JP2003197851A - 半導体装置および混成半導体装置 - Google Patents

半導体装置および混成半導体装置

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JP2003197851A
JP2003197851A JP2001397065A JP2001397065A JP2003197851A JP 2003197851 A JP2003197851 A JP 2003197851A JP 2001397065 A JP2001397065 A JP 2001397065A JP 2001397065 A JP2001397065 A JP 2001397065A JP 2003197851 A JP2003197851 A JP 2003197851A
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power supply
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Koichi Matsumoto
光市 松本
So Nakayama
創 中山
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 最新世代の半導体チップのような特定の半導
体装置における入出力ポートの個数や種類を少ないもの
に保ちつつ、多種類(多世代)の電源電圧や電圧レベル
に対応して用いられる半導体装置および混成半導体装置
を提供する。 【解決手段】 信号電圧レベル変換回路206が、特定
半導体装置100の採用している所定の電圧レベル(V
s1)とは異なった電圧レベル(Vs2、Vs3…)の信号
(SVs2、SVs3…)を受けて、その信号を所定の電圧
レベル(Vs1)に変換して特定半導体装置100へと出
力する、および/または特定半導体装置100から出力
される所定の電圧レベル(Vs1)の信号(SVs1)をそ
の所定の電圧レベル(Vs1)とは異なった電圧レベル
(Vs2、Vs3…)に変換し、特定半導体装置100とは
別の例えば第2の半導体装置120などへと入力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置および例
えばハイブリッドICやMCM(Multi Chip Module )
のような混成半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、特にCMOS−LSI(CMOS
高集積回路)のような主にデジタル信号を扱う半導体装
置では、配線や構造のさらなる微細化に伴って、いわゆ
るスケーリング則と呼ばれるような比例縮小則やさらな
る低消費電力化に対応するために、電源電圧や信号電圧
レベルのさらなる低電圧化が進められている。
【0003】すなわち、CMOS−ロジックLSIのよ
うな半導体装置の内部構造のさらなる微細化が進むにつ
れて、以前は5[V]台であった電源電圧や信号電圧レ
ベルが、次の世代では3[V]台に、その次の世代では
2[V]台に推移して来ており、そしてさらに次の世代
では1[V]台へと進むというように、新世代の半導体
装置ほど、配線や構造の微細化に伴って低電圧化が進ん
で行くことは避けられない傾向にある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、そのような
半導体装置を多数個組み合わせて用いて構築されるシス
テムでは一般に、必ずしも同世代の半導体装置のみを用
いているわけではなく、むしろ必要に応じて最新世代の
半導体装置と、それほど新世代ではなくとも構わないも
のについては旧世代の半導体装置とを組み合わせて用い
る場合が多い。
【0005】このため、一つのシステムを構築するため
に用いられるそれぞれの世代の半導体装置ごとに対応し
た電源電圧を用意しなければならないので、一つのシス
テムに複数の電圧レベルの電源や電源配線等を用意しな
ければならず、それだけでも配線やシステム構成が煩雑
なものとなる。
【0006】また、電源電圧が異なれば、それを用いて
半導体装置は動作するのであるから、その異なった電源
電圧ごとで信号電圧レベルも異なったものとなり、一つ
のシステム内で複数の信号電圧レベルが混在することと
なる。このため、電源電圧の設定の異なった半導体装置
どうしの間で信号のやりとり(入出力)を行うために
は、その異なった電源電圧あるいは異なった信号電圧レ
ベルの種類に対応した個数の入力ポート(換言すれば実
装されたLSIでは入力ピン)や出力ポート(出力ピ
ン)が各半導体装置に必要となる。特にロジックLSI
では近年、例えば1000ピンあるいはさらにそれ以上
といった超多ピン化(超多ポート化)が進む傾向にある
ことから、それらの入出力ピンは、世代ごとで異なった
電源電圧あるいは異なった信号電圧レベルの種類に対応
して2倍、3倍…のようにさらに増加して、さらなる超
多ピン化(超多ポート化)が助長されてしまう。あるい
はそれほど極端ではなくとも、高集積回路では一般に多
ピン化が進む傾向にあり、またできるだけ少ない入出力
ピン数であることが望ましいが、それを達成することに
対して著しい妨げとなってしまう。
【0007】特に、最も配線の微細化が進んでいる、従
って最も製造歩留まりの問題など製造プロセス上の困難
さが多くて製造コストが高くなる傾向にある最新世代の
半導体装置ほど、前述したように電源電圧や信号の低電
圧レベル化が進んでいるので、最も多種類の(前世代
の)電圧に対応することが要求されることとなる。
【0008】このため、最も多種類の信号用入力ポート
や信号用出力ポートあるいは電源用入力ポート等が必要
となり、そのような多種類の入出力ポートを一つの最新
世代の半導体チップなどに作り込むためには、その種類
に対応した多種類の膜厚や絶縁耐圧性能を備えたマルチ
酸化膜等の構造を形成するための煩雑なプロセスを追加
しなければならなくなり、元より煩雑で高コストな製造
プロセスをさらに煩雑で高コストなものとすることにな
り、極めて不都合である。また、そのように多数の入出
力ポートを一つの半導体チップに作り込むと、その多数
の入出力ポートの占有面積によって、本来の信号処理の
ために機能する回路構造を作り込むための実質的な有効
利用可能面積が少なくなってしまうという問題がある。
【0009】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、最新世代の半導体チップのような特
定の半導体装置における入出力ポートの個数や種類を少
ないものに保ちつつ、多種類(多世代)の電源電圧や電
圧レベルに対応することを可能とする半導体装置および
