JP2003139561A - 角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置 - Google Patents
角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置Info
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- F16K37/0083—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring valve parameters
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- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度センサを別途設けることなく、角度セン
サの温度を直接的に求め、また、入力信号の種類を増加
させることなく位置についての情報と温度についての情
報を得ることである。 【解決手段】 角度センサ６のブリッジ回路１３へ定電
流を供給したときのブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をもと
に温度に依存した成分のみを検出し、前記温度に依存し
た成分から角度センサ６の温度を取得し、前記取得した
温度に対応した補正情報を利用し、温度センサを別途設
けることなく、流量制御弁１の弁開度を自動調整すると
きの角度センサ６の出力についての温度補償を行う。
サの温度を直接的に求め、また、入力信号の種類を増加
させることなく位置についての情報と温度についての情
報を得ることである。 【解決手段】 角度センサ６のブリッジ回路１３へ定電
流を供給したときのブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をもと
に温度に依存した成分のみを検出し、前記温度に依存し
た成分から角度センサ６の温度を取得し、前記取得した
温度に対応した補正情報を利用し、温度センサを別途設
けることなく、流量制御弁１の弁開度を自動調整すると
きの角度センサ６の出力についての温度補償を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、角度センサの温
度情報検出装置および位置検出装置に関し、特に流量制
御弁の弁開度の制御に用いて好適な角度センサの温度情
報検出装置、およびその温度情報検出装置を用いた位置
検出装置に関するものである。
度情報検出装置および位置検出装置に関し、特に流量制
御弁の弁開度の制御に用いて好適な角度センサの温度情
報検出装置、およびその温度情報検出装置を用いた位置
検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、流量制御弁においてはその弁開度
を角度センサで検出し、前記検出した弁開度と外部から
与えられた弁開度設定値とをもとに弁開度制御装置であ
るポジショナー本体で弁開度の制御量を演算し、前記制
御量に応じて弁開度が前記弁開度設定値に一致するよう
に自動調整している。
を角度センサで検出し、前記検出した弁開度と外部から
与えられた弁開度設定値とをもとに弁開度制御装置であ
るポジショナー本体で弁開度の制御量を演算し、前記制
御量に応じて弁開度が前記弁開度設定値に一致するよう
に自動調整している。
【０００３】図３は、従来の流量制御装置を示す構成図
であり、図において、５１は流量制御弁、５２は空気ア
クチュエータ５３と流量制御弁５１とを固定するヨー
ク、５４は前記空気アクチュエータ５３により駆動され
る弁駆動軸、５５は前記弁駆動軸５４の所定位置に突設
されたピンである。５６は前記ヨーク５２の一部に固定
された角度センサであり、流量制御弁５１の弁開度すな
わちバルブ位置に応じた位置信号を出力するものであ
る。このような角度センサとしては、例えば特開平１１
−８３４２２号公報に開示された構造のものが用いられ
る。また、この角度センサ５６は複数の磁気抵抗素子が
ブリッジ回路の形態に組まれ、一方の相対する二つの端
子に入力電圧が印加され、また他方の相対する二つの端
子を出力端子とする構成である。
であり、図において、５１は流量制御弁、５２は空気ア
クチュエータ５３と流量制御弁５１とを固定するヨー
ク、５４は前記空気アクチュエータ５３により駆動され
る弁駆動軸、５５は前記弁駆動軸５４の所定位置に突設
されたピンである。５６は前記ヨーク５２の一部に固定
された角度センサであり、流量制御弁５１の弁開度すな
わちバルブ位置に応じた位置信号を出力するものであ
る。このような角度センサとしては、例えば特開平１１
−８３４２２号公報に開示された構造のものが用いられ
る。また、この角度センサ５６は複数の磁気抵抗素子が
ブリッジ回路の形態に組まれ、一方の相対する二つの端
子に入力電圧が印加され、また他方の相対する二つの端
子を出力端子とする構成である。
【０００４】５７は前記流量制御弁５１のバルブ位置に
応じた開度情報を前記角度センサ５６へ入力するための
フィードバックレバーであり、角度センサ５６の回転軸
へ一方の端が固定されている。また、このフィードバッ
クレバー５７にはスリット５７ａが形成されており、そ
のスリット５７ａに前記ピン５５が摺動可能に係合して
おり、弁駆動軸５４の往復運動を回転運動に変換する。
５８は前記弁開度制御装置であるポジショナー本体であ
り、ヨーク５２に固定されたケースの中に角度センサ５
６と共に収められている。５９は温度情報検出用のセン
サであり、前記ポジショナー本体５８を構成する基板上
に配置されている。このポジショナー本体５８には空気
アクチュエータ５３を作動させるための制御空気の源と
なる圧搾空気が外部から送り込まれており、また、離れ
た位置にあるコントローラから通信により弁開度設定値
が送られてくる。また、このポジショナー本体５８に
は、角度センサ５６から出力された前記流量制御弁５１
のバルブ位置に応じた位置信号が入力される。
応じた開度情報を前記角度センサ５６へ入力するための
フィードバックレバーであり、角度センサ５６の回転軸
へ一方の端が固定されている。また、このフィードバッ
クレバー５７にはスリット５７ａが形成されており、そ
のスリット５７ａに前記ピン５５が摺動可能に係合して
おり、弁駆動軸５４の往復運動を回転運動に変換する。
５８は前記弁開度制御装置であるポジショナー本体であ
り、ヨーク５２に固定されたケースの中に角度センサ５
６と共に収められている。５９は温度情報検出用のセン
サであり、前記ポジショナー本体５８を構成する基板上
に配置されている。このポジショナー本体５８には空気
アクチュエータ５３を作動させるための制御空気の源と
なる圧搾空気が外部から送り込まれており、また、離れ
た位置にあるコントローラから通信により弁開度設定値
が送られてくる。また、このポジショナー本体５８に
は、角度センサ５６から出力された前記流量制御弁５１
のバルブ位置に応じた位置信号が入力される。
【０００５】次に動作について説明する。ポジショナー
