JP2003197720A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置Info
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- JP2003197720A JP2003197720A JP2001391850A JP2001391850A JP2003197720A JP 2003197720 A JP2003197720 A JP 2003197720A JP 2001391850 A JP2001391850 A JP 2001391850A JP 2001391850 A JP2001391850 A JP 2001391850A JP 2003197720 A JP2003197720 A JP 2003197720A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板保持具が簡単に倒れない様にし、基板保持
具の破損を防止する。 【解決手段】基板を処理する処理室と、該処理室内で基
板を保持する基板保持具と、該基板保持具を載置する載
置部１２と、前記基板保持具と載置部とを相対回転させ
る回転部２１と、前記載置部と基板保持具とに設けられ
前記相対回転により係脱可能な係合部２８とを具備す
る。
具の破損を防止する。 【解決手段】基板を処理する処理室と、該処理室内で基
板を保持する基板保持具と、該基板保持具を載置する載
置部１２と、前記基板保持具と載置部とを相対回転させ
る回転部２１と、前記載置部と基板保持具とに設けられ
前記相対回転により係脱可能な係合部２８とを具備す
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウェーハ等
の被処理基板に対して、ＣＶＤ、ドライエッチング、ス
パッタ等所要の処理を行う基板処理装置に関するもので
ある。 【０００２】 【従来の技術】図９、図１０に於いて、従来の基板処理
装置を説明する。 【０００３】筐体１の前面にはカセットステージ２が設
けられ、該カセットステージ２はシャッタ３を介して前
記筐体１の内部と連通している。 【０００４】該筐体１の内部前方に、前記カセットステ
ージ２と対向してカセットオープナー４が設けられ、該
カセットオープナー４の上方にはカセットストッカ５が
設けられ、該カセットストッカ５、前記カセットオープ
ナー４と前記カセットステージ２間にはカセットローダ
６が設けられている。 【０００５】前記筐体１の内部後方一側にボートエレベ
ータ７が設けられ、該ボートエレベータ７から水平に延
びる昇降アーム８にはシールキャップ９が設けられ、該
シールキャップ９は、処理室を形成する反応炉１１の炉
口を閉塞する。前記シールキャップ９にはボート載置部
１２（後述）が設けられ、該ボート載置部１２に被処理
基板（以下ウェーハ）を水平姿勢で多段に保持する基板
保持具（以下ボート）１３が載置される。 【０００６】前記ボートエレベータ７に対向して、前記
筐体１の他側にはボート交換装置１４が設けられ、該ボ
ート交換装置１４、前記ボートエレベータ７と前記カセ
ットオープナー４との間に基板移載機１５が設けられて
いる。 【０００７】前記カセットステージ２は図示しない外部
搬送装置及び前記カセットローダ６間でカセット１６の
授受を行うものであり、前記カセットローダ６は横行、
昇降、進退可能であり、前記カセットステージ２のカセ
ット１６を前記カセットオープナー４、カセットストッ
カ５に移載するものである。前記カセットオープナー４
は、前記カセット１６の蓋を開閉する。 【０００８】前記基板移載機１５は昇降、進退、回転可
能であり、前記カセットオープナー４上のカセット１６
と前記ボート交換装置１４に保持されたボート１３間で
前記ウェーハ２０の移載を行う。 【０００９】前記ボート交換装置１４は２本のボート支
持アーム１７，１８を有し、該ボート支持アーム１７，
１８は独立して、回転可能且つ昇降可能となっており、
ウェーハ移載位置Ａ、ボート授受位置Ｂ、ウェーハクー
リング位置Ｃ間で前記ボート１３の移動を行う様になっ
ている。 【００１０】前記ボート載置部１２は前記ボート授受位
置Ｂで未処理ウェーハ２０を保持したボート１３を前記
ボート交換装置１４から受取り、前記ボートエレベータ
７により前記反応炉１１に装入する。 【００１１】該反応炉１１では前記ウェーハ２０が加熱
