JP2003232893A - 放射線画像変換パネル及びその製造方法 - Google Patents

放射線画像変換パネル及びその製造方法

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JP2003232893A JP2002035196A JP2002035196A JP2003232893A JP 2003232893 A JP2003232893 A JP 2003232893A JP 2002035196 A JP2002035196 A JP 2002035196A JP 2002035196 A JP2002035196 A JP 2002035196A JP 2003232893 A JP2003232893 A JP 2003232893A
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Kuniaki Nakano
中野  邦昭
Satoru Honda
哲 本田
Osamu Morikawa
修 森川
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Konica Minolta Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光強度に優れ、且つ、高鮮鋭性を示す放射
線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法
を提供する。 【解決手段】 支持体上に、少なくとも輝尽性蛍光体層
を有する放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍光
体層が柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体を有し、且
つ、該柱状結晶構造が下記一般式(1)を満たす柱状結
晶径比を示すことを特徴とする放射線画像変換パネル。 一般式(1) 1.0≦D2/D1≦3.0

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線画像変換パ
ネル及び放射線画像変換パネルの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、輝尽性蛍光体を利用した放射線像
変換パネルにより放射線像を画像化する方法が用いられ
るようになってきた。
【0003】これは例えば米国特許第3,859,52
7号及び特開昭55−12144号等に開示された様に
支持体上に輝尽性蛍光体層を形成した放射線像変換パネ
ルを使用するものである。この放射線像変換パネルの輝
尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線をあてて被写体
各部の放射線透過度に対応する放射線エネルギーを輝尽
性蛍光体層に蓄積させて潜像(蓄積像)を形成し、この
輝尽性蛍光体層を輝尽励起光(レーザ光が用いられる)
で走査することによって各部に蓄積された放射線エネル
ギーを放射させて光に変換し、この光の強弱を読みとっ
て画像を得る。この画像はCRT等各種のディスプレイ
上に再生してもよいし、又ハードコピーとして再生して
もよい。
【0004】この放射線像変換方法に用いられる放射線
像変換パネルの輝尽性蛍光体層には、放射線吸収率及び
光変換率が高いこと、画像の粒状性がよく、高鮮鋭性で
あることが要求される。
【0005】通常、放射線感度を高くするには輝尽性蛍
光体層の膜厚を厚くする必要があるが、余り厚くなりす
ぎると、輝尽性蛍光体粒子間での輝尽発光の散乱のため
発光が外部に出てこなくなる現象があり限界がある。
【0006】又鮮鋭性については、輝尽性蛍光体層を薄
層化するほど向上するが、薄すぎると感度の現象が大き
くなる。
【0007】又粒状性についても画像の粒状性は放射線
量子数の場所的ゆらぎ(量子モトル)或いは放射線像変
換パネルの輝尽性蛍光体層の構造的乱れ(構造モトル)
等によって決定されるので、輝尽性蛍光体層の層厚が薄
くなると輝尽性蛍光体層に吸収される放射線量子数が減
少してモトルが増加したり、構造的乱れが顕在化して構
造モトルが増加したりして画質の低下を生ずる。従って
画像の粒状性を向上させるためには輝尽性蛍光体層の層
厚が厚い必要があった。
【0008】この様に様々な要因から放射線像変換パネ
ルを用いた放射線像変換方法の画質及び感度は決定され
る。これらの感度や画質に関する複数の因子を調整して
感度、画質を改良するため、これまで様々な検討がされ
てきた。
【0009】それらの内放射線画像の鮮鋭性改善の為の
手段として、例えば形成される輝尽性蛍光体の形状その
ものをコントロールし感度及び鮮鋭性の改良を図る試み
がされている。
【0010】これらの試みの1つとして、例えば特開昭
61−142497号等において行われている様な、微
細な凹凸パターンを有する支持体上に輝尽性蛍光体を堆
積させ形成した微細な擬柱状ブロックからなる輝尽性蛍
光体層を用いる方法がある。
【0011】又、特開昭61−142500号に記載の
ように微細なパターンを有する支持体上に、輝尽性蛍光
体を堆積させて得た柱状ブロック間のクラックをショッ
ク処理を施して更に発達させた輝尽性蛍光体層を有する
放射線像変換パネルを用いる方法、更には、特開昭62
