JP2003204223A - 2端子対高周波発振器 - Google Patents

2端子対高周波発振器

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JP2003204223A JP2001402066A JP2001402066A JP2003204223A JP 2003204223 A JP2003204223 A JP 2003204223A JP 2001402066 A JP2001402066 A JP 2001402066A JP 2001402066 A JP2001402066 A JP 2001402066A JP 2003204223 A JP2003204223 A JP 2003204223A
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高行 田中
Fumio Asamura
文雄 浅村
Takeo Oita
武雄 追田
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    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B9/00Generation of oscillations using transit-time effects
    • H03B9/12Generation of oscillations using transit-time effects using solid state devices, e.g. Gunn-effect devices
    • H03B9/14Generation of oscillations using transit-time effects using solid state devices, e.g. Gunn-effect devices and elements comprising distributed inductance and capacitance
    • H03B9/147Generation of oscillations using transit-time effects using solid state devices, e.g. Gunn-effect devices and elements comprising distributed inductance and capacitance the frequency being determined by a stripline resonator

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  • Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】インピーダンスの整合を含めた各種の回路設計
及び高出力化を容易にして生産性を高める高周波発振器
を提供する。 【構成】中央の信号線と両側の接地導体とからなる有限
長としたコプレーナライン型の共振回路を基板の一主面
に形成し、前記コプレーナラインの信号線と接地導体に
2端子対の負性抵抗体を接続し、前記基板の他主面に前
記コプレーナラインと電磁結合した出力線としてのマイ
クロストリップラインを形成した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波やミリ
波帯の高周波発振器を産業上の技術分野とし、特にコプ
レーナライン(CPWとする)型の平面共振回路を用い
た高周波発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】(発明の背景)マイクロ波・ミリ波帯の
高周波発振器は高速・高周波装置の心臓部として、性能
的にもコスト的にも重要な位置付けにある。このような
ものの一つに、マイクロストリップライン(MSLとす
る)型の平面共振回路(MSL共振回路とする)を用い
たものがある。
【0003】(従来技術の一例)第17図はこの種の一
従来例を説明する高周波発振器の図で、同図(a)は平
面図、同図(b)はA−A断面図である。高周波発振器
は、MSL共振回路1と2端子対の負性抵抗体(発振素
子)としての例えばガンダイオード2とからなる。MS
L共振回路1は、誘電体等からなる基板3の一主面に円
形状の回路導体1Aを形成し、他主面に接地導体4を設
けてなる。ガンダイオード2は、MSL共振回路1の一
端外周(左端)から延出した整合線路5に一端側を接続
し、他端側を図示しないビアホールによって接地導体4
に接続する。そして、MSLからなる出力線6をMSL
共振回路1の他端外周(右端)に接続するとともに、出
力線6には容量性の整合線路5を設けてなる。
【0004】このようなものでは、ガンダイオード2は
MSL共振回路1の共振周波数領域で負性抵抗を示す。
そして、MSL共振回路1に電力を供給することから、
共振状態を維持即ち発振する。発振周波数は、概ね、回
路導体1Aの大きさ及び基板3の誘電率によって決定さ
れるMSL共振回路1の共振周波数に依存する。なお、
ガンダイオード2のような個別素子(ディスクリート素
