JP2003203319A - マイクロアクチュエータをスライダ装置へ取り付ける方法及び装置 - Google Patents
マイクロアクチュエータをスライダ装置へ取り付ける方法及び装置Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
- G11B5/483—Piezoelectric devices between head and arm, e.g. for fine adjustment
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 スライダ接着処理の正確性及び均一性を向上
させることができる、スライダ装置へハードデイスクマ
イクロアクチュエータを取りつける方法及び装置を提供
する。 【解決手段】一端がアクチュエータ基部に連結された第
１、第２のアームよりなるＵ形状構造を有するマイクロ
アクチュエータ７０４の各アーム上に突出部７０８が形
成され、これを受ける凹領域７０２がスライダ７０６の
互いに反対側となる側面に設けられる。これにより、接
着剤の硬化時におけるマイクロアクチュエータ７０４に
対するＺ−Ｙ平面内におけるスライダ７０６の回転動作
が阻止される。
させることができる、スライダ装置へハードデイスクマ
イクロアクチュエータを取りつける方法及び装置を提供
する。 【解決手段】一端がアクチュエータ基部に連結された第
１、第２のアームよりなるＵ形状構造を有するマイクロ
アクチュエータ７０４の各アーム上に突出部７０８が形
成され、これを受ける凹領域７０２がスライダ７０６の
互いに反対側となる側面に設けられる。これにより、接
着剤の硬化時におけるマイクロアクチュエータ７０４に
対するＺ−Ｙ平面内におけるスライダ７０６の回転動作
が阻止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ハードディス
ク駆動装置に関する。より特定的には、本発明は、ハー
ドディスクマイクロアクチュエータをスライダ装置へ取
り付けるシステムに関する。
ク駆動装置に関する。より特定的には、本発明は、ハー
ドディスクマイクロアクチュエータをスライダ装置へ取
り付けるシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ハードディスク駆動装置の記録密
度を向上するために、種々の方法が用いられている。図
１は、磁気ハードディスクから読出しを行うと共に磁気
ハードディスクへ書込みを行うように構成された典型的
な駆動アームを表している。
度を向上するために、種々の方法が用いられている。図
１は、磁気ハードディスクから読出しを行うと共に磁気
ハードディスクへ書込みを行うように構成された典型的
な駆動アームを表している。
【０００３】磁気ハードディスク１００に対する駆動ア
ーム１０４の位置は、通常、ボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）１０２を用いて制御される。ＶＣＭ１０２のみによ
る記録ヘッド１０８の位置決め（動的動作）には誤差が
本質的に存在するため、最近では、特許文献１に記載さ
れているように記録ヘッド１０８の精密位置決めにはマ
イクロアクチュエータ１１０が用いられる。ＶＣＭ１０
２は粗い位置決めに用いられ、マイクロアクチュエータ
１１０はより小さなスケールでその位置決めを補正し、
駆動アーム１０４を伴うＶＣＭ１０２の誤差を補償す
る。これにより、より狭い記録トラック幅が実現可能と
なり、ハードディスク駆動装置のトラックパーインチ
（ＴＰＩ）値を増大させることが、即ちトラック密度を
増大させることができる。
ーム１０４の位置は、通常、ボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）１０２を用いて制御される。ＶＣＭ１０２のみによ
る記録ヘッド１０８の位置決め（動的動作）には誤差が
本質的に存在するため、最近では、特許文献１に記載さ
れているように記録ヘッド１０８の精密位置決めにはマ
イクロアクチュエータ１１０が用いられる。ＶＣＭ１０
２は粗い位置決めに用いられ、マイクロアクチュエータ
１１０はより小さなスケールでその位置決めを補正し、
駆動アーム１０４を伴うＶＣＭ１０２の誤差を補償す
る。これにより、より狭い記録トラック幅が実現可能と
なり、ハードディスク駆動装置のトラックパーインチ
（ＴＰＩ）値を増大させることが、即ちトラック密度を
増大させることができる。
【０００４】図２は、従来用いられていたマイクロアク
チュエータを説明する図である。磁気ディスク１００
（図１参照）の表面上で所定の浮上量を維持するため
に、通常は、スライダ２０２（図示しない読出し／書込
み磁気ヘッドを含む）が用いられる。マイクロアクチュ
エータは、スライダ２０２の動きを駆動アーム１０４
（図１参照）の動きから独立させることができるスライ
ダ抑制機構２０８に支持部材２０６を接続する可撓性ビ
ーム２０４を有しているかもしれない。駆動アーム１０
４（図１参照）に対するスライダ／ヘッド２０２の向き
／位置の微小調整を行うために、電磁アセンブリ又は電
磁／強磁性アセンブリ（図示なし）が用いられるかもし
れない。
チュエータを説明する図である。磁気ディスク１００
（図１参照）の表面上で所定の浮上量を維持するため
に、通常は、スライダ２０２（図示しない読出し／書込
み磁気ヘッドを含む）が用いられる。マイクロアクチュ
エータは、スライダ２０２の動きを駆動アーム１０４
（図１参照）の動きから独立させることができるスライ
ダ抑制機構２０８に支持部材２０６を接続する可撓性ビ
ーム２０４を有しているかもしれない。駆動アーム１０
４（図１参照）に対するスライダ／ヘッド２０２の向き
／位置の微小調整を行うために、電磁アセンブリ又は電
磁／強磁性アセンブリ（図示なし）が用いられるかもし
れない。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６，１９８，６０６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】マイクロアクチュエー
タへのスライダアセンブリの取り付けは、取り付けのた
めの寸法が非常に小さいことから、困難及び／又は高コ
ストとなる。接着も非常に正確でなければならない。
タへのスライダアセンブリの取り付けは、取り付けのた
めの寸法が非常に小さいことから、困難及び／又は高コ
ストとなる。接着も非常に正確でなければならない。
【０００７】従って、本発明の目的は、スライダ接着処
理の正確性及び均一性を向上させることができる、スラ
イダ装置へハードディスクマイクロアクチュエータを取
り付ける方法及び装置を提供することにある。
理の正確性及び均一性を向上させることができる、スラ
イダ装置へハードディスクマイクロアクチュエータを取
り付ける方法及び装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一端が
アクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が
該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから
少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチ
ュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ
素子を備えており、前記第１のアームが第１の形状の第
１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１
の突出部とほぼ反対方向にありかつほぼ平行な第２の形
状の第２の突出部を有しており、前記スライダ素子が、
前記第１の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第１の凹部を具備する第１の面と、
前記第２の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第２の凹部を具備する第２の面とを
有しており、前記第１の突出部が前記第１の凹部内で接
着剤により接着され、前記第２の突出部が前記第２の凹
部内で前記接着剤により接着されるように構成されてい
るアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシス
テムが提供される。
アクチュエータ基部に連結された第１のアームと一端が
該アクチュエータ基部に連結された第２のアームとから
少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチ
ュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ
素子を備えており、前記第１のアームが第１の形状の第
１の突出部を有しており、前記第２のアームが前記第１
の突出部とほぼ反対方向にありかつほぼ平行な第２の形
状の第２の突出部を有しており、前記スライダ素子が、
前記第１の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第１の凹部を具備する第１の面と、
前記第２の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第２の凹部を具備する第２の面とを
有しており、前記第１の突出部が前記第１の凹部内で接
着剤により接着され、前記第２の突出部が前記第２の凹
部内で前記接着剤により接着されるように構成されてい
るアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシス
テムが提供される。
【０００９】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００１０】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００１１】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００１２】前記第１の凹部に対する前記第１の突出部
の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の
形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダ
の回転運動を阻止するものであることが好ましい。
の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の
形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダ
の回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００１３】本発明によれば、一端がアクチュエータ基
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２
のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造
を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべく適合
されたスライダ素子を備えており、前記スライダ素子
が、第１のステップを形成する第１の凹状の平面と、前
記アクチュエータを回転不可能な結合で受け入れるべく
前記第１のステップとはほぼ反対方向にある第２のステ
ップを形成する第２の凹状の平面とを有しており、前記
第１のステップが前記第１のアームを受け入れ、前記第
２のステップが前記第２のアームを受け入れ、前記第１
のアームが前記第１のステップ内で接着剤により接着さ
れ、前記第２のアームが前記第２のステップ内で前記接
着剤により接着されるように構成されているアクチュエ
ータ素子をスライダ素子に取り付けるシステムが提供さ
れる。
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２
のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造
を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべく適合
されたスライダ素子を備えており、前記スライダ素子
が、第１のステップを形成する第１の凹状の平面と、前
記アクチュエータを回転不可能な結合で受け入れるべく
前記第１のステップとはほぼ反対方向にある第２のステ
ップを形成する第２の凹状の平面とを有しており、前記
第１のステップが前記第１のアームを受け入れ、前記第
２のステップが前記第２のアームを受け入れ、前記第１
のアームが前記第１のステップ内で接着剤により接着さ
れ、前記第２のアームが前記第２のステップ内で前記接
着剤により接着されるように構成されているアクチュエ
ータ素子をスライダ素子に取り付けるシステムが提供さ
れる。
【００１４】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００１５】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００１６】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００１７】前記第１のステップの前記第１のアームの
受け入れ及び前記第２のステップの前記第２のアームの
受け入れが、前記エポキシの硬化工程における前記スラ
イダの回転運動を阻止するものであることが好ましい。
受け入れ及び前記第２のステップの前記第２のアームの
受け入れが、前記エポキシの硬化工程における前記スラ
イダの回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００１８】前記スライダが、前記第１及び第２のステ
ップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
ップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
【００１９】前記スライダが、スライダ重量を低減する
ために、前記第３のステップを形成する前記第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
ために、前記第３のステップを形成する前記第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
【００２０】本発明によれば、一端がアクチュエータ基
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取
り付けられるべく適合されたスライダ素子を備えてお
り、前記第１のアームが第１のアーム接着面を有してお
り、前記第２のアームが前記第１のアーム接着面とほぼ
反対方向にありかつほぼ平行な第２のアーム接着面を有
しており、前記スライダ素子が、前記第１のアーム接着
面に部分的に当接するようにかつ該第１のアーム接着面
と共に部分的窪みを提供するように形付けられている第
１の凹部を備えた第１のスライダ接着面と、前記第２の
アーム接着面に部分的に当接するようにかつ該第２のア
ーム接着面と共に部分的窪みを提供するように形付けら
れている第２の凹部を備えた第２のスライダ接着面とを
有しており、前記第１のスライダ接着面が前記第１のア
ーム接着面に接着され、前記第２のスライダ接着面が前
記第２のアーム接着面に接着されるように構成されてい
るアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシス
テムが提供される。
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れたほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取
り付けられるべく適合されたスライダ素子を備えてお
り、前記第１のアームが第１のアーム接着面を有してお
り、前記第２のアームが前記第１のアーム接着面とほぼ
反対方向にありかつほぼ平行な第２のアーム接着面を有
しており、前記スライダ素子が、前記第１のアーム接着
面に部分的に当接するようにかつ該第１のアーム接着面
と共に部分的窪みを提供するように形付けられている第
１の凹部を備えた第１のスライダ接着面と、前記第２の
アーム接着面に部分的に当接するようにかつ該第２のア
ーム接着面と共に部分的窪みを提供するように形付けら
れている第２の凹部を備えた第２のスライダ接着面とを
有しており、前記第１のスライダ接着面が前記第１のア
ーム接着面に接着され、前記第２のスライダ接着面が前
記第２のアーム接着面に接着されるように構成されてい
るアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシス
テムが提供される。
【００２１】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００２２】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００２３】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００２４】前記第１のスライダ接着面が前記第１のア
ーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供
し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着
面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供すること
によって、エポキシのオーバーフローを阻止することが
好ましい。
ーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供
し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着
面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供すること
によって、エポキシのオーバーフローを阻止することが
好ましい。
【００２５】本発明によれば、一端がアクチュエータ基
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れ、かつ前記第１のアームが第１の形状の第１の突出部
を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部とほぼ反
対方向にありかつほぼ平行な第２の形状の第２の突出部
を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエー
タ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応さ
せ、前記第１の突出部を回転不可能な結合で受け入れる
ように形付けられている第１の凹部を具備する第１の面
と、前記第２の突出部を回転不可能な結合で受け入れる
