JP2004317629A - 光送信モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】面発光型発光素子と、これからの光を導波する光ファイバと、前記出射光をモニタするモニタ用受光素子を備えた光送信モジュールにおいて、光ファイバへの光の結合効率が高く、前記受光素子に入射される光の温度変化による変動がなく、光素子に接続されるボンディングワイヤが取扱の際に破損することがなく、かつ高精度の部品を使用しなくとも、高精度の光軸合わせを可能にする。
【解決手段】マウント1とサブマウント2との接合して光モジュールとする。サブマウント2に凹部7を形成し、その底面に設けられた電極8上に前記発光素子21と前記受光素子22を固定し、ボンディングワイヤにより電気的に接続する。マウント1には発光素子21と光結合するための光ファイバ3を固定する。マウント1とサブマウント2との接合はそれぞれの電極5、8を用い位置合わせを行ってなされる。電極5、8は、電気的接続を兼ねる。
【選択図】図1
【解決手段】マウント1とサブマウント2との接合して光モジュールとする。サブマウント2に凹部7を形成し、その底面に設けられた電極8上に前記発光素子21と前記受光素子22を固定し、ボンディングワイヤにより電気的に接続する。マウント1には発光素子21と光結合するための光ファイバ3を固定する。マウント1とサブマウント2との接合はそれぞれの電極5、8を用い位置合わせを行ってなされる。電極5、8は、電気的接続を兼ねる。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光を導波する光ファイバと、面発光型発光素子からの出射光をモニタするモニタ用受光素子を備え、モニタ用受光素子からの出力信号により面発光型発光素子の光出力を一定に制御するようにした光送信モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の光送信モジュールに関しては、特開2002−72025号公報に開示のものがある。このものは、面発光型発光素子からの出射光を分光基体により分岐してモニタ用受光素子に入射し、モニタ用受光素子からの信号を面発光型発光素子の駆動用集積回路にフィードバックし、面発光型発光素子の光出力を常に一定に制御するようになっている。
【0003】
しかしながら、この光送信モジュールでは、面発光型発光素子からの出射光を分光基体で分岐しているので、光ファイバへの光の結合効率が低い欠点がある。
また、面発光型発光素子の発光点および放射角が小さいため、面発光型発光素子の実装精度または分光基体の寸法精度によって分岐比が大きく左右されるため、高い部品精度と実装精度が要求される。
さらに、動作中の温度変化に起因する分光基体の変形、膨張により分岐比が変動する不都合もある。
【0004】
また、特開2002−170965号公報に示された光送信モジュールでは、個々の光素子への電気的接続のためのボンディングワイヤが突出しているため、製作途中での取扱による断線や光ファイバを挿入する際の受発光面への接触による破損や接合部の剥離などの可能性がある。
【0005】
また、光ファイバへの入射光の結合効率を高めるためには、光ファイバと面発光型発光素子との位置精度は、シングルモードファイバを用いた場合では数ミクロン以下の、マルチモードファイバを用いた場合では10ミクロン以下の精度が要求される。
【0006】
このため、シングルモードファイバを使用した場合には、サブミクロンの精度の、マルチモードファイバを使用した場合には、数ミクロンの精度で加工された高価な部品を用いる必要がある。高精度の部品を用いない場合は、光ファイバと面発光型発光素子との高精度のアライメントを行うことで位置精度は達成されるが、基板表面に直交する方向のアライメントを行うと、光軸方向に移動してしまう問題がある。さらに、高精度に実装するために、フリップチップボンダを使用する際、この形状では上面に対して下面が小さく不安定で、倒れ易いため、トレイに並べて自動でピックアップし、アライメントおよび実装が行えないと言う問題点がある。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−072025号公報
【特許文献2】
特開2002−170965号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
よって、本発明における課題は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光を導波する光ファイバと、面発光型発光素子からの出射光をモニタするモニタ用受光素子を備えた光送信モジュールにおいて、面発光型発光素子から光ファイバへの光の結合効率が高く、モニタ用受光素子に入射される光強度の温度変化による変動がなく、面発光型発光素子、モニタ用受光素子に接続されるボンディングワイヤが製作途中あるいは製作後の取扱の際に破損することがなく、かつ高精度の部品を使用しなくとも、高精度の光軸合わせが容易で、かつ自動で実装することが可能である光送信モジュールを得ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、
請求項1にかかる発明は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光の一部を受光してモニタするモニタ用受光素子が固定されたサブマウントを、面発光型発光素子からの出射光を入射して導光する光ファイバが固定されたマウントに接合した光送信モジュールであって、
前記サブマウントには凹部が形成され、この凹部の底面に1以上の面発光型発光素子と1以上のモニタ用受光素子がそれぞれの発光面と受光面を表面に向けて固定され、
前記マウントには、サブマウントの面発光型発光素子の個数に応じた1以上の光ファイバが固定され、この光ファイバの先端面がサブマウントに臨む端面に露出しており、
面発光型発光素子からの出射光の一部が光ファイバに入射し、残部が光ファイバ先端面または前記マウントの端面で反射してモニタ用受光素子に入射するように、これら面発光型発光素子とモニタ用受光素子と光ファイバとが配置されていることを特徴とする光送信モジュールである。
【0010】
請求項2にかかる発明は、前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに平行で、光ファイバの端面がマウントの端面に対して角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
請求項3にかかる発明は、前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項2記載の光送信モジュールである。
請求項4にかかる発明は、前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0011】
請求項5にかかる発明は、前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項4に記載の光送信モジュールである。
請求項6にかかる発明は、前記サブマウントには、凹部の底面から凹部の内壁面を経てこれに隣接する上面に延びる電極が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0012】
請求項7にかかる発明は、前記凹部の底面に形成された電極の形状が、面発光型発光素子またはモニタ用受光素子の形状に対応する形状を有するか、もしくはこれら光素子に設けられた位置決め用のパターンに相応するパターンを有し、光素子実装領域を形成するものである請求項6に記載の光送信モジュールである。