混成半導体装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明による第1の半導
体装置は、所定の電圧レベルの信号の出力を行うおよび
/または入力を受けるように設定された(換言すれば、
所定の電圧レベルの信号の出力または入力のうち、少な
くともいずれか一方または両方が可能である、というこ
と;以下同様)半導体装置に対して少なくとも接続され
て用いられる(換言すれば、そのような特定の半導体装
置に接続され、またそれ以外の異なった電圧レベルの信
号の入力や出力を行う半導体装置にも接続されることも
可能である、ということ;以下同様)、前記の半導体装
置(これを、以下では特定半導体装置と呼ぶ場合あり)
とは別体の半導体装置であって、所定の電圧レベルとは
異なった電圧レベルの信号を受けてその信号を所定の電
圧レベルに変換して出力する、および/または所定の電
圧レベルの信号をその所定の電圧レベルとは異なった電
圧レベルに変換して出力する信号電圧レベル変換回路を
備えている。
【0011】また、本発明による第2の半導体装置は、
所定のクロック周波数の信号の出力を行うおよび/また
は入力を受けるように設定された半導体装置に対して少
なくとも接続されて用いられる、特定半導体装置とは別
体の半導体装置であって、所定のクロック周波数とは異
なったクロック周波数の信号を受けてその信号を所定の
クロック周波数に変換して出力する、および/または所
定のクロック周波数の信号をその所定のクロック周波数
とは異なるクロック周波数に変換して出力する、クロッ
ク周波数変換回路を備えている。
【0012】本発明による第1の混成半導体装置は、所
定の電圧レベルの信号の出力を行うおよび/または入力
を受けるように設定された特定半導体装置と、その所定
の電圧レベルとは異なった電圧レベルの信号を受けて
(例えば前記の特定半導体装置とは別の半導体装置など
から受けて;以下同様)、その信号を所定の電圧レベル
に変換して特定半導体装置へと入力する、および/また
は前記特定半導体装置から出力される信号を前記所定の
電圧レベルの信号とは異なる電圧レベルに変換して出力
する(そしてその出力は、例えば前記の特定半導体装置
とは別の異なった電圧レベルを採用している半導体装置
などに対して入力される;以下同様)信号電圧レベル変
換回路を有する変換用半導体装置とを備えている。
【0013】また、本発明による第2の混成半導体装置
は、所定の電圧レベルの電源電圧を受けて動作するよう
に設定された特定半導体装置と、その所定の電圧レベル
とは異なった電圧レベルの電源電圧を受けて、その電源
電圧を所定の電圧レベルに変換して特定半導体装置へと
入力する電源電圧レベル変換回路を有する変換用半導体
装置とを備えている。
【0014】また、本発明による第3の混成半導体装置
は、所定のクロック周波数の信号の出力を行うおよび/
または入力を受けるように設定された特定半導体装置
と、所定のクロック周波数とは異なったクロック周波数
の信号を受けて、その信号を所定のクロック周波数に変
換して特定半導体装置へと入力する、および/または特
定半導体装置から出力される信号を所定のクロック周波
数の信号とは異なるクロック周波数に変換して出力する
クロック周波数変換回路を有する変換用半導体装置とを
備えている。
【0015】本発明による第1の半導体装置または本発
明による第1の混成半導体装置では、信号電圧レベル変
換回路が、特定半導体装置の採用している所定の電圧レ
ベルとは異なった電圧レベルの信号を受けて、その信号
を所定の電圧レベルに変換して特定半導体装置へと出力
する、および/または特定半導体装置から出力される所
定の電圧レベルの信号をその所定の電圧レベルとは異な
った電圧レベルに変換して出力して、特定半導体装置と
は別の半導体装置などへと入力する。このとき、特定半
導体装置には、少なくとも所定の電圧レベルの入力ポー
トや出力ポートあるいはそれらを兼用する入出力ポート
(このポートとは、換言すれば、端子またはピンまたは
パッドなど;以下同様)が設けられているだけで済む。
【0016】本発明による第2の混成半導体装置では、
変換用半導体装置が、特定半導体装置の採用している所
定の電圧レベルとは異なった電圧レベルの電源電圧を受
けて、その電源電圧を所定の電圧レベルに変換して特定
半導体装置へと出力する。このとき、特定半導体装置に
は、少なくとも電源電圧入力ポートと、所定の電圧レベ
ルの出力ポートとが設けられているだけで済む。
【0017】本発明による第2の半導体装置または本発
明による第3の混成半導体装置では、クロック周波数変
換回路が、特定半導体装置の採用している所定のクロッ
ク周波数とは異なったクロック周波数の信号を受けて、
その信号を所定のクロック周波数に変換して特定半導体
装置へと出力する、および/または特定半導体装置から
出力される所定のクロック周波数の信号をその所定のク
ロック周波数とは異なったクロック周波数に変換して出
力して、特定半導体装置とは別の半導体装置などへと入
力する。このとき、特定半導体装置には、少なくとも所
定のクロック周波数の信号の入力ポートや出力ポートあ
るいはそれらを兼用する入出力ポートが設けられている
だけで済む。
【0018】なお、上記のような第1の半導体装置また
は第2の半導体装置においては、所定の電圧レベルとは
異なった電圧レベルの電源電圧を受けてその電源電圧を
前記所定の電圧レベルに変換して出力する電源電圧レベ
ル変換回路を、さらに備えるようにしてもよい。このよ
うにすることにより、さらに電源電圧についても、特定
半導体装置が採用している所定の電源電圧入力用ポート
を設けるだけで済む。
【0019】また、上記のような第1の混成半導体装置
または第2の混成半導体装置または第3の混成半導体装
置においては、特定半導体装置と変換用半導体装置とを
一つの配線基板上に実装して、それらをいわゆる1ボー
ドシステム化することなども可能である。
【0020】あるいは、特定半導体装置と変換用半導体
装置とを一つの実装パッケージ内に内蔵して、いわゆる
マルチチップモジュール化することなども可能である。
【0021】あるいは、特定半導体装置および変換用半
導体装置が、それぞれ別個の半導体チップであり、それ
らの特定半導体装置と変換用半導体装置とを一つのリー
ドフレームのアイランド上に載置し、一つの実装パッケ
ージ内に実装するようにしてもよい。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0023】[第1の実施の形態]図1は、本発明の第
1の実施の形態に係る混成半導体装置の主要部の構成を