ように形付けられている第２の凹部を具備する第２の面
とを有するように前記スライダ素子を適応させ、前記第
１の突出部を前記第１の凹部内で接着剤により接着し、
前記第２の突出部が前記第２の凹部内で前記接着剤によ
り接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付
ける方法が提供される。
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れ、かつ前記第１のアームが第１の形状の第１の突出部
を有し、前記第２のアームが前記第１の突出部とほぼ反
対方向にありかつほぼ平行な第２の形状の第２の突出部
を有するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエー
タ素子に取り付けられるようにスライダ素子を適応さ
せ、前記第１の突出部を回転不可能な結合で受け入れる
ように形付けられている第１の凹部を具備する第１の面
と、前記第２の突出部を回転不可能な結合で受け入れる
ように形付けられている第２の凹部を具備する第２の面
とを有するように前記スライダ素子を適応させ、前記第
１の突出部を前記第１の凹部内で接着剤により接着し、
前記第２の突出部が前記第２の凹部内で前記接着剤によ
り接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付
ける方法が提供される。
【００２６】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００２７】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００２８】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００２９】前記第１の凹部に対する前記第１の突出部
の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の
形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダ
の回転運動を阻止するものであることが好ましい。
の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部の
形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライダ
の回転運動を阻止するものであることが好ましい。
【００３０】前記スライダが、ほぼボックス形状であ
り、前記第１及び第２の凹部と共に、スライダ材料によ
る矩形面形状の大きなバーを該大きなバーの長さ方向に
垂直に切断して前記大きなバーの前記長さ方向とは垂直
な長さ方向を有する矩形面形状の小さなバーを形成し、
該小さなバーの第１の面に沿って規定された縦方向深さ
だけ切削することにより前記第１の凹部を形成し、該小
さなバーの前記第１の面とほぼ平行な第２の面に沿って
前記規定された縦方向深さだけ切削することにより前記
第２の凹部を形成し、前記小さなバーを該小さなバーの
長さ方向と垂直に切断することによって形成されること
が好ましい。
り、前記第１及び第２の凹部と共に、スライダ材料によ
る矩形面形状の大きなバーを該大きなバーの長さ方向に
垂直に切断して前記大きなバーの前記長さ方向とは垂直
な長さ方向を有する矩形面形状の小さなバーを形成し、
該小さなバーの第１の面に沿って規定された縦方向深さ
だけ切削することにより前記第１の凹部を形成し、該小
さなバーの前記第１の面とほぼ平行な第２の面に沿って
前記規定された縦方向深さだけ切削することにより前記
第２の凹部を形成し、前記小さなバーを該小さなバーの
長さ方向と垂直に切断することによって形成されること
が好ましい。
【００３１】本発明によれば、一端がアクチュエータ基
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２
のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造
を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべくスラ
イダ素子を適応させ、第１のステップを形成する第１の
凹状の平面と、前記アクチュエータを回転不可能な結合
で受け入れるべく前記第１のステップとはほぼ反対方向
にある第２のステップを形成する第２の凹状の平面とを
有し、前記第１のステップが前記第１のアームを受け入
れかつ前記第２のステップが前記第２のアームを受け入
れるように前記スライダ素子を適応させ、前記第１のア
ームを前記第１のステップ内で接着剤により接着し、前
記第２のアームを前記第２のステップ内で前記接着剤に
より接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り
付ける方法が提供される。
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結されかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２
のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造
を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべくスラ
イダ素子を適応させ、第１のステップを形成する第１の
凹状の平面と、前記アクチュエータを回転不可能な結合
で受け入れるべく前記第１のステップとはほぼ反対方向
にある第２のステップを形成する第２の凹状の平面とを
有し、前記第１のステップが前記第１のアームを受け入
れかつ前記第２のステップが前記第２のアームを受け入
れるように前記スライダ素子を適応させ、前記第１のア
ームを前記第１のステップ内で接着剤により接着し、前
記第２のアームを前記第２のステップ内で前記接着剤に
より接着するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り
付ける方法が提供される。
【００３２】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００３３】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００３４】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００３５】前記第１のステップが前記第１のアームを
受け入れ、前記第２のステップが前記第２のアームを受
け入れることにより、前記エポキシの硬化工程における
前記スライダの回転運動を阻止することが好ましい。
受け入れ、前記第２のステップが前記第２のアームを受
け入れることにより、前記エポキシの硬化工程における
前記スライダの回転運動を阻止することが好ましい。
【００３６】前記スライダが、前記第１及び第２のステ
ップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
ップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
【００３７】前記スライダが、スライダ重量を低減する
ために、前記第３のステップを形成する前記第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
ために、前記第３のステップを形成する前記第３の凹状
の平面を有していることが好ましい。
【００３８】前記スライダが、ほぼボックス形状であ
り、前記第１及び第２のステップと共に、第１の切削幅
を有する工具によりスライダ材料による矩形面形状のバ
ーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に切削し
て規定された深さの溝を形成し、前記第１の切削幅より
小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置に
おいて前記長さ方向と垂直に切断することによって形成
されることが好ましい。
り、前記第１及び第２のステップと共に、第１の切削幅
を有する工具によりスライダ材料による矩形面形状のバ
ーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に切削し
て規定された深さの溝を形成し、前記第１の切削幅より
小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置に
おいて前記長さ方向と垂直に切断することによって形成
されることが好ましい。
【００３９】前記スライダが、ほぼボックス形状であ
り、前記第１、第２及び第３のステップと共に、第１の
切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形面形
状のバーを該バーの長さ方向と平行にある深さだけ切削
し、第２の切削幅を有する工具により該バーを該バーの
ある位置において長さ方向と垂直に切削してある深さの
溝を形成し、前記第２の切削幅より小さい第３の切削幅
を有する工具により前記バーを前記位置において前記長
さ方向と垂直に切断することによって形成されることが
好ましい。
り、前記第１、第２及び第３のステップと共に、第１の
切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形面形
状のバーを該バーの長さ方向と平行にある深さだけ切削
し、第２の切削幅を有する工具により該バーを該バーの