請求項8にかかる発明は、前記上面には、マウントとの接合のための固定部が設けられている請求項6に記載の光送信モジュールである。
【0013】
請求項9にかかる発明は、前記マウントには、その外表面に電極が設けられ、サブマウントの上面の電極と電気的および機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
請求項10にかかる発明は、前記マウントには、その外表面に固定部が設けられ、サブマウントの上面に設けられた固定部と機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0014】
請求項11にかかる発明は、請求項1ないし10のいずれかに記載の光送信モジュールのサブマウントの凹部の底面に、さらに受光素子を1以上設け、前記マウントには、これに対応する光ファイバを固定したことを特徴とする双方向光伝送用光モジュールである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図1ないし図3は、この発明の光送信モジュールの一例を示すものである。この例の光送信モジュールは、マウント1とサブマウント2とから概略構成されている。マウント1は、この例では外形が角柱状となっているが、これに限定されることなく、任意の形状のものが使用できる。
このマウント1をなす材料は、絶縁体または半導体のいずれであっても良く、具体的にはアルミナセラミックス、窒化アルミニウム、石英ガラス、結晶化ガラス、シリコンなどが挙げられる。また、コバールなどの導電体でもよいが、このものではその表面を絶縁材料で被覆する必要がある。
【0016】
このマウント1の内部には、光ファイバ3を挿通し、固定するための円形の貫通孔4が形成されており、この例ではマウント1の長手方向に沿って延び、マウント1の長手方向の一の端面1aからこの端面1aに対向する端面1bに向かって、その中心部を貫くように形成されている。光ファイバ3およびこれを挿通する貫通孔4は、1個に限られず、複数個設けてもよい。
【0017】
また、マウント1の端面1aには、貫通孔4に挿通される光ファイバ3の先端が露出している。この端面1aは、サブマウント2の接合面となっており、サブマウント2に臨んでいる。さらに、この端面1aは、その表面が平滑とされ、光が良好に反射されるようになっている。
本発明では、この貫通孔4に代えて、その長手方向に沿ってV溝を形成し、このV溝に光ファイバを収容、固定することもできる。
【0018】
また、マウント1の外表面には、電極5が設けられている。この電極5は、サブマウント2を機械的に接合するとともにサブマウント2に実装される面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22との電気的接続を行うためのもので、この例では、一方の端面1aの四隅から2つの側面1c、1cに向けて帯状に延びて形成されているが、その位置、平面形状はこの例のものに限られることはない。
【0019】
また、電極5は、厚さ0.5〜5μmの導電性膜からなるもので、好ましくは2層以上の層から構成され、マウント1に接する最下層は、マウント1をなす材料に対して良好な密着性を有するクロム、ニッケル、チタンなどの化学的に活性な金属からなり、最上層は酸化による劣化がなく、接触抵抗が低い金、白金などの貴金属からなるものである。最下層と最上層との間には1層以上の他の導電材料からなる層を設けてもよい。
【0020】
また、この例のサブマウント2は、その外形が直方体状となっているが、これに限られるものではない。このサブマウント2の外形寸法は、マウント1の端面の寸法と同じか、これよりも小さくなっており、若干小さくすることが望ましい。
【0021】
これは、後工程での面発光型発光素子21の発光部と光ファイバ3の中心点との光軸合わせの際に、サブマウント2を少々移動しても、またマウント1およびサブマウント2の製作加工精度の誤差があっても、サブマウント2の側面がマウント1から外方に飛び出ることがなくなるためである。
このサブマウント2をなす材料には、上述のマウント1をなす材料と同じものでよい。
【0022】
このサブマウント2のマウント1に接合される1つの側面には、凹部7が形成されている。この例では、凹部7の平面形状は、長方形または台形であり、断面形状はU字状となっており、2つの側面が開放された形状になっているが、このような形状に限られることはなく、後述するように面発光型発光素子21とモニタ用受光素子22を収容するに十分な空間があればよい。この凹部7の形成により、サブマウント2の側面の残りの部分には、2つの上面7a、7aが形成されている。
【0023】
この凹部7の寸法は、面発光型発光素子21またはモニタ用受光素子22の厚さが100〜200μmで、ボンディングワイヤ19の高さが250〜300μmであるので、深さdが300〜500μm、好ましくは300〜400μmとされ、図2に示すように、ボンディングワイヤ19の一部が凹部7から飛び出さないようになっている。
【0024】
また、幅は、面発光型発光素子21あるいはモニタ用受光素子22の大きさよりも大きいことは勿論であり、50〜500μm、好ましくは100〜300μmだけこれら光素子21、22よりも広い方が望ましい。
さらに、図2に示すように、凹部7の内壁面7bと上面7aとのなす角度θは、90〜150度、好ましくは90〜135度となっている。
【0025】
そして、凹部7には電極8が設けられている。この電極8は、前記上面7aから内壁面7bを経て、底面7cに延びるものである。この電極8は、サブマウント2とマウント1とを機械的に接合するとともに、マウント1の電極5と電気的導通をとり、かつ面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22との電気的導通をとるためのものである。この電極8の平面形状は限定されず、図3ないし図7に示されるように、種々の形状をとることができる。この電極8をなす材料は、先に述べたマウント1に設けられた電極5をなすと同様のものが用いられる。
【0026】
さらに、凹部7の底面7cには、面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22を固定するための光素子実装領域が設定されている。この光素子実装領域は、具体的にはこれら光素子21、22を位置決めするためのパターンなどを指し、このパターンは光素子21、22の外形に合致する形状もしくは光素子21、22に相応の形状を有するものである。また、このパターンは底面7cに形成された電極8が兼ねるようにすることもできる。すなわち、この電極8の平面形状を上述のパターンとすることにより面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置決め、固定と電気的導通とを同時に行うことができる。
【0027】
また、凹部7の底面7cの電極8には、面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置決めのためのマーカーを形成しておくこともできる。このマーカーは、上述の光素子実装領域となるもので、例えばこれら光素子21、22の外形を示す点状または光素子21、22に形成された位置合わせパターンに相応するもので、種々の手段、例えば印刷や電極8の一部を除去する方法などによって可能である。
