JP2003114166A - 複合レンズの芯ずれ検知方法及び芯ずれ検知装置 - Google Patents

複合レンズの芯ずれ検知方法及び芯ずれ検知装置

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JP2003114166A JP2001308891A JP2001308891A JP2003114166A JP 2003114166 A JP2003114166 A JP 2003114166A JP 2001308891 A JP2001308891 A JP 2001308891A JP 2001308891 A JP2001308891 A JP 2001308891A JP 2003114166 A JP2003114166 A JP 2003114166A
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敏晴 津幡
Yasushi Nakamura
泰 中村
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、正確に複数枚のレンズの光軸のず
れを検知できる複合レンズの芯ずれ検知装置を提供す
る。 【解決手段】 複合レンズ2に光源1からの光を透過さ
せ、その透過光を集光し結象させた像前記複数枚のレン
ズ同士の光軸のずれを検知する複合レンズ2の芯ずれ検
知装置であって、複合レンズ2を光軸方向、この光軸方
向と直交しかつ互いに直交する2方向に移動可能に支持
するXYZステージ3と、複合レンズ2を透過して結像
した光の像を撮像するCCDカメラ6と、撮像した像の
輝度情報を所定の閾値で2値化処理してその重心を測定
中心とし、この測定中心を原点とする直交座標を定義
し、測定中心から所定の距離範囲内を計算範囲に定め、
計算範囲内を微小面積に細分化して微小面積内の2値化
前の輝度にその座標値を乗じて前記計算範囲すべての微
小面積について加算した値を、所定の管理値と比較する
処理を行うコンピュータ装置9とを有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚のレンズを
組み合わせた複合レンズの複数枚それぞれのレンズの光
軸のずれを検知する複合レンズの芯ずれ検知方法及び検
知装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数枚のレンズからなる複合レンズの光
軸を検知、調整する装置として、特開昭63−1039
32号公報に開示された芯出し装置がある。この芯出し
装置は、複数枚からなる複合レンズに光を透過させて、
その光の像の光輪(ハロー)部分の中心と、高輝度な核
部分の中心とを比較することにより、レンズの光軸ずれ
を検出するというものである。
【0003】具体的には、カメラによって撮影される像
の光輪部分と核部分の中心のずれ量を計測する際に、光
輪部分と核部分を画像処理で2値化してその重心を求め
たり、輪郭部分を円で近似してその中心を求め、これら
いずれかの方法で求めた光輪部分と核部分の中心の差
を、所定の管理値と比較して管理値以下に収まるように
各レンズを調整するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複合レ
ンズによっては、光軸のずれに伴って図8に示すように
光輪の明るさが一方側が明るく他方側が暗くなるように
観察される場合がある。このような場合には、カメラに
よって撮影される像の光輪(ハロー)部分と核部分を画
像処理で2値化してその重心を求めたり、輪郭部分を円
で近似してその中心を求めて核部分の中心との差を求め
ても光軸のずれを正確に検出することはできない。
【0005】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、仮に光輪の明るさが一方が明るく他方が暗くな
るように観察される場合においても、正確に複数枚のレ
ンズの光軸のずれを検知できる複合レンズの芯ずれ検知
方法及び検知装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
複数枚のレンズにより構成される複合レンズに光を透過
させ、その透過光を集光し結象させたときに生じる光輪
の状態により前記複数枚のレンズ同士の光軸のずれを検
知する複合レンズの芯ずれ検知方法であって、前記複合
レンズを透過して結像した光の像を撮像手段で撮像し、
撮像した像の輝度情報を所定の閾値で2値化処理してそ
の重心を測定中心とし、この測定中心を原点とする直交
座標を定義し、測定中心から所定の距離範囲内を計算範
