JP2003161936A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JP2003161936A
JP2003161936A JP2001359116A JP2001359116A JP2003161936A JP 2003161936 A JP2003161936 A JP 2003161936A JP 2001359116 A JP2001359116 A JP 2001359116A JP 2001359116 A JP2001359116 A JP 2001359116A JP 2003161936 A JP2003161936 A JP 2003161936A
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孝洋 落合
Kikuo Ono
記久雄 小野
Ryutaro Oke
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 反射強度およびコントラストの良好な液晶表
示装置を得る。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の
上方に形成される反射膜からなる画素電極が、他方の基
板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層上に形成され
る対向電極が形成され、前記第1の下地層の表面は画素
領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凹部が形成されて
いるとともに、前記第2の下地層の表面は画素領域の周
辺を縁とする斜面が滑らかな凸部が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係
り、たとえば反射型あるいは部分透過型と称される液晶
表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、液晶を介して対向配置
される各基板を外囲器とし、該液晶の広がり方向に多数
の画素が形成されて構成されている。
【0003】各画素にはその部分の液晶に独立に電界を
発生せしめる手段が設けられ、該電界によって液晶の光
透過率を制御させるようになっている。
【0004】そして、反射型と称されるものは、観察側
の基板と異なる他の基板の液晶側の面に反射膜を備え、
該観察側からの太陽等の外来光を液晶に透過させた後に
該反射膜によって反射させるようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように構
成された液晶表示装置は、反射光による反射強度がいま
だ充分でないとともに、各基板に介在される液晶のギャ
ップに誤差が生じた場合に表示のコントラストが低下し
てしまうことが指摘されるに至った。
【0006】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたもので、その目的は、反射強度およびコントラスト
の良好な液晶表示装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0008】手段1.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の上方
に形成される反射膜からなる画素電極を少なくとも有
し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層
上に形成される対向電極が形成され、前記第1の下地層
の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凹部
が形成されているとともに、前記第2の下地層の表面は
画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凸部が形成さ
れていることを特徴とするものである。
【0009】手段2.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の上方
に形成される反射膜からなる画素電極を少なくとも有
し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層
上に形成される対向電極が形成され、前記第1の下地層
の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凹部
が形成されているとともに、前記第2の下地層の表面は
画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凸部が形成さ
れ、該凹部の表面と凸部の表面はそれらを重ねあわせた
場合にほぼ勘合するような形状となっていることを特徴
とするものである。
【0010】手段3.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の上方
に形成される反射膜からなる画素電極を少なくとも有
し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層
上に形成される対向電極が形成され、前記第1の下地層
の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凹部
が形成されているとともに、前記第2の下地層の表面は
画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凸部が形成さ
れ、前記第2の下地層に形成された凸部の傾斜の角度は
5〜15°とし、前記第1の下地層に形成された凹部の
傾斜の対応する個所の角度はそれよりも小さくなってい
ることを特徴とするものである。
【0011】手段4.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の上方
に形成される反射膜からなる画素電極を少なくとも有
し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層
上に形成される対向電極が形成され、前記第1の下地層
の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凹部