本体５８においては、角度センサ５６により検出された
流量制御弁５１のバルブ位置に応じた位置信号を、外部
から与えられた弁開度設定値と比較し、この比較結果に
応じて圧搾空気から生成した制御空気を空気アクチュエ
ータ５３へ送り込み、空気アクチュエータ５３により弁
駆動軸５４を駆動し、流量制御弁５１のバルブ位置が前
記外部から与えられた弁開度設定値に一致するように制
御し、流体の流量制御を行う。
本体５８においては、角度センサ５６により検出された
流量制御弁５１のバルブ位置に応じた位置信号を、外部
から与えられた弁開度設定値と比較し、この比較結果に
応じて圧搾空気から生成した制御空気を空気アクチュエ
ータ５３へ送り込み、空気アクチュエータ５３により弁
駆動軸５４を駆動し、流量制御弁５１のバルブ位置が前
記外部から与えられた弁開度設定値に一致するように制
御し、流体の流量制御を行う。
【０００６】また、ポジショナー本体５８においては、
流量制御弁５１により流量制御される流体の温度が常温
と大きく異なっているような場合、熱伝導によって流量
制御弁５１からヨーク５２を介してポジショナー本体５
８および角度センサ５６自体の温度が影響を受けて常温
と大きく異なることになり、角度センサ５６を構成して
いる磁気抵抗素子の温度特性の変化により該角度センサ
の出力が変動する。このため、ポジショナー本体５８の
基板上に配置されたサーミスタなどの温度補償用の温度
センサ５９による検出信号に基づいて、前記角度センサ
５６の出力の変動を補償するための温度特性補償演算を
行うようになっている。例えば、特開平１１−１９４１
６０号公報に開示された磁気抵抗素子用増幅回路を用い
ることができる。なお、この場合、ポジショナー本体５
８と角度センサ５６とが同一ケース内に設置されている
ために、このケース内の温度は一様になっているとみな
すことができる。また、温度センサ５９はポジショナー
本体５８に搭載されている回路素子の温度補償にも兼用
されている。
流量制御弁５１により流量制御される流体の温度が常温
と大きく異なっているような場合、熱伝導によって流量
制御弁５１からヨーク５２を介してポジショナー本体５
８および角度センサ５６自体の温度が影響を受けて常温
と大きく異なることになり、角度センサ５６を構成して
いる磁気抵抗素子の温度特性の変化により該角度センサ
の出力が変動する。このため、ポジショナー本体５８の
基板上に配置されたサーミスタなどの温度補償用の温度
センサ５９による検出信号に基づいて、前記角度センサ
５６の出力の変動を補償するための温度特性補償演算を
行うようになっている。例えば、特開平１１−１９４１
６０号公報に開示された磁気抵抗素子用増幅回路を用い
ることができる。なお、この場合、ポジショナー本体５
８と角度センサ５６とが同一ケース内に設置されている
ために、このケース内の温度は一様になっているとみな
すことができる。また、温度センサ５９はポジショナー
本体５８に搭載されている回路素子の温度補償にも兼用
されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の構成において
は、ポジショナー本体５８と角度センサ５６とが同一の
ケースに収められて、ヨーク５２に固定されており、ケ
ース内の温度を計るために温度センサ５９が必要であっ
た。また、設置環境によってはポジショナー本体５８の
みを分離して、別の場所へ設置したいという要請があ
る。ところがポジショナー本体５８が角度センサ５６と
分離された構造においては、前記温度センサ５９で検出
する温度はポジショナー本体５８の基板上の温度であ
り、設置場所の異なる角度センサ５６の温度と同じとは
みなすことができない。
は、ポジショナー本体５８と角度センサ５６とが同一の
ケースに収められて、ヨーク５２に固定されており、ケ
ース内の温度を計るために温度センサ５９が必要であっ
た。また、設置環境によってはポジショナー本体５８の
みを分離して、別の場所へ設置したいという要請があ
る。ところがポジショナー本体５８が角度センサ５６と
分離された構造においては、前記温度センサ５９で検出
する温度はポジショナー本体５８の基板上の温度であ
り、設置場所の異なる角度センサ５６の温度と同じとは
みなすことができない。
【０００８】そのため、ポジショナー本体５８が角度セ
ンサ５６と分離された構造において、前記温度補償用の
センサ５９と同様な温度センサ（図示せず）を角度セン
サ５６の磁気抵抗素子により構成されるブリッジ回路近
傍に新たに配置する必要が生じる。そうすると角度セン
サ５６から出力される流量制御弁５１のバルブ位置に応
じた位置信号をポジショナー本体５８へ伝達するための
ケーブルと、新たに設けた温度センサから出力される角
度センサ５６近傍の温度情報をポジショナー本体５８へ
伝達するためのケーブルとがそれぞれ必要になり温度セ
ンサも２つ必要になるので構成が複雑化するという課題
があった。
ンサ５６と分離された構造において、前記温度補償用の
センサ５９と同様な温度センサ（図示せず）を角度セン
サ５６の磁気抵抗素子により構成されるブリッジ回路近
傍に新たに配置する必要が生じる。そうすると角度セン
サ５６から出力される流量制御弁５１のバルブ位置に応
じた位置信号をポジショナー本体５８へ伝達するための
ケーブルと、新たに設けた温度センサから出力される角
度センサ５６近傍の温度情報をポジショナー本体５８へ
伝達するためのケーブルとがそれぞれ必要になり温度セ
ンサも２つ必要になるので構成が複雑化するという課題
があった。
【０００９】また、角度センサ５６から送られてきた前
記位置信号や、前記温度補償用のセンサ５９から出力さ
れる温度情報などについてポジショナー本体５８で行う
信号処理は、前記位置信号や温度情報をＡ／Ｄ変換器に
よりアナログ信号からディジタル信号へ変換し、ディジ
タル信号処理により行う場合が一般的になっていること
から、Ａ／Ｄ変換する入力信号の種類が多くなることは
チャネル数の多いＡ／Ｄ変換器を用いることになって、
コスト的に高価になるという課題もあった。
記位置信号や、前記温度補償用のセンサ５９から出力さ
れる温度情報などについてポジショナー本体５８で行う
信号処理は、前記位置信号や温度情報をＡ／Ｄ変換器に
よりアナログ信号からディジタル信号へ変換し、ディジ
タル信号処理により行う場合が一般的になっていること
から、Ａ／Ｄ変換する入力信号の種類が多くなることは
チャネル数の多いＡ／Ｄ変換器を用いることになって、
コスト的に高価になるという課題もあった。
【００１０】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、温度センサを別途設けることな
く、角度センサの温度を直接的に求めることが可能にな
る角度センサの温度情報検出装置を提供することを目的
とする。
めになされたもので、温度センサを別途設けることな
く、角度センサの温度を直接的に求めることが可能にな
る角度センサの温度情報検出装置を提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係る角度セン
