JP2003131087A - 光モジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の面発光素子と複数の光ファイバを有す
る表面実装型の光モジュールにおいて、簡単な構成で小
型化が可能で面発光素子と光ファイバとが好適に光結合
できる優れた光モジュールを提供すること。 【解決手段】 基板１上に、下面に複数の光ファイバ５
と、脚部７を４つ備えたファイバ保持基板２を配設する
とともに、ファイバ保持基板２に設置した各光ファイバ
５の光入射端５ａに対向させた反射鏡を、複数の発光点
を有するアレイ状の面発光素子４上部に配置し、モニタ
用受光素子６は基板上に、ファイバ保持基板２上に形成
した光素子搭載溝ないに設置された光分岐器にて光結合
させて成る光モジュールとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、面発光素子と、こ
の面発光素子より出射される光を複数の光ファイバに入
射させることにより、光信号を外部に取り出すことが可
能な表面実装型の光モジュールに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、表面実装型の光モジュールは、
基板上に光ファイバ設置用溝、端面発光型の発光素子、
及びモニタ用受光素子を駆動させるための電気配線を形
成し、基板上の所定の位置に、光ファイバ、発光素子、
及びモニタ用受光素子を配設して成るものであった。そ
して、このような構成において、発光素子から光ファイ
バを介して光信号を外部に取り出すようにしていた。

【０００３】今後、情報量の増加に伴い、発光素子単体
の高速駆動も考えられるが、発光素子を複数並列に並べ
るアレイ化も求められる。前述の構造において、発光素
子のアレイ化を進めた場合、基板上に複数の発光素子が
並び、前記発光素子の前方には複数の溝に光ファイバが
設置され、後方には複数のモニタ用受光素子が並ぶこと
となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複数の
端面発光型の発光素子を並列に整列する場合、発光素子
の後方にはモニタ用受光素子を設置することになるの
で、基板上に駆動用の電気配線を発光素子に対して側方
に形成する必要があり、また電気的クロストークの問題
を避けるために、各電気配線間の距離を離す必要が有る
ので、光軸方向に対して横方向に大きくなり小型化が困
難であった。

【０００５】このため、発光素子をアレイ化する場合に
おいて、素子の端部で発光するのではなく素子の主面か
らの発光が可能な面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ：Ｖｅｒ
ｔｉｃａｌ Ｃａｖｉｔｙ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｅｍｉｔ
ｔｉｎｇ Ｌａｓｅｒ）等の面発光素子を用いることが
提案されている。

【０００６】しかし、同一基板上に複数の発光点を有す
る面発光素子、複数の光ファイバを設置すると、面発光
素子の側方及び後方にしか駆動用の電気配線が形成でき
ない。

【０００７】以上のように、従来の発光素子と光ファイ
バを表面実装にて光結合させた光モジュールでは、情報
量の増加に伴いアレイ化した場合、実装基板上に光ファ
イバを配設する溝を形成するため、電気配線は全て発光
素子の出射端より後部となる。これにより、十分なスペ
ースが確保できず設計が困難であった。さらに、十分な
スペースを確保すると素子間の距離が広がりすぎて小型
化が困難であった。