−39737号に記載されたような、支持体の面に形成
された輝尽性蛍光体層にその表面側から亀裂を生じさせ
擬柱状とした放射線像変換パネルを用いる方法、更に
は、特開昭62−110200号に記載のように、支持
体の上面に蒸着により空洞を有する輝尽性蛍光体層を形
成した後、加熱処理によって空洞を成長させ亀裂を設け
る方法等も提案されている。
【0012】最近では、特開昭62−157600号に
記載のように、支持体上に輝尽性蛍光体層を気相堆積法
を用いての作製時、輝尽性蛍光体成分の蒸気流の流線と
支持体面との交角を特定の範囲に調節しながら、輝尽性
蛍光体層を所定の厚みに形成する方法が開示され、ま
た、特許第2899812号には、気相堆積法によって
支持体上に、支持体の法線方向に対し一定の傾きをもっ
た細長い柱状結晶が形成された輝尽性蛍光体層を有する
放射線像変換パネルが提案されている。
【0013】これらの蛍光体層の形状をコントロールす
る試みにおいては、蛍光体層を柱状結晶構造にすること
により、画質向上を目途としている。特に、柱状にする
ことにより、輝尽励起光(又輝尽発光)の横方向への拡
散を抑える(クラック(柱状結晶)界面において反射を
繰り返しながら支持体面まで到達する)ことができるた
め、輝尽発光による画像の鮮鋭性を著しく増大させるこ
とができるという特徴があるとされている。
【0014】しかしながら、上記記載の気相成長(堆
積)により形成した輝尽性蛍光体層を有する放射線像変
換パネルにおいても、より一層の高画質化が求められて
いる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、発光
強度に優れ、且つ、高鮮鋭性を示す放射線画像変換パネ
ル及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供すること
である。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記の構成1〜15により達成された。
【0017】1.支持体上に、少なくとも輝尽性蛍光体
層を有する放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍
光体層が柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体を有し、且
つ、該柱状結晶構造が前記一般式(1)を満たす柱状結
晶径比を示すことを特徴とする放射線画像変換パネル。
【0018】2.前記柱状結晶径比が前記一般式(2)
を満たすことを特徴とする前記1に記載の放射線画像変
換パネル。
【0019】3.輝尽性蛍光体層が、前記一般式(3)
で表される組成を有する輝尽性蛍光体を含有することを
特徴とする前記1に記載の放射線画像変換パネル。
【0020】4.前記一般式(3)のMIは、K、Rb
およびCsから選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属
であることを特徴とする前記3に記載の放射線画像変換
パネル。
【0021】5.前記一般式(3)のXは、Brまたは
Iであることを特徴とする前記3または4に記載の放射
線画像変換パネル。
【0022】6.前記一般式(3)のMIIは、Be、M
g、Ca、Sr及びBaからなる群から選ばれる少なく
とも一種の二価金属であることを特徴とする前記3〜5
のいずれか1項に記載の放射線画像変換パネル。
【0023】7.前記一般式(3)のMIIIは、Y、L
a、Ce、Sm、Eu、Gd、Lu、Al、Gaおよび
Inから選ばれる少なくとも一種の三価金属であること
を特徴とする前記3〜6のいずれか1項に記載の放射線
画像変換パネル。
【0024】8.前記一般式(3)のbが、0≦b≦1
-2であることを特徴とする前記3〜7のいずれか1項
に記載の放射線画像変換パネル。
【0025】9.前記一般式(3)のAが、Eu、C
s、Sm、Tl及びNaからなる群から選択される少な
くとも1種の金属であることを特徴とする前記3〜8の
いずれか1項に記載の放射線画像変換パネル。
【0026】10.前記一般式(3)で表される組成を
有する輝尽性蛍光体が前記一般式(4)で表される輝尽
性蛍光体であることを特徴とする前記3〜9のいずれか
1項に記載の放射線画像変換パネル。
【0027】11.前記1〜10のいずれか1項に記載
の放射線画像変換パネルを製造するに当たり、輝尽性蛍
光体層が気相堆積法により形成される工程を有すること
を特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【0028】12.輝尽性蛍光体層を形成しようとする
支持体面の法線方向に対して、輝尽性蛍光体または該輝
尽性蛍光体の原料を特定の入射角で入射させることによ
り、前記支持体面の法線方向に対して特定の傾きを有
し、且つ、独立した柱状結晶から構成される輝尽性蛍光
体層を形成することを特徴とする前記11に記載の放射
線画像変換パネルの製造方法。
【0029】13.入射角を、0°〜80°の範囲に調
整することを特徴とする前記12に記載の放射線画像変
換パネルの製造方法。
【0030】14.入射角を、0°〜70°の範囲に調
整することを特徴とする前記12に記載の放射線画像変
換パネルの製造方法。
【0031】15.前記11〜14のいずれか1項に記
