JP2003224176A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP2003224176A JP2003224176A JP2002023750A JP2002023750A JP2003224176A JP 2003224176 A JP2003224176 A JP 2003224176A JP 2002023750 A JP2002023750 A JP 2002023750A JP 2002023750 A JP2002023750 A JP 2002023750A JP 2003224176 A JP2003224176 A JP 2003224176A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アームを有する移動装置を介して移送された
基板を、垂直嵌込み用の移載装置によって立状態で移動
枠に嵌込む搬送装置においては、途中で基板の反転動作
をおこなっているため、基板破損リスクが大きくなって
いる。 【解決手段】 移動装置によって移送された基板を載置
する供給装置を設け、この供給装置に前方が開口したフ
ォーク状の基板載置部を設けると共に、移載装置に吸着
パットを設けたハンドを基板載置部に乗せられた基板底
面より挿入し、基板を吸着するよう構成した。
基板を、垂直嵌込み用の移載装置によって立状態で移動
枠に嵌込む搬送装置においては、途中で基板の反転動作
をおこなっているため、基板破損リスクが大きくなって
いる。 【解決手段】 移動装置によって移送された基板を載置
する供給装置を設け、この供給装置に前方が開口したフ
ォーク状の基板載置部を設けると共に、移載装置に吸着
パットを設けたハンドを基板載置部に乗せられた基板底
面より挿入し、基板を吸着するよう構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やＰＤＰなど
の薄型表示装置に使用される基板の搬送装置に関するも
のである。
の薄型表示装置に使用される基板の搬送装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶やＰＤＰなどの薄型表示装置に使用
される基板は、例えば１ｍ角を越えて厚さ０．５〜３ｍ
ｍ程度の大型で薄厚のガラス基板が使用されている。こ
のガラス基板は、通常各種の成膜やエッチング等を行う
ため、上向きにされる処理面は加工工程時の搬送時、そ
の処理面をハンドリングのために吸着する等、直接触れ
ることが出来ない。ただし、基板処理面のエッジ部分
（周囲端部）には幅５ｍｍ程度の非処理部が形成され、
この部分のみは基板に直接触れることが出来る。
される基板は、例えば１ｍ角を越えて厚さ０．５〜３ｍ
ｍ程度の大型で薄厚のガラス基板が使用されている。こ
のガラス基板は、通常各種の成膜やエッチング等を行う
ため、上向きにされる処理面は加工工程時の搬送時、そ
の処理面をハンドリングのために吸着する等、直接触れ
ることが出来ない。ただし、基板処理面のエッジ部分
（周囲端部）には幅５ｍｍ程度の非処理部が形成され、
この部分のみは基板に直接触れることが出来る。
【０００３】図４は従来の基板搬送装置の構成図を示し
たものである。１はアームを有する移動ロボットで、走
行路に沿って設けられたレール上を走行する。入庫され
たガラス基板は、入庫用トレイ２に収納されているが、
その際、トレイ面と基板間には空隙部が形成されるよう
に載置台が設けられており、基板はその台上に載置され
ている。移動ロボット１は、基板とトレイとの空隙部分
にアームを挿入して基板を裏面から掬い上げ、走行路を
移動して反転機３のシャトル３ａ又は３ｂに基板処理面
を上向きに載置する。反転機３は、例えば３ａに載置さ
れた基板をエッジ部分を固定してその位置で１８０゜反
転させ、その間にシャトル３ｃが３ａの下にスライドし
て基板を受け取る仕組みになっている。処理面を上向き
にしていた基板は、この反転によって裏面側が上向きと
なる。３ｂ側の基板も同様にして反転それて基板の裏面
側が上向きとなる。
たものである。１はアームを有する移動ロボットで、走
行路に沿って設けられたレール上を走行する。入庫され
たガラス基板は、入庫用トレイ２に収納されているが、
その際、トレイ面と基板間には空隙部が形成されるよう
に載置台が設けられており、基板はその台上に載置され
ている。移動ロボット１は、基板とトレイとの空隙部分