が形成されているとともに、前記第2の下地層の表面は
画素領域の周辺を縁とする斜面が滑らかな凸部が形成さ
れ、前記第1の下地層に形成された凹部の傾斜の角度お
よび前記第2の下地層に形成された凸部の傾斜の角度が
いずれも10〜15°となっていることを特徴とするも
のである。
【0012】手段5.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層の上方
に形成される反射膜からなる画素電極を少なくとも有
し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下地層
上に形成される対向電極が形成され、前記第1の下地層
の表面は画素領域にて複数の領域に分割されその分割部
を縁とする斜面が滑らかな凹部が形成されているととも
に、前記第2の下地層の表面は前記第1の下地層の分割
された領域に対応して分割されその分割部を縁とする斜
面が滑らかな凸部が形成されていることを特徴とするも
のである。
【0013】手段6.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に光透過領域と光反射領域からな
る画素領域を有し、この画素領域に画素領域の周辺を縁
とする凹部が設けられているとともに前記光透過領域に
相当する部分に開口が形成された有機材料からなる第1
の層と、この第1の層の上面に形成された反射膜からな
る第1の画素電極と、前記層の開口部に形成された光透
過性の第2の電極とが形成され、他方の基板の液晶側の
画素領域に下地層上に形成される対向電極が形成され、
該下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする凸部が形成
されていることを特徴とするものである。
【0014】手段7.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち、一
方の基板の液晶側の面に光透過領域と光反射領域からな
る画素領域を有し、この画素領域に画素領域の周辺を縁
とする凹部が設けられているとともに前記光透過領域に
相当する部分に開口が形成された有機材料からなる第1
の層と、この第1の層の上面に形成された反射膜からな
る第1の画素電極と、前記第1の層の開口部に形成され
た光透過性の第2の電極とが形成され、他方の基板の液
晶側の画素領域にカラーフィルタと該画素領域の周辺を
縁とする凸部が設けられた有機材料からなる第2の層
と、この第2の層の上面に形成された対向電極とが形成
され、前記カラーフィルタは前記第1の層の開口部に対
向する部分にて突起部が形成されていることを特徴とす
るものである。
【0015】手段8.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段1、2、3、4、5のうちいずれかの構成
を前提として、第2の下地層はカラーフィルタであるこ
とを特徴とするものである。
【0016】手段9.本発明による液晶表示装置は、た
とえば、手段6の構成を前提として、下地層はカラーフ
ィルタであることを特徴とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明による液晶表示装置
の実施例を図面を用いて説明をする。
【0018】実施例1. 《等価回路》図2は、本発明による液晶表示装置の一実
施例を示す等価回路図である。同図は等価回路図である
が、実際の幾何学的配置に対応させて描いている。
【0019】同図において、液晶を介して互いに対向配
置される一対の透明基板SUB1、SUB2があり、該
液晶は一方の透明基板SUB1に対する他方の透明基板
SUB2の固定を兼ねるシール材SLによって封入され
ている。
【0020】シール材SLによって囲まれた前記一方の
透明基板SUB1の液晶側の面には、そのx方向に延在
しy方向に並設されたゲート信号線GLとy方向に延在
しx方向に並設されたドレイン信号線DLとが形成され
ている。
【0021】各ゲート信号線GLと各ドレイン信号線D
Lとで囲まれた領域は画素領域を構成するとともに、こ
れら各画素領域のマトリクス状の集合体は液晶表示部A
Rを構成するようになっている。
【0022】各画素領域には、その片側のゲート信号線
GLからの走査信号によって作動される薄膜トランジス
タTFTと、この薄膜トランジスタTFTを介して片側
のドレイン信号線DLからの映像信号が供給される画素
電極PXが形成されている。
【0023】この画素電極PXは、他方の透明基板SU
B2の液晶側の面の各画素領域に共通に形成された対向
電極CT(図示せず)との間に電界を発生させ、この電
界によって液晶の光透過率を制御させるようになってい
る。
【0024】前記ゲート信号線GLのそれぞれの一端は
前記シール材SLを超えて延在され、その延在端は垂直
走査駆動回路Vの出力端子が接続される端子を構成する
ようになっている。また、前記垂直走査駆動回路Vの入
力端子は液晶表示パネルの外部に配置されたプリント基
板からの信号が入力されるようになっている。
【0025】垂直走査駆動回路Vは複数個の半導体装置
からなり、互いに隣接する複数のゲート信号線どおしが
グループ化され、これら各グループ毎に一個の半導体装
置があてがわれるようになっている。
【0026】同様に、前記ドレイン信号線DLのそれぞ
れの一端は前記シール材SLを超えて延在され、その延
在端は映像信号駆動回路Heの出力端子が接続される端
子を構成するようになっている。また、前記映像信号駆
動回路Heの入力端子は液晶表示パネルの外部に配置さ
れたプリント基板からの信号が入力されるようになって
いる。
【0027】この映像信号駆動回路Heも複数個の半導
体装置からなり、互いに隣接する複数のドレイン信号線
どおしがグループ化され、これら各グループ毎に一個の
半導体装置があてがわれるようになっている。
【0028】前記各ゲート信号線GLは、垂直走査回路
Vからの走査信号によって、その一つが順次選択される
ようになっている。
【0029】また、前記各ドレイン信号線DLのそれぞ
れには、映像信号駆動回路Heによって、前記ゲート信
号線GLの選択のタイミングに合わせて映像信号が供給
されるようになっている。
【0030】なお、上述した実施例では、垂直走査駆動
回路Vおよび映像信号駆動回路Heは透明基板SUB1