サの温度補償装置は、ブリッジ回路に定電流を供給する
定電流供給手段と、前記ブリッジ回路周囲の温度に応じ
た温度情報を前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をも
とに取得する温度情報検出手段とを備えるようにしたも
のである。好ましくは、温度情報検出手段は、ブリッジ
回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果をもとに前記
ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を取得するこ
とを特徴とする。
サの温度補償装置は、ブリッジ回路に定電流を供給する
定電流供給手段と、前記ブリッジ回路周囲の温度に応じ
た温度情報を前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をも
とに取得する温度情報検出手段とを備えるようにしたも
のである。好ましくは、温度情報検出手段は、ブリッジ
回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果をもとに前記
ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を取得するこ
とを特徴とする。
【００１２】この発明に係る位置検出装置は、ブリッジ
回路に定電流を供給する定電流供給手段と、前記ブリッ
ジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリッジ回路周
囲の温度情報を取得する温度情報検出手段とを備えるよ
うにしたものである。好ましくは、温度情報検出手段
は、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果
をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度情報を取得するこ
とを特徴とする。
回路に定電流を供給する定電流供給手段と、前記ブリッ
ジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリッジ回路周
囲の温度情報を取得する温度情報検出手段とを備えるよ
うにしたものである。好ましくは、温度情報検出手段
は、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果
をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度情報を取得するこ
とを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態に
ついて説明する。 実施の形態１．この実施の形態１では、流量制御弁の弁
開度を定電流が供給された角度センサの出力をもとに検
出する。そして、前記検出した弁開度と外部から与えら
れた弁開度設定値とをもとに、前記流量制御弁の弁開度
が前記弁開度設定値に一致するように自動調整する。さ
らにこのときの温度補償を、温度センサを別途設けるこ
となく前記角度センサの出力を利用して行う。
ついて説明する。 実施の形態１．この実施の形態１では、流量制御弁の弁
開度を定電流が供給された角度センサの出力をもとに検
出する。そして、前記検出した弁開度と外部から与えら
れた弁開度設定値とをもとに、前記流量制御弁の弁開度
が前記弁開度設定値に一致するように自動調整する。さ
らにこのときの温度補償を、温度センサを別途設けるこ
となく前記角度センサの出力を利用して行う。
【００１４】図１は、この実施の形態１による角度セン
サの温度情報検出装置および位置検出装置が適用され
る、ポジショナー本体が角度センサと分離された構造の
流量制御弁を示す構成図である。前述の従来例図３と比
較すると、図１に示す本発明の実施の形態では、ポジシ
ョナー本体８のケースが角度センサ６のケースから分離
して設けられている点およびポジショナー本体８の内部
の構成が異なるが、その他の構成のおいては一致してい
る。図において、１は流量制御弁、３は空気アクチュエ
ータ、２は流量制御弁１と空気アクチュエータ３とを互
いに結合固定するヨーク、４は前記空気アクチュエータ
３により直線的に駆動される弁駆動軸である。弁駆動軸
４の上下動の位置に応じて流量制御弁１の弁開度が変化
し、液体の流量が調整される。５は前記弁駆動軸４の所
定位置に突設されたピン、６は前記ヨーク２の一部に固
定された角度センサであり、流量制御弁１の上下動の位
置すなわち弁開度に応じた位置信号を出力する。また、
この角度センサ６は複数の磁気抵抗素子がブリッジ回路
の形態に組まれ、一方の相対する二つの端子に対しては
定電流供給手段から定電流が供給され、また他方の相対
する二つの端子を出力端子とする構成である。
サの温度情報検出装置および位置検出装置が適用され
る、ポジショナー本体が角度センサと分離された構造の
流量制御弁を示す構成図である。前述の従来例図３と比
較すると、図１に示す本発明の実施の形態では、ポジシ
ョナー本体８のケースが角度センサ６のケースから分離
して設けられている点およびポジショナー本体８の内部
の構成が異なるが、その他の構成のおいては一致してい
る。図において、１は流量制御弁、３は空気アクチュエ
ータ、２は流量制御弁１と空気アクチュエータ３とを互
いに結合固定するヨーク、４は前記空気アクチュエータ
３により直線的に駆動される弁駆動軸である。弁駆動軸
４の上下動の位置に応じて流量制御弁１の弁開度が変化
し、液体の流量が調整される。５は前記弁駆動軸４の所
定位置に突設されたピン、６は前記ヨーク２の一部に固
定された角度センサであり、流量制御弁１の上下動の位
置すなわち弁開度に応じた位置信号を出力する。また、
この角度センサ６は複数の磁気抵抗素子がブリッジ回路
の形態に組まれ、一方の相対する二つの端子に対しては
定電流供給手段から定電流が供給され、また他方の相対
する二つの端子を出力端子とする構成である。
【００１５】７は流量制御弁１のバルブ位置に応じた角
度に角度センサ６の回転軸を回転させるためのフィード
バックレバーであり、角度センサ６の前記回転軸へ一方
の端が固定されている。また、このフィードバックレバ
ー７にはスリット７ａが構成されており、そのスリット
７ａに前記ピン５が摺動可能に係合している。このフィ
ードバックレバー７と、そのスリット７ａに弁駆動軸４
のピン５が係合する機構により、弁駆動軸４の直線的な
往復動が、角度センサ６の前記回転軸の回転運動に変換
される。
度に角度センサ６の回転軸を回転させるためのフィード
バックレバーであり、角度センサ６の前記回転軸へ一方
の端が固定されている。また、このフィードバックレバ
ー７にはスリット７ａが構成されており、そのスリット
７ａに前記ピン５が摺動可能に係合している。このフィ
ードバックレバー７と、そのスリット７ａに弁駆動軸４
のピン５が係合する機構により、弁駆動軸４の直線的な
往復動が、角度センサ６の前記回転軸の回転運動に変換
される。
【００１６】図４は角度センサを示す要部斜視図であ
る。図示しない取付手段に固定された角度センサ４０