載の放射線画像変換パネルの製造方法を用いて製造され
たことを特徴とする放射線画像変換パネル。
【0032】以下、本発明を詳細に説明する。本発明者
等は、上記記載の問題点を種々検討した結果、請求項1
に記載のように、支持体上に、少なくとも輝尽性蛍光体
層を有する放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍
光体層が柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体を有し、且
つ、該柱状結晶構造が前記一般式(1)を満たすように
調整することが必須要件であり、前記要件を満たすこと
により、発光強度に優れ、且つ、高鮮鋭性を示す放射線
画像変換パネルを得ることが出来る。
【0033】《輝尽性蛍光体層》本発明に係る輝尽性蛍
光体層について説明する。
【0034】本発明に係る輝尽性蛍光体層に用いられる
輝尽性蛍光体としては、前記一般式(3)、前記一般式
(4)で表される組成を有するアルカリハライド型輝尽
性蛍光体が好ましく、特に好ましく用いられるのは、前
記一般式(4)で表される組成を有する輝尽性蛍光体で
ある。
【0035】中でも、CsX:Eu(ここで、Xはハロ
ゲンを表す)組成を有する輝尽性蛍光体はX線吸収が大
きく、高感度化が可能であり、柱状結晶を精密に制御し
て形成することにより、高感度、高鮮鋭性を両立するこ
とが出来た。
【0036】前記一般式(3)、(4)等、上記の輝尽
性蛍光体は、特公平7−84589号、同7−7433
4号、同7−84591号、同5−01475号等に記
載の材料を蛍光体製造の為に用いることが出来る。
【0037】本発明に係る輝尽性蛍光体層は、柱状結晶
構造を有するが、前記柱状結晶は各々が独立し、ある間
隔を隔てて結晶成長した結晶構造を有することが好まし
い、ここで、各々の結晶がある間隙をおいて独立に柱状
結晶構造を持つように成長させる方法は、例えば、特許
第2899812号に記載された方法を参照することが
出来る。また、本発明に記載の効果を得るためには、本
発明に係る柱状結晶構造は、前記一般式(1)で表され
る柱状結晶径比(D2/D1)を満たすことが必須要件
であり、好ましくは、前記一般式(2)で表される柱状
結晶径比(D2/D1)を満たすものである。
【0038】上記のような柱状結晶構造を有し、且つ、
特定の柱状結晶径比(D2/D1)を有する輝尽性蛍光
体層の作製には、気相堆積法が好ましい。
【0039】(気相堆積法による輝尽性蛍光体層の作
製)輝尽性蛍光体を気相成長(気相堆積法)させ、柱状
結晶に成長させる方法としては蒸着法、スパッタ法及び
CVD法等が好ましく用いられる。
【0040】気相堆積法とは、支持体上に特定の入射角
で輝尽性蛍光体の蒸気または該原料を供給し、結晶を気
相成長(気相堆積法と呼ぶ)させる方法によって独立し
た細長い柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体層を得るこ
とが出きる。また、蒸着時の輝尽性蛍光体の蒸気流の入
射角に対し約半分の成長角で柱状結晶を結晶成長させる
ことができる。
【0041】輝尽性蛍光体または輝尽性蛍光体原料の蒸
気流を支持体面に対しある入射角をつけて供給する方法
には、支持体を蒸発源を仕込んだ坩堝に対し互いに傾斜
させる配置を取る、或いは、支持体と坩堝を互いに平行
に設置し、蒸発源を仕込んだ坩堝の蒸発面からスリット
等により斜め成分のみ支持体上に蒸着させる様規制する
等の方法をとることができる。
【0042】これらの場合において、支持体と坩堝との
最短部の間隔は輝尽性蛍光体の平均飛程に合わせて概ね
10cm〜60cmに設置するのが好ましい。
【0043】前記柱状結晶の太さは支持体温度、真空
度、蒸気流入射角度等によって影響を受け、これらを制
御することによって所望の太さの柱状結晶を作製するこ
とが可能である。支持体温度については、温度が低くな
るほど細くなる傾向にあるが、低すぎると柱状状態の維
持が困難となる。好ましい支持体の温度としては、10
0〜300℃であり、より好ましくは150〜270℃
である。蒸気流の入射角度については、0°以上の場合
において蒸気流の入射角度が大きいほど細くなり、好ま
しい入射角度は30〜80°であり、より好ましくは3
0〜70°である。真空度については、入射角度が0°
以上の場合は高真空ほど細くなり、好ましい真空度は
0.0013Pa以下である。入射角度が0°の場合は
低真空領域において真空度が低くなるほど細くなり、好
ましい真空度は0.13Pa以上である。また、蒸着中
に支持体温度、真空度、蒸気流入射角度を適宜変更する
ことによって、柱状結晶径比(D2/D1)をより最適
に制御することが可能である。
【0044】これらの柱状結晶からなる輝尽性蛍光体層
において変調伝達関数(MTF)をよくするためには、
柱状結晶の大きさ(柱状結晶を支持体と平行な面から観
察したときの各柱状結晶の断面積の円換算した直径の平
均値であり、少なくとも100個以上の柱状結晶を視野
中に含む顕微鏡写真から計算する)は1μm〜50μm
程度がよく、更に好ましくは、1μm〜30μmであ
る。即ち、柱状結晶が1μmより細い場合は、柱状結晶
により輝尽励起光が散乱される為にMTFが低下する
し、柱状結晶が50μm以上の場合も輝尽励起光の指向
性が低下し、MTFは低下する。