に搭載された半導体装置を示したものであるが、たとえ
ば透明基板SUB1とプリント基板との間を跨って接続
されるいわゆるテープキャリア方式の半導体装置であっ
てもよく、さらに、前記薄膜トランジスタTFTの半導
体層が多結晶シリコン(p−Si)から構成されるにと
もない、透明基板SUB1面に前記多結晶シリコンから
なる半導体素子を配線層とともに形成されたものであっ
てもよい。
【0031】《透明基板SUB1側の画素の構成》図3
は、透明基板SUB1側の前記各画素領域のうちの一の
画素領域の一実施例を示す平面図である。また、図1は
図3のI−I線における断面図を示している。
【0032】図3において、透明基板SUB1の液晶側
の面に、まず、x方向に延在しy方向に並設される一対
のゲート信号線GLが形成されている。
【0033】これらゲート信号線GLは後述の一対のド
レイン信号線DLとともに矩形状の領域を囲むようにな
っており、この領域を画素領域として構成するようにな
っている。
【0034】このようにゲート信号線GLが形成された
透明基板SUB1の表面にはたとえばSiNからなる絶
縁膜GI(図1参照)が該ゲート信号線GLをも被って
形成されている。
【0035】この絶縁膜GIは、後述のドレイン信号線
DLの形成領域においては前記ゲート信号線GLに対す
る層間絶縁膜としての機能を、後述の薄膜トランジスタ
TFTの形成領域においてはそのゲート絶縁膜としての
機能を、後述の容量素子Caddの形成領域においては
その誘電体膜としての機能を有するようになっている。
【0036】そして、この絶縁膜GIの表面であって、
前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにしてたと
えばアモルファスSiからなる半導体層ASが形成され
ている。
【0037】この半導体層ASは、薄膜トランジスタT
FTのそれであって、その上面にドレイン電極SD1お
よびソース電極SD2を形成することにより、ゲート信
号線GLの一部をゲート電極とする逆スタガ構造のMI
S型トランジスタを構成することができる。
【0038】ここで、前記ドイレン電極SD1およびソ
ース電極SD2はドレイン信号線DLの形成の際に同時
に形成されるようになっている。
【0039】すなわち、y方向に延在されx方向に並設
されるドレイン信号線DLが形成され、その一部が前記
半導体層ASの上面にまで延在されてドレイン電極SD
1が形成され、また、このドレイン電極SD1と薄膜ト
ランジスタTFTのチャネル長分だけ離間されてソース
電極SD2が形成されている。
【0040】このソース電極SD2は半導体層AS面か
ら画素領域側の絶縁膜GIの上面に至るまで若干延在さ
れ、後述の反射膜を兼ねる画素電極PXとの接続を図る
ためのコンタクト部CNが形成されている。
【0041】なお、半導体層ASとドレイン電極SD1
およびソース電極SD2との界面には高濃度の不純物が
ドープされた薄い層が形成され、この層はコンタクト層
として機能するようになっている。
【0042】このコンタクト層は、たとえば半導体層A
Sの形成時に、その表面にすでに高濃度の不純物層が形
成されており、その上面に形成したドレイン電極SD1
およびソース電極SD2のパターンをマスクとしてそれ
から露出された前記不純物層をエッチングすることによ
って形成することができる。
【0043】このように薄膜トランジスタTFT、ドイ
レン信号線DL、ドレイン電極SD1、およびソース電極
SD2が形成された透明基板SUB1の表面にはたとえ
ばSiN等の無機材料層からなる保護膜PSV1、樹脂
等の有機材料層からなる保護膜PSV2(図1参照)が
形成されている。この保護膜PSV1、2は前記薄膜ト
ランジスタTFTの液晶との直接の接触を回避する層
で、該薄膜トランジスタの特性劣化を防止せんとするよ
うになっている。
【0044】ここで、前記保護膜PSV2は、ゲート信
号線GLとドレイン信号線DLで囲まれる画素領域の周
辺を基準面とするとその基準面を縁部とする凹部が形成
された構成となっている。
【0045】この保護膜PSV2に形成された凹部に関
しては透明基板SUB2の液晶側の面に形成した有機材
料層OLの対応する凸部とともに後に詳述する。
【0046】保護膜PSV2の上面には反射膜を兼ねる
画素電極PXが形成されている。この画素電極PXは光
反射効率の大きな金属、たとえばアルミニュウム(A
l)等から構成されている。
【0047】この画素電極PXは、薄膜トランジスタの
形成領域を回避して画素領域の大部分を占めるようにし
て形成されている。そして、その一部が前記保護膜PS
Vの一部に形成されたコンタクトホールCHを通して薄
膜トランジスタTFTのソース電極SD2のコンタクト
部CNに電気的に接続されている。
【0048】そして、このように画素電極PXが形成さ
れた透明基板SUB1の上面には該画素電極PXをも被
って配向膜ORI1が形成されている。この配向膜OR
I1は液晶と直接に当接する膜で、その表面に形成され
たラビングによって該液晶の分子の初期配向方向を決定
づけるようになっている。
【0049】《透明基板SUB2側の画素の構成》図1
に示すように、透明基板SUB2の液晶側の面にはカラ
ーフィルタFILが形成されている。このカラーフィル
タはたとえば赤(R)、緑(G)、青(B)の各色のフィ
ルタからなり、y方向に並設される各画素領域群にたと
えば赤色のフィルタが共通に形成され、該画素領域群に
x方向に順次隣接する画素領域群に共通に赤(R)色、
緑(G)色、青(B)色、赤(R)色、……、というよう
な配列で形成されている。
【0050】カラーフィルタFILが形成された透明基
板SUB2の表面にはこれらカラーフィルタFILをも
被って有機材料層OLが形成されている。
【0051】この有機材料層OLは、その画素領域の周
辺を基準面とするとその基準面を縁部とする凸部が形成
された構成となっている。
【0052】該有機材料層OLの凸部は透明基板SUB
1側の保護膜PSV2に形成された凹部と対応した形状
をなしており、それらを重ね合わせた場合にはほぼ勘合
しあうような関係となっている。
【0053】この有機材料層の上面には、たとえばIT
O(Indium Tin Oxide)膜からなる透光性の導電膜が形成
され、この導電膜によって各画素領域に共通の対向電極
CTが形成されている。