され、所要の処理ガスが導入され基板処理される。又、
前記ボート１３はウェーハ処理中成膜の均一性を向上さ
せる為回転される。 【００１２】処理が完了すると前記反応炉１１から前記
ボート１３を前記ボート授受位置Ｂに引出し、前記ボー
ト１３を前記ボート交換装置１４に受渡す。 【００１３】処理済ウェーハ２０を保持するボート１３
は前記ウェーハクーリング位置Ｃに移動され、所定の温
度となる迄冷却される。その間、未処理ウェーハ２０を
保持するボート１３が前記ウェーハ移載位置Ａより前記
ボート授受位置Ｂに移動され、前記ボート載置部１２に
受渡され、前記ボートエレベータ７により前記反応炉１
１に装入される。 【００１４】前記ウェーハクーリング位置Ｃで処理済ウ
ェーハ２０が所定の温度迄冷却されると、前記ボート交
換装置１４は処理済ウェーハ２０を保持するボート１３
を前記ウェーハ移載位置Ａ迄移動する。 【００１５】前記基板移載機１５は前記ウェーハ移載位
置Ａにあるボート１３から処理済ウェーハ２０を前記カ
セットオープナー４上のカセット１６に払出す。処理済
ウェーハ２０が前記カセット１６に装填されると該カセ
ット１６は前記カセットローダ６により前記カセットス
テージ２へ搬送され、更に外部搬送装置により搬出され
る。 【００１６】前記カセットローダ６により前記カセット
オープナー４に未処理ウェーハ２０が装填されたカセッ
ト１６が移載され、前記基板移載機１５は前記カセット
１６から未処理ウェーハ２０を前記ウェーハ移載位置Ａ
にある空のボート１３に移載する。 【００１７】而して、前記ウェーハ２０の処理が繰返し
実行される。 【００１８】上記基板処理装置では２つのボートを交換
するという工程があり、前記ボート載置部１２は前記ボ
ート１３が容易に授受できる様な構造となっている。 【００１９】図１１により前記ボート載置部１２の構造
について説明する。 【００２０】前記シールキャップ９は前記昇降アーム８
に設けられ、前記ボート１３装入時には前記反応炉１１
の炉口を気密に閉塞する。前記昇降アーム８の下面にボ
ート回転用モータ２１が設けられている。該ボート回転
用モータ２１の回転軸２２は前記昇降アーム８、シール
キャップ９を気密に貫通し、上端部が前記ボート載置部
１２に固着されている。該ボート載置部１２の中心には
凹部２３が形成されている。前記ボート１３の底板２４
には短円筒状のボート座２５が形成され、該ボート座２
５の中央には前記凹部２３と契合する凸部２６が形成さ
れている。 【００２１】而して、前記ボート１３が前記ボート載置
部１２に載置され、前記凸部２６が前記凹部２３に契合
することで、前記ボート１３が前記ボート載置部１２に
対して芯合せされる。前記ボート回転用モータ２１を駆
動することで、前記回転軸２２、ボート載置部１２を介
して前記ボート１３が回転される。 【００２２】 【発明が解決しようとする課題】上記した基板処理装置
では２つのボート１３により処理が実行されるので、ウ
ェーハの移載作業がウェーハの処理中に行われ、時間的
に無駄がなく、スループットが向上するという長所があ
る。その一方で、前記ボート１３の交換作業が必要であ
り、該ボート１３は前記ボート載置部１２に単に載置さ
れる構造となっている。 【００２３】従って、メンテナンス時に作業者が誤って
前記ボート１３にぶつかり倒してしまう可能性があり、
又地震等により倒れてしまう可能性もあった。 【００２４】ボートは石英製で壊れ易く、精密加工品で
高価であり、倒れて損傷することは大きな損害となる。 【００２５】本発明は斯かる実情に鑑み、ボートが簡単
に倒れない様にし、ボートの破損を防止するものであ
る。 【００２６】 【課題を解決するための手段】本発明は、基板を処理す
る処理室と、該処理室内で基板を保持する基板保持具
と、該基板保持具を載置する載置部と、前記基板保持具
と載置部とを相対回転させる回転部と、前記載置部と基
板保持具とに設けられ前記相対回転により係脱可能な係
合部とを具備する基板処理装置に係るものである。 【００２７】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。 【００２８】尚、本実施の形態に於いて、基板処理装置
の基本的な構成は図９、図１０と同様であるので説明を
省略する。又、図１〜図４に於いて図１１で示したもの
と同等のものには同符号を付してある。 【００２９】シールキャップ９は昇降アーム８の上面に