は、磁路形成体６５に取付けた磁石６１，６３を配置
し、この磁路形成体６５の中央を回転軸６７に固定して
いる。ここで角度センサ４０はその両方向に印加される
磁力線の方向がその面内において変化すると抵抗値が変
化する機能を有する磁気センサである。また両磁石６
１，６３のＮ，Ｓ極は、その磁力線が角度センサ４０の
両面に対して平行に入射するように配置されている。そ
して回転軸６７を回転すると、磁路形成体６５と共に両
磁石６１，６３が角度センサ４０の周囲を回転し、これ
によって角度センサ４０に入射される磁力線の方向が変
化して該角度センサの抵抗値が変化し、回転軸６７の回
転角度が検出できる。
る。図示しない取付手段に固定された角度センサ４０
は、磁路形成体６５に取付けた磁石６１，６３を配置
し、この磁路形成体６５の中央を回転軸６７に固定して
いる。ここで角度センサ４０はその両方向に印加される
磁力線の方向がその面内において変化すると抵抗値が変
化する機能を有する磁気センサである。また両磁石６
１，６３のＮ，Ｓ極は、その磁力線が角度センサ４０の
両面に対して平行に入射するように配置されている。そ
して回転軸６７を回転すると、磁路形成体６５と共に両
磁石６１，６３が角度センサ４０の周囲を回転し、これ
によって角度センサ４０に入射される磁力線の方向が変
化して該角度センサの抵抗値が変化し、回転軸６７の回
転角度が検出できる。
【００１７】図５は磁気抵抗素子４０を示す平面図であ
る。この磁気抵抗素子４０は、ジグザグに形成された４
つの磁気抵抗素子パターンｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４のジ
グザグ方向が交互に直交するように点対称に基板４９上
に形成されている。そして例えば図５に示す矢印Ａ方向
に磁界が印加されると、これに平行な磁気抵抗素子パタ
ーンｒ１，ｒ４の抵抗値は最大となり、同時にこれに垂
直な磁気抵抗素子パターンｒ２，ｒ３の抵抗値は最小と
なる。また図５に示す矢印Ｂ方向に磁界が印加されると
これと逆になる。これら４つの磁気抵抗素子パターンｒ
１，ｒ２，ｒ３，ｒ４にて図２に示したブリッジ回路１
３を構成すると共に、磁気抵抗素子４０の一方の相対す
る２端子５１，５５に入力電流を印加し、他方の相対す
る２端子５３，５７を出力端子としている。そして例え
ば図４に示すように、前記磁気抵抗素子４０の両側に永
久磁石６１，６３を配設して該永久磁石６１，６３を固
定した磁路形成体６５の回転軸６７を回転すれば、両永
久磁石６１，６３が磁気抵抗素子４０の周囲を回転して
各磁気抵抗素子パターンｒ１〜ｒ４の抵抗値が変化す
る。
る。この磁気抵抗素子４０は、ジグザグに形成された４
つの磁気抵抗素子パターンｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４のジ
グザグ方向が交互に直交するように点対称に基板４９上
に形成されている。そして例えば図５に示す矢印Ａ方向
に磁界が印加されると、これに平行な磁気抵抗素子パタ
ーンｒ１，ｒ４の抵抗値は最大となり、同時にこれに垂
直な磁気抵抗素子パターンｒ２，ｒ３の抵抗値は最小と
なる。また図５に示す矢印Ｂ方向に磁界が印加されると
これと逆になる。これら４つの磁気抵抗素子パターンｒ
１，ｒ２，ｒ３，ｒ４にて図２に示したブリッジ回路１
３を構成すると共に、磁気抵抗素子４０の一方の相対す
る２端子５１，５５に入力電流を印加し、他方の相対す
る２端子５３，５７を出力端子としている。そして例え
ば図４に示すように、前記磁気抵抗素子４０の両側に永
久磁石６１，６３を配設して該永久磁石６１，６３を固
定した磁路形成体６５の回転軸６７を回転すれば、両永
久磁石６１，６３が磁気抵抗素子４０の周囲を回転して
各磁気抵抗素子パターンｒ１〜ｒ４の抵抗値が変化す
る。
【００１８】８は前記弁開度制御装置であるポジショナ
ー本体である。このポジショナー本体８には空気アクチ
ュエータ３を作動させるための制御空気の源となる圧搾
空気が外部から送り込まれており、また、遠隔位置にあ
るコントローラから通信により弁開度設定値が送られて
くる。また、角度センサ６の前記ブリッジ回路の前記入
力端子に電力供給を行うと共に前記出力端子からの出力
であるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が入力される。な
お、本発明とは直接関係しないが、ポジショナー本体８
は、上記遠隔のコントーラーと、４−２０ｍＡ電流伝送
方式により通信を行うと共に、遠隔のコントローラーか
ら電力供給を受けている。このような回路（図示せず）
の温度特性を補償するために温度センサ９が設けられて
いる。
ー本体である。このポジショナー本体８には空気アクチ
ュエータ３を作動させるための制御空気の源となる圧搾
空気が外部から送り込まれており、また、遠隔位置にあ
るコントローラから通信により弁開度設定値が送られて
くる。また、角度センサ６の前記ブリッジ回路の前記入
力端子に電力供給を行うと共に前記出力端子からの出力
であるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が入力される。な
お、本発明とは直接関係しないが、ポジショナー本体８
は、上記遠隔のコントーラーと、４−２０ｍＡ電流伝送
方式により通信を行うと共に、遠隔のコントローラーか
ら電力供給を受けている。このような回路（図示せず）
の温度特性を補償するために温度センサ９が設けられて
いる。
【００１９】図２は、この実施の形態１による角度セン
サ６の温度情報検出装置および位置制御装置を含む流量
制御弁１の弁開度を制御するためのシステム構成図であ
る。なお、図２において図１と同一または相当の個所に
ついては同一の符号を付し説明を省略する。図におい
て、１２は角度センサ６に作用する磁界を発生させる磁
界発生手段であり、例えば永久磁石であり、磁気抵抗素
子により構成された前記ブリッジ回路に対し相対的に回
転可能に構成されている。１３は角度センサ６の前記ブ
リッジ回路であり、一方の相対する辺には磁気抵抗素子
１４，１７が配置され、他方の相対する辺には磁気抵抗
素子１５，１６が配置されている。また、一方の相対す
る二つの端子に定電流供給手段２０から定電流が供給さ
れ、また他方の相対する二つの端子が出力端子となる。
サ６の温度情報検出装置および位置制御装置を含む流量
制御弁１の弁開度を制御するためのシステム構成図であ
る。なお、図２において図１と同一または相当の個所に
ついては同一の符号を付し説明を省略する。図におい
て、１２は角度センサ６に作用する磁界を発生させる磁
界発生手段であり、例えば永久磁石であり、磁気抵抗素
子により構成された前記ブリッジ回路に対し相対的に回
転可能に構成されている。１３は角度センサ６の前記ブ
リッジ回路であり、一方の相対する辺には磁気抵抗素子
１４，１７が配置され、他方の相対する辺には磁気抵抗
素子１５，１６が配置されている。また、一方の相対す
る二つの端子に定電流供給手段２０から定電流が供給さ
れ、また他方の相対する二つの端子が出力端子となる。
