JP2003139826A - 半導体集積回路試験装置 - Google Patents
半導体集積回路試験装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の機能試験時の構成においては、タイミン
グ発生器やタイミング発生器の時刻情報で生成されるパ
ターン発生器の出すテストベクターの動作時刻での電流
値は計測できない。定常的な電流値の計測だけでは、瞬
時的に流れる電源端子や入力端子での異常電流の検出や
評価、解析が非常に困難になる。 【解決手段】機能試験時の電源電圧発生器１０２および
ＤＵＴ１０１の入力端子に電流計１１５、１１４を設け
て、タイミング発生器１０４と同期させる。テストベク
タはタイミング発生器１０４に同期したパターン発生器
１１１で出力される。電流計で計測された電流値とタイ
ミング情報（時刻）やテストベクタをモニタする事で、
入力ベクタによって設定されるＤＵＴ１０１の内部状態
に依存する故障時の電流値の評価が容易にできる。
グ発生器やタイミング発生器の時刻情報で生成されるパ
ターン発生器の出すテストベクターの動作時刻での電流
値は計測できない。定常的な電流値の計測だけでは、瞬
時的に流れる電源端子や入力端子での異常電流の検出や
評価、解析が非常に困難になる。 【解決手段】機能試験時の電源電圧発生器１０２および
ＤＵＴ１０１の入力端子に電流計１１５、１１４を設け
て、タイミング発生器１０４と同期させる。テストベク
タはタイミング発生器１０４に同期したパターン発生器
１１１で出力される。電流計で計測された電流値とタイ
ミング情報（時刻）やテストベクタをモニタする事で、
入力ベクタによって設定されるＤＵＴ１０１の内部状態
に依存する故障時の電流値の評価が容易にできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路の試
験装置に係り、特に、半導体集積回路の機能試験の際
に、各試験時刻における電流値を評価することができる
半導体集積回路試験装置に関する。
験装置に係り、特に、半導体集積回路の機能試験の際
に、各試験時刻における電流値を評価することができる
半導体集積回路試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の半導体集積回路の機能試験
における被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Tes
t）とそれに接続される半導体集積回路試験装置（ＬＳ
Ｉテスタ）の構成図を示す。図３において、３０１は試
験対象のＤＵＴ、３０２は電源電圧発生器、３０４はタ
イミング発生器、３０５は試験波形発生器、３１３は期
待値判定器である。
における被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Tes
t）とそれに接続される半導体集積回路試験装置（ＬＳ
Ｉテスタ）の構成図を示す。図３において、３０１は試
験対象のＤＵＴ、３０２は電源電圧発生器、３０４はタ
イミング発生器、３０５は試験波形発生器、３１３は期
待値判定器である。
【０００３】試験対象のＤＵＴ３０１は、電源端子３０
０ａ、入力端子３００ｂ、出力端子３００ｃ、接地端子
３００ｄを有する。電源端子３００ａはリレー３０６を
介して電源電圧発生器３０２に接続され、接地端子３０
０ｄは接地３１２に接続される。入力端子３００ｂはリ
レー３０７を介して試験波形発生器３０５に接続され
る。出力端子３００ｃは期待値判定器３１３に接続され
期待値と比較される。
０ａ、入力端子３００ｂ、出力端子３００ｃ、接地端子
３００ｄを有する。電源端子３００ａはリレー３０６を
介して電源電圧発生器３０２に接続され、接地端子３０
０ｄは接地３１２に接続される。入力端子３００ｂはリ
レー３０７を介して試験波形発生器３０５に接続され
る。出力端子３００ｃは期待値判定器３１３に接続され
期待値と比較される。
【０００４】電源電圧発生器３０２は内部の定電圧発生
器３０３で発生する電圧をＤＵＴに印加する。試験波形
発生器３０５は、波形合成器３０８、高電位を与えるＶ
