JP2003121496A - 半導体装置測定システム、半導体装置測定システムの制御方法及び記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 半導体装置測定試験に際し試験作業者の介入
を少なくし、作業性を向上させると共に歩留まりの向上
を図ること。 【解決手段】 半導体装置をセットする一つ又は複数の
ハンドラー装置１５，１７と、該ハンドラー装置にセッ
トされた半導体装置の測定試験を行うテスター装置１３
と、測定試験を終了した後に測定試験の実施数量を随時
加算する計数部と、該計数部の計数結果を出力する出力
手段と、試験結果を示す情報に応じて分類してストック
する分類手段とを備えた構成の半導体装置測定システ
ム。前記一つ又は複数のハンドラー装置１５，１７が、
不良品の再試験を実施することを示す情報を前記テスタ
ー装置１３へ出力した時に、前記テスター装置１３が前
記計数部の計数結果を消去して、当該不良品である半導
体装置の再試験を実施すると共に前記計数部に再計数を
行わせ、かつ再試験結果を示す情報を前記一つ又は複数
のハンドラー装置１５，１７へ出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の測定
試験を行う半導体装置測定システム、半導体装置測定シ
ステムの制御方法及び記憶媒体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体装置測定システムは、図示
していないが、半導体装置の測定試験の実施数量を計数
する計数部を備えており、半導体装置の測定試験を実施
するテスター装置と、未作業（未試験）品である半導体
装置をセットする例えば二つのハンドラー装置とを備え
ている。テスター装置は、二つのハンドラー装置がそれ
ぞれにセットする未作業品である半導体装置の測定試験
を個別に実施し、少なくとも双方何れかの半導体装置の
測定試験が終了すると、計数部に対して加算計数を行わ
せると共に、測定試験の終了に係る側のハンドラー装置
に対し試験結果を示す情報を出力する。各ハンドラー装
置には、試験結果を表示する表示部を備えている（テス
ター装置側に備えられる場合もある）と共に、良品をス
トックするポジションと不良品をストックするポジショ
ンとを備えている。

【０００３】テスター装置から測定試験の終了に係るハ
ンドラー装置の表示部に対し試験結果の情報が出力され
た場合、試験作業者は、当該情報の表示に基づき試験後
の半導体装置が良品であるか不良品であるかを知ること
ができる。試験作業者は、試験後の半導体装置が良品で
あることを認識した場合、当該半導体装置を手に取って
良品をストックするポジションに分類して移す。逆に試
験後の半導体装置が不良品であることを認識した場合
は、当該半導体装置を手に取って不良品をストックする
ポジションに分類して移す。

【０００４】次に、図１１に示すフローチャートを参照
し、従来の半導体装置測定システムの実施手順につき説
明する。先ずステップ１においては、試験作業者により
未作業品である所定数の半導体装置が各ハンドラー装置
の未作業品をセットするポジションにセットされた後、
試験作業員によりテスター装置における測定試験実行用
のプログラムを記憶するプログラムメモリから主メモリ
に今回の半導体装置の測定試験用のプログラムをロード
すると共に、計数部の計数結果（サマリー）を所定の操
作で消去する。しかる後、ステップ２において、テスタ
ー装置に対し所定の操作で測定試験実行の指示を与え、
これにより各半導体装置の測定試験を開始する。

【０００５】ステップ３において、測定試験の終了が認
識されると共に、例えばハンドラー装置における表示部
に対し測定試験の結果が表示されると、続くステップ４
において、計数部から計数結果の情報が出力される一方
で、試験作業者が本システムに介入し、試験作業者がハ
ンドラー装置にセットされて測定試験が終了された半導
体装置を手に取って回収し、測定試験の結果を示す情報
に基づき良品をストックするポジション、あるいは不良
品をストックするポジションへ分類して移す。

【０００６】また、ステップ５において、試験作業者が
介入し計数部の計数結果と試験終了後の半導体装置との
照合確認が行われる。そしてステップ６において、試験
作業者による照合確認の結果として今回測定試験が行わ
れた半導体装置が再作業（再試験）の必要があるか否か
の判定を行い、再試験の必要がないと判断された場合
は、ステップ７において、試験終了の段取りとしてテス
ター装置に対し試験終了の情報を出力させるが、再試験
の必要があると判断された場合は、ステップ１に戻り、
ハンドラー装置における未作業品をセットするポジショ
ンに当該試験後の不良品の半導体装置をセットし、かつ
計数部の計数値を消去すると共に、テスター装置に対し
再試験の実施を促す情報を出力させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来例においては、半
導体装置の測定試験を実施する場合に、先ず最初のステ
ップ１で試験作業員が介入し測定試験用のプログラムの
ロードと、計数部による計数値の消去と、更に、ハンド
ラー装置における未作業の半導体装置をセットするため
のポジションに、測定試験を実施すべき多数の半導体装
置をセットするという煩わしさがあり、また、ステップ
４、５においても、試験作業者が介入し試験後の半導体
装置の回収と計数部の計数結果（サマリー）との照合確
認とを行わなければならず、このことから明かな通り試
験作業者による手作業の介入が非常に多く、従って、テ
スター装置の起動を停止させる時間が試験作業者の熟練
度に係らず相当に長くなって非効率的であり、作業性に
劣るものである。

【０００８】つまり、従来例においては、半導体装置の
試験結果に対する照合確認のための段取り工数に時間が
掛かるばかりでなく、測定試験を実施する一連の流れの
中でテスター装置の停止時間が随所で発生し生産性を悪
くしている。しかも、各ハンドラー装置への半導体装置
の出し入れが頻繁にあり、半導体装置をトレイ上から落
下させることもあって製品を破損させてしまう事態も生
じていた。このような事態は測定試験を行う半導体装置
の数量が多くなればなるほど顕著に現われるもので、測
定試験の数量の増加と共に停止時間も増えてゆくため、
作業者の有効活用に対して支障を来すという問題点を有
するものであった。