にアームを挿入して基板を裏面から掬い上げ、走行路を
移動して反転機３のシャトル３ａ又は３ｂに基板処理面
を上向きに載置する。反転機３は、例えば３ａに載置さ
れた基板をエッジ部分を固定してその位置で１８０゜反
転させ、その間にシャトル３ｃが３ａの下にスライドし
て基板を受け取る仕組みになっている。処理面を上向き
にしていた基板は、この反転によって裏面側が上向きと
なる。３ｂ側の基板も同様にして反転それて基板の裏面
側が上向きとなる。
【０００４】移載ロボット４は６軸のロボット構成とな
っており、このロボット４によりシャトル３ｃ又は３ｄ
上の基板を上面より吸着して移載台５のトレイ５ａ又は
５ｂ上に移載する。移載された基板はシャトルコンベア
等の技術と組み合わせることにより、５ｃ又は５ｄに移
送される。６は垂直嵌込み用移載ロボットで、このロボ
ット６は、移載台５上の５ｃ又は５ｄに載置された基板
を吸盤にて吸着しながら回転し、その基板を９０゜立て
て移動枠７に順次挿入する。移動枠７はコンベア又はシ
ャトル上に設けられており、基板は立てた状態のまま矢
印で示すように次工程であるスパッタ装置に移送され
る。スパッタ加工後は、前述とは逆ルートで基板は移送
され、移動ロボット１を介して出庫される。
っており、このロボット４によりシャトル３ｃ又は３ｄ
上の基板を上面より吸着して移載台５のトレイ５ａ又は
５ｂ上に移載する。移載された基板はシャトルコンベア
等の技術と組み合わせることにより、５ｃ又は５ｄに移
送される。６は垂直嵌込み用移載ロボットで、このロボ
ット６は、移載台５上の５ｃ又は５ｄに載置された基板
を吸盤にて吸着しながら回転し、その基板を９０゜立て
て移動枠７に順次挿入する。移動枠７はコンベア又はシ
ャトル上に設けられており、基板は立てた状態のまま矢
印で示すように次工程であるスパッタ装置に移送され
る。スパッタ加工後は、前述とは逆ルートで基板は移送
され、移動ロボット１を介して出庫される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、ガラス
基板の処理面は直接接触出来ないという条件のもとで、
しかも、その基板は立てた状態でスパッタ装置に移送す
ることを要するため、移動ロボット１と移載ロボット
４、および垂直嵌込み用の移載ロボット６の３台を必要
としている。このため、設備コストがかかると共に、設
置面積が大きくなっている。また、反転機３により反転
された基板は、非処理部であるエッジ部分のみによって
トレイ等の上に支持されているので、前述したような大
型，薄厚のガラス基板を上面から吸着しようとすると、
基板が大きく撓んで負圧が逃げてしまい、吸着不良が発
生する惧れを有している。また、吸着面を上向けるため
に反転機を設け、この反転機による反転動作を行ってい
ることによりガラス基板を損傷するリスクを負っている
等の問題を有している。
基板の処理面は直接接触出来ないという条件のもとで、
しかも、その基板は立てた状態でスパッタ装置に移送す
ることを要するため、移動ロボット１と移載ロボット
４、および垂直嵌込み用の移載ロボット６の３台を必要
としている。このため、設備コストがかかると共に、設
置面積が大きくなっている。また、反転機３により反転
された基板は、非処理部であるエッジ部分のみによって
トレイ等の上に支持されているので、前述したような大
型，薄厚のガラス基板を上面から吸着しようとすると、
基板が大きく撓んで負圧が逃げてしまい、吸着不良が発
生する惧れを有している。また、吸着面を上向けるため
に反転機を設け、この反転機による反転動作を行ってい
ることによりガラス基板を損傷するリスクを負っている
等の問題を有している。
【０００６】本発明が目的とするところは、かかる問題
点を除去した基板搬送装置を提供することにある。
点を除去した基板搬送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１は、アーム
を有する移動装置を介して移送された基板を、垂直嵌込
み用の移載装置によって縦状態で移動枠に嵌込む搬送装
置において、前記移動装置によって移送された基板を載
置する供給装置を設け、この供給装置には前方が開口し
たフォーク状の基板載置部を設けると共に、前記移載装
置のハンドに吸着パットを設け、このハンドを前記基板
載置部に乗せられた基板底面より挿入し、基板を吸着把
持した後に前記移動枠に嵌込むよう構成したことを特徴
としたものである。