【0045】又各柱状結晶間の間隙の大きさは30μm
以下がよく、更に好ましくは5μm以下がよい。即ち、
間隙が30μmを越える場合は蛍光体層中の蛍光体の充
填率が低くなり、感度が低下してしまう。
【0046】又、前記輝尽性蛍光体の斜め柱状結晶の成
長角は0°より大きく、90°より小であれば特に問わ
ないが、10〜70°がよく、好ましくは20°〜55
°である。成長角を10〜70°にするには、入射角を
20〜80°にすればよく20〜55°にするには入射
角を40〜70°にすればよい。成長角が大きいと支持
体に対して柱状結晶が倒れすぎ、膜が脆くなる。
【0047】ここで、本発明に係る、柱状結晶構造を有
する輝尽性蛍光体層を図1を用いて説明する。
【0048】図1は、本発明に係る、柱状結晶構造を有
する輝尽性蛍光体層の模式図である。図1(a)は、支
持体上に柱状結晶1が直立状に形成された場合であり、
Tは柱状結晶1の長さ、0.1Tは、支持体上から柱状
結晶1の長さTの1/10だけ離れている部位を表す。
D2は、柱状結晶1の最表面での柱状結晶1の大きさ
(柱の太さを表す)であり、D1は、支持体から上記
0.1Tの距離だけ離れた部位での柱状結晶1の太さを
表す。
【0049】図1(a)のような直立状に柱状結晶が成
長する場合の輝尽性蛍光体原料の蒸気流の支持体面への
入射角は0度である。
【0050】図1(b)は、図1(a)とは異なり、支
持体上に斜め方向に、柱状結晶1の成長角θを有するよ
うに成長した場合の一例を表している。図1(b)で
は、支持体面に接している柱状結晶面の中点2a〜柱状
結晶1の最表面の中点2bを結ぶ直線2を引き、前記直
線2に対し中点2aから0.1T離れた部位のところで
直角に交わる結晶部位の太さをD1とし、同様に最表面
において、前記直線2に対し中点2bと直角に交わる結
晶部位の太さをD2とする。
【0051】図1(b)では、輝尽性蛍光体原料の蒸気
流の入射角度として、例えば、40度に設定した場合、
柱状結晶1の成長角θの角度は、蒸気流の入射角度の約
半分の20度になる。
【0052】(蒸着法)蒸着法は支持体を蒸着装置内に
設置したのち、装置内を排気して1.333×10-4
a程度の真空とし、次いで、輝尽性蛍光体の少なくとも
1つを抵抗加熱法、エレクトロンビーム法などの方法で
加熱蒸発させて支持体表面に輝尽性蛍光体を所望の厚み
に斜め堆積させる。この結果、結着剤を含有しない輝尽
性蛍光体層が形成されるが、前記蒸着工程では複数回に
分けて輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。ま
た、前記蒸着工程では複数の抵抗加熱器或いはエレクト
ロンビームを用いて蒸着を行うことも可能である。また
蒸着法においては、輝尽性蛍光体原料を複数の抵抗加熱
器或いはエレクトロンビームを用いて蒸着し、支持体上
で目的とする輝尽性蛍光体を合成すると同時に輝尽性蛍
光体層を形成することも可能である。更に蒸着法におい
ては、蒸着時に必要に応じて被蒸着物を冷却或いは加熱
してもよい。また、蒸着終了後、輝尽性蛍光体層を加熱
処理してもよい。
【0053】(スパッタ法)スパッタ法は前記蒸着法と
同様に支持体をスパッタ装置内に設置した後、装置内を
一旦排気して1.333×10-4Pa程度の真空度と
し、次いでスパッタ用のガスとしてAr、Ne等の不活
性ガスを装置内に導入して1.333×10-1Pa程度
のガス圧とする。次に、前記輝尽性蛍光体をターゲット
として、斜めにスパッタリングすることにより支持体表
面に輝尽性蛍光体を所望の厚さに斜めに堆積させる。こ
のスパッタ工程では蒸着法と同様に複数回に分けて輝尽
性蛍光体層を形成することも可能であるし、それぞれを
用いて同時或いは順次、前記ターゲットをスパッタリン
グして輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。ま
た、スパッタ法では、複数の輝尽性蛍光体原料をターゲ
ットとして用い、これを同時或いは順次スパッタリング
して、支持体上で目的とする輝尽性蛍光体層を形成する
事も可能であるし、必要に応じてO2、H2等のガスを導
入して反応性スパッタを行ってもよい。更に、スパッタ
法においては、スパッタ時必要に応じて被蒸着物を冷却
或いは加熱してもよい。また、スパッタ終了後に輝尽性
蛍光体層を加熱処理してもよい。
【0054】(CVD法)CVD法は、目的とする輝尽
性蛍光体或いは輝尽性蛍光体原料を含有する有機金属化
合物を熱、高周波電力等のエネルギーで分解することに
より、支持体上に結着剤を含有しない輝尽性蛍光体層を
得るものであり、いずれも輝尽性蛍光体層を支持体の法
線方向に対して特定の傾きをもって独立した細長い柱状
結晶に気相成長させることが可能である。
【0055】(輝尽性蛍光体層の膜厚)これらの方法に
より形成した輝尽性蛍光体層の膜厚は目的とする放射線
像変換パネルの放射線に対する感度、輝尽性蛍光体の種
類等によって異なるが、10μm〜1000μmの範囲
が好ましく、更に好ましくは、20μm〜800μmの
範囲である。
【0056】また、上記記載の気相堆積法を用いて輝尽
性蛍光体層の作製時、蒸発源となる輝尽性蛍光体は、均
一に溶解させるか、プレス、ホットプレスによって成形
して坩堝に仕込まれる。この際、脱ガス処理を行うこと
が好ましい。蒸発源から輝尽性蛍光体を蒸発させる方法