【０００９】従って、従来例においては、半導体装置の
測定試験に対し試験作業者の介入を少なくすると共に、
半導体装置測定システムとしても作業性を向上させ、し
かも製品の歩留まりを向上させることができるようにす
ることに解決課題を有する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
するための具体的手段として本発明に係る第１の発明
は、半導体装置をセットする一つ又は複数のハンドラー
装置と、該ハンドラー装置にセットされた半導体装置の
測定試験を行うテスター装置と、該テスター装置が測定
試験を終了した後に測定試験の実施数量を随時加算する
計数部と、該計数部の計数結果を出力する出力手段とを
備えた半導体装置測定システムであって、前記一つ又は
複数のハンドラー装置に、未作業品である半導体装置を
セットする第一ポジションと、試験後の良品である半導
体装置をストックする第二ポジションと、試験後の不良
品である半導体装置をストックする第三ポジションとを
備えると共に、前記テスター装置からの試験結果を示す
情報に応じて試験後の半導体装置を前記第二ポジション
及び／または前記第三ポジションに分類してストックす
る分類手段とを備え、前記一つ又は複数のハンドラー装
置が、未作業品である半導体装置の全て測定試験を終え
て前記テスター装置に対し作業終了を示す情報を出力し
た時に、前記テスター装置が前記計数部の計数結果を前
記出力手段に出力させ、かつ前記一つ又は複数のハンド
ラー装置が、前記不良品の再試験を実施することを示す
情報を前記テスター装置へ出力した時に、前記テスター
装置が前記計数部の計数結果を消去して、当該不良品で
ある半導体装置の再試験を実施すると共に前記計数部に
再計数を行わせ、かつ再試験結果を示す情報を前記一つ
又は複数のハンドラー装置へ出力することを特徴とする
半導体装置測定システムを提供するものである。

【００１１】また、本発明に係る第２の発明は、半導体
装置をセットする一つ又は複数のハンドラー装置と、該
ハンドラー装置にセットされた半導体装置の測定試験を
行うテスター装置と、該テスター装置が測定試験を終了
した後に測定試験の実施数量を随時加算する計数部と、
該計数部の計数結果を出力する出力手段とを備えた半導
体装置測定システムの制御方法であって、前記一つ又は
複数のハンドラー装置に、未作業品である半導体装置を
セットする第一ポジションと、試験後の良品である半導
体装置をストックする第二ポジションと、試験後の不良
品である半導体装置をストックする第三ポジションとを
備えると共に、前記テスター装置からの試験結果を示す
情報に応じて試験後の半導体装置を前記第二ポジション
及び／または前記第三ポジションに分類してストックす
る分類手段とを備え、前記一つ又は複数のハンドラー装
置から前記テスター装置に対し未作業品である半導体装
置の試験開始を指示する情報を出力させるステップと、
前記テスター装置が前記未作業品である半導体装置の測
定試験を実施した後、前記計数部に加算計数を行わせる
ステップと、前記テスター装置から前記一つ又は複数の
ハンドラー装置に対し試験結果として前記半導体装置が
良品であるか不良品であるかを示す情報を出力させるス
テップと、前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テ
スター装置からの試験結果を示す情報を取得した時に、
該試験結果を示す情報に基づき前記分類手段を起動して
前記半導体装置を前記第二ポジション及び／または前記
第三ポジションに分類して移すステップと、未作業品が
無くなった段階で前記一つ又は複数のハンドラー装置か
ら前記テスター装置に対し作業終了を示す情報を出力さ
せるステップと、前記テスター装置が前記一つ又は複数
の全てのハンドラー装置から作業終了を示す情報を取得
した段階で前記計数部の計数結果を前記出力手段に出力
させるステップとからなることを特徴とする半導体装置
測定システムの制御方法を提供するものである。

【００１２】この第２の発明においては、前記一つ又は
複数のハンドラー装置から前記テスター装置に対し前記
不良品の半導体装置の再試験を実施することを示す情報
を出力させるステップと、前記テスター装置が前記再試
験を実施することを示す情報を取得した場合に、前記計
数部の計数結果を消去させるステップと、前記テスター
装置が当該不良品である半導体装置の再試験を実施した
後に前記計数部に再計数を行わせるステップと、前記テ
スター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装置に対
し再試験結果を示す情報を出力させるステップと、前記
一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置から
の試験結果を示す情報を取得した後に、前記試験結果を
示す情報に基づき前記分類手段を起動して前記再試験後
の半導体装置を前記第二ポジション及び／または前記第
三ポジションに分類して移すステップとを含むことを付
加的要件としているのである。

