JP2003223989A - 有機el素子 - Google Patents

有機el素子

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    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一定の逆テーパ形状の隔壁を安定的に形成で
き、陰極がストライプ状に確実に分断された有機EL素
子を提供することを課題とする。 【解決手段】 カラーフィルタ2上に、一対の帯状のア
ルミニウム(Al)からなる光反射膜10が平行に複数
形成されている。陽極4上には、斜面15bが順テーパ
形状で略台形形状の断面を有する絶縁膜15が光反射膜
10に沿って形成されている。絶縁膜15の上面は平坦
に形成され、その上に、逆テーパ形状の隔壁16が形成
されている。絶縁膜15及び隔壁16は、共に、隔壁用
のネガ型のフォトレジスト材料からなる。隔壁16によ
り、有機発光層7及び陰極8と分断され、電気的に絶縁
されたストライプ状の複数の陰極8が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ディスプレイパ
ネル等に用いられる有機EL(エレクトロルミネッセン
ス)素子に関する。
【0002】
【従来の技術】有機EL素子は、良好な視認性と耐衝撃
性を有する等の理由からディスプレイパネルとして用い
られる。図2に示されるように、有機EL素子は、ブラ
ックマトリクス1を含むカラーフィルタ2上に、透明な
オーバーコート層3が形成されている。このオーバーコ
ート層3上に、紙面左右方向にストライプ状に延びた透
明なITO膜からなる陽極4が形成されている。また、
陽極4上には、陽極4に直交する方向、すなわち、紙面
に対して垂直方向を長手方向として、絶縁膜5及び隔壁
6がストライプ状に積層して形成されている。さらに、
陽極4、絶縁膜5及び隔壁6上には、有機化合物からな
る有機発光層7及びアルミニウム(Al)からなる陰極
8が蒸着され順次積層されている。
【0003】ここで、絶縁膜5は、陽極4を流れる電流
が隔壁6の下方においても均一な電流効果を得られるよ
うにするために設けられるものである。また、隔壁6
は、逆テーパ形状の斜面6aを備え、この逆テーパ斜面
6aと斜面6aの上部の鋭角な上縁部6bとにより、蒸
着により陰極8を形成する金属膜が分断されて、電気的
に絶縁され、ストライプ状にパターニングされた複数の
電極としての陰極8を形成することができる。陰極8を
分断する役割を果たす隔壁6は、ネガ型のフォトレジス
ト材料からなり、特に、陰極8の分割を容易にする逆テ
ーパ形状を作りやすい専用のフォトレジスト材料が用い
られている。この専用フォトレジスト材料としては、例
えば、ELX−168C(日本ゼオン社製)が用いられ
る。このように、隔壁6によって陰極8が分断されてス
トライプ状に形成されると、陽極4と陰極8とが交差す
る部分、すなわち、絶縁膜5が介在することなく、陽極
4と陰極8とに挟まれた有機発光層7の部分がマトリク
ス状の多数の発光部として形成される。従って、特定の
陽極4と陰極8とを選択して電圧を印加することにより
対応する発光部を発光させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、隔壁6
が形成される絶縁膜5の上面である隔壁積層面5aは凸
面形状に形成されやすく、平坦に形成するのは困難であ
る。隔壁積層面5aが平坦でない絶縁膜5上に、隔壁6
を形成すると、逆テーパ斜面6aの形状が製造上のばら
つきが出て、形状が一定した隔壁6を安定的に得ること
ができず、有機EL素子の一部に、陰極8を分割できな
い部分が発生するという問題がある。この発明は、この
ような課題を解決するためになされたもので、一定の逆
テーパ形状の隔壁を安定的に形成でき、陰極がストライ
プ状に確実に分断された有機EL素子を提供することを
目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る有機EL素子は、陽極上に、有機発光層と陰極とを順
次積層して形成される有機EL素子であって、陽極上に
複数設けられた絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた
隔壁によって陰極が複数に分断される有機EL素子にお
いて、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に一対の光反射膜を
備えると共に、絶縁膜は、逆テーパ斜面を形成しやすい
隔壁用フォトレジスト材料からなり、絶縁膜形成のため
の照射光の一部が光反射膜により反射することにより、
絶縁膜の隔壁積層面を平坦になるように形成したことを
特徴とするものである。また、請求項2に係る有機EL
素子は、請求項1に係る有機EL素子において、光反射
膜が金属製である。また、請求項3に係る有機EL素子
は、請求項1または2に係る有機EL素子において、光
反射膜の隔壁側縁部と隔壁の上縁部との位置が、水平方
向においてほぼ一致するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態を
図面に基づいて説明する。図1に示されるように、この
発明の実施の形態に係る有機EL素子は、ブラックマト
リクス1を含むカラーフィルタ2上に、一対の帯状の光