【0054】この対向電極CTの表面には配向膜ORI
2が形成され、この配向膜ORI2は液晶と直接に当接
する膜で、その表面に形成されたラビングによって該液
晶の分子の初期配向方向を決定づけるようになってい
る。
【0055】なお、透明基板SUB2の液晶と反対側の
面には、位相差板PH、偏光板POLが順次貼付されて
いる。
【0056】上述した構成からなる透明基板SUB1と
透明基板SUB2との間に介在される液晶LCは、各画
素領域ごとに湾曲した層を有するようになるが、それら
の層厚(液晶ギャップ)はほぼ等しいものとなってい
る。
【0057】図1では、画素領域の中央部において液晶
ギャップはtとなり、それより画素領域の周辺に近い
個所ではtとなって、t2>t1となっているが、そ
れらはほぼ等しい値となっている。
【0058】また、図1に対応して描かれた図4に示す
ように、保護膜PSV2に形成された凹部の斜面の角度
x’、有機材料層OLに形成された凸部の角度xを、そ
れぞれ、画素領域の周縁における角度x1’、x1、画
素領域の中央部に近い個所の角度x2’、x2、画素領
域の中央部の個所の角度x3’、x3とした場合、たと
えば、x1’=x1=0°、x2’=x2=15°x
3’=x3=0°となっている。
【0059】このように構成した液晶表示装置は、画素
電極PXによる光反射の強度の向上、および表示のコン
トラストの向上が図れるようになる。以下、それについ
て考察する。
【0060】《考察》比較のため、図5は従来の液晶表
示装置の画素領域における断面図を示し、図1に対応し
た図となっている。
【0061】このような液晶表示装置を、図6に示すよ
うに配置し、その観察側から光源の光を照射させ、地表
に対する法線方向に配置された受光器によって反射光を
捕らえるようにした。
【0062】この場合、前記液晶表示装置の地表に対す
る傾き角度をθs、前記法線方向に対して光源からの光
の角度をθi、受光器が捕らえる反射光の広がりの角度
をθdとしている。
【0063】ここで、θs=0°、θi=15〜80
°、θd=30°としてコントラストを測定した。
【0064】この場合のコントラストは液晶のギャップ
に大きく依存することが判明し、それらの関係として図
7に示すような結果が得られた。
【0065】すなわち、図7に示すように、コントラス
トが最も大きくなる液晶ギャップは3.8μmであり、
この値を基準にすると±0.4μmの液晶ギャップ差が
人が許容できるコントラストの低下10%以内にはいる
範囲となる。
【0066】このことから、液晶ギャップは±0.4μ
m以内に抑えることが必要となることが判る。
【0067】また、上記構成の液晶表示装置を、図6に
示した測定において、地表に対してθs傾け、光源から
の光の入射角θiを15〜80°とした。なお、受光器
が捕らえる反射光の広がりの角度をθdは30°であ
る。
【0068】この場合の反射光の反射強度を測定した場
合、前記θsに依存し、それらの関係は図8に示すよう
になった。
【0069】図8から明らかとなるように、反射強度を
大きくとる場合には前記θsは10〜15°の範囲にあ
ることが望ましい。
【0070】このことは、上述した実施例の液晶表示装
置に示すように、各透明基板SUB1、2の液晶側の面
のそれぞれにおいて上述した角度の範囲内の傾斜を有す
る凹部および凸部を形成することによって反射強度を大
きくできることを意味する。
【0071】そして、このような液晶表示装置におい
て、各透明基板SUB1、2の液晶側の面のそれぞれの
凹部および凸部の傾斜の角度を10〜15°とした際
に、許容される液晶ギャップ差が±0.4μm以内であ
る場合、透明基板SUB1に対する透明基板SUB2の
合わせずれの許容範囲は1.6〜2.4μmとなる。
【0072】図9(a)は、図9(b)に示すように一
方の透明基板SUB1に対して透明基板SUB2をθk
傾斜した場合、その角度に対する許容合わせずれを示し
たグラフであり、上述した1.6〜2.4μmの値が裏
付けられる。
【0073】このことは、透明基板SUB1に対する透
明基板SUB2の合わせずれを1.6〜2.4μmに抑
えることによって、コントラストの低下を10%以内に
抑えられることを意味する。
【0074】ここで、各透明基板SUB1、2の液晶側
の面のそれぞれの凹部および凸部の傾斜の角度を10〜
15°とするのは理想的な状態であり、実用的には透明
基板SUB2(反射膜が形成されていない基板)側の凸
部の傾斜の角度は5〜15°とし、透明基板SUB1
(反射膜が形成されている基板)側の凹部の傾斜の角度
はそれよりも小さくすることによって本発明の目的を充
分に達成できる。
【0075】《透明基板SUB1の製造方法》図10
は、前記透明基板SUB2の製造方法の一実施例を示す
工程図である。
【0076】工程1.(図10(a)) 透明基板SUB1を用意する。この透明基板SUB2の
液晶側の面には既にゲート信号線GL、絶縁膜GI、半
導体層AS、ドレイン信号線DL、薄膜トランジスタT
FTのドレイン電極SD1およびソース電極SD2、さ
らに保護膜PSV1が形成されている。
【0077】そして、透明基板SUB1の表面にたとえ
ば感光性のアクリル樹脂を塗布する。このアクリル樹脂
は保護膜PSV2の材料となるものである。
【0078】次に、フォトマスクPM1を用いて前記保
護膜PSV2に選択露光を行う。前記フォトマスクPM
1は、その平面図である図11(a)に示すように、各
画素領域に対応する領域の中央部にて開口部OPNを有
し周辺に及ぶにしたがって前記開口部を同心的に囲む幾
重の環状の遮光部INTを有して構成されている。
【0079】この遮光部INTと開口部OPNからなる
フォトマスクパターンは解像度限界以下のそれとなって
いる。
【0080】なお、図11(b)は図11(a)のb−
b線における断面図である。
【0081】工程2.(図10(b)) このようにして選択露光された前記保護膜PSV2を現
像することにより、各画素領域においてその中央部に薄
い膜厚を有し周辺に及ぶにしたがって順次段差的に厚い
膜厚を有する保護膜PSV2が残存するようになる。
【0082】工程3.(図10(c)) 前記保護膜PSV2を熱処理する。これにより該保護膜
PSV2はリフローされ、段差的に変化していた表面は
滑らかな連続的な面となる。