【００１３】更に、本発明に係る第３の発明として、半
導体装置をセットする一つ又は複数のハンドラー装置
と、該ハンドラー装置にセットされた半導体装置の測定
試験を行うテスター装置と、該テスター装置が測定試験
を終了した後に測定試験の実施数量を随時加算する計数
部と、該計数部の計数結果を出力する出力手段とを備え
た半導体装置測定システムを制御方法するプログラムを
記憶した記憶媒体であって、前記一つ又は複数のハンド
ラー装置に、未作業品である半導体装置をセットする第
一ポジションと、試験後の良品である半導体装置をスト
ックする第二ポジションと、試験後の不良品である半導
体装置をストックする第三ポジションとを備えると共
に、前記テスター装置からの試験結果を示す情報に応じ
て試験後の半導体装置を前記第二ポジション及び／また
は前記第三ポジションに分類してストックする分類手段
とを備え、前記一つ又は複数のハンドラー装置から前記
テスター装置に対し未作業品である半導体装置の測定試
験開始を指示する情報を出力させるステップと、前記テ
スター装置が前記未作業品である半導体装置の試験を実
施した後、前記計数部に加算計数を行わせるステップ
と、前記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラ
ー装置に対し試験結果として前記半導体装置が良品であ
るか不良品であるかを示す情報を出力させるステップ
と、前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター
装置からの試験結果を示す情報を取得した後に、前記試
験結果を示す情報に基づき前記分類手段を起動させて測
定試験後の半導体装置を前記第二ポジションに及び／ま
たは前記第三ポジションに分類して移すステップと、未
作業品が無くなった段階で前記一つ又は複数のハンドラ
ー装置から前記テスター装置に対し作業終了を示す情報
を出力させるステップと、前記テスター装置が前記一つ
又は複数の全てのハンドラー装置から作業終了を示す情
報を取得した段階で前記計数部の計数結果を前記出力手
段に出力させるステップとからなるプログラムを記憶し
たことを特徴とする記憶媒体を提供するものである。

【００１４】 この第３の発明においては、前記一つ
又は複数のハンドラー装置から前記テスター装置に対し
前記不良品の半導体装置の再試験を実施することを示す
情報を出力させるステップと、前記テスター装置が前記
再試験を実施することを示す情報を取得した場合に、前
記計数部の計数結果を消去させるステップと、前記テス
ター装置が当該不良品である半導体装置の再試験を実施
した後に前記計数部に再計数を行わせるステップと、前
記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装置
に対し再試験結果を示す情報を出力させるステップと、
前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置
からの試験結果を示す情報を取得した後に、前記試験結
果を示す情報に基づき前記分類手段を起動して前記再試
験後の半導体装置を前記第二ポジション及び／または前
記第三ポジションに分類して移すステップとを含むプロ
グラムを更に記憶したことを付加的要件とするものであ
る。

【００１５】本発明に係る半導体装置測定システムは、
一つ又は複数のハンドラー装置の第一ポジションに未作
業品（未試験）である半導体装置をセットしてテスター
装置に対し測定開始の指示を出力することで、テスター
装置側で自動的に前回の試験実施の計数値を消去した上
で測定試験を開始し、しかも、測定試験の終了後にはハ
ンドラー装置に備える分類手段が自動的に起動して測定
試験後の半導体装置を試験結果に応じて良品をストック
する第二ポジションへ移したり、不良品をストックする
第三ポジションへ移したりする動作を実行するように構
成したものであり、試験作業員の介入する余地を低減
し、特に、測定試験終了後には試験作業員が試験終了後
の半導体装置を手に持って移動させる必要がなくなり、
従って、誤って落下させてしまうという事態も事前に回
避することができ、歩留まりも向上すると共に、製品処
置をしている間の停止時間が至って少なく、その分効率
の良い測定試験を行うことができ、所定時間あたりの処
理件数を大幅に増加させることができるばかりでなく、
計数部の計数実行と前回計数値の消去に関しても自動的
に行うことができるから、試験作業員が計算ミスをして
しまうということも回避することができ、測定試験に対
する信頼性も高まるのである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明に係る
一実施の形態について説明する。図１は本実施の形態の
半導体装置測定システム１１の概略構成を説明する説明
図である。本実施の形態の半導体装置測定システム１１
は、図示しない半導体装置の測定試験の実施数量を計数
する計数部（図示せず）、及び計数部の計数結果を出力
する出力手段１２を備えている一方で、半導体装置の測
定試験を実施する構成を備えるテスター装置１３と、未
作業品（未測定試験品）である半導体装置をセットする
例えば二つのハンドラー装置１５，１７とを例えば情報
授受のための個別のケーブル、並びに例えば未作業品で
ある半導体装置の情報入力側と情報出力側とに試験用端
子等を電気的に接続して構成されている。

【００１７】テスター装置１３は、二つのハンドラー装
置１５，１７それぞれがセットする未作業品である半導
体装置の測定試験を個別に実施し、少なくとも双方何れ
かの半導体装置の測定試験が終了すると計数部に加算計
数を行わせると共に、測定試験の終了に係る側のハンド
ラー装置に対し試験結果を示す情報（例えば良品を示す
２値信号、不良品を示す２値信号等）を出力する。各ハ
ンドラー装置１５，１７は、テスター装置１３側に備え
られる場合もあるが、測定試験結果を表示する表示部
（例えば液晶画像装置や特定色の点灯ランプ等であり、
前者の場合は例えば画像の特定領域にＯＫ、又はＮＧを
表示し、後者の場合は例えば緑に点灯すると良品を示
し、赤に点灯すると不良品を示す）を備えていると共
に、図２及び図３に示すように、未作業品（未測定試験
品）である半導体装置をセットする第一ポジション２１
と、測定試験の結果として良品である半導体装置をスト
ックする第二ポジション２３と、不良品である半導体装
置をストックする第三ポジション２５とを備えている。

【００１８】テスター装置１３は、半導体装置の測定試
験を実施する場合、テスター装置１３の内部に設定して
あるプログラムメモリから、当該半導体装置の機種、形
式等に対応して構成されている測定試験用のプログラム
を、例えば主メモリにロードし、当該プログラムに基づ
いて各種の測定試験を実施する。言うまでもないが、半
導体装置には、例えば様々なロジックが組まれたり、当
該半導体装置が組み込まれる電気的又は機械的装置の目
的における機能の、少なくとも、一部を機能的に担う各
種電気回路が構成されたりするものであり、テスター装
置１３はそのロジックや電気回路が正常に作動するか否
かを測定して試験するものである。一般的にはある入力
に対し適切な出力が得られるか否かを順次に測定してゆ
くものであると考えても良い。

