JP3648226B2 - ウエハの洗浄方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハの洗浄方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のウエハ洗浄装置としては、以下に示すようなものがあった。
【0003】
図7は従来のウエハ洗浄システムの概略構成図、図8はそのウエハ洗浄槽へのウエハのセット前の状態を示す斜視図、図9はそのウエハ洗浄槽内にセットされるウエハ保持治具の斜視図、図10はそのウエハ洗浄槽へのウエハのセット状態を示す斜視図である。
【0004】
図7において、101は洗浄すべきウエハ、102は洗浄槽、103はポンプ、104はフィルタ、105は配管、106は洗浄液である。なお、図中の矢印は洗浄液106の流れを示している。
【0005】
このように、洗浄液106の入った洗浄槽102にウエハ101を浸漬し洗浄を行う構成であった。
【0006】
その場合、洗浄槽へのウエハのセットは、図8及び図9に示すように、ウエハ201はロボット204のアーム205に把持されて、洗浄槽202内に配置されるウエハ保持治具203に位置決めされた後、図10に示すように、ウエハ201は、そのウエハ保持治具203にセットされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のウエハ洗浄装置では、ウエハの大口径化に伴い、膨大な排気、薬品、純水、排水が必要であり、また、供給される電力の消費も大きくなり、工場の設備も大きくなる。
【0008】
一方、他の従来技術として、超音波を利用した微粒子を除去する洗浄を行う場合には、ウエハの表裏に超音波を照射できない等の問題点があった。
【0009】
本発明は、上記問題点を除去し、構成を簡素化するとともに、省エネルギー化を図ることができるウエハの洗浄方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕ウエハの洗浄方法において、洗浄セル内にウエハを配置する工程と、前記洗浄セルに蓋体を被せ、前記ウエハを覆う工程と、前記洗浄セルと前記蓋体とにより定義される間隙に、この間隙の断面積よりも大きい断面積を有する洗浄液の導入管から洗浄液を導入する工程とを含むようにしたものである。
【0011】
〔2〕上記〔1〕記載のウエハの洗浄方法において、前記洗浄液の排出部に設けられたバルブを閉じることにより前記間隙内の圧力を高めて洗浄するようにしたものである。
【0012】
〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載のウエハの洗浄方法において、前記ウエハに超音波振動を与えながら洗浄を行うようにしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】
図1は本発明の第1実施例を示すウエハ洗浄装置の要部斜視図、図2はそのウエハ洗浄装置の蓋体を外した内部を示す斜視図、図3はそのウエハ洗浄装置の模式断面図、図4はそのウエハ洗浄システムの概略構成図である。
【0015】
これらの図に示すように、この実施例のウエハ洗浄装置は、洗浄液3が通る配管(導入管)2とウエハ1をセットする洗浄セル6から構成されており、この洗浄セル6は厚みが極めて薄く構成されている。つまり、ウエハ1の厚さ及び口径より大きい間隙を持つ洗浄セル6にウエハ1(枚葉式)をセットする。そこで、配管2は洗浄セル6の断面積より大きい断面積を有するので、洗浄セル6内には洗浄液3を配管2の圧力より高い圧力を付与して供給し、ウエハ1に対して圧力がかかるように供給する。
【0016】
このように、第1実施例によれば、ウエハ1が大口径化しても、洗浄セル6とウエハ1の間隙及び配管2中にある微小な洗浄液3で洗浄を行うことができるので、従来の問題点であった、純水、薬品、電気(ヒータ用)排液、排気等を極小化することができ、工場の設備を小型化することができる。
【0017】
ここで、ウエハ1は、例えば、図2に示すように、洗浄セル6内にウエハ保持部10が配置されており、そのウエハ保持部10にウエハ1がセットされ、それに蓋体7を被せる。8はその蓋体7の取っ手、9はウエハ保持部10の頭部10Aに嵌まる開口である。
【0018】
そこで、洗浄されたウエハ1は、蓋体7が外されて、そのウエハ1はロボットのアーム(図示なし)で把持されて、または吸着アームにより吸着されて、次の工程に搬送される。なお、ここでは、洗浄のみの工程について述べたが、洗浄後に引続き、乾燥を行うようにしてもよい。
【0019】
そこで、このウエハ洗浄システムの動作例について図1〜図4を参照しながら説明する。
【0020】
まず、ポンプ4から押し出される洗浄液3は、フィルタ5を介して配管2から厚みの薄い断面積の小さい洗浄セル6中のウエハ1に圧力がかかるようにして流れる。そこでは、配管2中にある微小な洗浄液3で効率的にウエハ1の洗浄を行うことができる。
【0021】
ウエハ1の洗浄を行った洗浄液3は再びポンプ4に戻されて、送り出され、フィルタ5で清浄化されて、洗浄セル6におけるウエハ1の洗浄を行う。
【0022】
なお、この実施例の場合は、循環式の例であるが、洗浄セル6において洗浄を行った洗浄液3は、排液とするようにしてもよい。