設けられ、該昇降アーム８の下面にはボート回転用モー
タ２１が設けられる。該ボート回転用モータ２１の回転
軸２２は前記シールキャップ９を気密に貫通し、突出し
た上端部にはボート載置部１２が固着される。該ボート
載置部１２の周縁には対向する一対の鉤受部２８が設け
られ、該鉤受部２８は幅がＧの溝を形成する逆Ｌ字状を
している。前記ボート載置部１２の中央にはテーパ形状
の凹部２３が形成されている。 【００３０】ボート１３の底板２４には短円筒形状のボ
ート座２５が突設され、該ボート座２５の下端周縁には
対向する位置に一対の鉤片２９が水平方向に突設され、
該鉤片２９の外縁は前記底板２４と同心の円弧となって
いる。前記鉤片２９と底板２４との間に形成される間隙
Ｈは前記鉤受部２８の上端部が自在に通過し得、上下方
向に適宜な余裕を有している。前記底板２４の中央には
前記凹部２３と契合するテーパ状の凸部２６が形成され
ている。前記鉤片２９の厚みは前記溝幅Ｇより小さく上
下方向に適宜な余裕を有している。又、前記鉤片２９の
外縁の直径は前記一対の鉤受部２８の溝底間の距離より
小さくなっている。 【００３１】図５〜図８に於いて、作動について説明す
る。 【００３２】前記ボート１３が前記ボート載置部１２に
載置される状態では、前記鉤片２９と前記鉤受部２８と
は干渉しない位置となっている。図示では、前記鉤受部
２８は左右に位置し、前記鉤片２９は紙面に対して垂直
な位置にあり、９０°位置がずれている（図５参照）。
尚、図示していないが前記ボート１３は前記ボート交換
装置１４のボート支持アーム１７，１８のいずれかに支
持されている。 【００３３】前記ボート１３とボート載置部１２とが芯
合せされた後、前記ボート１３が降下され、前記ボート
載置部１２と前記ボート座２５とが僅かに浮いた状態で
保持される（図６参照）。 【００３４】前記ボート回転用モータ２１により前記ボ
ート載置部１２が９０°回転される。該ボート載置部１
２の回転により、前記鉤受部２８と鉤片２９とは重な
り、係合位置となる（図７参照）。この状態では、前記
鉤受部２８と鉤片２９とが係合することで、前記ボート
１３が傾くのを抑止し、該ボート１３に水平方向の力、
例えば作業者がぶつかったり、地震があった場合等の前
記ボート１３の転倒を防止する。 【００３５】更に、該ボート１３が降下され、前記ボー
ト載置部１２に載置される。図示しないボート支持アー
ム１７，１８が退避する。 【００３６】図示しないボートエレベータ７により前記
ボート１３が反応炉１１に装入され、ウェーハ２０処理
時には前記ボート回転用モータ２１により前記ボート１
３が回転される。 【００３７】ウェーハの処理が完了し、引出されたボー
ト１３を前記ボート交換装置１４により移動する場合
は、該ボート交換装置１４により僅かに前記ボート１３
を持上げ、前記ボート回転用モータ２１により前記ボー
ト載置部１２を９０°回転し、前記鉤受部２８と鉤片２
９との係合を解除する。前記ボート交換装置１４により
更に前記ボート１３を上昇させ、移動する。 【００３８】尚、ウェーハ２０の処理、ボートの交換に
ついては前述したと同様であるので、説明を省略する。 【００３９】又、上記実施の形態では、前記鉤受部２８
を前記ボート載置部１２に、前記鉤片２９を前記ボート
座２５に設けたが、前記鉤受部２８を前記ボート座２５
に、前記鉤片２９を前記ボート載置部１２に設けてもよ
い。又、前記鉤受部２８、鉤片２９の形状についても種
々変更が可能であり、要は前記ボート１３とボート載置
部１２とが相対回転により係合離脱可能な形状であれば
よい。更に、前記ボート交換装置１４が前記ボート１３
を回転する機能を有する場合は、前記ボート交換装置１
４により前記ボート１３を回転してもよい。更に又、該
ボート１３は下部にボートキャップを有するものも含む
ことは勿論である。 【００４０】尚、本発明はボート交換式の基板処理装置
以外の基板処理装置にも実施可能であり、この場合ボー
トの洗浄等メンテナンス時のボートの着脱が容易にな
り、その他のメンテナンス時のボートの転倒防止にも有
効である。 【００４１】 【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、基板を
処理する処理室と、該処理室内で基板を保持する基板保
持具と、該基板保持具を載置する載置部と、前記基板保
持具と載置部とを相対回転させる回転部と、前記載置部