ＩＨ電源３０９、低電位を与えるＶＩＬ電源３１０、パ
ターン発生器３１１を内蔵し、タイミング発生器３０４
が生成する時間情報に従い、パターン発生器３１１に蓄
積されているデータからＤＵＴに入力するテストベクタ
を取り出し、ＶＩＨ電源３０９およびＶＩＬ電源３１０
が与える電圧に従ってＤＵＴの入力波形を波形合成器３
０８により合成する。
器３０３で発生する電圧をＤＵＴに印加する。試験波形
発生器３０５は、波形合成器３０８、高電位を与えるＶ
ＩＨ電源３０９、低電位を与えるＶＩＬ電源３１０、パ
ターン発生器３１１を内蔵し、タイミング発生器３０４
が生成する時間情報に従い、パターン発生器３１１に蓄
積されているデータからＤＵＴに入力するテストベクタ
を取り出し、ＶＩＨ電源３０９およびＶＩＬ電源３１０
が与える電圧に従ってＤＵＴの入力波形を波形合成器３
０８により合成する。
【０００５】合成された入力波形をＤＵＴ３０１の入力
端子に入力することによりＤＵＴを動作させ、出力端子
から出力される信号を期待値判定器３１３で期待値判定
することにより、このＤＵＴの機能試験が実施される。
また、出力端子から出力される信号に限らず、ＤＵＴの
電源端子や入力端子の電流を測定して評価を行うことも
できる。
端子に入力することによりＤＵＴを動作させ、出力端子
から出力される信号を期待値判定器３１３で期待値判定
することにより、このＤＵＴの機能試験が実施される。
また、出力端子から出力される信号に限らず、ＤＵＴの
電源端子や入力端子の電流を測定して評価を行うことも
できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の機能試験の構成においては、電源端子や入力端子の
電流を測定しても静的な電流測定値が得られるのみであ
って、タイミング発生器の時刻情報に従って生成されＤ
ＵＴの入力端子へ入力するテストベクタ信号の生成時刻
における瞬時の電流値を計測することはできない。
来の機能試験の構成においては、電源端子や入力端子の
電流を測定しても静的な電流測定値が得られるのみであ
って、タイミング発生器の時刻情報に従って生成されＤ
ＵＴの入力端子へ入力するテストベクタ信号の生成時刻
における瞬時の電流値を計測することはできない。
【０００７】定常的な電流値の計測だけでは、電源端子
に電圧を印加したときや入力端子に入力信号を与えたと
きに瞬時的に流れる異常電流の検出や解析は非常に困難
である。また、テストベクタによって設定されるＤＵＴ
の内部状態の変化に依存する故障時の電流値の評価も困
難である。
に電圧を印加したときや入力端子に入力信号を与えたと
きに瞬時的に流れる異常電流の検出や解析は非常に困難
である。また、テストベクタによって設定されるＤＵＴ
の内部状態の変化に依存する故障時の電流値の評価も困
難である。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、半導体集積回路の機能試験の際に、各試験時刻にお
ける電流値を評価することができ、電源端子や入力端子
に瞬時的に流れる異常電流の検出や解析を可能にする半
導体集積回路試験装置を提供することを目的とする。
で、半導体集積回路の機能試験の際に、各試験時刻にお
ける電流値を評価することができ、電源端子や入力端子
に瞬時的に流れる異常電流の検出や解析を可能にする半
導体集積回路試験装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明の請求項１に係る半導体集積回路試験装置
は、試験対象の半導体集積回路（ＤＵＴ１０１）に接続
される電源電圧発生器（電源電圧発生器１０２）と試験
波形発生器（試験波形発生器１０５）とを有する半導体
集積回路試験装置において、試験のタイミング信号を発
生するタイミング発生器（タイミング発生器１０４）
と、前記試験対象の半導体集積回路と前記試験波形発生
器との間に接続され、前記タイミング信号に同期して電
流測定を行う電流計（電流計１１５）と、を具備したも
のである。
に、本発明の請求項１に係る半導体集積回路試験装置
は、試験対象の半導体集積回路（ＤＵＴ１０１）に接続
される電源電圧発生器（電源電圧発生器１０２）と試験