ある位置において長さ方向と垂直に切削してある深さの
溝を形成し、前記第２の切削幅より小さい第３の切削幅
を有する工具により前記バーを前記位置において前記長
さ方向と垂直に切断することによって形成されることが
好ましい。
【００４０】本発明によれば、一端がアクチュエータ基
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れ、かつ前記第１のアームが第１のアーム接着面を有
し、前記第２のアームが前記第１のアーム接着面とほぼ
反対方向にありかつほぼ平行な第２のアーム接着面を有
するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素
子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、前
記第１のアーム接着面に部分的に当接するようにかつ該
第１のアーム接着面と共に部分的窪みを提供するように
形付けられている第１の凹部を備えた第１のスライダ接
着面と、前記第２のアーム接着面に部分的に当接するよ
うにかつ該第２のアーム接着面と共に部分的窪みを提供
するように形付けられている第２の凹部を備えた第２の
スライダ接着面とを有するように前記スライダ素子を適
応させ、前記第１のスライダ接着面を前記第１のアーム
接着面に接着し、前記第２のスライダ接着面を前記第２
のアーム接着面に接着するアクチュエータ素子をスライ
ダ素子に取り付ける方法が提供される。
部に連結された第１のアームと一端が該アクチュエータ
基部に連結された第２のアームとから少なくとも形成さ
れ、かつ前記第１のアームが第１のアーム接着面を有
し、前記第２のアームが前記第１のアーム接着面とほぼ
反対方向にありかつほぼ平行な第２のアーム接着面を有
するようにほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素
子に取り付けられるようにスライダ素子を適応させ、前
記第１のアーム接着面に部分的に当接するようにかつ該
第１のアーム接着面と共に部分的窪みを提供するように
形付けられている第１の凹部を備えた第１のスライダ接
着面と、前記第２のアーム接着面に部分的に当接するよ
うにかつ該第２のアーム接着面と共に部分的窪みを提供
するように形付けられている第２の凹部を備えた第２の
スライダ接着面とを有するように前記スライダ素子を適
応させ、前記第１のスライダ接着面を前記第１のアーム
接着面に接着し、前記第２のスライダ接着面を前記第２
のアーム接着面に接着するアクチュエータ素子をスライ
ダ素子に取り付ける方法が提供される。
【００４１】前記アクチュエータ素子がマイクロアクチ
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
ュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップス
ライダであることが好ましい。
【００４２】前記マイクロアクチュエータが圧電マイク
ロアクチュエータであることが好ましい。
ロアクチュエータであることが好ましい。
【００４３】前記接着剤がエポキシであることが好まし
い。
い。
【００４４】前記第１のスライダ接着面が前記第１のア
ーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供
し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着
面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供すること
によって、エポキシのオーバーフローを阻止することが
好ましい。
ーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供
し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム接着
面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供すること
によって、エポキシのオーバーフローを阻止することが
好ましい。
【００４５】前記スライダが、ほぼボックス形状であ
り、第１の切削幅を有する工具により矩形面形状のバー
を該バーのある位置において長さ方向と垂直に規定され
た深さまで切削して規定された長さのスロットを該バー
に形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する
工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と
垂直に切断することによって形成されることが好まし
い。
り、第１の切削幅を有する工具により矩形面形状のバー
を該バーのある位置において長さ方向と垂直に規定され
た深さまで切削して規定された長さのスロットを該バー
に形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有する
工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向と
垂直に切断することによって形成されることが好まし
い。
【００４６】
【発明の実施の形態】図３は、本発明によるＵ形状マイ
クロアクチュエータを備えたハードディスク駆動装置の
ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
クロアクチュエータを備えたハードディスク駆動装置の
ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
【００４７】１つの実施形態において、スライダ３０２
は、２つの個所３０４において、Ｕ形状マイクロアクチ
ュエータ３０６に接着されている。さらに、１つの実施
形態では、Ｕ形状マイクロアクチュエータは、ジルコニ
ア支持フレーム（アクチュエータ基部）３０６の各側に
圧電ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）ビーム（アーム）
３０８を有している。
は、２つの個所３０４において、Ｕ形状マイクロアクチ
ュエータ３０６に接着されている。さらに、１つの実施
形態では、Ｕ形状マイクロアクチュエータは、ジルコニ
ア支持フレーム（アクチュエータ基部）３０６の各側に
圧電ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）ビーム（アーム）
３０８を有している。
【００４８】図４は、本発明によるＵ形状マイクロアク
チュエータを備えたスライダを詳細に示す分解図であ
る。
チュエータを備えたスライダを詳細に示す分解図であ
る。
【００４９】ＰＺＴ材料は異方性構造を有しており、こ
れにより正負イオン間の電荷分離が電気的双極動作を行
う。分極された圧電体間に電位が印加されると、ワイス
（Ｗｅｉｓｓ）領域は電圧に比例してその配向を増大さ
せ、その結果、ＰＺＴ材料の構造的な変形（即ち、部分
的な膨張／収縮）を発生させる。ＰＺＴ構造４０２が
（そろった状態で）曲がると、ＰＺＴ構造４０２に接着
されているジルコニアアーム４０４も曲がり、これによ
りマイクロアクチュエータ４０８に関するスライダ４０
６の位置が調整される（磁気ヘッドの精密な位置調整の
ため）。
れにより正負イオン間の電荷分離が電気的双極動作を行
う。分極された圧電体間に電位が印加されると、ワイス
（Ｗｅｉｓｓ）領域は電圧に比例してその配向を増大さ
せ、その結果、ＰＺＴ材料の構造的な変形（即ち、部分
的な膨張／収縮）を発生させる。ＰＺＴ構造４０２が
（そろった状態で）曲がると、ＰＺＴ構造４０２に接着
されているジルコニアアーム４０４も曲がり、これによ
りマイクロアクチュエータ４０８に関するスライダ４０
６の位置が調整される（磁気ヘッドの精密な位置調整の
ため）。
【００５０】図５は、エポキシなどの接着剤によりスラ
イダをＵ形状マイクロアクチュエータに接着する工程に
おいて生じる２つの異なる問題点を説明するための図で
ある。
イダをＵ形状マイクロアクチュエータに接着する工程に
おいて生じる２つの異なる問題点を説明するための図で
ある。
【００５１】Ｕ形状マイクロアクチュエータ５０２は、
エポキシによって２つの個所５０６でスライダ装置５０
４に接着される。
エポキシによって２つの個所５０６でスライダ装置５０
４に接着される。
【００５２】図５（Ａ）は、接着工程中のエポキシのオ
ーバーフローを含む１つの問題点を説明している。エポ
キシは硬化する間にその一部５０８がスライダ表面にオ
ーバーフローする可能性がある。スライダ装置の寸法が
非常に小さいことから、正確な量のエポキシ（又は他の
接着剤）を均一に供給することが難しい。余分なエポキ
シが供給されると、それは５０８に示すようにスライダ
表面にオーバーフローするかもしれない。このオーバー
フローはスライダ５０４の浮上量に影響を与える。即
ち、浮上量が高くなり過ぎて所望のトラックから外れる
磁気的干渉や、浮上量が低くなり過ぎてディスク表面が
損傷することを起し得る。
ーバーフローを含む１つの問題点を説明している。エポ
キシは硬化する間にその一部５０８がスライダ表面にオ
ーバーフローする可能性がある。スライダ装置の寸法が
非常に小さいことから、正確な量のエポキシ（又は他の
接着剤）を均一に供給することが難しい。余分なエポキ
シが供給されると、それは５０８に示すようにスライダ
表面にオーバーフローするかもしれない。このオーバー
フローはスライダ５０４の浮上量に影響を与える。即
ち、浮上量が高くなり過ぎて所望のトラックから外れる
