JP2003110892A - カメラモジュール - Google Patents

カメラモジュール

Info

Publication number
JP2003110892A
JP2003110892A JP2001294668A JP2001294668A JP2003110892A JP 2003110892 A JP2003110892 A JP 2003110892A JP 2001294668 A JP2001294668 A JP 2001294668A JP 2001294668 A JP2001294668 A JP 2001294668A JP 2003110892 A JP2003110892 A JP 2003110892A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
camera module
conductive pattern
semiconductor
module according
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001294668A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Kobayashi
健一 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP2001294668A priority Critical patent/JP2003110892A/ja
Publication of JP2003110892A publication Critical patent/JP2003110892A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Studio Devices (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Camera Bodies And Camera Details Or Accessories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回路モジュールを実装基板無しで構成し、そ
の内部に半導体素子を立体的に実装する。 【解決手段】 CCD55および半導体モジュール40
等の内蔵部品を透明樹脂35で封止する。CCD55の
上方に対応する部分に空洞部59を有するホルダー56
で、透明樹脂35を全体的に覆うように実装する。ホル
ダー56の上面の空洞部56を覆うように、レンズ58
を有するレンズバレル57を実装する。このようにカメ
ラモジュール30を構成することにより、レンズ58に
依って集光された光は、空洞部59を通過してCCD5
5に到達することができる。従って、必要最小限の要素
でカメラモジュール30を構成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はカメラモジュールに
関し、特に実装基板を不要にし且つその内部に於いて半
導体素子を立体的に実装することにより薄型・軽量化し
たカメラモジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、カメラモジュールは、携帯電話、
携帯用のコンピューター等に積極的に採用されるように
なった。従ってカメラモジュールは、小型化、薄型化、
軽量化が求められている。
【0003】本発明では、1例として、半導体撮像素子
としてCCDを用いたカメラモジュールを用いて説明を
行う。尚、CCD以外の半導体撮像素子(例えばCMO
Sセンサー等)を用いても同様である。
【0004】図18を参照して、従来のカメラモジュー
ルの構造を説明する。先ず、実装基板1にCCD2が実
装されている。そして、CCD2の上方に、外部からの
光を集めるレンズ5がレンズバレル6に固定されてい
る。また、レンズバレル6はレンズホルダー7によって
ホールドされており、レンズホルダー7はレンズ止めビ
ス8によって実装基板1に実装されている。
【0005】ここで、CCDは、(Charge Co
upled Device)の略で、レンズ5によって
集められた光の強さに応じた電荷を出力する働きを有す
る。また、レンズバレル6は側面がねじ状になっており
(図示せず)、回転することによってレンズ5の焦点を
合わせる働きを有する。
【0006】更に、実装基板1の表面および裏面に、チ
ップ部品3と裏面チップ部品4が実装されている。これ
らチップ部品としては、DSP、ドライブ用IC、コン
デンサ、抵抗、ダイオードが挙げられる。DSPは(D
igital SignalProcessor)の略
で、CCDから送られたデジタル信号を高速に処理する
働きを有する。また、ドライブ用ICは、CCDを駆動
させるためにDSPからの駆動信号を昇圧して、CCD
内に蓄積された電荷を転送させる働きを有する。
【0007】次に、図19を参照して、このカメラモジ
ュールの組立方法を説明する。
【0008】先ず、図19(A)を参照して、実装基板
1を用意し、その表面にCCD2とチップ部品3を実装
する。
【0009】次に、図19(B)を参照して、実装基板
1の裏面に裏面チップ部品4を実装する。
【0010】最後に、図19(C)を参照して、レンズ
5が固定されたレンズバレル6をレンズホルダー7に固
定し、レンズ止めビス8を用いて、レンズホルダー7を
実装基板1に固定する。なお、レンズ止めビス8でレン
ズホルダー7を固定するためには、対応する箇所にスル
ーホールが必要である。
【0011】以上の方法により、実装基板1を用いた従
来型のカメラモジュールが完成する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】図18に於いて、チッ
プ部品3、裏面チップ部品4、レンズ、レンズバレル
6、レンズホルダー7、CCD2は必要な構成要素であ
るが、これだけの構成要素で小型化、薄型化、軽量化を
実現するカメラモジュールを提供するのは難しかった。
【0013】また、実装基板1は本来不要なものであ
る。しかし製造方法上、電極を貼り合わせるために、ま
たレンズホルダー7を固定するために実装基板を利用し
ている。従って、この実装基板1を無くすことができな
かった。
【0014】そのため、この実装基板1を採用すること
によって、コストが上昇し、更には実装基板1が厚いた
めに、カメラモジュールとして厚くなり、小型化、薄型
化、軽量化に限界があった。
【0015】更に、実装基板にはチップ部品3および裏
面チップ部品4が別々に実装されている。従って、実装
面積が大きく成ってしまう問題があった。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明のカメラモジュー
ルは前述した課題に鑑みて成され、第1に、第1の導電
パターンおよび第2の導電パターンから形成される第1
の支持基板を有し、前記第1の導電パターンにフリップ
チップボンディングにより固着された半導体素子を有す
る半導体モジュールと、前記第2の導電パターン上に実
装された半導体撮像素子および裏面チップ部品と、前記
半導体モジュール、前記半導体撮像素子および前記裏面
チップ部品を被覆する透明樹脂と、前記透明樹脂を全体
的に覆い、前記半導体撮像素子の上方に対応する部分に
空洞部を有するホルダーと、前記ホルダー上面に前記空
洞部を覆うように固着され、上部にレンズを有するレン
ズバレルと、前記半導体モジュールが前記第2の導電パ
ターンを上側にして固着された第2の支持基板と、前記
半導体モジュールの取り出し電極と、前記第2の支持基
板との電気的接続を行う金属細線と、前記第2の支持基
板に形成された外部接続電極とを有することで解決する
ものである。
【0017】半導体撮像素子は、半導体モジュールの裏
面を実装基板としているため、実装基板無しでカメラモ
ジュールを構成することができる。また、透明樹脂を用
いて半導体撮像素子等を封止することにより、半導体撮
像素子を保護できると同時に、レンズによって集光され
た光が透明樹脂を通過して半導体撮像素子に到達するこ
とができる。
【0018】第2に、前記透明樹脂は、前記ホルダーの
位置を固定するための凹部を有し、前記ホルダーは前記
