JP2003121452A5 - - Google Patents
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【0011】
【課題を解決するための手段】
上記第1の目的を達成するため、請求項1に記載の第1発明は、ノズルを備え、前記ノズルに保持した液体試料を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置に所定の光量の平行光束を照射可能に設けられた平行光束発生手段と、前記平行光束発生手段からの前記平行光束を受光可能な配置で設けられた光検出手段と、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化に基づき、前記液滴の吐出状態を求めることが可能な演算回路と、を具備したことを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
上記第1の目的を達成するため、請求項1に記載の第1発明は、ノズルを備え、前記ノズルに保持した液体試料を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置に所定の光量の平行光束を照射可能に設けられた平行光束発生手段と、前記平行光束発生手段からの前記平行光束を受光可能な配置で設けられた光検出手段と、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化に基づき、前記液滴の吐出状態を求めることが可能な演算回路と、を具備したことを特徴とする。
請求項2に記載の第2発明は、前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化量を含むことを特徴とする。
請求項3に記載の第3発明は、前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化時間を含むことを特徴とする。
請求項4に記載の第4発明は、前記吐出状態は、前記液滴の吐出の有無に加えて、前記液滴についてのそれ以外の状態を含むことを特徴とする。
請求項5に記載の第5発明は、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の大きさを含むことを特徴とする。
請求項6に記載の第6発明は、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の飛翔速度を含むことを特徴とする。
請求項6に記載の第6発明は、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の飛翔速度を含むことを特徴とする。
請求項7に記載の第7発明は、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴に続いて吐出されるサテライト液滴の吐出状態を含むことを特徴とする。
請求項8に記載の第8発明は、前記演算回路が求める前記吐出状態は、前記サテライト液滴の吐出の有無、大きさ、飛翔速度、発生数の内の何れか1つ以上を含むことを特徴とする。
請求項8に記載の第8発明は、前記演算回路が求める前記吐出状態は、前記サテライト液滴の吐出の有無、大きさ、飛翔速度、発生数の内の何れか1つ以上を含むことを特徴とする。
請求項9に記載の第9発明は、前記平行光束の照射方向と前記液滴の吐出方向とがほぼ直交するようにしたことを特徴とする。
請求項10に記載の第10発明は、前記平行光束発生手段は、前記平行光束を絞るための光束制限部材を備えることを特徴とする。
請求項10に記載の第10発明は、前記平行光束発生手段は、前記平行光束を絞るための光束制限部材を備えることを特徴とする。
請求項11に記載の第11発明は、前記光束制限部材はピンホールであることを特徴とする。
請求項12に記載の第12発明は、吐出される前記液滴が、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴と、前記メイン液滴の吐出後前記メイン液滴以外に吐出される液滴と、からなるとき、前記ピンホールの直径は、前記メイン液滴の最大径よりも小さくなるようにしたことを特徴とする。
請求項12に記載の第12発明は、吐出される前記液滴が、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴と、前記メイン液滴の吐出後前記メイン液滴以外に吐出される液滴と、からなるとき、前記ピンホールの直径は、前記メイン液滴の最大径よりも小さくなるようにしたことを特徴とする。
請求項13に記載の第13発明は、前記光束制限部材は、前記液滴の吐出方向および前記平行光束の光軸方向とほぼ直交する方向が長軸となるように設けられたスリットであることを特徴とする。
請求項14に記載の第14発明は、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置で、照射された平行光束が互いに直交するように前記平行光束発生手段を2組設けるとともに、前記各平行光束発生手段に対向してそれぞれからの平行光束を受光する光検出手段を設け、前記光検出手段はポジションセンサであることを特徴とする。
