JP2003163261A - 試料搬送用容器 - Google Patents
試料搬送用容器Info
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- JP2003163261A JP2003163261A JP2001361136A JP2001361136A JP2003163261A JP 2003163261 A JP2003163261 A JP 2003163261A JP 2001361136 A JP2001361136 A JP 2001361136A JP 2001361136 A JP2001361136 A JP 2001361136A JP 2003163261 A JP2003163261 A JP 2003163261A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空室内に試料を搬入及び搬出する際に試料
を収容して搬送するために使用される試料搬送用容器に
おいて、フィルタの脱着を容易にし、且つ脱着の際の発
塵を抑える。 【解決手段】 試料搬送用容器１の壁面には長方形の開
口部２が形成され、その入口側に内周面に沿って開口部
を取り囲むようにＶ字型の溝１１ａ〜ｄが形成されてい
る。第一及び第二の固定器具５、６は、板バネ材で一体
的に構成され、それぞれ、二つのエッジ５ａ、５ｂ、６
ａ、６ｂ、及び二つのエッジを互いに連結する二つのブ
リッジ部５ｃ、５ｄ、６ｃ、６ｄを備えている。各エッ
ジはＶ字型の断面形状を備え、溝１１ａ〜１１ｄに噛み
合うように構成されている。試料搬送用容器１の壁面の
開口部２にフィルタ３を嵌め込んだ後、フィルタ３の縁
部を、第一及び第二の固定器具５、６を用いて溝１１ａ
〜１１ｄの中に固定する。
を収容して搬送するために使用される試料搬送用容器に
おいて、フィルタの脱着を容易にし、且つ脱着の際の発
塵を抑える。 【解決手段】 試料搬送用容器１の壁面には長方形の開
口部２が形成され、その入口側に内周面に沿って開口部
を取り囲むようにＶ字型の溝１１ａ〜ｄが形成されてい
る。第一及び第二の固定器具５、６は、板バネ材で一体
的に構成され、それぞれ、二つのエッジ５ａ、５ｂ、６
ａ、６ｂ、及び二つのエッジを互いに連結する二つのブ
リッジ部５ｃ、５ｄ、６ｃ、６ｄを備えている。各エッ
ジはＶ字型の断面形状を備え、溝１１ａ〜１１ｄに噛み
合うように構成されている。試料搬送用容器１の壁面の
開口部２にフィルタ３を嵌め込んだ後、フィルタ３の縁
部を、第一及び第二の固定器具５、６を用いて溝１１ａ
〜１１ｄの中に固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置な
どにおいて、真空排気される処理室の中に試料を搬入及
び搬出する際に、試料表面への異物の付着を防止する目
的で、試料を収容して搬送するために使用される試料搬
送用容器に係る。
どにおいて、真空排気される処理室の中に試料を搬入及
び搬出する際に、試料表面への異物の付着を防止する目
的で、試料を収容して搬送するために使用される試料搬
送用容器に係る。
【０００２】
【従来の技術】図７に、特開平１０−２６１５６０号公
報に記載されている試料搬送用容器の概要を示す。
報に記載されている試料搬送用容器の概要を示す。
【０００３】この試料搬送用容器は、電子ビーム露光装
置の描画室内にマスクを搬入及び搬出する際に使用され
るものである。図中、２３はマスク、２４は試料搬送用
容器、２９は底板（「蓋体」）、２８は容器本体、３０
は開口部（「孔」）、３４はフィルタ、３２はネジを表
わす。
置の描画室内にマスクを搬入及び搬出する際に使用され
るものである。図中、２３はマスク、２４は試料搬送用
容器、２９は底板（「蓋体」）、２８は容器本体、３０
は開口部（「孔」）、３４はフィルタ、３２はネジを表
わす。
【０００４】マスク２３は、クリーンルーム内で試料搬
送用容器２４の中に収容された後、その状態で電子ビー
ム露光装置の予備室の中に搬入される。次いで、予備室
内を真空に排気した後、底板２９から容器本体２８を取
り外し、底板２９の上にマスク２３を載せた状態で、マ
スク２３を電子ビーム露光装置の描画室の中に搬入す
る。露光が終了した後、底板２９の上にマスク２３を載
せた状態で、マスク２３を予備室に戻し、底板２９の上