凹部に対応する凸部を有することで解決するものであ
る。
【0019】第3に、前記透明樹脂は、可視光線に対し
て透明な材料で構成されていることで解決するものであ
る。
【0020】第4に、前記ホルダーは遮光性の材料で構
成されることで解決するものである。
【0021】第5に、前記空洞部の面方向の断面は、前
記半導体撮像素子の面方向の断面よりも大きいことで解
決するものである。
【0022】第6に、前記半導体撮像素子の撮像エリア
の中心軸と前記レンズの中心軸は、一致することで解決
するものである。
【0023】第7に、前記半導体撮像素子は、CCDま
たはCMOSセンサーであることで解決するものであ
る。
【0024】第8に、前記半導体素子は、DSPまたは
ドライバー用ICであることで解決するものである。
【0025】第9に、前記裏面チップ部品は、コンデン
サ、抵抗、トランジスタ、ダイオードまたはLSIであ
ることで解決するものである。
【0026】第10に、前記第2の支持基板には、前記
半導体モジュールの他にコンデンサ、抵抗、トランジス
タ、ダイオードまたはLSIが実装されることで解決す
るものである。
【0027】第11に、前記取り出し電極は、前記半導
体モジュールの周辺部に設けられることで解決するもの
である。
【0028】第12に、前記第1の支持基板は、絶縁フ
ィルムの両面に前記第1の導電パターンおよび前記第2
の導電パターンを有することで解決するものである。
【0029】第13に、前記絶縁フィルムは、フレキシ
ブルシートであることで解決するものである。
【0030】第14に、前記第1の支持基板は、前記絶
縁性樹脂に埋め込まれた前記第1の導電パターンおよび
層間絶縁膜を介して設けられた前記第2の導電パターン
を有することで解決するものである。
【0031】層間絶縁膜を介して第1の導電パターンお
よび第2の導電パターンを構成することにより、多層配
線が可能となる。従って、第2の導電パターン上に載置
する裏面チップ部品として、入力・出力端子の多いLS
I等を採用することができる。
【0032】第15に、前記第2の支持基板は、前記絶
縁性樹脂に埋め込まれた第3の導電パターンおよび層間
絶縁膜を介して設けられた第4の導電パターンを有する
ことで解決するものである。
【0033】第16に、前記金属細線は、前記取り出し
電極と前記第3の導電パターンとの電気的接続を行うこ
とで解決するものである。
【0034】第17に、前記第2の支持基板は、前記絶
縁性樹脂に埋め込まれた導電箔パターンであることで解
決するものである。
【0035】第18に、前記金属細線は、前記取り出し
電極と前記導電箔導電パターンとの電気的接続を行うこ
とで解決するものである。
【0036】第19に、前記半導体モジュールは、前記
第1の導電パターンおよび前記第2の導電パターンから
形成される前記第1の支持基板と、前記第1の導電パタ
ーンにフリップチップボンディングにより固着された前
記半導体素子および内部チップ部品と、前記半導体素子
および前記内部チップ部品を被覆し且つ全体を支持する
絶縁樹脂層とを有することで解決するものである。
【0037】カメラモジュールに内蔵される半導体モジ
ュールに、複数の半導体素子を内蔵させることにより、
半導体モジュールの裏面面積を大きくすることができ
る。従って、より多くの裏面チップ部品を半導体モジュ
ールの裏面に実装することが可能となり、カメラモジュ
ールの実装密度を更に向上させることができる。
【0038】
【発明の実施の形態】カメラモジュールの構造を説明す
る第1の実施の形態 先ず、本発明のカメラモジュール30について、図1を
参照しながら説明する。図1(A)はカメラモジュール
30の断面図であり、図1(B)はその上面図である。
本実施の形態では、第2の支持基板として、透明樹脂3
5に導電箔パターン39が埋め込まれた、単層配線の導
電箔パターン39を採用したカメラモジュール30を説
明する。
【0039】図1(A)を参照して、本発明に係るカメ
ラモジュール30は、導電箔パターン39と、導電箔パ
ターン39上に実装されたチップ部品33および半導体
モジュール40と、半導体モジュール40の取り出し電
極42と導電箔パターン39との電気的接続を行う金属
細線34と、半導体モジュール40が有する第2の導電
パターン上に実装されたCCD55および裏面チップ部
品36と、CCD55を含む上記要素を被覆し且つ全体
を支持する透明樹脂35と、透明樹脂35を全体的に被
覆し且つCCD55の上方に対応する部分に空洞部59
を有するホルダー56と、ホルダー56上面の空洞部5
9を覆うように実装され且つ上部にレンズ58を有する
レンズバレル57とから構成されている。
【0040】上記したカメラモジュール30を構成する
各要素の説明を行う。
【0041】半導体モジュール40は、第1の導電パタ
ーン41にDSP31をフリップチップで実装して構成
されている。そして、この半導体モジュール40は導電
箔パターン39に、絶縁性接着剤を用いてフェイスアッ
プで実装されている。半導体モジュール40の取り出し
電極42と導電箔パターン39との電気的接続は金属細
線40で行われている。また、半導体モジュール40に
は第2の導電パターン37にCCD55および裏面チッ
プ部品36が実装され、実装基板の働きも有する。半導
体モジュール40の詳細な構成および製造方法は後述す
る。ここでは半導体モジュール40はDSP31を内蔵
しているが、ドライバー用IC等を内蔵しても良い。
【0042】導電箔パターン39としては、Cuを主材
料とした導電箔、Alを主材料とした導電箔、またはF
e−Ni等の合金から成る導電箔等を用いることができ
る。もちろん、他の導電材料でも可能であり、特にエッ
チングできる導電材、レーザで蒸発する導電材が好まし
い。
【0043】チップ部品33としては、コンデンサ、抵
抗、トランジスタ、ダイオードまたはISIがフェイス
ダウンで導電箔パターン39に実装される。
【0044】CCD55は半導体撮像素子であり、半導
体モジュール40の裏面に設けられる。このCCD55
は、レンズ58によって集められた光を電気信号に変換
する働きを有し、入ってきた光の光量に応じた電荷を出
力する。また、撮像素子としてCCDではなく、CMO
Sセンサーを用いる場合もある。本発明に於いてはCC
D55を用いた場合のみについて説明を行うが、半導体
撮像素子としてCMOSセンサーを用いても同様の効果
が得られる。
【0045】裏面チップ部品36としては、チップ部品
39と同じく、コンデンサ、抵抗、トランジスタ、ダイ
オードまたはISIが採用される。そして、裏面チップ
部品36は、フェイスダウンで半導体モジュール40の
第2の導電パターン37上に実装される。
【0046】ここで、CCD55、チップ部品33およ
び裏面チップ部品36の接続は、金属接続板、ロウ材か
ら成る導電ボール、半田等のロウ材、Agペースト等の
導電ペーストを用いて行う。
【0047】このように、CCD55および裏面チップ
部品36を半導体モジュール40の裏面に実装すること
により、カメラモジュール30の実装密度を向上させる
ことが可能となる。従って、カメラモジュール30を小
型化・薄型化することができる。
【0048】透明樹脂35としては、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂を用いることができる。また本発明に於い
て、透明樹脂35は半導体素子等を封止すると同時に、
カメラモジュール全体を支持する働きも有する。更に、
透明樹脂35の上面には、ホルダー56の実装位置を固
定するための凹部49Aが設けられる。
【0049】ホルダー56は、透明樹脂35を全体的に
被覆し、上部にレンズバレル57が実装される。ホルダ
ー56と透明樹脂35との接合は接着剤を介して行われ
る。また、ホルダー56の下面には、透明樹脂35の上
面に設けられた凹部49Aに対応した凸部49Bが設け
られている。従って、ホルダー56が有する凸部49B
を、透明樹脂35に設けられた凹部49Aにはめこむこ
とにより、ホルダー56の位置を正確に固定することが
できる。またホルダー56は、CCD55の上方に対応
する部分に空洞部59を有している。ここで、ホルダー