と基板保持具とに設けられ前記相対回転により係脱可能
な係合部とを具備するので、前記載置部に基板保持具が
載置された状態では、係合部が係合状態にあり、基板保
持具の傾斜を抑止し、基板保持具の転倒を防止し、基板
保持具の破損を防止するという優れた効果を発揮する。
の被処理基板に対して、ＣＶＤ、ドライエッチング、ス
パッタ等所要の処理を行う基板処理装置に関するもので
ある。 【０００２】 【従来の技術】図９、図１０に於いて、従来の基板処理
装置を説明する。 【０００３】筐体１の前面にはカセットステージ２が設
けられ、該カセットステージ２はシャッタ３を介して前
記筐体１の内部と連通している。 【０００４】該筐体１の内部前方に、前記カセットステ
ージ２と対向してカセットオープナー４が設けられ、該
カセットオープナー４の上方にはカセットストッカ５が
設けられ、該カセットストッカ５、前記カセットオープ
ナー４と前記カセットステージ２間にはカセットローダ
６が設けられている。 【０００５】前記筐体１の内部後方一側にボートエレベ
ータ７が設けられ、該ボートエレベータ７から水平に延
びる昇降アーム８にはシールキャップ９が設けられ、該
シールキャップ９は、処理室を形成する反応炉１１の炉
口を閉塞する。前記シールキャップ９にはボート載置部
１２（後述）が設けられ、該ボート載置部１２に被処理
基板（以下ウェーハ）を水平姿勢で多段に保持する基板
保持具（以下ボート）１３が載置される。 【０００６】前記ボートエレベータ７に対向して、前記
筐体１の他側にはボート交換装置１４が設けられ、該ボ
ート交換装置１４、前記ボートエレベータ７と前記カセ
ットオープナー４との間に基板移載機１５が設けられて
いる。 【０００７】前記カセットステージ２は図示しない外部
搬送装置及び前記カセットローダ６間でカセット１６の
授受を行うものであり、前記カセットローダ６は横行、
昇降、進退可能であり、前記カセットステージ２のカセ
ット１６を前記カセットオープナー４、カセットストッ
カ５に移載するものである。前記カセットオープナー４
は、前記カセット１６の蓋を開閉する。 【０００８】前記基板移載機１５は昇降、進退、回転可
能であり、前記カセットオープナー４上のカセット１６
と前記ボート交換装置１４に保持されたボート１３間で
前記ウェーハ２０の移載を行う。 【０００９】前記ボート交換装置１４は２本のボート支
持アーム１７，１８を有し、該ボート支持アーム１７，
１８は独立して、回転可能且つ昇降可能となっており、
ウェーハ移載位置Ａ、ボート授受位置Ｂ、ウェーハクー
リング位置Ｃ間で前記ボート１３の移動を行う様になっ
ている。 【００１０】前記ボート載置部１２は前記ボート授受位
置Ｂで未処理ウェーハ２０を保持したボート１３を前記
ボート交換装置１４から受取り、前記ボートエレベータ
７により前記反応炉１１に装入する。 【００１１】該反応炉１１では前記ウェーハ２０が加熱
され、所要の処理ガスが導入され基板処理される。又、
前記ボート１３はウェーハ処理中成膜の均一性を向上さ
せる為回転される。 【００１２】処理が完了すると前記反応炉１１から前記
ボート１３を前記ボート授受位置Ｂに引出し、前記ボー
ト１３を前記ボート交換装置１４に受渡す。 【００１３】処理済ウェーハ２０を保持するボート１３
は前記ウェーハクーリング位置Ｃに移動され、所定の温
度となる迄冷却される。その間、未処理ウェーハ２０を
保持するボート１３が前記ウェーハ移載位置Ａより前記
ボート授受位置Ｂに移動され、前記ボート載置部１２に
受渡され、前記ボートエレベータ７により前記反応炉１
１に装入される。 【００１４】前記ウェーハクーリング位置Ｃで処理済ウ
ェーハ２０が所定の温度迄冷却されると、前記ボート交
換装置１４は処理済ウェーハ２０を保持するボート１３
を前記ウェーハ移載位置Ａ迄移動する。 【００１５】前記基板移載機１５は前記ウェーハ移載位
置Ａにあるボート１３から処理済ウェーハ２０を前記カ
セットオープナー４上のカセット１６に払出す。処理済
ウェーハ２０が前記カセット１６に装填されると該カセ
ット１６は前記カセットローダ６により前記カセットス
テージ２へ搬送され、更に外部搬送装置により搬出され
る。 【００１６】前記カセットローダ６により前記カセット
オープナー４に未処理ウェーハ２０が装填されたカセッ
ト１６が移載され、前記基板移載機１５は前記カセット
１６から未処理ウェーハ２０を前記ウェーハ移載位置Ａ
