JP2003114501A - ハロゲン化銀写真乾板及びその製造方法 - Google Patents

ハロゲン化銀写真乾板及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピンホール故障や異物による故障が少なく、
生産効率の良いハロゲン化銀写真乾板及びその製造方法
の提供。 【解決手段】 少なくとも一層のハロゲン化銀乳剤層を
有するハロゲン化銀写真乾板において、コーナー部4点
の内少なくとも1辺を挟む2点以上が曲率半径5mm以
上、300mm以下の曲面状に面取りされた支持体上に
ハロゲン化銀乳剤層が塗布されていることを特徴とする
ハロゲン化銀写真乾板。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はハロゲン化銀乳剤層
を有するフォトマスク用ハロゲン化銀写真乾板に関し、
詳しくは乾板のコピー返し露光時に異物による故障が少
ないハロゲン化銀写真乾板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】リードフレームやシャドーマスクの製造
工程においては、まずレーザー光源やタングステン光源
を使用するプロッターを用いて描画し、現像処理して得
られたたマスターマスクを密着返しして、ワーキングマ
スクを作製している。
【0003】その後ワーキングマスクを介し、レジスト
塗布した金属板にパターンを複写、エッチングして製品
としている。
【0004】マスターパターンをワーキングにコピーし
たり、ワーキングパターンを金属板に焼き付けたりする
場合、原版のマスクパターン上に異物などが付着してい
ると、露光阻害による白欠陥の原因となり、修正工数が
かかり、生産性が著しく低下することになる。白欠陥の
原因となる異物は、原版マスク作製直後にはマスクパタ
ーン上には多くは存在せず、その後の取り扱いの中で付
着してくることが多いことが調査の結果判明し、特に原
版マスクを収納するラックと原版マスク支持体のガラス
との摩擦によって、白欠陥の原因となる異物発生が多い
ことがわかった。
【0005】従来のガラス乾板はコーナー面取り部分が
浅く、その為に破損や取り扱い時の怪我が発生し易かっ
た。また、コーナー面取りを深くしても、直線的に面取
りを行っていると、それらの防止には効果が少ないこと
がわかった。
【0006】更に、ガラス乾板マスクの露光、現像後、
パターン形成をしてから研削機を用いて面取りを掛ける
と、研削時の削りかすがパターンを傷つけたり、ノイズ
となる障害になることが判った。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記問題点に対し、本
発明の目的は、ピンホール故障や異物による故障が少な
いハロゲン化銀写真乾板及びその製造方法を提供するこ
とにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記構成により達成された。
【0009】1)少なくとも一層のハロゲン化銀乳剤層
を有するハロゲン化銀写真乾板において、コーナー部4
点の内少なくとも1辺を挟む2点以上が曲率半径5mm
以上、300mm以下の曲面状に面取りされた支持体上
にハロゲン化銀乳剤層が塗布されていることを特徴とす
るハロゲン化銀写真乾板。
【0010】2)前記1)に記載のハロゲン化銀写真乾
板の製造方法において、ハロゲン化銀乳写真乾板のコー
ナーの面取りを、予め支持体上に加工を施し、洗浄後に
ハロゲン化銀乳剤層を塗布して行うことを特徴とするハ
ロゲン化銀写真乾板の製造方法。
【0011】以下、本発明を詳述する。本発明に用いる
ガラス基板は、ガラス組成に関して特に制限はないが、
ソーダ石灰ガラスやソーダ石灰アルミガラスなどが好ま
しく、平面性の点から、フロート法で製造するものが好
ましい。該基板は表面処理する前に、予め洗浄などで脱