磁気的干渉や、浮上量が低くなり過ぎてディスク表面が
損傷することを起し得る。
【００５３】図５（Ｂ）は、エポキシが所望の接着部５
０６を越えて、位置５１０へオーバーフローする問題点
を表している。この位置５１０にエポキシがオーバーフ
ローすることによって、マイクロアクチュエータ５０２
に対するスライダ５０４の動きが制限されるか又は（マ
イクロアクチュエータ５０２に対する）スライダ５０４
の動きがアシメトリ（非対称）となってしまう。
０６を越えて、位置５１０へオーバーフローする問題点
を表している。この位置５１０にエポキシがオーバーフ
ローすることによって、マイクロアクチュエータ５０２
に対するスライダ５０４の動きが制限されるか又は（マ
イクロアクチュエータ５０２に対する）スライダ５０４
の動きがアシメトリ（非対称）となってしまう。
【００５４】図６は、エポキシなどの接着剤を用いる場
合に生じる２つの他の問題点を説明するための図であ
る。
合に生じる２つの他の問題点を説明するための図であ
る。
【００５５】図６（Ａ）に示すように、エポキシが硬化
する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエータ６０
４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ６０４に
関するスライダ６０２の部分的なアシメトリが生じる。
これは、動作中に、スライダ６０２のマイクロアクチュ
エータ６０４に対する動き範囲を制限するなどの問題を
引き起こす。同様に、図６（Ｂ）に示すように、エポキ
シが硬化する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエ
ータ６０４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ
６０４に関するスライダ６０２の回転が生じる。これに
よって生じるスライダ６０２の向きの変化は、スライダ
６０２の浮上量及び浮上制御に悪影響を与える。さら
に、これは、スライダ６０２の動作中にスライダがサス
ペンションに接触してしまうことを招くかもしれない。
する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエータ６０
４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ６０４に
関するスライダ６０２の部分的なアシメトリが生じる。
これは、動作中に、スライダ６０２のマイクロアクチュ
エータ６０４に対する動き範囲を制限するなどの問題を
引き起こす。同様に、図６（Ｂ）に示すように、エポキ
シが硬化する間にスライダ６０２はマイクロアクチュエ
ータ６０４に対してシフトし、マイクロアクチュエータ
６０４に関するスライダ６０２の回転が生じる。これに
よって生じるスライダ６０２の向きの変化は、スライダ
６０２の浮上量及び浮上制御に悪影響を与える。さら
に、これは、スライダ６０２の動作中にスライダがサス
ペンションに接触してしまうことを招くかもしれない。
【００５６】図７は、図６で説明したスライダアシメト
リの問題点及びスライダ回転の問題点を解消するため
の、本発明による改善された構造を説明するための図で
ある。
リの問題点及びスライダ回転の問題点を解消するため
の、本発明による改善された構造を説明するための図で
ある。
【００５７】図７（Ａ）に示す第１の構造は、回転の問
題点及びアシメトリの問題点を解消する。本発明の１つ
の実施形態において、マイクロアクチュエータ７０４の
各アーム７０８上の突出部７０８を受ける凹領域７０２
がスライダ７０６の互いに反対側となる側面に設けられ
ている。これにより、マイクロアクチュエータに対する
Ｚ−Ｘ平面内又はＺ−Ｙ平面内におけるスライダの回転
動作を阻止することができる。
題点及びアシメトリの問題点を解消する。本発明の１つ
の実施形態において、マイクロアクチュエータ７０４の
各アーム７０８上の突出部７０８を受ける凹領域７０２
がスライダ７０６の互いに反対側となる側面に設けられ
ている。これにより、マイクロアクチュエータに対する
Ｚ−Ｘ平面内又はＺ−Ｙ平面内におけるスライダの回転
動作を阻止することができる。
【００５８】図７（Ｂ）に示す第２の構造は、回転の問
題点を解消する。本発明の１つの実施形態において、マ
イクロアクチュエータ７１４のアームにオーバーラップ
する縁部（ｌｉｐ）７１２を残して段（ステップ）７１
０がスライダ７０５の互いに反対側となる側面に設けら
れている（サイドステップスライダ）。これにより、マ
イクロアクチュエータに対するＺ−Ｙ平面内におけるス
ライダの回転動作を阻止することができる。
題点を解消する。本発明の１つの実施形態において、マ
イクロアクチュエータ７１４のアームにオーバーラップ
する縁部（ｌｉｐ）７１２を残して段（ステップ）７１
０がスライダ７０５の互いに反対側となる側面に設けら
れている（サイドステップスライダ）。これにより、マ
イクロアクチュエータに対するＺ−Ｙ平面内におけるス
ライダの回転動作を阻止することができる。
【００５９】図８は、スライダ回転の問題点及びエポキ
シなどの接着剤によりスライダ接着を行う際のオーバー
フローの問題点を解消するための、本発明による改善さ
れたさらなる構造を説明するための図である。
シなどの接着剤によりスライダ接着を行う際のオーバー
フローの問題点を解消するための、本発明による改善さ
れたさらなる構造を説明するための図である。
【００６０】図８（Ａ）に示す第３の構造は、第２の構
造と同じ方法で（図７（Ｂ）参照）回転の問題点を解消
する。さらに、１つの実施形態においては、サイドステ
ップスライダ８０４の前端部に追加の段（ステップ）８
０２が設けられており、これによってスライダ８０４の
重量が軽減し慣性力が低減するので、精度及び応答性を
改善することができる。
造と同じ方法で（図７（Ｂ）参照）回転の問題点を解消
する。さらに、１つの実施形態においては、サイドステ
ップスライダ８０４の前端部に追加の段（ステップ）８
０２が設けられており、これによってスライダ８０４の
重量が軽減し慣性力が低減するので、精度及び応答性を
改善することができる。
【００６１】図８（Ｂ）に示す第４の構造は、図５に示
しかつ既に説明したエポキシオーバーフローの問題点を
解消する。前述したように、スライダ８０６及びマイク
ロアクチュエータ８０８の寸法が非常に小さいことか
ら、正確な量のエポキシ（又は他の接着剤）を均一に供
給することは難しい。余分なエポキシが供給されると、
それは硬化中にスライダの表面にオーバーフローする
（図５参照）。本発明の１つの実施形態において、Ｚ方
向の深さが減少された凹領域８１０がスライダ８０６の
互いに反対側となる側面に設けられている。これによ
り、スライダ８０６とマイクロアクチュエータ８０８と
の間に、両者がアセンブルされた際、部分的な窪み８１
０が構成される。この部分的な窪み８１０は、エポキシ
がスライダ表面８０６に押し出されることを防ぐ。マイ
クロアクチュエータ８０８の各アームの突出部８１２
は、部分的な窪み８１０がＺ方向に減少された深さを有
するので、この部分的な窪み８１０内に入ることができ
ない。しかも、この部分的な窪み８１０がエポキシの溜
まるより大きな空間を提供するので、接着力を強化する
ことができる。
しかつ既に説明したエポキシオーバーフローの問題点を
解消する。前述したように、スライダ８０６及びマイク
ロアクチュエータ８０８の寸法が非常に小さいことか
ら、正確な量のエポキシ（又は他の接着剤）を均一に供
給することは難しい。余分なエポキシが供給されると、
それは硬化中にスライダの表面にオーバーフローする
（図５参照）。本発明の１つの実施形態において、Ｚ方
向の深さが減少された凹領域８１０がスライダ８０６の
互いに反対側となる側面に設けられている。これによ
り、スライダ８０６とマイクロアクチュエータ８０８と
の間に、両者がアセンブルされた際、部分的な窪み８１
０が構成される。この部分的な窪み８１０は、エポキシ
がスライダ表面８０６に押し出されることを防ぐ。マイ
クロアクチュエータ８０８の各アームの突出部８１２
は、部分的な窪み８１０がＺ方向に減少された深さを有
するので、この部分的な窪み８１０内に入ることができ
ない。しかも、この部分的な窪み８１０がエポキシの溜
まるより大きな空間を提供するので、接着力を強化する
ことができる。
【００６２】図９は、本発明による第１の構造の製造工
程を説明する図である。１つの実施形態において、スラ
イダ材料によるローバー９０４を切断するために切削砥
石車（切削ホイール）９０２が用いられる。バー９０４
はその軸方向（長さ方向）と垂直な方向に切断される
（９０６参照）。１つの実施形態において、この処理が
繰り返され（９０８参照）、個々のサブバーが接着剤に
よって再連結される（９１０参照）。１つの実施形態に
おいては、再連結されたバー９１８の一方の側面に浅い
溝９１３が縦方向に切削形成され、次いで、再連結され
たバー９１８の他方の側面９１５にも同様の浅い溝が切
削形成される（９１２参照）。次いで、再連結されたバ
ー９１８から複数のサブバーに分離するによって個々の
スライダ９１６を形成する。各スライダ９１６は、Ｕ形
状のマイクロアクチュエータ（図示なし）と連結される
各側面に適切な凹領域９１７を有している（９１４参
照）。
程を説明する図である。１つの実施形態において、スラ
イダ材料によるローバー９０４を切断するために切削砥
石車（切削ホイール）９０２が用いられる。バー９０４
はその軸方向（長さ方向）と垂直な方向に切断される
（９０６参照）。１つの実施形態において、この処理が