にある空のボート１３に移載する。 【００１７】而して、前記ウェーハ２０の処理が繰返し
実行される。 【００１８】上記基板処理装置では２つのボートを交換
するという工程があり、前記ボート載置部１２は前記ボ
ート１３が容易に授受できる様な構造となっている。 【００１９】図１１により前記ボート載置部１２の構造
について説明する。 【００２０】前記シールキャップ９は前記昇降アーム８
に設けられ、前記ボート１３装入時には前記反応炉１１
の炉口を気密に閉塞する。前記昇降アーム８の下面にボ
ート回転用モータ２１が設けられている。該ボート回転
用モータ２１の回転軸２２は前記昇降アーム８、シール
キャップ９を気密に貫通し、上端部が前記ボート載置部
１２に固着されている。該ボート載置部１２の中心には
凹部２３が形成されている。前記ボート１３の底板２４
には短円筒状のボート座２５が形成され、該ボート座２
５の中央には前記凹部２３と契合する凸部２６が形成さ
れている。 【００２１】而して、前記ボート１３が前記ボート載置
部１２に載置され、前記凸部２６が前記凹部２３に契合
することで、前記ボート１３が前記ボート載置部１２に
対して芯合せされる。前記ボート回転用モータ２１を駆
動することで、前記回転軸２２、ボート載置部１２を介
して前記ボート１３が回転される。 【００２２】 【発明が解決しようとする課題】上記した基板処理装置
では２つのボート１３により処理が実行されるので、ウ
ェーハの移載作業がウェーハの処理中に行われ、時間的
に無駄がなく、スループットが向上するという長所があ
る。その一方で、前記ボート１３の交換作業が必要であ
り、該ボート１３は前記ボート載置部１２に単に載置さ
れる構造となっている。 【００２３】従って、メンテナンス時に作業者が誤って
前記ボート１３にぶつかり倒してしまう可能性があり、
又地震等により倒れてしまう可能性もあった。 【００２４】ボートは石英製で壊れ易く、精密加工品で
高価であり、倒れて損傷することは大きな損害となる。 【００２５】本発明は斯かる実情に鑑み、ボートが簡単
に倒れない様にし、ボートの破損を防止するものであ
る。 【００２６】 【課題を解決するための手段】本発明は、基板を処理す
る処理室と、該処理室内で基板を保持する基板保持具
と、該基板保持具を載置する載置部と、前記基板保持具
と載置部とを相対回転させる回転部と、前記載置部と基
板保持具とに設けられ前記相対回転により係脱可能な係
合部とを具備する基板処理装置に係るものである。 【００２７】 【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。 【００２８】尚、本実施の形態に於いて、基板処理装置
の基本的な構成は図９、図１０と同様であるので説明を
省略する。又、図１〜図４に於いて図１１で示したもの
と同等のものには同符号を付してある。 【００２９】シールキャップ９は昇降アーム８の上面に
設けられ、該昇降アーム８の下面にはボート回転用モー
タ２１が設けられる。該ボート回転用モータ２１の回転
軸２２は前記シールキャップ９を気密に貫通し、突出し
た上端部にはボート載置部１２が固着される。該ボート
載置部１２の周縁には対向する一対の鉤受部２８が設け
られ、該鉤受部２８は幅がＧの溝を形成する逆Ｌ字状を
している。前記ボート載置部１２の中央にはテーパ形状
の凹部２３が形成されている。 【００３０】ボート１３の底板２４には短円筒形状のボ
ート座２５が突設され、該ボート座２５の下端周縁には
対向する位置に一対の鉤片２９が水平方向に突設され、
該鉤片２９の外縁は前記底板２４と同心の円弧となって
いる。前記鉤片２９と底板２４との間に形成される間隙
Ｈは前記鉤受部２８の上端部が自在に通過し得、上下方
向に適宜な余裕を有している。前記底板２４の中央には
前記凹部２３と契合するテーパ状の凸部２６が形成され
ている。前記鉤片２９の厚みは前記溝幅Ｇより小さく上
下方向に適宜な余裕を有している。又、前記鉤片２９の
外縁の直径は前記一対の鉤受部２８の溝底間の距離より
小さくなっている。 【００３１】図５〜図８に於いて、作動について説明す
る。 【００３２】前記ボート１３が前記ボート載置部１２に
載置される状態では、前記鉤片２９と前記鉤受部２８と
は干渉しない位置となっている。図示では、前記鉤受部
２８は左右に位置し、前記鉤片２９は紙面に対して垂直
な位置にあり、９０°位置がずれている（図５参照）。
尚、図示していないが前記ボート１３は前記ボート交換