に容器本体２８を再び取り付ける。次いで、予備室内に
清浄な空気を導入して予備室内を大気圧に戻した後、予
備室内から試料搬送用容器２４を取り出す。このよう
に、露光が終了したマスクは試料搬送用容器２４に収容
された状態で、次の工程へ送られる。
送用容器２４の中に収容された後、その状態で電子ビー
ム露光装置の予備室の中に搬入される。次いで、予備室
内を真空に排気した後、底板２９から容器本体２８を取
り外し、底板２９の上にマスク２３を載せた状態で、マ
スク２３を電子ビーム露光装置の描画室の中に搬入す
る。露光が終了した後、底板２９の上にマスク２３を載
せた状態で、マスク２３を予備室に戻し、底板２９の上
に容器本体２８を再び取り付ける。次いで、予備室内に
清浄な空気を導入して予備室内を大気圧に戻した後、予
備室内から試料搬送用容器２４を取り出す。このよう
に、露光が終了したマスクは試料搬送用容器２４に収容
された状態で、次の工程へ送られる。
【０００５】上記のような試料搬送用容器２４では、マ
スク２３を試料搬送用容器２４内に収容した状態のまま
で、試料搬送用容器２４の内部を真空に排気し、また、
内部を大気圧に戻すことを可能にするため、試料搬送用
容器２４の壁面に開口部３０を設け、そこにフィルタ３
４を取り付けている。このフィルタ３４は、露光の終了
後、予備室内を大気圧に戻す際に、試料搬送用容器２４
内にダストが侵入することを防止するとともに、電子ビ
ーム露光装置の外部においてマスク２３を搬送する際に
も、試料搬送用容器２４内にダストが侵入することを防
止する。
スク２３を試料搬送用容器２４内に収容した状態のまま
で、試料搬送用容器２４の内部を真空に排気し、また、
内部を大気圧に戻すことを可能にするため、試料搬送用
容器２４の壁面に開口部３０を設け、そこにフィルタ３
４を取り付けている。このフィルタ３４は、露光の終了
後、予備室内を大気圧に戻す際に、試料搬送用容器２４
内にダストが侵入することを防止するとともに、電子ビ
ーム露光装置の外部においてマスク２３を搬送する際に
も、試料搬送用容器２４内にダストが侵入することを防
止する。
【０００６】（従来の試料搬送用容器の問題点）従来の
試料搬送用容器では、図７に示されているように、フィ
ルタ３４は、試料搬送用容器２４の容器本体２８の壁面
にネジ３２を用いて取り付けられていた。このため、フ
ィルタ３４を交換する際に、ネジ３２を取り外し次いで
取り付ける必要があった。しかし、ネジの取り外し及び
取り付けの工程は作業性が悪く、更に、クリーンルーム
内でダストを発生させる要因となっていた。
試料搬送用容器では、図７に示されているように、フィ
ルタ３４は、試料搬送用容器２４の容器本体２８の壁面
にネジ３２を用いて取り付けられていた。このため、フ
ィルタ３４を交換する際に、ネジ３２を取り外し次いで
取り付ける必要があった。しかし、ネジの取り外し及び
取り付けの工程は作業性が悪く、更に、クリーンルーム
内でダストを発生させる要因となっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な従来の試料搬送用容器の問題点に鑑み成されたもの
で、本発明の目的は、フィルタの脱着が容易で、且つ脱
着の際に発塵のおそれが少ない試料搬送用容器を提供す
ることにある。
な従来の試料搬送用容器の問題点に鑑み成されたもの
で、本発明の目的は、フィルタの脱着が容易で、且つ脱
着の際に発塵のおそれが少ない試料搬送用容器を提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の試料搬送用容器
は、真空室内に試料を搬入及び搬出する際に、試料を収
容して搬送するために使用される試料搬送用容器におい
て、前記搬送用容器の壁面の一部に開口部を設け、この
開口部に防塵用のフィルタを板バネの復原力を利用した
固定器具を用いて取り付けたことを特徴とする。
は、真空室内に試料を搬入及び搬出する際に、試料を収
容して搬送するために使用される試料搬送用容器におい
て、前記搬送用容器の壁面の一部に開口部を設け、この
開口部に防塵用のフィルタを板バネの復原力を利用した
固定器具を用いて取り付けたことを特徴とする。
【０００９】本発明の試料搬送用容器によれば、当該搬
送用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用して