【0028】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cの光素子実装領域には、面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22が固定されている。ここでの面発光型発光素子21としては、面発光型レーザー(VCSEL)などが用いられ、モニタ用受光素子22には、ホトダイオードなどが用いられる。
【0029】
これら光素子21、22の固定は、例えば以下のようにして行われる。まず、光素子21、22の受発光面の裏面あるいは実装領域に予め共晶ハンダ層を蒸着、スパッタなどの薄膜形成プロセスにより設ける方法、実装領域にスクリーン印刷やディスペンサにより塗布した共晶ハンダを加熱して予め共晶ハンダ層を形成する方法、薄く広げた共晶ハンダペーストを光素子21、22の裏面に転写する方法、あるいは共晶ハンダプリフォームを実装領域に配置する方法などで共晶ハンダ層を形成する。
【0030】
このようにして、共晶ハンダ層を設けた後、光素子21、22を実装領域に位置合わせを行って置いたのち、加熱して共晶ハンダ層を溶融し、冷却して固定する。
これ以外の固定方法としては、金バンプを光素子21、22の裏面もしくは実装領域に設けておき、加熱、荷重圧着またはスクラブのいずれかもしくはこれらの組み合わせにより固定してもよい。
【0031】
このような面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の固定により、同時にこれら光素子21、22の裏面側の電極と電極8との電気的接続が行われる。また、光素子21、22の表面の電極と他の電極8との電気的接続はボンディングワイヤ19によって行われる。
さらに、これら光素子21、22の位置合わせは、光素子21、22の外形もしくは位置合わせパターンと、実装領域に形成されたパターン、マーカーとを用いることにより容易に行うことができる。
【0032】
マウント1とサブマウント2との接合は、上述のように面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22が実装されたサブマウント2の電極8をマウント1の電極5にそれぞれ接合することにより行われる。ここでの具体的な接合は、先に述べたようにして、まずそれぞれの電極5、8のいずれか一方もしくは両方に共晶ハンダ層を形成する。
【0033】
ついで、面発光型発光素子21の発光部とマウント1の光ファイバの貫通孔4の中心部との位置合わせを画像処理によって行い、加熱により共晶ハンダ層を溶融して両者を接合固定する。これ以外に金バンプを用いて先に述べたように接合固定してもよい。
【0034】
この際の位置合わせは、面発光型発光素子21の発光部とマウント1の貫通孔4の中心部もしくは面発光型発光素子21の発光部の位置合わせパターンとマウント1に形成されている位置合わせパターンとを用いることにより容易に行うことができる。
【0035】
また、本発明においては、マウント1の端面1aとサブマウント2の凹部7の底面7cとが互いに平行であっても良いし、互いにある角度を持つようにすることもできる。この角度は約3〜30度、好ましくは5〜15度の範囲で定められる。
【0036】
マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとを平行にするためには、例えば図3に示すようなサブマウント2を用いればよい。図3に示したサブマウント2は、凹部7の底面7cと上面7aとが互いに平行になっているものである。
【0037】
このサブマウント2を図8に示すように、マウント1の端面1aに接合することで、マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとが互い平行となる。この場合には、マウント1に固定される光ファイバ3の先端面を図示のように傾斜させ、マウント1の端面1aと光ファイバ3の先端面が互いに3〜30度の角度をなすようにすることで、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面で反射された光の一部はモニタ用受光素子22に結合する。光ファイバ3に照射されない光は、端面1aで反射されて面発光型発光素子21の周辺に放射され、面発光型発光素子21に対する戻り光の影響が少ないものとなる。
【0038】
マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとが互いに平行にならないようにするには、例えば図4ないし図7に示すようなサブマウント2を採用することで可能になる。
【0039】
図4に示したサブマウント2では、凹部7の底面7cが傾斜し、底面7cと上面7aとがある角度をなすようになっているものである。このものの底面7cの傾斜方向は、上面7aの長手方向に沿って傾斜するようになっている。
【0040】
このサブマウント2を図9に示すようにマウント1の端面1aに接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面および端面1aで反射した光の一部がモニタ用受光素子22に結合する。このため、モニタ用受光素子22に入射される光量が増加する。
【0041】
図5に示したサブマウント2では、凹部7の底面7cが傾斜し、底面7cと上面7aとがある角度をなすようになっているものである。このものの底面7cの傾斜方向は、上面7aの短手方向に沿って傾斜するようになっている。
【0042】
このサブマウント2を図10に示すようにマウント1の端面1aに接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面および端面1aで反射した光の一部がモニタ用受光素子22に結合する。このため、モニタ用受光素子22に入射される光量が増加する。
【0043】
図6に示したサブマウント2では、両方の上面7がサブマウント2の底面に対して傾斜しており、底面7cはサブマウント2の裏面と平行で平坦となっている。上面7aの傾斜方向は、上面7aの長手方向に沿って形成されている。
【0044】
このサブマウント2を図11に示すような端面1aが傾斜したマウント1に接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、光ファイバ3の先端面からの反射光が面発光型発光素子21に戻るが、光ファイバ3の先端面に反射防止膜を設けるか、光ファイバ3の先端を斜めに切断しておけば、問題はない。
【0045】
図7に示したサブマウント2では、両方の上面7がサブマウント2の底面に対して傾斜しており、底面7cはサブマウント2の裏面と平行で平坦となっている。上面7aの傾斜方向は、上面7aの短手方向に沿って形成されている。
【0046】
このサブマウント2を図12に示すような端面1aが傾斜したマウント1に接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、光ファイバ3の先端面からの反射光が面発光型発光素子21に戻るが、光ファイバ3の先端面に反射防止膜を設けるか、光ファイバ3の先端を斜めに切断しておけば、問題はない。
【0047】
このようなマウント1とサブマウント2との接合に際しては、サブマウント2における面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置、マウント1における光ファイバ3の位置は、面発光型発光素子21からの出射光の一部が光ファイバ3に入射し、残部が光ファイバ3先端面またはマウント1の端面1aで反射してモニタ用受光素子22に入射するように、予め定められることは言うまでもない。