【００１９】各ハンドラー装置１５，１７には、詳しく
図示していないが、テスター装置１３が第一ポジション
２１にセットされた半導体装置の測定試験を実施した結
果として、テスター装置１３から当該半導体装置の測定
結果を示す情報が出力されてきたことで、例えば良品で
あると判明した場合、第一ポジション２１にセットされ
ている良品である半導体装置を第二ポジション２３へ分
類して移す動作を実行し、逆に測定試験を実施された半
導体装置が不良品であると判明した場合、第一ポジショ
ン２１にセットされている不良品である半導体装置を第
三ポジション２５に分類して移す動作を実行する分類手
段が構成されている。

【００２０】この分類手段については、図示していない
が、一実施の形態として、例えば数本のフィンガー部を
備えたハンド機構を構成する場合を考えることができ
る。ハンド機構は、ハンドラー装置１５，１７の各々に
おいて直立させて構成された直立フレーム部の上位位置
に備えられる水平のレールに支持されて第一ポジション
２１にセットされた半導体装置の測定試験が実施されて
いる間は第一ポジション２１の中心真上に停止してお
り、測定試験の結果が明らかとなった時点で降下移動を
行い、かつ各フィンガー部が内側に閉じる動作を行って
測定試験後の半導体装置を側方から挟持すると共に上方
移動を行い、更に第二ポジション２３、あるいは第三ポ
ジション２５へ向けて前記水平のレールに沿って水平移
動し、目的のポジション（２３又は２５）の中心真上で
停止する。

【００２１】そしてハンド機構は降下移動を行い、停止
に適する位置（例えば距離センサ等で識別が可能であ
る）で降下移動を停止するとともに各フィンガー部を開
いて測定試験後の半導体装置から離れる。これにより測
定試験後の半導体装置が目的のポジション（２３又は２
５）にストックされると、ハンド機構は再び第一ポジシ
ョン２１の中心真上に戻る移動を行う。

【００２２】即ち、本実施の形態の半導体装置測定シス
テム１１においては、図４に示したように、テスター装
置１３のプログラム起動により、各ハンドラー装置１
５，１７の第一ポジション２１，２１にセットされた半
導体装置の測定試験が実施されるものとなり、テスター
装置１３が各ハンドラー装置１５，１７の第一ポジショ
ン２１にセットされた半導体装置の測定試験を実施した
結果、テスター装置１３から各ハンドラー装置１５，１
７に対し測定試験結果の情報が出力されると、図５に示
したように、各ハンドラー装置１５，１７に備えられる
分類手段（図示せず）が起動を開始して、第一ポジショ
ン２１にセットされている測定試験後の半導体装置を第
二ポジション２３（良品ポジション）に分類して移した
り、第三ポジション２５（不良品ポジション）に分類し
て移したりすることになる。

【００２３】この測定試験において、双方のハンドラー
装置１５，１７のうち何れか一方の測定試験が全て終了
された場合、即ち例えばハンドラー装置１５側が測定試
験を全て終えて測定試験後の半導体装置の分類をも終了
した後は待機状態にあり、もう一方の例えばハンドラー
装置１７側の半導体装置の測定試験は更に継続して行わ
れることになる。

【００２４】このようにして、例えばハンドラー装置１
７においても測定試験を全て終えた場合には、図４に示
すように、出力手段１２が起動して所定の用紙１９に両
者の計数結果がプリントされるものとなるが、プリント
の仕方は各ハンドラー装置１５，１７毎に測定試験の実
施数量をプリントする場合と、両者の測定試験の実施数
量の総数をプリントする場合とがあり、これはテスター
装置１３への所定の操作により決定されるものである。
試験作業者は、所定の用紙１９にプリントされた測定試
験の実施数量を参照することで不良品である半導体装置
の再試験を行うか否かの判断をする。

【００２５】各ハンドラー装置１５，１７にセットされ
た全ての半導体装置の測定試験が終了したことで、各ハ
ンドラー装置１５，１７からテスター装置１３に対し作
業終了を示す情報が出力された場合、テスター装置１３
側の処理動作も終了される。そして、試験作業者が所定
の用紙１９から測定試験の実施数量を参照した結果、測
定試験の結果不良品と判定されて第三ポジション２５に
ストックされている半導体装置の再試験を行うと判断し
た場合、図６に示したように、先ず各ハンドラー装置１
５，１７において、分類手段が起動を開始して第三ポジ
ション２５にストックされている不良品としての半導体
装置を掴み取り、これを第一ポジション２１へ移す動作
を順次に実行し、第三ポジション２５に不良品である半
導体装置がなくなるまで繰り返し行われる。しかる後
に、試験作業者の所定の操作により各ハンドラー装置１
５，１７からテスター装置１３に対し再試験を行う旨の
情報が出力されると、テスター装置１３は、計数部の計
数値を消去すると共に、再びハンドラー装置１５，１７
の第一ポジション２１にセットし直されている半導体装
置の再測定試験を開始する。

【００２６】かくして、図７に示したように、テスター
装置１３によりハンドラー装置１５，１７の第一ポジシ
ョン２１に再セットされた半導体装置の再試験が実施さ
れたことで、テスター装置１３から各ハンドラー装置１
５，１７に対し再試験の結果を示す情報が出力される
と、各ハンドラー装置１５，１７はそれぞれの分類手段
を起動させ、図８に示すように、各ハンドラー装置１
５，１７の第一ポジション２１に再セットされていた半
導体装置を再試験の結果に応じて第二ポジション２３へ
分類して移したり、第三ポジション２５に分類して移す
ことになる。そして各ハンドラー装置１５，１７からテ
スター装置１３に対し全ての半導体装置の再試験の作業
が終了したことを示す情報が出力されると、テスター装
置１３における計数部の計数結果が出力手段１２の起動
により所定の用紙１９にプリントされる。

