JP2003133118A - ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法 - Google Patents
２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 焼結工程を低温度で行う事ができ、焼結体の
磁気特性を大幅に向上させ、高い残留磁束密度Ｂｒ及び
高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ
型希土類永久磁石焼結体を製造する方法を提供するこ
と。 【解決手段】 ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
の製造方法に於いて、７００〜１１００℃の低温度にて
プラズマ加熱加圧焼結を実施する事で結晶粒成長を抑制
し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事で、２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性度を大
幅に向上させ、従来法にくらべ０．０５〜０．２Ｔ高い
残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７９０×１０３Ａ／ｍ高い
保磁力ｉＨｃを有する高特性焼結体を得る。
磁気特性を大幅に向上させ、高い残留磁束密度Ｂｒ及び
高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ
型希土類永久磁石焼結体を製造する方法を提供するこ
と。 【解決手段】 ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
の製造方法に於いて、７００〜１１００℃の低温度にて
プラズマ加熱加圧焼結を実施する事で結晶粒成長を抑制
し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事で、２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性度を大
幅に向上させ、従来法にくらべ０．０５〜０．２Ｔ高い
残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７９０×１０３Ａ／ｍ高い
保磁力ｉＨｃを有する高特性焼結体を得る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２−１７系Ｓｍ−
Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造方法に関し、詳しく
は、焼結法の改善によって磁気特性を大幅に向上させた
２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を得る２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体の磁気特性は、従来の２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石の高密度、高特性化を図るための焼結工程
は粉末粒径０．０１〜１００μの粉末を焼結する場合、
１１５０〜１２５０℃の高温度下にて抵抗加熱方式によ
る加熱により、その性質上液相の析出を伴う液相焼結を
行う必要があるが、この液相焼結過程に於いて析出する
液相の量を定量的に制御する事は非常に難しく、過度の
液相の析出を防ぐ事ができない事から、粉末の粒が著し
く成長する事で、最終的に得られる焼結体の結晶粒径が
０．１〜２０００μｍまで粗大化し、同時に結晶粒界の
析出物も多い事から、結晶粒界の幅も０．０１μｍ〜１
μｍと太く、且つ結晶粒界の直線性が悪い不安定な結晶
粒界を形成し、粉末冶金学上最適とは言えない粗大化結
晶粒・粒界組織を形成してしまい、その結果一定条件下
における磁気特性レベルに限界があり、容易には高特性
化が図れないといった欠点があった。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来技術は２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の焼結工程に於いて、１１
５０〜１２５０℃の高温度下における抵抗加熱による液
相焼結を行うが、液相焼結において液相析出量の定量的
な制御は不可能である事から、粉末粒の粒成長を抑制で
きず、結果として２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁
石焼結体の平均結晶粒径が使用した粉末の２０〜８０倍
程度まで粗大化し、最終的に得られる焼結体における結
晶粒径が０．１〜２０００μｍ程度まで粗大化し、且つ
結晶粒界についても析出物が多い事から０．０１μｍ〜
１μｍと太く、且つ直線性悪い結晶粒組織をとる事か
ら、一定条件下における磁気特性レベルに限界があり、
その結果、焼結工程以降の時効処理工程に於いてより長
い時間の時効処理を行う必要があり、容易には高特性化
が図れないといった欠点があった。 【０００４】したがって、本発明の技術的課題は、２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造工程の
中の焼結工程を低温度で焼結する事ができ、２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性を大幅に
向上させ、高い残留磁束密度Ｂｒ及び高い保磁力ｉＨｃ
を有する高特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体を製造する方法を提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、粉末粒
径０．０１〜１００μｍの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石粉末を焼結する工程を備えた２−１７系Ｓｍ
−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法に於いて、７００〜
１１００℃の低温度にてプラズマ加熱加圧焼結を行い結
晶粒成長を抑制し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る
事で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の
磁気特性を大幅に向上させた２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石焼結体を得る事を特徴とする２−１７系Ｓ
ｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法が得られる。 【０００６】ここで、本発明においては、従来法にくら
