JP2003166828A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2003166828A5
JP2003166828A5 JP2001365632A JP2001365632A JP2003166828A5 JP 2003166828 A5 JP2003166828 A5 JP 2003166828A5 JP 2001365632 A JP2001365632 A JP 2001365632A JP 2001365632 A JP2001365632 A JP 2001365632A JP 2003166828 A5 JP2003166828 A5 JP 2003166828A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
detection
electrode
pair
bending vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001365632A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2003166828A (ja
JP3966719B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2001365632A priority Critical patent/JP3966719B2/ja
Priority claimed from JP2001365632A external-priority patent/JP3966719B2/ja
Publication of JP2003166828A publication Critical patent/JP2003166828A/ja
Publication of JP2003166828A5 publication Critical patent/JP2003166828A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3966719B2 publication Critical patent/JP3966719B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2001365632A 2001-11-30 2001-11-30 角速度測定装置 Expired - Lifetime JP3966719B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001365632A JP3966719B2 (ja) 2001-11-30 2001-11-30 角速度測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001365632A JP3966719B2 (ja) 2001-11-30 2001-11-30 角速度測定装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007110545A Division JP4591787B2 (ja) 2007-04-19 2007-04-19 振動子および角速度測定装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003166828A JP2003166828A (ja) 2003-06-13
JP2003166828A5 true JP2003166828A5 (de) 2005-07-21
JP3966719B2 JP3966719B2 (ja) 2007-08-29

Family

ID=19175627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001365632A Expired - Lifetime JP3966719B2 (ja) 2001-11-30 2001-11-30 角速度測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3966719B2 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4075833B2 (ja) 2003-06-04 2008-04-16 セイコーエプソン株式会社 圧電振動ジャイロ素子、その製造方法、及び圧電振動ジャイロセンサ
JP2006105614A (ja) * 2004-09-30 2006-04-20 Seiko Epson Corp 振動型ジャイロスコープ、及び振動型ジャイロスコープの製造方法
JP2008175578A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Nec Tokin Corp 圧電振動ジャイロ用振動子
JP5772286B2 (ja) 2011-06-24 2015-09-02 セイコーエプソン株式会社 屈曲振動片及び電子機器
JP2016090252A (ja) * 2014-10-30 2016-05-23 セイコーエプソン株式会社 ジャイロ素子、ジャイロ素子の製造方法、ジャイロセンサー、電子機器、および移動体
JP2024032561A (ja) 2022-08-29 2024-03-12 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子および角速度センサー

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2389316A1 (en) Angular velocity sensor
WO2006075764A1 (ja) 振動型ジャイロスコープ
WO1998007005A1 (fr) Detecteur de vitesse angulaire
JP3885944B2 (ja) 振動子および振動型ジャイロスコープ
JP2007108053A (ja) 振動子および振動型ジャイロスコープ用測定素子
JP2005098983A (ja) 振動子、電子機器および振動子の周波数調整方法
JP3892993B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP2003166828A5 (de)
JPH08334330A (ja) 波動ジャイロスコープ及びそれを用いた回転角速度検出方法
JP2004144699A (ja) 振動ジャイロ及び角速度センサー
JP4356881B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP4305625B2 (ja) 振動子および物理量測定用信号発生素子
JPH11248465A (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法
JP3966719B2 (ja) 角速度測定装置
JP3720563B2 (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープおよび回転角速度の測定方法
JP2004301552A (ja) 振動子および物理量測定装置
JPH07139952A (ja) 振動ジャイロ
JP2005249746A (ja) 振動子および物理量測定装置
JPH1114366A (ja) 振動型ジャイロスコープ
JP4035264B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JPH09105638A (ja) 振動ジャイロ
JP2004361320A (ja) 振動子の励振方法、物理量の測定方法および物理量測定装置
JP2004286476A (ja) 振動子の検出離調の測定方法、その調整方法および振動子
JPH09113279A (ja) 振動ジャイロ
JP2004101255A (ja) 圧電体振動ジャイロセンサ