は電子銃により発した電子ビームの走査により行われる
が、これ以外の方法にて蒸発させることもできる。
【0057】また、蒸発源は必ずしも輝尽性蛍光体であ
る必要はなく、輝尽性蛍光体原料を混和したものであっ
てもよい。
【0058】また、賦活剤は母体(basic sub
stance)に対して賦活剤(actibator)
を混合したものを蒸着してもよいし、母体のみを蒸着し
た後、あとから賦活剤をドープしてもよい。例えば、母
体であるRbBrのみを蒸着した後、例えば賦活剤であ
るTlをドープしてもよい。即ち、結晶が独立している
ため、膜が厚くとも充分にドープ可能であるし、結晶成
長が起こりにくいので、MTFは低下しないからであ
る。
【0059】ドーピングは形成された蛍光体の母体層中
にドーピング剤(賦活剤)を熱拡散、イオン注入法によ
って行うことが出来る。
【0060】この様にして支持体上に形成した輝尽性蛍
光体層は、結着剤を含有していないので、指向性に優れ
ており、輝尽励起光及び輝尽発光の指向性が高く、輝尽
性蛍光体を結着剤中に分散した分散型の輝尽性蛍光体層
を有する放射線画像変換パネルより層厚を厚くすること
ができる。更に輝尽励起光の輝尽性蛍光体層中での散乱
が減少することで像の鮮鋭性が向上する。
【0061】又、柱状結晶間の間隙に結着剤等充填物を
充填してもよく、輝尽性蛍光体層の補強となる。又高光
吸収率の物質、高光反射率の物質等を充填してもよい。
これにより前記補強効果をもたせるほか、輝尽性蛍光体
層に入射した輝尽励起光の横方向への光拡散をほぼ完全
に防止できる。
【0062】高光反射率の物質とは、輝尽励起光(50
0〜900nm、特に600〜800nm)に対する反
射率の高いものをいい、例えばアルミニウム、マグネシ
ウム、銀、インジウムその他の金属など、白色顔料及び
緑色から赤色領域の色材を用いることができる。
【0063】白色顔料は輝尽発光も反射することができ
る。白色顔料として、TiO2(アナターゼ型、ルチル
型)、MgO、PbCO3・Pb(OH)2、BaS
4、Al23、M(II)FX(但し、M(II)はB
a、Sr及びCaの中の少なくとも一種であり、XはC
l、及びBrのうちの少なくとも一種である。)、Ca
CO 3、ZnO、Sb23、SiO2、ZrO2、リトポ
ン(BaSO4・ZnS)、珪酸マグネシウム、塩基性
珪硫酸鉛、塩基性燐酸鉛、珪酸アルミニウムなどが挙げ
られる。これらの白色顔料は隠蔽力が強く、屈折率が大
きいため、光を反射したり、屈折させることにより輝尽
発光を容易に散乱し、得られる放射線画像変換パネルの
感度を顕著に向上させうる。
【0064】又、高光吸収率の物質としては、例えば、
カーボン、酸化クロム、酸化ニッケル、酸化鉄など及び
青の色材が用いられる。このうちカーボンは輝尽発光も
吸収する。
【0065】又、色材は、有機若しくは無機系色材のい
ずれでもよい。有機系色材としては、ザボンファースト
ブルー3G(ヘキスト製)、エストロールブリルブルー
N−3RL(住友化学製)、D&CブルーNo.1(ナ
ショナルアニリン製)、スピリットブルー(保土谷化学
製)、オイルブルーNo.603(オリエント製)、キ
トンブルーA(チバガイギー製)、アイゼンカチロンブ
ルーGLH(保土ヶ谷化学製)、レイクブルーAFH
(協和産業製)、プリモシアニン6GX(稲畑産業
製)、ブリルアシッドグリーン6BH(保土谷化学
製)、シアンブルーBNRCS(東洋インク製)、ライ
オノイルブルーSL(東洋インク製)等が用いられる。
又カラーインデクスNo.24411、23160、7
4180、74200、22800、23154、23
155、24401、14830、15050、157
60、15707、17941、74220、1342
5、13361、13420、11836、7414
0、74380、74350、74460等の有機系金
属錯塩色材も挙げられる。無機系色材としては群青、コ
バルトブルー、セルリアンブルー、酸化クロム、TiO
2−ZnO−Co−NiO系顔料が挙げられる。
【0066】また、本発明では本発明の放射線画像変換
パネルに用いられる輝尽性蛍光体としては、例えば、特
開昭48−80487号に記載されているBaSO4
Axで表される蛍光体、特開昭48−80488号に記
載のMgSO4:Axで表される蛍光体、特開昭48−
80489号に記載されているSrSO4:Axで表さ
れる蛍光体、特開昭51−29889号に記載されてい
るNa2SO4、CaSO4及びBaSO4等にMn、Dy
及びTbの中少なくとも1種を添加した蛍光体、特開昭
52−30487号に記載されているBeO、LiF、
MgSO4及びCaF2等の蛍光体、特開昭53−392
77号に記載されているLi247:Cu,Ag等の
蛍光体、特開昭54−47883号に記載されているL
2O・(Be22)x:Cu,Ag等の蛍光体、米国
特許第3,859,527号に記載されているSrS:
Ce,Sm、SrS:Eu,Sm、La22S:Eu,
Sm及び(Zn,Cd)S:Mnxで表される蛍光体が
挙げられる。又、特開昭55−12142号に記載され
ているZnS:Cu,Pb蛍光体、一般式がBaO・x
Al23:Euで挙げられるアルミン酸バリウム蛍光
体、及び、一般式がM(II)O・xSiO2:Aで表さ
れるアルカリ土類金属珪酸塩系蛍光体が挙げられる。