を有する移動装置を介して移送された基板を、垂直嵌込
み用の移載装置によって縦状態で移動枠に嵌込む搬送装
置において、前記移動装置によって移送された基板を載
置する供給装置を設け、この供給装置には前方が開口し
たフォーク状の基板載置部を設けると共に、前記移載装
置のハンドに吸着パットを設け、このハンドを前記基板
載置部に乗せられた基板底面より挿入し、基板を吸着把
持した後に前記移動枠に嵌込むよう構成したことを特徴
としたものである。
【０００８】本発明の第２は、前記移載装置のハンド
は、前記基板載置部を貫通するための切り欠きが設けら
れたことを特徴としたものである。
は、前記基板載置部を貫通するための切り欠きが設けら
れたことを特徴としたものである。
【０００９】本発明の第３は、前記供給装置の基板載置
部は、移動可能としたシャトル構造であることを特徴と
したものである。
部は、移動可能としたシャトル構造であることを特徴と
したものである。
【００１０】本発明の第４は、前記シャトルは、上下２
段に設けられ、各シャトルは交互に前後進動作を可能に
設けたことを特徴としたものである。
段に設けられ、各シャトルは交互に前後進動作を可能に
設けたことを特徴としたものである。
【００１１】本発明の第５は、前記移動装置は、昇降機
能付きであることを特徴としたものである。
能付きであることを特徴としたものである。
【００１２】本発明の第６は、前記移動装置は、ダブル
アーム構成であることを特徴としたものである。
アーム構成であることを特徴としたものである。
【００１３】本発明の第７は、前記移載装置は、６軸構
成のロボットであることを特徴としたものである。
成のロボットであることを特徴としたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態を示す
構成図である。１０は移動装置（移動ロボット）で、こ
の移動ロボット１０は走行路に沿って設けられたレール
１１上を移動するが、先端にフォーク状のハンド１２、
１３を有したアーム１４、１５を備えたダブルアーム構
造となっている。なお、この移動ロボット１０は、後述
する供給装置が２段構造の場合には昇降機能を有した構
造とされる。１６は各ハンドに設けられた吸着パット、
２０は基板載置部を有する供給装置で、ここでは基板載
置部として２個のシャトル２１，２２を２段構造で構成
し、垂直嵌込み用の移載装置（移載ロボット）３０の前
方左右に対に設けられている。各シャトル２１，２２
は、基板５０を支える支え部材２１ａ〜２１ｃ，２２ａ
〜２２ｃを備え、各支え部材は移載ロボット３０側を開
口したフォーク状に配設されいる。
構成図である。１０は移動装置（移動ロボット）で、こ
の移動ロボット１０は走行路に沿って設けられたレール
１１上を移動するが、先端にフォーク状のハンド１２、
１３を有したアーム１４、１５を備えたダブルアーム構
造となっている。なお、この移動ロボット１０は、後述
する供給装置が２段構造の場合には昇降機能を有した構
造とされる。１６は各ハンドに設けられた吸着パット、
２０は基板載置部を有する供給装置で、ここでは基板載
置部として２個のシャトル２１，２２を２段構造で構成
し、垂直嵌込み用の移載装置（移載ロボット）３０の前
方左右に対に設けられている。各シャトル２１，２２
は、基板５０を支える支え部材２１ａ〜２１ｃ，２２ａ
〜２２ｃを備え、各支え部材は移載ロボット３０側を開
口したフォーク状に配設されいる。
【００１５】基板載置部を構成する支え部材２１ａ〜２
１ｃ，２２ａ〜２２ｃのうち、それぞれ左右に位置する
２１ａ，２１ｂと２２ａ，２２ｂは、基板を載置すると
きの位置決めの役割を果たす。また、供給装置２０にお
ける上段，下段の各シャトルは、上下が交互に前進（移
載ロボット側），後進を繰り返えす。なお、基板載置部
は１個でもよいことは勿論で、その場合における供給装
置としてはフォーク状に形成された基板載置部が固定状
態若しくは可動状態に配置される。
１ｃ，２２ａ〜２２ｃのうち、それぞれ左右に位置する
２１ａ，２１ｂと２２ａ，２２ｂは、基板を載置すると
きの位置決めの役割を果たす。また、供給装置２０にお
ける上段，下段の各シャトルは、上下が交互に前進（移
載ロボット側），後進を繰り返えす。なお、基板載置部
は１個でもよいことは勿論で、その場合における供給装
置としてはフォーク状に形成された基板載置部が固定状
態若しくは可動状態に配置される。
