置7で加工が行われ、ベルトコンベア5上に載
せられる。
【0013】次に、渋滞が発生した場合について説明す
る。図1のように加工装置6ではワーク10aが加工中
であり、ベルトコンベア5上には加工装置6での加工を
待つワーク10bが待機している。そこへ、加工装置7
での加工を行うためのワーク10cがベルトコンベア5
上に載せられて搬送されてくる場合がある。このような
場合は、ワーク10bが加工装置6に載せられるまで
は、ワーク10cはベルトコンベア5上で待機しなけれ
ばならない。このような場合には、加工装置6でのワー
ク10aの加工が終了し、ワーク10aがベルトコンベ
ア5上に載せられてベルトコンベア5上のワーク10b
が加工装置6に載せられたあとでないと、ワーク10c
は加工装置7へ搬送されない。
【0014】このため、ワーク10b・10cが並んで
渋滞した場合は、図示しない検出センサが渋滞を検出
し、三次元アームロボット8がワーク10bを把持して
搬送ライン5上から一時的に外すために持ち上げる。そ
して、ワーク10cがワーク10bの下方を通過して追
い越したら、ワーク10bを再び搬送ライン5上へ戻
す。これにより、渋滞は解消し、ワーク10cは優先的
に加工装置7へ搬送されて加工される。
【0015】特急品の加工が必要な場合も、前記と同様
にワークの追い越しが行われ、特急品の加工が行われ
る。ワークの持ち上げに限らず、水平方向へ移動させて
もよい。
【0016】(b)実施の形態2 次に、実施の形態2を図2に示す。
【0017】この実施の形態は、実施の形態1における
搬送装置を、水平方向へ並列に2組設けたものである。
ベルトコンベア5,加工装置6・7,三次元アームロボ
ット8・9と対応するものを、ベルトコンベア11,加
工装置12・13,三次元アームロボット14・15と
する。
【0018】斯かる搬送装置では、実施の形態1で説明
した作用だけでなく、以下の操作が可能になる。例え
ば、加工装置6に対して三次元アームロボット8がワー
ク10を授受する場合は、ベルトコンベア5上からだけ
ではなく、ベルトコンベア11上からでも授受できる。
また、ワーク10の追い越しの場合は、前記のように待
機中の先行のワーク10を上昇させる上昇通過方式だけ
でなく、ベルトコンベア5・11間でワーク10を移動
させうるライン間移動方式をとることができ、上昇通過
方式とライン間移動方式との2つの方式のいずれかを選
択して採用することができる。
【0019】その他の構成,作用は実施の形態1と同じ
なので、説明を省略する。
【0020】(c)実施の形態3 次に、実施の形態3を図3に示す。
【0021】この実施の形態は、実施の形態2における
搬送装置において、ベルトコンベア5・11を鉛直方向
へ並列に2組設けたものである。加工装置6・7・12
・13と三次元アームロボット8・9・14・15が設
けられているが、三次元アームロボット8以外は、図示
省略されている。
【0022】斯かる搬送装置では、ベルトコンベア5・
11を鉛直方向へ並べて複線化したことを除き、その他
の構成,作用は実施の形態2と同じなので、説明を省略
する。ベルトコンベア5・11を鉛直方向へ並べて設け
るので、ベルトコンベアの占有面積はベルトコンベアを
単線にした場合とほとんど同じになり、少ない占有面積
で多くの搬送効果をあげることができる。
【0023】(d)実施の形態4 次に、実施の形態4を図4に示す。
【0024】この実施の形態は、実施の形態2における
搬送装置において、ベルトコンベア5・11を相互に鉛
直方向の高さが異なる状態で直角に交差させたものであ
る。実施の形態2と同様に加工装置6・7・12・13
と三次元アームロボット8・9・14・15が設けられ
ているが、これらは図示省略されている。図4におい
て、上段のベルトコンベア11は各種の工程どうしを結
ぶ工程間搬送のような長い距離を移動させる搬送ライン
に用いられ、下段のベルトコンベア5はひとつの工程の
内部どうしを結ぶ工程内搬送のような短い距離を移動さ
せる搬送ラインに用いられる。
【0025】斯かる搬送装置では、ベルトコンベア5と
ベルトコンベア11とが独立しており、ベルトコンベア
5からベルトコンベア11へ移動して追い越すという概
念がないことを除き、その他の構成,作用は実施の形態
2と同じなので、説明を省略する。
【0026】(e)実施の形態5 次に、実施の形態5を図5に示す。
【0027】これは、ベルトコンベア上で後行のワーク
が先行のワークを追い越すことが出来るように、先行の
ワークを持ち上げる垂直移動トラバーサ(追い越し補助
手段)を、図1〜図4の搬送装置に設けたものである。
【0028】垂直移動トラバーサ17は以下のように構
成されている。床面18上に4本の支柱19が立設さ
れ、夫々の支柱19の上端は天井板20に結合されてい
る。天井板20と床面18との間には4本のボールネジ
21が回動自在に設けられており、これらのボールネジ
21は図示しないモータに連動連結され、同期して回動
するようになっている。左右に一対の昇降台22が設け
られ、夫々の昇降台22の両端には前記ボールネジ21
が螺合されている。夫々の昇降台22には一対のシリン
ダ23が取り付けられ、シリンダ23のロッドの先端に
はフォーク24が取り付けられている。
【0029】一方、ワーク10は、カセットボックスに
ガラス板25を収容して構成されている。ワーク10に
は前記フォーク24を挿入するための凹部26が4箇所
に形成されている。半導体製品のように汚れを嫌う製品
を搬送する場合は、空中に飛散する塵埃などが付着しな
いように、内部の清浄度を保つことのできるパッケージ
に入れて搬送するのが望ましい。
【0030】斯かる垂直移動トラバーサ17を有する搬
送装置では、ベルトコンベア5上の先行のワーク10が
垂直移動トラバーサ17の位置にきたときに、図示しな
いモータにより4本のボールネジ21が同期して同じ方
向へ回動し、一対の昇降台22が同時に下降する。そし
て、4つのシリンダ23のロッドが突出してフォーク2
4が凹部26の内部に入り込む。この状態で一対の昇降
台22が同時に上昇することにより、先行のワーク10
が上昇し、後行のワーク10が垂直移動トラバーサ17
の位置を通過でき、追い越すことが可能となる。そし
て、段積みすることにより、複数のワーク10を同時に
持ち上げることができる。垂直移動トラバーサ17は、
前記の実施の形態1〜4において三次元アームロボット
が行う作業のうち、ワークの追い越し補助の部分のみを
行う装置として採用されている。
【0031】(f)実施の形態6 次に、実施の形態6を図6に示す。
【0032】これは、ベルトコンベア上で後行のワーク
が先行のワークを追い越すことが出来るように、先行の
ワークを持ち上げるオーバーヘッドホイストトランスフ
ァー(追い越し補助手段)を示すものである。
【0033】オーバーヘッドホイストトランスファー2
7は以下のように構成されている。図のようにベルトコ
ンベア5の上方には、ベルトコンベア5の長さ方向に沿
って短いレール28が設けられ、レール28には、レー
ル28に沿って走行する本体29が走行可能に設けられ
ている。本体29の下方には、4本のベルト30を介し
て昇降可能に吊り下げられた昇降台31が設けられ、昇
降台31には4本のスライドフォーク32が開閉可能に
設けられている。
【0034】斯かるオーバーヘッドホイストトランスフ
ァー27では、ベルトコンベア5上の先行のワーク10
がレール28の敷設された範囲内の位置にきたときに、
本体29が先行のワーク10の真下へ移動し、昇降台3
1が降下したあと、4本のスライドフォーク32が同時
に閉じる方向へ移動し、凹部26に入り込む。このあ
と、昇降台31とともに先行のワーク10が上昇する。
このあと、後行のワーク10がオーバーヘッドホイスト
トランスファー27の位置を通過でき、追い越すことが
可能となる。オーバーヘッドホイストトランスファー2
7は、前記の実施の形態1〜4において三次元アームロ
ボットが行う作業のうちのワークの追い越し補助の部分
のみを行う装置として採用されている。
【0035】なお、ワークとしては、容器の内部に部材
を1個以上収容したバッチ搬送のものでもよい。また、
ベルトコンベアに代えてローラコンベアを用いてもよ
い。
【0036】
【発明の効果】以上の説明からわかるように、請求項1
〜7に係る搬送装置によれば、ワークを搬送手段と加工
手段との間で授受するロボットを設けたので、加工手段
の近傍にロボットを配置するスペースだけを設ければよ
いことになり、従来のように搬送ラインの全体に亘って
待避スペースを設ける必要がなく、占有面積が少なくて
すむ。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による搬送装置の実施の形態1を示す斜
視図。
【図2】本発明による搬送装置の実施の形態2を示す斜
視図。
【図3】本発明による搬送装置の実施の形態3の一部を
示す斜視図。
【図4】本発明による搬送装置の実施の形態4の一部を
示す斜視図。
【図5】本発明による搬送装置の実施の形態5における
追い越し補助手段の一部に係り、(a)は平面図、
(b)は正面図。
【図6】本発明による搬送装置の実施の形態6における
追い越し補助手段の正面図。
【図7】従来の搬送装置を示す平面図。
【図8】従来の搬送装置を示す平面図。
【符号の説明】
5…ベルトコンベア 6,7…加工装置 8,9…三次元アームロボット 10,10a〜10c…ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B65G 47/28 B65G 47/28 Z (72)発明者 二村 孝 東京都品川区大崎2丁目1番17号 株式会 社明電舎内 (72)発明者 森田 勝巳 東京都品川区大崎3丁目7番9号 明電エ ンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 3C030 DA02 DA04 DA11 DA17 DA22 DA23 DA25 DA26 3C033 HH01 PP02 PP20 3F072 AA06 GC01 GG01 KA01 KD23 3F081 AA01 BC01 CC08 CE02