模式的に表したものである。なお、本発明の第1の実施
の形態に係る半導体装置は、実質的にこの混成半導体装
置の構成要素の一つとして用いられるものであるから、
以下、それらを併せて説明する。
【0024】この混成半導体装置は、電源電圧として所
定の電圧(Vdd1 )を受けて、その電源電圧を用いて作
動し、所定の電圧レベル(Vs1)の信号(SVs1)の出
力および入力を行うように設定された一つの半導体装置
(以下、これを他の異った電圧レベルを採用している半
導体装置と区別するために、特定半導体装置と呼ぶこと
とする。よって本明細書では、「特定」という呼称は左
記のような意味合いを示すためのみに用いるものであっ
て、例えば「特殊な設定の半導体装置」といったことは
意味しない)である特定半導体装置100と、その特定
半導体装置100に対して外部から入力される異なった
電圧レベル(Vs2,Vs3,…VsN)の信号(SVs2,S
Vs3,…SVsN)を、上記のような所定の電圧レベル
(Vs1)の信号(SVs1)に変換することや、その逆に
特定半導体装置100から出力される上記のような所定
の電圧レベル(Vs1)の信号(SVs1)を外部の異なっ
た電圧レベル(Vs2,Vs3,…VsN)の信号(SVs2,
SVs3,…SVsN)に変換すること、および外部から供
給される異なった電圧レベルの電源電圧(Vdd2 ,Vdd
3,…VddN)を上記のような所定の電源電圧(Vdd1 )
に変換して特定半導体装置100に入力することを行う
変換用半導体装置200とを備えている。
【0025】さらに詳細には、特定半導体装置100
は、2[V]以下のような低電圧レベルの電源電圧およ
び信号を採用している半導体装置である。例えば他の半
導体装置(第2の半導体装置120,第3の半導体装置
130など)の電源電圧(Vddn)や信号(SVsn)の
電圧レベル(Vsn)が3[V]以上や5[V]以上のよ
うな電圧レベルを採用しているときに、この特定半導体
装置100は最小の電圧レベル(Vs1<Vsn;n=1,2,3
…)を採用しているということになる場合が極めて多
い。
【0026】一般に、最先端(最新世代)のデバイスほ
ど、このような低電圧化が進んで行く傾向にあるが、例
えば一つの回路系(システム)を構成するプリント配線
基板に実装される全ての半導体装置は、必ずしもそのよ
うな最先端のデバイスに適合するように設けられたもの
ばかりではない。むしろ多くのデバイスは、最先端のデ
バイスが作られる以前に旧世代の電圧レベルに適合する
ように作製されているのであるから、一つの回路系の全
体で考えると、そこで主に採用されているのは旧世代の
電圧レベルであると言える。このため、最先端のデバイ
スほど、他の高い電圧レベルに設定された電源電圧や信
号を受けることが可能であるように設定されることが要
請される場合が多い。そこで、本実施の形態では、説明
の簡潔化および最良の実施の形態として最も適した条件
設定とするために、特定半導体装置100の電源電圧
(Vdd1)および信号(Vs1)が、他の半導体装置の電
圧レベルと比べて最も低い電圧レベルを採用しているも
のとする。すなわち、特定半導体装置100の電源電圧
をVdd1とし、他の(特定半導体装置100に接続され
る外部の)半導体装置の電源電圧をVdd2,Vdd3…Vdd
N とすると、Vdd1<Vdd2≦Vdd3…≦VddN であるも
のとする。また、特定半導体装置100の信号の電圧レ
ベルをVs1とし、他の(特定半導体装置100に接続さ
れる外部の)半導体装置の信号の電圧レベルをVs2,V
s3…VsN とすると、Vs1<Vs2≦Vs3…≦VsNである
ものとする。
【0027】この特定半導体装置100は、上記のよう
な低い電圧レベルの電源電圧(Vdd1)を受けるための
電源電圧入力ポート(入力パッドまたは入力端子または
ピン;以下同様)101と、低い電圧レベル(Vs1)の
信号(SVs1)の入力および出力を行うための信号入出
力ポート(PVs11)102とを有しているが、その他
の電圧レベルの電源電圧(Vdd2,Vdd3…)や信号(Vs
2,Vs3…)の入力や出力を行うための入出力ポートな
どは全く有していない。
【0028】この特定半導体装置100は、所定の信号
処理または演算を行う演算処理回路(図示省略)を備え
ており、外部の半導体装置(第2の半導体装置120や
第3の半導体装置130等)から後述するような変換用
半導体装置200を介して入力された信号を受けると、
電源電圧(Vdd1)を駆動用電源として用いて、その受
けた信号に対して演算処理回路が所定の信号処理または
演算を行って、その演算結果の信号を、変換用半導体装
置200を介して外部の半導体装置へと出力(送出)す
る。
【0029】変換用半導体装置200は、種々の異なっ
た電圧レベルの電源電圧(Vdd1,Vdd2,…VddN)を
受けるマルチ電源電圧入力ポート201と、その入力さ
れた電源電圧を、特定半導体装置100が採用している
電圧レベル(Vdd1)に変換して出力する特定電源電圧
出力ポート202と、種々の異なった電圧レベル(Vs
2,Vs3,…VsN)の信号(SVs2,SVs3,…SVs
N)をそれぞれ入力および出力するための信号入出力ポ
ート(PVs2,PVs3,…PVsN)203と、その入力
された信号(SVs2,SVs3,…SVsN)を特定半導体
装置100が採用している電圧レベル(Vs1)に変換し
てなる信号(SVs1)を出力する、または特定半導体装
置100から出力された電圧レベル(Vs1)の信号(S
Vs1)を受ける特定信号入出力ポート(PVs1)204
と、特定半導体装置100が採用している所定の電圧レ
ベル(Vdd1)とは異なった電圧レベルの電源電圧(Vd
d2 ,Vdd3,…VddN)を所定の電圧レベル(Vdd1)に
変換する電源電圧レベル変換回路205と、特定半導体
装置100が採用している所定の電圧レベル(Vs1)と
は異なった電圧レベル(Vs2,Vs3,…VsN)の信号
(SVs2,SVs3,…SVsN)を所定の電圧レベル(V
s1)の信号(SVs1)に変換して出力すること、および
所定の電圧レベル(Vs1)の信号(SVs1)をその所定
の電圧レベルとは異なった電圧レベル(Vs2,Vs3,…
VsN)の信号(SVs2,SVs3,…SVsN)に変換して
出力することを行う信号電圧レベル変換回路206とを
備えている。
【0030】なお、各信号入出力ポート(PVs2,PV
s3,…PVsN)203は、例えばPVs2が第2の半導体
装置120の信号入出力ポート(PVs22)121に接
続され、PVs3が第3の半導体装置130の信号入出力
ポート(PVs33)131に接続される、というよう