【００２７】テスター装置１３による再試験が全て終了
した後には、図９に示すように、各ハンドラー装置１
５，１７の第二ポジション２３にストックされている良
品である半導体装置は、試験作業者により収容箱３１の
良品ポジション３３に収容されるものとなり、各ハンド
ラー装置１５，１７の第三ポジション２５にストックさ
れている不良品である半導体装置は、同じく試験作業者
により収容箱３１の不良品ポジション３５に収容される
ものとなる。

【００２８】次に、半導体装置測定システム１１の制御
方法について説明する。この制御方法は、少なくとも以
下の各ステップを含むプログラムにより実現される。即
ち、一つ又は複数のハンドラー手段１５，１７…からテ
スター装置１３に対し未作業品である半導体装置の試験
開始を指示する情報を出力させるステップと、テスター
装置１３が未作業品である半導体装置の測定試験を実施
した後、計数部に加算計数を行わせるステップと、テス
ター装置１３から一つ又は複数のハンドラー装置１５，
１７…に対し試験結果として半導体装置が良品であるか
不良品であるかを示す情報を出力させるステップと、一
つ又は複数のハンドラー装置１５，１７…がテスター装
置１３からの試験結果を示す情報を取得した後に、試験
結果を示す情報に基づき分類手段を起動して半導体装置
を第二ポジション２３に分類して移すか、もしくは第三
ポジション２５に分類して移すステップと、未作業品が
無くなった段階で一つ又は複数のハンドラー装置１５，
１７…からテスター装置１３に対し作業終了を示す情報
を出力させるステップと、テスター装置１３が一つ又は
複数の全てのハンドラー装置１５，１７…から作業終了
を示す情報を取得した段階で計数部の計数結果を出力手
段１２に出力させるステップと含むプログラムにより実
現されるものである。

【００２９】更に、一つ又は複数のハンドラー装置１
５，１７からテスター装置１３に対し不良品の半導体装
置の再試験を実施することを示す情報を出力させるステ
ップと、テスター装置１３が再試験を実施することを示
す情報を取得した場合に、計数部の計数結果を消去させ
るステップと、テスター装置１３が当該不良品である半
導体装置の再試験を実施した後に計数部に再計数を行わ
せるステップと、テスター装置から一つ又は複数のハン
ドラー装置１５，１７…に対し再試験結果を示す情報を
出力させるステップと、一つ又は複数のハンドラー装置
１５，１７…がテスター装置１３からの試験結果を示す
情報を取得した後に、試験結果を示す情報に基づき分類
手段を起動して再測定試験後の半導体装置を第二ポジシ
ョン２３に分類して移すか、もしくは第三ポジション２
５に分類して移すステップと、一つ又は複数のハンドラ
ー装置１５，１７…からテスター装置１３に対し作業終
了を示す情報を出力させるステップと、テスター装置１
３が一つ又は複数の全てのハンドラー装置１５，１７…
から作業終了を示す情報を取得した段階で計数部の計数
結果を出力手段１２に出力させるステップとを含むプロ
グラムにより実現される。そして上述のプログラムは、
図示しない記憶媒体に記憶され、該記録媒体はコンピュ
ーターにより読みとって上記ステップが実行できるもの
である。

【００３０】次に、上述したプログラムを含む図１０に
示すフローチャートに基づき本実施の形態の半導体装置
測定システム１１の処理動作について説明する。なお、
ステップ１０１からステップ１０８はハンドラー装置１
５，１７側における処理の流れを示しており、ステップ
１２１からステップ１３２はテスター装置１３側の処理
の流れを示しているものである。

【００３１】先ず、ステップ１２１において、テスター
装置１３側の所定の操作によりテスター装置１３内にお
けるプログラムメモリから今回の測定試験に対応する測
定試験用のプログラムを、例えば主メモリにロードす
る。この段階でステップ１０１においては、ハンドラー
装置１５，１７側の第一ポジション２１に未作業品であ
る半導体装置（製品）のセットが完了したか否かを判定
しており、ここで製品セット完了であると判定された場
合、ステップ１０２において、ハンドラー装置１５，１
７の双方、又は一方からテスター装置１３に対しセット
完了通知の情報が出力される。これによりステップ１２
２において、テスター装置１３側の計数部における計数
値の消去が行われ、かつステップ１２３において、テス
ター装置１３からハンドラー装置１５，１７の双方に対
し、もしくは何れか一方（即ちセット完了通知の情報の
出力側）に対し準備完了通知の情報が出力される。

【００３２】この段階でステップ１０３においては、各
ハンドラー装置１５，１７側でテスター装置１３から準
備完了通知の情報が入力されたか否かの判定を行ってお
り、ここでテスター装置１３から準備完了通知の情報が
入力されたと判定されると、ステップ１０４において、
ハンドラー装置１５，１７の双方、又は何れか一方から
テスター装置１３に対し測定開始の指示に係る情報が出
力される。

【００３３】一方、ステップ１２４においては、テスタ
ー装置１３がハンドラー装置１５，１７から測定開始の
指示に係る情報が入力されたか否かの判定を行ってお
り、ここで測定開始の指示に係る情報が入力されたと判
定されると、ステップ１２５において、測定開始の指示
に係る情報を出力したハンドラー装置１５，１７の双
方、又は何れか一方の第一ポジション２１にセットされ
ている未作業品（製品）である半導体装置の測定試験を
開始する。

