JP2003149361A - 測定台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定対象物に傷や破損を生じさせず、かつ測
定対象物をしっかり固定できる測定台を提供する。 【解決手段】 一端が測定台本体１の上面１ａに露出
し、かつ上下方向に形成された複数の穴部２，２…と、
各穴部２の他端側に接続されるポンプ４とを備え、測定
対象物Ｓが載置される測定台Ｄであって、前記穴部２，
２…の内部に、測定対象物Ｓに当接する球体７を回転自
在な状態で保持する保持部８と、この保持部８を上方に
付勢する付勢手段９とを設け、前記ポンプ４を動作させ
ることにより、前記球体７が前記穴部２内に収容された
状態となるように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ウエハや
ガラス基板などを測定する際に用いられる測定台に関す
るものである。 【０００２】 【従来の技術】従来の測定台として、図３（Ａ）および
（Ｂ）に示すように、測定台本体１１の上面１１ａに測
定対象物Ｓを載置するための複数の台座部１２，１２…
を有するとともに、各台座部１２を上下方向に貫通する
貫通孔１３が形成されており、また、各貫通孔１３内に
おける気体（空気）の圧力を低くするための真空ポンプ
１４が設けられているものがある。 【０００３】上記の構成からなる従来の測定台では、ま
ず、測定対象物Ｓを測定台本体１１の上面１１ａ上の適
当な位置に載置し、続いて、測定対象物Ｓを水平方向に
押して前記台座部１２，１２…上を滑らせることによ
り、測定台本体１１上の測定位置に移動させていた。そ
して、測定時には、前記真空ポンプ１４を作動させて、
測定対象物Ｓを台座部１２，１２…に真空吸着すること
により、測定対象物Ｓを測定台本体１上の測定位置にお
いて保持していた。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成か
らなる従来の測定台では、測定対象物Ｓが前記台座部１
２，１２…上を滑って移動することから、測定対象物Ｓ
の表面に傷が生じるという問題があり、また、前記台座
部１２，１２…とこの台座部１２，１２…上を滑って移
動する測定対象物Ｓとの摩擦によって静電気が発生し、
前記測定対象物Ｓに電子部品などが取り付けられている
場合には、発生した静電気によってそれらが損傷すると
いう問題があった。 【０００５】さらに、測定台本体１１への測定対象物Ｓ
の固定は真空吸着によって行っているが、前記静電気の
発生を抑えるために台座部１２，１２…を小さくする
と、台座部１２，１２…に設けられる貫通孔１３，１３
…も必然的に小さくなり、それに伴って、測定台の真空
吸着力が低下してしまい、測定台本体１１への測定対象
物Ｓの固定が困難になるという問題があった。 【０００６】本発明は、上述のような課題を考慮に入れ
てなされたものであって、その目的は、測定対象物に傷
や破損を生じさせず、かつ測定対象物をしっかり固定で
きる測定台を提供することである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の測定台は、一端が測定台本体の上面に露出
し、かつ上下方向に形成された複数の穴部と、各穴部の
他端側に接続されるポンプとを備え、測定対象物が載置
される測定台であって、前記穴部の内部に、測定対象物
に当接する球体を回転自在な状態で保持する保持部と、
この保持部を上方に付勢する付勢手段とを設け、前記ポ
ンプを動作させることにより、前記球体が前記穴部内に
収容された状態となるように構成した（請求項１）。 【０００８】上記の構成からなる本発明では、測定対象
物に傷や破損を生じさせず、かつ測定対象物をしっかり
固定できる測定台を提供することが可能となる。すなわ
ち、一般的に、測定台上で測定対象物を滑らせて測定位
置にまで移動させるときに、測定対象物に傷や破損が生