囲に定め、計算範囲内を微小面積に細分化して微小面積
内の2値化前の輝度にその座標値を乗じて前記計算範囲
すべての微小面積について加算した値を、所定の管理値
と比較することで複合レンズの複数枚のレンズの芯ずれ
を検知することを特徴とするものである。
【0007】この発明によれば、複合レンズからの透過
光の像を撮像手段にて撮像し、この像を基に、測定中心
を求め、測定中心を原点とする直交座標を利用して測定
中心から所定の距離範囲内を計算範囲に定め、計算範囲
内を微小面積に細分化して微小面積内の2値化前の輝度
にその座標値を乗じて前記計算範囲すべての微小面積に
ついて加算した値、即ち、複数枚のレンズの芯ずれに応
じた輝度分布の偏りを求め、この偏りと所定の管理値と
比較することで複合レンズの複数枚のレンズの芯ずれを
検知するものであるから、仮に光輪の明るさが一方が明
るく他方が暗くなるように観察される複合レンズの場合
においても、正確に複数枚のレンズの光軸のずれを検知
することができる。
【0008】請求項2記載の発明は、複数枚のレンズに
より構成される複合レンズに光源からの光を透過させ、
その透過光を集光し結象させたときに生じる光輪の状態
により前記複数枚のレンズ同士の光軸のずれを検知する
複合レンズの芯ずれ検知装置であって、前記複合レンズ
を光軸方向、この光軸方向と直交しかつ互いに直交する
2方向に移動可能に支持するXYZステージと、前記複
合レンズを透過して結像した光の像を撮像する撮像手段
と、撮像した像の輝度情報を所定の閾値で2値化処理し
てその重心を測定中心とし、この測定中心を原点とする
直交座標を定義し、測定中心から所定の距離範囲内を計
算範囲に定め、計算範囲内を微小面積に細分化して微小
面積内の2値化前の輝度にその座標値を乗じて前記計算
範囲すべての微小面積について加算した値を、所定の管
理値と比較する処理を行うコンピュータ装置とを有する
ことを特徴とするものである。
【0009】請求項3記載の発明は、請求項2記載の複
合レンズの芯ずれ検知装置において、前記XYZステー
ジは、前記測定中心部分の輝度が最大に集光するように
又は前記光輪部分の輝度が最大に集光するように前記複
合レンズの光軸方向の位置を調整するものである。
【0010】請求項2及び3記載の発明によれば、前記
XYZステージ、撮像手段、コンピュータ装置を有する
構成で、複数枚のレンズの芯ずれに応じた輝度分布の偏
りを求め、この偏りと所定の管理値と比較することで複
合レンズの複数枚のレンズの芯ずれを検知することがで
きる複合レンズの芯ずれ検知装置を提供することができ
る。また、前記XYZステージにより、前記測定中心部
分の輝度が最大に集光するように又は前記光輪部分の輝
度が最大に集光するように前記複合レンズの光軸方向の
位置を調整することで、測定中心を正確に求めて複合レ
ンズの複数枚のレンズの芯ずれを高精度で検知すること
ができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
【0012】(実施の形態1)(構成)図1を参照して
本発明の実施の形態1の複合レンズの芯ずれ検知装置を
説明する。
【0013】図1に示すレンズの芯ずれ検知装置におい
て、平行光を発生する光源1から出射した光の光路上
に、複数の単レンズ21および22で構成される被検レ
ンズ2が、水平(XY)方向と高さ(Z)方向に位置調
整できるXYZステージ3上に設置固定される。
【0014】XYZステージ3は、高さ(Z)方向に位
置調整できるZプレート11、X方向に位置調整できる
Xプレート12、Y方向に位置調整できるYプレート1
3を備えている。そして、被検レンズ2はZプレート1
1上に設置固定している。
【0015】光源1から出射した光は、被検レンズ2を
透過した後、集光レンズ4を透過し、ハーフミラー5に
至って透過及び反射し、CCDカメラ6と、スクリーン
7とに投影される。なお、前記光源1、XYZステージ
3、集光レンズ4、ハーフミラー5、CCDカメラ6、
スクリーン7は、いずれもフレーム8により支持され
る。
【0016】前記XYZステージ3のZプレート11、
Xプレート12、Yプレート13には光源1から出射し
た光の透過穴11a、12a、13aを設けている。ま
た、フレーム8にも光源1から出射した光の通過を遮ぎ
られないような透過穴8a、8b、8cを設けている。
【0017】光源1から出射した光のうち、ハーフミラ
ー5を透過してCCDカメラ6に到達して結像しもの
は、CCDカメラ6により撮像されて電気信号に変換さ
れ、画像情報として画像入力機能、画像処理機能、演算
機能、モニタ9aへの画像等の表示機能を有するコンピ
ュータ装置9に取りこまれる。