【0083】工程4.(図10(d)) 前記保護膜PSV2の表面にたとえばアルミニュム(A
l)からなる導電材料を形成し、これをフォトリソグラ
フィ技術による選択エッチング法でパターニングし、反
射膜を兼ねる画素電極PXを形成する。
【0084】次に、透明基板SUB1の表面に前記画素
電極PXをも被って配向膜ORI1を形成する。
【0085】なお、上述した製造方法において、前記保
護膜PSV2の材料としてアクリル樹脂を用いたが、こ
れに限定されることはなく、たとえばノボラック樹脂の
ように透明な樹脂ならばどのような材料であってもよ
い。
【0086】また、前記有機材料層は感光性のものを用
いたが、非感光性のものであってもよい。この場合、フ
ォトレジストを用いることによって図10(b)に示し
たと同様な形状とすることができるからである。
【0087】《透明基板SUB2の製造方法》図12
は、前記透明基板SUB2の製造方法の一実施例を示す
工程図である。
【0088】工程1.(図12(a)) 透明基板SUB2を用意する。この透明基板SUB2の
液晶側の面には既にカラーフィルタFILが形成されて
いる。そして、透明基板SUB2の表面にたとえば感光
性のアクリル樹脂を塗布する。このアクリル樹脂は有機
材料層OLの材料となるものである。
【0089】次に、フォトマスクPM2を用いて前記有
機材料層OLに選択露光を行う。前記フォトマスクOM
2は、その平面図である図13(a)に示すように、各
画素領域に対応する領域の中央部にて遮光部INTを有
し周辺に及ぶにしたがって前記遮光部を同心的に囲む幾
重の環状の遮光部INTを有して構成されている。この
ため、遮光部INTと他の異なる遮光部INTの間には
環状の開口部OPNが形成されたパターンとなってい
る。
【0090】この遮光部INTと開口部OPNからなる
フォトマスクパターンは解像度限界以下のそれとなって
いる。
【0091】なお、図13(b)は図13(a)のb−
b線における断面図である。
【0092】工程2.(図12(b)) このようにして選択露光された前記有機材料層OLを現
像することにより、各画素領域においてその中央部に厚
い膜厚を有し周辺に及ぶにしたがって順次段差的に薄い
膜厚を有する有機材料層OLが残存するようになる。
【0093】工程3.(図12(c)) 前記有機材料層OLを熱処理する。これにより該有機材
料層OLはリフローされ、膜厚が段差的に変化していた
表面は連続的な面となる。
【0094】工程4.(図12(d)) 前記有機材料層OLの表面にたとえばITO (Indium Tin
Oxide)からなる透明導電材料を形成し、これをフォトリ
ソグラフィ技術による選択エッチング法でパターニング
し、対向電極CTを形成する。
【0095】次に、該対向電極CTの表面に配向膜OR
I2を形成する。その後は、透明基板SUB2の液晶と
反対側の面に位相差板PHおよび偏光板POLを順次貼
付する。
【0096】なお、上述した製造方法において、前記有
機材料層OLの材料としてアクリル樹脂を用いたが、こ
れに限定されることはなく、たとえばノボラック樹脂の
ように透明な樹脂ならばどのような材料であってもよ
い。
【0097】また、前記有機材料層OLは感光性のもの
を用いたが、非感光性のものであってもよい。この場
合、フォトレジストを用いることによって図12(b)
に示したと同様な形状とすることができるからである。
【0098】実施例2.図14は、本発明による液晶表
示装置の他の実施例を示す断面図で、図1に対応した図
となっている。
【0099】図1の場合と比較して異なる部分は、透明
基板SUB1側に形成された各画素領域の保護膜PSV
において、曲面で形成された凹部を有するものでなく、
局部的平面を有する斜面で形成された凹部を有してい
る。
【0100】この場合にあっても、該凹部を構成する面
は滑らかな斜面を有することには変わりはなく、同様の
効果を奏するからである。
【0101】この場合、透明基板SUB2側に形成され
た各画素領域の有機材料層OLは、曲面で形成された凸
部でもよいし、また、透明基板SUB1の前記保護膜P
SVの凹部に対応させた平面を有する凸部であってもよ
い。
【0102】このようにした場合、実形成条件において
プロセス裕度が大きくなるという効果を奏する。前記図
10(c)あるいは図12(c)においてリフローの作
業を省略することによって形成することができるからで
ある。
【0103】実施例3.図15は、本発明による液晶表
示装置の他の実施例を示す断面図で、図1に対応した図
となっている。
【0104】図1の場合と比較して異なる構成は、透明
基板SUB2側の画素領域に形成する凹部はカラーフィ
ルタFILに形成していることにある。このため、有機
材料層OLが存在しない構成となっている。
【0105】カラーフィルタFILは顔料が混入された
有機材料で構成されることから、その加工においても前
記有機材料層OLと同様にすることができるからであ
る。
【0106】このように構成した場合、各画素領域にお
ける色純度の均一性の向上を図ることができ、製造の工
程を低減させる効果を奏する。
【0107】実施例4.図16は、本発明による液晶表
示装置の他の実施例を示す断面図で、図15に対応した
図となっている。
【0108】図15の場合と比較して異なる構成は、凹
部が形成されたカラーフィルタFILを比較的膜厚の薄
い有機材料層OL1で被覆した構成となっている。この
ため、対向電極CTはこの有機材料層OL1の上面に形
成されている。
【0109】図15の場合と同様な効果を得るととも
に、前記薄い有機材料層OL1によってカラーフィルタ
FILに形成した凹部の傾斜角を調整できる効果を奏す
る。
【0110】実施例5.図17は、本発明による液晶表
示装置の他の実施例を示す断面図で、図1に対応した図
となっている。
【0111】図1の場合と比較して異なる構成は、ま
ず、外来光の入射側の透明基板SUB2の液晶と反対側
の面に映り込み防止用フィルムTPFを設けていること
にある。すなわち、透明基板SUB2の液晶と反対側の
面には、位相差板、偏光板、映り込み防止用フィルムT
PFが順次貼付されている。
【0112】この映り込み防止用フィルムTPFによっ
て、外来光の反射による映り込みを防止でき、自然な表
示を観察することができる。
【0113】これにより、該映り込み防止用フィルムT