じる可能性が最も高くなるが、本発明の測定台では、上
述のように、測定対象物に直接接触する球体を回転でき
るように保持部によって保持していることから、測定対
象物に傷が生じず、また、測定対象物と球体との摩擦に
よっては静電気がほとんど生じないことから、生じた静
電気によって測定対象物に取り付けられている電子部品
などが破損するという従来の測定台が有していた問題を
解消できるのである。 【０００９】また、測定対象物の固定時には、測定台本
体の上面よりも上方に突出していた球体が穴部内へと退
避し、測定対象物が平面状に形成された前記上面に密着
し、かつポンプによる吸引により、測定対象物が測定台
本体の上面の穴部によって吸着されるのであり、測定対
象物は測定台本体の上面にしっかりと固定されることに
なるのである。従って、例えば、測定対象物の固定時
に、測定台本体を速く動かしても、測定対象物が測定台
本体上で滑って測定位置からずれたりするおそれがない
のである。 【００１０】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図を参
照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係る
測定台Ｄの構成を概略的に示す説明図、図２は、前記測
定台Ｄの構成を概略的に示す平面図である。測定台Ｄ
は、ほぼ直方体形状に形成された測定台本体１と、この
測定台本体１を上下方向に貫通する複数（例えば、１５
個）の穴部２，２…と、この穴部２，２…に接続される
流路３と、この流路３に接続される真空ポンプ４とを備
えており、下面がほぼ平面状に形成された測定対象物Ｓ
が、測定台本体１の上面１ａに載置される。 【００１１】前記測定対象物Ｓは、例えば、ウエハやガ
ラス基板などであり、前記測定台Ｄは、例えば、測定対
象物Ｓにコーティングされた膜の厚さを測定するための
装置などに用いることができる。そして、測定台Ｄは、
測定台本体１の上面１ａの適当な位置に載置された測定
対象物Ｓを、測定を行うのに最適な測定位置にまで移動
させる機能（位置合わせ機能）を有している。 【００１２】前記測定台本体１は、４つの側壁部１ｂ，
１ｃ，１ｄ，１ｅを有しており、そのうち隣り合う２つ
の側壁部１ｂ，１ｃに沿ってストッパ５，５が設けられ
ているとともに、残りの側壁部１ｄ，１ｅに対向する位
置に、測定台本体１の上面１ａに載置された測定対象物
Ｓを水平方向に押すアクチュエータ６，６が設けられて
いる。 【００１３】前記ストッパ５は、例えば、棒状の部材で
あり、前記側壁部１ｂ，１ｃに沿って上下方向に固定さ
れ、その上端が測定台本体１の上面１ａよりも上方に突
出するように構成されている。そして、前記ストッパ５
は、前記側壁部１ｂ，１ｃの両側付近にそれぞれ一つず
つ（計２つ）設けられている。なお、前記側壁部１ｂ，
１ｃのいずれか一方に設けるストッパ５を、二つではな
く一つのみとし、かつ設ける位置を側壁部１ｂまたは１
ｃの両側付近ではなく中央付近とするようにしてもよ
い。 【００１４】前記アクチュエータ６は、例えば、上下方
向に保持された軸回りに回転する平面視がほぼ楕円形状
の回転体６ａを有するロータリーアクチュエータであ
る。なお、前記回転体６ａは、平面視が楕円形状に形成
されたものに限らず、例えば、平面視がほぼ円形状であ
ってもよく、この場合には、回転体６ａが偏心した状態
で前記軸回りに回転するように構成すればよい。 【００１５】そして、前記アクチュエータ６は、前記側
壁部１ｄ，１ｅの両側付近にそれぞれ一つずつ（計２
つ）設けられている。なお、前記側壁部１ｄ，１ｅのい
ずれか一方に設けるアクチュエータ６を、二つではなく
一つのみとし、かつ設ける位置を側壁部１ｄまたは１ｅ
の両側付近ではなく中央付近とするようにしてもよい。 【００１６】前記各穴部２は、一端が前記測定台本体１
の平面状の上面１ａに露出している。 【００１７】また、前記複数の穴部２，２…のうち、適