請求項14に記載の第14発明は、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置で、照射された平行光束が互いに直交するように前記平行光束発生手段を2組設けるとともに、前記各平行光束発生手段に対向してそれぞれからの平行光束を受光する光検出手段を設け、前記光検出手段はポジションセンサであることを特徴とする。
請求項15に記載の第15発明は、前記光検出手段は、前記液滴の吐出方向に2分割された受光部と、前記2分割された受光部からの出力の差信号を生成する差信号演算回路と、を備えることを特徴とする。
請求項16に記載の第16発明は、前記光検出手段は、前記2分割された受光部からの出力の和信号を生成する和信号演算回路と、前記差信号を前記和信号で除算する除算回路と、をさらに備えることを特徴とする。
請求項16に記載の第16発明は、前記光検出手段は、前記2分割された受光部からの出力の和信号を生成する和信号演算回路と、前記差信号を前記和信号で除算する除算回路と、をさらに備えることを特徴とする。
上記第2の目的を達成するため、請求項17に記載の第17発明は、 前記吐出ヘッドを複数本備え、前記各吐出ヘッドから吐出された前記液滴が前記平行光束発生手段から照射される平行光束とそれぞれ交差するように前記各吐出ヘッドを配置したことを特徴とする。
請求項18に記載の第18発明は、前記吐出ヘッドを移動させるアクチュエータをさらに備えるとともに、前記アクチュエータは、前記ノズルを前記液滴の吐出方向とは逆方向に移動させて、前記ノズルに保持された前記液体を吐出させることを特徴とする。
請求項19に記載の第19発明は、前記吐出ヘッドは、熱による液体の蒸発力により前記液滴を吐出することを特徴とする。
請求項19に記載の第19発明は、前記吐出ヘッドは、熱による液体の蒸発力により前記液滴を吐出することを特徴とする。
【0023】
【発明の効果】
第1発明によれば、ノズルに保持した液体試料を液滴として吐出する吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置には所定の光量の平行光束を照射可能に平行光束発生手段が設けられており、前記平行光束発生手段からの前記平行光束を受光可能な配置で光検出手段が設けられており、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化に基づき前記液滴の吐出状態を求めることが可能な演算回路を具備しているため、前記液滴が正常に吐出された場合には前記光検出手段が検出する平行光束の光量が前記液滴の通過に応じて変化し、前記液滴が吐出されなかった場合には前記光検出手段が検出する平行光束の光量が変化しないので、光量変化の有無によって吐出ヘッドから液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かを判定できるようになる。したがって、液体試料の吐出状態を正確に検出し得るようにした液体分注装置を提供することができる。
【発明の効果】
第1発明によれば、ノズルに保持した液体試料を液滴として吐出する吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置には所定の光量の平行光束を照射可能に平行光束発生手段が設けられており、前記平行光束発生手段からの前記平行光束を受光可能な配置で光検出手段が設けられており、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化に基づき前記液滴の吐出状態を求めることが可能な演算回路を具備しているため、前記液滴が正常に吐出された場合には前記光検出手段が検出する平行光束の光量が前記液滴の通過に応じて変化し、前記液滴が吐出されなかった場合には前記光検出手段が検出する平行光束の光量が変化しないので、光量変化の有無によって吐出ヘッドから液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かを判定できるようになる。したがって、液体試料の吐出状態を正確に検出し得るようにした液体分注装置を提供することができる。
第2発明によれば、前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化量を含むから、前記液滴の大きさをリアルタイムで求めることができる。
第3発明によれば、前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化時間を含むから、前記液滴の飛翔速度をリアルタイムで求めることができる。
第4発明によれば、前記吐出状態は、前記液滴の吐出の有無に加えて、前記液滴についてのそれ以外の状態を含むから、吐出された前記液滴の状態をリアルタイムで求めることができる。
第5発明によれば、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の大きさを含むから、前記液滴の吐出量を正確に求めることができる。
第6発明によれば、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の飛翔速度を含むから、吐出された前記液滴が正確な位置に着弾するかを求めることができる。