【0048】
このような光送信モジュールにあっては、面発光型発光素子21からの出射光の一部が光ファイバ3の先端面あるいはマウント1の端面1aで反射してモニタ用受光素子22に入射され、このモニタ用受光素子22からの出力が面発光型発光素子21の駆動用集積回路にフィードバックされ、面発光型発光素子21からの出射光の強度が一定に保持される。
【0049】
そして、このような光送信モジュールでは、面発光型発光素子21として安価に入手可能な面発光型レーザーやモニタ用受光素子22としてホトダイオードなどを使用できるので、安価に製造できる。
【0050】
また、面発光型発光素子21からの光の一部が光ファイバ3の先端面あるいはマウント1の端面1aで反射されてモニタ用受光素子22に入射されるので、特別の分光基体などの光分岐手段を必要とせず、構造が簡単で、しかも温度変化などによってモニタ用受光素子22に入力される光量が変動することもない。
【0051】
また、おおよその精度で面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22が実装されたサブマウント2をマウント1に固定する際、フリップチップボンダなどを用いて精度良く位置合わせを行った後に接合することができるため、高い結合効率の光モジュールとすることができる。さらに、自動での搬送が容易なため、生産性が高く、実装コストを低減できる。
【0052】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cとマウント1の端面1aとがある角度を持って交わるようにしたものでは、面発光型発光素子21の発光面と光ファイバ3の先端面が角度を形成することになり、戻り光による面発光型発光素子21への影響を低減できる。
【0053】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cに面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22を固定するようにしたので、ボンディングワイヤ19の頂点よりも上面7aの高さを高くできるため、ボンディングワイヤ19が外方に飛び出すことがなく、その破損を防止することができる。
【0054】
さらに、マウント1の端面1aに直接光素子を固定していないので、端面1aと光素子11の受発光面との間に隙間が生じ、その内部を覗くことができるので、光ファイバ3をマウント1の貫通孔4に挿入するときに面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の発光面、受光面に光ファイバ3の先端が当たることがなく、これら光素子が損傷することがない。
【0055】
本発明では、面発光型発光素子およびモニタ用受光素子として、アレイタイプのものを用いることもでき、これにより伝送容量を増大することができる。また、面発光型発光素子の駆動用素子をマウントに実装することができ、光送信モジュールとして小型化が可能になり、駆動用素子と発光素子との距離を短くすることができるので、高周波帯域におけるノイズ対策にもなる。
【0056】
さらに、本発明の光送信モジュールの変形例として、サブマウントの凹部の底面に、面発光型発光素子およびモニタ用受光素子以外に、別の受光素子を固定し、マウントにこの受光素子に対応する光ファイバを固定したものが挙げられ、この変形例の光送信モジュールでは、双方向通信用の光モジュールとして使用することができる。
【0057】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光送信モジュールによれば、面発光型発光素子あるいはモニタ用受光用素子に接続されるボンディングワイヤがサブマウントの凹部の外方に突出することがなく、製作途中や製作後の取扱の際に破損することがない。また、面発光型発光素子からの光の一部が光ファイバの先端面あるいはマウントの端面で反射されてモニタ用受光素子に入射されるので、特別の分光基体などの光分岐手段を必要とせず、構造が簡単で、しかも温度変化などによってモニタ用受光素子に入力される光量が変動することもない。
【0058】
また、おおよその精度で面発光型発光素子あるいはモニタ用受光素子が実装されたサブマウントをマウントに固定する際、フリップチップボンダなどを用いて精度良く位置合わせを行った後に接合することが自動でできるため、生産性が高く、結合効率の高い光送信モジュールとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光送信モジュールの一例を示す分解斜視図である。
【図2】本発明でのサブマウントの例を示す側面図である。
【図3】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図4】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図5】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図6】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図7】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図8】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図9】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図10】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図11】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図12】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【符号の説明】
1・・・マウント、2・・・サブマウント、3・・・光ファイバ、4・・・貫通孔、5・・・電極、7・・・凹部、8・・・電極、21・・・面発光型発光素子、22・・・モニタ用受光素子、19・・・ボンディングワイヤ。
【発明の属する技術分野】
この発明は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光を導波する光ファイバと、面発光型発光素子からの出射光をモニタするモニタ用受光素子を備え、モニタ用受光素子からの出力信号により面発光型発光素子の光出力を一定に制御するようにした光送信モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の光送信モジュールに関しては、特開2002−72025号公報に開示のものがある。このものは、面発光型発光素子からの出射光を分光基体により分岐してモニタ用受光素子に入射し、モニタ用受光素子からの信号を面発光型発光素子の駆動用集積回路にフィードバックし、面発光型発光素子の光出力を常に一定に制御するようになっている。
【0003】
しかしながら、この光送信モジュールでは、面発光型発光素子からの出射光を分光基体で分岐しているので、光ファイバへの光の結合効率が低い欠点がある。
また、面発光型発光素子の発光点および放射角が小さいため、面発光型発光素子の実装精度または分光基体の寸法精度によって分岐比が大きく左右されるため、高い部品精度と実装精度が要求される。
さらに、動作中の温度変化に起因する分光基体の変形、膨張により分岐比が変動する不都合もある。
【0004】