反射膜10が紙面に対して垂直方向を長手方向として、
平行に複数形成されている。光反射膜10は、aなる幅
寸法を有する金属製であり、例えばアルミニウム(A
l)から形成されている。この光反射膜10が上面に配
置されたカラーフィルタ2上には、光反射膜10を覆っ
て、透明なオーバーコート層3が積層され、さらに、オ
ーバーコート層3上には、光反射膜10と直交する方向
に、すなわち、紙面左右方向に、ストライプ状に延びた
透明なITO膜からなる陽極4が形成されている。
【0007】陽極4上には、斜面15bが順テーパ形状
で略台形形状の断面を有する絶縁膜15が光反射膜10
に沿ってストライプ状に形成されている。絶縁膜15の
上面は平坦に形成され、隔壁16が積層される隔壁積層
面15aを構成している。隔壁16は、絶縁膜15と比
較して逆方向に向いた略台形形状の断面を有し、長手方
向に延びる逆テーパ形状の斜面16aを備えている。ま
た、隔壁16の底面16cの幅は、隔壁積層面15aの
幅よりも狭く、平坦な隔壁積層面15aの両縁部は、隔
壁16の底面16cの外側に露出している。また、絶縁
膜1515及び隔壁16は、共に、隔壁用のネガ型のフ
ォトレジスト材料からなり、例えば、ELX−168C
(日本ゼオン社製)である。ここで、光反射膜10の長
手方向の隔壁側側縁部10aと隔壁16の長手方向の上
縁部16bとの位置関係は、水平方向においてほぼ一致
する。また、絶縁膜15の順テーパの斜面15bの幅
は、光反射膜10の幅aにほぼ一致し、光反射膜10の
上方の対応する位置に形成されている。
【0008】さらに、陽極4、絶縁膜15及び隔壁16
上には、有機発光層7と陰極8とが蒸着により順次積層
されている。ここで、隔壁16上の有機発光層7及び陰
極8は、陽極4上の有機発光層7及び陰極8と分断さ
れ、電気的に絶縁された状態で形成されている。
【0009】次に、この発明の実施の形態に係る有機E
L素子の絶縁膜15及び隔壁16の製造工程を作用と共
に説明する。陽極4上に絶縁膜15を形成するために全
面に塗布された隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料に
フォトマスクを介して上方から露光すると、フォトマス
クを通った上方からの光がフォトレジスト材料に照射さ
れる。さらに、この照射光が透明な陽極4及び透明なオ
ーバーコート層3を通って光反射膜10に反射してフォ
トレジスト材料に下方からも照射される。フォトレジス
ト材料のうち、光が照射された部分は、レジスト除去処
理用の現像液に対して不溶になり、光が照射されなかっ
た未露光部分は、現像液に溶解して除去される。これに
より、順テーパの斜面15bを有し、隔壁積層面15a
が平坦な略台形状の絶縁膜15が形成される。次に、絶
縁膜15上に、絶縁膜15の形成に用いた隔壁用のフォ
トレジスト材料と同一のフォトレジスト材料を塗布し、
フォトマスクを介して上方から露光した後、現像液によ
り処理すると、逆テーパ形状の隔壁16が形成される。
この際、隔壁16が絶縁膜15の平坦な面上に形成され
るので、隔壁16の逆テーパの斜面16aの形状に製造
ばらつきが少なく、一定の形状の隔壁16を安定的に形
成できる。このように、隔壁16は形状が一定している
ので、逆テーパ斜面16aと斜面16aの上部の鋭角な
上縁部16bとにより、蒸着により陰極を形成する金属
膜が容易に分断される。すなわち、隔壁16を挟んで、
陰極8が分断され電気的に絶縁されるので、ストライプ
状にパターニングされた複数の電極としての陰極8を容
易に形成することができる。
【0010】なお、上述した実施の形態においては、光
反射膜10の材料として、アルミニウムを用いたが、光
を反射する材料であればこれに限定されるものではな
く、銀(Ag)、インジウム(In)、マグネシウム
(Mg)、チタン(Ti)、アルミニウム合金等を用い
てもよい。
【0011】
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、陽極を
挟んで絶縁膜と反対側に設けた一対の光反射膜により、
隔壁用フォトレジスト材料からなる絶縁膜の隔壁積層面
を平坦に形成できるので、一定の逆テーパ形状の隔壁を
安定的に形成でき、陰極がストライプ状に確実に分断さ
れた有機EL素子を提供することができる。請求項2に
記載の発明によれば、光反射膜が金属製なので、反射率
が高く、隔壁が積層される絶縁膜の隔壁積層面を平坦に
形成するのが容易である。請求項3に記載の発明によれ
ば、光反射膜の隔壁側縁部と隔壁の上縁部との位置は、
水平方向においてほぼ一致するので、絶縁膜上に隔壁の
底面より広い平坦面を確実に形成でき、隔壁が平坦面か
らずれた状態で形成されることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態に係る有機EL素子の
構造を示す図である。
【図2】 従来の有機EL素子の構造を示す図である。
【符号の説明】
4…陽極、7…有機発光層、8…陰極、10…光反射
膜、10a…隔壁側側縁部、15…絶縁膜、15a…隔
壁積層面、15b…斜面、16…隔壁、16b…上縁
部。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積
    層して形成される有機EL素子であって、陽極上に複数