に、そのそれぞれが外部の半導体装置の同じ電圧レベル
の信号入出力ポートに各々接続される。
【0031】電源電圧レベル変換回路205としては、
特定半導体装置100が採用している所定の電圧レベル
(Vdd1)よりも高い電源電圧(Vdd2 ,Vdd3,…Vdd
n,…VddN)を降圧(またはクランプ)する場合には、
図2に模式的に示したように、例えばダイオード素子
(図示省略)を用いたクランプ回路(またはスライス回
路あるいはレベルシフタ回路)210などを好適に用い
ることができる。近年の半導体集積回路では、デジタル
信号を扱うものが主流を占めるようになって来ているこ
とは言うまでもないが、特にデジタル信号の場合には、
電圧波形の観点からは、0/1の区別が付きさえすれば
良いのであるから、デジタル信号における電圧波形のう
ち所定の電圧レベルを超えた電圧をクリップ(またはス
ライス)しても、アナログ信号の場合のような信号波形
がオリジナルとは異なったものとなるといった不都合は
生じないので、構造が簡易で作成が比較的容易なクラン
プ回路210などを好適に用いることかできる。
【0032】また、このような電圧レベルをクランプ
(スライス)あるいはレベルシフトするという機能は、
信号電圧レベル変換回路206にも好適なものである。
すなわち、信号電圧レベル変換回路206としても、例
えばダイオード素子を用いたクランプ回路(スライス回
路またはレベルシフタ回路)210などを好適に用いる
ことができる。但し、信号電圧レベル変換回路206の
場合には、信号に対する信号電圧レベル変換回路206
自体のインピーダンスが大きいと、インピーダンス・ミ
スマッチング等に起因したノイズの増大や信号の遅延等
の不都合が生じる虞れがあるので、そのような不都合の
要因となるインピーダンスを生じないような回路構成と
することが望ましいことは言うまでもない。
【0033】あるいは、特定半導体装置100およびそ
の他の第2の半導体装置120や第3の半導体装置13
0における実使用時(作動時)の消費電流値が大幅に変
化することがない場合や、個々の信号入出力ポートがそ
れぞれ所定の電圧レベルに1対1対応に設定されたもの
である場合には、特定半導体装置100の所定の電圧レ
ベル(Vs1)よりも高い電圧レベル(Vs2,Vs3…)の
信号を、電気抵抗によって所定の電圧レベル(Vs1)に
降圧することなども可能である。但し、この電気抵抗を
信号の電圧レベルの変換に用いる場合には、上述したよ
うにインピーダンスが大きくなってノイズの増大や信号
遅延等が生じる虞れもあるので、そのようなインピーダ
ンスの増大等の不都合が生じない場合にのみ、降圧用に
電気抵抗を用いるようにすればよい。あるいは、電源電
圧については信号ほど電圧レベルの変動が著しくないの
であるから、電気抵抗を用いた電圧レベルの変換の手法
は、信号の電圧レベルの降圧化に対してよりも電源電圧
の降圧化に対して特に好適であるとも考えられる。
【0034】また逆に、例えば特定半導体装置100か
ら出力された所定の電圧レベル(Vs1)の信号(SVs
1)を、より高い電圧レベル(Vs2,Vs3,…Vsn,…
VsN;2≦n)にして出力する、というように、変換用半
導体装置200の信号電圧レベル変換回路206によっ
て、特定半導体装置100からの低い電圧レベルの電源
電圧(Vdd1)や信号(SVs1)を、より高い電圧レベ
ルに昇圧(レベルシフト)して外部の第nの半導体装置
(例えば第2の半導体装置120や第3の半導体装置1
30)へと出力する場合などには、図3に一例を模式的
に示したように、例えばFET(電界効果型トランジス
タ)211のようなトランジスタ素子を用いた増幅回路
によって、特定半導体装置100から出力される低電圧
レベル(Vs1)の信号(SVs1)を、第nの半導体装置
が採用している高い電圧レベル(Vsn;Vs1<Vsn)の
信号(SVsn)に増幅して出力することなどが具体的手
法として適用可能である。このとき増幅を行うFET2
11のようなトランジスタ素子による増幅を行うために
供給することが必要となる電圧としては、例えばこの混
成半導体装置が実装されている回路系全体で特定半導体
装置100以外の高い電圧レベルを採用している第2の
半導体装置120や第3の半導体装置130に対して供
給される、特定半導体装置100の電源電圧(Vdd1)
よりも高い電圧レベルの電源電圧(Vdd2,Vdd3,…V
ddN)などを好適に用いることができる。
【0035】なお、図3に示した一例では、外部の第n
の半導体装置(図示省略)と特定半導体装置100との
間での信号のやりとりは、一種類の信号(SVsn)につ
き1つの信号入出力ポート(PVsn)を介して行うもの
としており、第nの半導体装置から特定半導体装置10
0へと入力される信号については、上記の図2に基づい
て説明したような手法によって降圧(クリップあるいは
レベルシフト)している。
【0036】上記のような特定半導体装置100および
変換用半導体装置200は、例えば図10に示したよう
に、いずれも半導体集積回路チップの状態で、小型のカ
ードボード状にカッティング形成された一つのプリント
配線基板301などの表面に例えばフリップチップ実装
法などによって実装して、混成半導体装置を構成するよ
うにしてもよい。または、図11に一例を示したよう
に、一つのセラミック基板302などに半導体集積回路
チップの状態で特定半導体装置100および変換用半導
体装置200を実装して、混成半導体装置を構成するよ
うにしてもよい。あるいは、半導体集積回路チップの状
態ではなく、図12に一例を示したように、例えば樹脂
モールド材などによって封止されたフラットパッケージ
のようなパッケージングによって実装された半導体集積
回路部品として、例えばガラス・エポキシ・プリント配
線基板305上に、その他の集積回路や種々の電気回路
素子等(図示省略)と共にリフロー法などによって実装
してもよい。あるいは、図13に一例を示したように、
一つのリードフレーム306のアイランド307上に特
定半導体装置100および変換用半導体装置200をそ
れぞれ半導体集積回路チップの状態で搭載(マウント)
し、それを例えば樹脂モールド材308などによって封
止して、例えばDIP(Dual Inline Package )のよう
な一つの実装パッケージ304の中に特定半導体装置1
00と変換用半導体装置200とを内蔵した状態とする
ことなども可能である。
【0037】次に、この混成半導体装置の動作について
説明する。
【0038】特定半導体装置100が採用している電圧
レベル(Vdd1)とは異なった電圧レベルの電源電圧
(Vdd2,Vdd3,…VddN)が変換用半導体装置200