【０００８】また、面発光素子の出射光出力をモニタす
る際に、モニタ用受光素子を発光素子と対向するように
設置する必要があり、複雑な実装構造となる。

【０００９】そこで本発明は、このような課題に鑑みて
なされたものであり、複数の発光点を有する面発光素子
と複数の光ファイバを有する表面実装型の光モジュール
において、簡単な構成で小型化が可能で、しかも面発光
素子と光ファイバとが好適に光結合できる、優れた光モ
ジュールを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光モジュールは、基板上に、下面に複数の
光ファイバから成る光ファイバ群及び脚部を備えたファ
イバ保持基板と、前記光ファイバ群に光結合させる面発
光素子と、該面発光素子の出射光を監視するモニタ用受
光素子とを配設し、前記ファイバ保持基板に形成した反
射面により前記面発光素子からの出射光を前記光ファイ
バ群の一端部に光結合させるように成した光モジュール
であって、前記光ファイバ群は、前記面発光素子からの
出射光を入射させる第１光ファイバ群と、外部に光を出
射させる第２光ファイバ群とが、光分波器を介して光接
続されるように構成されているとともに、前記第１光フ
ァイバ群を構成する各光ファイバは、前記面発光素子か
らの出射光が入射される第１シングルモード光ファイ
バ、第１グレーテッドインデックスマルチモード光ファ
イバ、及び第１コアレス光ファイバが順次接続されて成
り、かつ前記第２光ファイバ群を構成する各光ファイバ
は、前記光分波器に光接続される第２コアレス光ファイ
バ、第２グレーテッドインデックスマルチモード光ファ
イバ、及び第２シングルモード光ファイバが順次接続さ
れて成ることを特徴とする。

【００１１】また、前記光分波器は前記ファイバ保持基
板の下面に接着させたことを特徴とする。

【００１２】また、前記ファイバ保持基板は単結晶シリ
コンから成るとともに、該基板の主面は（１００）面を
［１１０］方向に４．７°〜１４．７°の範囲（最適に
は９．７°）で傾斜させた面、またはその面と等価な面
であることを特徴とする。

【００１３】また、前記面発光素子及び前記モニタ用受
光素子は、前記基板上に形成された電気配線上に配設さ
れているとともに、前記ファイバ保持基板の脚部と前記
基板との間に前記電気配線と同一材料の設置用パッドが
形成されていることを特徴とする。

【００１４】また、前記面発光素子の出射光が入射され
る第１シングルモード光ファイバの先端部が球面状に形
成されていることを特徴とする。

【００１５】また特に、前記ファイバ保持基板の反射面
に金属膜が被着形成されていることを特徴とする。

【００１６】さらに、前記ファイバ保持基板の下面に設
けた前記光ファイバ群を配設するための溝、及び前記フ
ァイバ保持基板の脚部が異方性エッチングにより形成さ
れたことを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光モジュール
の実施形態を模式的に図示した図面に基づき詳細に説明
する。

【００１８】まず、本発明の光モジュールの全体構成に
ついて説明する。図１〜図４に示すように、本発明の光
モジュールＭ１は、基板１上に、下面に複数の光ファイ
バ５（第１光ファイバ群５Ａ，第２光ファイバ群５Ｂ）
と、脚部７を４つ備えたファイバ保持基板２を配設する
とともに、ファイバ保持基板２に反射面２ａを複数の発
光点を有するアレイ状をなす面発光素子４の発光点の上
方に形成している。

【００１９】ここで、光ファイバ群は、面発光素子４か
らの出射光を入射させる第１光ファイバ群５Ａと、外部
に光を出射させる第２光ファイバ群５Ｂとが、光分波器
８を介して光接続されるように構成されており、第１光
ファイバ群５Ａを構成する各光ファイバは、面発光素子
４からの出射光が入射される第１シングルモード光ファ
イバ５ａ、第１グレーテッドインデックスマルチモード
光ファイバ５ｂ、及び第１コアレス光ファイバ５ｃが順
次接続されて成り、かつ第２光ファイバ群５Ｂを構成す
る各光ファイバは、光分波器８に光接続される第２コア
レス光ファイバ５ｄ、第２グレーテッドインデックスマ
ルチモード光ファイバ５ｅ、及び第２シングルモード光
ファイバ５ｆが順次接続されて成る。

【００２０】ここで、グレーテッドインデックスマルチ
モード光ファイバは、光ファイバの中心軸から徐々に屈
折率が下がる軸対称の屈折率分布を持つ光ファイバであ
る。ほとんどのグレーテッドインデックスマルチモード
光ファイバはほぼ２乗の屈折率分布を持ちレンズ効果を
有するため、好適な屈折率分布のグレーテッドインデッ
クスマルチモード光ファイバを好適な長さで用いれば結
合光学系を構成することができる。