行っているので、フィルタの着脱が容易である。また、
フィルタの固定をボルトを使用して行う従来の方法と比
べて、発塵量を少なく抑えることができる。
送用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用して
行っているので、フィルタの着脱が容易である。また、
フィルタの固定をボルトを使用して行う従来の方法と比
べて、発塵量を少なく抑えることができる。
【００１０】好ましくは、前記開口部には、その内周面
に沿って前記開口部を取り囲むようにＶ字型の溝が形成
され、前記固定器具は、前記溝に噛み合うＶ字型のエッ
ジと、このエッジを前記溝に対して押し付ける板バネと
で構成され、前記フィルタの周縁部を前記溝と前記エッ
ジの間に挟んで固定することによって、前記フィルタを
前記開口部に取り付ける。
に沿って前記開口部を取り囲むようにＶ字型の溝が形成
され、前記固定器具は、前記溝に噛み合うＶ字型のエッ
ジと、このエッジを前記溝に対して押し付ける板バネと
で構成され、前記フィルタの周縁部を前記溝と前記エッ
ジの間に挟んで固定することによって、前記フィルタを
前記開口部に取り付ける。
【００１１】好ましくは、前記固定器具は、板バネによ
る押し付け力の方向が互いに直交する二つの部品によっ
て構成され、各部品は、互いに反対方向に向けられた板
バネ製の二つのエッジと、これらのエッジを互いに連結
する板バネ製のブリッジ部とで構成される。
る押し付け力の方向が互いに直交する二つの部品によっ
て構成され、各部品は、互いに反対方向に向けられた板
バネ製の二つのエッジと、これらのエッジを互いに連結
する板バネ製のブリッジ部とで構成される。
【００１２】好ましくは、前記各部品は、板バネ材を用
いて一体的に構成される。
いて一体的に構成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に、本発明に基づく試料搬送
用容器の概要を示す。図中、１は試料搬送用容器、２は
開口部、３はフィルタ、５及び６は固定器具を表わす。
用容器の概要を示す。図中、１は試料搬送用容器、２は
開口部、３はフィルタ、５及び６は固定器具を表わす。
【００１４】試料（図示せず）は、この試料搬送用容器
１の中に収容された状態で、真空容器（例えば、半導体
製造装置の予備室）の中に搬入され、また、その中から
搬出される。試料を試料搬送用容器１内に収容した状態
のままで、試料搬送用容器１の内部を真空に排気し、ま
た、内部を大気圧に戻すことを可能にするために、試料
搬送用容器１の壁面に開口部２が設けられ、そこにフィ
ルタ３が取り付けられている。本発明に基づく試料搬送
用容器では、以下に示すように、フィルタ３は、板バネ
の復原力を利用した二つの固定器具５及び６を用いて、
開口部２に固定される。
１の中に収容された状態で、真空容器（例えば、半導体
製造装置の予備室）の中に搬入され、また、その中から
搬出される。試料を試料搬送用容器１内に収容した状態
のままで、試料搬送用容器１の内部を真空に排気し、ま
た、内部を大気圧に戻すことを可能にするために、試料
搬送用容器１の壁面に開口部２が設けられ、そこにフィ
ルタ３が取り付けられている。本発明に基づく試料搬送
用容器では、以下に示すように、フィルタ３は、板バネ
の復原力を利用した二つの固定器具５及び６を用いて、
開口部２に固定される。
【００１５】図２に、フィルタ３が装着された状態の開
口部２の部分拡大図を示す。図３に、開口部２の形状
を、図４にフィルタ３の形状を、図５に第一の固定器具
の形状を、図６に第二の固定器具の形状を、それぞれ示
す。
口部２の部分拡大図を示す。図３に、開口部２の形状
を、図４にフィルタ３の形状を、図５に第一の固定器具
の形状を、図６に第二の固定器具の形状を、それぞれ示
す。
【００１６】図３に示すように、試料搬送用容器１の壁
面には、長方形の開口部２が形成されている。この開口
部２の入口側には、その内周面に沿って開口部を取り囲
むようにＶ字型の溝１１ａ〜１１ｄが形成されている。
即ち、開口部２の入口側（外壁面側）には、Ｖ字型の溝
１１ａ〜１１ｄが形成され、このＶ字型の溝の一方の面
は、開口部２の内周面から壁面に対して平行に伸び、も
う一方の面は、外壁面から壁面に対して傾めの角度で壁
面内に伸びている。