子)は比較的低価格であるので、特にミリ波帯等での発
振素子として大いに期待される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】(従来技術の問題点)
しかしながら、上記構成の高周波発振器では、ガンダイ
オード2等の負性抵抗体はインピーダンスが比較的小さ
く、これに対してMSL共振回路1はインピーダンスが
高いため、例えば整合線路5による両者のインピーダン
ス整合が一般に困難となる。また、ガンダイオード2の
高周波接地のためには基板3にビアホール工程が必要で
あり、特に高周波になる程、ビアホールのリアクタンス
(寄生成分)に起因する特性劣化例えば回路損失に伴う
発振出力(電力)の低下が発生する。そして、生産性の
向上を阻害する問題があった。
【0006】このことから、例えばMSL共振回路1の
高次モード(TM21)を利用し、第18図に示したよ
うに幾何学的な対称点である同電位点に複数のガンダイ
オード2を接続して発振出力を合成したものがある。し
かし、この場合においても、ビアホールによる回路損失
に起因して電力の合成効率が悪い。
【0007】(発明の目的)本発明は、インピーダンス
の整合を含めた各種の回路設計及び高出力化を容易にし
て生産性を高める高周波発振器を提供することを目的と
する。
【0008】
【課題を解決するための手段】(着目点)本発明では、
上述した従来技術の問題が基板の一主面に回路導体(信
号線)を他主面に接地導体を有するMSL共振回路に起
因することから、信号線と接地導体4を同一主面に有す
るCPW型の平面共振回路(CPW共振回路とする)に
着目した。
【0009】(解決手段、請求項1)本発明は、中央の
信号線と両側の接地導体とからなる有限長としたコプレ
ーナライン型の共振回路を基板の一主面に形成し、前記
コプレーナラインの信号線と接地導体に2端子対の負性
抵抗体を接続し、前記基板の他主面に前記コプレーナラ
インと電磁結合した出力線としてのマイクロストリップ
ラインを形成したことを基本的な解決手段とする。
【0010】
【作用】本発明では、CPW共振回路を適用して2端子
対の負性抵抗体を接続するので、負性抵抗体の高周波接
地が同一主面上で行える。したがって、MSL共振回路
のように高周波接地用のビアホールを必要としないの
で、回路損失(寄生成分)を少なくした実装を容易に
し、高周波での優れた発振特性を得られる。また、CP
W共振回路7はCPWに沿って定在波が生じて各点での
インピーダンスを異にするので、整合線路(回路)を要
することなく、負性抵抗体の接続位置を決めるのみでイ
ンピーダンス整合を容易にする。以下本発明に基づく各
実施例を説明する。
【0011】
【第1実施例、請求項2、3】第1図は本発明の第1実
施例を説明する高周波発振器の図で、同図(a)は平面
図、同図(b)は同図(a)のA−A断面図、同図
(c)は同B−B断面図である。高周波発振器は、概ね
CPW共振回路7と、2端子対の負性抵抗素子としての
ガンダイオード2からなる。CPW共振回路7は基板3
の一主面に形成され、発振周波数の約1/2波長(λ/
2)とした有限長の信号線7Aと、両側及び上下の接地
導体4からなる。なお、CPWはλ/2としたが、この
整数倍であればよい。すなわち、CPW共振回路7は両
端高周波開放としたCPWの伝送線路からなる。ガンダ
イオード2は、ここでは例えばカソード電極を挟む2つ
のアノード電極を有する構造で、外表面の中央部に一方
の端子を両端部に他方の端子を有する計3つの端子を有
する2端子対とする。
【0012】そして、CPW共振回路7の中央領域ここ
では中心線上において、ガンダイオード2における中央
部の一方の端子をCPWの信号線7Aに、両端部の他方
の端子を両側の接地導体4にバンプ8を用いたフリップ
チップ実装によって接続する。基板3の一主面にはCP
Wの一端側で電磁結合したMSLが、CPWの延長方向
に出力線6として形成される。
【0013】このような構成であれば、CPW共振回路
7は信号線と両側の接地導体4との間で生ずる電界及び
これによる磁界によって高周波がCPWを伝播し、ここ
では両端開放したことにより中央部を最小として両端部
を最大とした電圧分布の定在波による共振モードとな
る。但し、電流はこれとは逆の分布となる。そして、こ
こでは、CPW共振回路7に2端子対としたガンダイオ
ード2の中央部の一方の端子を信号線7Aに、両端部の
他方の端子を両側の接地導体4に接続する。したがっ
て、CPW共振回路7には共振周波数領域での電力が供
給されて発振する。そして、電磁結合した出力線6(M
SL)により、発振出力を得る。
【0014】そして、ガンダイオード2をCPW共振回
路7の中央領域に接続するので、インピーダンス整合を
容易にする。すなわち、共振モードの電流が最大(電圧
が最小)となる個所に低インピーダンスのガンダイオー
ド2を接続するので、格別の整合回路(線路)を設ける
ことなく、インピーダンス整合を容易にする。また、C
PW共振回路7の信号線と接地導体4が同一面にあるの
で、ガンダイオード2を容易に実装できる。そして、基
板3にはビアホールを要しないので、回路損失を少なく