べ０．０５〜０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜
７９０×１０３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性
２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体が得られ
る。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明についてさらに詳しく説明
する。 【０００８】本発明は、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類
永久磁石焼結体の製造工程の中の焼結工程を１１５０〜
１２５０℃の高温度下における抵抗加熱方式から７００
〜１１００℃の低温度でのプラズマ焼結とする事で、結
晶粒径の粗大化を防ぎ、且つ高密度化を図り、より粉末
冶金的に最適な高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事
で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁
気特性を大幅に向上させ、従来法にくらべ０．０５〜
０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７９０×１０
３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２−１７系Ｓ
ｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を得るものである。 【０００９】図１は本発明の実施の形態による放電プラ
ズマ加熱加圧焼結装置の概略構成図である。 【００１０】図１を参照すると、放電プラズマ加熱加圧
焼結装置１０は、水冷真空チャンバー７内に配置された
上パンチ１及び下パンチ２と、この上下パンチ１，２の
対向面の周囲を覆う焼結ダイ３とを備えている。焼結ダ
イ３はカーボングラファイトからなり、焼結ダイ３内の
上下パンチの対向面によって形成される空間内には、加
圧焼結される粉体が配置されている。上パンチ１の下パ
ンチ２とは反対側には、水冷真空チャンバー７の天井面
を貫通して上パンチ電極５が設けられており、一方、下
パンチ２の上パンチ１とは反対側には、水冷真空チャン
バー７の底部を貫通して下パンチ電極６が設けられてい
る。上パンチ電極及び下パンチ電極は、制御装置１３に
よってその動作が制御される焼結加圧機構１１及び焼結
加熱電源１２に夫々接続されている。即ち、制御装置１
３は、成形圧、成形位置、及び焼結雰囲気の調整と、温
度制御とがなされる。 【００１１】本発明における２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石は、次のように製造されている。 【００１２】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁用原
料の組成が、Ｓｍの組成が２０〜４０重量％、Ｆｅの組
成が０〜２０重量％、Ｃｕの組成が０〜１５重量％、Ｚ
ｒの組成が０〜１０重量％、Ｃｏの組成が２０〜８５重
量％、Ｏ含有量が０〜３．０重量％、Ｃの含有量が０〜
５．０重量％、Ｎの含有量が０〜２．０重量％とする２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石原料をＮ２ガス中
あるいは有機溶媒中（アルコール、トルエン、ヘキサ
ン）にて粉末粒径０．１〜５０μ程度まで粉砕し、その
後、カーボングラファイト型を用い、パルス通電加圧焼
結機を用い、１．３３Ｐａ以下の真空中あるいは０．９
８〜４９×１０４ＰａのＡｒなどの不活性ガス雰囲気中
にてプラズマ加熱加圧焼結する事で２−１７系Ｓｍ−Ｃ
ｏ型希土類永久磁石焼結体とした。 【００１３】即ち、０．１℃〜５００℃／分にて加熱さ
れ、７００〜１１００℃×０．１〜１０００分でパルス
通電によるプラズマ加熱を行うと同時に成形圧０．９８
〜９８×１０６Ｐａにて加圧し、プラズマ加熱加圧焼結
を行う焼結工程で焼結体を作製した。 【００１４】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００１５】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８０×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不
活性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７
００〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後
０．１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１０
０回繰り返す時効処理を施し作製した。 【００１６】こうして焼結した焼結体の７００〜１１０
０℃におけるプラズマ焼結保持温度と焼結体密度につい
て測定すると１１００℃以下の低温度においても焼結密
度が向上が顕著で既に従来焼結法により焼結した焼結体
の焼結体密度を上回っている事が確認される。 【００１７】そのデータを示したのが図３から図６で、
横軸にプラズマ焼結保持温度、縦軸に各温度にて作製し
たプラズマ焼結体の焼結体密度の値を示している。 【００１８】尚、図３から６には同時に従来焼結法にお
ける焼結保持温度と焼結体密度のデータについても示し
ており、プラズマ焼結時のデータ同様に横軸に従来焼結
保持温度、縦軸に各温度にて作製した従来焼結体の焼結
体密度の値を示している。 【００１９】この時使用した従来法により作製した焼結
体は、上記同一組成、同一粉砕条件にて粉砕後、プレス
成形機にて、０．９８〜９８×１０７Ｐａにて加圧成形
後、抵抗加熱方式焼結炉にて１．３３Ｐａ以下の真空中
或いは、０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス雰囲気中
にて焼結し焼結体とした。 【００２０】即ち、０．１℃〜５０℃／分にて加熱さ
れ、１１５０℃〜１２２０℃×０．１〜１０００分の保
持の後０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス冷却により
急冷する焼結工程により作製した。 【００２１】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００２２】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８×１０４Ｐａ２のＮ２及びＡｒなどの不