56の材料としては遮光性の樹脂等が用いられる。
【0050】空洞部59は、ホルダー56において、C
CD55の上方に対応する部分に設けられている。従っ
てホルダー56を透明樹脂35に実装すると、空洞部5
9の底部には、透明樹脂35が露出する。空洞部59
は、CCD55に集光される光が通過するので、そのサ
イズはCCD55よりも充分大きい。つまり、空洞部5
9の横方向の断面はCCD55よりも大きい。
【0051】レンズバレル57は、上部にレンズ58を
有し、ホルダー56の上部に接着剤を介して実装され
る。また、レンズバレル57は、レンズ58を上下に動
かして焦点を合わせるために、その内部にねじ構造を有
する。ここで、レンズ58の中心軸と、レンズ58の下
方に載置されたCCD55の撮像エリアの中心軸は実質
的に一致している。従って、レンズ58により屈折した
光は、正確にCCD55の撮像エリアに集中する。
【0052】図1(B)を参照して、取り出し電極42
は半導体モジュール40の周辺部に設けられる。取り出
し電極42を介して、半導体モジュール40と導電箔パ
ターン39は、金属細線34で電気的に接続される。こ
の図では取り出し電極42は20個程度だが、実際には
多数設けられる。
【0053】次に、図2を参照して、導電箔パターン3
9に実装される半導体モジュール40の構造について説
明する。図2(A)は半導体モジュール40の断面図で
あり、図2(B)はその上面図であり、図2(C)は裏
面図である。
【0054】図2(A)を参照して、半導体モジュール
40は、絶縁樹脂に埋め込まれた第1の導電パターン4
1と、層間絶縁膜38を介して設けた第2の導電パター
ン37と、第1の導電パターンに固着されたDSP31
と、第2の導電パターンに固着されたCCD55および
裏面チップ部品36と、第2の導電パターンで形成され
る取り出し電極42とから構成される。
【0055】次に、半導体モジュール40を構成する各
要素の説明を行う。
【0056】層間絶縁膜38は、ポリイミド樹脂、エポ
キシ樹脂等が望ましい。ペースト状のものを塗ってシー
トとするキャスティング法の場合、その膜厚は10μm
〜100μm程度である。また、シートとして形成する
場合、市販のものは25μmが最小の膜厚である。ま
た、熱伝導性が考慮されて中にフィラーが混入されても
良い。材料としては、ガラス、酸化Si、酸化アルミニ
ウム、窒化ADSPカーバイト、窒化ボロン等が使用さ
れる。第1の導電パターン41および第2の導電パター
ン37はこの層間絶縁膜38を介して接合され、支持基
板の働きを有する。従って、従来の半導体装置で使用さ
れた実装基板を不要としていることから、半導体モジュ
ール40は薄型・軽量となっている。
【0057】DSP31は、第2の導電パターン37か
ら形成される接続電極43にフリップチップ実装され
る。裏面チップ部品36を実装する支持基板46の大き
さは、このDSP31の大きさにより決定される。ここ
で、DSP31は、カメラモジュール30に実装される
回路素子の中で、比較的大型のものである。このことに
より、より多数のチップ部品を支持基板46に実装する
ことが可能となり、カメラモジュール30の実装密度を
向上させることができる。DSP31の機能的な説明
は、従来の技術の欄で説明したので割愛する。また、D
SP31の代わりにドライバー用IC等が、接続電極4
3にフリップチップ実装されても良い。
【0058】図2(B)を参照して、第2の導電パター
ン37は、CCD55および裏面チップが実装されるパ
ッド45および取り出し電極42を形成する。更に、パ
ッド45と取り出し電極42を電気的に接続するパター
ンも形成される。また、反対の面に設けられた接続電極
43と、取り出し電極42を電気的に接続するパターン
も設けられる。このパターンは、スルーホール44を介
して、電気的接続を行っている。このことにより、より
複雑な導電パターンを作成することができる。
【0059】図2(C)を参照して、第1の導電パター
ンは、主に、DSP31をフリップチップ実装するため
の接続電極43を形成する。また、裏面チップ部品36
と取り出し電極42の電気的接続を行うパターンも形成
する。なお、第1の導電パターンおよび第2の導電パタ
ーンの材料としては、Cuを主材料とした導電箔、Al
を主材料とした導電箔、またはFe−Ni等の合金から
成る導電箔等が使用される。また、第1の導電パターン
41がDSP31とショートするのを防止するために、
第1の導電パターン41は絶縁性樹脂で部分的に覆われ
る。
【0060】以上の半導体モジュール40の説明では、
層間絶縁膜38を介して第1の導電パターン41および
第2の導電パターン37が設けられて多層配線を実現し
ていた。ここで、層間絶縁膜38の代替にフレキシブル
シート等の絶縁フィルムを使用しても良い。つまりフレ
キシブルシートの両面に、第1の導電パターン41およ
び第2の導電パターン37を設ける。このことにより、
多層配線を実現することができる。
【0061】本発明にかかるカメラモジュール30は、
図1に示す如く、CCD55および半導体モジュール4
0等の内蔵部品を透明樹脂35で被覆することに特徴を
有する。
【0062】この特徴を具体的に説明する。透明樹脂3
5は、CCD55および半導体モジュール40等の内蔵
部品の全てを被覆している。透明樹脂35は、可視光線
が通過できるような透明な材料で構成されているので、
光を通過させることができる。従って、CCD55は絶
縁性樹脂で封止されているが、外部からの光を受光する
ことができる。
【0063】またホルダー56は、CCD55上方に対
応する空洞部59を除いて、透明樹脂35を全面的に覆
っている。ホルダー56は遮光性の材料から構成されて
いるので、空洞部59以外の部分から光は透明樹脂35
内部に進入しない。また空洞部上部にはレンズバレル5
7が実装され、レンズバレル57は上部にレンズ58を
有する。従って、レンズ58に依って集光された光は、
空洞部59と透明樹脂35を通過してCCD55に到達
することができる。
【0064】更にDSP31は、上面が半導体モジュー
ル40の支持基板に接着され、下面が導電箔パターン3
9に接着されている。従ってDSP31には光が入光し
ない。光がDSP等のLSIに入光してしまった場合、
電子が励起されてしまいLSIが誤作動してしまうこと
がある。しかし本発明のカメラモジュール30では、D
SP31には光が入光しないので、誤作動を防止するこ
とができる。
【0065】従来に於いては、ビス等を用いてホルダー
56等のカメラモジュールの構成要素を基板に実装して
いた。それに対して本発明では、CCD55等の内蔵部
品を透明樹脂35で封止し、透明樹脂35を全体的に覆
うようにホルダー56を実装している。つまり、透明樹
脂35の上面が従来の実装基板の如き働きを有してい
る。
【0066】また、透明樹脂35の上面には凹部49A
が設けられており、ホルダー56は凹部49Aに対応す
る箇所に凸部49Bが設けられている。従って、凹部4
9Aと凸部49Bを嵌合させるだけで、ホルダー56を
所定の位置に実装することができる。
【0067】このことにより、本発明のカメラモジュー
ル30は実装基板を不要にして構成されている。つま
り、本来必要な構成要素だけで構成されている。従って
カメラモジュール30は薄型・軽量となっている。
【0068】本発明にかかるカメラモジュール30は、
図1に示す如く、立体的に半導体素子を内蔵することに
も特徴を有する。
【0069】この特徴を具体的に説明する。半導体モジ
ュール40は、DSP31を内蔵し、更に、その裏面に
は第2の導電パターン37を有する。従って、第2の導
電パターン37で形成されるパッドに、CCD55およ
びチップ部品36を実装することができる。つまり、導
電箔パターン39に実装される半導体モジュール40
に、更に、CCD55および裏面チップ部品36を実装
することができる。このことから、従来に於いては実装
基板上に平面的に半導体素子等を実装したが、本発明の
カメラモジュール30は半導体素子を立体的に内蔵して
いる。
【0070】また、半導体モジュール40の支持基板は
第1の導電パターン41と第2の導電パターン37を有
するので、多層配線が可能となり、複雑な導電パターン