面には、長方形の開口部２が形成されている。この開口
部２の入口側には、その内周面に沿って開口部を取り囲
むようにＶ字型の溝１１ａ〜１１ｄが形成されている。
即ち、開口部２の入口側（外壁面側）には、Ｖ字型の溝
１１ａ〜１１ｄが形成され、このＶ字型の溝の一方の面
は、開口部２の内周面から壁面に対して平行に伸び、も
う一方の面は、外壁面から壁面に対して傾めの角度で壁
面内に伸びている。
【００１７】図４に示すように、フィルタ３は、上記の
開口部２と比べて一回り大きい長方形の四辺に、それぞ
れ固定用の縁部が追加された形状を備えている。
開口部２と比べて一回り大きい長方形の四辺に、それぞ
れ固定用の縁部が追加された形状を備えている。
【００１８】第一の固定器具５は、図２に示すように、
開口部の左右にあるＶ字型の溝１１ａ、１１ｂに噛み合
うように構成されている。図５に示すように、第一の固
定器具５は、二つのエッジ５ａ、５ｂ、及び両者を互い
に連結する二つのブリッジ部５ｃ、５ｄから構成されて
いる。第一の固定器具５は、ステンレス鋼製の板バネ材
で一体的に構成されている。二つのエッジ５ａ、５ｂ
は、Ｖ字型の断面形状を備え、互いに反対方向（左右方
向）に向けられている。ブリッジ部５ｃ、５ｄは、二つ
のエッジ５ａ、５ｂの間に架け渡されている。ブリッジ
部５ｃ、５ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成され
ている。この折曲げ部を弾性変形させることによって、
両端の二つのエッジ５ａ、５ｂの相互の間隔を縮め、開
口部２の左右にあるＶ字溝１１ａ、１１ｂの中にこれら
の二つのエッジ５ａ、５ｂを嵌め込む。
開口部の左右にあるＶ字型の溝１１ａ、１１ｂに噛み合
うように構成されている。図５に示すように、第一の固
定器具５は、二つのエッジ５ａ、５ｂ、及び両者を互い
に連結する二つのブリッジ部５ｃ、５ｄから構成されて
いる。第一の固定器具５は、ステンレス鋼製の板バネ材
で一体的に構成されている。二つのエッジ５ａ、５ｂ
は、Ｖ字型の断面形状を備え、互いに反対方向（左右方
向）に向けられている。ブリッジ部５ｃ、５ｄは、二つ
のエッジ５ａ、５ｂの間に架け渡されている。ブリッジ
部５ｃ、５ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成され
ている。この折曲げ部を弾性変形させることによって、
両端の二つのエッジ５ａ、５ｂの相互の間隔を縮め、開
口部２の左右にあるＶ字溝１１ａ、１１ｂの中にこれら
の二つのエッジ５ａ、５ｂを嵌め込む。
【００１９】これに対して、第二の固定器具６は、図２
に示すように、開口部の上下にあるＶ字型の溝１１ｃ、
１１ｄに噛み合うように構成されている。図６に示すよ
うに、第二の固定器具６は、第一の固定器具５と同様
に、二つのエッジ６ａ、６ｂ、及び両者を互いに連結す
る二つのブリッジ部６ｃ、６ｄから構成されている。第
二の固定器具６も、ステンレス鋼製の板バネ材で一体的
に構成されている。二つのエッジ６ａ、６ｂは、Ｖ字型
の断面形状を備え、互いに反対方向（上下方向）に向け
られている。ブリッジ部６ｃ、６ｄは、二つのエッジ６
ａ、６ｂの間に架け渡されている。ブリッジ部６ｃ、６
ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成されている。こ
の折曲げ部を弾性変形させることによって、両端の二つ
のエッジ６ａ、６ｂの相互の間隔を縮め、開口部２の上
下にあるＶ字溝１１ｃ、１１ｄの中にこれらの二つのエ
ッジ６ａ、６ｂを嵌め込む。
に示すように、開口部の上下にあるＶ字型の溝１１ｃ、
１１ｄに噛み合うように構成されている。図６に示すよ
うに、第二の固定器具６は、第一の固定器具５と同様
に、二つのエッジ６ａ、６ｂ、及び両者を互いに連結す
る二つのブリッジ部６ｃ、６ｄから構成されている。第
二の固定器具６も、ステンレス鋼製の板バネ材で一体的
に構成されている。二つのエッジ６ａ、６ｂは、Ｖ字型
の断面形状を備え、互いに反対方向（上下方向）に向け
られている。ブリッジ部６ｃ、６ｄは、二つのエッジ６
ａ、６ｂの間に架け渡されている。ブリッジ部６ｃ、６
ｄの中央には、Ｕ字型の折曲げ部が形成されている。こ
の折曲げ部を弾性変形させることによって、両端の二つ
のエッジ６ａ、６ｂの相互の間隔を縮め、開口部２の上