活性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７
００〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後
０．１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１０
０回繰り返す時効処理を施し作製した。 【００２３】図３から図６はプラズマ焼結法により作製
した焼結体の磁気特性と従来法により作製した焼結体の
磁気特性を示す図である。図３から図６を参照すると、
プラズマ焼結を施す事で磁気特性であるＢｒ、ｂＨｃ、
最大エネルギー積、ｉＨｃが大幅に向上している事が確
認できる。 【００２４】上述のように、粉末粒径０．０１〜１００
μの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石粉末を焼結
する工程に於いて、７００〜１１００℃の低温度にてプ
ラズマ加熱加圧焼結を実施する事で結晶粒成長を抑制
し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事で、２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性を大幅
に向上させ、高磁気特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類
永久磁石焼結体を得る事を特徴とする、２−１７系Ｓｍ
−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の焼結方法を提供する事
ができる。 【００２５】それでは本発明の２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型
希土類永久磁石焼結体の製造方法の具体例について説明
する。 【００２６】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
は、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁用原料の組成
が、Ｓｍの組成が２０〜４０重量％、Ｆｅの組成が０〜
２０重量％、Ｃｕの組成が０〜１５重量％、Ｚｒの組成
が０〜１０重量％、Ｃｏの組成が２０〜８５重量％、Ｏ
含有量が０〜３．０重量％、Ｃの含有量が０〜５．０重
量％、Ｎの含有量が０〜２．０重量％とする２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石原料をＮ２ガス中あるいは
有機溶媒中（アルコール、トルエン、ヘキサン）にて粉
末粒径０．１〜５０μ程度まで粉砕し、その後、カーボ
ングラファイト型を用い、パルス通電加圧焼結機を用
い、１．３３Ｐａ以下の真空中あるいは０．９８〜４９
×１０４ＰａのＡｒなどの不活性ガス雰囲気中にてプラ
ズマ加熱加圧焼結する事で２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石焼結体とした。 【００２７】即ち、０．１℃〜５００℃／分にて加熱さ
れ、７００〜１１００℃×０．１〜１０００分でパルス
通電によるプラズマ加熱を行うと同時に成形圧０．９８
〜９８０×１０６Ｐａにて加圧し、プラズマ加熱加圧焼
結を行う焼結工程でプラズマ焼結焼結体を作製した。 【００２８】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００２９】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜４９×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不活
性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７０
０〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後０．
１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１００回
繰り返す時効処理を施し作製した。 【００３０】尚、比較に使用した従来法により作製した
焼結体は、上記同一組成、同一粉砕条件にて粉砕後、プ
レス成形機にて０．９８〜９８×１０７Ｐａにて加圧成
形後、抵抗加熱方式焼結炉にて１．３３Ｐａ以下の真空
中或いは、０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス雰囲気
中にて焼結し焼結体とした。 【００３１】即ち、０．１℃〜５０℃／分にて加熱さ
れ、１１５０℃〜１２２０℃×０．１〜１０００分の保
持の後０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス冷却により
急冷する焼結工程により作製した。 【００３２】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００３３】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不活
性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７０
０〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後０．
１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１００回
繰り返す時効処理を施し作製した。 【００３４】以上のプラズマ焼結工程により作製した２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結保
持温度とプラズマ焼結体焼結密度の関係を示す図が図２
である。 【００３５】図２に示すように、従来法における焼結体
の密度は、１２００℃程度まで加熱し高温下での液相焼
結を行うことによりのみ、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石として実用上使用可能な焼結体密度である
８．２×１０３ｋｇ／ｍ３以上が得られるのに対して、
プラズマ焼結におけるプラズマ焼結体密度においては従
来法に比べ５００℃程度も低い７００℃の低温でも８．
０×１０３ｋｇ／ｍ３と十分な焼結体密度の値を示して
いる。 【００３６】同時にプラズマ焼結体においては、その焼
結密度が従来法における焼結温度より１００℃も低い１
１００℃において既に従来法焼結体の焼結体密度を上回
る８．４５×１０３ｋｇ／ｍ３の焼結体密度が得られて
いる。 【００３７】次にプラズマ焼結工程により作製した２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結体の