グリースされている方が好ましい。また、ガラス基板上
に孔を設けるなどの加工を施してもかまわない。
【0012】コーナー部の面取りは曲面上にする必要が
あり、曲面の曲率半径は5mm以上である。曲率半径と
しては5〜300mmが好ましく、更に好ましくは7〜
100mmである。この範囲を逸脱すると異物欠陥は増
加する。曲面の面取り法としては、回転型研削機、グラ
インダーなどを用いることが出来る。この時、異物の付
着や熱の発生を抑える為、流水下もしくは機会油などの
不活性溶媒下で研削するのが好ましい。
【0013】このときコーナーを1つのR曲線で形成し
てもよいし、予めホイルチップカッターなどで1コーナ
ーを切断し、生じた2つの角を曲面状に面取り研磨して
もかまわない、即ち2つのR曲線を形成する場合であ
り、これも請求項1に含まれる。面取りはコーナー以外
にも取り扱い安全上、8稜の辺にも0.5〜2mm幅程
度に面取りを行うことが好ましい。
【0014】ガラス基板の洗浄はブラシ等で物理的に摩
擦する方法や、フッ化水素溶液やアルカリ溶液に浸漬す
る化学処理がよいが、併用することもできる。ガラス基
板の洗浄は、コーナー面取りを行った後の乳剤塗布前ま
でに実施するのが好ましいが、コーナー面取りを設ける
前にも合せて行なう方がよい。
【0015】本発明のガラス基板を用いて塗布されるハ
ロゲン化銀乳剤、非感光性コロイド層及びバッキング層
は、任意であり、特開平3−253844号、同4−2
42240号、同7−219116号、同10−288
817号等に記載されているもの等を挙げることができ
る。
【0016】本発明のハロゲン化銀乳剤には、当業界公
知の各種技術、添加剤等を用いることができる。例え
ば、本発明で用いるハロゲン化銀写真乳剤及びバッキン
グ層には、各種の化学増感剤、色調剤、硬膜剤、界面活
性剤、増粘剤、可塑剤、スベリ剤、現像抑制剤、紫外線
吸収剤、イラジェーション防止剤染料、重金属、マット
剤等を各種の方法で更に含有させることができる。ま
た、本発明においてハロゲン化乳剤及びバッキング層中
にはポリマーラテックスを含有させることができる。
【0017】これらの添加剤は、より詳しくはリサーチ
ディスクロージャ第176巻Item/7643(19
78年12月)及び同187巻Item/8716(1
979年11月)に記載されており、その該当個所を下
記にまとめて示した。
【0018】 添加剤種類 RD/7643 RD/8716 1.化学増感剤 23頁 648頁右欄 2.感度上昇剤 同 上 3.分光増感剤 23〜24頁 648頁右欄〜 強色増感剤 649頁右欄 4.増白剤 24頁 5.かぶり防止剤及び安定剤 24〜25頁 649頁右欄 6.光吸収剤、フィルター染料 25〜26頁 649頁右欄〜 紫外線吸収剤 650頁左欄 7.ステイン防止剤 25頁右欄 650頁左〜右欄 8.色素画像安定剤 25頁 9.硬膜剤 26頁 651頁左欄 10.バインダー 26頁 同 上 11.可塑剤、潤滑剤 27頁 650頁右欄 12.塗布助剤、表面活性剤 26〜27頁 同 上 13.スタチック防止剤 27頁 同 上。
【0019】本発明の乾板の現像処理は公知の方法を用
いることが出来る。詳しくは特開平3−253844
号、同4−242240号、同7−219116号、同
10−288817号等に記載されているもの等を挙げ
ることができる。
【0020】
【実施例】以下、実施例により、本発明について具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定され
るものではない。
【0021】実施例1 《ガラス支持体の準備》市販の36インチ×40インチ
のフロートガラスの各辺を1mm、各コーナーを表1に
示す形状の様に、ホイルチップカッター及び回転砥石型
面取り機を用いて面取りし(図1、図2、図3)、0.