下にあるＶ字溝１１ｃ、１１ｄの中にこれらの二つのエ
ッジ６ａ、６ｂを嵌め込む。
【００２０】図２に示すように、試料搬送用容器１の壁
面の開口部２に、フィルタ３を嵌め込んだ後、フィルタ
３の左右の縁部を、第一の固定器具５を用いて、左右の
Ｖ字型の溝１１ａ、１１ｂの中に固定する。次いで、フ
ィルタ３の上下の縁部を、第二の固定器具６を用いて、
上下のＶ字型の溝１１ｃ、１１ｄの中に固定する。
面の開口部２に、フィルタ３を嵌め込んだ後、フィルタ
３の左右の縁部を、第一の固定器具５を用いて、左右の
Ｖ字型の溝１１ａ、１１ｂの中に固定する。次いで、フ
ィルタ３の上下の縁部を、第二の固定器具６を用いて、
上下のＶ字型の溝１１ｃ、１１ｄの中に固定する。
【００２１】上記のように、試料搬送用容器１の壁面の
開口部２にフィルタ３を取り付ける際、Ｖ字型の溝１１
ａ〜１１ｄとＶ字型のエッジ５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの
間にフィルタ２の周縁部が挟まれる。このように、金属
同士の接触がないので、発塵性が低く抑えられる。
開口部２にフィルタ３を取り付ける際、Ｖ字型の溝１１
ａ〜１１ｄとＶ字型のエッジ５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの
間にフィルタ２の周縁部が挟まれる。このように、金属
同士の接触がないので、発塵性が低く抑えられる。
【００２２】なお、この例では、Ｖ字型の溝１１ａ〜１
１ｄの角度αは４５度に設定され、Ｖ字型のエッジ５
ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの角度βは５０度に設定されてい
る。このように、Ｖ字型のエッジの角度βを、Ｖ字型の
溝の角度αよりも５度程度大きく設定することによっ
て、フィルタ３の縁部におけるシール性を確保すること
ができる。
１ｄの角度αは４５度に設定され、Ｖ字型のエッジ５
ａ、５ｂ、６ａ、６ｂの角度βは５０度に設定されてい
る。このように、Ｖ字型のエッジの角度βを、Ｖ字型の
溝の角度αよりも５度程度大きく設定することによっ
て、フィルタ３の縁部におけるシール性を確保すること
ができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明の試料搬送用容器によれば、搬送
用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用した固
定器具を用いて行っているので、フィルタの着脱が容易
である。また、フィルタの固定をボルトを使用して行う
従来の方法と比べて、発塵量を少なく抑えることができ
る。
用容器に対するフィルタの固定を、板バネを利用した固
定器具を用いて行っているので、フィルタの着脱が容易
である。また、フィルタの固定をボルトを使用して行う
従来の方法と比べて、発塵量を少なく抑えることができ
る。
【図１】本発明の試料搬送用容器の概要を示す図。
【図２】フィルタが装着された状態の開口部の部分拡大
図。
図。
【図３】開口部の形状を示す図。
【図４】フィルタの形状を示す図。
【図５】第一の固定器具の形状を示す図。
【図６】第二の固定器具の形状を示す図。
【図７】従来の試料搬送用容器の一例を示す図。
１・・・試料搬送用容器、
２・・・開口部、
３・・・フィルタ、
５・・・第一の固定器具、
５ａ、５ｂ・・・Ｖ字型のエッジ、
５ｃ、５ｄ・・・ブリッジ部、
６・・・第二の固定器具、
６ａ、６ｂ・・・Ｖ字型のエッジ、
６ｃ、６ｄ・・・ブリッジ部、
１１ａ〜１１ｄ・・・Ｖ字型の溝、
２３・・・マスク、
２４・・・試料搬送用容器、
２８・・・容器本体、
２９・・・底板、
３０・・・開口部、
３２・・・ネジ、
３４・・・エアフィルタ。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G052 AA13 AD32 CA48 DA21 JA04
3E067 AA12 AA24 AB41 BA01A
BC06A BC07A CA03 CA05
EA32 EB27 EE18 FA01 FB11
FC01 GA13 GB03 GD10
3E096 BA15 BB03 BB08 CA01 CB03
DA12 DA18 DB04 DC02 FA03
FA40 GA04