磁気特性と従来焼結法により作製した従来焼結体の磁気
特性の関係を示す図が図３から図６である。 【００３８】図３に示すように残量磁束密度Ｂｒについ
てはプラズマ焼結保持温度に対し焼結体密度と同様の傾
向を示しており、焼結体密度は残留磁束密度Ｂｒの挙動
へ深く影響している事が確認できる。 【００３９】同時に、焼結体密度同様残留磁束密度Ｂｒ
においても従来法に於いては１２００℃以上の焼結時保
持温度でなければ実用上使用できるレベルの残留磁束密
度Ｂｒが得られないのに対して、プラズマ焼結体に於い
ては、従来焼結法に比べ５００℃も低い７００℃におい
ても既に、従来法に近いレベルの残留磁束密度Ｂｒが得
られており、さらには、従来法に比べ２００℃低いプラ
ズマ焼結保持温度＝１０００℃、１１００℃においては
従来法よりも０．０５〜０．１２Ｔも高い残留磁束密度
Ｂｒが得られており、従来法により作製した焼結体に比
べ、プラズマ焼結法により作製した焼結体の方が、高い
残留磁束密度Ｂｒを有している事から、プラズマ焼結法
を用いる事で、従来法より低い焼結保持温度にてより高
特性な２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を
製造可能な事が確認できる。 【００４０】次に図４に示すとおり保磁力ｉＨｃに於い
ても、図３の残留磁束密度Ｂｒの挙動同様にプラズマ焼
結保持温度＝１０００℃、１１００℃において従来法に
より作製した焼結体に比べ、３９５〜５５３×１０３Ａ
／ｍ高い保磁力ｉＨｃである保磁力ｉＨｃ＝１．５８〜
１．８２×１０６Ａ／ｍが得られており、保磁力ｉＨｃ
においても従来法により作製した焼結体に比べ、プラズ
マ焼結法を用いる事で、従来法よりも低い焼結保持温度
にてより高特性な２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁
石焼結体の製造が可能な事が確認できる。 【００４１】同様に図５に最大エネルギー積（ＢＨ）ｍ
ａｘ、図６に保磁力ｂＨｃについても示しているが、最
大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、保磁力ｂＨｃの場合に
おいても残留磁束密度Ｂｒ及び保磁力ｉＨｃの場合と同
様に、プラズマ焼結体に於いては従来法に比べより低い
焼結保持温度であるプラズマ焼結保持温度＝１０００、
１１００℃において従来法よりも、それぞれ７．９〜１
１．８ｋＪ／ｍ３高い最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ
＝５９〜６３ｋＪ／ｍ３及び７９〜１１２×１０３Ａ／
ｍ高い保磁力ｂＨｃ＝４７４〜５０６×１０３Ａ／ｍが
得られており、最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ及び保
磁力ｂＨｃの特性においても従来の焼結法に替わり２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の焼結方法と
してプラズマ加圧加熱焼結法を用いる事で、従来焼結法
よりも低い焼結時保持温度において、より高い磁気特性
を得る事ができる事が確認される。 【００４２】次にプラズマ焼結工程により作製した２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結体と
従来法にて作製した従来焼結体の金属組織結晶写真を示
す図が図７である。 【００４３】図７に示すように、プラズマ焼結法により
製造したプラズマ焼結体の金属組織結晶粒は、従来法に
て作製した焼結体の金属組織結晶粒に比べ、明らかに金
属組織結晶粒の大きさが微細で、従来法にて製造した焼
結体における平均結晶粒径が７０μｍ程度であるのに対
して、プラズマ加熱加圧焼結法を用いて製造したプラズ
マ焼結体における平均結晶粒径は２０μｍ程度まで微細
化が図られており、プラズマ加熱加圧焼結法を２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造工程である
焼結工程における焼結方法に用いる事で、従来の液相焼
結法により作製した焼結体に比べ、６０〜８０％までの
金属組織結晶粒の微細化を図る事が可能であることが確
認できる。 【００４４】 【発明の効果】以上述べた通り、本発明においては、粉
末粒径０．０１〜１００μｍの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型
希土類永久磁石粉末を焼結する工程に於いて、７００〜
１１００℃の低温度にてプラズマ加熱加圧焼結を実施す
る事で結晶粒成長を抑制し、高密度微細結晶粒・粒界組
織を得る事で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体の磁気特性を大幅に向上させ、従来法にくらべ
０．０５〜０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７
９０×１０３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の提供が可
能となった。
Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造方法に関し、詳しく
は、焼結法の改善によって磁気特性を大幅に向上させた
２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を得る２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体の磁気特性は、従来の２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石の高密度、高特性化を図るための焼結工程
は粉末粒径０．０１〜１００μの粉末を焼結する場合、
１１５０〜１２５０℃の高温度下にて抵抗加熱方式によ
る加熱により、その性質上液相の析出を伴う液相焼結を
行う必要があるが、この液相焼結過程に於いて析出する
液相の量を定量的に制御する事は非常に難しく、過度の
液相の析出を防ぐ事ができない事から、粉末の粒が著し
く成長する事で、最終的に得られる焼結体の結晶粒径が
０．１〜２０００μｍまで粗大化し、同時に結晶粒界の
析出物も多い事から、結晶粒界の幅も０．０１μｍ〜１
μｍと太く、且つ結晶粒界の直線性が悪い不安定な結晶
粒界を形成し、粉末冶金学上最適とは言えない粗大化結
晶粒・粒界組織を形成してしまい、その結果一定条件下
における磁気特性レベルに限界があり、容易には高特性
化が図れないといった欠点があった。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来技術は２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の焼結工程に於いて、１１