【0018】また、光源1から出射した光のうち、ハー
フミラー5で反射してスクリーン7に至った光はスクリ
ーン7上に投影像として結像し、この投影像を目視によ
り観察できるようになっている。
【0019】(作用)図2の破線の矢印で示すように、
光源1から出射された平行光は被検レンズ2を透過し集
光レンズ4に入射する。集光レンズ4は光源1から出射
した光による像をハーフミラー5を介してCCDカメラ
6上及びスクリーン7上に集光し結像させる。
【0020】このとき、XYZステージ3により、被検
レンズ2の水平(XY)方向の位置調整を行うととも
に、集光レンズ4に対する被検レンズ2の距離を調整す
るために上下(Z)方向に移動させる。
【0021】すなわち、集光レンズ4を透過した光の像
は、CCDカメラ6及びスクリーン7に到達するが、こ
の際に光の像がCCDカメラ6の受光可能範囲に入るよ
うに被検レンズ2の水平方向の位置調整を行う。
【0022】また、CCDカメラ6及びスクリーン7に
前記像が結像するように被検レンズ2と集光レンズ4と
の距離(光軸方向の距離)調整をXYZステージ3によ
り行う。
【0023】前記CCDカメラ6とスクリーン7は、光
源1から出射された光の像が同じように結像するように
するために、各々集光レンズ4からの光路長が等しくな
るように位置調整されている。
【0024】そして、スクリーン7は、CCDカメラ6
の受光可能範囲が狭いことを考慮し、光の像が一旦CC
Dカメラ6の受光範囲を外れるとXYZステージ3によ
る水平位置調整が困難になることを防ぐために設けるも
のである。
【0025】即ち、スクリーン7は、CCDカメラ6の
受光可能範囲より広い受光面積を持ち、CCDカメラ6
の受光可能範囲外に像があるときにスクリーン7に投影
された像を見ながら、CCDカメラ6の受光可能範囲と
なるであろう位置に像が移動するようにXYZステージ
3による位置調整を行う。
【0026】このようにして、CCDカメラ6に到達し
撮像された光の像は、コンピュータ装置9に取り込まれ
るが、以下にコンピュータ装置9による画像処理につい
て説明する。
【0027】前記XYZステージ3により被検レンズ2
の位置調整を行った後、CCDカメラ6からコンピュー
タ装置9に取り込んだ像は、図3(a)に示すようにな
る。この像で図3(a)に示す一点鎖線部分の断面の輝
度分布を求めると、図3(b)に示すようになる。
【0028】このとき、前記像の中心部分の輝度が最大
になるようにXYZステージ3によりZ軸方向の微調整
を行うことで、被検レンズ2を設置しなおす毎に発生す
るばらつきをなくし、以下に示す計算処理を安定に行う
ことができるようになる。
【0029】即ち、図3(a)に示す像から、図4
(b)に示すような輝度分布(図3(b)の場合と同
様)を求め、さらに図4(b)のように適当な2値化閥
値で2値化処理すると、図4(a)に示すような画像と
なる。そして、図4(a)の画像の白色部分の重心を求
めて、これを測定の中心とする。
【0030】このようにして測定の中心を求めた後、画
像を2値化前の状態(図3(a)、図5(a)に示す状
態)に像に復元する。そして、図5(b)にハッチング
付きの2重円で示すような測定の中心から所定の半径を
もったリング部分を定義し、これを計算範囲とする。
【0031】但し、リング部分の外側及び内側の円の半
径は、測定者が任意に設定できるものとし、図5(a)
の像のリング部分を包含するように決定する。また図5
(b)のように測定の中心を原点としてxy座標を定義
する。尚、このxy座標は、像上で示すと図5(a)に
示す白色の一点鎖線に相当する。
【0032】このようにして求めた計算範囲と、xy座
標を元に、図6に示すように計算範囲にある画素すべて
に対してコンピュータ装置9の演算機能で下記数1の計
算を行う。
【0033】
【数1】
【0034】このようにして求めたVxとVyは、測定
中心からみたリング部分の輝度分布の偏りを示すもので
あり、この値がそれぞれ所定の管理値の範囲内にあるか
どうかをコンピュータ装置9に予め搭載している判定プ
ログラムで判定する。又は、下記数2の計算を行い、こ
の値が所定の管理値の範囲内にあるかどうかを判定して
もよい。
【0035】
【数2】
【0036】また、計算によって求めた結果が管理値範
囲外の場合には、被検レンズ2の中の単レンズ21、2
2の水平方向の相対位置の調整を行う等、レンズ組立時
の調整機として本実施の形態1の芯ずれ検知装置を機能
させることもできる。
【0037】(効果)このようにして本実施の形態1に
よれば、被検レンズ2の中の単レンズ21と単レンズ2
2の水平方向の相対位置のずれ(芯ずれ)を精度よく、