【００１６】移載ロボット３０はクリーン対応で６軸の
ロボットよりなり、そのハンド３１は、図２（ａ）で示
すようにシャトル２１（又は２２）の底部より差し込ま
れて基板５０の裏面側に吸着する。そのため、ハンド３
１は図３（ａ）で示すようにシャトル２１（又は２２）
の支え部材２１ｃを貫通するための切り欠き３２と複数
の吸着パット３３及び空気抜き用の孔３４を有してい
る。吸着パット３３は、同図（ｂ）で示すように非吸着
時にはパット部分は平面よりやや突出しており、基板吸
着時には（ｃ）図で示すように後退した状態となる。３
５は支柱である。
ロボットよりなり、そのハンド３１は、図２（ａ）で示
すようにシャトル２１（又は２２）の底部より差し込ま
れて基板５０の裏面側に吸着する。そのため、ハンド３
１は図３（ａ）で示すようにシャトル２１（又は２２）
の支え部材２１ｃを貫通するための切り欠き３２と複数
の吸着パット３３及び空気抜き用の孔３４を有してい
る。吸着パット３３は、同図（ｂ）で示すように非吸着
時にはパット部分は平面よりやや突出しており、基板吸
着時には（ｃ）図で示すように後退した状態となる。３
５は支柱である。
【００１７】４０は移送装置で、コンベア又はシャトル
上に移送枠４１が取り付けられ、立状態で嵌込まれた基
板を図示省略したスパッタ装置等に移送する。
上に移送枠４１が取り付けられ、立状態で嵌込まれた基
板を図示省略したスパッタ装置等に移送する。
【００１８】以上のように構成された本発明において、
その動作を説明する。移動ロボット１０は、そのハンド
１２を入庫用カセットに載置された基板の底面より差し
込んで基板を吸着把持し、供給装置２０のシャトル２１
（又は２２）の支え部材２１ａ〜２１ｃ（又は２２ａ〜
２２ｃ）上に載置する。このとき、移動ロボット１０の
アームを、２段構造となっているシャトルの位置に適合
させるために昇降機能を作動させながら基板を入庫カセ
ットから供給装置２０に移送するが、ロボットはダブル
アーム構成となっていることにより、使い分けることに
よりより有効に移送できる。
その動作を説明する。移動ロボット１０は、そのハンド
１２を入庫用カセットに載置された基板の底面より差し
込んで基板を吸着把持し、供給装置２０のシャトル２１
（又は２２）の支え部材２１ａ〜２１ｃ（又は２２ａ〜
２２ｃ）上に載置する。このとき、移動ロボット１０の
アームを、２段構造となっているシャトルの位置に適合
させるために昇降機能を作動させながら基板を入庫カセ
ットから供給装置２０に移送するが、ロボットはダブル
アーム構成となっていることにより、使い分けることに
よりより有効に移送できる。
【００１９】移載ロボット３０は、ハンド３１をシャト
ル上に乗せられた基板５０の底面より差し込み、自重に
より撓もうとする基板状態を修正する形で底面より押し
上げつつ吸着パット３３を負圧状態とすることにより基
板５０を吸着して掬い上げ、アームを回動しながら水平
状態の基板を略９０゜の如き垂直又は数十度の角度変位
を行なった縦状態とし、移動枠４１にその基板を縦状態
のまま差し込む。移送装置４０は矢印で示す方向に順次
移動して図示省略したスパッタ装置等に供給される。
ル上に乗せられた基板５０の底面より差し込み、自重に
より撓もうとする基板状態を修正する形で底面より押し
上げつつ吸着パット３３を負圧状態とすることにより基
板５０を吸着して掬い上げ、アームを回動しながら水平
状態の基板を略９０゜の如き垂直又は数十度の角度変位
を行なった縦状態とし、移動枠４１にその基板を縦状態
のまま差し込む。移送装置４０は矢印で示す方向に順次
移動して図示省略したスパッタ装置等に供給される。
【００２０】供給装置２０は、シャトル２１上の基板が
ロボット３０によって掬いあげられると、シャトル２１
は後退して代わりのシャトル２２が基板を載置した状態
で前方に出てくる。シャトル２１，２２は交互に前進，
後退を繰り返すが、１個のシャトルでもよいが、移載ロ
ボット３０の動作サイクルが速いことにより待ち時間を
無くし、そのスピードに追従させるためには２個として
生産性を高める方が有利となる。
ロボット３０によって掬いあげられると、シャトル２１
は後退して代わりのシャトル２２が基板を載置した状態
で前方に出てくる。シャトル２１，２２は交互に前進，
後退を繰り返すが、１個のシャトルでもよいが、移載ロ
ボット３０の動作サイクルが速いことにより待ち時間を
無くし、そのスピードに追従させるためには２個として
生産性を高める方が有利となる。