５０〜１２５０℃の高温度下における抵抗加熱による液
相焼結を行うが、液相焼結において液相析出量の定量的
な制御は不可能である事から、粉末粒の粒成長を抑制で
きず、結果として２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁
石焼結体の平均結晶粒径が使用した粉末の２０〜８０倍
程度まで粗大化し、最終的に得られる焼結体における結
晶粒径が０．１〜２０００μｍ程度まで粗大化し、且つ
結晶粒界についても析出物が多い事から０．０１μｍ〜
１μｍと太く、且つ直線性悪い結晶粒組織をとる事か
ら、一定条件下における磁気特性レベルに限界があり、
その結果、焼結工程以降の時効処理工程に於いてより長
い時間の時効処理を行う必要があり、容易には高特性化
が図れないといった欠点があった。 【０００４】したがって、本発明の技術的課題は、２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造工程の
中の焼結工程を低温度で焼結する事ができ、２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性を大幅に
向上させ、高い残留磁束密度Ｂｒ及び高い保磁力ｉＨｃ
を有する高特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体を製造する方法を提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、粉末粒
径０．０１〜１００μｍの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石粉末を焼結する工程を備えた２−１７系Ｓｍ
−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法に於いて、７００〜
１１００℃の低温度にてプラズマ加熱加圧焼結を行い結
晶粒成長を抑制し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る
事で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の
磁気特性を大幅に向上させた２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石焼結体を得る事を特徴とする２−１７系Ｓ
ｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法が得られる。 【０００６】ここで、本発明においては、従来法にくら
べ０．０５〜０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜
７９０×１０３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性
２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体が得られ
る。 【０００７】 【発明の実施の形態】本発明についてさらに詳しく説明
する。 【０００８】本発明は、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類
永久磁石焼結体の製造工程の中の焼結工程を１１５０〜
１２５０℃の高温度下における抵抗加熱方式から７００
〜１１００℃の低温度でのプラズマ焼結とする事で、結
晶粒径の粗大化を防ぎ、且つ高密度化を図り、より粉末
冶金的に最適な高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事
で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁
気特性を大幅に向上させ、従来法にくらべ０．０５〜
０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７９０×１０
３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２−１７系Ｓ
ｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を得るものである。 【０００９】図１は本発明の実施の形態による放電プラ
ズマ加熱加圧焼結装置の概略構成図である。 【００１０】図１を参照すると、放電プラズマ加熱加圧
焼結装置１０は、水冷真空チャンバー７内に配置された
上パンチ１及び下パンチ２と、この上下パンチ１，２の
対向面の周囲を覆う焼結ダイ３とを備えている。焼結ダ
イ３はカーボングラファイトからなり、焼結ダイ３内の
上下パンチの対向面によって形成される空間内には、加
圧焼結される粉体が配置されている。上パンチ１の下パ
ンチ２とは反対側には、水冷真空チャンバー７の天井面
を貫通して上パンチ電極５が設けられており、一方、下
パンチ２の上パンチ１とは反対側には、水冷真空チャン
バー７の底部を貫通して下パンチ電極６が設けられてい
る。上パンチ電極及び下パンチ電極は、制御装置１３に
よってその動作が制御される焼結加圧機構１１及び焼結
加熱電源１２に夫々接続されている。即ち、制御装置１
３は、成形圧、成形位置、及び焼結雰囲気の調整と、温
度制御とがなされる。 【００１１】本発明における２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希
土類永久磁石は、次のように製造されている。 【００１２】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁用原
料の組成が、Ｓｍの組成が２０〜４０重量％、Ｆｅの組
成が０〜２０重量％、Ｃｕの組成が０〜１５重量％、Ｚ
ｒの組成が０〜１０重量％、Ｃｏの組成が２０〜８５重
量％、Ｏ含有量が０〜３．０重量％、Ｃの含有量が０〜
５．０重量％、Ｎの含有量が０〜２．０重量％とする２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石原料をＮ２ガス中
あるいは有機溶媒中（アルコール、トルエン、ヘキサ
ン）にて粉末粒径０．１〜５０μ程度まで粉砕し、その
後、カーボングラファイト型を用い、パルス通電加圧焼
結機を用い、１．３３Ｐａ以下の真空中あるいは０．９
８〜４９×１０４ＰａのＡｒなどの不活性ガス雰囲気中
にてプラズマ加熱加圧焼結する事で２−１７系Ｓｍ−Ｃ
ｏ型希土類永久磁石焼結体とした。 【００１３】即ち、０．１℃〜５００℃／分にて加熱さ
れ、７００〜１１００℃×０．１〜１０００分でパルス
通電によるプラズマ加熱を行うと同時に成形圧０．９８
〜９８×１０６Ｐａにて加圧し、プラズマ加熱加圧焼結