繰り返され（９０８参照）、個々のサブバーが接着剤に
よって再連結される（９１０参照）。１つの実施形態に
おいては、再連結されたバー９１８の一方の側面に浅い
溝９１３が縦方向に切削形成され、次いで、再連結され
たバー９１８の他方の側面９１５にも同様の浅い溝が切
削形成される（９１２参照）。次いで、再連結されたバ
ー９１８から複数のサブバーに分離するによって個々の
スライダ９１６を形成する。各スライダ９１６は、Ｕ形
状のマイクロアクチュエータ（図示なし）と連結される
各側面に適切な凹領域９１７を有している（９１４参
照）。
【００６３】図１０は、本発明による第２の構造の製造
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１００４に溝１００６を切削
形成するために切削ホイール１００２が用いられる（１
００８参照）。バー１００４はその軸方向（長さ方向）
と垂直な方向に規定された深さだけ切削され、これによ
り上述の溝１００６が形成される。１つの実施形態にお
いて、溝間が所定長だけ離れるようにこの処理が繰り返
される（１０１０参照）。１つの実施形態においては、
次いで、厚さがより薄い切削ホイール１０１８によって
バー１００４が完全に切断され、各分離されたユニット
にステップ１０２０が形成される（１０１２参照）。こ
の処理が繰り返され（１０１４参照）、ステップ１０２
４が各側面に形成された個々のサイドステップスライダ
１０２２が得られる（１０１６参照）。
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１００４に溝１００６を切削
形成するために切削ホイール１００２が用いられる（１
００８参照）。バー１００４はその軸方向（長さ方向）
と垂直な方向に規定された深さだけ切削され、これによ
り上述の溝１００６が形成される。１つの実施形態にお
いて、溝間が所定長だけ離れるようにこの処理が繰り返
される（１０１０参照）。１つの実施形態においては、
次いで、厚さがより薄い切削ホイール１０１８によって
バー１００４が完全に切断され、各分離されたユニット
にステップ１０２０が形成される（１０１２参照）。こ
の処理が繰り返され（１０１４参照）、ステップ１０２
４が各側面に形成された個々のサイドステップスライダ
１０２２が得られる（１０１６参照）。
【００６４】図１１は、本発明による第３の構造の製造
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１１０４に規定された深さの
ステップ１１３２を切削形成するために切削ホイール１
１３０が用いられる（１１０７参照）。次いで、第２の
構造の製造工程と同様に、バー１１０４に溝１１０６を
切削形成するために切削ホイール１１０２が用いられる
（１１０８参照）。溝間が所定長だけ離れるようにこの
処理が繰り返される（１１１０参照）。１つの実施形態
においては、次いで、厚さがより薄い切削ホイール１１
１８によってバー１１０４が完全に切断され、各分離さ
れたユニットにステップ１１２０が形成される（１１１
２参照）。この処理が繰り返され、ステップが２つの側
面（サイドステップ）及び前端部にそれぞれ形成された
個々のスライダ１１２２が得られる（１１１４参照）。
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１１０４に規定された深さの
ステップ１１３２を切削形成するために切削ホイール１
１３０が用いられる（１１０７参照）。次いで、第２の
構造の製造工程と同様に、バー１１０４に溝１１０６を
切削形成するために切削ホイール１１０２が用いられる
（１１０８参照）。溝間が所定長だけ離れるようにこの
処理が繰り返される（１１１０参照）。１つの実施形態
においては、次いで、厚さがより薄い切削ホイール１１
１８によってバー１１０４が完全に切断され、各分離さ
れたユニットにステップ１１２０が形成される（１１１
２参照）。この処理が繰り返され、ステップが２つの側
面（サイドステップ）及び前端部にそれぞれ形成された
個々のスライダ１１２２が得られる（１１１４参照）。
【００６５】図１２は、本発明による第４の構造の製造
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１２０４に半径が減少してい
くスリット１２０６を切削形成するために丸いエッジを
備えた切削ホイール１２０２が用いられる（１２０８参
照）。バー１２０４はその軸方向（長さ方向）と垂直な
方向に規定された深さかつ規定された距離だけ切削さ
れ、これにより上述のスリット１２０６が形成される。
１つの実施形態において、スリット間が所定長だけ離れ
るようにこの処理が繰り返される（１２１０参照）。１
つの実施形態においては、次いで、厚さがより薄い切削
ホイール１２１８によってバー１２０４が完全に切断さ
れ、各分離されたユニットに深さが減少していく凹領域
（平面）１２２０が形成される（１２１２参照）。この
処理が繰り返され（１２１４参照）、凹領域１２２４が
各側面に形成された個々のスライダ１２２２が得られる
（１２１６参照）。
工程を説明する図である。１つの実施形態において、ス
ライダ材料によるローバー１２０４に半径が減少してい
くスリット１２０６を切削形成するために丸いエッジを
備えた切削ホイール１２０２が用いられる（１２０８参
照）。バー１２０４はその軸方向（長さ方向）と垂直な
方向に規定された深さかつ規定された距離だけ切削さ
れ、これにより上述のスリット１２０６が形成される。
１つの実施形態において、スリット間が所定長だけ離れ
るようにこの処理が繰り返される（１２１０参照）。１
つの実施形態においては、次いで、厚さがより薄い切削
ホイール１２１８によってバー１２０４が完全に切断さ
れ、各分離されたユニットに深さが減少していく凹領域
（平面）１２２０が形成される（１２１２参照）。この
処理が繰り返され（１２１４参照）、凹領域１２２４が
各側面に形成された個々のスライダ１２２２が得られる
（１２１６参照）。
【００６６】以上述べたいくつかの実施形態は全て本発
明を例示的に示すものであって限定的に示すものではな
く、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施す
ることができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲
及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
明を例示的に示すものであって限定的に示すものではな
く、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施す
ることができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲
及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図１】磁気ハードディスクから読出しを行うと共に磁
気ハードディスクへ書込みを行うように構成された従来
の駆動アームを説明する図である。
気ハードディスクへ書込みを行うように構成された従来
の駆動アームを説明する図である。
【図２】従来用いられていたマイクロアクチュエータを
説明する図である。
説明する図である。
【図３】本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを
備えたハードディスク駆動装置のヘッドジンバルアセン
ブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
備えたハードディスク駆動装置のヘッドジンバルアセン
ブリ（ＨＧＡ）を示す図である。
【図４】本発明によるＵ形状マイクロアクチュエータを
備えたスライダを詳細に示す分解図である。
備えたスライダを詳細に示す分解図である。
【図５】エポキシなどの接着剤によりスライダをＵ形状
マイクロアクチュエータに接着する工程において生じる
２つの異なる問題点を説明するための図である。
マイクロアクチュエータに接着する工程において生じる
２つの異なる問題点を説明するための図である。
【図６】エポキシなどの接着剤を用いる場合に生じる２
つの他の問題点を説明するための図である。
つの他の問題点を説明するための図である。
【図７】スライダアシメトリの問題点及びスライダ回転
の問題点を解消するための、本発明による改善された構
造を説明するための図である。
の問題点を解消するための、本発明による改善された構
造を説明するための図である。
【図８】スライダ回転の問題点及び接着剤オーバーフロ
ーの問題点を解消するための、本発明による改善された
構造を説明するための図である。
ーの問題点を解消するための、本発明による改善された
構造を説明するための図である。
【図９】本発明による第１の構造の製造工程を説明する
図である。
図である。
【図１０】本発明による第２の構造の製造工程を説明す
る図である。
る図である。
【図１１】本発明による第３の構造の製造工程を説明す
る図である。
る図である。
【図１２】本発明による第４の構造の製造工程を説明す
る図である。
る図である。
１００ 磁気ハードディスク
１０２ ＶＣＭ
１０４ 駆動アーム
１０８ 記録ヘッド
１１０ マイクロアクチュエータ
２０２、３０２、４０６、５０４、６０２、７０５、７
０６、８０４、８０６、９１６、１０２２、１１２２、
１２２２ スライダ ２０４ 可撓性ビーム ２０６ 支持部材 ２０８ スライダ抑制機構 ３０４、５０６ 個所 ３０６、４０８、５０２、６０４、７０４、７１４、８