を形成することができる。このことにより、CCD55
等の入力・出力端子の多い半導体素子を採用することが
可能となる。
【0071】更に、本発明のカメラモジュール30は、
透明樹脂35で全体が支持されているので、必要最小限
の構成要素で形成されている。
【0072】以上のことから、本発明のカメラモジュー
ル30は薄型・軽量となっている。
【0073】尚、本発明に斯かるカメラモジュール28
の大きさは、縦×横×高さが9mm×9mm×5mmで
ある。それに対して従来のカメラモジュールの大きさ
は、縦×横×高さが19mm×13mm×7mmであ
る。従って本発明に斯かるカメラモジュール28は、従
来のものと比較して容積比で1/4以下となり、非常に
小型のものとなっている。
【0074】更にカメラモジュール30は、図1に示す
如く、DSP31を導電箔パターン39の上部に配置す
ることにも特徴を有する。
【0075】図1(A)を参照して、DSP31が実装
された半導体モジュール40はフェイスアップで導電箔
パターン39に実装されている。つまり、DSP31が
導電箔パターン39に直接固着される形となるので、D
SP31から発生した熱は導電箔パターン39を介して
容易に外部に放出される。このことから、本発明に斯か
るカメラモジュール30は熱の放散性が非常に優れてい
ると言える。
【0076】ここで、DSP31は導電箔パターン39
を介して外部に熱を放出できるのに対し、裏面チップ部
品36は透明樹脂35に封止されているので熱の放出が
容易ではない。従って、発熱量が小さい小信号系の半導
体素子を裏面チップ部品36として採用し、発熱量が大
きいDSP31をこのように配置することにより、カメ
ラモジュール30の放熱性を更に向上させることができ
る。カメラモジュールの構造を説明する第2の実施の形
態本発明のカメラモジュール30について、図3を参照
しながら説明する。図3(A)はカメラモジュール30
の断面図であり、図3(B)はその上面図である。ここ
で、図3に於いて、図1と同一の符号を付した部分は同
一物を表している。
【0077】本実施の形態では、第2の支持基板とし
て、層間絶縁膜53を介して設けられた第3の導電パタ
ーン51および第4の導電パターン52を採用したカメ
ラモジュール30を説明する。
【0078】図3(A)を参照して、本発明に係るカメ
ラモジュール30は、層間絶縁膜53を介して設けられ
た第3の導電パターン51および第4の導電パターン5
2と、導電箔パターン39上に実装されたチップ部品3
3および半導体モジュール40と、半導体モジュール4
0の取り出し電極42と導電箔パターン39との電気的
接続を行う金属細線34と、半導体モジュール40が有
する第2の導電パターン上に実装されたCCD55およ
び裏面チップ部品36と、CCD55を含む上記要素を
被覆し且つ全体を支持する透明樹脂35と、透明樹脂3
5を全体的に被覆し且つCCD55の上方に対応する部
分に空洞部59を有するホルダー56と、ホルダー56
上面の空洞部59を覆うように実装され且つ上部にレン
ズ58を有するレンズバレル57とから構成されてい
る。
【0079】このように、カメラモジュール30の構成
要素は、第1の実施の形態で説明したカメラモジュール
30と基本的に同一である。本実施の形態に係るカメラ
モジュール30のポイントは、層間絶縁膜53を介して
設けられた第3の導電パターン51および第4の導電パ
ターン52にある。従って、本実施の形態に於いては、
このポイントのみについて説明を行い、それ以外の要素
の説明は割愛する。
【0080】層間絶縁膜53は、ポリイミド樹脂、エポ
キシ樹脂等が望ましい。ペースト状のものを塗ってシー
トとするキャスティング法の場合、その膜厚は10μm
〜100μm程度である。また、シートとして形成する
場合、市販のものは25μmが最小の膜厚である。ま
た、熱伝導性が考慮されて中にフィラーが混入されても
良い。材料としては、ガラス、酸化Si、酸化アルミニ
ウム、窒化ADSPカーバイト、窒化ボロン等が使用さ
れる。
【0081】第3の導電パターン51は、シート状の導
電膜をエッチングして形成される。第1の導電膜は厚さ
が5〜35μm程度に形成され、エッチングによりボン
ディングパッドや配線が形成される。ボンディングパッ
ドの数は、半導体モジュール40の取り出し電極42の
数が多いほど、ファインパターン化が要求される。ま
た、第3の導電パターンの、金属細線34またはチップ
部品33の電極と接続する部分は、ボンディングが行え
るように金あるいは銀メッキが表面に施されている。
【0082】第4の導電パターン52は、第3の導電パ
ターン51と同様に、シート状の導電膜をエッチングし
て形成される。第4の導電パターン52の厚さは70μ
mから200μm程度であり、ファインパターンには適
さないが、外部接続電極32を形成するのが主であり、
必要に応じて多層配線を形成する。
【0083】半導体モジュール40は、第3の導電パタ
ーン51を被覆する絶縁性樹脂54上に接着剤で固着さ
れ、半導体モジュール40と第3の導電パターン51は
電気的に絶縁されている。この結果、半導体モジュール
40の下方にはファインパターンの第3の導電パターン
51が自由に配線でき、配線の自由度が大幅に増大す
る。
【0084】図3に示すカメラモジュール30は、2層
の多層配線を有するが、必要に応じて3層以上の導電パ
ターンを設けることも可能となる。導電パターンの層数
を増やすことにより、より複雑な導電パターンを形成す
ることが可能となり、カメラモジュールの実装密度を向
上させることができる。 カメラモジュールの構造を説明する第3の実施の形態 本発明のカメラモジュール30について、図4を参照し
ながら説明する。図4(A)はカメラモジュール30の
断面図であり、図4(B)はその上面図である。ここ
で、図4に於いて、図1と同一の符号を付した部分は同
一物を表している。
【0085】図4(A)を参照して、本発明に係るカメ
ラモジュール30は、導電箔パターン39と、導電箔パ
ターン39上に実装されたチップ部品33および半導体
モジュール40と、半導体モジュール40の取り出し電
極42と導電箔パターン39との電気的接続を行う金属
細線34と、半導体モジュール40が有する第2の導電
パターン上に実装されたCCD55および裏面チップ部
品36と、CCD55を含む上記要素を被覆し且つ全体
を支持する透明樹脂35と、透明樹脂35を全体的に被
覆し且つCCD55の上方に対応する部分に空洞部59
を有するホルダー56と、ホルダー56上面の空洞部5
9を覆うように実装され且つ上部にレンズ58を有する
レンズバレル57とから構成されている。
【0086】このように、カメラモジュール30の構成
要素は、第1の実施の形態で説明したカメラモジュール
30と基本的に同一である。本実施の形態に係るカメラ
モジュール30のポイントは、導電箔パターン39に実
装される半導体モジュール40の構造にある。従って、
本実施の形態に於いては、このポイントのみについて説
明を行い、それ以外の要素の説明は割愛する。
【0087】図4(A)を参照して、半導体モジュール
40は、絶縁樹脂層に埋め込まれた第1の導電パターン
41と、層間絶縁膜38を介して設けた第2の導電パタ
ーン37と、第1の導電パターンに固着されたDSP3
1および内部チップ部品48と、第2の導電パターンに
固着されたCCD55および裏面チップ部品36と、第
2の導電パターンで形成される取り出し電極42と、D
SP31および内部チップ部品48を被覆する絶縁樹脂
層とから構成される。
【0088】このように、複数の半導体素子が絶縁樹脂
層で被覆された半導体モジュール40を採用することに
より、半導体モジュール40の裏面の面積は大きくな
る。従って、より多数の裏面チップ部品36を実装する
ことが可能となり、カメラモジュール30の実装密度を
更に向上させることができる。
【0089】なお本実施の形態に於いても、図3に示す
ように、第3の導電パターンおよび第4の導電パターン
を設けることができる。つまり、カメラモジュール30
の第2の支持基板を多層配線の構造にすることができ
る。このことによりカメラモジュール30の実装密度を
さらに向上させることができる。 カメラモジュールの製造方法を説明する第4の実施の形