宜の位置にある一部の穴部２，２…の内部には、球体７
を回転自在な状態で保持しかつ穴部２の内壁に沿って摺
動するとともに穴部２をほぼ閉塞する保持部８と、この
保持部８を上方に付勢する付勢手段９とが設けられてい
る。 【００１８】前記保持部８は、上部に前記球体７を保持
するための凹入部８ａを有しており、この凹入部８ａの
内壁面には、回転自在に保持された複数のボール８ｂ，
８ｂ…のそれぞれ一部が露出している。このような構成
からなる保持部８では、前記球体７を、凹入部８ａ内の
複数のボール８ｂ，８ｂ…によって、ほとんど抵抗なく
滑らかに回転できるように保持することができる。な
お、前記複数のボール８ｂ，８ｂ…を用いる構成に限る
ものではなく、前記球体７をほとんど抵抗なく滑らかに
回転できるように保持するもの（例えば、バネなど）を
代わりに用いてもよい。 【００１９】前記付勢手段９は、例えば、スプリングか
らなり、穴部２内に突出するように設けられた突出部１
０によって適宜の位置に保持される。 【００２０】なお、内部に前記保持部８や付勢手段９が
設けられる穴部２，２…は、前記球体７，７…の点接触
のみによって前記測定対象物Ｓを安定性よく水平に保つ
ことを考慮すれば、少なくとも３つ以上必要であり、ま
た、できる限り互いに離れるように配置することが望ま
しい。 【００２１】前記流路３は、前記真空ポンプ４に接続さ
れる主流路３ａと、この主流路３ａから分岐し、前記各
穴部２に接続される複数の分岐流路３ｂ，３ｂ…とから
なる。 【００２２】そして、上記の構成からなる測定台Ｄで
は、真空ポンプ４を動作させることにより、前記保持部
８を吸引し、前記付勢手段９に抗して、前記球体７が前
記穴部２内に収容される。すなわち、前記真空ポンプ４
が停止している状態では、前記付勢手段９の前記保持部
８に対する付勢によって前記球体７が前記上面１ａより
も上側に突出し、前記真空ポンプ４が作動している状態
では、前記保持部８が下方へと引っ張られ、前記球体７
が前記穴部２内に収容された状態となる。 【００２３】次に、上記の構成からなる測定台Ｄの動作
について説明する。まず、前記測定対象物Ｓを測定台本
体１の上面１ａの適当な位置に載置する。このとき、前
記真空ポンプ４は停止状態となっており、前記付勢手段
９の前記保持部８に対する付勢によって前記球体７が前
記上面１ａよりも上側に突出している。すなわち、前記
測定対象物Ｓは、複数の球体７，７…によって水平に保
持された状態となっている。 【００２４】続いて、前記各アクチュエータ６の回転体
６ａ，６ａ…をそれぞれ回転させると、測定対象物Ｓは
各回転体６ａに押されて前記球体７，７…上を滑って移
動し、測定対象物Ｓの２辺が前記ストッパー５，５にそ
れぞれ当接した状態となるのであり、これによって、測
定対象物Ｓの測定位置への移動が完了する。 【００２５】上記のように測定対象物Ｓを測定位置へと
移動させるようにしてあることから、たとえ、前記測定
対象物Ｓが、測定台本体１の上面１ａにおいて、上面１
ａに４辺がぴったり合う位置よりも、前記側壁部１ｄ側
および／または側壁部１ｅ側へと若干ずれた位置に載置
されたときでも、測定対象物Ｓの測定位置への位置合わ
せを容易に行えるのである。 【００２６】なお、測定対象物Ｓが球体７，７…上を滑
って移動するときに、前記球体７，７…はほとんど抵抗
なく滑らかに回転することから、測定対象物Ｓに傷が生
じず、また、測定対象物Ｓと球体７，７…との摩擦によ
っては静電気がほとんど生じず、従って、従来の測定台
のように、生じた静電気によって測定対象物Ｓに取り付
けられている電子部品などが破損することを防止でき
る。 【００２７】上記のように測定対象物Ｓを測定位置に移
動させた後、一端が前記測定台本体１の上面１ａに露出
した各穴部２の他端側に接続された前記真空ポンプ４を
作動状態とすると、前記保持部８が各穴部２の他端側
（すなわち下方）へと引っ張られ、この動きに伴って、
前記球体７が前記穴部２内に収容された状態となる。こ