０８ Ｕ形状マイクロアクチュエータ ３０８ 圧電ＰＺＴビーム ４０２ ＰＺＴ構造 ４０４ ジルコニアアーム ５０６ 接着部 ５０８ スライダ表面のオーバーフロー ５１０ 位置 ７０２、８１０、９１７、１２２０ 凹領域 ７０８、８１２ 突出部 ７１０、１０２０、１１２０、１１３２ ステップ ７１２ 縁部 ８０２ 追加のステップ ９０２、１００２、１０１８、１１０２、１１３０、１
２０４ 切削ホイール ９０４、１００４、１１０４、１２０４ ローバー ９１３ 浅い溝 ９１５ 側面 ９１８ 再連結されたバー １００６、１１０６ 溝 １１１８、１２１８ 厚さがより薄い切削ホイール １２０６ スリット
０６、８０４、８０６、９１６、１０２２、１１２２、
１２２２ スライダ ２０４ 可撓性ビーム ２０６ 支持部材 ２０８ スライダ抑制機構 ３０４、５０６ 個所 ３０６、４０８、５０２、６０４、７０４、７１４、８
０８ Ｕ形状マイクロアクチュエータ ３０８ 圧電ＰＺＴビーム ４０２ ＰＺＴ構造 ４０４ ジルコニアアーム ５０６ 接着部 ５０８ スライダ表面のオーバーフロー ５１０ 位置 ７０２、８１０、９１７、１２２０ 凹領域 ７０８、８１２ 突出部 ７１０、１０２０、１１２０、１１３２ ステップ ７１２ 縁部 ８０２ 追加のステップ ９０２、１００２、１０１８、１１０２、１１３０、１
２０４ 切削ホイール ９０４、１００４、１１０４、１２０４ ローバー ９１３ 浅い溝 ９１５ 側面 ９１８ 再連結されたバー １００６、１１０６ 溝 １１１８、１２１８ 厚さがより薄い切削ホイール １２０６ スリット
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フロントページの続き
(72)発明者 白石 一雅
中華人民共和国， グアンドン プロヴィ
ンス， ドンガン シティ， ナンチェ
ン， ウィナーウェイ インダストリアル
エリア
Ｆターム(参考） 5D042 AA07 DA12 GA01 KA05 NA02
TA01
5D059 AA01 BA01 CA02 CA18 DA04
DA19 DA26 EA02 EA05
5D096 NN03 NN07
Claims (38)
- 【請求項１】 一端がアクチュエータ基部に連結された
第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結され
た第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形状
の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられるべ
く適合されたスライダ素子を備えており、前記第１のア
ームが第１の形状の第１の突出部を有しており、前記第
２のアームが前記第１の突出部とほぼ反対方向にありか
つほぼ平行な第２の形状の第２の突出部を有しており、
前記スライダ素子が、前記第１の突出部を回転不可能な
結合で受け入れるように形付けられている第１の凹部を
具備する第１の面と、前記第２の突出部を回転不可能な
結合で受け入れるように形付けられている第２の凹部を
具備する第２の面とを有しており、前記第１の突出部が
前記第１の凹部内で接着剤により接着され、前記第２の
突出部が前記第２の凹部内で前記接着剤により接着され
るように構成されていることを特徴とするアクチュエー
タ素子をスライダ素子に取り付けるシステム。 - 【請求項２】 前記アクチュエータ素子がマイクロアク
チュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップ
スライダであることを特徴とする請求項１に記載のシス
テム。 - 【請求項３】 前記マイクロアクチュエータが圧電マイ
クロアクチュエータであることを特徴とする請求項２に
記載のシステム。 - 【請求項４】 前記接着剤がエポキシであることを特徴
とする請求項３に記載のシステム。 - 【請求項５】 前記第１の凹部に対する前記第１の突出
部の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出部
の形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スライ
ダの回転運動を阻止するものであることを特徴とする請
求項４に記載のシステム。 - 【請求項６】 一端がアクチュエータ基部に連結された
第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結され
かつ前記第１のアームにほぼ平行な第２のアームとから
少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアクチ
ュエータ素子に取り付けられるべく適合されたスライダ
素子を備えており、前記スライダ素子が、第１のステッ
プを形成する第１の凹状の平面と、前記アクチュエータ
を回転不可能な結合で受け入れるべく前記第１のステッ
プとはほぼ反対方向にある第２のステップを形成する第
２の凹状の平面とを有しており、前記第１のステップが
前記第１のアームを受け入れ、前記第２のステップが前
記第２のアームを受け入れ、前記第１のアームが前記第
１のステップ内で接着剤により接着され、前記第２のア
ームが前記第２のステップ内で前記接着剤により接着さ
れるように構成されていることを特徴とするアクチュエ
ータ素子をスライダ素子に取り付けるシステム。 - 【請求項７】 前記アクチュエータ素子がマイクロアク
チュエータであり、前記スライダ素子がサイドステップ
スライダであることを特徴とする請求項６に記載のシス
テム。 - 【請求項８】 前記マイクロアクチュエータが圧電マイ
クロアクチュエータであることを特徴とする請求項７に
記載のシステム。 - 【請求項９】 前記接着剤がエポキシであることを特徴
とする請求項８に記載のシステム。 - 【請求項１０】 前記第１のステップの前記第１のアー
ムの受け入れ及び前記第２のステップの前記第２のアー
ムの受け入れが、前記エポキシの硬化工程における前記
スライダの回転運動を阻止するものであることを特徴と
する請求項９に記載のシステム。 - 【請求項１１】 前記スライダが、前記第１及び第２の
ステップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の
凹状の平面を有していることを特徴とする請求項１０に
記載のシステム。 - 【請求項１２】 前記スライダが、スライダ重量を低減
するために、前記第３のステップを形成する前記第３の
凹状の平面を有していることを特徴とする請求項１１に
記載のシステム。 - 【請求項１３】 一端がアクチュエータ基部に連結され
た第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結さ
れた第２のアームとから少なくとも形成されたほぼＵ形
状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けられる
べく適合されたスライダ素子を備えており、前記第１の
アームが第１のアーム接着面を有しており、前記第２の
アームが前記第１のアーム接着面とほぼ反対方向にあり
かつほぼ平行な第２のアーム接着面を有しており、前記
スライダ素子が、前記第１のアーム接着面に部分的に当
接するようにかつ該第１のアーム接着面と共に部分的窪
みを提供するように形付けられている第１の凹部を備え
た第１のスライダ接着面と、前記第２のアーム接着面に
部分的に当接するようにかつ該第２のアーム接着面と共
に部分的窪みを提供するように形付けられている第２の
凹部を備えた第２のスライダ接着面とを有しており、前
記第１のスライダ接着面が前記第１のアーム接着面に接
着され、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム
接着面に接着されるように構成されていることを特徴と
するアクチュエータ素子をスライダ素子に取り付けるシ
ステム。 - 【請求項１４】 前記アクチュエータ素子がマイクロア
クチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステッ
プスライダであることを特徴とする請求項１３に記載の
システム。 - 【請求項１５】 前記マイクロアクチュエータが圧電マ
イクロアクチュエータであることを特徴とする請求項１
４に記載のシステム。 - 【請求項１６】 前記接着剤がエポキシであることを特
徴とする請求項１５に記載のシステム。 - 【請求項１７】 前記第１のスライダ接着面が前記第１
のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを
提供し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム
接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供する
ことによって、エポキシのオーバーフローを阻止するこ
とを特徴とする請求項１６に記載のシステム。 - 【請求項１８】 一端がアクチュエータ基部に連結され
た第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結さ
れた第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記
第１のアームが第１の形状の第１の突出部を有し、前記
第２のアームが前記第１の突出部とほぼ反対方向にあり
かつほぼ平行な第２の形状の第２の突出部を有するよう
