JP3481433B2 - ウエハ洗浄装置 - Google Patents

ウエハ洗浄装置

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JP3481433B2 JP28030897A JP28030897A JP3481433B2 JP 3481433 B2 JP3481433 B2 JP 3481433B2 JP 28030897 A JP28030897 A JP 28030897A JP 28030897 A JP28030897 A JP 28030897A JP 3481433 B2 JP3481433 B2 JP 3481433B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ洗浄装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のウエハ洗浄装置として
は、以下に示すようなものがあった。
【０００３】図７は従来のウエハ洗浄システムの概略構
成図、図８はそのウエハ洗浄槽へのウエハのセット前の
状態を示す斜視図、図９はそのウエハ洗浄槽内にセット
されるウエハ保持治具の斜視図、図１０はそのウエハ洗
浄槽へのウエハのセット状態を示す斜視図である。
【０００４】図７において、１０１は洗浄すべきウエ
ハ、１０２は洗浄槽、１０３はポンプ、１０４はフィル
タ、１０５は配管、１０６は洗浄液である。
【０００５】このように、洗浄液１０６の入った洗浄槽
１０２にウエハ１０１を浸漬し洗浄を行う構成であっ
た。
【０００６】その場合、洗浄槽へのウエハのセットは、
図８及び図９に示すように、ウエハ２０１はロボット２
０４のアーム２０５に把持されて、洗浄槽２０２内に配
置されるウエハ保持治具２０３に位置決めされた後、図
１０に示すように、ウエハ２０１は、そのウエハ保持治
具２０３にセットされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のウエハ洗浄装置では、ウエハの大口径化に伴
い、膨大な排気、薬品、純水、排水が必要であり、ま
た、供給される電力の消費も大きくなり、工場の設備も
大きくなる。
【０００８】また、超音波を利用した微粒子を除去する
洗浄を行う場合には、ウエハの表裏に超音波を照射でき
ない等の問題点があった。
【０００９】本発明は、上記問題点を除去し、構成を簡
素化するとともに、省エネルギー化を図ることができる
ウエハ洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕ウエハ洗浄装置において、洗浄されるウエハの厚
さ及び口径より大きい間隙を有し、前記間隙に前記ウエ
ハが配置される洗浄セルと、前記間隙の断面積よりも大
きい断面積を有し、洗浄液を前記間隙に導入する配管と
を備え、前記洗浄液が排出される前記洗浄セルの排出側
には、前記間隙に導入される前記洗浄液にかかる圧力を
高めるためのバルブが設けられているようにしたもので
ある。
【００１１】したがって、ウエハが大口径化しても、洗
浄セルとウエハの間隙及び配管中にある微小な洗浄液で
洗浄を行うことができ、純水、薬品、電気（ヒータ用）
排液、排気等を極小化することができ、工場のファシリ
ティを小さくすることができる。
【００１２】さらに、上記の効果に加えて、洗浄セル内
の圧力が上昇することにより、洗浄液の反応を向上さ
せ、洗浄力を向上させることができる。
【００１３】〔２〕上記〔１〕記載のウエハ洗浄装置に
おいて、前記洗浄セルには、前記ウエハを保持する保持
部が設けられているようにしたものである。
【００１４】〔３〕上記〔１〕又は〔２〕に記載のウエ
ハ洗浄装置において、前記洗浄セルの上下面に超音波発
振用振動子を有するようにしたものである。
【００１５】したがって、上記〔１〕の効果に加えて、
ウエハの表裏に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除
去効率を向上させることができる。
【００１６】〔４〕上記〔１〕〜〔３〕のいずれか１項
記載のウエハ洗浄装置において、前記洗浄セルは、前記
ウエハが配置される洗浄セル本体と、前記ウエハを覆う
蓋体とを有するようにしたものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】図１は本発明の第１実施例を示すウエハ洗