装置１４のボート支持アーム１７，１８のいずれかに支
持されている。 【００３３】前記ボート１３とボート載置部１２とが芯
合せされた後、前記ボート１３が降下され、前記ボート
載置部１２と前記ボート座２５とが僅かに浮いた状態で
保持される（図６参照）。 【００３４】前記ボート回転用モータ２１により前記ボ
ート載置部１２が９０°回転される。該ボート載置部１
２の回転により、前記鉤受部２８と鉤片２９とは重な
り、係合位置となる（図７参照）。この状態では、前記
鉤受部２８と鉤片２９とが係合することで、前記ボート
１３が傾くのを抑止し、該ボート１３に水平方向の力、
例えば作業者がぶつかったり、地震があった場合等の前
記ボート１３の転倒を防止する。 【００３５】更に、該ボート１３が降下され、前記ボー
ト載置部１２に載置される。図示しないボート支持アー
ム１７，１８が退避する。 【００３６】図示しないボートエレベータ７により前記
ボート１３が反応炉１１に装入され、ウェーハ２０処理
時には前記ボート回転用モータ２１により前記ボート１
３が回転される。 【００３７】ウェーハの処理が完了し、引出されたボー
ト１３を前記ボート交換装置１４により移動する場合
は、該ボート交換装置１４により僅かに前記ボート１３
を持上げ、前記ボート回転用モータ２１により前記ボー
ト載置部１２を９０°回転し、前記鉤受部２８と鉤片２
９との係合を解除する。前記ボート交換装置１４により
更に前記ボート１３を上昇させ、移動する。 【００３８】尚、ウェーハ２０の処理、ボートの交換に
ついては前述したと同様であるので、説明を省略する。 【００３９】又、上記実施の形態では、前記鉤受部２８
を前記ボート載置部１２に、前記鉤片２９を前記ボート
座２５に設けたが、前記鉤受部２８を前記ボート座２５
に、前記鉤片２９を前記ボート載置部１２に設けてもよ
い。又、前記鉤受部２８、鉤片２９の形状についても種
々変更が可能であり、要は前記ボート１３とボート載置
部１２とが相対回転により係合離脱可能な形状であれば
よい。更に、前記ボート交換装置１４が前記ボート１３
を回転する機能を有する場合は、前記ボート交換装置１
４により前記ボート１３を回転してもよい。更に又、該
ボート１３は下部にボートキャップを有するものも含む
ことは勿論である。 【００４０】尚、本発明はボート交換式の基板処理装置
以外の基板処理装置にも実施可能であり、この場合ボー
トの洗浄等メンテナンス時のボートの着脱が容易にな
り、その他のメンテナンス時のボートの転倒防止にも有
効である。 【００４１】 【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、基板を
処理する処理室と、該処理室内で基板を保持する基板保
持具と、該基板保持具を載置する載置部と、前記基板保
持具と載置部とを相対回転させる回転部と、前記載置部
と基板保持具とに設けられ前記相対回転により係脱可能
な係合部とを具備するので、前記載置部に基板保持具が
載置された状態では、係合部が係合状態にあり、基板保
持具の傾斜を抑止し、基板保持具の転倒を防止し、基板
保持具の破損を防止するという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の要部を示し、ボート載置
部の平面図である。 【図２】同前実施の形態の要部を示すボート載置部の立
断面図である。 【図３】同前実施の形態の要部を示すボート下部の立断
面図である。 【図４】同前実施の形態の要部を示すボート下部の底面
図である。 【図５】本発明の実施の形態の作動を示す説明図であ
る。 【図６】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図７】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図８】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図９】従来の基板処理装置の全体斜視図である。 【図１０】該従来の基板処理装置の概略平面図である。 【図１１】該従来例の要部断面図である。 【符号の説明】 １ 筐体 ７ ボートエレベータ ８ 昇降アーム ９ シールキャップ １１ 反応炉 １２ ボート載置部 １３ ボート ２１ ボート回転用モータ ２５ ボート座 ２８ 鉤受部 ２９ 鉤片