【００２０】この角度センサ６では、磁界発生手段１２
が発生させた磁束が各磁気抵抗素子１４，１５，１６，
１７と交差する角度に応じて、それら各磁気抵抗素子の
抵抗値が変化し、このときのブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ
２が前記出力端子から取り出される。このため、前記磁
界発生手段１２が前記ブリッジ回路１３に対して流量制
御弁１の弁開度に応じて相対的に回転するような機構を
設けておく。この機構は、角度センサ６の回転軸に一端
が固定されたフィードバックレバー７と、そのスリット
７ａに弁駆動軸４のピン５が係合する構成であり、これ
により弁駆動軸４の直線的な往復動が角度センサ６の前
記回転軸の回転運動に変換され、磁界発生手段１２が前
記ブリッジ回路１３に対し相対的に回転する。
が発生させた磁束が各磁気抵抗素子１４，１５，１６，
１７と交差する角度に応じて、それら各磁気抵抗素子の
抵抗値が変化し、このときのブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ
２が前記出力端子から取り出される。このため、前記磁
界発生手段１２が前記ブリッジ回路１３に対して流量制
御弁１の弁開度に応じて相対的に回転するような機構を
設けておく。この機構は、角度センサ６の回転軸に一端
が固定されたフィードバックレバー７と、そのスリット
７ａに弁駆動軸４のピン５が係合する構成であり、これ
により弁駆動軸４の直線的な往復動が角度センサ６の前
記回転軸の回転運動に変換され、磁界発生手段１２が前
記ブリッジ回路１３に対し相対的に回転する。
【００２１】ポジショナー本体８は、４−２０ｍＡ通信
線を介して外部から電力供給を受けると共に、外部との
通信を行う。信号変換手段２９は、４−２０ｍＡ入力信
号から通信用の信号を取り出すものである。図２におい
ては、設定値ＳＰが取り出されて制御手段２６に与えら
れる。また、定電圧発生源２８は４−２０ｍＡ入力信号
から定電圧Ｖｃｃの電源を作り出すものである。図示は
省略してあるが、ポジショナー本体内８内部にある電気
的な構成は、定電圧発生源２８からの電力供給を受けて
動作するものである。定電流供給手段２０は、角度セン
サ６のブリッジ回路１３に定電流を供給するものであ
る。具体例としては差動アンプの出力をブリッジ回路１
３の一端に与え、他端Ａを差動アンプの反転入力側へフ
ィードバックすると共に、差動アンプの非反転側には基
準電圧Ｖｒを入力する構成を採る。電流Ｉｃはブリッジ
回路１３および抵抗器Ｒｃを通って接地されるので、ブ
リッジ回路１３と抵抗器Ｒｃとの接続Ａ（差動アンプの
反転入力）の電位はＲｃ・Ｉｃである。差動アンプはこ
の接地Ａの電圧を基準電圧Ｖｒに保つように出力を調整
するので、Ｖｒ＝Ｒｃ・Ｉｃが成り立つ。ＶｒおよびＲ
ｃが一定なのでＩｃも一定となる。２１はＡ／Ｄ変換器
であり、角度センサ６からアナログ信号として出力され
た前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に
変換するものである。２２は前記ディジタル信号へ変換
されたブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を求めるため
の減算手段、２３は前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を
加算するための加算手段（温度情報検出手段）である。
２４は弁開度が制御される流量制御弁１のバルブ位置を
前記減算手段２２の出力をもとに検出するための位置情
報検出手段である。２５は前記加算手段２３の出力をも
とに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度を検出し、
前記検出した温度に応じて前記位置情報検出手段２４が
検出した流量制御弁１のバルブ位置を補償する温度補正
手段（温度情報検出手段）である。２６は前記位置情報
検出手段２４が出力する流量制御弁１のバルブ位置と、
外部のコントローラから与えられる流量制御弁１のバル
ブ位置についての外部設定値とをもとに、前記流量制御
弁１のバルブ位置についての制御量を演算し制御信号と
して出力する制御手段である。なお、この実施の形態で
は２２〜２６の手段は全てＣＰＵ上で動作するプログラ
ムによって実現されている。２７は前記制御信号をもと
にノズル・フラッパー機構を制御し、圧搾空気から制御
空気を生成し、空気アクチュエータ３へ供給する電空変
換手段である。
線を介して外部から電力供給を受けると共に、外部との
通信を行う。信号変換手段２９は、４−２０ｍＡ入力信
号から通信用の信号を取り出すものである。図２におい
ては、設定値ＳＰが取り出されて制御手段２６に与えら
れる。また、定電圧発生源２８は４−２０ｍＡ入力信号
から定電圧Ｖｃｃの電源を作り出すものである。図示は
省略してあるが、ポジショナー本体内８内部にある電気
的な構成は、定電圧発生源２８からの電力供給を受けて
動作するものである。定電流供給手段２０は、角度セン
サ６のブリッジ回路１３に定電流を供給するものであ
る。具体例としては差動アンプの出力をブリッジ回路１
３の一端に与え、他端Ａを差動アンプの反転入力側へフ
ィードバックすると共に、差動アンプの非反転側には基
準電圧Ｖｒを入力する構成を採る。電流Ｉｃはブリッジ
回路１３および抵抗器Ｒｃを通って接地されるので、ブ
リッジ回路１３と抵抗器Ｒｃとの接続Ａ（差動アンプの
反転入力）の電位はＲｃ・Ｉｃである。差動アンプはこ
の接地Ａの電圧を基準電圧Ｖｒに保つように出力を調整
するので、Ｖｒ＝Ｒｃ・Ｉｃが成り立つ。ＶｒおよびＲ
ｃが一定なのでＩｃも一定となる。２１はＡ／Ｄ変換器
であり、角度センサ６からアナログ信号として出力され
た前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に
変換するものである。２２は前記ディジタル信号へ変換
されたブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を求めるため
の減算手段、２３は前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を
加算するための加算手段（温度情報検出手段）である。
２４は弁開度が制御される流量制御弁１のバルブ位置を
前記減算手段２２の出力をもとに検出するための位置情
報検出手段である。２５は前記加算手段２３の出力をも
とに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度を検出し、
前記検出した温度に応じて前記位置情報検出手段２４が
検出した流量制御弁１のバルブ位置を補償する温度補正
手段（温度情報検出手段）である。２６は前記位置情報
検出手段２４が出力する流量制御弁１のバルブ位置と、
外部のコントローラから与えられる流量制御弁１のバル
ブ位置についての外部設定値とをもとに、前記流量制御
弁１のバルブ位置についての制御量を演算し制御信号と
して出力する制御手段である。なお、この実施の形態で
