JP2003139266A - バルブのハンドル操作補助具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 トグル型バルブの開閉操作用ハンドルの操作
ミスを防止することのできるバルブ操作補助具を提供す
ることにある。 【解決手段】 本発明は、開位置と閉位置との間で傾動
可能な開閉操作用ハンドル２８を有するバルブ１０に設
けられるハンドル操作補助具５０において、バルブのバ
ルブハウジング１６に対して固定されるエンクロージャ
５２と、このエンクージャに取り付けられ、ハンドルの
開位置と閉位置との間での傾動は可能とするが、開位置
から閉位置とは反対側の方向への傾動操作を制限するカ
バー６８とを備えることを特徴とする。この構成では、
カバー６８によってハンドルを開位置から閉位置とは反
対方向に傾動させることができないので、ハンドル操作
を誤ることはない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
におけるガスラインに設けられるバルブに関し、特に、
バルブにおける開閉操作用ハンドルの操作を補助するた
めのハンドル操作補助具である。

【０００２】

【従来の技術】エピタキシャル成長装置やＣＶＤ装置の
ような半導体製造装置では、多種多様なガスが処理チャ
ンバに供給される。このため、複数本のガス供給用のガ
スラインはガスパネルと称される制御ボックスを通され
て、集中管理されるようになっている。

【０００３】ガスパネル内の各ガスラインには、少なく
とも１つの手動式の開閉バルブが取り付けられている。
このバルブは元栓として用いられるものである。また、
一般に、ガス供給源からのガスラインはガスパネルの天
板部を貫通して下方に延びており、元栓としてのバルブ
は天板部付近の比較的高い位置に配置されている。この
ような高い位置でのバルブ開閉操作を容易とするため
に、従来においては、いわゆるトグル型バルブが用いら
れている。

【０００４】トグル型バルブは、開閉操作用のハンドル
をバルブハウジングに対して立てた開位置と横に倒した
閉位置とのそれぞれで、ばねの作用によって保持できる
ように構成した手動式の開閉バルブである（図１参
照）。このようなトグル型バルブがガスパネル内の高い
位置に配置されている場合、バルブを閉じるときには、
ハンドルの先端に下方への力を加えて開位置から死点を
越える位置まで傾動させる。これにより、ハンドルが死
点を越えると、ハンドルは自動的に閉位置まで傾動す
る。逆に、バルブを開く場合には、死点を越える位置ま
でハンドルを上方に傾動させればよい。このように、ト
グル型バルブは迅速に開閉操作を行うことができるとい
う利点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような一般的なトグル型バルブにおいては、開閉操作
用のハンドルの傾動方向を誤るおそれがある。すなわ
ち、バルブを開状態から閉状態にしようとした場合に、
誤ってハンドルを閉位置とは反対の方向に傾ける可能性
がある。かかる場合、ハンドルを破損してしまうおそれ
がある。トグル型バルブの場合、たとえハンドルが折れ
てバルブロッドから分離しても、必ず閉状態となるの
で、ガス漏れ等の心配はないが、バルブ自体の交換作業
が必要となる。

【０００６】そこで、本発明は、トグル型バルブの開閉
操作用ハンドルの操作ミスを防止することのできるバル
ブ操作補助具を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、第１位置と第２位置との間で傾動可能な
開閉操作用ハンドルを有するバルブに設けられるハンド
ル操作補助具であって、バルブのバルブハウジングに対
して固定されるベース部と、ベース部に設けられ、ハン
ドルの第１位置と第２位置との間での傾動は可能とする
が、第１位置から第２位置とは反対側の方向への傾動操
作を制限する制限部とを備えるものを特徴としている。

【０００８】この構成では、ハンドルを第１位置から第
２位置とは反対方向に傾動させることができないので、
ハンドル操作を誤ることはない。

【０００９】本発明のバルブ操作補助具の、より具体的
な構成としては、ベース部を、バルブハウジングを囲む
と共に、ハンドルの先端部が通る間隙部を有するエンク
ロージャとし、また、制限部を、エンクロージャの一端
に枢支されたカバーとしたものが好適である。

【００１０】この構成では、枢動可能なカバーがハンド
ルを覆う形となるため、ハンドルの操作方向の目印とな
る。

【００１１】また、エンクロージャに対してカバーをロ
ックするロック手段を更に設けた場合には、ハンドルの
第１位置から第２位置への傾動、或いは、第２位置から
第１位置への傾動を阻止することができ、好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施形態について詳細に説明する。

【００１３】図１〜図３は、本発明によるハンドル操作
補助具が取り付けられたバルブを示している。図示のバ
ルブ１０はトグル型と称される一般に知られたものであ
り、半導体製造装置におけるガスパネル（図示しない）
内に配された上下方向に延びるガスライン１２の上部に
取り付けられているものとする。