態 次に、図5〜図17を参照して、カメラモジュール30
の製造方法を説明する。ここでは、実装部品である半導
体モジュール40を製造し、さらにカメラモジュール3
0を製造するまでの工程を説明する。
【0090】本実施例では、図1に示すカメラモジュー
ル30の製造方法を説明する。つまり本実施の形態に係
るカメラモジュール30は、第2の支持基板として単層
の導電箔パターン39を採用している。図3および図4
に示すカメラモジュールの製造方法も、半導体モジュー
ル40を製造する工程および導電箔パターン39を製造
する工程以外のは、図1のカメラモジュール30と同一
である。
【0091】図5に、カメラモジュールを製造するフロ
ーを示す。このフローに示す如く、半導体モジュールの
フローでカメラモジュールに内蔵される半導体モジュー
ルが製造される。Cu箔、Agメッキ、ハーフエッチン
グの3つのフローで導電箔パターンの形成が行われる。
ダイボンドのフローでは各搭載部への半導体モジュール
およびチップ部品の固着が行われる。それと同時に、半
導体モジュールの裏面にCCDおよび裏面チップ部品が
実装される。ワイヤーボンディングのフローでは半導体
モジュールと導電箔パターンとの電気的接続が行われ
る。トランスファーモールドのフローでは絶縁性樹脂に
よる共通モールドが行われる。裏面Cu箔除去のフロー
では絶縁性樹脂が露出するまで導電箔の裏面全域のエッ
チングが行われる。測定のフローでは各搭載部に組み込
まれた半導体素子の良品判別や特性ランク分けが行われ
る。ダイシングのフローでは絶縁性樹脂をダイシングす
ることで個別のカメラモジュールへの分離が行われる。
ホルダー実装およびレンズバレル実装のフローでは、個
別のカメラモジュールのホルダー上部にホルダーおよび
レンズバレルが実装される。
【0092】以下に、本発明のカメラモジュールを製造
する各工程を図6〜図17を参照して説明する。
【0093】第1の工程は、図6から図7に示すよう
に、カメラモジュール30に内蔵される半導体モジュー
ル40を製造することにある。
【0094】本工程では、まず図6(A)を参照して、
層間絶縁膜38を介して接着された第1の導電パターン
41および第2の導電パターン37を有する支持基板4
6を用意する。なお、第1の導電パターン41は上方に
DSPが実装されるので、樹脂層でオーバーコートされ
ている。そして、第1の導電パターン41から形成され
る外部接続電極43には、DSP31との電気的接続の
ために、表面にメッキが施されている。
【0095】次に、図6(B)を参照して、支持基板4
6上にDSP31を絶縁性接着剤を介して実装する。こ
こで、DSP31と支持基板46との電気的接続は、D
SP31の電極と支持基板の接続電極31との接合で行
われる。
【0096】次に、図7(A)を参照して、DSP31
が実装された支持基板46を、ダイシングブレードDを
用いて、個々の半導体モジュール40に分離する。
【0097】最後に、図7(B)を参照して、半導体モ
ジュール40が完成する。半導体モジュール40は、後
の工程で導電箔パターン39に実装される。また、第2
の導電箔パターン37上には、CCD55および裏面チ
ップ部品が実装される。
【0098】なお、図6および図7ではDSP31が実
装される面が上方向になっている。しかし、半導体モジ
ュール40が導電箔パターン39に実装される際は、上
下逆で実装される。つまり、DSP31を下方向にして
半導体モジュール40は実装される。
【0099】第2の工程は、図8から図10に示すよう
に、導電箔60を用意し、少なくとも半導体モジュール
40およびチップ部品33の搭載部を多数個形成する導
電箔パターン39を除く領域の導電箔60に導電箔60
の厚みよりも浅い分離溝を化学的エッチングにより形成
して導電箔パターン39を形成することにある。
【0100】本工程では、まず図8(A)の如く、シー
ト状の導電箔60を用意する。この導電箔60は、ロウ
材の付着性、ボンディング性、メッキ性が考慮されてそ
の材料が選択され、材料としては、Cuを主材料とした
導電箔、Alを主材料とした導電箔またはFe−Ni等
の合金から成る導電箔等が採用される。
【0101】導電箔の厚さは、後のエッチングを考慮す
ると10μm〜300μm程度が好ましい。しかし、後
述するように、導電箔60の厚みよりも浅い分離溝61
が形成できる厚さであれば良い。
【0102】尚、シート状の導電箔60は、所定の幅、
例えば45mmでロール状に巻かれて用意され、これが
後述する各工程に搬送されても良いし、所定の大きさに
カットされた短冊状の導電箔60が用意され、後述する
各工程に搬送されても良い。
【0103】具体的には、図8(B)に示す如く、短冊
状の導電箔60に多数の搭載部が形成されるブロック6
2が4〜5個離間して並べられる。各ブロック62間に
はスリット63が設けられ、モールド工程等での加熱処
理で発生する導電箔60の応力を吸収する。また導電箔
60の上下周端にはインデックス孔64が一定の間隔で
設けられ、各工程での位置決めに用いられる。
【0104】続いて、導電箔パターンを形成する。
【0105】まず、図9に示す如く、Cu箔60の上
に、ホトレジスト(耐エッチングマスク)PRを形成
し、導電箔パターン39となる領域を除いた導電箔60
が露出するようにホトレジストPRをパターニングす
る。そして、ホトレジストPRを介して導電箔60を選
択的にエッチングする。
【0106】具体的に、この化学的エッチングにより形
成された分離溝61の深さは、例えば50μmであり、
その側面は、粗面となり、非異方性にエッチングされる
ためにその側面は湾曲構造となり、透明樹脂35との接
着性が向上される。
【0107】なお、図9に於いて、ホトレジストの代わ
りにエッチング液に対して耐食性のある導電被膜(図示
せず)を選択的に被覆しても良い。導電路と成る部分に
選択的に被着すれば、この導電被膜がエッチング保護膜
となり、レジストを採用することなく分離溝をエッチン
グできる。この導電被膜として考えられる材料は、A
g、Ni、Au、PtまたはPd等である。しかもこれ
ら耐食性の導電被膜は、ダイパッド、ボンディングパッ
ドとしてそのまま活用できる特徴を有する。
【0108】例えばAg被膜は、Auと接着するし、ロ
ウ材とも接着する。よってチップ裏面にAu被膜が被覆
されていれば、そのまま導電箔パターン39上のAg被
膜にチップを熱圧着でき、また半田等のロウ材を介して
チップを固着できる。またAgの導電被膜にはAu細線
が接着できるため、ワイヤーボンディングも可能とな
る。従ってこれらの導電被膜をそのままダイパッド、ボ
ンディングパッドとして活用できるメリットを有する。
【0109】図10に具体的な導電箔パターンを示す。
本図は図8(B)で示したブロック62の1個を拡大し
たもの対応する。黒く塗られた部分の1個が1つの搭載
部65であり、導電箔パターン39を構成し、1つのブ
ロック62にはマトリックス状に多数の搭載部65が配
列され、各搭載部65毎に同一の導電箔パターン39が
設けられている。各ブロックの周辺には枠状のパターン
66が設けられ、それと少し離間しその内側にダイシン
グ時の位置合わせマーク67が設けられている。枠状の
パターン66はモールド金型との嵌合に使用し、また導
電箔60の裏面エッチング後には透明樹脂35の補強を
する働きを有する。
【0110】また、上記の説明では単層の導電箔パター
ンを形成する方法を説明したが、導電パターンは層間絶
縁膜を用いた多層のものでも良い。
【0111】第3の工程は、図11に示す如く、各搭載
部の所望の導電箔パターン39に半導体モジュール40
およびチップ部品36を固着し、更に、半導体モジュー
ル40裏面にCCD55および裏面チップ部品36を実
装することにある。図11(A)は1つの搭載部の平面
図であり、図11(B)は図11(A)のA−A線での
断面図である。
【0112】半導体モジュール40は、フェイスアップ
で実装される。そして、チップ部品33としてはコンデ
ンサ、抵抗、トランジスタ、ダイオードまたはLSIが
実装される。ここでは、半導体モジュール40が導電箔
パターン39に絶縁性接着剤で実装され、チップ部品3
3は半田等のロウ材または導電ペーストで導電箔パター