また、特開2002−170965号公報に示された光送信モジュールでは、個々の光素子への電気的接続のためのボンディングワイヤが突出しているため、製作途中での取扱による断線や光ファイバを挿入する際の受発光面への接触による破損や接合部の剥離などの可能性がある。
【0005】
また、光ファイバへの入射光の結合効率を高めるためには、光ファイバと面発光型発光素子との位置精度は、シングルモードファイバを用いた場合では数ミクロン以下の、マルチモードファイバを用いた場合では10ミクロン以下の精度が要求される。
【0006】
このため、シングルモードファイバを使用した場合には、サブミクロンの精度の、マルチモードファイバを使用した場合には、数ミクロンの精度で加工された高価な部品を用いる必要がある。高精度の部品を用いない場合は、光ファイバと面発光型発光素子との高精度のアライメントを行うことで位置精度は達成されるが、基板表面に直交する方向のアライメントを行うと、光軸方向に移動してしまう問題がある。さらに、高精度に実装するために、フリップチップボンダを使用する際、この形状では上面に対して下面が小さく不安定で、倒れ易いため、トレイに並べて自動でピックアップし、アライメントおよび実装が行えないと言う問題点がある。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−072025号公報
【特許文献2】
特開2002−170965号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
よって、本発明における課題は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光を導波する光ファイバと、面発光型発光素子からの出射光をモニタするモニタ用受光素子を備えた光送信モジュールにおいて、面発光型発光素子から光ファイバへの光の結合効率が高く、モニタ用受光素子に入射される光強度の温度変化による変動がなく、面発光型発光素子、モニタ用受光素子に接続されるボンディングワイヤが製作途中あるいは製作後の取扱の際に破損することがなく、かつ高精度の部品を使用しなくとも、高精度の光軸合わせが容易で、かつ自動で実装することが可能である光送信モジュールを得ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、
請求項1にかかる発明は、面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光の一部を受光してモニタするモニタ用受光素子が固定されたサブマウントを、面発光型発光素子からの出射光を入射して導光する光ファイバが固定されたマウントに接合した光送信モジュールであって、
前記サブマウントには凹部が形成され、この凹部の底面に1以上の面発光型発光素子と1以上のモニタ用受光素子がそれぞれの発光面と受光面を表面に向けて固定され、
前記マウントには、サブマウントの面発光型発光素子の個数に応じた1以上の光ファイバが固定され、この光ファイバの先端面がサブマウントに臨む端面に露出しており、
面発光型発光素子からの出射光の一部が光ファイバに入射し、残部が光ファイバ先端面または前記マウントの端面で反射してモニタ用受光素子に入射するように、これら面発光型発光素子とモニタ用受光素子と光ファイバとが配置されていることを特徴とする光送信モジュールである。
【0010】
請求項2にかかる発明は、前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに平行で、光ファイバの端面がマウントの端面に対して角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
請求項3にかかる発明は、前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項2記載の光送信モジュールである。
請求項4にかかる発明は、前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0011】
請求項5にかかる発明は、前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項4に記載の光送信モジュールである。
請求項6にかかる発明は、前記サブマウントには、凹部の底面から凹部の内壁面を経てこれに隣接する上面に延びる電極が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0012】
請求項7にかかる発明は、前記凹部の底面に形成された電極の形状が、面発光型発光素子またはモニタ用受光素子の形状に対応する形状を有するか、もしくはこれら光素子に設けられた位置決め用のパターンに相応するパターンを有し、光素子実装領域を形成するものである請求項6に記載の光送信モジュールである。
請求項8にかかる発明は、前記上面には、マウントとの接合のための固定部が設けられている請求項6に記載の光送信モジュールである。
【0013】
請求項9にかかる発明は、前記マウントには、その外表面に電極が設けられ、サブマウントの上面の電極と電気的および機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
請求項10にかかる発明は、前記マウントには、その外表面に固定部が設けられ、サブマウントの上面に設けられた固定部と機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュールである。
【0014】
請求項11にかかる発明は、請求項1ないし10のいずれかに記載の光送信モジュールのサブマウントの凹部の底面に、さらに受光素子を1以上設け、前記マウントには、これに対応する光ファイバを固定したことを特徴とする双方向光伝送用光モジュールである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図1ないし図3は、この発明の光送信モジュールの一例を示すものである。この例の光送信モジュールは、マウント1とサブマウント2とから概略構成されている。マウント1は、この例では外形が角柱状となっているが、これに限定されることなく、任意の形状のものが使用できる。
このマウント1をなす材料は、絶縁体または半導体のいずれであっても良く、具体的にはアルミナセラミックス、窒化アルミニウム、石英ガラス、結晶化ガラス、シリコンなどが挙げられる。また、コバールなどの導電体でもよいが、このものではその表面を絶縁材料で被覆する必要がある。
【0016】
このマウント1の内部には、光ファイバ3を挿通し、固定するための円形の貫通孔4が形成されており、この例ではマウント1の長手方向に沿って延び、マウント1の長手方向の一の端面1aからこの端面1aに対向する端面1bに向かって、その中心部を貫くように形成されている。光ファイバ3およびこれを挿通する貫通孔4は、1個に限られず、複数個設けてもよい。
【0017】
また、マウント1の端面1aには、貫通孔4に挿通される光ファイバ3の先端が露出している。この端面1aは、サブマウント2の接合面となっており、サブマウント2に臨んでいる。さらに、この端面1aは、その表面が平滑とされ、光が良好に反射されるようになっている。
本発明では、この貫通孔4に代えて、その長手方向に沿ってV溝を形成し、このV溝に光ファイバを収容、固定することもできる。
【0018】