【００２１】グレーテッドインデックスマルチモード光
ファイバ端面に点光源がある場合に、コリメート光にす
る条件は、グレーテッドインデックスマルチモード光フ
ァイバの長さが四分の一周期になる長さ（光線の挙動の
周期に対応させてピッチ（Ｐ）で表すとＰ＝０．２５）
であるが、実際に結合効率が最も高いのは、端面が対向
するグレーテッドインデックスマルチモード光ファイバ
からのビームウェストの位置が一致するときである。

【００２２】Ｐ＝０．２５におけるビームウェストの位
置は、グレーテッドインデックスマルチモード光ファイ
バの出射端面に位置することになり、グレーテッドイン
デックスマルチモード光ファイバ間に光学素子を挿入す
る場合は、ビームウェストの位置は一致しない。そのた
め、グレーテッドインデックスマルチモード光ファイバ
の出射端面から離れた位置にビームウェストを形成する
ためには、四分の一周期になる長さよりも長く（Ｐ＞
０．２５）なる条件が必要になる。

【００２３】そこで、コアレス光ファイバの長さは、２
つのグレーテッドインデックスマルチモード光ファイバ
によるビームスポットが中央で一致するように調整して
から、コアレス光ファイバを接続することによって予め
焦点距離を厳密に調整することができ、もともと一本の
光ファイバであるので、これを分断した場合であって
も、光ファイバ間の軸ズレを防止することができる。

【００２４】以上の構成により、シングルモード光ファ
イバ同士を対向させた場合よりも結合効率が良くなると
同時に、この溝の形成及びこの溝への光分波器８の配設
も簡便となる。

【００２５】また、光ファイバ５の光入射端が球面状に
形成されており、この光入射端が前記ファイバ保持基板
２上に形成した反射面２ａに対面している。さらに、面
発光素子４は基板１上に形成された電気配線１１上に配
設されているとともに、ファイバ保持基板２の脚部７と
基板１との間に電気配線１１と同一材料の設置用パッド
１２が形成されている。

【００２６】また、図３に示すように、脚部７の高さは
ファイバ保持基板２上に形成した台形溝２１に配設した
光ファイバ５の表面高さより高くするようにしている。

【００２７】次に、図４に示す基板１の主面の様子につ
いて詳しく説明する。基板１の主面上には面発光素子４
を駆動するための電気配線１１Ａとモニタ用受光素子６
を駆動するための電気配線１１Ｂ、及びファイバ保持基
板２の設置用パッド１２を同一材料で形成する。さら
に、Ａｕ−Ｓｎ合金等のはんだ３１をこれらパターン上
に形成する。

【００２８】ここで、基板１の材質はセラミックス、ガ
ラス等のように絶縁性を有し、且つはんだ３１の溶融温
度に耐性を有する材料であれば良い。また、電気配線１
１及び設置用パッド１２については単層、多層どちらで
もかまわないが、表層がＡｕ等の耐腐食性に優れた材料
であることが望ましい。

【００２９】基板１の中央部に形成したはんだ３１,３
１上には、図１，２に示すように、アレイ化された面発
光素子４及びモニタ用受光素子６を設置し、ボンディン
グワイヤにて電気配線１１との電気的接続を行う。

【００３０】ファイバ保持基板２は、図５、及び図６
（ａ−１），（ａ−２）に示すように、まず（１００）
面を［１１０］方向に４．７°〜１４．７°（より好適
には７．７°〜１１．７°、最適には９．７°）傾斜さ
せた面、またはその面と等価な面を表面とするシリコン
単結晶から成る基板（またはウエハＷ）２上に、ＫＯＨ
等のアルカリ溶液に耐性のあるエッチングマスク膜を形
成した後、長手方向を［１１０］方向またはその方向と
等価な方向とする長方形のパターンを形成し、ＫＯＨ水
溶液等のアルカリ溶液に浸漬させ、異方性エッチングに
より光ファイバ設置用溝２１を形成する。

