JP2003218080A - ウエハの洗浄方法 - Google Patents
ウエハの洗浄方法Info
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Abstract
を図ることができるウエハの洗浄方法を提供する。 【解決手段】 洗浄セル6内にウエハ1を配置する工程
と、前記洗浄セル6に蓋体7を被せ、前記ウエハ1を覆
う工程と、前記洗浄セル6と前記蓋体7とにより定義さ
れる間隙に、この間隙の断面積よりも大きい断面積を有
する洗浄液の導入管(配管)2から洗浄液3を導入する
工程とを施す。
Description
に関するものである。
は、以下に示すようなものがあった。
成図、図8はそのウエハ洗浄槽へのウエハのセット前の
状態を示す斜視図、図9はそのウエハ洗浄槽内にセット
されるウエハ保持治具の斜視図、図10はそのウエハ洗
浄槽へのウエハのセット状態を示す斜視図である。
ハ、102は洗浄槽、103はポンプ、104はフィル
タ、105は配管、106は洗浄液である。なお、図中
の矢印は洗浄液106の流れを示している。
102にウエハ101を浸漬し洗浄を行う構成であっ
た。
図8及び図9に示すように、ウエハ201はロボット2
04のアーム205に把持されて、洗浄槽202内に配
置されるウエハ保持治具203に位置決めされた後、図
10に示すように、ウエハ201は、そのウエハ保持治
具203にセットされる。
た従来のウエハ洗浄装置では、ウエハの大口径化に伴
い、膨大な排気、薬品、純水、排水が必要であり、ま
た、供給される電力の消費も大きくなり、工場の設備も
大きくなる。
した微粒子を除去する洗浄を行う場合には、ウエハの表
裏に超音波を照射できない等の問題点があった。
素化するとともに、省エネルギー化を図ることができる
ウエハの洗浄方法を提供することを目的とする。
成するために、 〔1〕ウエハの洗浄方法において、洗浄セル内にウエハ
を配置する工程と、前記洗浄セルに蓋体を被せ、前記ウ
エハを覆う工程と、前記洗浄セルと前記蓋体とにより定
義される間隙に、この間隙の断面積よりも大きい断面積
を有する洗浄液の導入管から洗浄液を導入する工程とを
含むようにしたものである。
において、前記洗浄液の排出部に設けられたバルブを閉
じることにより前記間隙内の圧力を高めて洗浄するよう
にしたものである。
の洗浄方法において、前記ウエハに超音波振動を与えな
がら洗浄を行うようにしたものである。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
浄装置の要部斜視図、図2はそのウエハ洗浄装置の蓋体
を外した内部を示す斜視図、図3はそのウエハ洗浄装置
の模式断面図、図4はそのウエハ洗浄システムの概略構
成図である。
エハ洗浄装置は、洗浄液3が通る配管(導入管)2とウ
エハ1をセットする洗浄セル6から構成されており、こ
の洗浄セル6は厚みが極めて薄く構成されている。つま
り、ウエハ1の厚さ及び口径より大きい間隙を持つ洗浄
セル6にウエハ1(枚葉式)をセットする。そこで、配
管2は洗浄セル6の断面積より大きい断面積を有するの
で、洗浄セル6内には洗浄液3を配管2の圧力より高い
圧力を付与して供給し、ウエハ1に対して圧力がかかる
ように供給する。
1が大口径化しても、洗浄セル6とウエハ1の間隙及び
配管2中にある微小な洗浄液3で洗浄を行うことができ
るので、従来の問題点であった、純水、薬品、電気(ヒ
ータ用)排液、排気等を極小化することができ、工場の
設備を小型化することができる。
ように、洗浄セル6内にウエハ保持部10が配置されて
おり、そのウエハ保持部10にウエハ1がセットされ、
それに蓋体7を被せる。8はその蓋体7の取っ手、9は
ウエハ保持部10の頭部10Aに嵌まる開口である。
外されて、そのウエハ1はロボットのアーム(図示な
し)で把持されて、または吸着アームにより吸着され
て、次の工程に搬送される。なお、ここでは、洗浄のみ
の工程について述べたが、洗浄後に引続き、乾燥を行う
ようにしてもよい。
について図1〜図4を参照しながら説明する。
は、フィルタ5を介して配管2から厚みの薄い断面積の
小さい洗浄セル6中のウエハ1に圧力がかかるようにし
て流れる。そこでは、配管2中にある微小な洗浄液3で
効率的にウエハ1の洗浄を行うことができる。