波形発生器（試験波形発生器１０５）とを有する半導体
集積回路試験装置において、試験のタイミング信号を発
生するタイミング発生器（タイミング発生器１０４）
と、前記試験対象の半導体集積回路と前記試験波形発生
器との間に接続され、前記タイミング信号に同期して電
流測定を行う電流計（電流計１１５）と、を具備したも
のである。
【００１０】請求項１記載の半導体集積回路試験装置に
よれば、試験のタイミング信号に同期して試験波形発生
器からＤＵＴに入力される信号の電流測定を行うことが
可能なことにより、機能試験時の入力端子の電流値を時
間経過に沿って観測することができ、入力端子に瞬時的
に流れる異常電流の検出や解析が可能になる。
よれば、試験のタイミング信号に同期して試験波形発生
器からＤＵＴに入力される信号の電流測定を行うことが
可能なことにより、機能試験時の入力端子の電流値を時
間経過に沿って観測することができ、入力端子に瞬時的
に流れる異常電流の検出や解析が可能になる。
【００１１】本発明の請求項２に係る半導体集積回路試
験装置は、試験対象の半導体集積回路（ＤＵＴ１０１）
に接続される電源電圧発生器（電源電圧発生器１０２）
と試験波形発生器（試験波形発生器１０５）とを有する
半導体集積回路試験装置において、試験のタイミング信
号を発生するタイミング発生器（タイミング発生器１０
４）と、前記試験対象の半導体集積回路と前記電源電圧
発生器との間に接続され、前記タイミング信号に同期し
て電流測定を行う電流計と、を具備したものである。
験装置は、試験対象の半導体集積回路（ＤＵＴ１０１）
に接続される電源電圧発生器（電源電圧発生器１０２）
と試験波形発生器（試験波形発生器１０５）とを有する
半導体集積回路試験装置において、試験のタイミング信
号を発生するタイミング発生器（タイミング発生器１０
４）と、前記試験対象の半導体集積回路と前記電源電圧
発生器との間に接続され、前記タイミング信号に同期し
て電流測定を行う電流計と、を具備したものである。
【００１２】請求項２記載の半導体集積回路試験装置に
よれば、試験のタイミング信号に同期して電源電圧発生
器からＤＵＴに印加される電圧に対する電流測定を行う
ことが可能なことにより、電圧印加時の電源端子の電流
値を時間経過に沿って観測することができ、電源端子に
瞬時的に流れる異常電流の検出や解析が可能になる。
よれば、試験のタイミング信号に同期して電源電圧発生
器からＤＵＴに印加される電圧に対する電流測定を行う
ことが可能なことにより、電圧印加時の電源端子の電流
値を時間経過に沿って観測することができ、電源端子に
瞬時的に流れる異常電流の検出や解析が可能になる。
【００１３】本発明の請求項３に係る半導体集積回路試
験装置は、請求項１または２記載の半導体集積回路試験
装置において、前記電流計による電流測定結果を試験時
刻に対して表示する電流モニタ手段（電流モニタ器２０
４）を備えるものである。
験装置は、請求項１または２記載の半導体集積回路試験
装置において、前記電流計による電流測定結果を試験時
刻に対して表示する電流モニタ手段（電流モニタ器２０
４）を備えるものである。
【００１４】請求項３記載の半導体集積回路試験装置に
よれば、試験のタイミング信号に同期して電源端子の電
流計測値あるいは入力端子の電流計測値をその試験時刻
とともに表示することにより、機能試験の時間経過に沿
ってＤＵＴの動作状態の推移を目視することができ、瞬
時的な電流値とタイミング情報や入力ベクタ情報を同時
にモニタすることで、ＤＵＴのより詳細な解析や評価作
業が容易になる。
よれば、試験のタイミング信号に同期して電源端子の電
流計測値あるいは入力端子の電流計測値をその試験時刻
とともに表示することにより、機能試験の時間経過に沿
ってＤＵＴの動作状態の推移を目視することができ、瞬
時的な電流値とタイミング情報や入力ベクタ情報を同時
にモニタすることで、ＤＵＴのより詳細な解析や評価作
業が容易になる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形
態に係る半導体集積回路試験装置の構成を示すブロック