ン39に固着される。
【0113】図11(B)を参照して、本発明のポイン
トは、半導体モジュール40上にCCD55および裏面
チップ部品36を実装することにある。半導体モジュー
ル40の支持基板は、その裏面に、第2の導電パターン
37を有する。第2の導電パターンは裏面チップ部品3
6を実装するパッドを有しており、このパッドに裏面チ
ップ部品36を実装することができる。このことから、
本発明のカメラモジュール30では、その内部に於いて
半導体素子を立体的に実装することができる。
【0114】第4の工程は、図12に示す如く、各搭載
部65の半導体モジュール40の取り出し電極42と所
望の導電箔パターン39とをワイヤボンディングするこ
とにある。図12(A)は1つの搭載部の平面図であ
り、図12(B)は図12(A)のA−A線での断面図
である。
【0115】本工程では、ブロック62内の各搭載部の
半導体モジュール40の取り出し電極42と所望の導電
箔パターン39を、熱圧着によるボールボンディング及
び超音波によるウェッヂボンディングにより一括してワ
イヤボンディングを行う。
【0116】また本発明では、各搭載部毎にクランパを
使用してワイヤボンディングを行っていた従来の回路装
置の製造方法と比較して、極めて効率的にワイヤボンデ
ィングを行うことができる。
【0117】第5の工程は、図13に示す如く、各搭載
部65の半導体モジュール40等を一括して被覆し、分
離溝61に充填されるように透明樹脂35で共通モール
ドすることにある。そして、共通モールドを行った後
に、第2の導電パターン37上にCCD55を実装す
る。
【0118】本工程では、図13(A)に示すように、
透明樹脂35は半導体モジュール40、チップ部品33
および裏面チップ部品36を完全に被覆し、導電箔パタ
ーン39間の分離溝61には透明樹脂35が充填され
て、導電箔パターンの側面の湾曲構造と嵌合して強固に
結合する。そして透明樹脂35により導電箔パターン3
9が支持されている。
【0119】また本工程では、透明樹脂35の上面の空
洞部59付近に凹部49Aが形成される。この凹部49
Aは、空洞部59上部に実装されるホルダー56の位置
を固定するために使用される。具体的な位置固定方法
は、ホルダー実装の工程で後述する。
【0120】更にまた本工程では、トランスファーモー
ルドにより実現できる。樹脂材料としては、エポキシ樹
脂等の熱硬化性樹脂がトランスファーモールドで実現で
きる。
【0121】更に、本工程でトランスファーモールドあ
るいはインジェクションモールドする際に、図13
(B)に示すように各ブロック62は1つの共通のモー
ルド金型に搭載部65を納め、各ブロック毎に1つの透
明樹脂35で共通にモールドを行う。このために従来の
トランスファーモールド等の様に各搭載部を個別にモー
ルドする方法に比べて、大幅な樹脂量の削減が図れる。
【0122】導電箔60表面に被覆された透明樹脂35
の厚さは、金属細線34の最頂部から約100μm程度
が被覆されるように調整されている。この厚みは、強度
を考慮して厚くすることも、薄くすることも可能であ
る。
【0123】本工程の特徴は、透明樹脂35を被覆する
までは、導電箔パターン39となる導電箔60が支持基
板となることである。尚、本発明では、支持基板となる
導電箔60は、電極材料として必要な材料である。その
ため、構成材料を極力省いて作業できるメリットを有
し、コストの低下も実現できる。
【0124】また分離溝61は、導電箔の厚みよりも浅
く形成されているため、導電箔60が導電箔パターン3
9として個々に分離されていない。従ってシート状の導
電箔60として一体で取り扱え、透明樹脂35でモール
ドする際、金型への搬送、金型への実装の作業が非常に
楽になる特徴を有する。
【0125】第6の工程は、図13(A)に示す如く、
透明樹脂35が露出するまで、導電箔60の裏面全域を
エッチングすることにある。
【0126】本工程は、導電箔60の裏面を化学的およ
び/または物理的に除き、導電箔パターン39として分
離するものである。この工程は、研磨、研削、エッチン
グ、レーザの金属蒸発等により施される。
【0127】実験では研磨装置または研削装置により全
面を30μm程度削り、分離溝61から透明樹脂35を
露出させている。この露出される面を図13(A)では
点線で示している。その結果、約40μmの厚さの導電
箔パターン39となって分離される。また、透明樹脂3
5が露出する手前まで、導電箔60を全面ウェトエッチ
ングし、その後、研磨または研削装置により全面を削
り、透明樹脂35を露出させても良い。更に、導電箔6
0を点線で示す位置まで全面ウェトエッチングし、透明
樹脂35を露出させても良い。
【0128】この結果、透明樹脂35に導電箔パターン
39の裏面が露出する構造となる。すなわち、分離溝6
1に充填された透明樹脂35の表面と導電箔パターン3
9の表面は、実質的に一致している構造となっている。
従って、本発明のカメラモジュール30は図16に示し
た従来の裏面電極10、11のように段差が設けられな
いため、マウント時に半田等の表面張力でそのまま水平
に移動してセルフアラインできる特徴を有する。
【0129】第7の工程は、図14に示す如く、透明樹
脂35で一括してモールドされた各搭載部65の半導体
素子の特性の測定を行うことにある。
【0130】前工程で導電箔60の裏面エッチングをし
た後に、導電箔60から各ブロック62が切り離され
る。このブロック62は透明樹脂35で導電箔60の残
余部と連結されているので、切断金型を用いず機械的に
導電箔60の残余部から剥がすことで達成できる。
【0131】各ブロック62の裏面には図15に示すよ
うに導電箔パターン39の裏面が露出されており、各搭
載部65が導電箔パターン39形成時と全く同一にマト
リックス状に配列されている。この導電箔パターン39
の透明樹脂35から露出した外部接続電極32にプロー
ブ68を当てて、カメラモジュール30の特性パラメー
タ等を個別に測定して良不良の判定を行い、不良品には
磁気インク等でマーキングを行う。
【0132】本工程では、各搭載部65のカメラモジュ
ール30は透明樹脂35でブロック62毎に一体で支持
されているので、個別にバラバラに分離されていない。
従って、テスターの載置台に置かれたブロック62は搭
載部65のサイズ分だけ縦方向および横方向にピッチ送
りをすることで、極めて早く大量にブロック62の各搭
載部65のカメラモジュール30の測定を行える。すな
わち、従来必要であった半導体装置の表裏の判別、電極
の位置の認識等が不要にできるので、測定時間の大幅な
短縮を図れる。
【0133】第8の工程は、図15に示す如く、透明樹
脂35を各搭載部65毎にダイシングにより分離するこ
とにある。
【0134】本工程では、ブロック62をダイシング装
置の載置台に真空で吸着させ、ダイシングブレード69
で各搭載部65間のダイシングライン70に沿って分離
溝61の透明樹脂35をダイシングし、個別のカメラモ
ジュール30に分離する。
【0135】本工程で、ダイシングブレード69はほぼ
透明樹脂35を切断する切削深さで行い、ダイシング装
置からブロック62を取り出した後にローラでチョコレ
ートブレークするとよい。ダイシング時は予め前述した
第1の工程で設けた各ブロックの周辺の枠状のパターン
66の内側の相対向する位置合わせマーク67を認識し
て、これを基準としてダイシングを行う。周知ではある
が、ダイシングは縦方向にすべてのダイシングライン7
0をダイシングをした後、載置台を90度回転させて横
方向のダイシングライン70に従ってダイシングを行
う。
【0136】第9の工程は、図16に示す如く、ホルダ
ー56を実装することにある。
【0137】ホルダー56は、透明樹脂35全体をを覆
うように実装される。ホルダー56と透明樹脂35との
接合は接着剤を介して行われる。また、ホルダー56の
下面には、透明樹脂35の上面に設けられた凹部49A
に対応した凸部49Bが設けられている。従って、ホル
ダー56が有する凸部49Bを、透明樹脂35に設けら
れた凹部49Aにはめこむことにより、ホルダー56の
位置を正確に固定することができる。
【0138】ホルダー56は、CCD55の上方に対応
する部分に空洞部59を有する。この空洞部59は、次