のマルチ電源電圧入力ポート201に入力されると、そ
の変換用半導体装置200に内蔵された電源電圧レベル
変換回路205は、電源電圧(Vdd2,Vdd3,…Vdd
N)をクランプまたはスライスあるいはレベルシフトす
るなどして、電圧レベル(Vdd1)に変換する。
【0039】そしてこの変換された電源電圧(Vdd1)
は、変換用半導体装置200の特定電源電圧出力ポート
202から出力されて、特定半導体装置100の電源電
圧入力ポート101へと入力される。
【0040】信号についてもほぼ同様に、特定半導体装
置100が採用している電圧レベル(Vs1)とは異なっ
た電圧レベル(Vs2,Vs3,…VsN)の信号(SVs2,
SVs3,…SVsN)が、変換用半導体装置200の各信
号入出力ポート(PVs2,PVs3,…PVsN)203に
入力されると、その変換用半導体装置200に内蔵され
た信号電圧レベル変換回路206は、入力された信号
(Vs2,Vs3,…VsN)をそれぞれクランプまたはスラ
イスあるいはレベルシフトするなどして、電圧レベル
(Vs1)の信号(SVs1)に変換する。そしてこの変換
された信号(SVs1)は、変換用半導体装置200の特
定信号入出力ポート(PVs1)204から出力されて、
特定半導体装置100の信号入出力ポート(PVs11)
102に入力される。また逆に、特定半導体装置100
の信号入出力ポート(PVs11)102から出力された
低い電圧レベル(Vs1)の信号(SVs1)は、例えば図
3に示したようなFET211などを用いた信号電圧レ
ベル変換回路206によって増幅(見掛けの昇圧)され
て、外部の各半導体装置(第2の半導体装置120,第
3の半導体装置130等)の電圧レベル(Vs2,Vs3,
…Vsn,…VsN)の信号(SVs2,SVs3,…SVsn,
…SVsN)にそれぞれ変換され、それらは変換用半導体
装置200の各信号入出力ポート(PVs2,PVs3,…
PVsn,…PVsN)203から出力されて、そのそれぞ
れが外部の第nの半導体装置における信号入出力ポート
(PVs22,PVs33,…PVsnn,…PVsNN)121,
131…へと各々入力される。
【0041】このように、特定半導体装置100では、
電源電圧(Vdd1)および信号(SVs1)以外の高い電
圧レベルの電源電圧(Vdd2,Vdd3…)や信号(Vs2,
Vs3…)に対する耐圧性を確保するために従来は必要と
されていた絶縁膜や降圧回路(図示省略)などは一切、
付設しなくても済むので、その構造および製造プロセス
が極めて簡易なものとなり、延いては最先端のデバイス
である特定半導体装置100としての本来の所定の性能
や機能を実現することに注力することができるようにな
り、その結果、製造歩留りの向上およびスループットの
さらなる改善ならびに低コスト化を達成することが可能
となる。しかも、変換用半導体装置200では、例えば
ダイオード素子を用いたクランプ回路210のような簡
易な回路構成によって電源電圧レベル変換回路205や
信号電圧レベル変換回路206を構築して、上記のよう
な電源電圧や信号の電圧レベルの効果的な変換機能を達
成することができる。これは、比較例として図14に示
したような従来の一般的な技術による各種類の電圧レベ
ルに対応した電源電圧入力用ポート1,2,3や、信号
入力用ポート11,12,13や、信号出力用ポート2
1,22,23を、全て特定半導体装置100に作り込
んだ場合の一例と比較しても、例えばそれらのポートの
個数の多さに因る構成の繁雑さからも一目瞭然である。
【0042】しかも、図示は省略したが、その内部構造
についても、高い電圧レベルの電源電圧Vdd3などを受
けても絶縁破壊等が生じないような耐圧性を確保するた
めに、マルチ酸化膜などを作り込まなければならないの
で、極めて煩雑なものとなっていた。
【0043】なお、図1に示した概要構成では、変換用
半導体装置200から電圧レベルを変換された電源電圧
が特定半導体装置100に対して入力されると共に、第
2の半導体装置120に対してはVdd2が図示しないこ
の回路系の電源から直接的に供給され、第3の半導体装
置130に対してはVdd3が図示しないこの回路系の電
源から直接的に供給されているが、このような異なった
種類の電源電圧は、図4に示したように、例えば最も高
い電圧レベルの電源電圧(ここでは仮にVdd3がそれで
あるとする。すなわちVdd1<Vdd2<Vdd3とする)を
変換用半導体装置200に入力し、そのVdd3を変換用
半導体装置200で降圧(またはレベルシフトまたはク
ランプ)してVdd2やVdd1を作り出して、それらをそれ
ぞれ対応する各半導体装置(第2の半導体装置120、
第3の半導体装置130)に対して変換用半導体装置2
00から間接的に供給するようにしてもよい。但し、こ
の場合には、変換用半導体装置200から各半導体装置
へとそれぞれの電源電圧を出力(供給)するための出力
ポート等が、上記の図1等に示した概要構成の場合より
も多く必要となる。しかし、このようにすることによ
り、特定半導体装置100および第2の半導体装置12
0ならびに第3の半導体装置130等を含んだ回路系全
体で用いられる電源電圧を、最も高い電圧レベルに一本
化することが可能となるというメリットを得ることがで
きる。なお、このような概要構成の変換用半導体装置2
00を採用した場合の混成半導体装置およびその外部の
第2の半導体装置120ならびに第3の半導体装置13
0によって構築される回路系は、ブロック図的(模式
的)に図7に示したようなものとなる。
【0044】また、図1に示した概要構成およびそれに
基づく説明では、一つの特定半導体装置100に対して
異なった電圧レベルを採用している複数個の半導体装置
(例えば第2の半導体装置120や第3の半導体装置1
30)を接続する場合について述べたが、図5および図
6に示したように、一つの特定半導体装置100に対し
て、一度に例えば第2の半導体装置120のみ、または
第3の半導体装置130のみ、というように、n種類の
半導体装置のうちから一個の半導体装置のみを接続する
ように設定すると共に、複数の電圧レベルの電源電圧の
うちから1つの電源電圧の供給を受けて、その電源電圧
を変換して各半導体装置の電源電圧を作り出すようにす
ることなども可能である。
【0045】この場合、電源電圧レベル変換回路205
や信号電圧レベル変換回路206の主要部分が例えばダ
イオード素子を用いたクランプ回路210によって構成
されている場合には、クランプのしきい値電圧を、特定
半導体装置100が採用している所定の電圧レベル(V
dd1やVs1)に若干の安全率マージンを見込んだ値に設
定しておけば、そのしきい値電圧(すなわち所定の電圧