は２２〜２６の手段は全てＣＰＵ上で動作するプログラ
ムによって実現されている。２７は前記制御信号をもと
にノズル・フラッパー機構を制御し、圧搾空気から制御
空気を生成し、空気アクチュエータ３へ供給する電空変
換手段である。
【００２２】次に動作について説明する。角度センサ６
のブリッジ回路１３を構成する磁気抵抗素子の抵抗値
は、磁気抵抗素子１４，１７についてはＲ／２＋（ΔＲ
・ｃｏｓ２θ）／２、磁気抵抗素子１３，１５について
はＲ／２−（ΔＲ・ｃｏｓ２θ）／２により示される。
ここで、Ｒは磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値の
和、ΔＲは前記磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値
との差、θは磁気抵抗素子の長手方向と磁束とが交差す
る角度である。また、このブリッジ回路１３では、（磁
気抵抗素子１４の抵抗値）＋（磁気抵抗素子１６の抵抗
値）＝（磁気抵抗素子１５の抵抗値）＋（磁気抵抗素子
１７の抵抗値）となっており、ブリッジ回路１３の磁気
抵抗素子１４，１６により構成される回路と磁気抵抗素
子１５，１７により構成される回路にはそれぞれＩｃ／
２の電流が流れる。
のブリッジ回路１３を構成する磁気抵抗素子の抵抗値
は、磁気抵抗素子１４，１７についてはＲ／２＋（ΔＲ
・ｃｏｓ２θ）／２、磁気抵抗素子１３，１５について
はＲ／２−（ΔＲ・ｃｏｓ２θ）／２により示される。
ここで、Ｒは磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値の
和、ΔＲは前記磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値
との差、θは磁気抵抗素子の長手方向と磁束とが交差す
る角度である。また、このブリッジ回路１３では、（磁
気抵抗素子１４の抵抗値）＋（磁気抵抗素子１６の抵抗
値）＝（磁気抵抗素子１５の抵抗値）＋（磁気抵抗素子
１７の抵抗値）となっており、ブリッジ回路１３の磁気
抵抗素子１４，１６により構成される回路と磁気抵抗素
子１５，１７により構成される回路にはそれぞれＩｃ／
２の電流が流れる。
【００２３】この結果、角度センサ６からは、磁気抵抗
素子の温度に依存する成分と、磁界発生手段１２により
発生させた磁束と磁気抵抗素子とが交差する角度θに依
存する成分とを含む次式により示されるブリッジ中点電
位Ｖ１，Ｖ２、すなわち、Ｖ１＝（Ｒ・Ｉｃ／４）−
（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４、Ｖ２＝（Ｒ・Ｉｃ／
４）＋（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４で示されるブリ
ッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が出力される。ここで、Ｒ・Ｉ
ｃ／４が前記磁気抵抗素子の温度に依存する成分、（Δ
Ｒ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４が前記磁気抵抗素子の温度
と前記磁気抵抗素子の温度と前記角度θに依存する成分
である。
素子の温度に依存する成分と、磁界発生手段１２により
発生させた磁束と磁気抵抗素子とが交差する角度θに依
存する成分とを含む次式により示されるブリッジ中点電
位Ｖ１，Ｖ２、すなわち、Ｖ１＝（Ｒ・Ｉｃ／４）−
（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４、Ｖ２＝（Ｒ・Ｉｃ／
４）＋（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４で示されるブリ
ッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が出力される。ここで、Ｒ・Ｉ
ｃ／４が前記磁気抵抗素子の温度に依存する成分、（Δ
Ｒ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４が前記磁気抵抗素子の温度
と前記磁気抵抗素子の温度と前記角度θに依存する成分
である。
【００２４】このブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２はＡ／Ｄ
変換器２１によりディジタル信号に変換され、減算手段
２２により前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を演
算することで角度θに依存する成分を求め、この減算結
果Ｖ１−Ｖ２を位置情報検出手段２４へ入力する。位置
情報検出手段２４では、この減算結果Ｖ１−Ｖ２をもと
に流量制御弁１の現在のバルブ位置情報を求める。
変換器２１によりディジタル信号に変換され、減算手段
２２により前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を演
算することで角度θに依存する成分を求め、この減算結
果Ｖ１−Ｖ２を位置情報検出手段２４へ入力する。位置
情報検出手段２４では、この減算結果Ｖ１−Ｖ２をもと
に流量制御弁１の現在のバルブ位置情報を求める。
【００２５】一方、角度センサ６から出力され、ディジ
タル信号に変換された前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２
は加算手段２３へも供給され、加算手段２３では前記ブ
リッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の和を演算することで角度θ
に依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２を求める。この角度θ
に依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２はＲ・Ｉｃ／２とな
り、前記角度θに依存せず、温度依存性のある磁気抵抗
素子の平均抵抗値Ｒ／２の温度変化のみに依存する電圧
値であり、前記平均抵抗値Ｒ／２に従って変化し、これ
は一般的な金属抵抗に定電流を流したときと見かけ上同
じである。
タル信号に変換された前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２
は加算手段２３へも供給され、加算手段２３では前記ブ
リッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の和を演算することで角度θ
に依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２を求める。この角度θ
に依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２はＲ・Ｉｃ／２とな
り、前記角度θに依存せず、温度依存性のある磁気抵抗
素子の平均抵抗値Ｒ／２の温度変化のみに依存する電圧
値であり、前記平均抵抗値Ｒ／２に従って変化し、これ
は一般的な金属抵抗に定電流を流したときと見かけ上同