して発振出力を大きくできる。
【0015】また、基板3表面には出力線6であるMS
Lを電磁結合させている。この構造であるために、ガン
ダイオード2の装荷ポイントは、CPW共振モードに整
合する点を選べばよく、また、ガンダイオードへの直流
バイアス(電源電圧)の供給ポイントは、例えばCPW
の幅方向の中心線上となる共振モードの電圧ゼロ点を選
べば高周波発振への影響は回避できる。供給ポイントに
は、図示しない給電線を接続して電源電圧を印加する。
【0016】なお、上記例では、中央部に一方の端子を
両端部に他方の端子を有するガンダイオード2を適用し
て説明したが、一端部に一方の端子を他端部に他方の端
子を有する場合はこれを一組(2個)用意し、第2図に
示したように接続すればよい(請求項3)。すなわち、
各ガンダイオード2の一方の端子を信号線7Aに接続
し、他方の端子を両側の接地導体4に接続すれはよい。
但し、ガンダイオード2の個数を少なくできるので、上
記例の方が実装が容易である。
【0017】また、出力線6は直線状としてCPWの延
出方向としたが、第3図に示したようにCPWの電流分
布の大きい中央領域にループ状の出力線6としてのMS
Lを形成して磁界結合によって出力を取り出すこともで
きる(第3図)。
【0018】また、CPW共振回路7はCPWを両端高
周波開放としたが、第4図に示したように例えば両端側
にコンデンサ9を設けて両端高周波短絡としてもよい。
この場合は、中央部で最大として両端側で最小とした電
圧分布の共振モードとなる。但し、電流の分布は逆であ
る。したがって、電流分布が最大領域のCPWの一端側
にガンダイオード2を配置し、前述したループ状のMS
Lを出力線6として磁界結合によって出力を得る。
【0019】また、コンデンサ9に代え、第5図に示し
たようにCPWの両端側で一部が重畳したλ/2のMS
Lを他主面に設けて両端高周波短絡端としてもよい。こ
の場合、出力線6は同様にループ状としたMSLとすれ
ばよい。あるいは、ループ状とした出力線(MSL)6
を共振系からはずれて形成し、疎結合としてもよい(第
6図)。
【0020】また、第7図に示したように、コンデンサ
9及びλ/2のMSL10に代え、CPW共振回路7の
両端側にガンダイオードを直接に接続して両端高周波短
絡端としてもよい。この場合も、ループ状とした出力線
(MSL)6によって出力を得られる。
【0021】さらに、CPW共振回路7の一端側を開放
とし、他端側を高周波短絡として形成することもでき
る。この場合、例えば第8図に示したように、CPW共
振回路7の一端側にガンダイオード2を設けて、一端側
を高周波短絡端とし、他端を高周波開放端とすればよ
い。また、前述したCPW共振回路7の両側にダイオー
ドを配置した場合でも、CPWの一端側にコンデンサ9
やλ/2のMSL10を設けることによって形成できる
(未図示)。但し、CPW共振回路7の線路長は概ねλ
/4の奇数倍となる。これらの場合、電流分布が最大と
なる高周波短絡端側にループ状の出力線6を設けること
によって出力を得る。これらの場合でも、上記例と作用
効果は基本的に同じである。
【0022】
【第2実施例、請求項5】第9図は本発明の第2実施例
を説明する高周波発振器の平面図である。なお、これ以
降の各実施例では、前従来例と同一部分には同番号を付
与してその説明は簡略又は省略する。前第1実施例では
負性抵抗体としてのガンダイオード2をCPW共振回路
7の中央領域の一箇所に配置したが、第2実施例では2
箇所に配置して電力合成する例である。すなわち、第2
実施例では中央部に一方の端子を両端部に他方の端子を
有する計3つの端子を有する2端子対のガンダイオード
2(2個)を、例えば両端高周波開放としたCPW共振
回路7の中央領域の2箇所に中心線に対して対称に並設
する。そして、一端側に直線状の出力線6を設ける。
【0023】このような構成であれば、CPW共振回路
7の2箇所にて共振周波数での電力が各ガンダイオード
2から供給されるので、それぞれからの発振出力が合成
されて倍加する。この場合、前述したようにビアホール
を要しないので、電力合成の損失も少なく効率的な電力
合成が可能になる。また、この場合でも、CPW共振回
路7の中央領域はインピーダンスが比較的小さいので、
ガンダイオード2とのインピーダンス整合を容易にす
る。また、中央領域の整合しやすい個所を選択すればよ
い。
【0024】なお、上記例では両端高周波開放とした
が、両端高周波短絡又は一端を高周波開放として他端を
高周波短絡として構成できる。ちなみに、第10図はコ
ンデンサ9による両端高周波短絡とした例である。な
お、前述した第7図の両端側にガンダイオードを配置し
た場合でも電力合成ができる。
【0025】また、一端を高周波開放として他端を高周
波短絡とする場合は、例えば第11図に示したように、
CPW共振回路7の一端側の延長方向と横断方向にガン
ダイオード2を配置すればよい。この場合、CPWの線
路長は例えばλ/4で他端側は電圧分布が最大となるこ
とから、電流分布が最小となる一端側にガンダイオード
を配置して電力合成とする。
【0026】
【第3実施例、請求項6、7】第12図は本発明の第3
実施例を説明する高周波発振器の図で、同図(a)は平