【００１４】トグル型バルブ１０は、図１に沿って簡単
に説明すると、ガスライン１２中に介設されるバルブ本
体部１４を有するバルブハウジング１６と、バルブハウ
ジング１６内に軸線方向に移動可能に配置されたバルブ
ロッド１８とを備えている。バルブロッド１６は、バル
ブハウジング１６内に設けられたばね２０によりバルブ
本体部１４の方向に付勢され、ダイヤフラム２２を弁座
２４に対して押圧してバルブ本体部１４内のガス流路２
６を遮断することができるようになっている。また、バ
ルブロッド１８の一端（図１において右側の端部）はバ
ルブハウジング１６の同側の端部を貫通して外部に突出
し、そこに開閉操作用のハンドル２８が傾動可能に接続
されている。このハンドル２８を、バルブロッド１８の
軸線とほぼ同じ方向となる開位置（第１位置）とした場
合（図１の状態）には、バルブロッド１８はばね２０の
ばね力に抗してバルブ本体部１４から離れ、その結果、
ダイアフラム２２は自身の復元力により弁座２４から分
離し、バルブ１０は開状態となる。また、ハンドル２８
を矢印Ａの方向に倒した場合には、一旦、ハンドル２８
の基端部の外形形状によってバルブロッド１８をばね２
０のばね力に抗して引っ張るが、死点を越えたところ
で、バルブロッド１８はばね２０の作用によってバルブ
本体部１４側に移動してガス流路２６を閉じ、ハンドル
２８は下向きの閉位置（第２位置）となる（図２の状
態）。なお、バルブハウジング１６とハンドル２８との
間には、ハンドル２８の摩耗を防止するための樹脂リン
グ３０が配置されている。

【００１５】このような構成のトグル型バルブ１０に対
するハンドル操作補助具５０は、図１〜図３に示すよう
な、バルブハウジング１６を囲む箱形のエンクロージャ
５２を備えている。このエンクロージャ５２は、側面部
分の一つと一方の端面部分（図１及び図２において右側
の端面部分）がなく、開放されている。また、他方の端
面部分５４には切欠き５６が形成されており、この切欠
き５６にバルブハウジング１６の外周面に形成されてい
るねじ部５８を挿入した後、ナット６０をねじ部５８に
螺合させてエンクロージャ５２の端面部分５４をバルブ
本体部１４との間で挟持することで、エンクロージャ５
２はバルブハウジング１６に対して固定されるようにな
っている。

【００１６】エンクロージャ５２を適正な固定位置とし
た状態では、側面部分６２は上向きとなり、互いに対向
する１対の側面部分６４，６６は、間にバルブハウジン
グ１６を置いた状態で、上下方向に延びる。この状態で
は、バルブ１０のハンドル２８は、互いに対向する側面
部分６４，６６の間の間隙を通り、閉位置と開位置との
間で傾動自在となる。

【００１７】また、ハンドル操作補助具５０は、エンク
ロージャ５２の側面部分６２の自由端縁に平板状のカバ
ー６８がヒンジ７０によって、矢印Ａ及びＢの方向に枢
動可能ないしは傾動可能に支持されている。このカバー
６８は、ハンドル２８を閉位置とした場合には、図２に
示す如く、エンクロージャ５２の開放された端面部分を
閉じる位置となる。また、ハンドル２８を矢印Ｂ方向に
閉位置から開位置に傾動させると、ハンドル２８の先端
部分によってカバー６８は押動される。そして、ハンド
ル２８が開位置となった図１に示す状態では、カバー６
８はエンクロージャ５２に設けられたストッパ７２によ
って、それ以上、矢印Ｂ方向には移動することができな
いようになっている。従って、ハンドル２８は、閉位置
と開位置との間では自由に傾動させることができるが、
開位置から閉位置とは反対の方向には傾動させることが
できない。

【００１８】この実施形態では、バルブ１０はガスパネ
ルの上部に配置されているので、実際に操作する場合に
は、作業者は、エンクロージャ５２の側面部分６４，６
６間の間隙から手を挿入してハンドル２８を操作するこ
とになるが、カバー６８の存在により、ハンドル２８を
どの方向に傾動させればよいか、視覚によって認識する
ことができ、誤ってハンドル２８を上方、すなわち、開
位置から矢印Ｂ方向に倒すことはない。また、カバー６
８自体が一定の範囲でしか枢動できず、ハンドル２８の
開位置から矢印Ｂ方向への動きを制限するものとなって
いるので、無理にハンドル２８を逆方向に動かすこと
も、実際にはあり得ないものとなっている。従って、ハ
ンドルを誤操作して損傷する等の事態は防止される。