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送ラインに沿ってワークを搬送する搬
    送手段と、前記搬送ラインの近傍に設けられた加工手段
    とで構成した搬送装置において、 前記ワークを前記搬送手段と前記加工手段との間で授受
    するロボットを設けたことを特徴とする搬送装置。
  2. 【請求項2】 前記搬送ラインが水平方向に並列に並ぶ
    ように前記搬送手段を配置したことを特徴とする請求項
    1に記載の搬送装置。
  3. 【請求項3】 前記搬送ラインが鉛直方向に並列に並ぶ
    ように前記搬送手段を配置したことを特徴とする請求項
    1に記載の搬送装置。
  4. 【請求項4】 前記ロボットが、先行のワークを前記搬
    送ライン上から一時的に外し、後行のワークが前記搬送
    ラインに沿って先に搬送されるようにしたことを特徴と
    する請求項1又は2又は3に記載の搬送装置。
  5. 【請求項5】 前記ロボットが、いずれか一方の搬送ラ
    イン上のワークを他方の搬送ラインに移動させるように
    したことを特徴とする請求項2又は3に記載の搬送装
    置。
  6. 【請求項6】 前記搬送ライン上の先行のワークを把持
    して上昇させる追い越し補助手段を設け、後行のワーク
    が先行のワークを追い越して先に搬送されるようにした
    ことを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。
  7. 【請求項7】 前記追い越し補助手段を、前記搬送ライ
    ンに沿って移動自在に設けたことを特徴とする請求項6
    に記載の搬送装置。
JP2002039426A 2002-02-18 2002-02-18 搬送装置 Pending JP2003237940A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002039426A JP2003237940A (ja) 2002-02-18 2002-02-18 搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002039426A JP2003237940A (ja) 2002-02-18 2002-02-18 搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003237940A true JP2003237940A (ja) 2003-08-27