PFは必ずしも上述した個所に設ける必要はなく、透明
基板SUB2の液晶側の面に設けてもよいことはいうま
でもない。
【0114】ここで、前記映り込み防止用フィルムTP
Fは、たとえばフィルムに表面に細かな凹凸を形成する
ことによって、あるいはフィルム内部に該フィルムの母
材とは屈折率の異なる粒子を混在させることによって作
成することができる。
【0115】実施例6.図18は、本発明による液晶表
示装置の画素の他の実施例を示す平面図で、そのXIX
−XIX線における断面図を図19に示している。
【0116】この実施例は、一画素領域当たり、透明基
板SUB1および透明基板SUB2のそれぞれの液晶側
の面において、一方の側に複数の凹凸が形成されてお
り、また、他方の側に前記凹凸に対応して、すなわち、
それらが互いに噛み合うようにして凹凸が形成されてい
ることにある。
【0117】これにより、反射効率の高い液晶表示装置
を得ることができる。ここで、前記凹凸はその凸の頂部
が稜線となっており、その稜線がy軸方向と平行となる
ように形成されていても、x軸方向と平行となるように
形成されていてもよい。また、前記凹凸の凸の頂部が点
となっており、その点がマトリクス状に形成されていて
もよい。
【0118】また、この実施例では、透明基板SUB2
側の前記凹凸は有機材料層OLの表面に凹凸を形成する
ことにより形成したものである。しかし、この有機材料
層OLをなくしカラーフィルタFILに形成するように
してもよいことはもちろんである。
【0119】実施例7.図20は、本発明による液晶表
示装置の画素の他の実施例を示す平面図で、そのXXI
−XXI線における断面図を図21に示している。
【0120】図20、21において、それぞれ対応する
図3、1と同符号の部分は同一の機能を有する材料とな
っている。
【0121】図3、1の場合と比較して異なる構成は、
いわゆる部分透過型の液晶表示装置を対象としているこ
とにある。すなわち、画素領域のほぼ中央の領域におい
て、反射膜を兼ねる画素電極PX(R)が形成されるこ
となく、代わりに該画素電極PX(R)と電気的接続が
された透明導電層からなる画素電極PX(T)が形成さ
れた構成となっている。前記透明導電層としては、たと
えば、ITO(IndiumTin Oxide)が用いられる。
【0122】透明導電層は、たとえばドレイン信号線D
Lとの絶縁を図る絶縁膜INの上面に形成され、該透明
導電層の上面に形成される保護膜PSV2に形成された
開口部を通して露出されている。また、該保護膜PSV
2の上面に形成される反射膜を兼ねる画素電極PX
(R)が前記開口部の側壁面にまで及んで形成され、前
記透明導電層に接続されている。
【0123】そして、上述した各実施例と同様に、透明
基板SUB1側の各画素領域の保護膜PSV2はその中
央側にて膜厚の小さな凹部が形成されているとともに、
透明基板SUB2側の各画素領域の有機材料層はその中
央側にて膜厚の大きな凸部が形成されている。
【0124】なお、この実施例では、透明基板SUB2
側の前記凹凸は有機材料層OLの表面に凹凸を形成する
ことにより形成したものである。しかし、この有機材料
層OLをなくしカラーフィルタFILに形成するように
してもよいことは上述したとおりである。
【0125】また、この液晶表示装置は部分透過型であ
るため、透明基板SUB1の液晶とは反対側の面に、位
相差板PH1、偏光板POL1が順次貼付されている。
【0126】実施例8.図22は、本発明による液晶表
示装置の画素の他の実施例を示した構成図で、図21と
対応した図となっている。
【0127】図21の場合と比較して異なる構成は、透
明基板SUB2側において形成される凸部はカラーフィ
ルタFILに形成しているとともに、光透過領域におけ
る部分にて、透明基板SUB1側の保護膜PSV2に形
成された開口部を埋めるようにして突出部PRJが形成
されていることにある。
【0128】このようにした場合、反射部における色純
度の均一性を向上でき、透過部におけるカラーフィルタ
FILの色純度を向上させることができる。そして、光
反射領域と光透過領域のそれぞれにおいて光の経路にお
いてカラーフィルタを通過する光学経路をほぼ等しくで
きる効果を有する。
【0129】実施例9.図23は、本発明による液晶表
示装置の画素の他の実施例を示した構成図で、図21と
対応した図となっている。
【0130】図21の場合と比較して異なる構成は、透
明基板SUB2側のカラーフィルタFILにおいて、透
明基板SUB1側の保護膜PSVの透過部における開口
部と対向する部分の膜厚をそれ以外の領域の膜厚よりも
大きくして突起部PRJを設けていることにある。
【0131】これらの膜厚は一方に対して他方が約2倍
になっていることが好ましい。ただし、反射部領域にお
ける光の経路はその部分のカラーフィルタFILを2回
通過するが、透過部領域における光の経路はその部分の
カラーフィルタFILを1回しか通過しないからであ
る。
【0132】なお、このカラーフィルタFILの上面に
は有機材料層OLが形成され、その画素領域のほぼ中央
部が凸部となるようにして形成されている。このため、
前記カラーフィルタFILのうちその膜厚の大きな部分
は該有機材料層の凸部内に配置され、該有機材料層の凸
部によって該カラーフィルタFILの表面形状に影響を
与えることのない構成となっている。
【0133】実施例10.図24は、本発明による液晶
表示装置の画素の他の実施例を示した構成図で、図21
に対応した図となっている。
【0134】図21の場合と比較して異なる構成は、透
明基板SUB2側の有機材料層OLの透過部領域に相当
する部分に凹陥部DENが形成され、ここの部分の液晶
の層厚がdとした場合、他の領域(反射部)の液晶の
層厚がdとなり、d>d の関係が成立しているこ
とにある。
【0135】このようにした場合、反射部の液晶のギャ
ップと透過部の液晶のギャップをそれぞれ最適な値とす
ることができ、反射表示および透過表示のそれぞれのコ
ントラストを最適化することができる。
【0136】この場合、各液晶のギャップの関係は、
1.5×d≦d≦2.5×dとすることが好まし
いことが判明している。
【0137】実施例11.図25は、本発明による液晶
表示装置の他の実施例を示す構成図で、図1に対応した
図となっている。