【００３１】そして、光ファイバ設置用溝２１を形成し
た後に、エッチングマスクを除去し、再度全面にエッチ
ングマスクを形成する。次に、図６（ｂ−１），（ｂ−
２）に示すように、光ファイバ設置用溝２１を形成した
基板２と脚部７を形成するシリコン基板７Ａとをウエハ
ボンディング技術を用いて貼り付ける。貼り付ける面
は、前記光ファイバ設置用溝２１が有る表面と脚部７を
形成する側の表面である。

【００３２】次に、図６（ｃ−１），（ｃ−２）に示す
ように、ＫＯＨ等のアルカリ水溶液に浸漬させ異方性エ
ッチングを施し、光ファイバ設置用溝２１を露出させ、
脚部７の表面に電気配線１１と同一の材料から成る設置
用パッドを形成する。

【００３３】また、同時に台形溝２１の斜面２ａにも電
気配線１１と同一の材料から成る反射鏡を形成する。

【００３４】次に、図７（ａ−１），（ａ−２）に示す
ように、第１シングルモード光ファイバ５ａ、第１グレ
ーテッドインデックスマルチモード光ファイバ５ｂ、コ
アレス光ファイバ５ｃｄ、第２グレーテッドインデック
スマルチモード光ファイバ５ｅ、及び第２シングルモー
ド光ファイバ５ｆが順次接続され、かつ第１シングルモ
ード光ファイバ５ａ先端が球状加工されてなる光ファイ
バ５を、その前記光ファイバ５先端が前記ファイバ保持
基板２に形成した反射面２ａに対向するように設置す
る。

【００３５】次に、図７（ｂ−１），（ｂ−２）に示す
ように、前記コアレス光ファイバを５ｃ,５ｄに分割
し、且つファイバ保持基板２上に光学素子設置用溝２２
を形成する。

【００３６】最後に、図７（ｃ−１），（ｃ−２）に示
すように、前記光学設置用溝２２に光分岐器８を挿入す
る。

【００３７】以上のように、まず基板１上に光ファイバ
５を設置する台形溝２１をシリコンの異方性エッチング
を用いて形成し、次に、脚部７の高さと同じ厚みのシリ
コン基板を貼り付け、最後に、貼り付けたシリコン基板
を異方性エッチングにより光ファイバ５を設置する台形
溝２１が全部露出するまでエッチングして所望のファイ
バ保持基板２を作製することができる。

【００３８】光ファイバ５は、その先端を球状に加工が
施されており、ファイバ保持基板２に設置するときに光
ファイバ５の球状加工された端面はファイバ保持基板２
上に形成した反射面２ａに対向するように設置する。

【００３９】最後に、光モジュールの組み立て工程とし
て、最初に基板１上にアレイ化された面発光素子４及び
モニタ用受光素子６を配設し、各素子を駆動用電極１１
とワイヤボンディングにより電気的接続を行い、次に光
ファイバ５及び光分岐器８を設置したファイバ保持基板
２を設置する。

【００４０】かくして、本発明の光モジュールによれ
ば、第１光ファイバ群５Ａを構成する各光ファイバは、
面発光素子４からの出射光が入射される第１シングルモ
ード光ファイバ５ａ、第１グレーテッドインデックスマ
ルチモード光ファイバ５ｂ、及び第１コアレス光ファイ
バ５ｃが順次接続されて成り、かつ第２光ファイバ群５
Ｂを構成する各光ファイバは、光分波器８に光接続され
る第２コアレス光ファイバ５ｄ、第２グレーテッドイン
デックスマルチモード光ファイバ５ｅ、及び第２シング
ルモード光ファイバ５ｆが順次接続されて成るので、面
発光素子４からの光を損失なく外部へ伝送させることが
できる。

【００４１】また、脚部７の高さはファイバ保持基板２
上に形成した台形溝２１に配設した光ファイバ５の表面
高さより高くするようにしていることにより、ファイバ
保持基板２を基板１上に実装した際に、基板１に配設し
た面発光素子４の電気配線１１と光ファイバ５とを非接
触にすることができる。これにより、光ファイバ５の光
軸ずれを極力防止することにより、面発光素子４と光フ
ァイバ５の入射端との優れた光結合を実現することがで
きる。