面図、同図(b)は断面図である。第3実施例は高周波
発振器を可変リアクタンスを用いた周波数可変型とする
例である。すなわち、第3実施例では、例えばCPW共
振器はCPWを両端高周波開放とし、ガンダイオード2
を2個並設して電力合成とし、線状の出力線6(MS
L)を一端側に設ける。そして、基板3の一主面にガン
ダイオード2を取り囲みCPW共振回路7と電磁結合し
たループ状のMSL11を形成し、CPWの両側で2個
の可変リアクタンス素子としての電圧可変容量ダイオー
ド12をループ状のMSL11に接続する。そして、各
電圧可変容量素子に図示しない供給線を接続して制御電
圧を印加する。
【0027】このような構成であれば、制御電圧による
電圧可変容量ダイオードの容量変化がCPW共振器7の
電磁場に影響を与えてCPWの実質的な電気長を異なら
せる。したがって、これに伴い発振周波数も変化するの
で、簡易な構成で周波数可変型とすることができる。
【0028】上記例ではCPWを両端高周波開放とした
が、両端高周波短絡であったとしても構成できる。すな
わち、例えば第13図に示したように高周波短絡端とす
るコンデンサ9と接地導体4との間に電圧可変容量ダイ
オード12を接続して、制御電圧を印加すればよい。こ
の場合、電圧可変容量ダイオード12はCPWの一端側
のみでもよい。
【0029】
【第4実施例、請求項8】第14図は本発明の第4実施
例を説明する高周波発振器の図で、同図(a)は平面
図、同図(b)は断面図である。第4実施例は、発振周
波数f0に対して1/n(nは整数)の信号(f0/n)
で発振同期をとる、所謂、サブ・ハーモニック注入同期
発振器の構成例である。この例では、比較的低周波数で
あるサブ・ハーモニック注入同期信号f0/nはCPW共振
器7の設けられた基板3の同一面(一主面)にCPW1
3を形成し、これに接続した注入線14によってCPW
共振回路7のCPWに注入する。注入線14はCPW
(信号線7A)の幅方向の中点に接続して対称性を維持
する。なお、注入線14は同期信号の周波数が低いの
で、これによる寄生成分の影響は小さい。
【0030】この場合、共振モードへの影響が少ない低
インピーダンスポイントで幅方向の中心線上に注入する
ことが可能であり、位相雑音特性と周波数安定化を図る
ことができる。さらに、注入同期信号を周波数シンセサ
イザーからとすれば、これに基づいて高周波での周波数
シンセサイザーの実現も可能である。なお、注入同期信
号は前述のように周波数が低くて影響が小さいので、電
磁結合やビアホールを介して結合したMSLで注入して
もよい。
【0031】
【第5実施例、請求項9】第15図は本発明の第5実施
例を説明する高周波発振器の図で、同図(a)は平面
図、同図(b)は断面図である。第5実施例は、前述し
たCPW共振回路7にガンダイオード2を設けた発振回
路系を2系統用いることによって、基本発振周波数f0
の2倍の発振周波数2f0を効率よく得る2相Push-Push
発振の例である。すなわち、ここでは、いずれもガンダ
イオード2を設けた第1と第2のCPW共振回路7(a
b)からなる発振回路系をCPW(信号線)の延長方向
に配置し、各出力線を共通接続した第1MSL(第1出
力線)6aにより電磁結合する。そして、基本発振周波
数f0にとって概ね4分の1波長である先端開放MSLを
中点から一側面に向かって突出し、同中点から2倍の発
振周波数2f0を得るMSLからなる第2出力線6bを
他側面の端部に延出する。
【0032】このような構成であれば、第1と第2の発
振回路系の出力は、互いに逆相で合成されるので基本周
波数f0は相殺されて、基本周波数f0の2倍の発振周波
数2f0が得られる。したがって、極めて簡易な回路構
成で2相Push-Push発振を構成できる。
【0033】
【実施例6、請求項10】第16図は本発明の第6実施
例を説明する高周波発振器の平面図である。前第5実施
例では2相Push-Push発振の例を示したが、第6実施例は
基本発振周波数f0の4倍の発振周波数出力4f0を発振させ
る4相Push-Push発振の例である。すなわち、第6実施例
は、前述した第5実施例のCPWの延長方向に配置した
2個の発振回路系を並列に配置する。そして、各第1出
力線6aを横断した第2出力線6bを共通接続して第3
出力線6cとし、基本発振周波数f0にとって8分の1波
長である先端開放MSLが第3出力線6の中点から突出
した4倍波4f0の第4出力線6dを接続する。但し、第1
出力線の中点間となる第3出力線6cは基本発振周波数
f0に対してλ/4とする。
【0034】このような構成であれば、第2出力線6c
は2倍波の2分の1波長共振回路として動作するので、Pus
h-Push原理に基づいて4f0の発振出力が得られる。こ
のように、極めて簡易な回路構成で4倍の周波数の高周
波発振も実現できるので、特にミリ波やサブミリ波帯の
発振源として有効である。勿論、これをさらにPush-Pus
h化すれば基本周波数に対して8倍以上の発振周波数を
得られる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、所謂、