レベルVdd1やVs1)よりも高い電圧レベルの入力につ
いては、そのしきい値電圧を超えた電圧成分がクランプ
(スライスまたはレベルシフト)されるので、どのよう
な電圧レベルの電源電圧や信号が入力されても、それに
対して常に確実に対応して特定半導体装置100に適合
した電圧レベル(つまりここではVs1やVdd1)の電源
電圧や信号を、特定半導体装置100に対して入力する
ことができる。すなわち、電源電圧や信号の電圧レベル
が特定半導体装置100よりも高いものであれば、どの
ような世代の半導体装置に対しても、変換用半導体装置
200を接続して用いることが可能である。但し、余り
にも桁外れなほどに特定半導体装置100の定格電圧か
ら逸脱した電圧レベルの電源電圧や信号が入力された場
合にはその限りではないことは言うまでもない(変換用
半導体装置200自体が破損等を生じるのでこれは問題
外である)。なお、このような概要構成の変換用半導体
装置200を採用した場合の混成半導体装置およびその
外部の第nの半導体装置装置によって構築される回路系
の概要構成は、ブロック図的(模式的)に図8に示した
ようなものとなる。
【0046】[第2の実施の形態]図9は、本発明の第
2の実施の形態に係る混成半導体装置の主要部の構成を
模式的に表したものである。なお、本発明の第2の実施
の形態に係る半導体装置は、実質的にこの混成半導体装
置に用いられるものであるから、以下、それらを併せて
説明するものとする。また、上記の第1の実施の形態と
同様の部位や機能等については同じ符号を付して説明す
るものとし、また説明の繰り返しや煩雑化を避けるため
に、第1の実施の形態と同様の部位や機能等についての
詳述は省略する。
【0047】この混成半導体装置は、第1の実施の形態
の混成半導体装置にさらに加えて、特定半導体装置10
0が、所定のクロック周波数(F1 )の信号(SVs1)
を出力すること、および所定のクロック周波数(F1 )
の信号(SVs1)の入力を受けることを行うものであ
り、また変換用半導体装置200が、その所定のクロッ
ク周波数(F1 )とは異なったクロック周波数(F2 ,
F3…)の信号(SVs2,SVs3…)を受けて、その信
号(SVs2 ,SVs3…)を所定のクロック周波数(F1
)に変換して特定半導体装置100へと入力するこ
と、および特定半導体装置100から出力される信号
(SVs1)を所定のクロック周波数(F1 )とは異なる
クロック周波数(F2 ,F3…)の信号(SVs2 ,SV
s3…)に変換して出力することを行うクロック周波数変
換回路220をさらに有している。
【0048】さらに詳細には、変換用半導体装置200
には、特定半導体装置100の信号入出力ポート(PV
s11)102との間で互いに信号(SVs1)をやりとり
するための特定信号入出力ポート(PVs1)204と、
第2の半導体装置120の信号入出力ポート(PVs2
2)121との間で互いに信号(SVs2)をやりとりす
るための信号入出力ポート(PVs2)203と、第3の
半導体装置130の信号入出力ポート(PVs33)13
1との間で互いに信号(SVs3)をやりとりするための
信号入出力ポート(PVs3)203と、信号(SVs2)
のクロック周波数(F2 )を所定のクロック周波数(F
1 )に変換し、また逆に所定のクロック周波数(F1 )
の信号(SVs1)を、信号(SVs2)のクロック周波数
(F2 )に変換するF1 /F2 変換回路221と、信号
(SVs3)のクロック周波数(F3)を所定のクロック
周波数(F1 )に変換し、また逆に所定のクロック周波
数(F1 )の信号(SVs1)を、信号(SVs3)のクロ
ック周波数(F3 )に変換するF1 /F3 変換回路22
2とを備えている。特に、特定信号入出力ポート(PV
s1)204は、信号(SVs1)の電圧レベルやクロック
周波数(F1 )に対応して定まる許容インピーダンスの
範囲内に接続抵抗等が収まるように設定されている。
【0049】この第2の実施の形態に係る混成半導体装
置では、上記のような概要構成を採ることにより、特定
半導体装置100には、少なくとも所定のクロック周波
数(F1 )の信号入出力ポートを設けるだけで済むこと
となり、その結果、最新世代の半導体チップなどの特定
半導体装置100における入出力ポートの個数や種類を
少ないものに保ちつつ、多種類の電圧レベルに対応する
ことができる。また、延いては煩雑な多数の入出力ポー
トやそれらと共に必要となっていたマルチ酸化膜などを
省略することができるので、最新世代の半導体チップの
ような半導体装置の製造歩留まりの向上やスループット
の改善およびそれらによる低コスト化等を達成すること
が可能となる。ここで、クロック周波数変換回路220
(F1 /F2 変換回路221,F1 /F3 変換回路22
2)としては、例えばPLL(Phase Locked Loop)ク
ロック回路などを好適に用いることが可能である。
【0050】なお、上記の第1の実施の形態および第2
の実施の形態では、変換用半導体装置200は特定半導
体装置100と併せて混成半導体装置の主要部を構成す
るように用いられているが、変換用半導体装置200は
このような態様の他にも、例えば特定半導体装置100
とは全く別体でパッケージングされた1個の独立した半
導体集積回路部品として製造および販売するものとし、
それとは別途に1個の独立した半導体集積回路部品とし
て製造・販売された特定半導体装置100(但し変換用
半導体装置200と併せ用いれば上記のような機能を果
たすことができるように設定されているものとする)と
併せ用いることで、上記のような混成半導体装置の主要
部を構成するようにすることなども可能である。つま
り、実質的には(最終的には)、変換用半導体装置20
0は特定半導体装置100と組み合わせて用いられて一
つの混成半導体装置を構築することとなるのであるが、
両者が組み合わされるまでは、両者は互いに別個の半導
体集積回路部品として取り扱うことが可能な状態(例え
ば実装パッケージなどの態様)とすることなども可能で
ある。その他、特定半導体装置100や変換用半導体装
置200の各々に関する実装形態等については本発明の
趣旨を逸脱しない範囲で上記の他にも種々のバリエーシ
ョンが可能であることは言うまでもない。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の半
導体装置または請求項5ないし8のいずれかに記載の混
成半導体装置によれば、信号電圧レベル変換回路が、特
定半導体装置の採用している所定の電圧レベルとは異な
った電圧レベルの信号を受けて、その信号を所定の電圧