【００２１】一方、スパッタ装置等における工程が終了
したものは、移送装置４０によって再度、移載ロボット
３０近辺にまで移送される。ロボット３０は、移動枠４
１に立状態となっている基板を再度吸着把持し、供給装
置の前方に位置している例えばシャトル２１’のガイド
上に載置する。このとき、吸着された基板は、移動枠４
１に差し込むときの動作とは反対に、縦状態から水平方
向となるようにアーム及びハンドを９０゜回動させてシ
ャトル上に載置される。基板の乗せられたシャトル２
１’は後退し、代わりに空状態のシャトル２２’が前方
に出てくる。すなわち、移載ロボット３０は、移動枠へ
の基板の取付けと取り外しを行っている。基板の載置さ
れたシャトル２１’が後退すると、移動ロボット１０
は、そのハンド１２又は１３を基板下部から差し込んで
基板を掬い上げ、出庫カセットに移載する。
したものは、移送装置４０によって再度、移載ロボット
３０近辺にまで移送される。ロボット３０は、移動枠４
１に立状態となっている基板を再度吸着把持し、供給装
置の前方に位置している例えばシャトル２１’のガイド
上に載置する。このとき、吸着された基板は、移動枠４
１に差し込むときの動作とは反対に、縦状態から水平方
向となるようにアーム及びハンドを９０゜回動させてシ
ャトル上に載置される。基板の乗せられたシャトル２
１’は後退し、代わりに空状態のシャトル２２’が前方
に出てくる。すなわち、移載ロボット３０は、移動枠へ
の基板の取付けと取り外しを行っている。基板の載置さ
れたシャトル２１’が後退すると、移動ロボット１０
は、そのハンド１２又は１３を基板下部から差し込んで
基板を掬い上げ、出庫カセットに移載する。
【００２２】上記の動作は、シーケンス的にか若しくは
センサーなどを活用してランダムに自動的に行われる。
センサーなどを活用してランダムに自動的に行われる。
【００２３】なお、基板の入庫及び出庫方法としては、
コンベア等による枚葉方法とカセットによるバッチ方法
とがあり、このカセット方法の場合にはカセット中に複
数枚の基板が挿入されているが、この方法においても本
発明が実施できることは勿論である。また、本実施例
は、縦型のスパッタ装置等を対象としているために基板
を立てた状態で移送することについて記載したが、必ず
しも直立又はそれに近い状態で基板移送をする必要はな
く、ある程度の傾斜を有して移送するような搬送装置に
おいても好適である。
コンベア等による枚葉方法とカセットによるバッチ方法
とがあり、このカセット方法の場合にはカセット中に複
数枚の基板が挿入されているが、この方法においても本
発明が実施できることは勿論である。また、本実施例
は、縦型のスパッタ装置等を対象としているために基板
を立てた状態で移送することについて記載したが、必ず
しも直立又はそれに近い状態で基板移送をする必要はな
く、ある程度の傾斜を有して移送するような搬送装置に
おいても好適である。
【００２４】
【発明の効果】以上のとおり本発明によれば、従来のよ
うな反転動作がなくなったことにより、反転機や反転用
の移載ロボットが不要になって設置面積が縮小され、コ
ストも低減されるものである。また、基板移載のための
吸着が全て基板下面より、しかも基板下面の任意の箇所
でトレイ上に支持できるので、基板の撓みによる影響が
少なくなって安定した吸着動作が可能なる。更には、ガ
ラス基板の反転動作を無くしたことにより、破損リスク
が大幅に減少するものである。
うな反転動作がなくなったことにより、反転機や反転用
の移載ロボットが不要になって設置面積が縮小され、コ
ストも低減されるものである。また、基板移載のための
吸着が全て基板下面より、しかも基板下面の任意の箇所
でトレイ上に支持できるので、基板の撓みによる影響が
少なくなって安定した吸着動作が可能なる。更には、ガ
ラス基板の反転動作を無くしたことにより、破損リスク
が大幅に減少するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す構成図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）は部分側面図。
面図、（ｂ）は部分側面図。
【図２】本発明の説明図で、（ａ）は供給装置の平面
図、（ｂ）は供給装置の側面図、（ｃ）は供給装置の正
面図。
図、（ｂ）は供給装置の側面図、（ｃ）は供給装置の正
面図。
【図３】本発明の説明図で、（ａ）は移載ロボットのハ