じである。
【００２６】この角度θに依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ
２は温度補正手段２５へ供給され、前記電圧値Ｒ・Ｉｃ
／２をもとに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度が
求められる。そして、この角度センサ６のブリッジ回路
１３の温度に対応する補正値が決定される。前記補正値
は、位置情報検出手段２４において流量制御弁１の現在
の弁開度を求める際の補正に使用され、角度センサ６の
ブリッジ回路１３の温度に応じて生じる前記弁開度につ
いての誤差を相殺する。
２は温度補正手段２５へ供給され、前記電圧値Ｒ・Ｉｃ
／２をもとに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度が
求められる。そして、この角度センサ６のブリッジ回路
１３の温度に対応する補正値が決定される。前記補正値
は、位置情報検出手段２４において流量制御弁１の現在
の弁開度を求める際の補正に使用され、角度センサ６の
ブリッジ回路１３の温度に応じて生じる前記弁開度につ
いての誤差を相殺する。
【００２７】位置情報検出手段２４からは、各磁気抵抗
素子の温度に応じて生じている誤差が相殺されたバルブ
位置情報ＰＶが制御手段２６へ出力される。制御手段２
６には、外部のコントローラから外部設定値が与えられ
ている。制御手段では、前記外部設定値と前記バルブ位
置情報ＰＶとの差をもとに制御信号を生成し、前記制御
信号を電空変換手段２７へ出力する。電空変換手段２７
では、前記制御信号をもとに電磁エアーバルブを制御
し、別途供給されている圧搾空気から制御空気を生成し
空気アクチュエータ３へ供給する。空気アクチュエータ
３では前記制御空気により弁駆動軸４を押し下げ、また
は引き上げ、流量制御弁１のバルブ位置を前記外部設定
値に対応する弁開度へ自動調整する。
素子の温度に応じて生じている誤差が相殺されたバルブ
位置情報ＰＶが制御手段２６へ出力される。制御手段２
６には、外部のコントローラから外部設定値が与えられ
ている。制御手段では、前記外部設定値と前記バルブ位
置情報ＰＶとの差をもとに制御信号を生成し、前記制御
信号を電空変換手段２７へ出力する。電空変換手段２７
では、前記制御信号をもとに電磁エアーバルブを制御
し、別途供給されている圧搾空気から制御空気を生成し
空気アクチュエータ３へ供給する。空気アクチュエータ
３では前記制御空気により弁駆動軸４を押し下げ、また
は引き上げ、流量制御弁１のバルブ位置を前記外部設定
値に対応する弁開度へ自動調整する。
【００２８】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、流量制御弁１の弁開度を検出するための角度センサ
６から出力されるブリッジ回路１３のブリッジ中点電位
Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検
出できるため、角度センサ６がポジショナー本体８と分
離した構成の流量制御弁１に適用した場合においても、
角度センサ６の温度情報を検出する温度センサを別途設
けることなく、角度センサ６の温度を直接的に検出で
き、ポジショナー本体８の構成としても簡略化が実現で
きる効果がある。また、前記温度情報を前記ポジショナ
ー本体８へ伝達するためのケーブルが不要にでき、配線
を含む構成が簡略化できる効果がある。
ば、流量制御弁１の弁開度を検出するための角度センサ
６から出力されるブリッジ回路１３のブリッジ中点電位
Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検
出できるため、角度センサ６がポジショナー本体８と分
離した構成の流量制御弁１に適用した場合においても、
角度センサ６の温度情報を検出する温度センサを別途設
けることなく、角度センサ６の温度を直接的に検出で
き、ポジショナー本体８の構成としても簡略化が実現で
きる効果がある。また、前記温度情報を前記ポジショナ
ー本体８へ伝達するためのケーブルが不要にでき、配線
を含む構成が簡略化できる効果がある。
【００２９】また、角度センサ６から出力されるブリッ
ジ回路１３のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を利用し、前
記ブリッジ回路１３の温度を直接検出できる構成である
ため、精度の高い温度補償が実現できる角度センサの温
度補償装置が得られ、また精度の高い流量制御を可能に
する位置検出装置が得られる効果がある。
ジ回路１３のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を利用し、前
記ブリッジ回路１３の温度を直接検出できる構成である
ため、精度の高い温度補償が実現できる角度センサの温
度補償装置が得られ、また精度の高い流量制御を可能に
する位置検出装置が得られる効果がある。
【００３０】また、流量制御弁１のバルブ位置を検出す
るための角度センサ６から出力されるブリッジ中点電位
Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検
出できるため、ポジショナー本体８に設けられたＡ／Ｄ
変換器２１は、前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディ
ジタル信号に変換するチャネルだけを有していればよ
く、従来のように角度センサ６から出力されるブリッジ
中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に変換するチャネ
ルと、温度センサから出力される温度情報をディジタル
信号に変換するチャネルとを必要とせず、コスト的にも
安価に構成できる角度センサの温度情報検出装置および
位置検出装置が得られる効果がある。
るための角度センサ６から出力されるブリッジ中点電位
Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検
出できるため、ポジショナー本体８に設けられたＡ／Ｄ
変換器２１は、前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディ
ジタル信号に変換するチャネルだけを有していればよ
く、従来のように角度センサ６から出力されるブリッジ
中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に変換するチャネ
ルと、温度センサから出力される温度情報をディジタル
信号に変換するチャネルとを必要とせず、コスト的にも
安価に構成できる角度センサの温度情報検出装置および
位置検出装置が得られる効果がある。
【００３１】また、流量制御弁１のバルブ位置を検出す
るための角度センサ６から出力されるブリッジ回路１３
のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の加算結果を利用し、前
記ブリッジ回路１３の温度を検出できるため、温度セン