【0067】又、特開昭55−12143号に記載され
ている一般式が(Ba1-x-yMgxCay)Fx:Eu2+
表されるアルカリ土類フッ化ハロゲン化物蛍光体、特開
昭55−12144号に記載されている一般式がLnO
X:xAで表される蛍光体、特開昭55−12145号
に記載されている一般式が(Ba1-xM(II)x)Fx
yAで表される蛍光体、特開昭55−84389号に記
載されている一般式がBaFX:xCe,yAで表され
る蛍光体、特開昭55−160078号に記載されてい
る一般式がM(II)FX・xA:yLnで表される希土
類元素賦活二価金属フルオロハライド蛍光体、一般式Z
nS:A、CdS:A、(Zn,Cd)S:A,Xで表
される蛍光体、特開昭59−38278号に記載されて
いる下記いずれかの一般式 xM3(PO42・NX2:yA xM3(PO42:yA で表される蛍光体、特開昭59−155487号に記載
されている下記いずれかの一般式 nReX3・mAX′2:xEu nReX3・mAX′2:xEu,ySm で表される蛍光体、特開昭61−72087号に記載さ
れている下記一般式 M(I)X・aM(II)X′2・bM(III)X″3:c
A で表されるアルカリハライド蛍光体、及び特開昭61−
228400号に記載されている一般式M(I)X:x
Biで表されるビスマス賦活アルカリハライド蛍光体等
が挙げられる。
【0068】特に、アルカリハライド蛍光体は、蒸着、
スパッタリング等の方法で柱状の輝尽性蛍光体層を形成
させやすく好ましい。
【0069】又、前述のように、アルカリハライド蛍光
体の中でもCsBr系蛍光体が高輝度、高画質である点
で好ましい。
【0070】《支持体》本発明に係る支持体について説
明する。
【0071】支持体としては、各種高分子材料、ガラ
ス、セラミックス、金属等が用いられ、例えば、石英、
ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラス、結晶化ガラスなど
の板ガラス、あるいはアルミナ、窒化珪素等のセラミッ
クス、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフ
ィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリア
ミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフ
ィルム、ポリカーボネートフィルム等のプラスチックフ
ィルム、アルミニウム、鉄、銅、クロム等の金属シート
あるいは親水性微粒子の被覆層を有する金属シートが好
ましい。これら支持体の表面は滑面であってもよいし、
輝尽性蛍光体層との接着性を向上させる目的でマット面
としてもよい。また、本発明においては、支持体と輝尽
性蛍光体層の接着性を向上させるために、必要に応じて
支持体の表面に予め接着層を設けてもよい。
【0072】(支持体の膜厚)これら支持体の厚みは用
いる支持体の材質等によって異なるが、一般的には80
μm〜2000μmであり、取り扱い上の観点から、更
に好ましいのは80μm〜1000μmである。
【0073】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれらに限定されない。
【0074】実施例1 《放射線画像変換パネル1の作製》:比較例 以下に記載の方法に従って、蒸着型蛍光体層を有する放
射線画像変換パネル1を作製した。
【0075】(支持体1の作製)厚さ500μm厚の透
明結晶化ガラス上の下記のようにして光反射層を設け、
支持体1を作製した。
【0076】(光反射層の形成)フルウチ化学社製酸化
チタンとフルウチ化学社製酸化ジルコニウムとを、40
0nmでの反射率が85%、660nmでの反射率が2
0%となるように、蒸着装置を用いて支持体表面に膜形
成を行った。
【0077】(輝尽性蛍光体プレート1の作製)上記作
製した支持体1を240℃加温し、真空チャンバー中に
窒素ガスを導入し、真空度を0.27Paとした後、支
持体の一方の面に、公知の蒸着装置を用いて、CsB
r:0.001Euからなるアルカリハライド蛍光体を
支持体表面の法線方向に対して0°の入射角度で、アル
ミニウム製のスリットを用いて、支持体とスリット(蒸
着源)の距離を60cmとして、支持体と平行な方向に
支持体を搬送しながら蒸着を行って、300μm厚の柱
状構造を有する蛍光体層を形成した。
【0078】上記形成した蛍光体層のヘイズ率を、AS
TMD−1003に記載の方法により測定した結果、蛍
光体層のヘイズ率は50%であった。
【0079】上記で作製した輝尽性蛍光体プレート1を
用いて放射線画像変換パネル1を作製した。詳しくは、
輝尽性蛍光体層を有するガラス状の側縁部にスペーサを
介して、各輝尽性蛍光体層と保護層として用いるガラス
との間に、低屈折率層として空気層が100μmの厚み
になるように、ガラス製の保護層を設けた。なお、スペ
ーサとしてはガラスセラミックス製で、支持体及び保護
層ガラスの間に輝尽性蛍光体層及び低屈折率層(空気
層)が所定の厚みとなるように厚みを調整したものを用
い、ガラス支持体及びガラス製の保護層の側縁部は、エ
ポキシ系接着剤を用いて接着し、放射線画像変換パネル
1を作製した。
【0080】《放射線画像変換パネル2、3の作製》:
比較例 放射線画像変換パネル1の作製において、表1に記載の
ように蒸着条件を変更した以外は同様にして放射線画像
変換パネル2、3を各々作製した。
【0081】《放射線画像変換パネル4〜9の作製》:
本発明 放射線画像変換パネル1の作製において、表1に記載の
ように蒸着条件を変更した以外は同様にして放射線画像
変換パネル4〜9を各々作製した。
【0082】尚、表1に記載の蒸着条件において、支持
体の温度、真空度、入射角度の変更のタイミングは、支
持体上に形成された柱状結晶の長さが図1(a)、
(b)に記載の予め設定している柱状結晶の長さTの約
50%(±5%)に成長した時点で行った。また、変更
の時点(タイミングともいう)は、予め結晶成長の速度
を電子顕微鏡等を用いた経過観察により得られた実験デ
ータを基に決定した。
【0083】得られた放射線画像変換パネル1〜9の各
々について、発光輝度と鮮鋭性を評価した。
【0084】《鮮鋭性評価》鮮鋭性については、変調伝
達関数(MTF)を求め評価した。
【0085】各放射線画像変換パネルにCTFチャート
を貼りつけた後、80kVpのX線を10mR(被写体
までの距離;1.5m)照射した後、蛍光体層Aを有す
る面側から半導体レーザ光(690nm、パネル上での
パワー40mW)を照射して、直径100μmφの半導
体レーザ光でCTFチャートを走査し、読みとって求め
た。表1の記載の値は、0.5lp/mmにおける放射
線画像変換パネル1のMTF値を1.00とし、各パネ
ルについて相対値で求めたものである。
【0086】《輝度(感度)評価》放射線画像変換パネ
ル1〜9の各々について、以下のようにして輝度測定を
行った。
【0087】輝度の測定は、各放射線画像変換パネルに
ついて、管電圧80kVpのX線を蛍光体シート支持体
の裏面側から照射した後、パネルをHe−Neレーザー
光(633nm)で操作して励起し、蛍光体層から放射
される輝尽発光を受光器(分光感度S−5の光電子像倍
管)で受光して、その強度を測定して、これを輝度と定
義し、放射線画像変換パネル4の輝度を1.00とし
た、相対値で表示した。
【0088】得られた結果を表1に示す。
【0089】
【表1】
【0090】表1から、比較に比べて、本発明の試料
は、発光輝度、鮮鋭性共に優れていることが明らかであ
る。
【0091】
【発明の効果】本発明により、発光強度に優れ、且つ、
高鮮鋭性を示す放射線画像変換パネル及び放射線画像変
換パネルの製造方法を提供することが出来た。
【図面の簡単な説明】
【図1】柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体層の一態様
を示す模式図である。
【符号の説明】
1 柱状結晶 2 直線 2a、2b 中点 D1、D2 柱状結晶の太さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C23C 16/30 C23C 16/30 G01T 1/00 G01T 1/00 B Fターム(参考) 2G083 AA03 BB01 CC03 DD02 DD11 DD12 EE02 EE03 4G076 AA02 AA18 AB18 BA03 BA04 BF05 BF08 CA10 DA11 DA30 4H001 CA02 CA08 XA03 XA04 XA09 XA11 XA12 XA13 XA17 XA19 XA20 XA21 XA28 XA30 XA31 XA35 XA37 XA38 XA39 XA48 XA49 XA53 XA55 XA56 XA57 XA58 XA59 XA60 XA61 XA62 XA63 XA64 XA65 XA66 XA67 XA68 XA69 XA70 XA71 YA11 YA12 YA29 YA31 YA39 YA47 YA49 YA55 YA58 YA59 YA60 YA62 YA63 YA64 YA65 YA66 YA67 YA68 YA69 YA70 YA71 YA81 4K029 AA09 AA24 BA41 BA42 BB08 BC07 BD00 BD03 CA01 CA05 CA06 CA15 4K030 AA11 BA14 BA21 BA35 BA53 CA06 FA01 FA10 LA01 LA18

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持体上に、少なくとも輝尽性蛍光体層
    を有する放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍光
    体層が柱状結晶構造を有する輝尽性蛍光体を有し、且
    つ、該柱状結晶構造が下記一般式(1)を満たす柱状結
    晶径比を示すことを特徴とする放射線画像変換パネル。 一般式(1) 1.0≦D2/D1≦3.0 〔式中、D2は支持体上に形成された輝尽性蛍光体層表
    面での第1の柱状結晶径を表し、D1は輝尽性蛍光体層
    の膜厚をTとした時、支持体表面から輝尽性蛍光体層表
    面に向かって0.1Tの距離にある第2の柱状結晶径を
    表す。〕
  2. 【請求項2】 前記柱状結晶径比が下記一般式(2)を
    満たすことを特徴とする請求項1に記載の放射線画像変
    換パネル。 一般式(2) 1.3≦D2/D1≦3.0
  3. 【請求項3】 輝尽性蛍光体層が、下記一般式(3)で