工程で実装されるレンズ58で集光された光を通過させ
る働きを有する。
【0139】第10の工程は、図17に示す如く、ホル
ダー56の上部にレンズバレル57を実装することにあ
る。
【0140】本工程では、接着剤を用いてホルダー56
の上部にレンズバレル57を実装する。ここで、ホルダ
ー56の上部にはレンズ58が設けられている。また、
レンズ58の中心軸と、レンズ58の下方に位置するC
CD55の撮像エリアの中心軸が一致するように、レン
ズバレル57の位置は固定される。
【0141】上記した製造方法によるメリットの1つ
は、既存の技術および設備で本発明のカメラモジュール
30が製造できることにある。つまり、既存の技術およ
び設備で、カメラモジュール30内部に於いて、立体的
にDSP等を配置できることである。更に、実装基板無
しでカメラモジュール30を構成することができる。こ
のことにより、比較的簡単な工程でカメラモジュール3
0の実装密度を向上させることができる。しかも、カメ
ラモジュールの薄型化・軽量化を実現できる。
【0142】
【発明の効果】本発明のカメラモジュールによれば、以
下に示すような効果を奏することができる。
【0143】第1に、CCDおよび半導体モジュール等
の内蔵部品を透明樹脂で封止し、透明樹脂全体を空洞部
を除いてホルダーで覆い、ホルダー上面の空洞部を覆う
ようにレンズバレルを実装することにより、実装基板を
不要にしてカメラモジュールを構成することができる。
従って、カメラモジュールを構成する部品数を低減する
ことが可能となり、更に、カメラモジュールを薄型・軽
量化することができる。
【0144】第2に、導電箔パターンにフェイスアップ
で実装した半導体モジュールの裏面に、CCDおよび裏
面チップ部品を実装することにより、立体的に半導体素
子を実装することができる。半導体モジュールは、第1
の導電パターンと第2の導電パターンが層間絶縁膜で接
着された支持基板を有し、第1の導電パターンにDSP
が実装されたものである。従って、第2の導電パターン
上に複数の裏面チップ部品を実装することができる。こ
のことから、カメラモジュールの実装密度を向上させる
ことができ、更に、カメラモジュールを小型化・軽量化
することができる。
【0145】第3に、本発明のカメラモジュールは、半
導体モジュール等を被覆する絶縁性樹脂で全体が支持さ
れており、実装基板を使用しない薄型・軽量のものであ
る。このことにより、カメラモジュールを更に薄型・軽
量化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカメラモジュールを説明する図であ
る。
【図2】本発明のカメラモジュールを構成する半導体モ
ジュールを説明する図である。
【図3】本発明のカメラモジュールを説明する図であ
る。
【図4】本発明のカメラモジュールを説明する図であ
る。
【図5】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明す
るフローチャートである。
【図6】本発明のカメラモジュールを構成する半導体モ
ジュールの製造方法を説明する図である。
【図7】本発明のカメラモジュールを構成する半導体モ
ジュールの製造方法を説明する図である。
【図8】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明す
る図である。
【図9】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明す
る図である。
【図10】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図11】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図12】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図13】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図14】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図15】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図16】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図17】本発明のカメラモジュールの製造方法を説明
する図である。
【図18】従来のカメラモジュールを説明する図であ
る。
【図19】従来のカメラモジュールの製造方法を説明す
る図である。
【符号の説明】
30 カメラモジュール 31 DSP 33 チップ部品 35 透明樹脂 36 裏面チップ部品 40 半導体モジュール 55 CCD 56 ホルダー 57 レンズバレル 59 空洞部

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の導電パターンおよび第2の導電パ
    ターンから形成される第1の支持基板を有し、前記第1
    の導電パターンにフリップチップボンディングにより固
    着された半導体素子を有する半導体モジュールと、 前記第2の導電パターン上に実装された半導体撮像素子
    および裏面チップ部品と、 前記半導体モジュール、前記半導体撮像素子および前記
    裏面チップ部品を被覆する透明樹脂と、 前記透明樹脂を全体的に覆い、前記半導体撮像素子の上
    方に対応する部分に空洞部を有するホルダーと、 前記ホルダー上面に前記空洞部を覆うように固着され、
    上部にレンズを有するレンズバレルと、 前記半導体モジュールが前記第2の導電パターンを上側
    にして固着された第2の支持基板と、 前記半導体モジュールの取り出し電極と、前記第2の支
    持基板との電気的接続を行う金属細線と、 前記第2の支持基板に形成された外部接続電極とを有す
    ることを特徴とするカメラモジュール。
  2. 【請求項2】 前記透明樹脂は、前記ホルダーの位置を
    固定するための凹部を有し、前記ホルダーは前記凹部に
    対応する凸部を有することを特徴とする請求項1記載の
    カメラモジュール。
  3. 【請求項3】 前記透明樹脂は、可視光線に対して透明
    な材料で構成されていることを特徴とする請求項1記載
    のカメラモジュール。
  4. 【請求項4】 前記ホルダーは遮光性の材料で構成され
    ることを特徴とする請求項1記載のカメラモジュール。
  5. 【請求項5】 前記空洞部の面方向の断面は、前記半導
    体撮像素子の面方向の断面よりも大きいことを特徴とす
    る請求項1記載のカメラモジュール。
  6. 【請求項6】 前記半導体撮像素子の撮像エリアの中心
    軸と前記レンズの中心軸は、一致することを特徴とする
    請求項1記載のカメラモジュール。
  7. 【請求項7】 前記半導体撮像素子は、CCDまたはC
    MOSセンサーであることを特徴とする請求項1記載の
    カメラモジュール。
  8. 【請求項8】 前記半導体素子は、DSPまたはドライ
    バー用ICであることを特徴とする請求項1記載のカメ
    ラモジュール。
  9. 【請求項9】 前記裏面チップ部品は、コンデンサ、抵
    抗、トランジスタ、ダイオードまたはLSIであること
    を特徴とする請求項1記載のカメラモジュール。
  10. 【請求項10】 前記第2の支持基板には、前記半導体
    モジュールの他にコンデンサ、抵抗、トランジスタ、ダ
    イオードまたはLSIが実装されることを特徴とする請
    求項1記載のカメラモジュール。
  11. 【請求項11】 前記取り出し電極は、前記半導体モジ
    ュールの周辺部に設けられることを特徴とする請求項1
    記載のカメラモジュール。
  12. 【請求項12】 前記第1の支持基板は、絶縁フィルム
    の両面に前記第1の導電パターンおよび前記第2の導電
    パターンを有することを特徴とする請求項1記載のカメ
    ラモジュール。
  13. 【請求項13】 前記絶縁フィルムは、フレキシブルシ