第6発明によれば、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の飛翔速度を含むから、吐出された前記液滴が正確な位置に着弾するかを求めることができる。
第7発明によれば、前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴に続いて吐出されるサテライト液滴の吐出状態を含むから、着弾する前記液滴の品質を安定化することができる。なお、メイン液滴とは、吐出ヘッドに吐出指令(例えば所定の吐出ヘッド駆動電圧波形)を与えた直後に当該吐出ヘッドから吐出される液滴のことを表わすものとし、サテライト液滴とは、吐出ヘッドからメイン液滴が吐出された後に吐出される液滴(一般的に、メイン液滴よりも小さくなる)のことを表わすものとする。
第8発明によれば、前記演算回路が求める前記吐出状態は、前記サテライト液滴の吐出の有無、大きさ、飛翔速度、発生数の内の何れか1つ以上を含むから、前記サテライト液滴の状態をリアルタイムで求めることができる。
第8発明によれば、前記演算回路が求める前記吐出状態は、前記サテライト液滴の吐出の有無、大きさ、飛翔速度、発生数の内の何れか1つ以上を含むから、前記サテライト液滴の状態をリアルタイムで求めることができる。
第9発明によれば、前記平行光束の照射方向と前記液滴の吐出方向とがほぼ直交するようにしたから、液体分注装置内において前記平行光束発生手段および前記光検出手段が占有するスペースが最小限になるので、液体分注装置内に効率良く前記平行光束発生手段および前記光検出手段を収容することができる。
第10発明によれば、前記平行光束発生手段は、前記平行光束を絞るための光束制限部材を備えるから、前記液滴が前記平行光束を通過するのに要する時間が短縮されることになるので、前記液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かの判定を高速化することができる。
第10発明によれば、前記平行光束発生手段は、前記平行光束を絞るための光束制限部材を備えるから、前記液滴が前記平行光束を通過するのに要する時間が短縮されることになるので、前記液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かの判定を高速化することができる。
第11発明によれば、前記光束制限部材はピンホールであるから、入射した平行光束を所望の断面円形状の平行光束に絞ることができる。
第12発明によれば、吐出される前記液滴が、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴と、前記メイン液滴の吐出後前記メイン液滴以外に吐出される液滴と、からなるとき、前記ピンホールの直径は、前記メイン液滴の最大径よりも小さくなるようにしたから、メイン液滴全体とサテライト液滴全体とが同時に前記ピンホールで絞った平行光束内に入り込む状態が生じることが防止され、メイン液滴の場合とサテライト液滴の場合とを確実に識別することができるともに、光検出手段の検出信号のS/N比を向上させることができる。
第12発明によれば、吐出される前記液滴が、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴と、前記メイン液滴の吐出後前記メイン液滴以外に吐出される液滴と、からなるとき、前記ピンホールの直径は、前記メイン液滴の最大径よりも小さくなるようにしたから、メイン液滴全体とサテライト液滴全体とが同時に前記ピンホールで絞った平行光束内に入り込む状態が生じることが防止され、メイン液滴の場合とサテライト液滴の場合とを確実に識別することができるともに、光検出手段の検出信号のS/N比を向上させることができる。
第13発明によれば、前記光束制限部材は、前記液滴の吐出方向および前記平行光束の光軸方向とほぼ直交する方向が長軸となるように設けられたスリットであるから、入射した平行光束を所望の断面矩形形状の平行光束に絞ることができるとともに、前記スリットの長軸方向において前記吐出ヘッドをラフに配置することができるようになる。
第14発明によれば、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置で、照射された平行光束が互いに直交するように前記平行光束発生手段を2組設けるとともに、前記各平行光束発生手段に対向してそれぞれからの平行光束を受光する光検出手段を設け、前記光検出手段はポジションセンサであるので、各ポジションセンサの検出信号に基づいて、吐出ヘッドから液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かを判定できるばかりでなく、吐出ヘッドから吐出された液滴の吐出位置(液滴が着弾した部材における着弾位置)を検出できるようになる。
第14発明によれば、前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置で、照射された平行光束が互いに直交するように前記平行光束発生手段を2組設けるとともに、前記各平行光束発生手段に対向してそれぞれからの平行光束を受光する光検出手段を設け、前記光検出手段はポジションセンサであるので、各ポジションセンサの検出信号に基づいて、吐出ヘッドから液体試料の液滴が正常に吐出されたか否かを判定できるばかりでなく、吐出ヘッドから吐出された液滴の吐出位置(液滴が着弾した部材における着弾位置)を検出できるようになる。