    表される組成を有する輝尽性蛍光体を含有することを特
    徴とする請求項1に記載の放射線画像変換パネル。 一般式(3) MIX・aMIIX′2・bMIIIX″3:eA 〔式中、MIはLi、Na、K、RbおよびCsから選
    ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、MIIはB
    e、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、CdおよびNiか
    らなる群から選ばれる少なくとも一種の二価金属であ
    り、MIIIはSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、P
    m、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
    m、Yb、Lu、Al、GaおよびInから選ばれる少
    なくとも一種の三価金属であり、X、X′およびX″は
    F、Cl、BrおよびIからなる群から選ばれる少なく
    とも一種のハロゲンである。AはEu、Tb、In、G
    a、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Y
    b、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、
    Cu及びMgからなる群から選ばれる少なくとも一種の
    金属である。a、b、eは、各々0≦a<0.5、0≦
    b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
  4. 【請求項4】 前記一般式(3)のMIは、K、Rbお
    よびCsから選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属で
    あることを特徴とする請求項3に記載の放射線画像変換
    パネル。
  5. 【請求項5】 前記一般式(3)のXは、BrまたはI
    であることを特徴とする請求項3または4に記載の放射
    線画像変換パネル。
  6. 【請求項6】 前記一般式(3)のMIIは、Be、M
    g、Ca、Sr及びBaからなる群から選ばれる少なく
    とも一種の二価金属であることを特徴とする請求項3〜
    5のいずれか1項に記載の放射線画像変換パネル。
  7. 【請求項7】 前記一般式(3)のMIIIは、Y、L
    a、Ce、Sm、Eu、Gd、Lu、Al、Gaおよび
    Inから選ばれる少なくとも一種の三価金属であること
    を特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の放射
    線画像変換パネル。
  8. 【請求項8】 前記一般式(3)のbが、0≦b≦10
    -2であることを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項
    に記載の放射線画像変換パネル。
  9. 【請求項9】 前記一般式(3)のAが、Eu、Cs、
    Sm、Tl及びNaからなる群から選択される少なくと
    も1種の金属であることを特徴とする請求項3〜8のい
    ずれか1項に記載の放射線画像変換パネル。
  10. 【請求項10】 前記一般式(3)で表される組成を有
    する輝尽性蛍光体が下記一般式(4)で表される輝尽性
    蛍光体であることを特徴とする請求項3〜9のいずれか
    1項に記載の放射線画像変換パネル。 一般式(4) CsX:yA 〔式中、XはCl、BrまたはIを表し、Aは、Eu、
    Sm、In、Tl、GaまたはCeを表す。yは、1×
    10-7〜1×10-2までの数値を表す。〕
  11. 【請求項11】 請求項1〜10のいずれか1項に記載
    の放射線画像変換パネルを製造するに当たり、輝尽性蛍
    光体層が気相堆積法により形成される工程を有すること
    を特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
  12. 【請求項12】 輝尽性蛍光体層を形成しようとする支
    持体面の法線方向に対して、輝尽性蛍光体または該輝尽
    性蛍光体の原料を特定の入射角で入射させることによ
    り、前記支持体面の法線方向に対して特定の傾きを有
    し、且つ、独立した柱状結晶から構成される輝尽性蛍光
    体層を形成することを特徴とする請求項11に記載の放
    射線画像変換パネルの製造方法。
  13. 【請求項13】 入射角を、0°〜80°の範囲に調整
    することを特徴とする請求項12に記載の放射線画像変
    換パネルの製造方法。
  14. 【請求項14】 入射角を、0°〜70°の範囲に調整
    することを特徴とする請求項12に記載の放射線画像変
    換パネルの製造方法。
  15. 【請求項15】 請求項11〜14のいずれか1項に記
    載の放射線画像変換パネルの製造方法を用いて製造され
    たことを特徴とする放射線画像変換パネル。
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