図である。図１において、１０１は試験対象のＤＵＴ、
１０２は電源電圧発生器、１０４はタイミング発生器、
１０５は試験波形発生器、１１３は期待値判定器であ
る。ここで、ＤＵＴ以外が半導体集積回路試験装置を構
成している。
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形
態に係る半導体集積回路試験装置の構成を示すブロック
図である。図１において、１０１は試験対象のＤＵＴ、
１０２は電源電圧発生器、１０４はタイミング発生器、
１０５は試験波形発生器、１１３は期待値判定器であ
る。ここで、ＤＵＴ以外が半導体集積回路試験装置を構
成している。
【００１６】試験対象のＤＵＴ１０１は、電源端子１０
０ａ、入力端子１００ｂ、出力端子１００ｃ、接地端子
１００ｄを有する。電源端子１００ａはリレー１０６を
介して電源電圧発生器１０２に接続され、接地端子１０
０ｄは接地１１２に接続される。入力端子１００ｂはリ
レー１０７を介して試験波形発生器１０５に接続され
る。出力端子１００ｃは期待値判定器１１３に接続され
期待値と比較される。
０ａ、入力端子１００ｂ、出力端子１００ｃ、接地端子
１００ｄを有する。電源端子１００ａはリレー１０６を
介して電源電圧発生器１０２に接続され、接地端子１０
０ｄは接地１１２に接続される。入力端子１００ｂはリ
レー１０７を介して試験波形発生器１０５に接続され
る。出力端子１００ｃは期待値判定器１１３に接続され
期待値と比較される。
【００１７】電源電圧発生器１０２は内部の定電圧発生
器１０３で発生する電圧を、電流計１１５を介して出力
し、これがリレー１０６を介してＤＵＴに印加される。
電流計１１５はタイミング発生器１０４が発生する時間
情報をトリガにして電流測定を行う。
器１０３で発生する電圧を、電流計１１５を介して出力
し、これがリレー１０６を介してＤＵＴに印加される。
電流計１１５はタイミング発生器１０４が発生する時間
情報をトリガにして電流測定を行う。
【００１８】試験波形発生器１０５は、波形合成器１０
８、高電位を与えるＶＩＨ電源１０９、低電位を与える
ＶＩＬ電源１１０、パターン発生器１１１、電流計１１
４を内蔵し、タイミング発生器１０４が生成する時間情
報に従い、パターン発生器１１１に蓄積されているデー
タからＤＵＴに入力するテストベクタを取り出し、ＶＩ
Ｈ電源１０９およびＶＩＬ電源１１０が与える電圧に従
ってＤＵＴの入力波形を波形合成器１０８により合成
し、電流計１１４を介して出力する。
８、高電位を与えるＶＩＨ電源１０９、低電位を与える
ＶＩＬ電源１１０、パターン発生器１１１、電流計１１
４を内蔵し、タイミング発生器１０４が生成する時間情
報に従い、パターン発生器１１１に蓄積されているデー
タからＤＵＴに入力するテストベクタを取り出し、ＶＩ
Ｈ電源１０９およびＶＩＬ電源１１０が与える電圧に従
ってＤＵＴの入力波形を波形合成器１０８により合成
し、電流計１１４を介して出力する。
【００１９】合成された入力波形を、リレー１０７を介
してＤＵＴ１０１の入力端子に入力することによりＤＵ
Ｔを動作させ、出力端子から出力される信号を期待値判
定器１１３で期待値判定することにより、このＤＵＴの
機能試験が実施される。このとき、電流計１１４はタイ
ミング発生器１０４が発生する時間情報をトリガにして
電流測定を行う。
してＤＵＴ１０１の入力端子に入力することによりＤＵ
Ｔを動作させ、出力端子から出力される信号を期待値判
定器１１３で期待値判定することにより、このＤＵＴの
機能試験が実施される。このとき、電流計１１４はタイ
ミング発生器１０４が発生する時間情報をトリガにして
電流測定を行う。
【００２０】このようにしてＤＵＴの機能試験が実施さ
れ、機能試験の時間経過に沿って、その時刻情報ととも
に電源端子の電流計測値と入力端子の電流計測値を得る
ことが可能となる。また、試験周期を伸ばして電源を観
測することにより、機能試験中の静止状態における電源
電流（ＩＤＤＱ）を観測することができ、ＤＵＴの状態
とＩＤＤＱ値の評価ができる。
れ、機能試験の時間経過に沿って、その時刻情報ととも
に電源端子の電流計測値と入力端子の電流計測値を得る