第15発明によれば、前記光検出手段は、前記液滴の吐出方向に2分割された受光部と、前記2分割された受光部からの出力の差信号を生成する差信号演算回路と、を備えるから、前記2分割された受光部からの出力の差信号を用いることにより、前記光量変化の検出感度を向上させることができる。
第16発明によれば、前記光検出手段は、前記2分割された受光部からの出力の和信号を生成する和信号演算回路と、前記差信号を前記和信号で除算する除算回路と、をさらに備えるから、前記光量変化の検出信号の僅かな変化を捉えることができるようになり、検出信号のS/N比を大幅に向上させることができる。
第16発明によれば、前記光検出手段は、前記2分割された受光部からの出力の和信号を生成する和信号演算回路と、前記差信号を前記和信号で除算する除算回路と、をさらに備えるから、前記光量変化の検出信号の僅かな変化を捉えることができるようになり、検出信号のS/N比を大幅に向上させることができる。
第17発明によれば、前記吐出ヘッドを複数本備え、前記各吐出ヘッドから吐出された前記液滴が前記平行光束発生手段から照射される平行光束とそれぞれ交差するように前記各吐出ヘッドを配置したから、複数の吐出ヘッドに対して1組の平行光束発生手段および光検出手段を設けるだけで全ての吐出ヘッドの吐出状態を検出することができるようになる。したがって、液体試料の吐出状態を正確に検出し得るようにした安価な液体分注装置を提供することができる。
第18発明によれば、前記吐出ヘッドを移動させるアクチュエータをさらに備えるとともに、前記アクチュエータは、前記ノズルを前記液滴の吐出方向とは逆方向に移動させて、前記ノズルに保持された前記液体を吐出させるから、目詰まり時には前記ノズルのみを交換するだけでよいので、ランニングコストを削減することができる。
第19発明によれば、前記吐出ヘッドは、熱による液体の蒸発力により前記液滴を吐出するから、一般に知られている吐出ヘッドを用いることができる。
第19発明によれば、前記吐出ヘッドは、熱による液体の蒸発力により前記液滴を吐出するから、一般に知られている吐出ヘッドを用いることができる。
また、異なる液体試料115を吐出する場合、それぞれの液体物理定数の違いから、圧電素子119に同じ電圧を印加しても吐出される液滴111の大きさが異なるものになったり、サテライト液滴137が発生したりしなかったりするため、今まで吐出の安定性を確保することは非常に困難であるとされてきたが、本実施形態の吐出状態検出方法により、検査プレート106に吐出する前に別のプレート上や洗浄槽104内でダミー吐出を行ってそのときの液滴111の大きさやサテライト液滴137の有無を検出しておき、検出結果に応じて圧電素子119へ印加する電圧波形の形状(電圧変化量および電圧印加時間)を変更し、所望の液滴111が得られるように補正してから、検査プレート106に正式に吐出することにより、検査プレート106上に着弾付着させる液滴111の品質を安定化することができる。
この差信号(A−B)を全光量信号電圧(A+B)により除算するので、検出信号の検出感度が高くなり、非常に極微細なサテライト液滴137であっても確実に検出できるようになり、液滴111,137の大きさを算出する際の分解能を向上させることができる。図11において、液滴111,137の大きさはマイナス電圧値とプラス電圧値との差分値151として検出され、液滴111,137の飛翔速度は電圧波形がGNDレベルから変化を開始してGNDレベルを横切った後に再びGNDレベルに復帰するまでの時間152として検出されることになる。その際、光検出部材143からの出力信号の演算を行う演算回路(図示せず)は、差信号演算回路、和信号演算回路および除算回路として機能することになる。
本実施形態の液体分注装置では、上記各実施形態のような液滴の吐出状態(正常に吐出したか否かや、液滴の大きさや飛翔速度)の検出に加えて、液滴111の吐出位置も求めることができる。以下に液滴111の吐出位置の求め方を説明する。
平行光束154中を液滴111が通過する際に、一次元ポジションセンサ155,157内の光量分布に変化が生じる。一次元ポジションセンサ155,157は受光部156の中央が0Vとなり、中央から水平方向の両側に向かって離れるにつれて、プラスの電圧およびマイナスの電圧が演算回路155a,157aより出力される。このことを利用して、平行光束154の長辺における液滴111の通過位置を検出することにより、液滴111の着弾位置を演算により求めることができる。
また、同様にして、サテライト液滴137の着弾位置を検出することができるので、許容できないレベルで吐出されたサテライト液滴137があるか否かをリアルタイムで検出して、製作された検査プレート106の品質の良否を判別することができる。なお、一次元ポジションセンサ155,157からは上記とは別に全光量の電圧値も検出できるので、第1実施形態と同様な検出波形が得られ、この検出波形に基づいて液滴111の大きさ、飛翔速度、サテライト液滴137の有無等を求めることができる。