を行う焼結工程で焼結体を作製した。 【００１４】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００１５】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８０×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不
活性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７
００〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後
０．１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１０
０回繰り返す時効処理を施し作製した。 【００１６】こうして焼結した焼結体の７００〜１１０
０℃におけるプラズマ焼結保持温度と焼結体密度につい
て測定すると１１００℃以下の低温度においても焼結密
度が向上が顕著で既に従来焼結法により焼結した焼結体
の焼結体密度を上回っている事が確認される。 【００１７】そのデータを示したのが図３から図６で、
横軸にプラズマ焼結保持温度、縦軸に各温度にて作製し
たプラズマ焼結体の焼結体密度の値を示している。 【００１８】尚、図３から６には同時に従来焼結法にお
ける焼結保持温度と焼結体密度のデータについても示し
ており、プラズマ焼結時のデータ同様に横軸に従来焼結
保持温度、縦軸に各温度にて作製した従来焼結体の焼結
体密度の値を示している。 【００１９】この時使用した従来法により作製した焼結
体は、上記同一組成、同一粉砕条件にて粉砕後、プレス
成形機にて、０．９８〜９８×１０７Ｐａにて加圧成形
後、抵抗加熱方式焼結炉にて１．３３Ｐａ以下の真空中
或いは、０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス雰囲気中
にて焼結し焼結体とした。 【００２０】即ち、０．１℃〜５０℃／分にて加熱さ
れ、１１５０℃〜１２２０℃×０．１〜１０００分の保
持の後０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス冷却により
急冷する焼結工程により作製した。 【００２１】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００２２】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８×１０４Ｐａ２のＮ２及びＡｒなどの不
活性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７
００〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後
０．１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１０
０回繰り返す時効処理を施し作製した。 【００２３】図３から図６はプラズマ焼結法により作製
した焼結体の磁気特性と従来法により作製した焼結体の
磁気特性を示す図である。図３から図６を参照すると、
プラズマ焼結を施す事で磁気特性であるＢｒ、ｂＨｃ、
最大エネルギー積、ｉＨｃが大幅に向上している事が確
認できる。 【００２４】上述のように、粉末粒径０．０１〜１００
μの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石粉末を焼結
する工程に於いて、７００〜１１００℃の低温度にてプ
ラズマ加熱加圧焼結を実施する事で結晶粒成長を抑制
し、高密度微細結晶粒・粒界組織を得る事で、２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の磁気特性を大幅
に向上させ、高磁気特性２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類
永久磁石焼結体を得る事を特徴とする、２−１７系Ｓｍ
−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の焼結方法を提供する事
ができる。 【００２５】それでは本発明の２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型
希土類永久磁石焼結体の製造方法の具体例について説明
する。 【００２６】２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
は、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁用原料の組成
が、Ｓｍの組成が２０〜４０重量％、Ｆｅの組成が０〜
２０重量％、Ｃｕの組成が０〜１５重量％、Ｚｒの組成
が０〜１０重量％、Ｃｏの組成が２０〜８５重量％、Ｏ
含有量が０〜３．０重量％、Ｃの含有量が０〜５．０重
量％、Ｎの含有量が０〜２．０重量％とする２−１７系
Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石原料をＮ２ガス中あるいは
有機溶媒中（アルコール、トルエン、ヘキサン）にて粉
末粒径０．１〜５０μ程度まで粉砕し、その後、カーボ
ングラファイト型を用い、パルス通電加圧焼結機を用
い、１．３３Ｐａ以下の真空中あるいは０．９８〜４９
×１０４ＰａのＡｒなどの不活性ガス雰囲気中にてプラ
ズマ加熱加圧焼結する事で２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石焼結体とした。 【００２７】即ち、０．１℃〜５００℃／分にて加熱さ
れ、７００〜１１００℃×０．１〜１０００分でパルス
通電によるプラズマ加熱を行うと同時に成形圧０．９８
〜９８０×１０６Ｐａにて加圧し、プラズマ加熱加圧焼
結を行う焼結工程でプラズマ焼結焼結体を作製した。 【００２８】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００２９】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜４９×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不活
性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７０
０〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後０．
１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１００回
繰り返す時効処理を施し作製した。 【００３０】尚、比較に使用した従来法により作製した
焼結体は、上記同一組成、同一粉砕条件にて粉砕後、プ