【0023】
次に、本発明の第2実施例について説明する。
【0024】
図5は本発明の第2実施例を示すウエハ洗浄装置の模式構成図である。なお、第1実施例と同じ部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
【0025】
この実施例では、上記した第1実施例のウエハ洗浄装置において、洗浄セル6の洗浄液3出口側にバルブ11を設け、洗浄液3の流れを停止させ、洗浄セル6内に更に圧力を印加するようにしたものである。
【0026】
図5に示すように、洗浄セル6内にウエハ1をセットし、所望の洗浄液3で洗浄セル6内が満たされたら、バルブ11により、洗浄液3の流れを停止させる。洗浄液3の流れを停止することにより、洗浄セル6内の圧力が上昇する。
【0027】
このように、第2実施例によれば、洗浄セル6内の圧力が上昇することにより、H2 SO4 とH2 O2 、NH4 OHとH2 O2 、Hcl/H2 O2 等の洗浄液の反応を向上させ、洗浄力を向上させることができる。
【0028】
次に、本発明の第3実施例について説明する。
【0029】
図6は本発明の第3実施例を示すウエハ洗浄装置の模式構成図である。なお、第1実施例と同じ部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
【0030】
この実施例では、上記第1又は第2実施例のウエハ洗浄装置において、ウエハ1の表側及び裏側に超音波発振用振動子21を配置するようにしたものである。
【0031】
図6に示すように、洗浄セル6内にウエハ1をセットし、洗浄液3を供給することにより、ウエハ1を洗浄する。その洗浄の際に、超音波発振用振動子21をウエハの表裏側に配置して、これを駆動して超音波振動により洗浄力を高める。
【0032】
このように、第3実施例によれば、ウエハの表裏側に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除去効率を更に向上させることができる。
【0033】
また、上記第1実施例では洗浄装置に適用した例を説明したが、液体及び気体のレーザー微粒子測定装置の測定セルに、本洗浄セルの構造を用いれば、同じサンプリング量で微粒子の測定確率が向上する。
【0034】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0035】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【0036】
(A)ウエハが大口径化しても、洗浄セルとウエハの間隙及び配管中にある微小な洗浄液で洗浄を行うことができ、純水、薬品、電気(ヒータ用)排液、排気等を極小化することができ、工場の設備の小型化を図ることができる。
【0037】
(B)上記(A)の効果に加えて、洗浄セル内の圧力が上昇することにより、洗浄液の反応を向上させ、洗浄力を向上させることができる。
【0038】
(C)上記(A)の効果に加えて、ウエハの表裏に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除去効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すウエハ洗浄装置の要部斜視図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す蓋体を外した内部を示す斜視図である。
【図3】本発明の第1実施例を示すウエハ洗浄装置の模式断面図である。
【図4】本発明の第1実施例を示すウエハ洗浄システムの概略構成図である。
【図5】本発明の第2実施例を示すウエハ洗浄装置の模式構成図である。
【図6】本発明の第3実施例を示すウエハ洗浄装置の模式構成図である。
【図7】従来のウエハ洗浄システムの概略構成図である。
【図8】従来のウエハ洗浄槽へのウエハのセット前の状態を示す斜視図である。
【図9】従来のウエハ洗浄槽内にセットされるウエハ保持治具の斜視図である。
【図10】従来のウエハ洗浄槽へのウエハのセット状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 ウエハ
2 配管
3 洗浄液
4 ポンプ
5 フィルタ
6 洗浄セル
7 蓋体
8 取っ手
9 開口
10 ウエハ保持部
10A 頭部
11 バルブ
21 超音波発振用振動子
Claims (3)
- 洗浄セル内にウエハを配置する工程と、
前記洗浄セルに蓋体を被せ、前記ウエハを覆う工程と、
前記洗浄セルと前記蓋体とにより定義される間隙に、該間隙の断面積よりも大きい断面積を有する洗浄液の導入管から洗浄液を導入する工程と、
を含むことを特徴とするウエハの洗浄方法。 - 請求項1記載のウエハの洗浄方法において、前記洗浄液の排出部に設けられたバルブを閉じることにより前記間隙内の圧力を高めて洗浄することを特徴とするウエハの洗浄方法。
- 請求項1又は2記載のウエハの洗浄方法において、前記ウエハに超音波振動を与えながら洗浄を行うことを特徴とするウエハの洗浄方法。
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