ンドの平面図、（ｂ）は吸着パットの非吸着時の状態
図、（ｃ）は吸着パットの吸着時の状態図。
ンドの平面図、（ｂ）は吸着パットの非吸着時の状態
図、（ｃ）は吸着パットの吸着時の状態図。
【図４】従来の基板搬送装置の構成図。
１０…移動装置
２０…供給装置
２１，２２…基板載置部（シャトル）
３０…移載装置
３１…ハンド
３２…切り欠き
３３…吸着パット
４０…移送装置
４１…移動枠
５０…ガラス基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 上野 俊幸
東京都品川区大崎２丁目１番17号 株式会
社明電舎内
Ｆターム(参考） 5F031 CA05 DA01 FA02 FA07 FA11
FA15 FA19 GA08 GA43 GA45
GA47 GA48 GA49 GA50 KA02
KA12 MA29
Claims (7)
- 【請求項１】 アームを有する移動装置を介して移送さ
れた基板を、垂直嵌込み用の移載装置によって縦状態で
移動枠に嵌込む搬送装置において、前記移動装置によっ
て移送された基板を載置する供給装置を設け、この供給
装置には前方が開口したフォーク状の基板載置部を設け
ると共に、前記移載装置のハンドに吸着パットを設け、
このハンドを前記基板載置部に乗せられた基板底面より
挿入し、基板を吸着把持した後に前記移動枠に嵌込むよ
う構成したことを特徴とした基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記移載装置のハンドは、前記基板載置
部を貫通するための切り欠きが設けられたことを特徴と
した請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記供給装置の基板載置部は、移動可能
としたシャトル構造であることを特徴とした請求項１又
は２記載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 前記シャトルは、上下２段に設けられ、
各シャトルは交互に前後進動作を可能に設けたことを特
徴とした請求項１乃至３記載の基板搬送装置。 - 【請求項５】 前記移動装置は、昇降機能付きであるこ
とを特徴とした請求項１乃至４記載の基板搬送装置。 - 【請求項６】 前記移動装置は、ダブルアーム構成であ
ることを特徴とした請求項１乃至５記載の基板搬送装
置。 - 【請求項７】 前記移載装置は、６軸構成のロボットで
あることを特徴とした請求項１乃至６記載の基板搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002023750A JP2003224176A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002023750A JP2003224176A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003224176A true JP2003224176A (ja) | 2003-08-08 |
Family
ID=27746370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002023750A Withdrawn JP2003224176A (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003224176A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050038134A (ko) * | 2003-10-21 | 2005-04-27 | 삼성전자주식회사 | 기판 스토킹 시스템 |
-
2002
- 2002-01-31 JP JP2002023750A patent/JP2003224176A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050038134A (ko) * | 2003-10-21 | 2005-04-27 | 삼성전자주식회사 | 기판 스토킹 시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041117 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070803 |