レス成形機にて０．９８〜９８×１０７Ｐａにて加圧成
形後、抵抗加熱方式焼結炉にて１．３３Ｐａ以下の真空
中或いは、０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス雰囲気
中にて焼結し焼結体とした。 【００３１】即ち、０．１℃〜５０℃／分にて加熱さ
れ、１１５０℃〜１２２０℃×０．１〜１０００分の保
持の後０〜９８×１０４Ｐａのアルゴンガス冷却により
急冷する焼結工程により作製した。 【００３２】その後、２相分離処理を行い磁気特性を発
現させるための低温保持後徐冷冷却を行う時効処理を施
した。 【００３３】即ち、１３．３Ｐａ以下の真空中或いは
０．９８〜９８×１０４ＰａのＮ２及びＡｒなどの不活
性ガス中にて０．１〜１０００℃／分にて加熱され７０
０〜９００℃×０．１〜６００００分の加熱保持後０．
１〜５００℃／分にて冷却を行う工程を、１〜１００回
繰り返す時効処理を施し作製した。 【００３４】以上のプラズマ焼結工程により作製した２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結保
持温度とプラズマ焼結体焼結密度の関係を示す図が図２
である。 【００３５】図２に示すように、従来法における焼結体
の密度は、１２００℃程度まで加熱し高温下での液相焼
結を行うことによりのみ、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土
類永久磁石として実用上使用可能な焼結体密度である
８．２×１０３ｋｇ／ｍ３以上が得られるのに対して、
プラズマ焼結におけるプラズマ焼結体密度においては従
来法に比べ５００℃程度も低い７００℃の低温でも８．
０×１０３ｋｇ／ｍ３と十分な焼結体密度の値を示して
いる。 【００３６】同時にプラズマ焼結体においては、その焼
結密度が従来法における焼結温度より１００℃も低い１
１００℃において既に従来法焼結体の焼結体密度を上回
る８．４５×１０３ｋｇ／ｍ３の焼結体密度が得られて
いる。 【００３７】次にプラズマ焼結工程により作製した２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結体の
磁気特性と従来焼結法により作製した従来焼結体の磁気
特性の関係を示す図が図３から図６である。 【００３８】図３に示すように残量磁束密度Ｂｒについ
てはプラズマ焼結保持温度に対し焼結体密度と同様の傾
向を示しており、焼結体密度は残留磁束密度Ｂｒの挙動
へ深く影響している事が確認できる。 【００３９】同時に、焼結体密度同様残留磁束密度Ｂｒ
においても従来法に於いては１２００℃以上の焼結時保
持温度でなければ実用上使用できるレベルの残留磁束密
度Ｂｒが得られないのに対して、プラズマ焼結体に於い
ては、従来焼結法に比べ５００℃も低い７００℃におい
ても既に、従来法に近いレベルの残留磁束密度Ｂｒが得
られており、さらには、従来法に比べ２００℃低いプラ
ズマ焼結保持温度＝１０００℃、１１００℃においては
従来法よりも０．０５〜０．１２Ｔも高い残留磁束密度
Ｂｒが得られており、従来法により作製した焼結体に比
べ、プラズマ焼結法により作製した焼結体の方が、高い
残留磁束密度Ｂｒを有している事から、プラズマ焼結法
を用いる事で、従来法より低い焼結保持温度にてより高
特性な２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を
製造可能な事が確認できる。 【００４０】次に図４に示すとおり保磁力ｉＨｃに於い
ても、図３の残留磁束密度Ｂｒの挙動同様にプラズマ焼
結保持温度＝１０００℃、１１００℃において従来法に
より作製した焼結体に比べ、３９５〜５５３×１０３Ａ
／ｍ高い保磁力ｉＨｃである保磁力ｉＨｃ＝１．５８〜
１．８２×１０６Ａ／ｍが得られており、保磁力ｉＨｃ
においても従来法により作製した焼結体に比べ、プラズ
マ焼結法を用いる事で、従来法よりも低い焼結保持温度
にてより高特性な２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁
石焼結体の製造が可能な事が確認できる。 【００４１】同様に図５に最大エネルギー積（ＢＨ）ｍ
ａｘ、図６に保磁力ｂＨｃについても示しているが、最
大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、保磁力ｂＨｃの場合に
おいても残留磁束密度Ｂｒ及び保磁力ｉＨｃの場合と同
様に、プラズマ焼結体に於いては従来法に比べより低い
焼結保持温度であるプラズマ焼結保持温度＝１０００、
１１００℃において従来法よりも、それぞれ７．９〜１
１．８ｋＪ／ｍ３高い最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ
＝５９〜６３ｋＪ／ｍ３及び７９〜１１２×１０３Ａ／
ｍ高い保磁力ｂＨｃ＝４７４〜５０６×１０３Ａ／ｍが
得られており、最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ及び保
磁力ｂＨｃの特性においても従来の焼結法に替わり２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の焼結方法と
してプラズマ加圧加熱焼結法を用いる事で、従来焼結法
よりも低い焼結時保持温度において、より高い磁気特性
を得る事ができる事が確認される。 【００４２】次にプラズマ焼結工程により作製した２−
１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石のプラズマ焼結体と
従来法にて作製した従来焼結体の金属組織結晶写真を示
す図が図７である。 【００４３】図７に示すように、プラズマ焼結法により
製造したプラズマ焼結体の金属組織結晶粒は、従来法に
て作製した焼結体の金属組織結晶粒に比べ、明らかに金
属組織結晶粒の大きさが微細で、従来法にて製造した焼
結体における平均結晶粒径が７０μｍ程度であるのに対
して、プラズマ加熱加圧焼結法を用いて製造したプラズ
マ焼結体における平均結晶粒径は２０μｍ程度まで微細
化が図られており、プラズマ加熱加圧焼結法を２−１７
系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の製造工程である
焼結工程における焼結方法に用いる事で、従来の液相焼
結法により作製した焼結体に比べ、６０〜８０％までの
金属組織結晶粒の微細化を図る事が可能であることが確
認できる。 【００４４】 【発明の効果】以上述べた通り、本発明においては、粉
末粒径０．０１〜１００μｍの２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型
希土類永久磁石粉末を焼結する工程に於いて、７００〜
１１００℃の低温度にてプラズマ加熱加圧焼結を実施す