また、マウント1の外表面には、電極5が設けられている。この電極5は、サブマウント2を機械的に接合するとともにサブマウント2に実装される面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22との電気的接続を行うためのもので、この例では、一方の端面1aの四隅から2つの側面1c、1cに向けて帯状に延びて形成されているが、その位置、平面形状はこの例のものに限られることはない。
【0019】
また、電極5は、厚さ0.5〜5μmの導電性膜からなるもので、好ましくは2層以上の層から構成され、マウント1に接する最下層は、マウント1をなす材料に対して良好な密着性を有するクロム、ニッケル、チタンなどの化学的に活性な金属からなり、最上層は酸化による劣化がなく、接触抵抗が低い金、白金などの貴金属からなるものである。最下層と最上層との間には1層以上の他の導電材料からなる層を設けてもよい。
【0020】
また、この例のサブマウント2は、その外形が直方体状となっているが、これに限られるものではない。このサブマウント2の外形寸法は、マウント1の端面の寸法と同じか、これよりも小さくなっており、若干小さくすることが望ましい。
【0021】
これは、後工程での面発光型発光素子21の発光部と光ファイバ3の中心点との光軸合わせの際に、サブマウント2を少々移動しても、またマウント1およびサブマウント2の製作加工精度の誤差があっても、サブマウント2の側面がマウント1から外方に飛び出ることがなくなるためである。
このサブマウント2をなす材料には、上述のマウント1をなす材料と同じものでよい。
【0022】
このサブマウント2のマウント1に接合される1つの側面には、凹部7が形成されている。この例では、凹部7の平面形状は、長方形または台形であり、断面形状はU字状となっており、2つの側面が開放された形状になっているが、このような形状に限られることはなく、後述するように面発光型発光素子21とモニタ用受光素子22を収容するに十分な空間があればよい。この凹部7の形成により、サブマウント2の側面の残りの部分には、2つの上面7a、7aが形成されている。
【0023】
この凹部7の寸法は、面発光型発光素子21またはモニタ用受光素子22の厚さが100〜200μmで、ボンディングワイヤ19の高さが250〜300μmであるので、深さdが300〜500μm、好ましくは300〜400μmとされ、図2に示すように、ボンディングワイヤ19の一部が凹部7から飛び出さないようになっている。
【0024】
また、幅は、面発光型発光素子21あるいはモニタ用受光素子22の大きさよりも大きいことは勿論であり、50〜500μm、好ましくは100〜300μmだけこれら光素子21、22よりも広い方が望ましい。
さらに、図2に示すように、凹部7の内壁面7bと上面7aとのなす角度θは、90〜150度、好ましくは90〜135度となっている。
【0025】
そして、凹部7には電極8が設けられている。この電極8は、前記上面7aから内壁面7bを経て、底面7cに延びるものである。この電極8は、サブマウント2とマウント1とを機械的に接合するとともに、マウント1の電極5と電気的導通をとり、かつ面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22との電気的導通をとるためのものである。この電極8の平面形状は限定されず、図3ないし図7に示されるように、種々の形状をとることができる。この電極8をなす材料は、先に述べたマウント1に設けられた電極5をなすと同様のものが用いられる。
【0026】
さらに、凹部7の底面7cには、面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22を固定するための光素子実装領域が設定されている。この光素子実装領域は、具体的にはこれら光素子21、22を位置決めするためのパターンなどを指し、このパターンは光素子21、22の外形に合致する形状もしくは光素子21、22に相応の形状を有するものである。また、このパターンは底面7cに形成された電極8が兼ねるようにすることもできる。すなわち、この電極8の平面形状を上述のパターンとすることにより面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置決め、固定と電気的導通とを同時に行うことができる。
【0027】
また、凹部7の底面7cの電極8には、面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置決めのためのマーカーを形成しておくこともできる。このマーカーは、上述の光素子実装領域となるもので、例えばこれら光素子21、22の外形を示す点状または光素子21、22に形成された位置合わせパターンに相応するもので、種々の手段、例えば印刷や電極8の一部を除去する方法などによって可能である。
【0028】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cの光素子実装領域には、面発光型発光素子21およびモニタ用受光素子22が固定されている。ここでの面発光型発光素子21としては、面発光型レーザー(VCSEL)などが用いられ、モニタ用受光素子22には、ホトダイオードなどが用いられる。
【0029】
これら光素子21、22の固定は、例えば以下のようにして行われる。まず、光素子21、22の受発光面の裏面あるいは実装領域に予め共晶ハンダ層を蒸着、スパッタなどの薄膜形成プロセスにより設ける方法、実装領域にスクリーン印刷やディスペンサにより塗布した共晶ハンダを加熱して予め共晶ハンダ層を形成する方法、薄く広げた共晶ハンダペーストを光素子21、22の裏面に転写する方法、あるいは共晶ハンダプリフォームを実装領域に配置する方法などで共晶ハンダ層を形成する。
【0030】
このようにして、共晶ハンダ層を設けた後、光素子21、22を実装領域に位置合わせを行って置いたのち、加熱して共晶ハンダ層を溶融し、冷却して固定する。
これ以外の固定方法としては、金バンプを光素子21、22の裏面もしくは実装領域に設けておき、加熱、荷重圧着またはスクラブのいずれかもしくはこれらの組み合わせにより固定してもよい。
【0031】
このような面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の固定により、同時にこれら光素子21、22の裏面側の電極と電極8との電気的接続が行われる。また、光素子21、22の表面の電極と他の電極8との電気的接続はボンディングワイヤ19によって行われる。
さらに、これら光素子21、22の位置合わせは、光素子21、22の外形もしくは位置合わせパターンと、実装領域に形成されたパターン、マーカーとを用いることにより容易に行うことができる。
【0032】
マウント1とサブマウント2との接合は、上述のように面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22が実装されたサブマウント2の電極8をマウント1の電極5にそれぞれ接合することにより行われる。ここでの具体的な接合は、先に述べたようにして、まずそれぞれの電極5、8のいずれか一方もしくは両方に共晶ハンダ層を形成する。
【0033】
ついで、面発光型発光素子21の発光部とマウント1の光ファイバの貫通孔4の中心部との位置合わせを画像処理によって行い、加熱により共晶ハンダ層を溶融して両者を接合固定する。これ以外に金バンプを用いて先に述べたように接合固定してもよい。
【0034】
この際の位置合わせは、面発光型発光素子21の発光部とマウント1の貫通孔4の中心部もしくは面発光型発光素子21の発光部の位置合わせパターンとマウント1に形成されている位置合わせパターンとを用いることにより容易に行うことができる。