【００１９】また、このエンクロージャ５２は、ハンド
ル２８が閉位置にあるとき、図３から理解される通り、
側面部分６４，６６によってハンドル２８の矢印Ｃ及び
Ｄの方向への動きを阻止することができる。トグル型の
バルブ１０においては、ハンドル２８はバルブロッド１
８と共にその軸線を中心にして自由に回転することがで
きるが、エンクロージャ５２の側面部分６４，６６によ
ってハンドル２８の回転動作が制限されるので、何らか
の原因により閉位置のハンドル２８が上向きとなる事態
が防止される。これも、ハンドル２８を誤操作して、無
理な力を加えることを防止するものである。

【００２０】なお、カバー６８の各側縁部に、エンクロ
ージャ５２の側面部分６４，６６に重なり合うような突
片７４を形成すると共に、重なり合った状態で両者間を
貫通する貫通孔７６，７８を形成することが好ましい。
このような突片７４を設けておけば、図３に示すよう
に、突片７４の貫通孔７６と側面部分６４，６６の貫通
孔７８とにインシロック（結束バンド）のような紐体
（ロック手段）８０を通して側面部分６４，６６間で横
架させれば、カバー６８がエンクロージャ５２に対して
閉じた状態でロックされることになる。その結果とし
て、バルブ１０のハンドル２８を開位置から閉位置に移
動させることができなくなる。また、図１に示すように
ハンドル２８を閉位置としている状態で、側面部分６
４，６６の貫通孔７８間に紐体８０を横架させておけ
ば、ハンドル２８を開位置に倒すことができなくなる。
このような紐体８０の使用方法は、半導体製造装置の作
業形態によって有効となる場合がある。なお、紐体８０
に代えてピンを用いてもよい。

【００２１】以上、本発明の好適な実施形態について詳
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことは云うまでもない。

【００２２】例えば、上記実施形態ではエンクロージャ
５２は箱形であるが、筒形等、種々の形状とすることが
できる。

【００２３】また、ハンドル２８の動きを制限するとい
う観点からは、カバー６８をエンクロージャに対して図
１の状態で固定ないしは一体形成し、枢動不可能として
もよい。これを単純化したものが図４に示す構成であ
る。このハンドル操作補助具１００は、一枚板を屈曲さ
せて作られたものであり、バルブ１０のバルブハウジン
グ１６に固定されるベース部１０２と、ハンドル２８の
動きを制限する制限部１０４とからなっている。

【００２４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のハンドル操
作補助具を用いることで、バルブの開閉操作を適切に行
うことができる。また、ハンドルの誤操作が防止される
ので、ハンドルやバルブ自体の損傷、破損が防止され、
そのためのバルブ交換作業も回避されることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】トグル型バルブに取り付けられた本発明による
ハンドル操作補助具を示す縦断面図であり、バルブも断
面で示すと共に、ハンドルが開位置にある状態を示す図
である。

【図２】図１と同様な図であるが、ハンドルが閉位置に
ある状態を示す図である。

【図３】図２のIII−III線に沿っての断面図である。

【図４】本発明によるハンドル操作補助具の別の実施形
態を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１０…バルブ、１２…ガスライン、１６…バルブハウジ
ング、２８…ハンドル、５０，１００…ハンドル操作補
助具、５２…エンクロージャ（ベース部）、６０…ナッ
ト、６２，６４，６６…側面部分、６８…カバー（制限
部）、７０…ヒンジ、７２…ストッパ、７４…突片、８
０…紐体（ロック手段）、１０２…ベース部、１０４…
制限部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢口 一広 千葉県成田市新泉14ー３野毛平工業団地内 アプライド マテリアルズ ジャパン株 式会社内 Ｆターム(参考） 3H051 AA01 BB10 CC06 FF01 FF15 3H063 AA01 AA07 BB01 BB15 DA05 EE11 EE12 GG03 GG11 3H064 AA01 BA01 BA15 CA01 DA03

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１位置と第２位置との間で傾動可能な
   開閉操作用ハンドルを有するバルブに設けられるハンド
   ル操作補助具であって、 前記バルブのバルブハウジングに対して固定されるベー
   ス部と、 前記ベース部に設けられ、前記ハンドルの前記第１位置
   と前記第２位置との間での傾動は可能とするが、前記第
   １位置から前記第２位置とは反対側の方向への傾動操作
   を制限する制限部とを備えるバルブのハンドル操作補助
   具。
2. 【請求項２】 前記ベース部は、前記バルブハウジング
   を囲むと共に、前記ハンドルの先端部が通る間隙を有す
   るエンクロージャであり、 前記制限部は、前記エンクロージャの一端に枢支された
   カバーである、請求項１に記載のバルブのハンドル操作
   補助具。
3. 【請求項３】 前記エンクロージャに対して前記カバー
   をロックするロック手段を更に備える請求項２に記載の
   バルブのハンドル操作補助具。