部の平面図である。 【図２】同前実施の形態の要部を示すボート載置部の立
断面図である。 【図３】同前実施の形態の要部を示すボート下部の立断
面図である。 【図４】同前実施の形態の要部を示すボート下部の底面
図である。 【図５】本発明の実施の形態の作動を示す説明図であ
る。 【図６】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図７】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図８】同前実施の形態の作動を示す説明図である。 【図９】従来の基板処理装置の全体斜視図である。 【図１０】該従来の基板処理装置の概略平面図である。 【図１１】該従来例の要部断面図である。 【符号の説明】 １ 筐体 ７ ボートエレベータ ８ 昇降アーム ９ シールキャップ １１ 反応炉 １２ ボート載置部 １３ ボート ２１ ボート回転用モータ ２５ ボート座 ２８ 鉤受部 ２９ 鉤片
─────────────────────────────────────────────────────
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Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA08 DA17 FA01 FA03
FA11 FA12 HA64 HA67 HA80
MA28 MA29 MA32 PA06 PA07
PA08 PA20
5F045 BB20 EM08 EM09 EM10 EN04
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板を処理する処理室と、該処理室内で
基板を保持する基板保持具と、該基板保持具を載置する
載置部と、前記基板保持具と載置部とを相対回転させる
回転部と、前記載置部と基板保持具とに設けられ前記相
対回転により係脱可能な係合部とを具備することを特徴
とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001391850A JP2003197720A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001391850A JP2003197720A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 基板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003197720A true JP2003197720A (ja) | 2003-07-11 |
Family
ID=27599319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001391850A Pending JP2003197720A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003197720A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021100015A (ja) * | 2019-12-19 | 2021-07-01 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
-
2001
- 2001-12-25 JP JP2001391850A patent/JP2003197720A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021100015A (ja) * | 2019-12-19 | 2021-07-01 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
| JP7361595B2 (ja) | 2019-12-19 | 2023-10-16 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040929 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061121 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070403 |