1%フッ化水素溶液に2分浸漬表面処理後、純水中でブ
ラシによる表面洗浄を両面行なった。
【0022】 《ハロゲン化銀乳剤の形成》 (溶液A) 水 734ml 塩化ナトリウム 0.18g ゼラチン 11g (溶液B) 水 164ml 塩化ナトリウム 38.7g ヘキサクロロロジウム酸カリウムの1%水溶液 1.6ml ゼラチン 3.3g (溶液C) 水 160ml 硝酸銀 100g 40℃に保温されたゼラチン及び塩化ナトリウムを含む
溶液A中に硝酸を加え、pH3.0とし、pAg6.5
に保ちながら、溶液B及び溶液Cを同時に関数的に8分
間に亙って加え、更に10分撹拌したのち、炭酸ナトリ
ウム水溶液でpHを5.6に調整し、ゼラチンを2.3
gと20%硫酸マグネシウム水溶液140ml及びポリ
ナフタレンスルホン酸の5%水溶液200mlを加え、
40℃にてフロキュレート化し、デカンテーションを行
い水洗して過剰の水溶液中の塩を除去する。次いでそれ
に1300mlの水を加えて分散させ、再び20%の硫
酸マグネシウム水溶液50mlを加えて同様に過剰の水
溶液中の塩を除去する。更にそれに1300mlの水を
加えて分散させ、再び20%の硫酸マグネシウム水溶液
40mlを加えて同様に過剰の水溶液中の塩を除去す
る。それに200mlの水と283gのゼラチン16.
7gを加えて、60℃で60分間分散させる。
【0023】これによって塩化銀100モル%、平均粒
径0.09μm単分散度9の立方体粒子を得た。
【0024】次にこれを60℃に保ち、4−ヒドロキシ
−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデンの
1%水溶液3.5ml加え、20分後、チオ硫酸ナトリ
ウムの0.5%溶液を1.9ml加え、60℃で60分
間熟成し、4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3
a,7−テトラザインデン1.7gとゼラチンを72g
加え、45℃に冷却し、熟成を終了し、ハロゲン化銀乳
剤を得た。
【0025】〈乳剤層液の調製〉前記熟成後の乳剤に下
記量となるように添加剤を加えた後、水を加えて200
0mlに調製した。
【0026】 1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール 300mg/Agモル 化合物(Z−1) 800mg/Agモル 化合物(Z−2) 800mg/Agモル 染料(F−1) 50mg/m2 染料(F−2) 100mg/m2 クエン酸 6.5mg/m2 硬膜剤(H−1) 30mg/m2 シランカップリング剤(H−2) 250mg/m2 コロイダルシリカ(平均粒径0.005μm) 250mg/m2 平均粒径3μmのPMMAマット剤 100mg/m2
【0027】
【化1】
【0028】〈保護層液の調製〉下記量となるように添
加剤を加えた後、水を加えて1000ml調製した。
【0029】 ゼラチン 0.6g/m2 コロイダルシリカ(平均粒径0.005μm) 250mg/m2 ポリオキシエチレンラウリルエーテル硫酸ナトリウム 15mg/m2 界面活性剤(C−1) 2mg/m2 硬膜剤(H−1) 3mg/m2 〈バッキング液の調製〉下記組成の溶液を調製した。
【0030】 化合物(P) 40g 染料(F−3) 5g エタノール 450ml メタノール 450ml
【0031】
【化2】
【0032】〔ハロゲン化銀写真乾板の作製〕 《バッキング層の塗布》表1に示すガラス支持体上に上
述したバッキング液を7ml、塗布幅650mmとなる
ようにナプキンコーターで塗布して、バッキング層を設
けた。
【0033】《乳剤層及び保護層の塗布》上記でバッキ
ング層を塗設したのとは反対の側のガラス支持体上に、
乳剤層として上記乳剤層液をAg量が3.5g/m2
になるように、その上に保護層として保護層液を保護層
ゼラチン量が0.7g/m2になるように、塗布幅は3
6インチ方向が幅手となるように未塗布部10mmを残
し、各ガラス支持体上にカーテンコーターで同時塗布し
て乳剤層及び保護層を設けた。
【0034】その後、50℃55%RHの環境下におい
て12時間シーズニングした。このようにガラス1〜7
に乳剤層及び保護層を設けたものについて、下記のマス
ク作製を行って試料1〜7を得た。
【0035】《ガラス乾板の加工》ガラス1上に塗布し
たもののうち、乳剤塗布乾燥後、両面をシートフィルム