【００３４】しかる後に、ステップ１２６において、ハ
ンドラー装置１５，１７の双方、又は何れか一方の第一
ポジション２１にセットされている未作業品（製品）で
ある半導体装置の測定試験が終了されたことが検出され
ると、ステップ１２７において、計数部における計数加
算の処理が行われ、かつステップ１２８において、今回
測定試験が終了された側のハンドラー装置１５，１７何
れか一方、又は双方に対し測定結果の内容（良品か不良
品か）を通知する情報が出力される。

【００３５】そして、ステップ１０５において、ハンド
ラー装置１５，１７の双方、又は何れか一方（即ち測定
試験が終了された側）でテスター装置１３からの測定結
果の情報が取得されたことが検出されると、ステップ１
０６において、分類手段を起動させ、分類手段に第一ポ
ジション２１にセットされている測定試験後の半導体装
置を今回の測定結果に対応するポジション（２３又は２
５）へ分類して移させる動作を行わせる。これにより測
定試験後の半導体装置は良品である場合は第二ポジショ
ン２３にストックされ、不良品である場合は第三ポジシ
ョン２５にストックされる。

【００３６】しかる後、ステップ１０７においては、ハ
ンドラー装置１５，１７の第一ポジション２１に未作業
品である半導体装置が存在するか否かを判定し、ここで
未作業品（製品）があると判定された場合はステップ１
０４へ戻るが、未作業品（製品）がないと判定された場
合には、ステップ１０８において、未作業品がなくなっ
たハンドラー装置１５，１７の双方、又は何れか一方か
らテスター装置１３に対し作業終了通知の情報が出力さ
れる。

【００３７】一方、ステップ１２９においては、ハンド
ラー装置１５，１７から作業終了通知の情報が入力され
たか否かの判定を行っており、ここでハンドラー装置１
５，１７の双方、又は何れか一方から作業終了通知の情
報が入力されたと判定されると、ステップ１３０におい
て、全てのハンドラー装置１５，１７から作業終了通知
の情報が入力されたか否かを判定し、例えば、全てのハ
ンドラー装置１５，１７から作業終了通知の情報が出力
されていないと判定された場合には、ステップ１３１に
おいて、他のハンドラー装置（１５又は１７）の測定試
験が実施中であるか否かを判定する。そして、他のハン
ドラー装置の測定試験が実施中であると判定された場合
には、ステップ１２６へ戻るが、逆に実施中ではないと
判定された場合には、ステップ１２４へ戻る。

【００３８】また、ステップ１３０において、全てのハ
ンドラー装置１５，１７から作業終了通知の情報が出力
されたと判定された場合には、ステップ１３２へ進んで
計数部の計数値を出力手段１２の起動により所定の用紙
１９にプリントし、本フローを終了する。

【００３９】このように一応の作業が終了して、試験作
業者が所定の用紙１９にプリントされた測定試験の実施
数量を参照した結果と、不良品と判定されて第三ポジシ
ョン２５にストックされている半導体装置の数量とを対
比した結果、再試験を行うべきであると判断した場合、
分類手段を起動させて第三ポジション２５にストックさ
れている不良品と判定された半導体装置を再度第一ポジ
ション２１に移す動作を実行する。そして、ステップ１
０１において、製品セット完了が認識されると、ステッ
プ１０２において、テスター装置１３に対しセット完了
通知の情報が出力され、これによりステップ１２２にお
いて、計数部の計数値が消去されると、後続のステップ
１２３、及びステップ１０３に続く処理が順次に実行さ
れて、半導体装置の再試験が実施されるものとなる。

【００４０】この実施の形態にあっては、各ハンドラー
装置１５，１７の第一ポジション２１に未作業品（また
は再試験品の場合も同じ）である半導体装置をセットし
てテスター装置１３に対し測定開始の指示を出力するこ
とにより、テスター装置１３側で自動的に前回の計数値
を消去した上で測定試験を開始し、しかも、測定試験の
終了後にはハンドラー装置１５，１７の分類手段が自動
的に起動して測定試験後の半導体装置を試験結果に応じ
て良品をストックする第二ポジション２３へ移したり、
不良品をストックする第三ポジション２５へ移したりす
る動作を実行するように構成されているから、試験作業
員の介入する余地を低減し、特に、測定試験終了後には
試験作業員が試験終了後の半導体装置を手に持って移動
させる必要がなくなり、従って誤って落下させてしまう
という事態も事前に回避することができ、歩留まりも向
上する。

【００４１】また、この実施の形態の半導体装置測定シ
ステム１１にあっては、製品処置をしている間の停止時
間が至って少なく、その分効率の良い測定試験を行うこ
とができ、所定時間あたりの処理件数を大幅に増加する
ことができる。さらに、計数部の計数実行と前回計数値
の消去に関しても自動的に行うことができるから、試験
作業員が計算ミスをしてしまうということも有効に回避
することができ、測定試験に対する信頼性も増す。