【0138】図1の場合の構成と比較して、透明基板S
UB1側の保護膜PSVはその膜厚がほぼ一定に形成さ
れ、また、透明基板SUB2側の有機材料層もその膜厚
がほぼ一定に形成されている。
【0139】そして、透明基板SUB1自体が各画素領
域ごとに液晶側の面が凹部となるように加工され、ま
た、透明基板SUB2自体が各画素領域ごとに液晶側の
面が凸部となるように加工されている。透明基板SUB
1側の凹部と透明基板SUB2側の凸部は互いに噛み合
うような形状となっている。
【0140】画素領域における中央部とこの中央部に近
い周辺との液晶ギャップをそれぞれd2’d1’とした
場合、それらはほぼ等しくd1’−0.4≦d2’≦d
1’+0.4の関係が成立することが望ましい。
【0141】この場合、透明基板SUB1、SUB2の
材料としてはたとえばポリカーボネートを用いている。
しかし、他にポリエチレンテレフタレート等であっても
よい。
【0142】このように構成することによっても、図1
の場合と同様の効果が得られるようになる。
【0143】このような構成からなる液晶表示装置のた
とえば図26に示すような工程を経ることにより形成で
きる。
【0144】工程1.(図26(a)) 透明基板SUB1および透明基板SUB2を固着させい
わゆる液晶セルを構成したものを用意し、この液晶セル
を加圧機械PRDに対向させる。この加圧機械PRDは
液晶セルの各画素領域ごとに凸面が形成されている。
【0145】工程2.(図26(b)) 液晶セルに対して加圧機械PRDを加圧させ、その際に
温度80℃の熱を加える。この場合の加圧する圧力は約
1kg/cmが適当である。
【0146】工程3.(図26(c)) 液晶セルを加圧機械PRDから解除させ冷却する。な
お、この図の点線で囲まれた領域の部分は図25に示し
た構成に相当している。
【0147】実施例12.上述した各実施例では、透明
基板SUB1側に形成される薄膜トランジスタTFTは
アモルファスSiを半導体層としたものであるが、これ
に限定されることはなく、多結晶Si(p−Si)等の
他の半導体層としてもよいことはいうまでもない。
【0148】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示装置によれば、反射強度およびコ
ントラストの良好なものを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による液晶表示装置の画素の一実施例を
示す断面図である。
【図2】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す等
価回路図である。
【図3】本発明による液晶表示装置の画素の一実施例を
示す平面図である。
【図4】本発明による液晶表示装置の画素の一実施例を
示す説明図である。
【図5】本発明による液晶表示装置の効果を示す説明図
である。
【図6】本発明による液晶表示装置の効果を示す説明図
である。
【図7】本発明による液晶表示装置の効果を示すグラフ
である。
【図8】本発明による液晶表示装置の効果を示すグラフ
である。
【図9】本発明による液晶表示装置の効果を示す説明図
である。
【図10】本発明による液晶表示装置の透明基板SUB
1の製造方法の一実施例を示す工程図である。
【図11】図10に示す製造方法で用いられるフォトマ
スクの構成図である。
【図12】本発明による液晶表示装置の透明基板SUB
2の製造方法の一実施例を示す工程図である。
【図13】図12に示す製造方法で用いられるフォトマ
スクの構成図である。
【図14】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
【図15】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
【図16】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
【図17】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す断面図である。
【図18】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図19】図18のXIX−XIX線における断面図で
ある。
【図20】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図21】図20のXXI−XXI線における断面図で
ある。
【図22】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図23】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図24】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図25】本発明による液晶表示装置の画素の他の実施
例を示す平面図である。
【図26】 本発明による液晶表示装置の製造方法の他
の実施例を示す工程図である。
【符号の説明】
SUB1…透明基板、SUB2…透明基板、GL…ゲー
ト信号線、DL…ドレイン信号線、TFT…薄膜トラン
ジスタ、PX(R)…反射膜からなる画素電極、PX
(T)…透光性の材料からなる画素電極、CT…対向電
極、GI…絶縁膜、PSV…保護膜、FIL…カラーフ
ィルタ、OL…有機材料層。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/35 G09F 9/35 (72)発明者 桶 隆太郎 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 Fターム(参考) 2H048 BA02 BA11 BA48 BB02 BB10 BB37 BB42 2H091 FA02Y FA14Y GA02 GA13 LA16 2H092 GA17 JA24 KA04 NA01 PA01 5C094 AA06 BA03 BA43 CA19 CA23 EA04 EA07 ED03 FA04 JA09

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層
    の上方に形成される反射膜からなる画素電極を少なくと