浄装置の要部斜視図、図２はそのウエハ洗浄装置の蓋体
を外した内部を示す斜視図、図３はそのウエハ洗浄装置
の模式断面図、図４はそのウエハ洗浄システムの概略構
成図である。
【００１９】これらの図に示すように、この実施例のウ
エハ洗浄装置は、洗浄液３が通る配管２とウエハ１をセ
ットする洗浄セル６から構成されており、この洗浄セル
６は厚みが極めて薄く構成されている。つまり、ウエハ
１の厚さ及び口径より大きい間隙を持つ洗浄セル６にウ
エハ１（枚葉式）をセットする。そこで、配管２は洗浄
セル６の断面積より大きい断面積を有するので、洗浄セ
ル６内には洗浄液３を配管２の圧力より高い圧力を付与
して供給し、ウエハ１に対して圧力がかかるように供給
する。
【００２０】このように、第１実施例によれば、ウエハ
１が大口径化しても、洗浄セル６とウエハ１の間隙及び
配管２中にある微小な洗浄液３で洗浄を行うことができ
るので、従来の問題点であった、純水、薬品、電気（ヒ
ータ用）排液、排気等を極小化することができ、工場の
設備を小型化することができる。
【００２１】ここで、ウエハ１は、例えば、図２に示す
ように、洗浄セル６内にウエハ保持部１０が配置されて
おり、そのウエハ保持部１０にウエハ１が保持されてセ
ットされ、それに蓋体７を被せる。８はその蓋体７の取
っ手、９はウエハ保持部１０の頭部１０Ａに嵌まる開口
である。
【００２２】そこで、洗浄されたウエハ１は、蓋体７が
外されて、そのウエハ１はロボットのアーム（図示な
し）で把持されて、または吸着アームにより吸着され
て、次の工程に搬送される。なお、ここでは、洗浄のみ
の工程について述べたが、洗浄後に引続き、乾燥を行う
ようにしてもよい。
【００２３】そこで、このウエハ洗浄システムの動作例
について図１〜図４を参照しながら説明する。
【００２４】まず、ポンプ４から押し出される洗浄液３
は、フィルタ５を介して配管２から厚みの薄い断面積の
小さい洗浄セル６中のウエハ１に圧力がかかるようにし
て流れる。そこでは、配管２中にある微小な洗浄液３で
効率的にウエハ１の洗浄を行うことができる。
【００２５】ウエハ１の洗浄を行った洗浄液３は再びポ
ンプ４に戻されて、送り出され、フィルタ５で清浄化さ
れて、洗浄セル６におけるウエハ１の洗浄を行う。
【００２６】なお、この実施例の場合は、循環式の例で
あるが、洗浄セル６において洗浄を行った洗浄液３は、
排液とするようにしてもよい。
【００２７】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。
【００２８】図５は本発明の第２実施例を示すウエハ洗
浄装置の模式構成図である。なお、第１実施例と同じ部
分には同じ符号を付してその説明は省略する。
【００２９】この実施例では、上記した第１実施例のウ
エハ洗浄装置において、洗浄セル６の洗浄液３出口側に
バルブ１１を設け、洗浄液３の流れを停止させ、洗浄セ
ル６内に更に圧力を印加するようにしたものである。
【００３０】図５に示すように、洗浄セル６内にウエハ
１をセットし、所望の洗浄液３で洗浄セル６内が満たさ
れたら、バルブ１１により、洗浄液３の流れを停止させ
る。洗浄液３の流れを停止することにより、洗浄セル６
内の圧力が上昇する。
【００３１】このように、第２実施例によれば、洗浄セ
ル６内の圧力が上昇することにより、Ｈ２ＳＯ４とＨ２
Ｏ２、ＮＨ４ＯＨとＨ２Ｏ２、ＨＣｌとＨ２Ｏ２等の洗
浄液の反応を向上させ、洗浄力を向上させることができ
る。
【００３２】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。
【００３３】図６は本発明の第３実施例を示すウエハ洗
浄装置の模式構成図である。なお、第１実施例と同じ部
分には同じ符号を付してその説明は省略する。
【００３４】この実施例では、上記第１又は第２実施例
のウエハ洗浄装置において、ウエハ１の表側及び裏側に
超音波発振用振動子２１を配置するようにしたものであ
る。
【００３５】図６に示すように、洗浄セル６内にウエハ
１をセットし、洗浄液３を供給することにより、ウエハ
１を洗浄する。その洗浄の際に、超音波発振用振動子２
１をウエハの表裏側に配置して、これを駆動して超音波
振動により洗浄力を高める。