【0035】
また、本発明においては、マウント1の端面1aとサブマウント2の凹部7の底面7cとが互いに平行であっても良いし、互いにある角度を持つようにすることもできる。この角度は約3〜30度、好ましくは5〜15度の範囲で定められる。
【0036】
マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとを平行にするためには、例えば図3に示すようなサブマウント2を用いればよい。図3に示したサブマウント2は、凹部7の底面7cと上面7aとが互いに平行になっているものである。
【0037】
このサブマウント2を図8に示すように、マウント1の端面1aに接合することで、マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとが互い平行となる。この場合には、マウント1に固定される光ファイバ3の先端面を図示のように傾斜させ、マウント1の端面1aと光ファイバ3の先端面が互いに3〜30度の角度をなすようにすることで、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面で反射された光の一部はモニタ用受光素子22に結合する。光ファイバ3に照射されない光は、端面1aで反射されて面発光型発光素子21の周辺に放射され、面発光型発光素子21に対する戻り光の影響が少ないものとなる。
【0038】
マウント1の端面1aとサブマウント2の底面7cとが互いに平行にならないようにするには、例えば図4ないし図7に示すようなサブマウント2を採用することで可能になる。
【0039】
図4に示したサブマウント2では、凹部7の底面7cが傾斜し、底面7cと上面7aとがある角度をなすようになっているものである。このものの底面7cの傾斜方向は、上面7aの長手方向に沿って傾斜するようになっている。
【0040】
このサブマウント2を図9に示すようにマウント1の端面1aに接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面および端面1aで反射した光の一部がモニタ用受光素子22に結合する。このため、モニタ用受光素子22に入射される光量が増加する。
【0041】
図5に示したサブマウント2では、凹部7の底面7cが傾斜し、底面7cと上面7aとがある角度をなすようになっているものである。このものの底面7cの傾斜方向は、上面7aの短手方向に沿って傾斜するようになっている。
【0042】
このサブマウント2を図10に示すようにマウント1の端面1aに接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、面発光型発光素子21からの出射光の大部分が光ファイバ3に結合し、光ファイバ3の先端面および端面1aで反射した光の一部がモニタ用受光素子22に結合する。このため、モニタ用受光素子22に入射される光量が増加する。
【0043】
図6に示したサブマウント2では、両方の上面7がサブマウント2の底面に対して傾斜しており、底面7cはサブマウント2の裏面と平行で平坦となっている。上面7aの傾斜方向は、上面7aの長手方向に沿って形成されている。
【0044】
このサブマウント2を図11に示すような端面1aが傾斜したマウント1に接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、光ファイバ3の先端面からの反射光が面発光型発光素子21に戻るが、光ファイバ3の先端面に反射防止膜を設けるか、光ファイバ3の先端を斜めに切断しておけば、問題はない。
【0045】
図7に示したサブマウント2では、両方の上面7がサブマウント2の底面に対して傾斜しており、底面7cはサブマウント2の裏面と平行で平坦となっている。上面7aの傾斜方向は、上面7aの短手方向に沿って形成されている。
【0046】
このサブマウント2を図12に示すような端面1aが傾斜したマウント1に接合することで、図示のように端面1aと底面7cとが互いある角度をなすようになる。この場合には、光ファイバ3の先端面からの反射光が面発光型発光素子21に戻るが、光ファイバ3の先端面に反射防止膜を設けるか、光ファイバ3の先端を斜めに切断しておけば、問題はない。
【0047】
このようなマウント1とサブマウント2との接合に際しては、サブマウント2における面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の位置、マウント1における光ファイバ3の位置は、面発光型発光素子21からの出射光の一部が光ファイバ3に入射し、残部が光ファイバ3先端面またはマウント1の端面1aで反射してモニタ用受光素子22に入射するように、予め定められることは言うまでもない。
【0048】
このような光送信モジュールにあっては、面発光型発光素子21からの出射光の一部が光ファイバ3の先端面あるいはマウント1の端面1aで反射してモニタ用受光素子22に入射され、このモニタ用受光素子22からの出力が面発光型発光素子21の駆動用集積回路にフィードバックされ、面発光型発光素子21からの出射光の強度が一定に保持される。
【0049】
そして、このような光送信モジュールでは、面発光型発光素子21として安価に入手可能な面発光型レーザーやモニタ用受光素子22としてホトダイオードなどを使用できるので、安価に製造できる。
【0050】
また、面発光型発光素子21からの光の一部が光ファイバ3の先端面あるいはマウント1の端面1aで反射されてモニタ用受光素子22に入射されるので、特別の分光基体などの光分岐手段を必要とせず、構造が簡単で、しかも温度変化などによってモニタ用受光素子22に入力される光量が変動することもない。
【0051】
また、おおよその精度で面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22が実装されたサブマウント2をマウント1に固定する際、フリップチップボンダなどを用いて精度良く位置合わせを行った後に接合することができるため、高い結合効率の光モジュールとすることができる。さらに、自動での搬送が容易なため、生産性が高く、実装コストを低減できる。
【0052】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cとマウント1の端面1aとがある角度を持って交わるようにしたものでは、面発光型発光素子21の発光面と光ファイバ3の先端面が角度を形成することになり、戻り光による面発光型発光素子21への影響を低減できる。
【0053】
また、サブマウント2の凹部7の底面7cに面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22を固定するようにしたので、ボンディングワイヤ19の頂点よりも上面7aの高さを高くできるため、ボンディングワイヤ19が外方に飛び出すことがなく、その破損を防止することができる。
【0054】
さらに、マウント1の端面1aに直接光素子を固定していないので、端面1aと光素子11の受発光面との間に隙間が生じ、その内部を覗くことができるので、光ファイバ3をマウント1の貫通孔4に挿入するときに面発光型発光素子21、モニタ用受光素子22の発光面、受光面に光ファイバ3の先端が当たることがなく、これら光素子が損傷することがない。
【0055】
本発明では、面発光型発光素子およびモニタ用受光素子として、アレイタイプのものを用いることもでき、これにより伝送容量を増大することができる。また、面発光型発光素子の駆動用素子をマウントに実装することができ、光送信モジュールとして小型化が可能になり、駆動用素子と発光素子との距離を短くすることができるので、高周波帯域におけるノイズ対策にもなる。