【００４２】なお、この実施の形態においては、分類手
段の構成を複数のフィンガー部を備えるハンド機構のも
のとして説明したが、本発明の要旨はこれに限定される
ものではなく、所定間隔毎に吸盤を下方に向けて備える
もので各吸盤が半導体装置の上面に押し付けられた時点
で各吸盤内の空気を抜き、これにより半導体装置を移動
させることを可能にする一方、試験後の半導体装置を目
的のポジションに移動させた後、各吸盤内に空気を送り
各吸盤を半導体装置から離れさせるという機構を考えて
も良く、あるいは所定間隔毎に複数の電磁石を配設して
電磁石に流す電流の有無により試験後の半導体装置を掴
んだり離したりすることができる構成を考えても良く、
その他、如何なる構成や方法を用いても良いのである。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体装置測定システムは、半導体装置をセットする一つ又
は複数のハンドラー装置と、該ハンドラー装置にセット
された半導体装置の測定試験を行うテスター装置と、該
テスター装置が測定試験を終了した後に測定試験の実施
数量を随時加算する計数部と、該計数部の計数結果を出
力する出力手段とを備えた半導体装置測定システムであ
って、前記一つ又は複数のハンドラー装置に、未作業品
である半導体装置をセットする第一ポジションと、試験
後の良品である半導体装置をストックする第二ポジショ
ンと、試験後の不良品である半導体装置をストックする
第三ポジションとを備えると共に、前記テスター装置か
らの試験結果を示す情報に応じて試験後の半導体装置を
前記第二ポジション及び／または前記第三ポジションに
分類してストックする分類手段とを備え、前記一つ又は
複数のハンドラー装置が、未作業品である半導体装置の
全て測定試験を終えて前記テスター装置に対し作業終了
を示す情報を出力した時に、前記テスター装置が前記計
数部の計数結果を前記出力手段に出力させ、かつ前記一
つ又は複数のハンドラー装置が、前記不良品の再試験を
実施することを示す情報を前記テスター装置へ出力した
時に、前記テスター装置が前記計数部の計数結果を消去
して、当該不良品である半導体装置の再試験を実施する
と共に前記計数部に再計数を行わせ、かつ再試験結果を
示す情報を前記一つ又は複数のハンドラー装置へ出力す
る構成としたことにより、試験作業員の介入する余地を
低減し、特に、測定試験終了後には試験作業員が試験終
了後の半導体装置を手に持って移動させる必要がなくな
り、従って、誤って落下させてしまうという事態も事前
に回避することができ、歩留まりも向上するという優れ
た効果を奏する。

【００４４】また、本発明によれば、製品処置をしてい
る間の停止時間が至って少なく、その分効率の良い測定
試験を行うことができ、所定時間あたりの処理件数を大
幅に増加させることができるという優れた効果を奏す
る。

【００４５】さらに、計数部の計数実行と前回計数値の
消去に関しても自動的に行うことができるから、試験作
業員が計算ミスをしてしまうということも回避すること
ができ、測定試験に対する信頼性も高まるという優れた
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る半導体装置測定シ
ステムを説明するためのブロック図である。

【図２】同半導体測定システムにおける一つのハンドラ
ー装置の概略構成を説明するためのブロック図である。

【図３】同半導体測定システムにおける他のハンドラー
装置の概略構成を説明するためのブロック図である。

【図４】同半導体装置測定システムにおける測定試験実
施、及び測定試験終了時の状態を説明するためのブロッ
ク図である。

【図５】同半導体測定システムにおけるハンドラー装置
が未作業品を測定試験の結果に応じて分類する状態を説
明するためのブロック図である。

【図６】同半導体測定システムにおけるハンドラー装置
が測定試験の結果、不良品である半導体装置を再測定試
験のために第一ポジションに移す状態を説明するための
ブロック図である。

【図７】同半導体測定システムにおけるハンドラー装置
が半導体装置の再測定試験結果に応じて分類する状態を
説明するためのブロック図である。

【図８】同半導体測定システムにおけるハンドラー装置
が、再測定試験実施後の結果に応じて分類する状態を説
明するためのブロック図である。

【図９】同半導体測定システムにおけるハンドラー装置
が、再測定試験実施後の半導体装置を分類した後、良品
と不良品を収容箱に回収する時の状態を説明するための
ブロック図である。