レベルに変換して特定半導体装置へと出力する、および
/または特定半導体装置から出力される所定の電圧レベ
ルの信号をその所定の電圧レベルとは異なった電圧レベ
ルに変換して出力して、特定半導体装置とは別の半導体
装置などへと入力するようにしたので、特定半導体装置
には、少なくとも所定の電圧レベルの入力ポートや出力
ポートあるいはそれらを兼用する入出力ポートなど;以
下同様)が設けられているだけで済むこととなり、その
結果、最新世代の半導体チップのような半導体装置(上
記で特定半導体装置と呼んでいる半導体装置;以下同
様)における入出力ポートの個数や種類を少ないものに
保ちつつ、多種類(多世代)の電圧レベルに対応するこ
とが可能となる。また、延いては煩雑な多数の入出力ポ
ートやそれらと共に必要となっていたマルチ酸化膜など
を省略することができるので、最新世代の半導体チップ
のような半導体装置の製造歩留まりの向上やスループッ
トの改善およびそれらによる低コスト化等を達成するこ
とができる。
【0052】また、請求項2または4記載の半導体装置
または請求項9ないし12のいずれかに記載の混成半導
体装置によれば、特定半導体装置の採用している所定の
電圧レベルとは異なった電圧レベルの電源電圧を受け
て、その電源電圧を所定の電圧レベルに変換して特定半
導体装置へと入力する電源電圧レベル変換回路を有し
て、変換用半導体装置が、特定半導体装置の採用してい
る所定の電圧レベルとは異なった電圧レベルの電源電圧
を受けて、その電源電圧を所定の電圧レベルに変換して
特定半導体装置へと出力するようにしたので、特定半導
体装置には、少なくとも電源電圧入力ポートと、所定の
電圧レベルの出力ポートとを設けるだけで済むこととな
り、その結果、最新世代の半導体チップのような半導体
装置における入出力ポートの個数や種類を少ないものに
保ちつつ、多種類の電圧レベルに対応することができ
る。また、延いては煩雑な多数の入出力ポートやそれら
と共に必要となっていたマルチ酸化膜などを省略するこ
とができるので、最新世代の半導体チップのような半導
体装置の製造歩留まりの向上やスループットの改善およ
びそれらによる低コスト化等を達成することができる。
【0053】また、請求項3記載の半導体装置または請
求項13ないし16のいずれかに記載の混成半導体装置
によれば、クロック周波数変換回路が、特定半導体装置
の採用している所定のクロック周波数とは異なったクロ
ック周波数の信号を受けて、その信号を所定のクロック
周波数に変換して特定半導体装置へと出力する、および
/または特定半導体装置から出力される所定のクロック
周波数の信号をその所定のクロック周波数とは異なった
クロック周波数に変換して出力して、特定半導体装置と
は別の半導体装置などへと入力するようにしたので、特
定半導体装置には、少なくとも所定のクロック周波数の
信号の入力ポートや出力ポートあるいはそれらを兼用す
る入出力ポートを設けるだけで済むこととなり、その結
果、最新世代の半導体チップのような半導体装置におけ
る入出力ポートの個数や種類を少ないものに保ちつつ、
多種類の電圧レベルに対応することができる。また、延
いては煩雑な多数の入出力ポートやそれらと共に必要と
なっていたマルチ酸化膜などを省略することができるの
で、最新世代の半導体チップのような半導体装置の製造
歩留まりの向上やスループットの改善およびそれらによ
る低コスト化等を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る混成半導体装
置の主要部の構成を模式的に表した図である。
【図2】電源電圧レベル変換回路の概要構成を模式的に
表した図である。
【図3】信号電圧レベル変換回路の概要構成を模式的に
表した図である。
【図4】1種類の電源電圧を一旦、変換用半導体装置に
入力し、その変換用半導体装置からさらに各半導体装置
にそれぞれ対応した電源電圧を供給する場合の概要構成
の一例を模式的に表した図である。
【図5】一つの特定半導体装置に対して、一度に一つの
半導体装置のみを接続して信号のやりとりを行うように
設定した場合の一例を模式的に表した図である。
【図6】一つの特定半導体装置に対して複数の電圧レベ
ルの電源電圧のうちから1つの電源電圧の供給を受け
て、その電源電圧を変換して所定の電源電圧を作り出し
て、それを特定半導体装置に供給するように設定した場
合の一例を模式的に表した図である。
【図7】図6に示した概要構成の変換用半導体装置を採
用した場合の混成半導体装置およびその外部の第2の半
導体装置ならびに第3の半導体装置によって構築される
回路系の一例を表した図である。
【図8】図5に示した概要構成の変換用半導体装置を採
用した場合の混成半導体装置およびその外部の第nの半
導体装置装置によって構築される回路系の一例を表した
図である。
【図9】本発明の第2の実施の形態に係る混成半導体装
置の主要部の構成を模式的に表した図である。
【図10】特定半導体装置および変換用半導体装置をい
ずれも半導体集積回路チップの状態で、小型のカードボ
ード状にカッティング形成された一つのプリント配線基
板上などに実装して、混成半導体装置を構成するように
した場合の実装形態の一例を表した図である。
【図11】特定半導体装置および変換用半導体装置を、
いずれも半導体集積回路チップの状態で、一つのセラミ
ック基板上などに実装して混成半導体装置を構成するよ
うにした場合の実装形態の一例を表した図である。
【図12】特定半導体装置および変換用半導体装置を、
いずれも例えば樹脂モールド材などによって封止された
フラットパッケージのようなパッケージングによって実
装された半導体集積回路部品として、例えばガラス・エ
ポキシ・プリント配線基板上に、その他の集積回路や種
々の電気回路素子等と共にリフロー法などによって実装
した場合の実装形態の一例を表した図である。
【図13】一つのリードフレームのアイランド上に特定
半導体装置および変換用半導体装置をそれぞれ半導体集
積回路チップの状態で搭載し、それを例えば樹脂モール
ド材などによって封止して、例えば一つのDIPのよう
な実装パッケージの中に内蔵された状態で実装(パッケ
ージング)した場合の実装形態の一例を表した図であ
る。
【図14】比較例として、従来の一般的な技術による各
種類の電圧レベルに対応した電源電圧入力用ポートや信
号入出力用ポートを全て特定半導体装置に作り込んだ場
合の一例を表した図である。
【符号の説明】
100…特定半導体装置、200…変換用半導体装置、
120…第2の半導体装置、130…第3の半導体装
置、205…電源電圧レベル変換回路、206…信号電
圧レベル変換回路