【0056】
さらに、本発明の光送信モジュールの変形例として、サブマウントの凹部の底面に、面発光型発光素子およびモニタ用受光素子以外に、別の受光素子を固定し、マウントにこの受光素子に対応する光ファイバを固定したものが挙げられ、この変形例の光送信モジュールでは、双方向通信用の光モジュールとして使用することができる。
【0057】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光送信モジュールによれば、面発光型発光素子あるいはモニタ用受光用素子に接続されるボンディングワイヤがサブマウントの凹部の外方に突出することがなく、製作途中や製作後の取扱の際に破損することがない。また、面発光型発光素子からの光の一部が光ファイバの先端面あるいはマウントの端面で反射されてモニタ用受光素子に入射されるので、特別の分光基体などの光分岐手段を必要とせず、構造が簡単で、しかも温度変化などによってモニタ用受光素子に入力される光量が変動することもない。
【0058】
また、おおよその精度で面発光型発光素子あるいはモニタ用受光素子が実装されたサブマウントをマウントに固定する際、フリップチップボンダなどを用いて精度良く位置合わせを行った後に接合することが自動でできるため、生産性が高く、結合効率の高い光送信モジュールとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光送信モジュールの一例を示す分解斜視図である。
【図2】本発明でのサブマウントの例を示す側面図である。
【図3】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図4】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図5】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図6】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図7】本発明でのサブマウントの形状、電極、固定部の配置状態の例を示す図面である。
【図8】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図9】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図10】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図11】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【図12】本発明の送信光モジュールにおけるマウントとサブマウントとの接合状態の例を示す図面である。
【符号の説明】
1・・・マウント、2・・・サブマウント、3・・・光ファイバ、4・・・貫通孔、5・・・電極、7・・・凹部、8・・・電極、21・・・面発光型発光素子、22・・・モニタ用受光素子、19・・・ボンディングワイヤ。
Claims (11)
- 面発光型発光素子と、この面発光型発光素子からの出射光の一部を受光してモニタするモニタ用受光素子が固定されたサブマウントを、面発光型発光素子からの出射光を入射して導波する光ファイバが固定されたマウントに接合した光送信モジュールであって、
前記サブマウントには凹部が形成され、この凹部の底面に1以上の面発光型発光素子と1以上のモニタ用受光素子がそれぞれの発光面と受光面を表面に向けて固定され、
前記マウントには、サブマウントの面発光型発光素子の個数に応じた1以上の光ファイバが固定され、この光ファイバの先端面がサブマウントに臨む端面に露出しており、
面発光型発光素子からの出射光の一部が光ファイバに入射し、残部が光ファイバ先端面または前記マウントの端面で反射してモニタ用受光素子に入射するように、これら面発光型発光素子とモニタ用受光素子と光ファイバとが配置されていることを特徴とする光送信モジュール。 - 前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに平行で、マウントの端面に対して光ファイバの端面が互いに角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュール。
- 前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項2記載の光送信モジュール。
- 前記サブマウントの凹部の底面と前記マウントの端面とが互いに角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュール。
- 前記角度が3〜30度であることを特徴とする請求項4に記載の光送信モジュール。
- 前記サブマウントには、凹部の底面から凹部の内壁面を経てこれに隣接する上面に延びる電極が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュール。
- 前記凹部の底面に形成された電極の形状が、面発光型発光素子またはモニタ用受光素子の形状に対応する形状を有するか、もしくはこれら光素子に設けられた位置決め用のパターンに相応するパターンを有し、光素子実装領域を形成するものである請求項6に記載の光送信モジュール。
- 前記上面には、マウントとの接合のための固定部が設けられている請求項6に記載の光送信モジュール。
- 前記マウントには、その外表面に電極が設けられ、サブマウントの上面の電極と電気的および機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュール。
- 前記マウントには、その外表面に固定部が設けられ、サブマウントの上面に設けられた固定部と機械的に接合されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光送信モジュール。
- 請求項1ないし10のいずれかに記載の光送信モジュールのサブマウントの凹部の底面に、さらに受光素子を1以上設け、前記マウントには、これに対応する光ファイバを固定したことを特徴とする双方向光伝送用光モジュール。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016671A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Fujitsu Component Ltd | 光電変換モジュールの組み立て方法及びそれにより組み立てられた光電変換モジュール、及び、その光電変換モジュールを搭載した高速伝送用コネクタ、並びに、実装システム |
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US9075208B2 (en) | 2006-07-06 | 2015-07-07 | Fujitsu Component Limited | Method for assembling a photoelectric conversion module |
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2003
- 2003-04-14 JP JP2003108890A patent/JP2004317629A/ja active Pending
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