両平面回路技術によって、基板3の両面に形成したコプ
レーナラインとマイクロストリップラインの伝送特性と
線路構造を活用して、従来技術の課題である高周波帯発
振器の簡易化、高出力化、高周波化さらに高品質特性を
実現するものである。この回路構造によって、以下のよ
うな効用を実現することが出来る。 (1) コプレ−ナラインを用いているために、発振ダ
イオードあるいは負性抵抗IC をバンプ実装や表面実装
によって高精度にかつ効率よく製造できる。従って、特
にミリ波等の超高周波帯発振器としても有効である。 (2) 回路構造上、多素子発振も容易であり電力合成
による高出力化、および低位相雑音化にも優れている。 (3) 発振周波数の可変制御や2倍波・4倍波出力等の
Push-Push発振も容易に実現可能である。
【0036】要するに、本発明は、中央の信号線と両側
の接地導体とからなる有限長としたコプレーナライン型
の共振回路を基板3の一主面に形成し、前記コプレーナ
ラインの信号線と接地導体に2端子対の負性抵抗体を接
続し、前記基板の他主面に前記コプレーナラインと電磁
結合した出力線としてのマイクロストリップラインを形
成したので、インピーダンスの整合を含めた各種の回路
設計及び高出力化を容易にして生産性を高める高周波発
振器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を説明する高周波発振器の
図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)の
A−A断面図、同図(c)は同B−B断面図である。
【図2】本発明の第1実施例の他の例を説明する高周波
発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図
(a)のA−A断面図、同図(c)は同B−B断面図で
ある。
【図3】本発明の第1実施例を説明する高周波発振器の
図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)の
A−A断面図、同図(c)は同B−B断面図である。
【図4】本発明の第1実施例の他の例を説明する高周波
発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図
(a)のA−A断面図、同図(c)は同B−B断面図で
ある。
【図5】本発明の第1実施例を説明する高周波発振器の
図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)の
A−A断面図、同図(c)は同B−B断面図である。
【図6】本発明の第1実施例の他の例を説明する高周波
発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図
(a)のA−A断面図、同図(c)は同B−B断面図で
ある。
【図7】本発明の第1実施例を説明する高周波発振器の
図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)の
A−A断面図である。
【図8】本発明の第1実施例の他の例を説明する高周波
発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図
(a)のA−A断面図である。
【図9】本発明の第2実施例を説明する高周波発振器の
図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)の
A−A断面図、同図(c)は同B−B断面図である。
【図10】本発明の第2実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図、同図(c)は同B−B断面図
である。
【図11】本発明の第2実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図、同図(c)は同B−B断面図
である。
【図12】本発明の第3実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図である。
【図13】本発明の第3実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図である。
【図14】本発明の第4実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図である。
【図15】本発明の第5実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図である。
【図16】本発明の第6実施例の他の例を説明する高周
波発振器の図で、同図(a)は平面図、同図(b)は同
図(a)のA−A断面図である。
【図17】従来例を説明する高周波発振器の図で、同図
(a)は平面図、同図(b)は同図(a)のA−A断面
図である。
【図18】従来例を説明する高周波発振器の平面図であ
る。
【符号の説明】
1 MSL共振回路、2 ガンダイオード、3 基板、
4 接地導体、5 整合線路、6 出力線、7 CPW
共振回路、8 バンプ、9 コンデンサ、10、11
MSL、12 電圧可変容量ダイオード、13 CP
W.