    ートであることを特徴とする請求項12記載のカメラモ
    ジュール。
  14. 【請求項14】 前記第1の支持基板は、前記絶縁性樹
    脂に埋め込まれた前記第1の導電パターンおよび層間絶
    縁膜を介して設けられた前記第2の導電パターンを有す
    ることを特徴とする請求項1記載のカメラモジュール。
  15. 【請求項15】 前記第2の支持基板は、前記絶縁性樹
    脂に埋め込まれた第3の導電パターンおよび層間絶縁膜
    を介して設けられた第4の導電パターンを有することを
    特徴とする請求項1記載のカメラモジュール。
  16. 【請求項16】 前記金属細線は、前記取り出し電極と
    前記第3の導電パターンとの電気的接続を行うことを特
    徴とする請求項15記載のカメラモジュール。
  17. 【請求項17】 前記第2の支持基板は、前記絶縁性樹
    脂に埋め込まれた導電箔パターンであることを特徴とす
    る請求項1記載のカメラモジュール。
  18. 【請求項18】 前記金属細線は、前記取り出し電極と
    前記導電箔導電パターンとの電気的接続を行うことを特
    徴とする請求項16記載のカメラモジュール。
  19. 【請求項19】 前記半導体モジュールは、前記第1の
    導電パターンおよび前記第2の導電パターンから形成さ
    れる前記第1の支持基板と、前記第1の導電パターンに
    フリップチップボンディングにより固着された前記半導
    体素子および内部チップ部品と、前記半導体素子および
    前記内部チップ部品を被覆し且つ全体を支持する絶縁樹
    脂層とを有することを特徴とする請求項1記載のカメラ
    モジュール。
JP2001294668A 2001-09-26 2001-09-26 カメラモジュール Withdrawn JP2003110892A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001294668A JP2003110892A (ja) 2001-09-26 2001-09-26 カメラモジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001294668A JP2003110892A (ja) 2001-09-26 2001-09-26 カメラモジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003110892A true JP2003110892A (ja) 2003-04-11

Family

ID=19116235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001294668A Withdrawn JP2003110892A (ja) 2001-09-26 2001-09-26 カメラモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003110892A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005175971A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Sharp Corp カメラモジュール、カメラモジュールの製造方法、電子機器及び電子機器の製造方法
JP2007116740A (ja) * 2006-12-28 2007-05-10 Sharp Corp カメラモジュール及び電子機器
JPWO2013190748A1 (ja) * 2012-06-22 2016-02-08 株式会社ニコン 基板、撮像ユニットおよび撮像装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005175971A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Sharp Corp カメラモジュール、カメラモジュールの製造方法、電子機器及び電子機器の製造方法
US7619684B2 (en) 2003-12-11 2009-11-17 Sharp Kabushiki Kaisha Camera module, manufacturing method of camera module, electronic apparatus, and manufacturing method of electronic apparatus
JP2007116740A (ja) * 2006-12-28 2007-05-10 Sharp Corp カメラモジュール及び電子機器
JPWO2013190748A1 (ja) * 2012-06-22 2016-02-08 株式会社ニコン 基板、撮像ユニットおよび撮像装置
US9743510B2 (en) 2012-06-22 2017-08-22 Nikon Corporation Substrate, imaging unit and imaging device
US10412824B2 (en) 2012-06-22 2019-09-10 Nikon Corporation Substrate, imaging unit and imaging device
US11343907B2 (en) 2012-06-22 2022-05-24 Nikon Corporation Substrate, imaging unit and imaging device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6909178B2 (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP3609737B2 (ja) 回路装置の製造方法
US6548328B1 (en) Circuit device and manufacturing method of circuit device
US7364944B2 (en) Method for fabricating thermally enhanced semiconductor package
JP3679687B2 (ja) 混成集積回路装置
JP4618941B2 (ja) 半導体装置
EP1683198A2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2004104078A (ja) カメラモジュールおよびその製造方法
JP4020624B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2011044654A (ja) 半導体装置
JP2003078077A (ja) カメラモジュール
TW201705426A (zh) 樹脂密封型半導體裝置及其製造方法
JP2003110945A (ja) カメラモジュール
US9935030B2 (en) Resin-encapsulated semiconductor device
JP2003110892A (ja) カメラモジュール
JP2003037344A (ja) 回路装置およびその製造方法
JP4020618B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP4089629B2 (ja) 光センサモジュール
JP4803931B2 (ja) 回路モジュール
JP2003078122A (ja) カメラモジュール
JP2002158315A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2003100984A (ja) 回路モジュール
JP2005158999A (ja) 半導体装置
JP2003100981A (ja) 回路モジュール
JP4471559B2 (ja) 回路装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080925

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20090706