5F031 CA07 DA08 EA14 EA20 MA27
NA20
Claims (4)
- 【請求項１】 真空室内に試料を搬入及び搬出する際
に、試料を収容して搬送するために使用される試料搬送
用容器において、 前記搬送用容器の壁面の一部に開口部を設け、この開口
部に防塵用のフィルタを板バネの復原力を利用した固定
器具を用いて取り付けたことを特徴とする試料搬送用容
器。 - 【請求項２】 前記開口部には、その内周面に沿って前
記開口部を取り囲むようにＶ字型の溝が形成され、 前記固定器具は、前記溝に噛み合うＶ字型のエッジと、
このエッジを前記溝に対して押し付ける板バネとで構成
され、 前記フィルタの周縁部を前記溝と前記エッジの間に挟ん
で固定することによって、前記フィルタを前記開口部に
取り付けるように構成されていることを特徴とする請求
項１に記載の試料搬送用容器。 - 【請求項３】 前記固定器具は、板バネによる押し付け
力の方向が互いに直交する二つの部品によって構成さ
れ、 各部品は、互いに反対方向に向けられた板バネ製の二つ
のエッジと、これらのエッジを互いに連結する板バネ製
のブリッジ部とで構成されることを特徴とする請求項２
に記載の試料搬送用容器。 - 【請求項４】 前記各部品は、板バネ材を用いて一体的
に構成されていることを特徴とする請求項３に記載の試
料搬送用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001361136A JP4064660B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 試料搬送用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001361136A JP4064660B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 試料搬送用容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003163261A true JP2003163261A (ja) | 2003-06-06 |
| JP4064660B2 JP4064660B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=19171844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001361136A Expired - Fee Related JP4064660B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 試料搬送用容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4064660B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
| WO2016061792A1 (zh) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶玻璃包装箱及防潮包装结构 |
-
2001
- 2001-11-27 JP JP2001361136A patent/JP4064660B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
| US10032660B2 (en) | 2009-12-10 | 2018-07-24 | Entegris, Inc. | Porous barrier for evenly distributed purge gas in a microenvironment |
| WO2016061792A1 (zh) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶玻璃包装箱及防潮包装结构 |
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|---|---|
| JP4064660B2 (ja) | 2008-03-19 |
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