【００４２】また、ファイバ保持基板２の脚部７の先端
を平面にしさらに、この脚部７と基板１との間に電気配
線１１と同一材料の設置用パッド１３を設けたことによ
り、これを実装する基板１への接着面積を広くすること
ができ、ファイバ保持基板２を安定してかつ堅固（接着
強度良好に）に基板に配設することができ、これによっ
ても、面発光素子４と光ファイバ５との優れた光結合を
実現させることができる。

【００４３】また、ファイバ保持基板２に基板１面に対
して４５°の反射鏡２３を形成することにより、基板１
に対して垂直に出射された光を光ファイバ５の光入射端
より９０°の方向へ転換させることが可能になり、また
光ファイバ５の光入射端を球状に形成することにより、
高効率な光結合をすることが可能となり、小型で低背な
光モジュールを提供できる。

【００４４】さらに、ファイバ保持基板２の光ファイバ
５を配設する台形溝２１及び脚部７を異方性エッチング
により形成することにより、精度良くかつ迅速・簡便に
作製を行うことが可能となる。そして、脚部７の形成
は、光ファイバ５を設置する台形溝２１を（１００）面
を［１１０］方向に４．７°〜１４．７°（最適には
９．７°）傾斜させた面、またはその面と等価面な面を
表面とするシリコン基板２上に形成し、前記台形溝２１
を形成した面にウエハボンディング技術を用いてシリコ
ン基板を貼りつけることにより、脚部７の高さを均一に
することが可能となる。また、これらの作製はウエハプ
ロセスの工程で行うことができ生産性が良好となる、

【００４５】

【実施例】次に、本発明をより具体化した光モジュール
について説明する。

【００４６】基板１の作製にはシリコン基板を熱酸化
し、表面に酸化膜による絶縁層を設け表面上に、電気配
線１１及び設置用パッド１２を上層／下層の順でＡｕ／
Ｐｔ／Ｔｉにて形成した。

【００４７】また、電気配線１１上の面発光素子４実装
部、モニタ用受光素子６実装部及び設置用パッド１２に
はＡｕ−Ｓｎ合金はんだ３１を形成した。

【００４８】次に、ファイバ保持基板２の作製には、
（１００）面を［１１０］方向に７．７°〜１１．７°
傾斜させた面を表面とするシリコン基板上に、ＫＯＨ水
溶液に耐性のあるエッチングマスク膜としてシリコン窒
化膜を形成した後、長手方向を［１１０］方向とする長
方形のパターンをアレイ状に形成し、４８重量％のＫＯ
Ｈ水溶液に浸漬させ、異方性エッチングにより光ファイ
バ設置用溝２１を形成した。

【００４９】光ファイバ設置用溝２１を形成した後に前
記エッチングマスクを除去し、再度全面にシリコン窒化
膜によるエッチングマスクを形成した。次に上述の前記
光ファイバ設置用溝２１を形成するのと同様に（１０
０）面を［１１０］方向に７．７°〜１１．７°傾斜さ
せた面を表面とするシリコン基板に前記エッチングマス
クを脚部７の形状になるようにエッチングパターンを形
成した後、前記光ファイバ設置用溝２１を形成したシリ
コン基板２と前記脚部７を形成するシリコン基板７Ａと
をウエハボンディング技術を用いて貼り付けた。

【００５０】貼り付ける面は前記光ファイバ設置用溝２
１が有る表面と前記脚部７を形成する側の表面とした。
次に、４８重量％のＫＯＨ水溶液に浸漬させ異方性エッ
チングを行い光ファイバ設置用溝２１を露出させた。次
に、脚部７表面に設置用パッド１３を形成した。次に、
先端に集光機能を有するように球状加工した第１シング
ルモード光ファイバ５ａ（長さ４．６ｍｍ）と、その反
対の端部に第１グレーテッドインデックスマルチモード
光ファイバ５ｂ（長さ０．７８ｍｍ）、さらにその端部
にコアレス光ファイバ５ｃｄ（長さ１．６ｍｍ）、その
端部に第２グレーテッドインデックスマルチモード光フ
ァイバ５ｅ（長さ０．７８ｍｍ）、さらにその端部に第
２シングルモード光ファイバ５ｆ（長さ１ｍ）が順番に
接続された光ファイバ５を搭載した。光ファイバ５の先
端はファイバ保持基板２に設置するときにファイバ保持
基板２の斜面２ａ上に形成された反射鏡に対向するよう
に設置した。