にほぼＵ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り
付けられるようにスライダ素子を適応させ、 前記第１の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第１の凹部を具備する第１の面と、
前記第２の突出部を回転不可能な結合で受け入れるよう
に形付けられている第２の凹部を具備する第２の面とを
有するように前記スライダ素子を適応させ、 前記第１の突出部を前記第１の凹部内で接着剤により接
着し、 前記第２の突出部が前記第２の凹部内で前記接着剤によ
り接着することを特徴とするアクチュエータ素子をスラ
イダ素子に取り付ける方法。 - 【請求項１９】 前記アクチュエータ素子がマイクロア
クチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステッ
プスライダであることを特徴とする請求項１８に記載の
方法。 - 【請求項２０】 前記マイクロアクチュエータが圧電マ
イクロアクチュエータであることを特徴とする請求項１
９に記載の方法。 - 【請求項２１】 前記接着剤がエポキシであることを特
徴とする請求項２０に記載の方法。 - 【請求項２２】 前記第１の凹部に対する前記第１の突
出部の形状及び前記第２の凹部に対する前記第２の突出
部の形状が、前記エポキシの硬化工程における前記スラ
イダの回転運動を阻止するものであることを特徴とする
請求項２１に記載の方法。 - 【請求項２３】 前記スライダが、ほぼボックス形状で
あり、前記第１及び第２の凹部と共に、スライダ材料に
よる矩形面形状の大きなバーを該大きなバーの長さ方向
に垂直に切断して前記大きなバーの前記長さ方向とは垂
直な長さ方向を有する矩形面形状の小さなバーを形成
し、該小さなバーの第１の面に沿って規定された縦方向
深さだけ切削することにより前記第１の凹部を形成し、
該小さなバーの前記第１の面とほぼ平行な第２の面に沿
って前記規定された縦方向深さだけ切削することにより
前記第２の凹部を形成し、前記小さなバーを該小さなバ
ーの長さ方向と垂直に切断することによって形成される
ことを特徴とする請求項１８に記載の方法。 - 【請求項２４】 一端がアクチュエータ基部に連結され
た第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結さ
れかつ前記第１のアームにほぼ平行な第２のアームとか
ら少なくとも形成されたほぼＵ形状の構造を有するアク
チュエータ素子に取り付けられるべくスライダ素子を適
応させ、 第１のステップを形成する第１の凹状の平面と、前記ア
クチュエータを回転不可能な結合で受け入れるべく前記
第１のステップとはほぼ反対方向にある第２のステップ
を形成する第２の凹状の平面とを有し、前記第１のステ
ップが前記第１のアームを受け入れかつ前記第２のステ
ップが前記第２のアームを受け入れるように前記スライ
ダ素子を適応させ、 前記第１のアームを前記第１のステップ内で接着剤によ
り接着し、 前記第２のアームを前記第２のステップ内で前記接着剤
により接着することを特徴とするアクチュエータ素子を
スライダ素子に取り付ける方法。 - 【請求項２５】 前記アクチュエータ素子がマイクロア
クチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステッ
プスライダであることを特徴とする請求項２４に記載の
方法。 - 【請求項２６】 前記マイクロアクチュエータが圧電マ
イクロアクチュエータであることを特徴とする請求項２
５に記載の方法。 - 【請求項２７】 前記接着剤がエポキシであることを特
徴とする請求項２６に記載の方法。 - 【請求項２８】 前記第１のステップが前記第１のアー
ムを受け入れ、前記第２のステップが前記第２のアーム
を受け入れることにより、前記エポキシの硬化工程にお
ける前記スライダの回転運動を阻止することを特徴とす
る請求項２７に記載の方法。 - 【請求項２９】 前記スライダが、前記第１及び第２の
ステップとほぼ垂直な第３のステップを形成する第３の
凹状の平面を有していることを特徴とする請求項２８に
記載の方法。 - 【請求項３０】 前記スライダが、スライダ重量を低減
するために、前記第３のステップを形成する前記第３の
凹状の平面を有していることを特徴とする請求項２９に
記載の方法。 - 【請求項３１】 前記スライダが、ほぼボックス形状で
あり、前記第１及び第２のステップと共に、第１の切削
幅を有する工具によりスライダ材料による矩形面形状の
バーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に切削
して規定された深さの溝を形成し、前記第１の切削幅よ
り小さい切削幅を有する工具により前記バーを前記位置
において前記長さ方向と垂直に切断することによって形
成されることを特徴とする請求項２４に記載の方法。 - 【請求項３２】 前記スライダが、ほぼボックス形状で
あり、前記第１、第２及び第３のステップと共に、第１
の切削幅を有する工具によりスライダ材料による矩形面
形状のバーを該バーの長さ方向と平行にある深さだけ切
削し、第２の切削幅を有する工具により該バーを該バー
のある位置において長さ方向と垂直に切削してある深さ
の溝を形成し、前記第２の切削幅より小さい第３の切削
幅を有する工具により前記バーを前記位置において前記
長さ方向と垂直に切断することによって形成されること
を特徴とする請求項３０に記載の方法。 - 【請求項３３】 一端がアクチュエータ基部に連結され
た第１のアームと一端が該アクチュエータ基部に連結さ
れた第２のアームとから少なくとも形成され、かつ前記
第１のアームが第１のアーム接着面を有し、前記第２の
アームが前記第１のアーム接着面とほぼ反対方向にあり
かつほぼ平行な第２のアーム接着面を有するようにほぼ
Ｕ形状の構造を有するアクチュエータ素子に取り付けら
れるようにスライダ素子を適応させ、 前記第１のアーム接着面に部分的に当接するようにかつ
該第１のアーム接着面と共に部分的窪みを提供するよう
に形付けられている第１の凹部を備えた第１のスライダ
接着面と、前記第２のアーム接着面に部分的に当接する
ようにかつ該第２のアーム接着面と共に部分的窪みを提
供するように形付けられている第２の凹部を備えた第２
のスライダ接着面とを有するように前記スライダ素子を
適応させ、 前記第１のスライダ接着面を前記第１のアーム接着面に
接着し、 前記第２のスライダ接着面を前記第２のアーム接着面に
接着することを特徴とするアクチュエータ素子をスライ
ダ素子に取り付ける方法。 - 【請求項３４】 前記アクチュエータ素子がマイクロア
クチュエータであり、前記スライダ素子がサイドステッ
プスライダであることを特徴とする請求項３３に記載の
方法。 - 【請求項３５】 前記マイクロアクチュエータが圧電マ
イクロアクチュエータであることを特徴とする請求項３
４に記載の方法。 - 【請求項３６】 前記接着剤がエポキシであることを特
徴とする請求項３５に記載の方法。 - 【請求項３７】 前記第１のスライダ接着面が前記第１
のアーム接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを
提供し、前記第２のスライダ接着面が前記第２のアーム
接着面に部分的に当接されて前記部分的窪みを提供する
ことによって、エポキシのオーバーフローを阻止するこ
とを特徴とする請求項３６に記載の方法。 - 【請求項３８】 前記スライダが、ほぼボックス形状で
あり、第１の切削幅を有する工具により矩形面形状のバ
ーを該バーのある位置において長さ方向と垂直に規定さ
れた深さまで切削して規定された長さのスロットを該バ
ーに形成し、前記第１の切削幅より小さい切削幅を有す
る工具により前記バーを前記位置において前記長さ方向
と垂直に切断することによって形成されることを特徴と
する請求項３２に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/CN2001/001527 WO2003041062A1 (en) | 2001-11-03 | 2001-11-03 | Method and apparatus for improved attachment of a micro-actuator to a slider device |
| CN01/01527 | 2001-11-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003203319A true JP2003203319A (ja) | 2003-07-18 |
| JP4374841B2 JP4374841B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
ID=4574878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002319837A Expired - Lifetime JP4374841B2 (ja) | 2001-11-03 | 2002-11-01 | マイクロアクチュエータをスライダ装置へ取り付ける方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6751069B2 (ja) |
| JP (1) | JP4374841B2 (ja) |
| CN (1) | CN1232952C (ja) |
| WO (1) | WO2003041062A1 (ja) |
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