ことが可能となる。また、試験周期を伸ばして電源を観
測することにより、機能試験中の静止状態における電源
電流（ＩＤＤＱ）を観測することができ、ＤＵＴの状態
とＩＤＤＱ値の評価ができる。
【００２１】図２は電流測定結果を試験時刻に対して表
示する電流モニタの測定構成図である。図２において、
２０１はＤＵＴの電源端子または入力端子の電流を計測
する電流計、２０２はタイミング発生器、２０３はパタ
ーン発生器、２０４は電流モニタ器である。
示する電流モニタの測定構成図である。図２において、
２０１はＤＵＴの電源端子または入力端子の電流を計測
する電流計、２０２はタイミング発生器、２０３はパタ
ーン発生器、２０４は電流モニタ器である。
【００２２】このような電流モニタの測定構成におい
て、タイミング発生器２０２の時間情報により電流計２
０１とパターン発生器２０３がトリガされ、それぞれの
データが電流モニタ器２０４に送られる。ここで、パタ
ーン発生器２０２はアドレス０〜１０のテストベクタを
発生している。電流モニタ器２０４は、パターン発生器
２０３からのベクタアドレス情報２０５と、そのアドレ
スに一致する時刻に測定された電流値２０６を同時に電
流モニタ画面２０７に表示する。
て、タイミング発生器２０２の時間情報により電流計２
０１とパターン発生器２０３がトリガされ、それぞれの
データが電流モニタ器２０４に送られる。ここで、パタ
ーン発生器２０２はアドレス０〜１０のテストベクタを
発生している。電流モニタ器２０４は、パターン発生器
２０３からのベクタアドレス情報２０５と、そのアドレ
スに一致する時刻に測定された電流値２０６を同時に電
流モニタ画面２０７に表示する。
【００２３】このようにして、ＤＵＴの機能試験におい
て、電源端子の電流計測値あるいは入力端子の電流計測
値を、その時刻情報とともに電流モニタ画面に表示させ
ることにより、機能試験の時間経過に沿ってＤＵＴの動
作状態の推移を目視することができ、さらに、入出力信
号の状態を同時に表示させることにより、ＤＵＴのより
詳細な解析や評価作業が容易になる。
て、電源端子の電流計測値あるいは入力端子の電流計測
値を、その時刻情報とともに電流モニタ画面に表示させ
ることにより、機能試験の時間経過に沿ってＤＵＴの動
作状態の推移を目視することができ、さらに、入出力信
号の状態を同時に表示させることにより、ＤＵＴのより
詳細な解析や評価作業が容易になる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機能試験時の入力端子の電流値や電圧印加時の電源端子
の電流値を時間経過に沿って観測することができ、入力
端子や電源端子に瞬時的に流れる異常電流の検出や解析
が可能になるという優れた効果を得ることができる。
機能試験時の入力端子の電流値や電圧印加時の電源端子
の電流値を時間経過に沿って観測することができ、入力
端子や電源端子に瞬時的に流れる異常電流の検出や解析
が可能になるという優れた効果を得ることができる。
【００２５】さらに本発明によれば、電流計測値の電流
モニタ画面表示により入力端子や電源端子に瞬時的に発
生する電流を機能試験のテストベクタの時刻情報と同時
に観測できるので、機能試験時の消費電流の評価、ＩＤ
ＤＱ発生時のＤＵＴの状態解析、あるいはＬＳＩテスト
デバッグ時の入力端子状態のチェックなどが容易になる
という優れた効果を得ることができる。
モニタ画面表示により入力端子や電源端子に瞬時的に発
生する電流を機能試験のテストベクタの時刻情報と同時
に観測できるので、機能試験時の消費電流の評価、ＩＤ
ＤＱ発生時のＤＵＴの状態解析、あるいはＬＳＩテスト
デバッグ時の入力端子状態のチェックなどが容易になる
という優れた効果を得ることができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る半導体集積回路試
験装置の構成を示すブロック図である。
験装置の構成を示すブロック図である。
【図２】電流測定結果を試験時刻に対して表示する電流
モニタの測定構成図である。
モニタの測定構成図である。
【図３】従来の半導体集積回路試験装置の構成図であ
る。
る。