【００３６】このように、第３実施例によれば、ウエハ
の表裏側に垂直に超音波が当たるため、微粒子の除去効
率を更に向上させることができる。
【００３７】また、上記第１実施例では洗浄装置に適用
した例を説明したが、液体及び気体のレーザー微粒子測
定装置の測定セルに、本洗浄セルの構造を用いれば、同
じサンプリング量で微粒子の測定確率が向上する。
【００３８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００３９】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００４０】（１）請求項１記載の発明によれば、ウエ
ハが大口径化しても、洗浄セルとウエハの間隙及び配管
中にある微小な洗浄液で洗浄を行うことができ、純水、
薬品、電気（ヒータ用）排液、排気等を極小化すること
ができ、工場の設備の小型化を図ることができる。
【００４１】また、洗浄セル内の圧力が上昇することに
より、洗浄液の反応を向上させ、洗浄力を向上させるこ
とができる。
【００４２】（２）請求項３記載の発明によれば、上記
（１）の効果に加えて、ウエハの表裏に垂直に超音波が
当たるため、微粒子の除去効率を向上させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示すウエハ洗浄装置の要
部斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す蓋体を外した内部を
示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施例を示すウエハ洗浄装置の模
式断面図である。
【図４】本発明の第１実施例を示すウエハ洗浄システム
の概略構成図である。
【図５】本発明の第２実施例を示すウエハ洗浄装置の模
式構成図である。
【図６】本発明の第３実施例を示すウエハ洗浄装置の模
式構成図である。
【図７】従来のウエハ洗浄システムの概略構成図であ
る。
【図８】従来のウエハ洗浄槽へのウエハのセット前の状
態を示す斜視図である。
【図９】従来のウエハ洗浄槽内にセットされるウエハ保
持治具の斜視図である。
【図１０】従来のウエハ洗浄槽へのウエハのセット状態
を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ ウエハ ２ 配管 ３ 洗浄液 ４ ポンプ ５ フィルタ ６ 洗浄セル ７ 蓋体 ８ 取っ手 ９ 開口 １０ ウエハ保持部 １０Ａ 頭部 １１ バルブ ２１ 超音波発振用振動子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 B08B 3/10 B08B 3/12

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 洗浄されるウエハの厚さ及び口径より大
    きい間隙を有し、前記間隙に前記ウエハが配置される洗
    浄セルと、前記間隙の断面積よりも大きい断面積を有
    し、洗浄液を前記間隙に導入する配管とを備え、前記洗
    浄液が排出される前記洗浄セルの排出側には、前記間隙
    に導入される前記洗浄液にかかる圧力を高めるためのバ
    ルブが設けられていることを特徴とするウエハ洗浄装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のウエハ洗浄装置におい
    て、前記洗浄セルには、前記ウエハを保持する保持部が
    設けられていることを特徴とするウエハ洗浄装置。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のウエハ洗浄装置
    において、前記洗浄セルの上下面に超音波発振用振動子
    を有することを特徴とするウエハ洗浄装置。
  4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項記載のウエ
    ハ洗浄装置において、前記洗浄セルは、前記ウエハが配
    置される洗浄セル本体と、前記ウエハを覆う蓋体とを有
    することを特徴とするウエハ洗浄装置。
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