【図１０】本発明の一実施の形態に係る半導体装置測定
システムの制御を行う一具体例を説明するためのフロー
チャート図である。

【図１１】従来の技術を示すフローチャート図である。

【符号の説明】 １１ 半導体装置測定システム、 １２ 出力手段、
１３ テスター装置、１５，１７ ハンドラー装置、
１９ 用紙、 ２１ 第一ポジション、２３ 第二ポジ
ション、 ２５ 第三ポジション、 ３１ 収容箱。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置をセットする一つ又は複数の
   ハンドラー装置と、該ハンドラー装置にセットされた半
   導体装置の測定試験を行うテスター装置と、該テスター
   装置が測定試験を終了した後に測定試験の実施数量を随
   時加算する計数部と、該計数部の計数結果を出力する出
   力手段とを備えた半導体装置測定システムであって、 前記一つ又は複数のハンドラー装置に、未作業品である
   半導体装置をセットする第一ポジションと、試験後の良
   品である半導体装置をストックする第二ポジションと、
   試験後の不良品である半導体装置をストックする第三ポ
   ジションとを備えると共に、前記テスター装置からの試
   験結果を示す情報に応じて試験後の半導体装置を前記第
   二ポジション及び／または前記第三ポジションに分類し
   てストックする分類手段とを備え、 前記一つ又は複数のハンドラー装置が、未作業品である
   半導体装置の全て測定試験を終えて前記テスター装置に
   対し作業終了を示す情報を出力した時に、前記テスター
   装置が前記計数部の計数結果を前記出力手段に出力さ
   せ、 かつ前記一つ又は複数のハンドラー装置が、前記不良品
   の再試験を実施することを示す情報を前記テスター装置
   へ出力した時に、前記テスター装置が前記計数部の計数
   結果を消去して、当該不良品である半導体装置の再試験
   を実施すると共に前記計数部に再計数を行わせ、かつ再
   試験結果を示す情報を前記一つ又は複数のハンドラー装
   置へ出力することを特徴とする半導体装置測定システ
   ム。
2. 【請求項２】 半導体装置をセットする一つ又は複数の
   ハンドラー装置と、該ハンドラー装置にセットされた半
   導体装置の測定試験を行うテスター装置と、該テスター
   装置が測定試験を終了した後に測定試験の実施数量を随
   時加算する計数部と、該計数部の計数結果を出力する出
   力手段とを備えた半導体装置測定システムの制御方法で
   あって、 前記一つ又は複数のハンドラー装置に、未作業品である
   半導体装置をセットする第一ポジションと、試験後の良
   品である半導体装置をストックする第二ポジションと、
   試験後の不良品である半導体装置をストックする第三ポ
   ジションとを備えると共に、前記テスター装置からの試
   験結果を示す情報に応じて試験後の半導体装置を前記第
   二ポジション及び／または前記第三ポジションに分類し
   てストックする分類手段とを備え、 前記一つ又は複数のハンドラー装置から前記テスター装
   置に対し未作業品である半導体装置の試験開始を指示す
   る情報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記未作業品である半導体装置の測
   定試験を実施した後、前記計数部に加算計数を行わせる
   ステップと、 前記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装
   置に対し試験結果として前記半導体装置が良品であるか
   不良品であるかを示す情報を出力させるステップと、 前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置
   からの試験結果を示す情報を取得した時に、該試験結果
   を示す情報に基づき前記分類手段を起動して前記半導体
   装置を前記第二ポジション及び／または前記第三ポジシ
   ョンに分類して移すステップと、 未作業品が無くなった段階で前記一つ又は複数のハンド
   ラー装置から前記テスター装置に対し作業終了を示す情
   報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記一つ又は複数の全てのハンドラ
   ー装置から作業終了を示す情報を取得した段階で前記計
   数部の計数結果を前記出力手段に出力させるステップと
   からなることを特徴とする半導体装置測定システムの制
   御方法。
3. 【請求項３】 前記一つ又は複数のハンドラー装置から
   前記テスター装置に対し前記不良品の半導体装置の再試
   験を実施することを示す情報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記再試験を実施することを示す情
   報を取得した場合に、前記計数部の計数結果を消去させ
   るステップと、 前記テスター装置が当該不良品である半導体装置の再試
   験を実施した後に前記計数部に再計数を行わせるステッ
   プと、 前記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装
   置に対し再試験結果を示す情報を出力させるステップ
   と、 前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置
   からの試験結果を示す情報を取得した後に、前記試験結
   果を示す情報に基づき前記分類手段を起動して前記再試
   験後の半導体装置を前記第二ポジション及び／または前
   記第三ポジションに分類して移すステップとを含むこと
   を特徴とする請求項２に記載の制御方法。
4. 【請求項４】 半導体装置をセットする一つ又は複数の
   ハンドラー装置と、該ハンドラー装置にセットされた半
   導体装置の測定試験を行うテスター装置と、該テスター
   装置が測定試験を終了した後に測定試験の実施数量を随
   時加算する計数部と、該計数部の計数結果を出力する出
   力手段とを備えた半導体装置測定システムを制御方法す
   るプログラムを記憶した記憶媒体であって、 前記一つ又は複数のハンドラー装置に、未作業品である
   半導体装置をセットする第一ポジションと、試験後の良
   品である半導体装置をストックする第二ポジションと、
   試験後の不良品である半導体装置をストックする第三ポ
   ジションとを備えると共に、前記テスター装置からの試
   験結果を示す情報に応じて試験後の半導体装置を前記第
   二ポジション及び／または前記第三ポジションに分類し
   てストックする分類手段とを備え、 前記一つ又は複数のハンドラー装置から前記テスター装
   置に対し未作業品である半導体装置の測定試験開始を指
   示する情報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記未作業品である半導体装置の試
   験を実施した後、前記計数部に加算計数を行わせるステ
   ップと、 前記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装
   置に対し試験結果として前記半導体装置が良品であるか
   不良品であるかを示す情報を出力させるステップと、 前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置
   からの試験結果を示す情報を取得した後に、前記試験結
   果を示す情報に基づき前記分類手段を起動させて測定試
   験後の半導体装置を前記第二ポジション及び／または前
   記第三ポジションに分類して移すステップと、 未作業品が無くなった段階で前記一つ又は複数のハンド
   ラー装置から前記テスター装置に対し作業終了を示す情
   報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記一つ又は複数の全てのハンドラ
   ー装置から作業終了を示す情報を取得した段階で前記計
   数部の計数結果を前記出力手段に出力させるステップと
   からなるプログラムを記憶したことを特徴とする記憶媒
   体。
5. 【請求項５】 前記一つ又は複数のハンドラー装置から
   前記テスター装置に対し前記不良品の半導体装置の再試
   験を実施することを示す情報を出力させるステップと、 前記テスター装置が前記再試験を実施することを示す情
   報を取得した場合に、前記計数部の計数結果を消去させ
   るステップと、 前記テスター装置が当該不良品である半導体装置の再試
   験を実施した後に前記計数部に再計数を行わせるステッ
   プと、 前記テスター装置から前記一つ又は複数のハンドラー装
   置に対し再試験結果を示す情報を出力させるステップ
   と、 前記一つ又は複数のハンドラー装置が前記テスター装置
   からの試験結果を示す情報を取得した後に、前記試験結
   果を示す情報に基づき前記分類手段を起動して前記再試
   験後の半導体装置を前記第二ポジション及び／または前
   記第三ポジションに分類して移すステップとを含むプロ
   グラムを更に記憶したことを特徴とする請求項４に記載
   の記憶媒体。