Family

ID=27780446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002039426A Pending JP2003237940A (ja) 2002-02-18 2002-02-18 搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003237940A (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006046580A1 (ja) * 2004-10-25 2006-05-04 Tokyo Electron Limited 搬送システム、基板処理装置、及び搬送方法
JP2009286599A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Naberu:Kk 自動倉庫
JP2010538939A (ja) * 2007-09-14 2010-12-16 フレックスリンク コンポーネンツ アーベー コンベアシステムのための持ち上げ装置、コンベアシステムおよび方法
JP2013200647A (ja) * 2012-03-23 2013-10-03 Nec Corp 生産システムおよび生産方法
CN104097796A (zh) * 2014-07-03 2014-10-15 上海发那科机器人有限公司 一种冲压结构件的自动化流水线结构
US8930009B2 (en) 2011-10-20 2015-01-06 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Robot system and processed object manufacturing method
CN105480715A (zh) * 2015-12-31 2016-04-13 天津嘉美特矿业设备有限公司 一种传送带上物件的拾取装置
CN106542328A (zh) * 2017-01-11 2017-03-29 威海新北洋正棋机器人股份有限公司 机器人上下料装置及控制方法
CN107187861A (zh) * 2017-06-05 2017-09-22 东阿阿胶股份有限公司 一种高效率的简易分料机构
CN107438574A (zh) * 2015-04-02 2017-12-05 法国致博包装解决方案公司 自主台车输送设备
CN110744297A (zh) * 2019-09-28 2020-02-04 徐州市奥仕捷电子机箱有限公司 适用于电脑机箱的自动组装装置
WO2023090295A1 (ja) 2021-11-22 2023-05-25 株式会社キャタラー 排ガス浄化触媒装置の製造方法
WO2023095645A1 (ja) 2021-11-24 2023-06-01 株式会社キャタラー 排ガス浄化触媒装置の製造方法
WO2024116830A1 (ja) * 2022-12-01 2024-06-06 Nittoku株式会社 パレット持ち上げ装置及びそれを備えるパレット搬送装置及びそれを用いたパレット搬送方法