サなどのハードウェアによらず演算プログラムなどのソ
フトウェアのみにより処理できることから、装置として
の柔軟性、汎用性が増加する効果がある。なお、上述の
実施の形態１においては、図１のごとくポジショナー本
体８が角度センサ６とは別のケースに収納されて、分離
配置された構成に対して本発明を適用した例を説明した
が、本発明の適用範囲はこれに留まるものではない。図
３のようにポジショナー本体５８と角度センサ５６とを
同一ケースに配置した構成に本発明を適用すれば、角度
センサ５６をより正確に計測できる。また、角度センサ
５６を温度センサとしても兼用し温度センサ５９を省略
することも可能である。
るための角度センサ６から出力されるブリッジ回路１３
のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の加算結果を利用し、前
記ブリッジ回路１３の温度を検出できるため、温度セン
サなどのハードウェアによらず演算プログラムなどのソ
フトウェアのみにより処理できることから、装置として
の柔軟性、汎用性が増加する効果がある。なお、上述の
実施の形態１においては、図１のごとくポジショナー本
体８が角度センサ６とは別のケースに収納されて、分離
配置された構成に対して本発明を適用した例を説明した
が、本発明の適用範囲はこれに留まるものではない。図
３のようにポジショナー本体５８と角度センサ５６とを
同一ケースに配置した構成に本発明を適用すれば、角度
センサ５６をより正確に計測できる。また、角度センサ
５６を温度センサとしても兼用し温度センサ５９を省略
することも可能である。
【００３２】
【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、温
度センサを別途設けることなく、角度センサの磁気抵抗
素子の温度情報を得ることができる効果がある。
度センサを別途設けることなく、角度センサの磁気抵抗
素子の温度情報を得ることができる効果がある。
【００３３】第２の発明によれば、温度センサを別途設
けることなく、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位
の加算結果から直接的に求めた温度情報をもとに前記角
度センサの出力について精度の高い温度補償を行える効
果がある。
けることなく、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位
の加算結果から直接的に求めた温度情報をもとに前記角
度センサの出力について精度の高い温度補償を行える効
果がある。
【図１】この発明の実施の形態１による角度センサの温
度情報検出装置および位置検出装置が適用される、ポジ
ショナー本体が角度センサと分離された構造の流量制御
弁を示す構成図である。
度情報検出装置および位置検出装置が適用される、ポジ
ショナー本体が角度センサと分離された構造の流量制御
弁を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１による角度センサの温
度情報検出装置および位置制御装置を含む流量制御弁１
の弁開度を制御するためのシステム構成図である。
度情報検出装置および位置制御装置を含む流量制御弁１
の弁開度を制御するためのシステム構成図である。
【図３】ポジショナー本体が角度センサと分離された構
造の流量制御弁を示す構成図である。
造の流量制御弁を示す構成図である。
【図４】角度センサを示す要部斜視図である。
【図５】磁気抵抗素子の平面図である。
６ 角度センサ
１２ 磁界発生手段
１３ ブリッジ回路
２０ 定電流供給手段
２３ 加算手段（温度情報検出手段）
２４ 位置情報検出手段
２５ 温度補正手段（温度情報検出手段）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 長坂 文雄
東京都渋谷区渋谷２丁目12番19号 株式会
社山武内
Ｆターム(参考） 2F075 AA03
2F077 AA13 CC02 JJ01 JJ10 JJ23
TT06 TT16 UU09
Claims (2)
- 【請求項１】 ４つの磁気抵抗素子を有するブリッジ回
路と、前記ブリッジ回路に作用する磁界を発生させる磁
界発生手段とを有する角度センサの温度情報検出装置に
おいて、 前記ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段
と、 前記ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を前記ブ
リッジ回路のブリッジ中点電位をもとに取得する温度情
報検出手段と、 を備えたことを特徴とする角度センサの温度情報検出装
置。 - 【請求項２】 ４つの磁気抵抗素子を有する構成された
ブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に作用する磁界を発
生させる磁界発生手段と、前記ブリッジ回路のブリッジ
中点電位をもとに前記ブリッジ回路と前記磁界との相対
的な位置についての情報を検出する位置情報検出手段と
を備えた位置検出装置において、 前記ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段
と、 前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリ
ッジ回路周囲の温度情報を取得する温度情報検出手段
と、 温度情報検出手段が取得した温度情報をもとに検出した
位置について補正する補正情報を生成する温度補正手段
とを備えたことを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339845A JP3877998B2 (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | 角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置 |
| US10/285,460 US6896407B2 (en) | 2001-11-05 | 2002-11-01 | Temperature information detecting device for angle sensor and position detecting device |
| DE10251193A DE10251193B4 (de) | 2001-11-05 | 2002-11-04 | Temperaturinformations-Detektoreinrichtung für einen Winkelstellungssensor und Positionsdetektoreinrichtung |
| CNB021502161A CN1209602C (zh) | 2001-11-05 | 2002-11-05 | 角度传感器的温度信息检测装置和阀门位置检测装置 |
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