フロントページの続き (72)発明者 浅村 文雄 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の2 日 本電波工業株式会社狭山事業所内 (72)発明者 追田 武雄 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の2 日 本電波工業株式会社狭山事業所内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】中央の信号線と両側の接地導体とからなる
    有限長としたコプレーナライン型の共振回路を基板の一
    主面に形成し、前記コプレーナラインの信号線と接地導
    体に2端子対の負性抵抗体を接続し、前記基板の他主面
    に前記コプレーナラインと電磁結合した出力線としての
    マイクロストリップラインを形成したことを特徴とする
    2端子対高周波発振器。
  2. 【請求項2】前記2端子対の負性抵抗体は中央部に一方
    の端子を両端部に他方の端子を有し、前記一方の端子を
    前記コプレーナラインの中央の信号線に接続し、前記他
    方の端子を前記コプレーナラインの両側の接地導体に接
    続した2端子対高周波発振器。
  3. 【請求項3】前記2端子対の負性抵抗体は一端部に一方
    の端子を他端部に他方の端子を有し、前記負性抵抗体の
    一組のそれぞれ一方の端子を前記コプレーナラインの中
    央のの信号線に接続し、前記負性抵抗体の一組のそれぞ
    れ他方の端子を前記コプレーナラインの両側の接地導体
    に接続した2端子対高周波発振器。
  4. 【請求項4】前記有限長のコプレナーライン型の共振回
    路は、前記コプレーナランが両端高周波開放、両端高周
    波短絡、又は一端を高周波開放として他端を高周波短絡
    とした伝送線路である請求項1の2端子対高周波発振
    器。
  5. 【請求項5】前記2端子対の負性抵抗体の複数を前記コ
    プレーナライン上に並設して電力合成とした請求項1の
    2端子対高周波発振器。
  6. 【請求項6】前記コプレーナライン型の共振回路に可変
    リアクタンス素子を装荷して、発振周波数を可変とした
    請求項1の2端子対高周波発振器。
  7. 【請求項7】前記コプレーナライン型の共振回路に電磁
    結合したマイクロストリップラインを基板の他主面に形
    成し、前記マイクロストリップラインに可変リアクタン
    ス素子を接続して発振周波数を可変とした請求項1の2
    端子対高周波発振器。
  8. 【請求項8】前記コプレナーライン型とした共振回路の
    信号線にサブ・ハーモニック注入同期信号を印加した請
    求項1の2端子対高周波発振器。
  9. 【請求項9】請求項1の2端子高周波発振器を前記コプ
    レーナラインの延長方向に配置して、前記出力線として
    のマイクロストリップラインを互いに対向する側に設け
    て共通接続して第1出力線とし、前記第1出力線の中点
    から基本発振周波数において概ね4分の1波長の先端開
    放マイクロストリップラインが突出した基本発振周波数
    の2倍の発振周波数を得る第2出力線6を形成した2端
    子対高周波発振器。
  10. 【請求項10】請求項9の2端子高周波発振器を並列に
    配置して、前記第2出力線6の先端開放マイクロストリ
    ップラインを共通接続して第3出力線とし、前記第3出
    力線の中点から基本波周波数の概ね8分の1波長のマイ
    クロストリップラインが突出した基本波発振周波数の4
    倍の発振周波数を得る第4出力線を形成した2端子対高
    周波発振器。
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