れにより、測定対象物Ｓは、測定台本体１の上面１ａに
密着し、かつ、真空ポンプ４によって各穴部２に真空吸
着されることから、測定台本体１の上面１ａにおける測
定位置にしっかりと固定された状態となる。そして、測
定対象物Ｓを上記のように上面１ａに固定した状態で、
例えば、所定の測定が行われるのである。 【００２８】上記測定が終了し、測定対象物Ｓの固定を
解除するときには、ほぼ真空状態となっている各穴部２
内の気体（空気）の圧力を急激にではなく徐々に通常レ
ベル（大気圧レベル）へと戻すようにして、前記球体７
と測定対象物Ｓとの接触によって測定対象物Ｓに傷や破
損が生じることを防止するのである。 【００２９】上記の構成からなる測定台Ｄでは、測定対
象物Ｓに傷や破損を生じさせず、かつ測定対象物Ｓをし
っかり固定できる。 【００３０】すなわち、一般的に、測定台上で測定対象
物Ｓを滑らせて測定位置にまで移動させるときに、測定
対象物に傷や破損が生じる可能性が最も高くなるが、本
発明の測定台Ｄでは、上述のように、測定対象物Ｓに直
接接触する球体７を抵抗なくかつ滑らかに回転できるよ
うに保持部８によって保持していることから、測定対象
物Ｓに傷が生じず、また、測定対象物Ｓと球体７，７…
との摩擦によっては静電気がほとんど生じないことか
ら、生じた静電気によって測定対象物Ｓに取り付けられ
ている電子部品などが破損するという従来の測定台が有
していた問題を解消できるのである。 【００３１】また、測定対象物Ｓの固定時には、測定台
本体１の上面１ａよりも上方に突出していた球体７が穴
部２内へと退避し、測定対象物Ｓが平面状に形成された
前記上面１ａに密着し、かつ真空ポンプ４による真空引
きにより、測定対象物Ｓが測定台本体１の上面１ａの穴
部２，２…によって真空吸着されるのであり、測定対象
物Ｓは測定台本体１の上面１ａにしっかりと固定される
ことになるのである。従って、例えば、測定対象物Ｓの
固定時に、測定台本体１を速く動かしても、測定対象物
Ｓが上面１ａ上で滑って測定位置からずれたりするおそ
れがないのである。 【００３２】さらに、上記の構成からなる測定台Ｄで
は、全てではなく一部の穴部２，２…の内部に、保持部
８を設け、この保持部８に球体７を保持させており、言
い換えれば、内部に球体７を保持する保持部８が設けら
れた穴部２，２…と、内部に保持部８など何も設けられ
ていない穴部２，２…とを測定台本体１に適宜に配置し
ているのであり、内部に何も設けられていない穴部２，
２…の存在によって、測定対象物Ｓを測定台本体１の上
面１ａにより強い吸引力で吸着し、確実に固定すること
が可能となる。 【００３３】 【発明の効果】上記の構成からなる本発明によれば、測
定対象物に傷や破損を生じさせず、かつ測定対象物をし
っかり固定できる測定台を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施例に係る測定台の構成を概略的
に示す説明図である。 【図２】上記実施例の構成を概略的に示す平面図であ
る。 【図３】（Ａ）および（Ｂ）は、従来の測定台の構成を
概略的に示す平面図および説明図である。 【符号の説明】 １…測定台本体、１ａ…上面、２…穴部、４…真空ポン
プ、７…球体、８…保持部、９…付勢手段、Ｄ…測定
台、Ｓ…測定対象物。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 一端が測定台本体の上面に露出し、かつ
   上下方向に形成された複数の穴部と、各穴部の他端側に
   接続されるポンプとを備え、測定対象物が載置される測
   定台であって、前記穴部の内部に、測定対象物に当接す
   る球体を回転自在な状態で保持する保持部と、この保持
   部を上方に付勢する付勢手段とを設け、前記ポンプを動
   作させることにより、前記球体が前記穴部内に収容され
   た状態となるように構成したことを特徴とする測定台。