    設けられた絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁
    によって陰極が複数に分断される有機EL素子におい
    て、 陽極を挟んで絶縁膜と反対側に一対の光反射膜を備える
    と共に、 絶縁膜は、逆テーパ斜面を形成しやすい隔壁用フォトレ
    ジスト材料からなり、絶縁膜形成のための照射光の一部
    が光反射膜により反射することにより、絶縁膜の隔壁積
    層面を平坦になるように形成したことを特徴とする有機
    EL素子。
  2. 【請求項2】 光反射膜は、金属製である請求項1に記
    載の有機EL素子。
  3. 【請求項3】 光反射膜の隔壁側縁部と隔壁の上縁部と
    の位置は、水平方向においてほぼ一致する請求項1また
    は2に記載の有機EL素子。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006140151A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Samsung Sdi Co Ltd 両面発光型有機電界発光素子及びその製造方法
US7800101B2 (en) 2006-01-05 2010-09-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor having openings formed therein
WO2016086728A1 (zh) * 2014-12-04 2016-06-09 京东方科技集团股份有限公司 像素界定层及其制作方法、显示面板和显示装置
CN109742117A (zh) * 2019-01-08 2019-05-10 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板及其制作方法、显示装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006140151A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Samsung Sdi Co Ltd 両面発光型有機電界発光素子及びその製造方法
KR100700004B1 (ko) 2004-11-10 2007-03-26 삼성에스디아이 주식회사 양면 발광 유기전계발광소자 및 그의 제조 방법
US7489075B2 (en) 2004-11-10 2009-02-10 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Double-sided light emitting organic electroluminescence display device having a reflection layer and fabrication method thereof
JP4648823B2 (ja) * 2004-11-10 2011-03-09 三星モバイルディスプレイ株式會社 両面発光型有機電界発光素子及びその製造方法
US7800101B2 (en) 2006-01-05 2010-09-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor having openings formed therein
US8383449B2 (en) 2006-01-05 2013-02-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of forming a thin film transistor having openings formed therein
WO2016086728A1 (zh) * 2014-12-04 2016-06-09 京东方科技集团股份有限公司 像素界定层及其制作方法、显示面板和显示装置
US9653526B2 (en) 2014-12-04 2017-05-16 Boe Technology Group Co., Ltd. Pixel defining layer and manufacturing method thereof, display panel and display device
CN109742117A (zh) * 2019-01-08 2019-05-10 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板及其制作方法、显示装置
US11302894B2 (en) 2019-01-08 2022-04-12 Boe Technology Group Co., Ltd. Display substrate, method for manufacturing the same and display device
US11800742B2 (en) 2019-01-08 2023-10-24 Boe Technology Group Co., Ltd. Display substrate, with inverted trapezoid-shaped isolation structure, method for manufacturing the same and display device

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