る事で結晶粒成長を抑制し、高密度微細結晶粒・粒界組
織を得る事で、２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石
焼結体の磁気特性を大幅に向上させ、従来法にくらべ
０．０５〜０．２Ｔ高い残留磁束密度Ｂｒ及び７９〜７
９０×１０３Ａ／ｍ高い保磁力ｉＨｃを有する高特性２
−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体の提供が可
能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による放電プラズマ加熱加
圧焼結装置の概略構成図である。 【図２】プラズマ焼結保持温度に対するプラズマ焼結体
の焼結体密度の関係を示す図である。 【図３】プラズマ焼結保持温度に対する残留磁束密度Ｂ
ｒの関係を示す図である。 【図４】プラズマ焼結保持温度に対する保磁力ｉＨｃの
関係を示す図である。 【図５】プラズマ焼結保持温度に対する最大エネルギー
積（ＢＨ）ｍａｘの関係を示す図である。 【図６】プラズマ焼結保持温度に対する保磁力ｂＨｃの
関係を示す図である。 【図７】プラズマ焼結体及び従来焼結体の金属組織結晶
粒像の関係を示す金属組織結晶の写真で、（ａ）は本発
明のプラズマ焼結体、（ｂ）は従来技術による焼結体を
夫々示している。 【符号の説明】 １ 上パンチ ２ 下パンチ ３ 焼結ダイ ５ 上パンチ電極 ６ 下パンチ電極 ７ 水冷真空チャンバー １０ 放電プラズマ加熱加圧焼結装置 １１ 焼結加圧機構 １２ 焼結加熱電源 １３ 制御装置
圧焼結装置の概略構成図である。 【図２】プラズマ焼結保持温度に対するプラズマ焼結体
の焼結体密度の関係を示す図である。 【図３】プラズマ焼結保持温度に対する残留磁束密度Ｂ
ｒの関係を示す図である。 【図４】プラズマ焼結保持温度に対する保磁力ｉＨｃの
関係を示す図である。 【図５】プラズマ焼結保持温度に対する最大エネルギー
積（ＢＨ）ｍａｘの関係を示す図である。 【図６】プラズマ焼結保持温度に対する保磁力ｂＨｃの
関係を示す図である。 【図７】プラズマ焼結体及び従来焼結体の金属組織結晶
粒像の関係を示す金属組織結晶の写真で、（ａ）は本発
明のプラズマ焼結体、（ｂ）は従来技術による焼結体を
夫々示している。 【符号の説明】 １ 上パンチ ２ 下パンチ ３ 焼結ダイ ５ 上パンチ電極 ６ 下パンチ電極 ７ 水冷真空チャンバー １０ 放電プラズマ加熱加圧焼結装置 １１ 焼結加圧機構 １２ 焼結加熱電源 １３ 制御装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｆ 1/08 Ｈ０１Ｆ 1/04 Ｂ
(72)発明者 生田 信之
宮城県名取市小山３丁目６−８
Ｆターム(参考） 4K018 AA11 BA05 BB04 DA21 DA23
KA45
5E040 AA08 CA01 HB03 NN06 NN18
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 粉末粒径０．０１〜１００μｍの２−１
７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石粉末を焼結する工程を
備えた２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方
法に於いて、７００〜１１００℃の低温度にてプラズマ
加熱加圧焼結を行い結晶粒成長を抑制し、高密度微細結
晶粒・粒界組織を得る事で、磁気特性度を大幅に向上さ
せた２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石焼結体を得
る事を特徴とする２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁
石の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001325368A JP2003133118A (ja) | 2001-10-23 | 2001-10-23 | ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001325368A JP2003133118A (ja) | 2001-10-23 | 2001-10-23 | ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003133118A true JP2003133118A (ja) | 2003-05-09 |
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ID=19141947
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001325368A Pending JP2003133118A (ja) | 2001-10-23 | 2001-10-23 | ２−１７系Ｓｍ−Ｃｏ型希土類永久磁石の製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003133118A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8382290B2 (en) | 2009-08-03 | 2013-02-26 | Seiko Epson Corporation | Projector and method of controlling the same |
| US9502165B2 (en) | 2013-09-13 | 2016-11-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Permanent magnet, motor, and generator |
-
2001
- 2001-10-23 JP JP2001325368A patent/JP2003133118A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8382290B2 (en) | 2009-08-03 | 2013-02-26 | Seiko Epson Corporation | Projector and method of controlling the same |
| US9502165B2 (en) | 2013-09-13 | 2016-11-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Permanent magnet, motor, and generator |
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