１００ａ、３００ａ ＤＵＴの電源端子
１００ｂ、３００ｂ ＤＵＴの入力端子
１００ｃ、３００ｃ ＤＵＴの出力端子
１００ｄ、３００ｄ ＤＵＴの接地端子
１０１、３０１ ＤＵＴ
１０２、３０２ 電源電圧発生器
１０３、３０３ 定電圧発生器
１０４、２０２、３０４ タイミング発生器
１０５、３０５ 試験波形生成器
１０６、１０７、３０６、３０７ リレー
１０８、３０８ 波形合成器
１０９、３０９ ＶＩＨ電源
１１０、３１０ ＶＩＬ電源
１１１、２０３、３１１ パターン発生器
１１２、３１２ 接地
１１３、３１３ 期待値判定機
１１４、１１５、２０１ 電流計
２０４ 電流モニタ器
２０５ ベクタアドレス情報
２０６ モニタされた電流値
２０７ 電流モニタ画面
Claims (3)
- 【請求項１】 試験対象の半導体集積回路に接続される
電源電圧発生器と試験波形発生器とを有する半導体集積
回路試験装置において、 試験のタイミング信号を発生するタイミング発生器と、 前記試験対象の半導体集積回路と前記試験波形発生器と
の間に接続され、前記タイミング信号に同期して電流測
定を行う電流計と、を具備したことを特徴とする半導体
集積回路試験装置。 - 【請求項２】 試験対象の半導体集積回路に接続される
電源電圧発生器と試験波形発生器とを有する半導体集積
回路試験装置において、 試験のタイミング信号を発生するタイミング発生器と、 前記試験対象の半導体集積回路と前記電源電圧発生器と
の間に接続され、前記タイミング信号に同期して電流測
定を行う電流計と、を具備したことを特徴とする半導体
集積回路試験装置。 - 【請求項３】 前記電流計による電流測定結果を試験時
刻に対して表示する電流モニタ手段を備えることを特徴
とする請求項１または２記載の半導体集積回路試験装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001337846A JP2003139826A (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | 半導体集積回路試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001337846A JP2003139826A (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | 半導体集積回路試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003139826A true JP2003139826A (ja) | 2003-05-14 |
Family
ID=19152427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001337846A Pending JP2003139826A (ja) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | 半導体集積回路試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003139826A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005029099A1 (ja) * | 2003-09-22 | 2007-11-15 | 平河ヒューテック株式会社 | 電流測定装置及び試験装置と、これに用いる同軸ケーブル及び集合ケーブル |
| JP2013195321A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Mitsubishi Aircraft Corp | 雷撃評価システム |
-
2001
- 2001-11-02 JP JP2001337846A patent/JP2003139826A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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