    も有し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下
    地層上に形成される対向電極が形成され、 前記第1の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜
    面が滑らかな凹部が形成されているとともに、前記第2
    の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑ら
    かな凸部が形成されていることを特徴とする液晶表示装
    置。
  2. 【請求項2】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層
    の上方に形成される反射膜からなる画素電極を少なくと
    も有し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下
    地層上に形成される対向電極が形成され、 前記第1の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜
    面が滑らかな凹部が形成されているとともに、前記第2
    の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑ら
    かな凸部が形成され、 該凹部の表面と凸部の表面はそれらを重ねあわせた場合
    にほぼ勘合するような形状となっていることを特徴とす
    る液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層
    の上方に形成される反射膜からなる画素電極を少なくと
    も有し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下
    地層上に形成される対向電極が形成され、 前記第1の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜
    面が滑らかな凹部が形成されているとともに、前記第2
    の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑ら
    かな凸部が形成され、 前記第2の下地層に形成された凸部の傾斜の角度は5〜
    15°とし、前記第1の下地層に形成された凹部の傾斜
    の対応する個所の角度はそれよりも小さくなっているこ
    とを特徴とする液晶表示装置。
  4. 【請求項4】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層
    の上方に形成される反射膜からなる画素電極を少なくと
    も有し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下
    地層上に形成される対向電極が形成され、 前記第1の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜
    面が滑らかな凹部が形成されているとともに、前記第2
    の下地層の表面は画素領域の周辺を縁とする斜面が滑ら
    かな凸部が形成され、 前記第1の下地層に形成された凹部の傾斜の角度および
    前記第2の下地層に形成された凸部の傾斜の角度がいず
    れも10〜15°となっていることを特徴とする液晶表
    示装置。
  5. 【請求項5】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面の画素領域に第1の下地層
    の上方に形成される反射膜からなる画素電極を少なくと
    も有し、他方の基板の液晶側の面の画素領域に第2の下
    地層上に形成される対向電極が形成され、 前記第1の下地層の表面は画素領域にて複数の領域に分
    割されその分割部を縁とする斜面が滑らかな凹部が形成
    されているとともに、 前記第2の下地層の表面は前記第1の下地層の分割され
    た領域に対応して分割されその分割部を縁とする斜面が
    滑らかな凸部が形成されていることを特徴とする液晶表
    示装置。
  6. 【請求項6】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面に光透過領域と光反射領域
    からなる画素領域を有し、この画素領域に画素領域の周
    辺を縁とする凹部が設けられているとともに前記光透過
    領域に相当する部分に開口が形成された有機材料からな
    る第1の層と、この第1の層の上面に形成された反射膜
    からなる第1の画素電極と、前記層の開口部に形成され
    た光透過性の第2の電極とが形成され、 他方の基板の液晶側の画素領域に下地層上に形成される
    対向電極が形成され、該下地層の表面は画素領域の周辺
    を縁とする凸部が形成されていることを特徴とする液晶
    表示装置。
  7. 【請求項7】 液晶を介して対向配置される各基板のう
    ち、一方の基板の液晶側の面に光透過領域と光反射領域
    からなる画素領域を有し、この画素領域に画素領域の周
    辺を縁とする凹部が設けられているとともに前記光透過
    領域に相当する部分に開口が形成された有機材料からな
    る第1の層と、この第1の層の上面に形成された反射膜
    からなる第1の画素電極と、前記第1の層の開口部に形
    成された光透過性の第2の電極とが形成され、 他方の基板の液晶側の画素領域にカラーフィルタと該画
    素領域の周辺を縁とする凸部が設けられた有機材料から
    なる第2の層と、この第2の層の上面に形成された対向
    電極とが形成され、 前記カラーフィルタは前記第1の層の開口部に対向する
    部分にて突起部が形成されていることを特徴とする液晶
    表示装置。
  8. 【請求項8】 第2の下地層はカラーフィルタであるこ
    とを特徴とする請求項1、2、3、4、5のうちいずれ
    かに記載の液晶表示装置。
  9. 【請求項9】 下地層はカラーフィルタであることを特
    徴とする請求項6に記載の液晶表示装置。
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