【００５１】次に、第１コアレス光ファイバ５ｃと第２
コアレス光ファイバ５ｄの端面が、光学素子設置用溝２
２をはさんで互いに対向した状態になるように、光学素
子設置用溝２２をダイシング等で形成し、最後に光分波
器８を光学用接着剤を用い固定した。

【００５２】次に、光モジュールとしての作製手順とし
て、最初に、基板１上のはんだ３１上に面発光素子４及
びモニタ用受光素子６を設置し、ボンディングワイヤに
て電気的接続を行った。

【００５３】最後に、光ファイバ群５Ａ，５Ｂを設置し
たファイバ保持基板２を基板１上に形成したファイバ保
持基板用設置パッド１２とファイバ保持基板２に形成し
た脚部７表面の設置用パッドをファイバ保持基板設置用
パッド１２上に形成したはんだ３１を介して設置した。

【００５４】かくして、光ファイバ５の光軸ずれを極力
防止し、面発光素子４と光ファイバ５の入射端との優れ
た光結合を実現し、小型で低背な光モジュールを生産性
良好に提供できた。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜３及び
請求項５〜６に記載の光モジュールによれば、脚部を備
えたファイバ保持基板に形成した反射面により、基板上
に設置した面発光素子からの出射光を９０°方向転換し
効率よく光結合することができ、各光ファイバ途中に光
分岐器を設置し、出射光の一部を面発光素子の出射光を
モニタするようにモニタ用受光素子６を配置したので、
基板に光ファイバを搭載するためには必要最低限のスペ
ースになる。これにより、基板上に新たな電気配線を形
成するスペースを確保することができ、設計の自由度の
大きい光モジュールを提供できる。

【００５６】また、第１光ファイバ群を構成する各光フ
ァイバは、面発光素子からの出射光が入射される第１シ
ングルモード光ファイバ、第１グレーテッドインデック
スマルチモード光ファイバ、及び第１コアレス光ファイ
バが順次接続されて成り、かつ第２光ファイバ群を構成
する各光ファイバは、光分波器に光接続される第２コア
レス光ファイバ、第２グレーテッドインデックスマルチ
モード光ファイバ、及び第２シングルモード光ファイバ
が順次接続されて成るので、面発光素子からの光を損失
なく外部へ伝送させることができる。

【００５７】また、特に請求項２または請求項３に記載
の光モジュールによれば、小型で低背化が実現した、優
れた光モジュールを提供できる。

【００５８】また、請求項４の光モジュールによれば、
面発光素子及びモニタ用受光素子は基板上に形成された
電気配線上に配設されているとともに、ファイバ保持基
板の脚部と基板との間に電気配線と同一材料の設置用パ
ッドが形成されているので、ファイバ保持基板を堅固
（接着強度良好に）に基板に配設することができる。

【００５９】さらに、請求項７に記載の光モジュールに
よれば、ファイバ保持基板２の下面に設けた光ファイバ
を配設するための溝、及びファイバ保持基板の脚部が異
方性エッチングにより形成されるので、ファイバ保持基
板を精度良くかつ迅速・簡便に作製を行うことが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光モジュールを模式的に説明する
斜視図である。

【図２】本発明に係る光モジュールを模式的に説明する
図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
側面図である。

【図３】本発明に係る光モジュールに用いられるファイ
バ保持基板を下面側からみた様子を模式的に説明する図
であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

【図４】本発明に係る光モジュールに用いられる基板の
主面の様子を模式的に説明する図であり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。