ンプ4に戻されて、送り出され、フィルタ5で清浄化さ
れて、洗浄セル6におけるウエハ1の洗浄を行う。
あるが、洗浄セル6において洗浄を行った洗浄液3は、
排液とするようにしてもよい。
る。
浄装置の模式構成図である。なお、第1実施例と同じ部
分には同じ符号を付してその説明は省略する。
エハ洗浄装置において、洗浄セル6の洗浄液3出口側に
バルブ11を設け、洗浄液3の流れを停止させ、洗浄セ
ル6内に更に圧力を印加するようにしたものである。
1をセットし、所望の洗浄液3で洗浄セル6内が満たさ
れたら、バルブ11により、洗浄液3の流れを停止させ
る。洗浄液3の流れを停止することにより、洗浄セル6
内の圧力が上昇する。
ル6内の圧力が上昇することにより、H2 SO4 とH2
O2 、NH4 OHとH2 O2 、Hcl/H2 O2 等の洗
浄液の反応を向上させ、洗浄力を向上させることができ
る。
る。
浄装置の模式構成図である。なお、第1実施例と同じ部
分には同じ符号を付してその説明は省略する。
のウエハ洗浄装置において、ウエハ1の表側及び裏側に
超音波発振用振動子21を配置するようにしたものであ
る。
1をセットし、洗浄液3を供給することにより、ウエハ
1を洗浄する。その洗浄の際に、超音波発振用振動子2
1をウエハの表裏側に配置して、これを駆動して超音波
振動により洗浄力を高める。
の表裏側に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除去効
率を更に向上させることができる。
した例を説明したが、液体及び気体のレーザー微粒子測
定装置の測定セルに、本洗浄セルの構造を用いれば、同
じサンプリング量で微粒子の測定確率が向上する。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
とウエハの間隙及び配管中にある微小な洗浄液で洗浄を
行うことができ、純水、薬品、電気(ヒータ用)排液、
排気等を極小化することができ、工場の設備の小型化を
図ることができる。
ル内の圧力が上昇することにより、洗浄液の反応を向上
させ、洗浄力を向上させることができる。
の表裏に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除去効率
を向上させることができる。
部斜視図である。
示す斜視図である。
式断面図である。
の概略構成図である。
式構成図である。
式構成図である。
る。
態を示す斜視図である。
持治具の斜視図である。
を示す斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】洗浄セル内にウエハを配置する工程と、 前記洗浄セルに蓋体を被せ、前記ウエハを覆う工程と、 前記洗浄セルと前記蓋体とにより定義される間隙に、該
間隙の断面積よりも大きい断面積を有する洗浄液の導入
管から洗浄液を導入する工程と、 を含むことを特徴とするウエハの洗浄方法。 - 【請求項2】 請求項1記載のウエハの洗浄方法におい
て、前記洗浄液の排出部に設けられたバルブを閉じるこ
とにより前記間隙内の圧力を高めて洗浄することを特徴
とするウエハの洗浄方法。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のウエハの洗浄方法
において、前記ウエハに超音波振動を与えながら洗浄を
行うことを特徴とするウエハの洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002358288A JP3648226B2 (ja) | 2002-12-10 | 2002-12-10 | ウエハの洗浄方法 |
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JP3648226B2 JP3648226B2 (ja) | 2005-05-18 |
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- 2002-12-10 JP JP2002358288A patent/JP3648226B2/ja not_active Expired - Fee Related
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