でマスキングしたのち、ガラス4と同様にコーナー面取
り加工を施し、エアガンとTEKNEK(株)製粘着ロ
ーラーを用いて、ガラスチップや付着異物を除去処理し
たものを試料8とした。
【0036】〔マスクの作製〕孔径100μmのシャド
ーマスクパターンを有するマスターマスクを原画とし、
大日本スクリーン(株)製P−607型明室プリンター
を用いて、各試料に対し、365nm、強度4.8mJ
/cm2の密着露光を行なった。露光済各試料に下記の
現像処理を皿現像にて行なった。
【0037】 《現像処理》 現像 下記処方現像液 20℃ 180秒 停止 3%酢酸溶液 常温 30秒 定着 コニカ(株)製CFL−881 常温 300秒 水洗 流水(イオン交換水) 常温 15分 〈現像液の調製〉 ジエチレントリアミン5酢酸・5ナトリウム 10g 無水亜硫酸ナトリウム 300g 炭酸カリウム 530g 炭酸水素カリウム 170g 1−フェニル−4−ヒドロキシルメチル−3−ピラゾリドン 15g エリソルビン酸ナトリウム・1水和物 400g 1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール 0.25g 臭化カリウム 40g 5−メチルメンゾトリアゾール 2.1g 2,5−ジヒドロキシ安息香酸 50g 8−メルカプトアデニン 0.7g 水酸化カリウム及び純水を加えて10LにてpH9.8
に調整した。
【0038】《マスクの加工》ガラス1上に乳剤塗布し
て現像処理したもののうち、現像処理後、両面をシート
フィルムでマスキングしたのち、ガラス4と同様にコー
ナー面取り加工を施し、エアガンとTEKNEK(株)
製粘着ローラーを用いて、ガラスチップや付着異物を除
去処理したものを試料9とした。
【0039】このように作製した試料を表1に示す。
【0040】
【表1】
【0041】〔試料の評価〕 1)マスクの検査 各試料20枚について、エアガンとTEKNEK(株)
製粘着ローラーを用いて、除去可能な付着異物を除き、
異物検査についてSMIC−800(ソキア(株)製)
自動検査機を用いて、50μm以上の異物及びピンホー
ルについての1枚あたりの発生頻度の検査を行なった。
【0042】2)マスク保存取り扱い後の検査 1)で検査したマスクをピンホールを墨塗りにて修正
後、収納ラックに保存し、10回出し入れ後、エアガン
とTEKNEK(株)製粘着ローラーを用いて除去可能
な付着異物を除き、1)と同様に50μm以上の異物に
ついてカウントした。このとき2コーナーのみの曲面面
取り品については、収納ラック出し入れ時には曲面面取
り部分を下にしてマスクを取り扱った。また修正不能の
物が面内に1つでもあった場合は、そのマスクは不良と
してカウントし、この評価を20枚分実施したときの不
良マスク発生率を算出した。
【0043】得られた結果をまとめて表2に示す。
【0044】
【表2】
【0045】表2から本発明の試料は、比較試料に比
べ、異物発生数、ピンホール発生数、不良発生率の何れ
においても、優れていることが分かる。
【0046】
【発明の効果】本発明により、ピンホール故障や異物に
よる故障が少なく、生産安定性に優れたレジスト焼付け
が可能なたハロゲン化銀写真乾板を提供することができ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】直線面取りを示す図である。
【図2】R面取り1箇所を示す図である。
【図3】R面取り2箇所を示す図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一層のハロゲン化銀乳剤層を
    有するハロゲン化銀写真乾板において、コーナー部4点
    の内少なくとも1辺を挟む2点以上が曲率半径5mm以
    上、300mm以下の曲面状に面取りされた支持体上に
    ハロゲン化銀乳剤層が塗布されていることを特徴とする
    ハロゲン化銀写真乾板。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のハロゲン化銀写真乾板
    の製造方法において、ハロゲン化銀乳写真乾板のコーナ
    ーの面取りを、予め支持体上に加工を施し、洗浄後にハ
    ロゲン化銀乳剤層を塗布して行うことを特徴とするハロ
    ゲン化銀写真乾板の製造方法。
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