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の電圧レベルの信号の出力を行うお
    よび/または入力を受けるように設定された半導体装置
    に対して少なくとも接続されて用いられる、前記半導体
    装置とは別体の半導体装置であって、 所定の電圧レベルとは異なった電圧レベルの信号を受け
    てその信号を前記所定の電圧レベルに変換して出力す
    る、および/または前記所定の電圧レベルの信号をその
    所定の電圧レベルとは異なった電圧レベルに変換して出
    力する信号電圧レベル変換回路を備えたことを特徴とす
    る半導体装置。
  2. 【請求項2】 所定の電圧レベルとは異なった電圧レベ
    ルの電源電圧を受けてその電源電圧を前記所定の電圧レ
    ベルに変換して出力する電源電圧レベル変換回路を、さ
    らに備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体装
    置。
  3. 【請求項3】 所定のクロック周波数の信号の出力を行
    うおよび/または入力を受けるように設定された半導体
    装置に対して少なくとも接続されて用いられる、前記半
    導体装置とは別体の半導体装置であって、 所定のクロック周波数とは異なったクロック周波数の信
    号を受けてその信号を前記所定のクロック周波数に変換
    して出力する、および/または前記所定のクロック周波
    数の信号をその所定のクロック周波数とは異なるクロッ
    ク周波数に変換して出力するクロック周波数変換回路を
    備えたことを特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】 所定の電圧レベルとは異なった電圧レベ
    ルの電源電圧を受けてその電源電圧を前記所定の電圧レ
    ベルに変換して出力する電源電圧レベル変換回路を、さ
    らに備えたことを特徴とする請求項3記載の半導体装
    置。
  5. 【請求項5】 所定の電圧レベルの信号の出力を行うお
    よび/または入力を受けるように設定された特定半導体
    装置と、 前記所定の電圧レベルとは異なった電圧レベルの信号を
    受けてその信号を前記所定の電圧レベルに変換して前記
    特定半導体装置へと入力する、および/または前記特定
    半導体装置から出力される信号を前記所定の電圧レベル
    の信号とは異なる電圧レベルに変換して出力する信号電
    圧レベル変換回路を有する変換用半導体装置とを備えた
    ことを特徴とする混成半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記特定半導体装置と前記変換用半導体
    装置とを、一つの配線基板上に実装したことを特徴とす
    る請求項5記載の混成半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記特定半導体装置と前記変換用半導体
    装置とを、一つの実装パッケージ内に内蔵したことを特
    徴とする請求項5記載の混成半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記特定半導体装置および前記変換用半
    導体装置が、それぞれ別個の半導体チップであり、 前記特定半導体装置と前記変換用半導体装置とを、一つ
    のリードフレームのアイランド上に載置したことを特徴
    とする請求項5記載の混成半導体装置。
  9. 【請求項9】 所定の電圧レベルの電源電圧を受けて動
    作するように設定された特定半導体装置と、 前記所定の電圧レベルとは異なった電圧レベルの電源電
    圧を受けて、その電源電圧を前記所定の電圧レベルに変
    換して前記特定半導体装置へと入力する電源電圧レベル
    変換回路を有する変換用半導体装置とを備えたことを特
    徴とする混成半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記特定半導体装置と前記変換用半導
    体装置とを、一つの配線基板上に実装したことを特徴と
    する請求項9記載の混成半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記特定半導体装置と前記変換用半導
    体装置とを、一つの実装パッケージ内に実装したことを
    特徴とする請求項9記載の混成半導体装置。
  12. 【請求項12】 前記特定半導体装置および前記変換用
    半導体装置が、それぞれ別個の半導体チップであり、 前記特定半導体装置と前記変換用半導体装置とを、一つ
    のリードフレームのアイランド上に載置したことを特徴
    とする請求項9記載の混成半導体装置。
  13. 【請求項13】 所定のクロック周波数の信号の出力を
    行うおよび/または入力を受けるように設定された特定
    半導体装置と、 前記所定のクロック周波数とは異なったクロック周波数
    の信号を受けてその信号を前記所定のクロック周波数に
    変換して前記特定半導体装置へと入力する、および/ま
    たは前記特定半導体装置から出力される信号を前記所定
    のクロック周波数の信号とは異なるクロック周波数に変
    換して出力するクロック周波数変換回路を有する変換用
    半導体装置とを備えたことを特徴とする混成半導体装
    置。
  14. 【請求項14】 前記特定半導体装置と前記変換用半導
    体装置とを、一つの配線基板上に実装したことを特徴と
    する請求項13記載の混成半導体装置。
  15. 【請求項15】 前記特定半導体装置と前記変換用半導
    体装置とを、一つの実装パッケージ内に内蔵したことを
    特徴とする請求項13記載の混成半導体装置。
  16. 【請求項16】 前記特定半導体装置および前記変換用
    半導体装置が、それぞれ別個の半導体チップであり、 前記特定半導体装置と前記変換用半導体装置とを、一つ
    のリードフレームのアイランド上に載置したことを特徴
    とする請求項13記載の混成半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005053024A1 (ja) * 2003-11-27 2005-06-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. マルチチップ型半導体装置

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