かつ、容易に検知することができる。
【0038】(実施の形態2) (構成)本発明の実施の形態2の構成は、前記実施の形
態1で説明した図1に示す構成と同様である。
【0039】(作用)本実施の形態2において、実施の
形態1の場合と同様にして被検レンズ2と集光レンズ4
との間の距離をXYZステージ3により変えていくと、
実施の形態1では図4(a)のように見えた光の像が図
7(a)のように見えるようになる。図7(a)の一点
鎖線部分の輝度分布をグラフにすると図7(b)に示す
ようになる。
【0040】このとき、図7(a)の光輪(リング)部
分の輝度が最大になるように前記XYZステージ3のZ
軸方向の微調整を行うことにより、被検レンズ2を設置
しなおす毎に発生するばらつきをなくし、以降の計算処
理を安定に行うことができるようになる。
【0041】図7(b)に示す輝度分布を、同じく図7
(b)に示す閾値で2値化処理を行うと、図7(c)に
示す像が得られる。その後、図7(c)のリング部分の
内側の黒色部分だけの重心を求め、その位置を測定中心
とする。
【0042】以下、実施の形態1と同じように、リング
部分を包含する計算範囲に対して計算処理を行い、その
値が所定の管理値以下になっているか否かをコンピュー
タ装置9のプログラムで判定する。
【0043】(効果)本実施の形態2においても、実施
の形態1の場合と同様に、被検レンズ2の中の単レンズ
21と単レンズ22の水平方向の相対位置のずれ(光軸
のずれ)を精度よく、かつ、容易に検知することができ
る。
【0044】
【発明の効果】本発明により、仮に光輪の明るさが一方
が明るく他方が暗くなるように観察される複合レンズの
場合においても、複数枚のレンズにより構成される複合
レンズの各レンズの芯ずれを精度よく検知できる複合レ
ンズの芯ずれ検知方法を提供できる。
【0045】また、本発明によれば、仮に光輪の明るさ
が一方が明るく他方が暗くなるように観察される複合レ
ンズの場合においても、XYZステージ、撮像手段、コ
ンピュータ装置を有する構成で、複合レンズの複数枚の
レンズの芯ずれを精度よく検知することができる複合レ
ンズの芯ずれ検知装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1及び2の複合レンズの芯
ずれ検知装置を示す概略構成図である。
【図2】本実施の形態1における光源1から出射された
平行光の被検レンズからCCDカメラ及びスクリーンに
至る光路を示す説明図である。
【図3】本実施の形態1におけるCCDカメラを経てコ
ンピュータ装置に取り込んだ像(図3(a))及びその
輝度分布(図3(b))を示す図である。
【図4】本実施の形態1における輝度分布(図4
(b);図3(b)の場合と同様)と2値化閥値で2値
化処理したときの像(図4(a))を示す図である。
【図5】本実施の形態1における2値化前の状態への復
元像(図5(a)及び測定の中心から所定の半径をもっ
た計算範囲(リング部分)(図5(b))を示す図であ
る。
【図6】本実施の形態1におけるxy座標で定義した計
算範囲及び画素の座標を示す説明図である。
【図7】本実施の形態2における被検レンズを光軸方向
に調整した場合の光の像(図7(a))と、輝度分布
(図7(b))と、図7(b)に示す像を閾値で2値化
処理したときの像(図7(c))を示す図である。
【図8】複合レンズを構成する単レンズ間光軸のずれに
伴って光輪の明るさが一方側が明るく他方側が暗くなる
ように観察される場合の像を示す図である。
【符号の説明】
1 光源 2 被検レンズ 3 XYZステージ 4 集光レンズ 5 ハーフミラー 6 CCDカメラ 7 スクリーン 8 フレーム 8a、8b、8c 透過穴 9 コンピュータ装置 9a モニタ 11 プレート 11a 透過穴 12 Xプレート 12a 透過穴 13 Yプレート 13a 透過穴 21 単レンズ 22 単レンズ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数枚のレンズにより構成される複合レ
    ンズに光を透過させ、その透過光を集光し結象させたと
    きに生じる光輪の状態により前記複数枚のレンズ同士の
    光軸のずれを検知する複合レンズの芯ずれ検知方法であ
    って、 前記複合レンズを透過して結像した光の像を撮像手段で
    撮像し、撮像した像の輝度情報を所定の閾値で2値化処
    理してその重心を測定中心とし、 この測定中心を原点とする直交座標を定義し、 測定中心から所定の距離範囲内を計算範囲に定め、計算
    範囲内を微小面積に細分化して微小面積内の2値化前の