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1806303A1 (en) * 2004-10-25 2007-07-11 Tokyo Electron Limited Carrying system, substrate treating device, and carrying method
JPWO2006046580A1 (ja) * 2004-10-25 2008-08-07 東京エレクトロン株式会社 搬送システム、基板処理装置、及び搬送方法
KR100852378B1 (ko) * 2004-10-25 2008-08-18 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 반송 시스템 및 기판 처리 장치
EP1806303A4 (en) * 2004-10-25 2009-07-15 Tokyo Electron Ltd TRANSPORT SYSTEM, SUBSTRATE TREATMENT DEVICE AND TRANSPORT PROCESS
JP4642032B2 (ja) * 2004-10-25 2011-03-02 東京エレクトロン株式会社 搬送システム、及び基板処理装置
US8025473B2 (en) 2004-10-25 2011-09-27 Tokyo Electron Limited Carrying system, substrate treating device, and carrying method
WO2006046580A1 (ja) * 2004-10-25 2006-05-04 Tokyo Electron Limited 搬送システム、基板処理装置、及び搬送方法
JP2010538939A (ja) * 2007-09-14 2010-12-16 フレックスリンク コンポーネンツ アーベー コンベアシステムのための持ち上げ装置、コンベアシステムおよび方法
JP2009286599A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Naberu:Kk 自動倉庫
JP4543226B2 (ja) * 2008-05-30 2010-09-15 株式会社ナベル 自動倉庫
US8930009B2 (en) 2011-10-20 2015-01-06 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Robot system and processed object manufacturing method
JP2013200647A (ja) * 2012-03-23 2013-10-03 Nec Corp 生産システムおよび生産方法
CN104097796A (zh) * 2014-07-03 2014-10-15 上海发那科机器人有限公司 一种冲压结构件的自动化流水线结构
CN104097796B (zh) * 2014-07-03 2017-04-05 上海发那科机器人有限公司 一种冲压结构件的自动化流水线结构
CN107438574A (zh) * 2015-04-02 2017-12-05 法国致博包装解决方案公司 自主台车输送设备
CN107438574B (zh) * 2015-04-02 2019-11-05 法国致博包装解决方案公司 自主台车输送设备
CN105480715A (zh) * 2015-12-31 2016-04-13 天津嘉美特矿业设备有限公司 一种传送带上物件的拾取装置
CN106542328A (zh) * 2017-01-11 2017-03-29 威海新北洋正棋机器人股份有限公司 机器人上下料装置及控制方法
CN107187861A (zh) * 2017-06-05 2017-09-22 东阿阿胶股份有限公司 一种高效率的简易分料机构
CN110744297A (zh) * 2019-09-28 2020-02-04 徐州市奥仕捷电子机箱有限公司 适用于电脑机箱的自动组装装置
WO2023090295A1 (ja) 2021-11-22 2023-05-25 株式会社キャタラー 排ガス浄化触媒装置の製造方法
WO2023095645A1 (ja) 2021-11-24 2023-06-01 株式会社キャタラー 排ガス浄化触媒装置の製造方法
WO2024116830A1 (ja) * 2022-12-01 2024-06-06 Nittoku株式会社 パレット持ち上げ装置及びそれを備えるパレット搬送装置及びそれを用いたパレット搬送方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6614330B2 (ja) 一時保管システム
JP2003237940A (ja) 搬送装置
TWI296604B (ja)
JP6048686B2 (ja) 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
TWI722208B (zh) 搬送系統
TWI674228B (zh) 自動化運送佈局系統
WO2015190394A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
JPH04261763A (ja) 組立・加工装置
EP1845552B1 (en) Transportation system and transportation method
JP2005225598A (ja) 搬送台車及び搬送装置
US11111086B2 (en) Glass stacking systems and methods
US20220339750A1 (en) Cell and method for operating a cell of at least two linked horizontal machining centers
JP2005136294A (ja) 移載装置
JP2008260075A (ja) トレイ移送式部品組み立てシステム
JPH0347639A (ja) トランスファフィーダ
JP2000124284A (ja) 搬送装置
JPH10167473A (ja) 物品積付装置及び方法
JP2611747B2 (ja) ウエハ収納箱搬送装置
JPS6339376B2 (ja)
JP2001001088A (ja) トランスファプレスの出側搬送設備
JP3062619B2 (ja) ラック供給方法および装置
JPH07124851A (ja) 自動加工システム
JP2610526B2 (ja) クリーンルーム内の荷取扱い設備
KR20240096121A (ko) 물류 반송 설비 및 물류 반송 방법
JP4026073B2 (ja) 搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041117

A977 Report on retrieval

Effective date: 20070530

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070605

A521 Written amendment

Effective date: 20070806

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071030