Claims (19)
- ノズルを備え、前記ノズルに保持した液体試料を液滴として吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置に所定の光量の平行光束を照射可能に設けられた平行光束発生手段と、
前記平行光束発生手段からの前記平行光束を受光可能な配置で設けられた光検出手段と、
前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化に基づき、前記液滴の吐出状態を求めることが可能な演算回路と、
を具備したことを特徴とする液体分注装置。 - 前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化量を含むことを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
- 前記平行光束の光量の変化は、前記光検出手段が受光した前記平行光束の光量の変化時間を含むことを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
- 前記吐出状態は、前記液滴の吐出の有無に加えて、前記液滴についてのそれ以外の状態を含むことを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
- 前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の大きさを含むことを特徴とする請求項4記載の液体分注装置。
- 前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記液滴の飛翔速度を含むことを特徴とする請求項4記載の液体分注装置。
- 前記液滴についての前記それ以外の状態は、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴に続いて吐出されるサテライト液滴の吐出状態を含むことを特徴とする請求項4記載の液体分注装置。
- 前記演算回路が求める前記吐出状態は、前記サテライト液滴の吐出の有無、大きさ、飛翔速度、発生数の内の何れか1つ以上を含むことを特徴とする請求項7記載の液体分注装置。
- 前記平行光束の照射方向と前記液滴の吐出方向とがほぼ直交するようにしたことを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
- 前記平行光束発生手段は、前記平行光束を絞るための光束制限部材を備えることを特徴とする請求項1または9記載の液体分注装置。
- 前記光束制限部材はピンホールであることを特徴とする請求項10記載の液体分注装置。
- 吐出される前記液滴が、前記吐出ヘッドに吐出を行わせた直後に吐出されるメイン液滴と、前記メイン液滴の吐出後前記メイン液滴以外に吐出される液滴と、からなるとき、
前記ピンホールの直径は、前記メイン液滴の最大径よりも小さくなるようにしたことを特徴とする請求項11記載の液体分注装置。 - 前記光束制限部材は、前記液滴の吐出方向および前記平行光束の光軸方向とほぼ直交する方向が長軸となるように設けられたスリットであることを特徴とする請求項10記載の 液体分注装置。
- 前記吐出ヘッドから吐出された前記液滴が通過する位置で、照射された平行光束が互いに直交するように前記平行光束発生手段を2組設けるとともに、前記各平行光束発生手段に対向してそれぞれからの平行光束を受光する光検出手段を設け、
前記光検出手段はポジションセンサであることを特徴とする請求項13記載の液体分注装置。 - 前記光検出手段は、
前記液滴の吐出方向に2分割された受光部と、
前記2分割された受光部からの出力の差信号を生成する差信号演算回路と、
を備えることを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。 - 前記光検出手段は、
前記2分割された受光部からの出力の和信号を生成する和信号演算回路と、
前記差信号を前記和信号で除算する除算回路と、
をさらに備えることを特徴とする請求項15記載の液体分注装置。 - 前記吐出ヘッドを複数本備え、前記各吐出ヘッドから吐出された前記液滴が前記平行光束発生手段から照射される平行光束とそれぞれ交差するように前記各吐出ヘッドを配置したことを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
- 前記吐出ヘッドを移動させるアクチュエータをさらに備えるとともに、
前記アクチュエータは、前記ノズルを前記液滴の吐出方向とは逆方向に移動させて、前記ノズルに保持された前記液体を吐出させることを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。 - 前記吐出ヘッドは、熱による液体の蒸発力により前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1記載の液体分注装置。
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