    輝度にその座標値を乗じて前記計算範囲すべての微小面
    積について加算した値を、所定の管理値と比較すること
    で複合レンズの複数枚のレンズの芯ずれを検知すること
    を特徴とする複合レンズの芯ずれ検知方法。
  2. 【請求項2】 複数枚のレンズにより構成される複合レ
    ンズに光源からの光を透過させ、その透過光を集光し結
    象させたときに生じる光輪の状態により前記複数枚のレ
    ンズ同士の光軸のずれを検知する複合レンズの芯ずれ検
    知装置であって、 前記複合レンズを光軸方向、この光軸方向と直交しかつ
    互いに直交する2方向に移動可能に支持するXYZステ
    ージと、 前記複合レンズを透過して結像した光の像を撮像する撮
    像手段と、 撮像した像の輝度情報を所定の閾値で2値化処理してそ
    の重心を測定中心とし、この測定中心を原点とする直交
    座標を定義し、測定中心から所定の距離範囲内を計算範
    囲に定め、計算範囲内を微小面積に細分化して微小面積
    内の2値化前の輝度にその座標値を乗じて前記計算範囲
    すべての微小面積について加算した値を、所定の管理値
    と比較する処理を行うコンピュータ装置と、 を有することを特徴とする複合レンズの芯ずれ検知装
    置。
  3. 【請求項3】 前記XYZステージは、前記測定中心部
    分の輝度が最大に集光するように又は前記光輪部分の輝
    度が最大に集光するように前記複合レンズの光軸方向の
    位置を調整するものである請求項2記載の複合レンズの
    芯ずれ検知装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100769724B1 (ko) 2006-09-25 2007-10-24 삼성전기주식회사 카메라 모듈의 광축 검사 방법 및 비네팅 검출 방법
WO2008072709A1 (ja) * 2006-12-14 2008-06-19 Panasonic Corporation 回折光学素子の光学特性測定方法および回折光学素子の光学特性測定装置
CN100425965C (zh) * 2005-06-13 2008-10-15 普立尔科技股份有限公司 测量镜片偏芯距离的量测治具
JP2022191392A (ja) * 2017-06-02 2022-12-27 トライオプティクス ゲーエムベーハー 光学系の結像品質を検出する装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100425965C (zh) * 2005-06-13 2008-10-15 普立尔科技股份有限公司 测量镜片偏芯距离的量测治具
KR100769724B1 (ko) 2006-09-25 2007-10-24 삼성전기주식회사 카메라 모듈의 광축 검사 방법 및 비네팅 검출 방법
WO2008072709A1 (ja) * 2006-12-14 2008-06-19 Panasonic Corporation 回折光学素子の光学特性測定方法および回折光学素子の光学特性測定装置
US8089620B2 (en) 2006-12-14 2012-01-03 Panasonic Corporation Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element
US8284388B2 (en) 2006-12-14 2012-10-09 Panasonic Corporation Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element
US8390799B2 (en) 2006-12-14 2013-03-05 Panasonic Corporation Method for measuring optical characteristics of diffraction optical element and apparatus for measuring optical characteristics of diffraction optical element
JP2022191392A (ja) * 2017-06-02 2022-12-27 トライオプティクス ゲーエムベーハー 光学系の結像品質を検出する装置
JP7274032B2 (ja) 2017-06-02 2023-05-15 トライオプティクス ゲーエムベーハー 光学系の結像品質を検出する装置

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