【図５】本発明に係る光モジュールに使用されるウエハ
の斜視図である。

【図６】本発明に係る光モジュールに用いられるファイ
バ保持基板の製造工程を模式的に示した断面図であり、
（ａ−１）〜（ｃ−１）は側面図、（ａ−２）〜（ｃ−
２）は正面図である。

【図７】本発明に係る光モジュールに用いられるファイ
バ保持基板の製造工程を模式的に示した断面図であり、
（ａ−１）〜（ｃ−１）は側面図、（ａ−２）〜（ｃ−
２）は正面図である。

【符号の説明】

１：基板 ２：ファイバ保持基板 ３：チップキャリア ４：面発光素子 ５：光ファイバ ５Ａ：第１光ファイバ群 ５Ｂ：第２光ファイバ群 ５ａ：先端に集光機能を有する第１シングルモード光フ
ァイバ ５ｂ：第１グレーテッドインデックスマルチモード光フ
ァイバ ５ｃ：第１コアレス光ファイバ ５ｄ：第２コアレス光ファイバ ５ｅ：第２グレーテッドインデックスマルチモード光フ
ァイバ ５ｆ：第２シングルモード光ファイバ ６：モニタ用受光素子 ７：脚部 ８：光分岐器 １１：電気配線 １２：ファイバ保持基板設置用パッド １３：設置用パッド ２１：光ファイバ設置用溝 ２２：光学素子設置用溝 ２３：反射鏡 ３１：はんだ Ｍ１：光モジュール

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に、下面に複数の光ファイバから
   成る光ファイバ群及び脚部を備えたファイバ保持基板
   と、前記光ファイバ群に光結合させる面発光素子と、該
   面発光素子の出射光を監視するモニタ用受光素子とを配
   設し、前記ファイバ保持基板に形成した反射面により前
   記面発光素子からの出射光を前記光ファイバ群の一端部
   に光結合させるように成した光モジュールであって、前
   記光ファイバ群は、前記面発光素子からの出射光を入射
   させる第１光ファイバ群と、外部に光を出射させる第２
   光ファイバ群とが、光分波器を介して光接続されるよう
   に構成されているとともに、前記第１光ファイバ群を構
   成する各光ファイバは、前記面発光素子からの出射光が
   入射される第１シングルモード光ファイバ、第１グレー
   テッドインデックスマルチモード光ファイバ、及び第１
   コアレス光ファイバが順次接続されて成り、かつ前記第
   ２光ファイバ群を構成する各光ファイバは、前記光分波
   器に光接続される第２コアレス光ファイバ、第２グレー
   テッドインデックスマルチモード光ファイバ、及び第２
   シングルモード光ファイバが順次接続されて成ることを
   特徴とする光モジュール。
2. 【請求項２】 前記光分波器は前記ファイバ保持基板の
   下面に接着させたことを特徴とする請求項１に記載の光
   モジュール。
3. 【請求項３】 前記ファイバ保持基板は単結晶シリコン
   から成るとともに、該基板の主面は（１００）面を［１
   １０］方向に４．７°〜１４．７°の範囲で傾斜させた
   面、またはその面と等価な面であることを特徴とする請
   求項１に記載の光モジュール。
4. 【請求項４】 前記面発光素子及び前記モニタ用受光素
   子は、前記基板上に形成された電気配線上に配設されて
   いるとともに、前記ファイバ保持基板の脚部と前記基板
   との間に前記電気配線と同一材料の設置用パッドが形成
   されていることを特徴とする請求項１に記載の光モジュ
   ール。
5. 【請求項５】 前記面発光素子の出射光が入射される第
   １シングルモード光ファイバの先端部が球面状に形成さ
   れていることを特徴とする請求項１に記載の光モジュー
   ル。
6. 【請求項６】 前記ファイバ保持基板の反射面に金属膜
   が被着形成されていることを特徴とする請求項１に記載
   の光モジュール。
7. 【請求項７】 前記ファイバ保持基板の下面に設けた前
   記光ファイバ群を配設するための溝、及び前記ファイバ
   保持基板の脚部が異方性エッチングにより形成されたこ
   とを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。